JPH0695027A - 均一照明用光学系 - Google Patents

均一照明用光学系

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JPH0695027A
JPH0695027A JP4269612A JP26961292A JPH0695027A JP H0695027 A JPH0695027 A JP H0695027A JP 4269612 A JP4269612 A JP 4269612A JP 26961292 A JP26961292 A JP 26961292A JP H0695027 A JPH0695027 A JP H0695027A
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light
optical system
optical
conical
light flux
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JP4269612A
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Katsura Otaki
桂 大滝
Yutaka Ichihara
裕 市原
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Nikon Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 円筒空洞内壁において均一な強度の照明光が
得られるような均一照明用光学系の提供を目的とする。 【構成】 均一照明用光学系において、光ファイバから
の照明光をコリメートして得た平行光束を、その光軸を
同心円状にとり囲む円筒内面状の被照射面に対して帯状
に全周にわたって照射するよう反射または屈折させる照
射光学部材として、前記平行光束をその光軸を含む中心
領域と周辺領域とに分離する第1の屈折面と、該第1の
屈折面で分離された前記中心領域の光束と前記周辺領域
の光束とを前記被照射面上で重ねるように合成する第2
の反射または屈折面とを有する円錐プリズム光学系を備
えた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は例えば、金属細管内壁の
加熱等に用いられる空洞内壁を均一に照明するための均
一照明用光学系に関するものである。
【0002】
【従来の技術】金属細管の内壁を加熱するなど、円筒空
洞の内壁にレーザ光を照射する場合には、従来、図9
(a)のような光学系が用いられていた。この光学系
は、光ファイバFからの射出光をコリメートとするコリ
メートレンズCと、コリメートして得た平行光束を円筒
空洞の内壁Kに照明光として導く円錐反射ミラーMaと
からなる。
【0003】反射ミラーMaの代わりに図9(b)のよ
うな円錐レンズLbの全反射を利用したものや図9
(c)のような円錐レンズLcの透過屈折を利用したも
のがある。これらの光学系は、コリメートレンズCと一
体に保持できるためよく用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、照明光を供
給する光ファイバは、SI(step index)型の場合、平
行光束の入射ビーム強度分布は図10(a)の実線Sで
示したごとく平坦であるため、円錐ミラーMで反射され
た照明光は、光軸に近いほど強度が小さく内壁K面上で
10(b)のような強度分布となる。
【0005】また、GI(graded index)型ファイバの
場合、平行光束の入射ビーム強度分布は10(a)の破
線Gで示した如く近似的にガウス分布をするため、円錐
ミラーMで反射された照明光の強度分布は内壁K面上で
10(b)に示すような山形となる。
【0006】以上を式で表すと以下の通りである。な
お、円錐レンズへの入射ビーム強度をI(r) ,内壁K面
上の照明光強度をW(r) とする。SI型ファイバでは、 I(r) =const …(1) W(r) ∝ r・I(r) ∝ r …(2) GI型ファイバでは、 I(r) ∝ exp (-2r2/r0 2 ) ( r0 :ファイハ゛NA) …(3) W(r) ∝ r・exp (-2r2 /r0 2) …(4)
