JPH068380Y2 - Vacuum pump valve - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、真空にすべきチャンバーと真空ポンプとの間
に設けられる真空ポンプ用バルブに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Industrial field of application) The present invention relates to a vacuum pump valve provided between a chamber to be evacuated and a vacuum pump.

（従来の技術） スパッタ蒸着のように高い真空度の下で基板に成膜を行
なう場合、その成膜処理用のチャンバーは粗引き用の真
空ポンプにより所定の真空度まで排気を行なった後、高
真空ポンプにより要求真空度にするということが行われ
ている。その場合、生産性向上のためには、上記粗引き
を短時間で完了するのが望ましい。(Prior Art) When a film is formed on a substrate under a high vacuum degree such as sputter deposition, the chamber for the film formation process is evacuated to a predetermined vacuum degree by a vacuum pump for roughing, and then A high vacuum pump is used to attain a required degree of vacuum. In that case, in order to improve productivity, it is desirable to complete the roughing in a short time.

しかし、チャンバー内は急激な排気を行なえば、空気の
大きな乱れによってダストが舞い上がり、未処理の基板
に付着して成膜に悪影響を与える不具合がある。すなわ
ち、基板への成膜処理を繰り返し行なうと、上記チャン
バーの内壁面や基板固定治具等にも蒸着粒子による膜が
順次重ねて形成されていくことになるが、このような膜
は比較的剥離し易いものであり、このため上記空気の大
きな乱れによって剥離し、上述のダストになるものであ
る。However, if the chamber is rapidly evacuated, the dust will rise due to the large turbulence of the air and adhere to the untreated substrate to adversely affect the film formation. That is, when the film forming process on the substrate is repeated, films of vapor-deposited particles are sequentially formed on the inner wall surface of the chamber, the substrate fixing jig, and the like. It is easily peeled off, and therefore is peeled off due to the large turbulence of the air to become the above-mentioned dust.

そこで、通常は、チャンバーと真空ポンプとの間に開口
面積の大きな大径バルブと開口面積の小さな小径バルブ
とを並列に設け、小径バルブのみを開けて排気を所定時
間行なった後、大径バルブを開けることがなされてい
る。すなわち、この手段は、排気の開始時は、小径バル
ブを介しての排気により、単位時間当りの排気量を少な
くすることでチャンバー内の空気の乱れを防止し、チャ
ンバー内の空気密度が低くなった時点で、大径バルブを
介して排気することにより、空気の流れによるダストの
舞い上がりを防止するものである。Therefore, usually, a large-diameter valve with a large opening area and a small-diameter valve with a small opening area are provided in parallel between the chamber and the vacuum pump, and only the small-diameter valve is opened and exhaust is performed for a predetermined time, then the large-diameter valve. Is being opened. That is, this means prevents air turbulence in the chamber by reducing the amount of exhaust per unit time by exhausting through a small diameter valve at the start of exhaust, and the air density in the chamber becomes low. At this point, the air is exhausted through the large-diameter valve to prevent dust from rising due to the flow of air.

また、第２の手段として、チャンバーと真空ポンプとの
間にヒンジ開閉式のバルブを設け、このバルブにこれを
全開位置に付勢するスプリングを連結したものがある。
すなわち、このバルブは、排気開始時のように上流側と
下流側の圧力差が大きいときには、上記スプリングの付
勢に抗して回動して全閉に近い状態になり、排気量を少
なくし、上記圧力差が小さくなるにつれて全開状態にな
っていくものである。Further, as a second means, there is a valve provided with a hinge opening / closing type between the chamber and the vacuum pump, and a spring for connecting the valve to a fully opened position is connected to the valve.
That is, when the pressure difference between the upstream side and the downstream side is large, such as when starting the exhaust, this valve turns against the bias of the spring to a state close to full closure, reducing the exhaust amount. As the pressure difference becomes smaller, the fully open state is achieved.

