JPH0685040A - 非接触型移動テーブル - Google Patents

非接触型移動テーブル

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JPH0685040A
JPH0685040A JP25756892A JP25756892A JPH0685040A JP H0685040 A JPH0685040 A JP H0685040A JP 25756892 A JP25756892 A JP 25756892A JP 25756892 A JP25756892 A JP 25756892A JP H0685040 A JPH0685040 A JP H0685040A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】構造が簡単で軸受面が少なく、小型化、軽量化
及びコスト低減並びに使用材料の範囲が広い非接触型移
動テーブルを提供する。 【構成】平面な上面と該上面に直角な平面との２面をガ
イド面２０ａ、２０ｂとするガイドテーブル２０と、ガ
イドテーブル２０のガイド面２０ａ、２０ｂに対応した
２面の移動面２２ａ、２３ａを有し、ガイド面２０ａ、
２０ｂに移動面２２ａ、２３ａが対向して配置された移
動テーブル２１とを備え、ガイドテーブル２０のガイド
面２０ａ、２０ｂとガイド面２０ａ、２０ｂに対向した
移動テーブル２１の移動面２２ａ、２３ａの対応した両
面には、それぞれ何れか一方の面より他方の面に向けて
圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、ガイド面２０
ａ、２０ｂ又は移動面２２ａ、２３ａ又はの何れか一方
より真空吸引する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテー
ブル２０のガイド面２０ａ、２０ｂと移動テーブル２１
の移動面２２ａ、２３ａとで非接触剛性軸受を構成した
２面の非接触剛性軸受を有して成る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は非接触型移動テーブルに
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、非接触型１軸移動テーブルとし
て、図２３及び図２４に示す圧縮エアー方式と、図２５
に示す圧縮エアー・磁気併用方式とが知られている。
【０００３】図２３の圧縮エアー方式は、上下及び左右
の４面にガイド面８０ａ、８０ｂ、８０ｃ、８０ｄを有
するガイドテーブル８０と、ガイド面８０ａ、８０ｂ、
８０ｃ、８０ｄに数μｍの間隔（エアーギャップ）を保
つ移動面８１ａ、８１ｂ、８１ｃ、８１ｄを有する移動
テーブル８１とから成り、移動テーブル８１の移動面８
１ａ乃至８１ｄよりガイドテーブル８０のガイド面８０
ａ乃至８０ｄに圧縮エアー８２を吹き付けて移動テーブ
ル８１をガイドテーブル８０より浮かせて非接触型１軸
移動テーブルとしている。そこで、移動テーブル８１に
紙面に垂直な方向より外力を加えると、移動テーブル８
１は非接触で紙面に垂直な１軸方向に移動することがで
きる。
【０００４】図２４の圧縮エアー方式は、ガイド部８
５、８６を有するガイドテーブル８７と移動テーブル８
８とから成っている。ガイド部８５は上下左面にガイド
面８５ａ、、８５ｂ、８５ｃを有し、ガイド部８６は上
下右面にガイド面８６ａ、８６ｂ、８６ｃを有する。移
動テーブル８８は、前記ガイド面８５ａ、８５ｂ、８５
ｃ及び８６ａ、８６ｂ、８６ｃに数μの隙間を保つ移動
面８８ａ、８８ｂ、８８ｃ、８８ｄ、８８ｅを有する。
そして、移動テーブル８８の移動面８８ａ乃至８８ｅよ
りガイドテーブル８７のガイド面８５ａ、８５ｂ、８５
ｃ及び８６ａ、８６ｂ、８６ｃに圧縮エアー８９を吹き
付けて移動テーブル８８を浮かせて非接触型１軸移動テ
ーブルとしている。そこで、移動テーブル８８に紙面に
垂直な方向より外力を加えると、移動テーブル８８は非
接触で紙面に垂直な１軸方向に移動することができる。
【０００５】図２５の圧縮エアー・磁気併用方式は、図
２４の方式における下方部の軸受部を改良したもので、
移動テーブル８８の下面に永久磁石９０、９１を設け、
ガイドテーブル８７にも前記永久磁石９０、９１と吸引
する磁極を有する永久磁石９２、９３を設けたものであ
る。そこで、移動テーブル８８よりガイドテーブル８７
のガイド面に圧縮エア８９を吹き付けると、水平方向は
圧縮エアどうしで反発し合い水平方向の剛性が得られ、
垂直方向は圧縮エアと永久磁石（９０、９１と９２、９
３）の吸引力により反発し合い垂直方向の剛性が得ら
れ、非接触型１軸移動テーブルと成る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、上下
方向の圧縮剛性及び引張剛性を得るには、図２３の場合
はガイド面８０ａ、移動面８１ａとガイド面８０ｂ、移
動面８１ｂの上下２面、図２４の場合はガイド面８５
ａ、移動面８８ａとガイド面８６ａ、移動面８８ａ，ガ
イド面８５ｂ、移動面８８ｂとガイド面８６ｂ、移動面
８８ｄの上下４面、図２５の場合はガイド面８５ａ、移
動面８８ａとガイド面８６ａ、移動面８８ａと永久磁石
９０、９２と永久磁石９１、９３の上下４面を圧縮エア
ーで拘束するか、圧縮エアーと永久磁石で拘束してい
る。また１軸移動テーブルを構成するためには、前記し
た上下方向の圧縮剛性及び引張剛性の他に、左右方向の
圧縮剛性及び引張剛性を得るための左右２面（図２３の
場合はガイド面８０ｃ、移動面８１ｃとガイド面８０
ｄ、移動面８１ｄ、図２４及び図２５の場合はガイド面
８５ｃ、移動面８８ｄとガイド面８６ｃ、移動面８８
ｅ）を圧縮エアーで拘束する必要があるので、少なくと
も上下左右の４面の軸受面を必要とする。また２軸移動
テーブルであるＸＹテーブルを構成する場合には、前記
１軸移動テーブルを２組用い、移動テーブルが直交する
ように重ね合わせる手段を採る必要がある。
【０００７】前記したように、従来技術は軸受面の数が
多く、また非常に小さい数μｍのエアーギャップを保持
するようにする必要があるので、高加工精度を必要とす
ると共に、組立調整が非常に困難でありコスト高にな
る。また軸受面の数が多いことにより、移動テーブルが
大型化、重量化及び複雑化し、この点からもコスト高に
なる。またエアーギャップが非常に小さいことにより、
熱膨張の影響が大きく使用する材料が限定される。
【０００８】本発明の目的は、構造が簡単で軸受面が少
なく、小型化、軽量化及びコスト低減並びに使用材料の
範囲が広い非接触型移動テーブルを提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の第１の手段は、平面な上面と該上面に直角又
はある角度を有する平面との２面をガイド面とするガイ
ドテーブルと、このガイドテーブルの２面のガイド面に
対応した２面の移動面を有し、ガイド面に移動面が対向
して配置された移動テーブルとを備え、ガイドテーブル
のガイド面とこのガイド面に対向した移動テーブルの移
動面の対応した両面には、それぞれ何れか一方の面より
他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴
と、移動面又はガイド面の何れか一方より真空吸引する
真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルの２面のガイ
ド面と移動テーブルの２面の移動面とで非接触剛性軸受
を構成した２面の非接触剛性軸受を有して成ることを特
徴とする。
【００１０】上記目的を達成するための本発明の第２の
手段は、平面な上面と該上面に直角又はある角度を有す
るＸ軸方向に平行な平面とからなる２面をＸ軸ガイド面
とするＸ軸ガイドテーブルと、このＸ軸ガイドテーブル