【0007】このように従来の照明光学系では、均一強
度分布の照明を得ることができず、均一強度の照明を必
要とする空洞内壁加熱に利用するには不十分であるとい
う問題があった。本発明は、上記問題を達成するため、
円筒空洞内壁において均一な強度の照明光が得られるよ
うな均一照明用光学系の提供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1に記載の発明に係る均一照明用光学系で
は、光ファイバからの照明光をコリメートして得た平行
光束を、その光軸を同心円状にとり囲む円筒内面状の被
照射面に対して帯状に全周にわたって照射するよう反射
または屈折させる照射光学部材を備えた均一照明用光学
系において、前記照射光学部材として、前記平行光束を
その光軸を含む中心領域と周辺領域とに分離する第1の
屈折面と、該第1の屈折面で分離された前記中心領域の
光束と前記周辺領域の光束とを前記被照射面上で重ねる
ように合成する第2の反射または屈折面とを有する円錐
プリズム光学系を備えた。
【0009】また、請求項2に記載の発明の係る均一照
明用光学系では、前記請求項1に記載の均一照明用光学
系において、前記円錐プリズム光学系を、前記中心領域
の光束と前記周辺領域の光束とのそれぞれ光軸からの距
離に対する光強度の分布を前記被照射面上で互いに補償
するように構成した。
【0010】また、請求項3に記載の発明に係る均一照
明用光学系では、光ファイバからの照明光をコリメート
して得た平行光束を、その光軸を同心円状にとり囲む円
筒内面状の被照射面に対して帯状に全周にわたって照射
するよう反射または屈折させる照射光学部材を備えた均
一照明用光学系において、前記照射光学部材として、前
記平行光束を回折効率の等しい0次光と1次光とに分離
するゾーンプレートと、前記0次光と1次光とを前記被
照射面上で重ねるように合成する反射または屈折面とを
有する円錐プリズム光学系を備えた。
【0011】
【作用】本発明は、平行光束をその光軸を同心円状にと
り囲む円筒内面状の被照射面に対して帯状に全周にわた
って照射させる照射光学部材として、平行光束をその光
軸を含む中心領域と周辺領域とに分離する第1の屈折面
と、分離された中心領域の光束と周辺領域の光束とを被
照射面上で重ねるように合成する第2の反射または屈折
面とを有する円錐プリズム光学系を備えた均一照明用光
学系であるため、そのままでは強度が光軸に近いほど小
さく不均一な照射光となる平行光束の、光軸を含む中心
領域(光強度が小さい)と周辺領域(光強度が大きい)
とが重なって被小斜面へ照射されるため、従来になく均
一な照明光が得られる。
【0012】さらに本発明においては、中心領域の光束
と周辺領域の光束との合成が、それぞれ光軸からの距離
に対する光強度の分布を被照射面上で互いに補償するよ
うな円錐プリスム光学系を備えたものであるため、より
均一な照明光を得ることができる。
【0013】ここで、本発明の作用を円錐プリズム光学
系として、凸円錐を有する第1の屈折面と第2の凹円錐
反射面とからなる両面円錐レンズを用いる場合を例に図
8を用いて説明する。ここでは、平行光束の強度分布が
均一となるSI型光ファイバを用いる。図8(a)の両
面円錐レンズ3の第1の面は、直径が平行光束の径の約
1/2の凸円錐面(頂点P)S1 とその周りをとりまく
リング状の平面S2 からなり、第2の面は直径が平行光
束の径とほぼ同じ凹円錐反斜面(頂点Q)S3からな
る。
【0014】本照明光学系において、SI型光ファイバ
1からの光ビームをコリメートレンズ2によってコリメ
ートして得られる平行光束は、両面円錐レンズ3の第1
の面に入射し、ここで光軸を含む中心領域が円錐面S1
で屈折され、周辺領域が平面S2 から直進することによ
り2つに分離される。
【0015】光束の中心領域のうち例えば図中イ部は、
円錐面S1 から円錐レンズ3を屈折透過し、円錐面反射
面S3 で全反射され円筒内面状の被照射面K上に図8
(b)の破線イで示したような強度分布で照射される。
一方光束の周辺領域のロ部は、平面S2 を通り、円錐反
射面S3 で全反射され、円筒内面状の被照射面K上に図
8(b)の破線ロで示したような強度分布で照射され
る。
【0016】両面円錐レンズ3の頂点P、頂点Qの間隔
L及び頂角θ1 頂角θ2 は光束イと光束ロとが被照射面