さらに、第３の手段として、チャンバーと真空ポンプと
の間の流路を開閉せしめる大径の主弁体にその上流側と
下流側とを連通する小径の孔を開設し、この孔に小径の
副弁体を適用したものがある。すなわち、この副弁体は
シリンダ装置に連結されていて、この副弁体に対して主
弁体が進退可能に且つスプリングにて離反する方向に付
勢して支持されているものである。Further, as a third means, a small-diameter hole communicating between the upstream side and the downstream side of the main-diameter main valve body, which opens and closes the flow path between the chamber and the vacuum pump, is opened, and the small-diameter hole is formed in this hole. Some have applied a sub-valve. That is, the sub-valve element is connected to the cylinder device, and is supported by the sub-valve element such that the main valve element can be advanced and retracted and is biased by a spring in a direction in which the sub-valve element is separated.

この場合、シリンダ装置を前進動せしめると、主弁体が
弁座に当接した後、副弁体が上記孔を閉塞する。そし
て、シリンダ装置を後退動せしめると、まず、副弁体が
回動するが、主弁体は上記スプリングの付勢により閉位
置を保ったままであり、さらにシリンダ装置を後退動せ
しめた場合にのみ、主弁体を開動できることになる。In this case, when the cylinder device is moved forward, the auxiliary valve body closes the hole after the main valve body comes into contact with the valve seat. Then, when the cylinder device is moved backward, the sub-valve rotates first, but the main valve remains in the closed position due to the biasing of the spring, and only when the cylinder is moved backward. , The main valve body can be opened.

（考案が解決しようとする課題） しかし、上述の如く、大小のバルブを並列に設ける手段
では、独立した２つのバルブ及び配管を必要とし、設置
スペースが狭い場合には配管が難しくなるとともに、両
バルブの開閉制御も面倒になり、さらにはバルブ装置全
体としてコスト高になる。(Problems to be solved by the invention) However, as described above, the means for providing the large and small valves in parallel requires two independent valves and piping, which makes piping difficult when the installation space is small, and Opening and closing control of the valve becomes troublesome, and the cost of the entire valve device becomes high.

また、第２の手段の場合、バルブはその全開時でも流路
上に位置することになるため、流路抵抗になるととも
に、スプリングにダスト等が付着すると、バルブの開閉
特性が変わってくるが、その際にはバルブの分解掃除な
いしは交換等の煩雑な作業が必要になってくる。さら
に、第３の手段の場合、シリンダ装置のストロークを２
段に制御する必要があり、その制御が面倒になる。Further, in the case of the second means, since the valve is located on the flow path even when it is fully opened, it becomes flow path resistance, and if dust or the like adheres to the spring, the opening / closing characteristic of the valve changes, In that case, complicated work such as disassembly and cleaning or replacement of the valve becomes necessary. Further, in the case of the third means, the stroke of the cylinder device is set to 2
It is necessary to control it gradually, and that control becomes troublesome.

また、シリンダ機構の駆動源（電源及び空気圧力など）
が全部停止した場合、弁体を閉じる力がなくなってしま
い、スプリングの力で副弁体が開き、チャンバーと真空
ポンプが連通してしまうことになる。これは真空ポンプ
油がチャンバーの中に拡散し、汚染の原因になり好まし
くない。Also, the drive source of the cylinder mechanism (power supply, air pressure, etc.)
If all of them stop, the force to close the valve disappears, the spring force opens the sub-valve, and the chamber and the vacuum pump communicate with each other. This is not preferable because the vacuum pump oil diffuses into the chamber and causes contamination.

すなわち、本考案の課題は、構造や制御を複雑にするこ
となく、排気開始時にはチャンバーからの排気量を少な
くし、チャンバー内の空気密度が低くなった時点で自動
的に全開状態になるバルブを提供することにある。That is, the problem of the present invention is to reduce the amount of exhaust from the chamber at the start of exhaust without complicating the structure and control, and to automatically open the valve when the air density in the chamber becomes low. To provide.

（課題を解決するための手段） 本考案は、このような課題に対して、基本的には上記第
３の手段のように主弁体と副弁体とを設け、この両弁体
を駆動手段にて作動せしめるようにするが、駆動手段に
よる開弁方向の駆動力を、主弁体の上流側と下流側との
圧力差が所定値以下のときにこの主弁体が開弁するよう
に設定し、構造や制御を複雑にすることなく、少量排気
状態から全開状態に自動的に移行できるようにするもの
である。(Means for Solving the Problems) In order to solve such problems, the present invention basically provides a main valve body and a sub valve body as in the third means, and drives both valve bodies. The drive force of the drive means in the valve opening direction is set so that the main valve body opens when the pressure difference between the upstream side and the downstream side of the main valve body is less than a predetermined value. Is set to enable automatic transition from a small amount exhaust state to a fully open state without complicating the structure and control.