の２面のＸ軸ガイド面に対応した２面をＸ軸移動面と
し、また上面と該上面に直角又はある角度を有するＹ軸
方向に平行な平面よりなる２面をＹ軸ガイド面として有
し、Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面にＸ軸移動面が
対向して配置されたＸ軸移動テーブルと、このＸ軸移動
テーブルの２面のＹ軸ガイド面に対応した２面のＹ軸移
動面を有し、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面にＹ軸移
動面が対向して配置されたＹ軸移動テーブルとを備え、
Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブル
のＸ軸移動面とは、請求項１におけるガイドテーブルの
ガイド面と移動テーブルの移動面とで構成する２面の非
接触剛性軸受を持ったＸ軸テーブルを成し、Ｘ軸移動テ
ーブルのＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルのＹ軸移動面
とは、請求項１におけるガイドテーブルのガイド面と移
動テーブルの移動面とで構成する２面の非接触剛性軸受
を持ったＹ軸テーブルを成し、Ｘ軸テーブルとＹ軸テー
ブルとでＸＹテーブルを構成することを特徴とする。
【００１１】上記目的を達成するための本発明の第３の
手段は、上面が平面よりなるＸＹ軸ガイド面と上面に直
角又はある角度を有するＸ軸方向に平行な平面のＸ軸ガ
イド面とを有するガイドテーブルと、このガイドテーブ
ルの２面のＸＹ軸ガイド面とＸ軸ガイド面に対応した２
面のＸ軸移動面を有し、更に上面に直角又はある角度を
有するＹ軸方向に平行な平面よりなるＹ軸ガイド面を有
し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面
にＸ軸移動面が対向して配置されたＸＹ軸ガイドテーブ
ルと、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸ガイド
テーブルのＹ軸ガイド面に対応した２面のＹ軸移動面を
有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸ガイド
テーブルのＹ軸ガイド面にＹ軸移動面が対向して配置さ
れたＸＹ軸移動テーブルとを備え、ガイドテーブルのＸ
Ｙ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテーブル
の２面のＸ軸移動面とは、請求項１におけるガイドテー
ブルのガイド面と移動テーブルの移動面とで構成する２
面の非接触剛性軸受を成し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガ
イド面及びＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面とＸＹ
軸移動テーブルの平面のＹ軸移動面とは、請求項１にお
けるガイドテーブルのガイド面と移動テーブルの移動面
とで構成する２面の非接触剛性軸受を成し、ＸＹテーブ
ルを構成したことを特徴とする。
【００１２】上記目的を達成するための本発明の第４の
手段は、上面が平面なＸＹ軸ガイド面と上面に直角又は
ある角度を有するＸ軸方向に平行なＸ軸ガイド面と上面
に直角又はある角度を有するＹ軸方向に平行なＹ軸ガイ
ド面とを有するガイドテーブルと、このガイドテーブル
のＸＹ軸ガイド面とＸ軸ガイド面に対応した２面のＸ軸
移動面を有し、更に上面に直角又はある角度を有するＹ
軸方向に平行な平面よりなるＹ軸ガイド面を有し、ガイ
ドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面にＸ軸移
動面が対向して配置されたＸ軸移動テーブルと、ガイド
テーブルのＸＹ軸ガイド面とＹ軸ガイド面に対応した２
面のＹ軸移動面を有し、更に上面に直角又はある角度を
有するＸ軸方向に平行な平面よりなるＸ軸ガイド面を有
し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＹ軸ガイド面
にＹ軸移動面が対向して配置されたＹ軸移動テーブル
と、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面、Ｙ軸移動テーブ
ルのＸ軸ガイド面及びガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面
に対応したＹ軸移動面、Ｘ軸移動面及びＸＹ軸移動面と
を有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面に載置された
ＸＹ軸移動テーブルとを備え、ガイドテーブルのＸＹ軸
ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブルの２面の
Ｘ軸移動面とは、請求項１におけるガイドテーブルのガ
イド面と移動テーブルの移動面とで構成する２面の非接
触剛性軸受を成し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及
びＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルの２面のＹ軸移動面
とは、請求項１におけるガイドテーブルのガイド面と移
動テーブルの移動面とで構成する２面の非接触剛性軸受
を成し、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とＸＹ軸移動
面、Ｙ軸移動面とＸＹ軸移動面及びＹ軸移動テーブルの
Ｘ軸ガイド面とガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面、Ｘ軸
移動テーブルのＹ軸移動面とガイドテーブルのＸＹ軸ガ
イド面とは、請求項１におけるガイドテーブルのガイド
面と移動テーブルの移動面とで構成する２面の非接触剛
性軸受を構成して成ることを特徴とする。
【００１３】
【作用】第１の手段による１組のガイド面と移動面との
構成によれば、エアー供給穴より供給する圧縮エアーに
より、移動テーブルはガイドテーブルのガイド面より浮
き上がる。この時、移動テーブルは、移動テーブルの重
量と圧縮エアの吹き出し圧力によってバランスを採って
いる。しかし、移動テーブルは、空中に浮かんだ状態で
拘束力がなく、非常に不安定である。そこで、真空吸引
穴より真空圧を供給すると、ガイドテーブルのガイド面
と移動テーブルの移動面との隙間が少なくなり、ガイド
面及び移動面に垂直な方向からの圧縮力及び引張力に耐
えられるようになり、平面移動剛性軸受が得られる。そ
こで、移動テーブルにガイド面及び移動面に平行な方向
から外力を加えると、移動テーブルはその加えられた外
力の方向に軽く移動する。このように、ガイド面と移動
面との１対の１面で圧縮及び引張剛性を有する非接触剛
性軸受を構成し、非接触平面移動テーブルが得られる。
【００１４】そこで、第１の手段のようにガイド面と移
動面を２組直角又はある角度に組み合わせた構成にする
と、移動テーブルは、上下方向及び左右方向からの圧縮
力及び引張力に耐える剛性軸受となる。即ち、移動テー
ブルは、上下方向及び左右方向（ガイド面と移動面に直
角な方向）が拘束され、１軸方向に非接触で移動するこ
とができる。このように、２対の２面より成る少ない軸
受面で非接触剛性軸受を構成し、１軸移動テーブルが得
られる。また軸受面の数が少ないことにより、移動テー
ブルが軽量化できると共に、コストの低減が図れる。ま
た直角又はある角度を有する２面で軸受を構成するの
で、熱膨張によるエアギャップへの影響が少なく、ガイ
ドテーブル及び移動テーブルの使用材料の範囲が広い。
更にエアギャップを高精度に管理する必要がないので、
組立調整が容易である。
【００１５】第２の手段によれば、Ｘ軸移動テーブル