K上で重なるように設計されている。したがって、円筒
内面状の被照射面Kでは、図8(b)の実線ハで示すよ
うにイとロの和で与えられる均一な強度分布で照明光が
照射される。
【0017】また本発明は、平行光束をその光軸を同心
円状にとり囲む円筒内面状の被照射面に対して帯状に全
周にわたって照射させる照射光学部材として、平行光束
を回折効率の等しい0次光と1次光とに分離するゾーン
プレートと、前記0次光と1次光とを前記被照射面上で
重ねるように合成する反射または屈折面とを有する円錐
プリズム光学系を備えた均一用照明光学系であるため、
強度の等しい0次光と1次光とが被照射面上で重なり均
一な強度分布の照明を可能とする。
【0018】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。図1は、
本発明の第1の実施例による均一照明用光学系を説明す
る概略光路図である。本実施例は、光ビームを円筒空洞
内壁の被照射面K上へ導く照射光額部材として、凸円錐
面13aと凸円錐面13a周辺の平面13bとからなる
第1の屈折面と第2の凹円錐反射面13cとを有する円
筒状の両面円錐レンズ13を用いた場合の照明光学系で
ある。
【0019】ここでは、YAG光源からの光ビーム(λ
=1.064μm)を石英から成る両面円錐レンズ13
を用いて内径17mmの円筒空洞の内壁を照明する場合
を示す。図1(a)において、光源からの光ビームは、
SI型光ファイバ11で供給され、NA=0.2でコリ
メートレンズ12に入射し、コリメートされ径10mm
の平行光束となる。
【0020】この平行光束は、両面円錐レンズ13の第
1の屈折面へ入射し、頂角82°,径が5mm(平行光
束の径の1/2)の凸円錐面13aで光軸を含む中心領
域が光軸に対して反対側へ屈折され、平面13bから周
辺領域がそのまま直進させられることによって2つに分
離される。その後中心領域の光束及び周辺領域の光束
は、それぞれ頂角90°の第2の凹円錐反射面13bで
全反射され、円筒空洞内壁の被照射面K上で重なり幅
2.5mmにわたって照明光として照射される。
【0021】分離された2光束のそれぞれの光軸からの
距離に対応する光強度の分布を互いに補償するように、
即ち、最も光強度の小さい光軸付近の光と最も光強度の
大きい周縁部の光とが被照射面K上で重なるように設定
されているので、図1(b)に示すように、強度の不均
一性が1割程度という従来に比べ非常に均一である強度
分布の照明光が得られる。なお、第2の凹円錐反射面1
3cの頂角は、90°に限らず、光束の反斜面への入射
角が臨界角以上で光束が全反射されるよう設定すればよ
い。
【0022】次に本発明の第2の実施例を図2に示す。
これは、照射光学部材として凸円錐面23aと凸円錐面
23a周辺の平面23bとからなる第1の屈折面と第2
の凹円錐屈折面23cとを有する円筒状の両面円錐レン
ズ23を用いた場合の照明光学系である。ここでは、第
2の凹円錐屈折面23cの頂角は、凹円錐屈折面23c
において、光束が反射されることなく屈折透過するよう
に設計してある。
【0023】SI型光ファイバ21からの光ビームは、
コリメートレンズ22によってコリメートされ、平行光
束となる。この平行光束は、両面円錐レンズ23へ入射
し、凸円錐屈折面23aで光軸を含む中心領域が光軸に
対して反対側へ屈折され、周辺領域が平面23bからそ
のまま直進させられることによって2つに分離される。
分離された2光束は、その後それぞれ凹円錐屈折面23
cで屈折射出され、円筒空洞内壁の被照射面K上で重な
り、均一な強度分布の照明光として照射される。
【0024】図3は、本発明の第3の実施例を説明する
概略光路図である。本実施例は、照射光学部材として凹
円錐面33aと凹円錐面33a周辺の平面33bとから
なる第1の屈折面と第2の凹円錐屈折面33cとを有す
る円筒状の両面円錐レンズ33を用いた場合の照明光学
系である。
【0025】SI型光ファイバ31からの光ビームは、
コリメートレンズ42によってコリメートされ平行光束
となる。この平行光束は、両面円錐レンズ33へ入射
し、凹円錐屈折面33a出光軸を含む中心領域が光軸に
対して同じ側へ屈折され、周辺領域が平面33aからそ
のまま直進させられることによって2つに分離される。
屈折された中心領域の光束は第2の凹円錐屈折面33c