すなわち、その具体的な手段は、真空にすべきチャンバ
ーと真空ポンプとの間に設けられるバルブであって、 上流側が上記チャンバーに接続され、下流側が上記真空
ポンプに接続される主流路と、 上記主流路にその上流側に向けて設けられた主弁座と、 上記主弁座に切離すべくこの主弁座に向けて進退可能に
設けられた主弁体と、 上記主弁体にその上流側と下流側とを連通するように形
成された副流路と、 上記副流路にその上流側に向けて設けられた副弁座と、 上記副弁座に接離すべくこの副弁座に向けて進退可能に
設けられた副弁体と、 上記副弁体に結合され、この副弁体を進退せしめるとと
もに、この副弁体を介して主弁体を進退せしめるための
弁棒と、 上記弁棒を駆動するものであって、主弁体の上流側と下
流側との圧力差が所定値以上のときには副弁体のみを開
弁せしめ、前記圧力差が所定値以下になると主弁体を開
弁せしめるよう、開弁方向の駆動力が設定されている弁
棒駆動手段と、 を備えていることを特徴とする真空ポンプ用バルブであ
る。That is, the specific means is a valve provided between a chamber to be evacuated and a vacuum pump, the main flow path having an upstream side connected to the chamber and a downstream side connected to the vacuum pump, A main valve seat provided on the upstream side of the main flow path, a main valve body provided so as to advance and retreat toward the main valve seat so as to be separated from the main valve seat, and an upstream side of the main valve body. Side and downstream side are formed so as to communicate with each other, a sub-valve seat provided in the sub-flow passage toward the upstream side thereof, and a sub-valve seat to be brought into contact with and separated from the sub-valve seat. An auxiliary valve body that is provided so as to be able to move forward and backward, a valve rod that is coupled to the auxiliary valve body and that moves the auxiliary valve body forward and backward, and that advances and retracts the main valve body through the auxiliary valve body, It drives the valve stem, and there is a pressure difference between the upstream side and the downstream side of the main valve body. A valve stem drive means in which the driving force in the valve opening direction is set so that only the sub valve body is opened when the pressure difference is equal to or more than the value, and the main valve body is opened when the pressure difference becomes a predetermined value or less. It is a valve for a vacuum pump.

（作用） 上記バルブにおいては、弁棒駆動手段により弁棒を介し
て主副の両弁体を閉弁状態として真空ポンプを作動せし
め、弁棒駆動手段を開弁方向に作動せしめると、その開
弁方向の駆動力により、まず、副弁体のみが開弁する。
これにより、チャンバー内の気体は副流路を介して少量
ずつ排気されていく。その際、主弁体の上流側と下流側
との圧力差が大きいため、主弁体は真空ポンプ側の負圧
により閉弁状態を保つ。そして、上記少量排気が進行し
て上記圧力差が所定値以下になると、上記駆動力が圧力
差による主弁体の閉弁力に打ち勝って主弁体を開弁して
いき、主流路が全開状態になる。(Operation) In the above valve, when the valve stem driving means closes both the main and sub valve bodies via the valve stem to operate the vacuum pump and the valve stem driving means in the valve opening direction, the valve opens. Due to the driving force in the valve direction, first, only the sub valve body opens.
As a result, the gas in the chamber is exhausted little by little through the sub-flow path. At that time, since the pressure difference between the upstream side and the downstream side of the main valve body is large, the main valve body is kept closed by the negative pressure on the vacuum pump side. Then, when the small amount of exhaust gas progresses and the pressure difference becomes equal to or less than a predetermined value, the driving force overcomes the valve closing force of the main valve body due to the pressure difference to open the main valve body, and the main flow path is fully opened. It becomes a state.

この場合、主弁体に副弁体が設けられているが、少量排
気と全開状態の排気とを実現するためのバルブ自体は１
つでよいから、バルブ設置スペースが狭い場合における
配管ないしはバルブ配管の問題はない。In this case, the main valve body is provided with the sub-valve body, but the valve itself for realizing small amount exhaustion and exhaustion in the fully open state is 1
Therefore, there is no problem with piping or valve piping when the valve installation space is small.