は、Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸ軸移動テー
ブルのＸ軸移動面とでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面とＸ軸移
動面の面に直角な方向）の移動が拘束されているので、
Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面に沿ってＸ軸方向の
みに移動可能である。またＹ軸移動テーブルは、Ｘ軸移
動テーブルに対し、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面と
Ｙ軸移動テーブルのＹ軸移動面とでＹ軸方向（Ｙ軸ガイ
ド面とＹ軸移動面の面に直角な方向）の移動が拘束され
ているので、前記のようにＸ軸移動テーブルがＸ軸方向
に移動させられると、Ｙ軸移動テーブルも共にＸ軸方向
に移動する。またＹ軸移動テーブルは、前記したように
Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面とでＹ軸方向の移動が拘束さ
れているので、Ｙ軸方向のみに移動可能である。従っ
て、Ｘ軸移動テーブルのＸ軸方向の移動とＹ軸移動テー
ブルとのＹ軸方向の移動の組み合わせにより、Ｙ軸移動
テーブルをＸＹ軸方向の任意の位置に移動させることが
できる。即ち、前記第１の手段を２組組み合わせること
により、Ｘ軸ガイド面とＸ軸移動面の直角な２対の２
面、Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の直角な２対の２面の計
４対の４面で非接触剛性軸受を構成し、２軸移動テーブ
ルが得られる。
【００１６】第３の手段によれば、ＸＹ軸ガイドテーブ
ルは、ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテ
ーブルのＸ軸移動面とでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面とＸ軸
移動面の面に直角な方向）が拘束されているので、ガイ
ドテーブルのＸ軸ガイド面に沿ってＸ軸方向のみに移動
可能である。またＸＹ軸移動テーブルは、ＸＹ軸ガイド
テーブルのＹ軸ガイド面とＸＹ軸移動テーブルのＹ軸移
動面とでＸ軸方向（Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の面に直
角な方向）が拘束されているので、前記のようにＸＹ軸
ガイドテーブルをＸ軸方向に移動させると、ＸＹ軸移動
テーブルはＸＹ軸ガイドテーブルと共にＸ軸方向のみに
移動する。そこで、逆にＸＹ軸移動テーブルをＸ軸方向
に移動させてもＸＹ軸ガイドテーブルはＸＹ軸移動テー
ブルと共に移動する。またＸＹ軸移動テーブルは、前記
したようにＸ軸方向はＸＹ軸ガイドテーブルと共に移動
可能であるので、ＸＹ軸移動テーブルをＹ軸方向に移動
させると、ＸＹ軸移動テーブルはＹ軸方向のみに移動可
能である。従って、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸方向の移
動とＸＹ軸移動テーブルのＹ軸方向の移動の組み合わ
せ、又はＸＹ軸ガイドテーブルのＸ軸方向の移動とＸＹ
軸移動テーブルのＹ軸方向の組み合わせにより、ＸＹ軸
移動テーブルをＸＹ軸方向の任意の位置に移動させるこ
とができる。即ち、前記第２の手段の場合と同様に、４
面で非接触の２軸移動テーブルであるＸＹテーブルを構
成することができる。
【００１７】第４の手段によれば、ＸＹ軸ガイド面、Ｘ
軸ガイド面は前記第２の手段のＸ軸ガイドテーブルの直
角又はある角度を有する２面のＸ軸ガイド面に相当し、
直角又はある角度を有する２面のＸ軸移動面は第２の手
段のＸ軸移動テーブルの直角又はある角度を有する２面
のＸ軸移動面に相当する。またＸＹ軸ガイド面、Ｙ軸ガ
イド面と直角又はある角度を有する２面のＹ軸移動面と
の関係は、前記ＸＹ軸ガイド面、Ｘ軸ガイド面と直角又
はある角度を有する２面のＸ軸移動面との関係と同じ
で、軸がＹ軸方向に変わったのみである。従って、Ｘ軸
移動テーブルは、ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸ軸
移動テーブルのＸ軸移動面とでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面
とＸ軸移動面の面に直角な方向）の移動が拘束されてい
るので、ガイドテーブルのＸ軸ガイド面に沿ってＸ軸方
向のみに移動可能である。同様に、Ｙ軸移動テーブル
は、ガイドテーブルのＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブル
のＹ軸移動面とでＸ軸方向（Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面
の面に直角な方向）の移動が拘束されているので、ガイ
ドテーブルのＹ軸ガイド面に沿ってＹ軸方向のみに移動
可能である。またＸＹ軸移動テーブルは、Ｙ軸ガイド部
のＸ軸ガイド面とＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とで
Ｙ軸方向の移動が拘束されているので、Ｘ軸移動テーブ
ルがＸ軸方向に移動すると、ＸＹ軸移動テーブルはＸ軸
移動テーブルと共にＸ軸方向に移動する。また同様に、
ＸＹ軸移動テーブルは、Ｘ軸ガイド部のＹ軸ガイド面と
ＸＹ軸移動テーブルのＹ軸移動面とでＸ軸方向の移動が
拘束されているので、Ｙ軸移動テーブルがＹ軸方向に移
動すると、ＸＹ軸移動テーブルはＹ軸移動テーブルと共
にＹ軸方向に移動する。従って、Ｘ軸移動テーブルのＸ
軸方向の移動とＹ軸移動テーブルの移動の組み合わせに
より、ＸＹ軸移動テーブルをＸＹ軸方向の任意の位置に
移動させることができる。このように、ＸＹ軸ガイド面
とＸ軸移動面、Ｘ軸ガイド面とＸ軸移動面の２対の２面
でＸ軸移動テーブルを構成し、ＸＹ軸ガイド面とＹ軸移
動面、Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面の２対の２面でＹ軸移
動テーブルを構成し、Ｙ軸ガイド面とＹ軸移動面とＸ軸
ガイド面とＸ軸移動面とＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸移動面
の３対の３面でＸＹ移動テーブルを構成する。即ち、７
面で非接触の２軸移動テーブルであるＸＹテーブルを構
成する。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の基本構成の一実施例を図１乃
至図７により説明する。図７に示すように、ガイドテー
ブル１の上面はガイド面１ａとなっており、このガイド
面１ａ上には移動テーブル２が載置されている。移動テ
ーブル２の下面は移動面２ａとなっており、この移動面
２ａには、図１に示すように、外周部にエアー供給溝２
ｂが設けられ、エアー供給溝２ｂに対応した部分には、
図３に示すように側面２ｃから内部に向けてエアー通路
穴２ｅが設けられ、このエアー通路穴２ｅに連通するよ
うに側面２ｄにエアー通路穴２ｆが設けられ、これらの
エアー通路穴２ｅ、２ｆの側面２ｃ、２ｄは側は栓３で
密閉されている。そして、図１、図２、図４に示すよう
に、エアー供給溝２ｂとエアー通路穴２ｅ、２ｆが連通
するようにエアー供給溝２ｂの各辺にはエアー供給穴２
ｇが設けられている。前記エアー供給溝２ｂの内側部分
には、多数の真空吸引穴２ｈが設けられている。そし
て、真空吸引穴２ｈに連通するように側面２ｃよりエア
ー通路穴２ｉが設けられ、またエアー通路穴２ｉに連通
するように側面２ｊにはエアー通路穴２ｋが設けられ、
これらエアー通路穴２ｉ、２ｋの側面２ｃ、２ｊ側は栓
４で密閉されている。またエアー通路穴２ｋに連通する