をそのまま透過し、周辺領域の光束は第2の凹円錐屈折
面33cで光軸に炊いて反対側へ屈折透過され、これら
2光束は円筒空洞内壁の被照射面K上で重なり、均一な
強度分布の照明光として照射される。
【0026】図4は、本発明の第4の実施例を説明する
概略光路図である。本実施例、照射光学部材として凹円
錐面43aと凹円錐面43a周辺の平面43bとからな
る第1の屈折面と第2の凹円錐屈折面43cとを有する
円筒状の両面円錐レンズ43を用いた場合の照明光学系
である。これは、上記第1、2、3、の実施例が、光軸
に対して互いに反対側にある中心領域の光と周辺領域の
光とを合成するものであったのに対して、両面円錐レン
ズ43の円筒側面43dを利用して光軸に対して同じ側
にある中心領域の光と周辺領域にある光とを合成するも
のである。
【0027】図において、SI型光ファイバ41からの
光ビームは、コリメートレンズ42によってコリメート
され平行光束なる。この平行光束は、両面円錐レンズ4
3へ入射し、凹円錐屈折面43aで光軸を含む中心領域
が光軸に対して同じ側へ屈折され、周辺領域は平面43
bからそのまま直進させられることによって2光束に分
離される。屈折された中心領域の光束は、円筒側面43
bで一度全反射された後第2の凹円錐反射面43cでさ
らに全反射される。周辺領域の光束は、第2の凹円錐反
射面43cで反射され、これら2光束は円筒空洞内壁の
被照射面K上で重なり、均一な強度分布の照明光として
照射される。
【0028】次に本発明の第5の実施例を図5に示す。
本実施例は、照射光学部材として凸円錐面55aと凸円
錐面55a周辺の平面55bとからなる第1の屈折面と
第2の凹円錐屈折面55cとを有する円筒状の両面円錐
レンズ55を用いた場合の照明光学系であり、基本的に
は第1の実施例で示したものと同様であるが、凹レンズ
53と円錐プリズム54を用いて照射幅xを広くしたも
のである。
【0029】図において、SI型光ファイバ51からの
光ビームは、コリメートレンズ52によってコリメート
され、平行光束となる。この平行光束は、凹レンズ53
によって発散して広げられ、円錐プリズム54でその向
きを調整された後に両面円錐レンズ55へ入射する。そ
こで凸円錐屈折面55aで光軸を含む中心領域が光軸に
対して反対側へ屈折され、周辺領域が平面55bから直
進させられることによって2光束に分離される。この2
光束は、それぞれ第2の凹円錐反射面55cで全反射さ
れ、円筒空洞内壁の被照射面K上で重なり、均一な強度
分布の照明光として幅xで照射される。
【0030】なお、以上の実施例においては、照射光学
部材として両面円錐レンズを用いたが、本発明はこれに
限るものではなく、平行光束を中心領域と周辺領域との
2光束に分離し、この2光束を被照射面上で均一な強度
分布となるよう重ねて照射できる光学部材ならば広く使
用可能である。
【0031】例えば、図6(a)(b)に示すような分
離型の円錐レンズ光学系がある。図6(a)は、凸円錐
レンズ61を平板ガラス62に接着したものと凹円錐レ
ンズ63とからなる円錐レンズ光学系である。(b)は
凸円錐レンズ65を平板ガラス64に(a)とは逆向き
に接着したものと凹円錐レンズ66とからなる光学系で
ある。
【0032】このような分離型の円錐光学系は、上記実
施例のような両面円錐レンズは加工が容易ではないのに
対して加工がし易い。しかしながら、レンズの接着に用
いる接着剤として高出力レーザを使用する場合に適した
ものがない点、また貼り合わせ面が多いために余計な反
射、吸収による光量損失が生じてしまう点から照射光学
部材として用いるのには両面円錐レンズの方が優れてい
る。
【0033】図7に本発明の他の実施例を示す。本実施
例は、照射光学部材として、光束を分離するゾーンプレ
ート73と、凹円錐反射面74aを有する片面円錐レン
ズ74とからなる光学系を用いたものである。ゾーンプ
レート73は、三角波位相型で入射光束を強度の等しい
0次光と1次回折光とに分離する。
【0034】図7(a)において、SI型光ファイバ7
1からの光ビームは、コリメートレンズ72によってコ
リメートされて平行光束となり、ゾーンプレート73へ
入射する。ゾーンプレート73を通った光束のうち1次
回折光は光軸に対して反対側へ屈折して片面円錐レンズ
74へ入射し、0次光はそのまま直進して片面円錐レン