また、少量排気状態から全開状態への移行にあたって
も、弁棒駆動手段の開弁方向の駆動力を予め設定してお
くだけで実現できるから、弁棒駆動手段に関して、排気
途中での駆動力等の切り替えは不要である。しかも、少
量排気状態から全開状態への移行特性は、上記弁棒駆動
手段の開弁方向の駆動力の設定の変更により実現できる
から、ダストの付着等により主弁体の作動抵抗が変わっ
ても、上記駆動力の設定変更により簡単に対処すること
ができる。Further, even when shifting from the small amount exhaust state to the fully open state, it can be realized by only presetting the driving force in the valve opening direction of the valve rod driving means. No need to switch. Moreover, since the transition characteristic from the small amount exhaust state to the fully open state can be realized by changing the setting of the driving force in the valve opening direction of the valve rod driving means, even if the operating resistance of the main valve element changes due to dust adhesion or the like. It is possible to easily deal with this by changing the setting of the driving force.

さらに、全開時、主弁体は弁棒駆動手段により副弁体と
共に気体の流れの抵抗にならない位置まで退避せしめ
て、流路抵抗になることを防止することも可能になる。Further, when fully opened, the main valve body can be retracted by the valve rod driving means to a position where it does not become a gas flow resistance together with the sub valve body, thereby preventing flow path resistance.

（考案の効果） 従って、本考案によれば、弁棒駆動手段の開弁方向の駆
動力の設定により、主弁体の上流側と下流側との圧力差
が所定値以上のときには副弁体のみが開弁し、前記圧力
差が所定値以下になると主弁体が開弁するようにしたか
ら、バルブ構造やその制御を複雑にすることなく、少量
排気状態から全開状態に自動的に移行せしめることがで
き、しかも、主弁体が流路抵抗になることを防止するこ
とができるとともに、ダストの付着等による主弁体の作
動抵抗の変動についても、上記駆動力の設定変更により
簡単に対処することができる。Therefore, according to the present invention, by setting the driving force in the valve opening direction of the valve rod driving means, when the pressure difference between the upstream side and the downstream side of the main valve body is a predetermined value or more, the sub valve body Only the valve opens, and the main valve body opens when the pressure difference falls below the specified value.Therefore, the small volume exhaust state is automatically changed to the fully open state without complicating the valve structure and its control. In addition, the main valve body can be prevented from becoming a flow path resistance, and the fluctuation of the operating resistance of the main valve body due to dust adhesion can be easily changed by changing the setting of the driving force. Can be dealt with.

また、真空ポンプをバルブの下方に位置させれれば、シ
リンダの駆動力がなくなっても弁体を開ける方向の力は
何もないので、停電時や中止中も安全である。Further, if the vacuum pump can be located below the valve, there is no force in the direction to open the valve body even if the driving force of the cylinder is lost, so it is safe during power outages and during suspension.

（実施例） 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。Embodiment An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

第１図に示す真空ポンプ用バルブにおいて、１は上流側
の流入口２ａと下流側の流出口２ｂとを備えたアングル
型の主流路２を構成する弁箱である。そして、この弁箱
１における流出口２ｂ部に、主流路２を主弁体３で開閉
するための上流側に向けられた主弁座４が設けられてい
る。上記流入口２ａは真空にすべきチャンバー（成膜処
理装置）に接続されるものであり、上記流出口２ｂは粗
引き用真空ポンプに接続されるものである。In the vacuum pump valve shown in FIG. 1, reference numeral 1 is a valve box that constitutes an angled main flow path 2 having an upstream inlet 2a and a downstream outlet 2b. A main valve seat 4 facing the upstream side for opening and closing the main flow path 2 with the main valve body 3 is provided at the outlet 2b portion of the valve box 1. The inflow port 2a is connected to a chamber (film forming apparatus) to be evacuated, and the outflow port 2b is connected to a roughing vacuum pump.