ように側面２ｃにはエアー通路穴２ｐが設けられてい
る。また移動テーブル２には、エアー通路穴２ｅ、２ｆ
にエアを供給するエアー供給パイプ５と、エアー通路穴
２ｐ、２ｋ、２ｉ、２ｈより真空吸引するエアー吸引パ
イプ６が接続されている。
【００１９】前記エアー供給パイプ５及びエアー吸引パ
イプ６には、図８に示すように、それぞれホース１０、
１１が接続され、ホース１０には流量自動調節部１２、
圧力計１３を介してエアーコンプレッサ１４が接続さ
れ、ホース１１には真空ポンプ又はベンチュリ形真空発
生機１５及び真空圧センサ１６が接続されている。ここ
で、ホース１０、１１のエアー供給パイプ５、エアー吸
引パイプ６側の部分は、移動テーブル２への抵抗を少な
くするために柔軟性のあるものを用いるのが良い。そし
て、エアーコンプレッサ１４及び真空ポンプ１５は制御
部１７によって制御され、また流量自動調節部１２の流
量は、真空圧センサ１６の真空度によって制御部１７よ
り制御されるようになっている。
【００２０】次に作用について説明する。エアー供給パ
イプ５に圧縮エアを供給すると、この圧縮エアは、エア
ー通路穴２ｅ、２ｆを通ってエアー供給穴２ｇよりエア
ー供給溝２ｂに供給する。これにより、移動テーブル２
はガイドテーブル１のガイド面１ａより浮き上がる。こ
の時、移動テーブル２は、移動テーブル２の重量と圧縮
エアの供給圧力によってバランスを採っている。しか
し、移動テーブル２は、空中に浮かんだ状態で拘束力が
なく、非常に不安定である。そこで、エアー吸引パイプ
６より真空吸引を行なうと、この真空吸引力は、エアー
通路穴２ｐ、２ｋ、２ｉを通して真空吸引穴２ｈよりガ
イドテーブル１のガイド面１ａと移動テーブル２の移動
面２ａ間のエアの吸引を行なう。これにより、ガイドテ
ーブル１のガイド面１ａと移動テーブル２の移動面２ａ
との隙間が少なくなり、移動テーブル２の上方（ガイド
面１ａ、移動面２ａに垂直な方向）からの圧縮力及び引
張力に耐えられるようになり、平面移動剛性軸受が得ら
れる。そこで、移動テーブル２に横方向（ガイド面１
ａ、移動面２ａに平行な方向）から外力を加えると、移
動テーブル２はその加えられた外力の方向に軽く移動す
る。この場合、移動テーブル２は数ｇの力で移動させる
ことができる。
【００２１】このように、ガイド面１ａと移動面２ａと
の１対の１面で圧縮及び引張剛性を有する非接触剛性軸
受を構成し、非接触平面移動テーブルが得られる。また
対の面でエア供給及びエア吸引を行なうので、エアの自
己循環性があり、エアが他部に殆ど漏れなくクリーンで
ある。
【００２２】図９はエアー供給パイプ５に供給するエア
ー流量に従ってエアー吸引パイプ６より吸引する真空圧
を高めた場合における引張剛性と圧縮剛性を実験によっ
て求めた結果を示す。例えばエアー流量を２．５Ｌ／ｍ
ｉｎとし、その時の真空圧を−６５ｃｍＨｇとすると、
引張剛性は約８Ｋｇｆ／μｍとなり、圧縮剛性は約２４
Ｋｇｆ／μｍとなった。ここで、移動テーブル２に搭載
する物の重量によって圧縮剛性をどの程度にするかは実
験によって設定する必要がある。
【００２３】次に本発明に成る非接触型移動テーブルの
一実施例について説明する。図１０は１軸移動テーブル
を構成した第１実施例を示す。ガイドテーブル２０の上
面及びこの上面に垂直な側面はガイド面２０ａ、２０ｂ
となっており、移動テーブル２１はガイド面２０ａ、２
０ｂに対応して移動部２２、２３を有する。そして、移
動部２２、２３はそれぞれ図１乃至図６に示す移動テー
ブル２と同じ構成よりなるエア吹き出し手段及びエア吸
引手段が形成されている。即ち、ガイドテーブル２０の
ガイド面２０ａと移動部２２の移動面２２ａは、ガイド
テーブル１のガイド面１ａと移動テーブル２の移動面２
ａと同じ構成より成る剛性軸受をなし、ガイドテーブル
２０のガイド面２０ｂと移動部２３の移動面２３ａは、
ガイドテーブル１のガイド面１ａと移動テーブル２の移
動面２ａと同じ構成より成る剛性軸受となっている。
【００２４】従って、移動部２２は、前記実施例と同様
に、上下方向（ガイド面２０ａ、移動面２２ａに垂直な
方向）からの圧縮力及び引張力に耐える剛性軸受とな
り、移動部２３も前記実施例と同じように、左右方向
（ガイド面２０ｂ、移動面２３ａに垂直な方向）からの
圧縮力及び引張力に耐える剛性軸受となる。即ち、移動
テーブル２１は、上下方向及び左右方向（ガイド面２０
ａと移動面２２ａ及びガイド面２０ｂと移動面２３ａに
垂直な方向）が拘束され、紙面に垂直な方向（ガイド面
２０ａ、２０ｂ、移動面２２ａ、２３ａに平行な方向）
のみに非接触で移動することができる。
【００２５】このように、移動部２２、２３を直角に組
み合わせ、直角なガイド面２０ａ、２０ｂを有するガイ
ドテーブル２０に載置することにより、ガイド面２０ａ
と移動面２２ａ及びガイド面２０ｂと移動面２３ａの２
対の２面より成る少ない軸受面で非接触剛性軸受を構成
し、１軸移動テーブルが得られる。また軸受面の数が少
ないことにより、移動テーブル２が軽量化できると共
に、コストの低減が図れる。また直角な２面で軸受を構
成するので、熱膨張による影響が少なく、ガイドテーブ
ル１及び移動テーブル２の使用材料の範囲が広い。更に
エアギャップを高精度に管理する必要がないので、組立
調整及び加工が容易である。
【００２６】図１１は前記第１実施例の変形例である１
軸移動テーブルの第２実施例を示す。本実施例は、前記
第１実施例におけるガイドテーブル２０の側面であるガ
イド面２０ｂに代え、ガイドテーブル２０の上面より上
方に伸びたガイド部２５を設け、このガイド部２５に垂
直なガイド面２５ａを設けて成る。従って、移動テーブ
ル２２の移動部２３も上方に伸び、この移動部２３に垂
直な移動面２３ａを設けて成る。このように構成しても
前記実施例と同様の効果が得られる。
【００２７】図１２は本発明の２軸移動テーブルの第１
実施例を示す。Ｘ軸ガイドテーブル３０の上面及び奥側
面はＸ軸ガイド面３０ａ、３０ｂとなっており、Ｘ軸ガ
イド面３０ａ、３０ｂは図１０のガイドテーブル２０の
上面及び側面のガイド面２０ａ、２０ｂに相当する。Ｘ
軸ガイドテーブル３０上にはＸ軸移動テーブル３１が載
置されており、Ｘ軸移動テーブル３１はＸ軸ガイド面３
０ａ、３０ｂにそれぞれ対応したＸ軸移動面３２ａ、３
３ａを有するＸ軸移動部３２、３３と、Ｘ軸ガイド面３
０ａに垂直でＹ軸方向に平行な平面より成るＹ軸ガイド
面３４ａを有するＹ軸ガイド部３４とから成っている。
またＸ軸移動部３２の上面は水平面より成るＹ軸ガイド
面３２ｂと成っている。そして、Ｘ軸移動面３２ａ、３
３ａは図１０の移動テーブル２１の下面及び側面の移動
面２２ａ、２３ａに相当する。即ち、Ｘ軸ガイドテーブ
ル３０とＸ軸移動テーブル３１とでＸ軸テーブルを構成
している。Ｘ軸移動テーブル３１上にはＹ軸移動テーブ
ル３５が載置されており、前記Ｙ軸ガイド面３２ｂ、３
４ａに対応した面にＹ軸移動面３６ａ、３７ａを有する
Ｙ軸移動部３６、３７から成っている。即ち、Ｘ軸移動
テーブル３１のＹ軸ガイド面３２ｂ、３４ａはそれぞれ
図１１のガイドテーブル２０のガイド面２０ａ、２５ａ
に相当し、Ｙ軸移動テーブル３５のＹ軸移動面３６ａ、
３７ａは図１１の移動テーブル２１の移動面２２ａ、２
３ａに相当し、Ｘ軸移動テーブル３１とＹ軸移動テーブ
ル３５とでＹ軸テーブルを構成している。
【００２８】従って、Ｘ軸移動テーブル３１は、Ｘ軸ガ
イドテーブル３０のＸ軸ガイド面３０ｂとＸ軸移動テー
ブル３１のＸ軸移動面３３ａとでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド
面３０ｂとＸ軸移動面３３ａの面に垂直な方向）の移動
が拘束されているので、Ｘ軸ガイドテーブル３０のＸ軸
ガイド面３０ｂに沿ってＸ軸方向のみに移動可能であ
る。またＹ軸移動テーブル３５は、Ｘ軸移動テーブル３
１に対し、Ｘ軸移動テーブル３１のＹ軸ガイド面３４ａ