ズ74へ入射する。1次回折光および0次光は、それぞ
れ凹円錐反射面74aで全反射され、円筒空洞内壁の被
照射面K上で重なり、均一な強度分布の照明光として照
射する。この光学系では照射幅が広く、照射面積を大き
くすることができる。
【0035】ゾーンプレート73によって入射光束を強
度の等しい0次光と1次光とに分離するには、図7
(b)に示すごとく、ゾーンプレート73の三角波形状
を、その高さHを調整することによって0次光と1次光
の回折効率が等しくなるようにする。この時、例えば0
次光の回折効率η0 と1次光の回折効率η1 とがη0
η1 =40.5%である場合、−1次光の回折効率η-1
はη-1=4.5%となる。したがって、−1次光は強度
が弱く無視しても影響はない。
【0036】
【発明の効果】本発明は以上説明したとおり、円筒空洞
内壁において均一な強度の照明光が得られるような均一
照明用光学系を可能とし、空洞内壁への加熱等の作業性
の向上が達成できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例による均一照明用光学系
を説明する概略光路図である。
【図2】本発明の第2の実施例による均一照明用光学系
を説明する概略光路図である。
【図3】本発明の第3の実施例による均一照明用光学系
を説明する概略光路図である。
【図4】本発明の第4の実施例による均一照明用光学系
を説明する概略光路図である。
【図5】本発明の第5の実施例による均一照明用光学系
を説明する概略光路図である。
【図6】分離型円錐レンズ光学系からなる照射光学部材
を示した説明図である。
【図7】本発明の他の一実施例による均一照明用光学系
を説明する概略光路図である。
【図8】本発明の作用を説明する概略光路図である。
【図9】従来の照明光学系を説明する概略光路図であ
る。
【図10】従来の照明光学系における光強度を示す説明
図である。
【符号の説明】
1,11,21,31,41,51,71,F;SI型
光ファイバ 2,12,22,32,42,52,72,C;コリメ
ートレンズ S1 ,13a,23a,55a;凸円錐屈折面 S2 ,13b,23b,55b;凹円錐屈折面 S3 ,13c,43c,55c;凹円錐反射面 23c;凹円錐屈折透過面 33c;凸円錐屈折透過面 43d;円筒側面 53;凹レンズ 54;円錐プリズム 73;三角波位相型ゾーンプレート K;円筒空洞内壁の被照射面

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光ファイバからの照明光をコリメートし
    て得た平行光束を、その光軸を同心円状にとり囲む円筒
    内面状の被照射面に対して帯状に全周にわたって照射す
    るよう反射または屈折させる照射光学部材を備えた均一
    照明用光学系において、 前記照射光学部材として、前記平行光束をその光軸を含
    む中心領域と周辺領域とに分離する第1の屈折面と、該
    第1の屈折面で分離された前記中心領域の光束と前記周
    辺領域の光束とを前記被照射面上で重ねるように合成す
    る第2の反射または屈折面とを有する円錐プリズム光学
    系を備えたことを特徴とする均一照明用光学系。
  2. 【請求項2】 前記円錐プリズム光学系は、前記中心領
    域の光束と前記周辺領域の光束とのそれぞれ光軸からの
    距離に対する光強度の分布を前記被照射面上で互いに補
    償するように構成されていることを特徴とする請求項1
    に記載の均一照明用光学系。
  3. 【請求項3】 光ファイバからの照明光をコリメートし
    て得た平行光束を、その光軸を同心円状にとり囲む円筒
    内面状の被照射面に対して帯状に全周にわたって照射す
    るよう反射または屈折させる照射光学部材を備えた均一
    照明用光学系において、 前記照射光学部材として、前記平行光束を回折効率の等
    しい0次光と1次光とに分離するゾーンプレートと、前
    記0次光と1次光とを前記被照射面上で重ねるように合
    成する反射または屈折面とを有する円錐プリズム光学系
    を備えたことを特徴とする均一照明用光学系。
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