上記主弁体３は、主弁座４に当接せしめる弁本体５と、
この弁本体５の上流側の中央部に固定された箱体６とか
らなる。すなわち、この弁本体５と箱体６とは主弁体３
の上流側と下流側とを連通する副流路７を形成する副弁
箱を構成するものである。The main valve body 3 includes a valve body 5 that abuts against the main valve seat 4,
The box body 6 is fixed to the central portion on the upstream side of the valve body 5. That is, the valve body 5 and the box body 6 are the main valve body 3
The sub-valve box that forms the sub-flow passage 7 that connects the upstream side and the downstream side of the sub-valve is formed.

上記副流路７においては、箱体６に主弁体３の上流側に
通ずる流入口７ａが形成され、弁本体５の中央に主弁体
３の下流側に通ずる流出口７ｂが形成されている。そし
て、この流出口７ｂ部に副流路７を副弁体８で開閉する
ための上流側に向けられた副弁座９が設けられている。
また、上記弁本体５の下流側には、上記流出口７ｂを絞
るオリフィス１１を構成するせき板１２が固定されてい
る。In the sub-flow passage 7, the box body 6 is formed with an inlet 7a communicating with the upstream side of the main valve body 3, and an outlet 7b communicating with the downstream side of the main valve body 3 is formed in the center of the valve body 5. There is. A sub-valve seat 9 facing the upstream side for opening and closing the sub-flow passage 7 with the sub-valve body 8 is provided at the outlet 7b.
Further, on the downstream side of the valve body 5, a weir plate 12 constituting an orifice 11 for narrowing the outlet 7b is fixed.

そうして、上記主弁体３と副弁体８とは、上記主弁座４
と副弁座９とに接離すべく弁棒駆動手段としてのエアシ
リンダ装置１３にて、それぞれ主弁座４と副弁座９とに
向けて進退可能になされている。すなわち、上記副弁体
８には上記エアシリンダ装置１３のピストンに結合され
た弁棒１４の下端が結合されている。そして、上記主弁
体３の箱体６には副弁体８の開弁方向の移動量を規制す
るストッパ１５が形成されているとともに、副弁体８は
スプリング１６にて副弁座９に当接するよう閉弁方向に
付勢されている。Then, the main valve body 3 and the sub valve body 8 are separated from each other by the main valve seat 4
An air cylinder device 13 serving as a valve rod drive means for moving the valve seat 4 toward and away from the main valve seat 4 and the sub valve seat 9, respectively. That is, the lower end of the valve rod 14 connected to the piston of the air cylinder device 13 is connected to the sub valve body 8. The box body 6 of the main valve body 3 is provided with a stopper 15 for restricting the movement amount of the sub valve body 8 in the valve opening direction, and the sub valve body 8 is attached to the sub valve seat 9 by a spring 16. It is urged in the valve closing direction so as to abut.

従って、副弁体８は、エアシリンダ装置１３による弁棒
１４の進退により、副弁座９に接離すべく副流路７を進
退し、主弁体は副弁体８を介してエアシリンダ装置１３
の駆動力を受け、主弁座４に接離すべく進退できること
になる。この場合、上記スプリング１６は停電等により
エアシリンダ装置１３に閉弁方向の駆動力がないときに
副弁体８を閉弁状態に保持するものである。Therefore, the sub valve body 8 advances and retreats in the sub flow passage 7 so as to come into contact with and separate from the sub valve seat 9 by the advancing and retracting of the valve rod 14 by the air cylinder device 13, and the main valve body passes through the sub valve body 8 and the air cylinder device. Thirteen
It is possible to move forward and backward so as to come into contact with and separate from the main valve seat 4 by receiving the driving force of. In this case, the spring 16 holds the auxiliary valve body 8 in the closed state when the air cylinder device 13 has no driving force in the valve closing direction due to a power failure or the like.

しかして、上記エアシリンダ装置１３は、そのシリンダ
に閉弁方向の駆動エアが供給される閉弁側ポートと、開
弁方向の駆動エアが供給される開弁側ポートとを備え
る。そして、この両ポートは互いにエア源１７に接続し
た状態と大気開放状態との間で切り換えるためのばねオ
フセット電磁式の切換弁１８に接続されている。つま
り、この切換弁１８は閉弁側ポートにエアを供給する閉
弁位置１８ａと、開弁側ポートにエアを供給する開弁位
置１８ｂとの間で切り換えることができるものである。
そして、上記開弁側ポートと切換弁１８との間には圧力
調整弁１９が介装されている。Thus, the air cylinder device 13 includes a valve closing side port to which driving air in the valve closing direction is supplied and a valve opening side port to which driving air in the valve opening direction is supplied to the cylinder. Both ports are connected to a spring offset electromagnetic type switching valve 18 for switching between a state in which they are connected to the air source 17 and a state in which they are open to the atmosphere. That is, the switching valve 18 can be switched between the valve closing position 18a for supplying air to the valve closing port and the valve opening position 18b for supplying air to the valve opening port.
A pressure adjusting valve 19 is provided between the valve opening side port and the switching valve 18.