とＹ軸移動テーブル３５のＹ軸移動面３７ａとでＹ軸方
向（Ｙ軸ガイド面３４ａとＹ軸移動面３７ａの面に垂直
な方向）の移動が拘束されているので、前記のようにＸ
軸移動テーブル３１がＸ軸方向に移動させられると、Ｙ
軸移動テーブル３５も共にＸ軸方向に移動する。またＹ
軸移動テーブル３５は、前記したようにＹ軸ガイド面３
４ａとＹ軸移動面３７ａとでＹ軸方向の移動が拘束され
ているので、Ｙ軸方向のみに移動可能である。従って、
Ｘ軸移動テーブル３１のＸ軸方向の移動とＹ軸移動テー
ブル３５とのＹ軸方向の移動の組み合わせにより、Ｙ軸
移動テーブル３５をＸＹ軸方向の任意の位置に移動させ
ることができる。即ち、図１０と図１１の移動テーブル
２１を２組組み合わせることにより、Ｘ軸ガイド面３０
ａとＸ軸移動面３２ａ、Ｘ軸ガイド面３０ｂとＸ軸移動
面３３ａ、Ｙ軸ガイド面３２ｂとＹ軸移動面３６ａ、Ｙ
軸ガイド面３４ａとＹ軸移動面３７ａの４対の４面で非
接触剛性軸受を構成し、２軸移動テーブルが得られる。
【００２９】前記Ｘ軸移動テーブル３１のＹ軸ガイド部
３４のＹ軸ガイド面３４ａと反対側面にＸ軸ボイスコイ
ルモータ４０のコイル部４０ａを固定し、Ｘ軸ボイスコ
イルモータ４０の磁石部４０ｂをＸ軸モータ台４１に固
定する。またＹ軸移動テーブル３５のＹ軸方向に垂直な
面にＹ軸ボイスコイルモータ４２のコイル部４２ａを固
定し、Ｙ軸ボイスコイルモータ４２の磁石部４２ｂをＹ
軸モータ台４３に固定する。これにより、Ｘ軸移動テー
ブル３１はＸ軸ボイスコイルモータ４０によってＸ軸方
向に移動させられ、Ｙ軸移動テーブル３５はＹ軸ボイス
コイルモータ４２によってＹ軸方向に移動させられ、Ｘ
軸移動テーブル３１及びＹ軸移動テーブル３５の移動を
自動制御できる。前記したように、コイル部４２ａはＹ
軸移動テーブル３５に固定され、Ｙ軸移動テーブル３５
がＸ軸方向に移動すると共に移動するが、磁石部４２ｂ
はＹ軸モータ台４３に固定されて移動しないので、磁石
部４２ｂのコイル部４２ａ内に配設された部分４２ｃと
コイル部４２ａ間には、Ｘ軸方向にＹ軸移動テーブル３
５が移動できる範囲の間隔が設けられている。
【００３０】図１３は２軸移動テーブルの第２実施例
で、前記第１実施例の変形例を示す。ガイドテーブル４
５は、上面がＸＹ軸ガイド面４５ａに、奥側面がＸ軸ガ
イド面４５ｂに成っている。ガイドテーブル４５上には
ＸＹ軸ガイドテーブル４６が載置されており、ＸＹ軸ガ
イドテーブル４６は、ＸＹ軸ガイド面４５ａ、Ｘ軸ガイ
ド面４５ｂにそれぞれ対応したＸ軸移動面４７ａ、４８
ａを有するＸ軸移動部４７、４８と、ＸＹ軸ガイド面４
５ａに垂直でＹ軸方向に平行な平面より成るＹ軸ガイド
面４９ａを有するＹ軸ガイド部４９とから成っている。
またガイドテーブル４５上にはＸＹ軸移動テーブル５０
が載置されており、ＸＹ軸移動テーブル５０は、ＸＹ軸
ガイド面４５ａ、Ｙ軸ガイド面４９ａにそれぞれ対応し
たＹ軸移動面５１ａ、５２ａを有するＹ軸移動部５１、
５２とＸ軸方向に垂直なＸ軸モータ取付部５３と、Ｙ軸
方向に垂直なＹ軸モータ取付部５４とから成っている。
そして、ＸＹ軸ガイド面４５ａ、Ｘ軸ガイド面４５ｂは
図１２のＸ軸ガイドテーブル３０のＸ軸ガイド面３０
ａ、３０ｂに相当し、Ｘ軸移動面４７ａ、４８ａは図１
２のＸ軸移動テーブル３１のＸ軸移動面３２ａ、３３ａ
に相当する。即ち、ガイドテーブル４５とＸＹ軸ガイド
テーブル４６とでＸ軸テーブルを構成している。またＸ
Ｙ軸ガイド面４５ａ、Ｙ軸ガイド面４９ａは図１２のＸ
軸移動テーブル３１のＹ軸ガイド面３２ｂ、３４ａに相
当し、Ｙ軸移動面５１ａ、５２ａは図１２のＹ軸移動面
３６ａ、３７ａに相当する。即ち、ガイドテーブル４５
とＸＹ軸ガイドテーブル４６のＹ軸ガイド部４９とＸＹ
軸移動テーブル５０とでＹ軸テーブルを構成している。
【００３１】従って、ＸＹ軸ガイドテーブル４６は、ガ
イドテーブル４５のＸ軸ガイド面４５ｂとＸＹ軸ガイド
テーブル４６のＸ軸移動面４８ａとでＹ軸方向（Ｘ軸ガ
イド面４５ｂとＸ軸移動面４８ａの面に垂直な方向）が
拘束されているので、ガイドテーブル４５のＸ軸ガイド
面４５ｂに沿ってＸ軸方向のみに移動可能である。また
ＸＹ軸移動テーブル５０は、ＸＹ軸ガイドテーブル４６
のＹ軸ガイド面４９ａとＸＹ軸移動テーブル５０のＹ軸
移動面５２ａとでＸ軸方向（Ｙ軸ガイド面４９ａとＹ軸
移動面５２ａの面に垂直な方向）が拘束されているの
で、前記のようにＸＹ軸ガイドテーブル４６をＸ軸方向
に移動させると、ＸＹ軸移動テーブル５０はＸＹ軸ガイ
ドテーブル４６と共にＸ軸方向のみに移動する。そこ
で、逆にＸＹ軸移動テーブル５０をＸ軸方向に移動させ
てもＸＹ軸ガイドテーブル４６はＸＹ軸移動テーブル５
０と共に移動する。またＸＹ軸移動テーブル５０は、前
記したようにＸ軸方向はＸＹ軸ガイドテーブル４６と共
に移動可能であるので、ＸＹ軸移動テーブル５０をＹ軸
方向に移動させると、ＸＹ軸移動テーブル５０はＹ軸方
向のみに移動可能である。従って、ＸＹ軸移動テーブル
５０のＸ軸方向の移動とＸＹ軸移動テーブル５０のＹ軸
方向の移動の組み合わせ、又はＸＹ軸ガイドテーブル４
６のＸ軸方向の移動とＸＹ軸移動テーブル５０のＹ軸方
向の組み合わせにより、ＸＹ軸移動テーブル５０をＸＹ
軸方向の任意の位置に移動させることができる。即ち、
前記実施例の場合と同様に、４面で非接触の２軸移動テ
ーブルであるＸＹテーブルを構成することができる。
【００３２】そこで、ＸＹ軸移動テーブル５０のＸ軸モ
ータ取付部５３にＸ軸ボイスコイルモータ４０のコイル
部４０ａを固定し、Ｘ軸ボイスコイルモータ４０の磁石
部４０ｂをガイドテーブル４５に固定し、またＹ軸モー
タ取付部５４にＹ軸ボイスコイルモータ４２のコイル部
４２ａを固定し、Ｙ軸ボイスコイルモータ４２の磁石部
４２ｂをＹ軸モータ台４３に固定すると、図１２の場合
と同様にＸＹ軸移動テーブル５０をＸＹ軸方向の任意の
位置に自動制御できる。なお、上記実施例はＸＹ軸移動
テーブル５０をＸ軸ボイスコイルモータ４０でＸ軸方向
に移動させるようにしたが、ＸＹ軸ガイドテーブル４６
をＸ軸ボイスコイルモータ４０でＸ軸方向に移動させて
もよい。
【００３３】図１４は２軸移動テーブルの第３実施例
で、前記第２実施例の変形例を示す。なお、図１３と同
じ又は相当部材には同一符号を付して説明する。前記第
２実施例におけるガイドテーブル４５とＸＹ軸移動テー
ブル４６とで構成するＸ軸テーブルは、図１０の構成よ
り成っている。本実施例は、ガイドテーブル４５に垂直
で上方に伸びたＸ軸ガイド部５５にＸ軸方向に平行なＸ
軸ガイド面５５ａを設けて成る。従って、ＸＹ軸ガイド
テーブル４６のＸ軸移動部４８も垂直に上方に伸び、こ
のＸ軸移動部４８にＸ軸方向に平行なＸ軸移動面４８ａ
を設けて成る。即ち、ガイドテーブル４５とＸＹ軸移動
テーブル４６とで構成するＸ軸テーブルは、図１１の構
成より成っている。このように構成しても前記実施例と
同様な作用を有する。
【００３４】図１５は２軸移動テーブルの第４実施例を
示す。ガイドテーブル６０は、上面が平面より成るＸＹ
軸ガイド面６０ａと、側面が垂直でＸ軸方向に平行なＸ
軸ガイド面６０ｂと、側面が垂直でＹ軸方向に平行なＹ
軸ガイド面６０ｃとを有する。ガイドテーブル６０上に
はＸ軸移動テーブル６１が載置されており、Ｘ軸移動テ
ーブル６１は、ＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｘ軸ガイド面６
０ｂにそれぞれ対応したＸ軸移動面６２ａ、６３ａを有
するＸ軸移動部６２、６３と、ＸＹ軸ガイド面６０ａに
垂直でＹ軸方向に平行な平面より成るＹ軸ガイド面６４
ａを有するＹ軸ガイド部６４とから成っている。またガ
イドテーブル６０上にはＹ軸移動テーブル６５が載置さ
れており、Ｙ軸移動テーブル６５は、ＸＹ軸ガイド面６
０ａ、Ｙ軸ガイド面６０ｃにそれぞれ対応したＹ軸移動
面６６ａ、６７ａを有するＹ軸移動部６６、６７と、Ｘ
Ｙ軸ガイド面６０ａに垂直でＸ軸方向に平行な平面より
成るＸ軸ガイド面６８ａを有するＸ軸ガイド部６８とか
ら成っている。更にガイドテーブル６０上には、Ｙ軸ガ
イド部６４のＹ軸ガイド面６４ａ、Ｘ軸ガイド部６８の
Ｘ軸ガイド面６８ａ、ガイドテーブル６０のＸＹ軸ガイ
ド面６０ａにそれぞれ対応したＹ軸移動面６９ａ、Ｘ軸
移動面６９ｂ、ＸＹ軸移動面６９ｃを有するＸＹ軸移動
テーブル６９が載置されている。
【００３５】そして、ＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｘ軸ガイ
ド面６０ｂは図１２のＸ軸ガイドテーブル３０のＸ軸ガ
イド面３０ａ、３０ｂに相当し、Ｘ軸移動面６２ａ、６
３ａは図１２のＸ軸移動テーブル３１のＸ軸移動面３２
ａ、３３ａに相当する。またＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｙ
軸ガイド面６０ｃとＹ軸移動面６６ａ、６７ａとの関係
は、前記ＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｘ軸ガイド面６０ｂと
Ｘ軸移動面６２ａ、６３ａとの関係と同じで、軸がＹ軸
方向に変わったのみである。従って、Ｘ軸移動テーブル
６１は、ガイドテーブル６０のＸ軸ガイド面６０ｂとＸ
軸移動テーブル６１のＸ軸移動面６３ａとでＹ軸方向
（Ｘ軸ガイド面６０ｂとＸ軸移動面６３ａの面に垂直な
方向）の移動が拘束されているので、ガイドテーブル６
０のＸ軸ガイド面６０ｂに沿ってＸ軸方向のみに移動可
能である。同様に、Ｙ軸移動テーブル６５は、ガイドテ
ーブル６０のＹ軸ガイド面６０ｃとＹ軸移動テーブル６
５のＹ軸移動面６７ａとでＸ軸方向（Ｙ軸ガイド面６０
ｃとＹ軸移動面６７ａの面に垂直な方向）の移動が拘束
されているので、ガイドテーブル６０のＹ軸ガイド面６
０ｃに沿ってＹ軸方向のみに移動可能である。
【００３６】またＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｘ軸ガイド面
６８ａは図１２のＸ軸移動テーブル３１のＹ軸ガイド面
３２ｂ、３４ａに相当し、ＸＹ軸移動面６９ｃ、Ｘ軸移
動面６９ｂは図１２のＹ軸移動部３６、３７のＹ軸移動
面３６ａ、３７ａに相当し、ＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｙ
軸ガイド面６４ａとＸＹ軸移動面６９ｃ、Ｙ軸移動面６
９ａとの関係は、前記ＸＹ軸ガイド面６０ａ、Ｘ軸ガイ
ド面６８ａとＸＹ軸移動面６９ｃ、Ｘ軸移動面６９ｂと
の関係と同じで、軸がＹ軸方向に変わったのみである。
従って、ＸＹ軸移動テーブル６９は、Ｙ軸移動テーブル
６５のＸ軸ガイド面６８ａとＸＹ軸移動テーブル６９の
Ｘ軸移動面６９ｂとでＹ軸方向（Ｘ軸ガイド面６８ａと
Ｘ軸移動面６９ｂの面に垂直な方向）の移動が拘束され
ているので、Ｘ軸移動テーブル６１がＸ軸方向に移動す
ると、ＸＹ軸移動テーブル６９はＸ軸移動テーブル６１
と共にＹ軸移動テーブル６５のＸ軸ガイド面６８ａに沿
ってＸ軸方向に移動する。また同様に、ＸＹ軸移動テー
ブル６９は、Ｘ軸移動テーブル６１のＹ軸ガイド面６４
ａとＸＹ軸移動テーブル６９のＹ軸移動面６９ａとでＸ
軸方向（Ｙ軸ガイド面６４ａとＸＹ軸移動面６９ａの面
に垂直な方向）の移動が拘束されているので、Ｙ軸移動
テーブル６５がＹ軸方向に移動すると、ＸＹ軸移動テー
ブル６９はＹ軸移動テーブル６５と共にＸ軸移動テーブ
ル６１のＹ軸ガイド面６４ａに沿ってＹ軸方向に移動す
る。従って、Ｘ軸移動テーブル６１のＸ軸方向の移動と
Ｙ軸移動テーブル６５の移動の組み合わせにより、ＸＹ
軸移動テーブル６９をＸＹ軸方向の任意の位置に移動さ
せることができる。
【００３７】このように、ＸＹ軸ガイド面６０ａとＸ軸
移動面６２ａ、Ｘ軸ガイド面６０ｂとＸ軸移動面６３ａ
の２対の２面でＸ軸移動テーブルを構成し、ＸＹ軸ガイ
ド面６０ａとＹ軸移動面６６ａ、Ｙ軸ガイド面６０ｃと
Ｙ軸移動面６７ａの２対の２面でＹ軸移動テーブルを構
成し、Ｙ軸ガイド面６４ａとＹ軸移動面６９ａとＸ軸ガ
イド面６８ａとＸ軸移動面６９ｂとＸＹ軸ガイド面６０
ｃとＸＹ軸移動面６９ｃの３対の３面でＸＹ移動テーブ
ルを構成する。即ち、７面で非接触の２軸移動テーブル
であるＸＹテーブルを構成する。
【００３８】そこで、Ｘ軸移動テーブル６１のＹ軸ガイ
ド部６４にＸ軸ボイスコイルモータ４０のコイル部４０
ａを固定し、Ｘ軸ボイスコイルモータ４０の磁石部４０
ｂをガイドテーブル６０に固定し、またＹ軸移動テーブ
ル６５のＸ軸ガイド部６８にＹ軸ボイスコイルモータ４
２のコイル部４２ａを固定し、Ｙ軸ボイスコイルモータ
４２の磁石部４２ｂをガイドテーブル６０に固定する
と、ＸＹ軸移動テーブル６９をＸＹ軸方向の任意の位置
に自動制御できる。
【００３９】図１６は図１５の変形例である第５実施例
を示す。なお、図１５と同じ又は相当部材には同一符号
を付して説明する。本実施例は、前記第４実施例におけ
るガイドテーブル６０のＸ軸ガイド面６０ｂ、Ｙ軸ガイ
ド面６０ｃに代え、ガイドテーブル６０に垂直で上方に
突出したＸＹ軸ガイド部７０を設け、このＸＹ軸ガイド
部７０に、Ｘ軸方向に平行なＸ軸ガイド面７０ａと、Ｙ
軸方向に平行なＹ軸ガイド面７０ｂを設けて成る。従っ
て、Ｘ軸移動テーブル６１のＸ軸移動部６３も垂直に上
方に伸び、Ｙ軸移動テーブル６５のＹ軸移動部６７も垂
直に上方に伸び、Ｘ軸移動部６３にＸ軸方向に平行なＸ
軸移動面６３ａを設け、Ｙ軸移動部６７にＹ軸方向に平
行なＹ軸移動面６７ａを設けて成る。このように構成し
ても前記実施例と同様な作用を有する。
【００４０】図１７は本発明の第６実施例を示す。本実
施例は図１２に適用した例を示し、Ｙ軸移動テーブル３
５は箱型と成っている。図１２において、Ｘ軸ボイスコ
イルモータ４０及びＹ軸ボイスコイルモータ４２がオフ
になった時、Ｘ軸移動テーブル３１及びＹ軸移動テーブ
ル３５は、Ｘ軸ボイスコイルモータ４０及びＹ軸ボイス
コイルモータ４２による拘束力が無くなり軸方向に動き
易くなる。これを防止するため、Ｙ軸移動テーブル３５
をクランプするように、支柱７５にエアシリンダ７６を
設けたものである。なお、図１３及び図１４の場合に
は、ＸＹ軸移動テーブル５０とＸＹガイドテーブル４６
をクランプするようにし、図１５及び１６の場合はＸＹ
軸移動テーブル６９とＸ軸移動テーブル６１とＹ軸移動
テーブル６５をクランプするようにする。
【００４１】図１８乃至図２０は本発明の基本構成の他
の実施例を示す。図１乃至図７においては、移動テーブ
ル２の下面の移動面２ａの外周部にエアー供給溝２ｂを
設け、このエアー供給溝２ｂの部分にエアー供給穴２ｇ
を設け、更にエアー供給溝２ｂの内側部分に多数の真空
吸引穴２ｈを設けている。本実施例は、前記実施例と逆
に、移動面２ａの外周部に多数の真空吸引穴２ｈを設
け、これらの真空吸引穴２ｈの内側部分にエアー供給溝
２ｂを設け、このエアー供給溝２ｂの部分にエアー供給
穴２ｇを設けて成る。即ち、真空吸引穴２ｈに連通する
ように側面２ｃ、２ｊよりそれぞれエアー通路穴２ｍ、
２ｎが設けられ、これらエアー通路穴２ｍ、２ｎは、側
面２ｃ側の１個のエアー通路穴２ｍを残して側面２ｃ、
２ｊ側は栓４で密閉されている。そして、前記密閉され
ていないエアー通路穴２ｍにはエアー吸引パイプ６が接
続されている。またエアー供給穴２ｇに連通するよう
に、側面２ｃ、２ｊにはエアー通路穴２ｏ、２ｐが設け
られ、エアー通路穴２ｐの側面２ｊは栓３で密閉され、
エアー通路穴２ｏにはエアー供給パイプ５が接続されて
いる。このように移動テーブル２を構成しても同様の効
果が得られる。
【００４２】図２１及び２２は本発明の基本構成の更に
他の実施例を示す。本実施例においては、移動面２ａに
は、複数個のエアー供給穴２ｇ及び真空吸引穴２ｈがそ