上記圧力調整弁１９は、エアシリンダ装置１３の開弁方
向の駆動力を設定するためのものである。そして、この
駆動力は、主弁体３の上流側と下流側との圧力差が所定
値に低下するまでは副弁体８のみが開弁し、前記所定値
以下の圧力差で主弁体３が開弁するよう設定されてい
る。すなわち、チャンバーの粗引き開始時は、主弁体３
の上流側が大気圧で下流側に真空ポンプの吸引負圧が作
用し、上記圧力差が最も大きいときである。そして、上
記駆動力は、副弁体８を粗引き開始時の圧力差による吸
引力とスプリング１６の付勢力等とに抗して開弁せしめ
る一方、上記主弁体３を上記圧力差による吸引力に抗し
て開弁せしめることができない大きさであって、且つ上
記圧力差が所定値以下に低下すると、そのときの圧力差
による吸引力に抗して主弁体３を開弁せしめる大きさに
なされている。そうして、この場合の所定値は、主弁体
３が全開してもチャンバー内の空気密度が低く、空気の
流れによるダストの舞い上がりが生じなくなった時点の
圧力差である。The pressure regulating valve 19 is for setting the driving force in the valve opening direction of the air cylinder device 13. Then, this driving force is such that only the sub valve body 8 opens until the pressure difference between the upstream side and the downstream side of the main valve body 3 decreases to a predetermined value, and the main valve body has a pressure difference below the predetermined value. 3 is set to open. That is, at the start of rough evacuation of the chamber, the main valve body 3
Is the atmospheric pressure on the upstream side and the suction negative pressure of the vacuum pump acts on the downstream side, and the pressure difference is the largest. Then, the driving force causes the auxiliary valve body 8 to open against the suction force due to the pressure difference at the start of roughing and the biasing force of the spring 16 and the like, while the main valve body 3 is suctioned due to the pressure difference. The size is such that the valve cannot be opened against the force, and when the pressure difference falls below a predetermined value, the main valve body 3 can be opened against the suction force due to the pressure difference at that time. It is done. Then, the predetermined value in this case is the pressure difference at the time when the air density in the chamber is low even when the main valve body 3 is fully opened and the dust does not rise up due to the air flow.

従って、チャンバーの粗引きにあたっては、まず、切換
弁１８を閉弁位置１８ａとして弁棒１４を前進せしめ
る。これにより、副弁体８が副弁座９に当接した状態で
主弁体３が前進して主弁座４に当接し、主流路２は完全
に閉じられた状態になる。そして、この状態で真空ポン
プを作動せしめると、主弁体３の上流側が大気圧で下流
側に真空ポンプの吸引負圧が作用し、主弁体３の上流側
と下流側との圧力差が最も大きい状態となる。Therefore, in the rough evacuation of the chamber, first, the switching valve 18 is set to the closed position 18a and the valve rod 14 is advanced. As a result, the main valve body 3 moves forward and contacts the main valve seat 4 with the auxiliary valve body 8 in contact with the auxiliary valve seat 9, and the main flow path 2 is completely closed. When the vacuum pump is operated in this state, the upstream side of the main valve body 3 is atmospheric pressure, and the suction negative pressure of the vacuum pump acts on the downstream side, so that the pressure difference between the upstream side and the downstream side of the main valve body 3 is reduced. It becomes the largest state.