れぞれ横１列でかつエアー供給穴２ｇ列と真空吸引穴２
ｈ列は交互に設けられている。即ち、エアー供給穴２ｇ
に連通するように側面２ｊよりエアー通路穴２ｑが設け
られ、エアー通路穴２ｑに連通するように側面２ｃより
エアー通路穴２ｒが設けられている。そして、エアー通
路穴２ｑの側面２ｊ側は栓３で密閉され、エアー通路穴
２ｒにはエアー供給パイプ５が接続されている。また真
空吸引穴２ｈに連通するように側面２ｄよりエアー通路
穴２ｓが設けられ、エアー通路穴２ｓに連通するように
側面２ｃよりエアー通路穴２ｔが設けられている。そし
て、エアー通路穴２ｓの側面２ｄ側は栓４で密閉され、
エアー通路穴２ｔにはエアー供給パイプ５が接続されて
いる。このように移動テーブル２を構成しても同様の効
果が得られる。なお、本実施例においては、エアー供給
穴２ｇ及び真空吸引穴２ｈはそれぞれ横１列ではなく、
縦１列に設けてもよい。
【００４３】なお、上記した１軸移動テーブル及び２軸
移動テーブルの各実施例における移動部の組み合わせ
は、直角なガイド面と直角な移動面より成るが、直角で
はなくある角度を持っても良い。また上記実施例におい
ては、エアー供給溝２ｂ、エアー供給穴２ｇ及び真空吸
引穴２ｈは、移動面２ａに設けたが、ガイド面１ａに設
けてもよい。またエアー供給溝２ｂ、エアー供給穴２ｇ
を移動面２ａ又はガイド面１ａの何れか一方の面に設
け、真空吸引穴２ｈを他方の面に設けてもよい。また図
１乃至図６、図１８乃至図２０においては、エアー供給
溝２ｂを設けたが、このエアー供給溝２ｂは設けなく、
エアー供給溝２ｂの部分に多数のエアー供給穴２ｇを設
けてもよい。
【００４４】
【発明の効果】本発明によれば、平面な上面と該上面に
直角又はある角度を有する平面との２面をガイド面とす
るガイドテーブルと、このガイドテーブルの２面のガイ
ド面に対応した２面の移動面を有し、ガイド面に移動面
が対向して配置された移動テーブルとを備え、ガイドテ
ーブルのガイド面とこのガイド面に対向した移動テーブ
ルの移動面の対応した両面には、それぞれ何れか一方の
面より他方の面に向けて圧縮エアーを供給するエアー供
給穴と、移動面又はガイド面の何れか一方より真空吸引
する真空吸引穴とが設けられ、ガイドテーブルの２面の
ガイド面と移動テーブルの２面の移動面とで非接触剛性
軸受を構成した２面の非接触剛性軸受を有して成るの
で、構造が簡単で軸受面が少なく、小型化、軽量化及び
コスト低減並びに使用材料の範囲が広い非接触型移動テ
ーブルが得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に成る非接触型移動テーブルの基本構成
の一実施例を示す移動テーブルの移動面の平面図であ
る。
【図２】図１の上方の側面より見た側面図である。
【図３】図２のＡーＡ線断面図である。
【図４】図１のＢーＢ線断面図である。
【図５】図１のＣーＣ線断面図である。
【図６】図１のＤーＤ線断面図で、９０度時計方向に回
転して図示したものである。
【図７】本発明に成る非接触型移動テーブルの基本構成
の一実施例を示す説明図である。
【図８】移動テーブルへの圧縮エアー供給及びエアー吸
引装置のブロック図である。
【図９】エアー流量及び真空圧と圧縮剛性及び引張剛性
の関係を示す図である。
【図１０】本発明に成る非接触型１軸移動テーブルの一
実施例を示す説明図である。
【図１１】本発明に成る非接触型１軸移動テーブルの他
の実施例を示す説明図である。
【図１２】本発明に成る非接触型２軸移動テーブルの第
１実施例を示す説明図である。
【図１３】本発明に成る非接触型２軸移動テーブルの第
２実施例を示す説明図である。
【図１４】本発明に成る非接触型２軸移動テーブルの第
３実施例を示す説明図である。
【図１５】本発明に成る非接触型２軸移動テーブルの第
４実施例を示す説明図である。
【図１６】本発明に成る非接触型２軸移動テーブルの第
５実施例を示す説明図である。
【図１７】本発明に成る非接触型２軸移動テーブルの第
６実施例を示す説明図である。
【図１８】本発明に成る非接触型移動テーブルの基本構
成の他の実施例を示す移動テーブルの移動面の平面図で
ある。
【図１９】図１８のＥーＥ線断面図である。
【図２０】図１８のＦーＦ線断面図で、９０度時計方向
に回転して図示したものである。
【図２１】本発明に成る非接触型移動テーブルの基本構
成の更に他の実施例を示す移動テーブルの移動面の平面
図である。
【図２２】図２１の下方の側面より見た側面図である。
【図２３】従来の非接触型１軸移動テーブルの第１例を
示す説明図である。
【図２４】従来の非接触型１軸移動テーブルの第２例を
示す説明図である。
【図２５】従来の非接触型１軸移動テーブルの第３例を
示す説明図である。
【符号の説明】
１ ガイドテーブル １ａ ガイド面 ２ 移動テーブル ２ａ 移動面 ２ｂ エアー供給溝 ２ｇ エアー供給穴 ２ｈ 真空吸引穴 ２０ ガイドテーブル ２０ａ、２０ｂ ガイド面、 ２１ 移動テーブル ２２、２３ 移動部 ２２ａ、２３ａ 移動面 ２５ ガイド部 ２５ａ ガイド面 ３０ Ｘ軸ガイドテーブル ３０ａ、３０ｂ Ｘ軸ガイド面 ３１ Ｘ軸移動テーブル ３２、３３、Ｘ軸移動部 ３２ａ、３３ａ Ｘ軸移動面 ３２ｂ Ｙ軸ガイド面 ３４ Ｙ軸ガイド部 ３４ａ Ｙ軸ガイド面 ３５ Ｙ軸移動テーブル ３６、３７ Ｙ軸移動部 ３６ａ、３７ａ Ｙ軸移動面 ４５ ガイドテーブル ４５ａ ＸＹ軸ガイド面 ４５ｂ Ｘ軸ガイド面 ４６ ＸＹ軸ガイドテーブル ４７、４８ Ｘ軸移動部 ４７ａ、４８ａ Ｘ軸移動面 ４９ Ｙ軸ガイド部 ４９ａ Ｙ軸ガイド面 ５０ ＸＹ軸移動テーブル ５１、５２ Ｙ軸移動部 ５１ａ、５２ａ Ｙ軸移動面 ５５ Ｘ軸ガイド部 ５５ａ Ｘ軸ガイド面 ６０ ガイドテーブル ６０ａ ＸＹ軸ガイド面 ６０ｂ Ｘ軸ガイド面 ６０ｃ Ｙ軸ガイド面 ６１ Ｘ軸移動テーブル ６２、６３ Ｘ軸移動部 ６２ａ、６３ａ Ｘ軸移動面 ６４ Ｙ軸ガイド部 ６４ａ Ｙ軸ガイド面 ６５ Ｙ軸移動テーブル ６６、６７ Ｙ軸移動部 ６６ａ、６７ａ Ｙ軸移動面 ６８ Ｘ軸ガイド部 ６８ａ Ｘ軸ガイド面 ６９ ＸＹ軸移動テーブル ６９ａ Ｙ軸移動面 ６９ｂ Ｘ軸移動面 ６９ｃ ＸＹ軸移動面 ７０ ＸＹ軸ガイド部 ７０ａ Ｘ軸ガイド面 ７０ｂ Ｙ軸ガイド面
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年１月８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項３
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】上記目的を達成するための本発明の第３の
手段は、上面が平面よりなるＸＹ軸ガイド面と上面に直
角又はある角度を有するＸ軸方向に平行な平面のＸ軸ガ
イド面とを有するガイドテーブルと、このガイドテーブ
ルの２面のＸＹ軸ガイド面とＸ軸ガイド面に対応した２
面のＸ軸移動面を有し、更に上面に直角又はある角度を
有するＹ軸方向に平行な平面よりなるＹ軸ガイド面を有
し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面
にＸ軸移動面が対向して配置されたＸＹ軸ガイドテーブ
ルと、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸ガイド
テーブルのＹ軸ガイド面に対応した２面のＹ軸移動面を
有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸ガイド
テーブルのＹ軸ガイド面にＹ軸移動面が対向して配置さ
れたＸＹ軸移動テーブルとを備え、ガイドテーブルのＸ
Ｙ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテーブル
の２面のＸ軸移動面とは、請求項１におけるガイドテー
ブルのガイド面と移動テーブルの移動面とで構成する２
面の非接触剛性軸受を成し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガ
イド面及びＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面とＸＹ
軸移動テーブルの２面のＹ軸移動面とは、請求項１にお
けるガイドテーブルのガイド面と移動テーブルの移動面
とで構成する２面の非接触剛性軸受を成し、ＸＹテーブ
ルを構成したことを特徴とする。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 平面な上面と該上面に直角又はある角度
    を有する平面との２面をガイド面とするガイドテーブル
    と、このガイドテーブルの２面のガイド面に対応した２
    面の移動面を有し、ガイド面に移動面が対向して配置さ
    れた移動テーブルとを備え、ガイドテーブルのガイド面
    とこのガイド面に対向した移動テーブルの移動面の対応
    した両面には、それぞれ何れか一方の面より他方の面に
    向けて圧縮エアーを供給するエアー供給穴と、移動面又
    はガイド面の何れか一方より真空吸引する真空吸引穴と
    が設けられ、ガイドテーブルの２面のガイド面と移動テ
    ーブルの２面の移動面とで非接触剛性軸受を構成した２
    面の非接触剛性軸受を有して成ることを特徴とする非接
    触型移動テーブル。
  2. 【請求項２】 平面な上面と該上面に直角又はある角度
    を有するＸ軸方向に平行な平面とからなる２面をＸ軸ガ
    イド面とするＸ軸ガイドテーブルと、このＸ軸ガイドテ
    ーブルの２面のＸ軸ガイド面に対応した２面をＸ軸移動
    面とし、また上面と該上面に直角又はある角度を有する
    Ｙ軸方向に平行な平面よりなる２面をＹ軸ガイド面とし
    て有し、Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面にＸ軸移動
    面が対向して配置されたＸ軸移動テーブルと、このＸ軸
    移動テーブルの２面のＹ軸ガイド面に対応した２面のＹ
    軸移動面を有し、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面にＹ
    軸移動面が対向して配置されたＹ軸移動テーブルとを備
    え、Ｘ軸ガイドテーブルのＸ軸ガイド面とＸ軸移動テー
    ブルのＸ軸移動面とは、請求項１におけるガイドテーブ
    ルのガイド面と移動テーブルの移動面とで構成する２面
    の非接触剛性軸受を持ったＸ軸テーブルを成し、Ｘ軸移
    動テーブルのＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルのＹ軸移
    動面とは、請求項１におけるガイドテーブルのガイド面
    と移動テーブルの移動面とで構成する２面の非接触剛性
    軸受を持ったＹ軸テーブルを成し、Ｘ軸テーブルとＹ軸
    テーブルとでＸＹテーブルを構成することを特徴とする
    非接触型移動テーブル。
  3. 【請求項３】 上面が平面よりなるＸＹ軸ガイド面と上
    面に直角又はある角度を有するＸ軸方向に平行な平面の
    Ｘ軸ガイド面とを有するガイドテーブルと、このガイド
    テーブルの２面のＸＹ軸ガイド面とＸ軸ガイド面に対応
    した２面のＸ軸移動面を有し、更に上面に直角又はある
    角度を有するＹ軸方向に平行な平面よりなるＹ軸ガイド
    面を有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガ
    イド面にＸ軸移動面が対向して配置されたＸＹ軸ガイド
    テーブルと、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸
    ガイドテーブルのＹ軸ガイド面に対応した２面のＹ軸移
    動面を有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＸＹ軸
    ガイドテーブルのＹ軸ガイド面にＹ軸移動面が対向して
    配置されたＸＹ軸移動テーブルとを備え、ガイドテーブ
    ルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸＹ軸ガイドテ
    ーブルの２面のＸ軸移動面とは、請求項１におけるガイ
    ドテーブルのガイド面と移動テーブルの移動面とで構成
    する２面の非接触剛性軸受を成し、ガイドテーブルのＸ
    Ｙ軸ガイド面及びＸＹ軸ガイドテーブルのＹ軸ガイド面
    とＸＹ軸移動テーブルの平面のＹ軸移動面とは、請求項
    １におけるガイドテーブルのガイド面と移動テーブルの
    移動面とで構成する２面の非接触剛性軸受を成し、ＸＹ
    テーブルを構成したことを特徴とする非接触型移動テー
    ブル。
  4. 【請求項４】 上面が平面なＸＹ軸ガイド面と上面に直
    角又はある角度を有するＸ軸方向に平行なＸ軸ガイド面
    と上面に直角又はある角度を有するＹ軸方向に平行なＹ
    軸ガイド面とを有するガイドテーブルと、このガイドテ
    ーブルのＸＹ軸ガイド面とＸ軸ガイド面に対応した２面
    のＸ軸移動面を有し、更に上面に直角又はある角度を有
    するＹ軸方向に平行な平面よりなるＹ軸ガイド面を有
    し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面
    にＸ軸移動面が対向して配置されたＸ軸移動テーブル
    と、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面とＹ軸ガイド面に
    対応した２面のＹ軸移動面を有し、更に上面に直角又は
    ある角度を有するＸ軸方向に平行な平面よりなるＸ軸ガ
    イド面を有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面及びＹ
    軸ガイド面にＹ軸移動面が対向して配置されたＹ軸移動
    テーブルと、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸ガイド面、Ｙ軸移
    動テーブルのＸ軸ガイド面及びガイドテーブルのＸＹ軸
    ガイド面に対応したＹ軸移動面、Ｘ軸移動面及びＸＹ軸
    移動面とを有し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガイド面に載
    置されたＸＹ軸移動テーブルとを備え、ガイドテーブル
    のＸＹ軸ガイド面及びＸ軸ガイド面とＸ軸移動テーブル
    の２面のＸ軸移動面とは、請求項１におけるガイドテー
    ブルのガイド面と移動テーブルの移動面とで構成する２
    面の非接触剛性軸受を成し、ガイドテーブルのＸＹ軸ガ
    イド面及びＹ軸ガイド面とＹ軸移動テーブルの２面のＹ
    軸移動面とは、請求項１におけるガイドテーブルのガイ
    ド面と移動テーブルの移動面とで構成する２面の非接触
    剛性軸受を成し、ＸＹ軸移動テーブルのＸ軸移動面とＸ
    Ｙ軸移動面、Ｙ軸移動面とＸＹ軸移動面及びＹ軸移動テ
    ーブルのＸ軸ガイド面とガイドテーブルのＸＹ軸ガイド
    面、Ｘ軸移動テーブルのＹ軸移動面とガイドテーブルの
    ＸＹ軸ガイド面とは、請求項１におけるガイドテーブル
    のガイド面と移動テーブルの移動面とで構成する２面の
    非接触剛性軸受を構成して成ることを特徴とする非接触
    型移動テーブル。
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