しかる後、上記切換弁１８を開弁位置１８ｂにすること
により、弁棒１４に圧力調整弁１９にて設定された開弁
方向の駆動力を与える。これにより、第２図に示す如
く、副弁体８のみが開弁し、チャンバー内の空気が副流
路７を介して真空ポンプにより引かれて排出されてい
く。この場合、単位時間当りの排気量は、副流路７の開
口面積が狭い（オリフィス１１で絞られている）ため少
なく、チャンバー内の全体にわたる空気の流れは生じな
い。従って、ダストの舞い上がりは生じない。Thereafter, the switching valve 18 is set to the valve opening position 18b to apply the driving force in the valve opening direction set by the pressure adjusting valve 19 to the valve rod 14. As a result, as shown in FIG. 2, only the sub-valve body 8 is opened, and the air in the chamber is drawn by the vacuum pump through the sub-flow path 7 and discharged. In this case, the exhaust amount per unit time is small because the opening area of the sub-flow path 7 is narrow (is narrowed by the orifice 11), and no air flow over the entire chamber occurs. Therefore, the dust does not fly up.

そうして、主弁体３の上流側と下流側との圧力差が所定
値以下になると、主弁体３が上記開弁方向の駆動力によ
り第１図に鎖線で示す位置まで上昇開弁し、主流路２が
全開状態となる。従って、チャンバー内の空気の排出量
は多くなるが、このときは既にチャンバー内の空気密度
が低くなっており、空気の流れによるダストの舞い上が
りは生じない。Then, when the pressure difference between the upstream side and the downstream side of the main valve body 3 becomes equal to or less than a predetermined value, the main valve body 3 is raised to the position shown by the chain line in FIG. 1 by the driving force in the valve opening direction. Then, the main flow path 2 is fully opened. Therefore, the amount of air discharged from the chamber increases, but at this time, the air density in the chamber has already decreased, and the dust does not rise due to the air flow.

ここで、停電になった場合について説明すると、そのと
きには真空ポンプが作動を停止することにより、主流路
２は真空ポンプ側が大気圧に、チャンバー側が負圧にな
って差圧関係が逆転する。このままでは、チャンバーに
真空ポンプ側から大気が逆流することになる。しかし、
同時に切換弁１８がばねの力で直に閉弁位置１８ａに切
り換わり、エアシリンダ装置１３はその閉弁側ポートに
圧力調整弁１９を介さずにエア源１７からの高圧エアの
供給を受け、弁棒１４を閉方向に駆動して主弁体３及び
副弁体８を閉弁する。よって、上述の逆流は実質的には
生じない。Here, the case of a power failure will be described. At that time, the vacuum pump stops its operation, so that the main flow path 2 is at atmospheric pressure on the vacuum pump side and is at negative pressure on the chamber side, and the differential pressure relationship is reversed. If this is left as it is, the atmosphere will flow back into the chamber from the side of the vacuum pump. But,
At the same time, the switching valve 18 is immediately switched to the valve closing position 18a by the force of the spring, and the air cylinder device 13 receives the supply of high pressure air from the air source 17 to the valve closing port without the pressure adjusting valve 19. The valve stem 14 is driven in the closing direction to close the main valve body 3 and the sub valve body 8. Therefore, the above-mentioned backflow does not substantially occur.

因みに、エア源１７と切換弁１８との間に圧力調整弁１
９を設けると、切換弁１８が閉弁位置１８ａ切り換わっ
ても、閉弁方向の駆動力は圧力調整弁１９によって小さ
いものとなり、主弁体３を閉弁することはできない。Incidentally, the pressure regulating valve 1 is provided between the air source 17 and the switching valve 18.
9 is provided, even if the switching valve 18 switches to the valve closing position 18a, the driving force in the valve closing direction is reduced by the pressure adjusting valve 19, and the main valve body 3 cannot be closed.

また、チャンバーでの成膜処理後に長時間にわたって成
膜処理を行なわない場合には（例えば、休日）、上述の
如く切換弁１８を閉弁位置にしておけば、チャンバーの
真空状態を保持しておくことができるものである。これ
により、成膜処理を再開する際に、再度粗引きをしなく
とも済むことになる。Further, when the film forming process is not performed for a long time after the film forming process in the chamber (for example, on a holiday), the vacuum state of the chamber can be maintained by setting the switching valve 18 to the closed position as described above. It can be set. As a result, when the film forming process is restarted, it is not necessary to perform rough evacuation again.

また、粗引きに関して、副弁体８のみを開弁した少量排
気状態から主弁体３を全開した状態への移行時期は、上
記圧力調整弁１９によるエア圧の設定の変更により、簡
単に変えることができる。さらに、上記オリフィス１１
を異なる開口面積のものに交換することにより、少量排
気状態における単位時間当りの排気量も変えることがで
き、上記少量排気状態から全開状態への移行特性の選択
と相俟って、成膜処理の内容に応じた最適の条件を作り
出すことができる。Regarding rough evacuation, the transition timing from the small amount exhaust state in which only the sub valve body 8 is opened to the state in which the main valve body 3 is fully opened is easily changed by changing the air pressure setting by the pressure adjusting valve 19. be able to. Furthermore, the orifice 11
The amount of exhaust per unit time in a small amount exhaust state can also be changed by exchanging with a different opening area, and in combination with the selection of the transition characteristic from the small amount exhaust state to the fully open state, the film forming process Optimal conditions can be created according to the contents of.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

図面は本考案の実施例を示し、第１図は真空ポンプ用バ
ルブの縦断面図、第２図は同ポンプの一部を拡大して示
す縦断面図である。 １……弁箱 ２……主流路 ２ａ……流入口（上流側） ２ｂ……流出口（下流側） ３……主弁体 ４……主弁座 ７……副流路 ８……副弁体 ９……副弁座 １３……エアシリンダ装置（弁棒駆動手段） １４……弁棒1 is a vertical sectional view of a valve for a vacuum pump, and FIG. 2 is an enlarged vertical sectional view of a part of the pump. 1 ... Valve box 2 ... Main flow path 2a ... Inflow port (upstream side) 2b ... Outflow port (downstream side) 3 ... Main valve body 4 ... Main valve seat 7 ... Sub flow path 8 ... Sub Valve body 9 ... Sub valve seat 13 ... Air cylinder device (valve rod driving means) 14 ... Valve rod

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項１】真空にすべきチャンバーと真空ポンプとの
間に設けられるバルブであって、 上流側が上記チャンバーに接続され、下流側が上記真空
ポンプに接続される主流路（２）と、 上記主流路（２）にその上流側に向けて設けられた主弁
座（４）と、 上記主弁座（４）に接離すべくこの主弁座（４）に向け
て進退可能に設けられた主弁体（３）と、 上記主弁体（３）にその上流側と下流側とを連通するよ
うに形成された副流路（７）と、 上記副流路（７）にその上流側に向けて設けられた副弁
座（９）と、 上記副弁座（９）に接離すべくこの副弁座（９）に向け
て進退可能に設けられた副弁体（８）と、 上記副弁体（８）に結合され、この副弁体（８）を進退
せしめるとともに、この副弁体（８）を介して主弁体
（３）を進退せしめるための弁棒（１４）と、 上記弁棒（１４）を駆動するものであって、主弁体
（３）の上流側と下流側との圧力差が所定値以上のとき
には副弁体（８）のみを開弁せしめ、前記圧力差が所定
値以下になると主弁体（３）を開弁せしめるよう、開弁
方向の駆動力が設定されている弁棒駆動手段（１３）
と、 を備えていることを特徴とする真空ポンプ用バルブ。1. A valve provided between a chamber to be evacuated and a vacuum pump, the main flow path (2) having an upstream side connected to the chamber and a downstream side connected to the vacuum pump, and the main flow. The main valve seat (4) provided on the upstream side of the passage (2), and the main valve seat (4) that can move forward and backward toward and away from the main valve seat (4). A valve body (3), a sub-flow passage (7) formed in the main valve body (3) so as to communicate the upstream side and the downstream side thereof, and the sub-flow passage (7) on the upstream side thereof. A sub-valve seat (9) provided for the sub-valve seat (9), a sub-valve body (8) provided so as to move toward and away from the sub-valve seat (9) so as to move toward and away from the sub-valve seat (9), and the sub-valve (8) It is connected to the valve body (8) to move the auxiliary valve body (8) forward and backward, and to move the main valve body (3) forward and backward through the auxiliary valve body (8). And a valve rod (14) for driving the valve rod (14), and when the pressure difference between the upstream side and the downstream side of the main valve body (3) is a predetermined value or more, the auxiliary valve body (8) ) Is opened, and the driving force in the valve opening direction is set so that the main valve body (3) is opened when the pressure difference becomes a predetermined value or less.
And a valve for a vacuum pump.