JPH0682653A - Manufacture of integrated optical waveguide device, waveguide type optical pickup, and prism for integrated optical waveguide device - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To compensate an optical path so that the optical path of projection light is aligned when incident light varies in wavelength by forming a prism reflector or prism coupler of plural glass materials which differ in Abbe number. CONSTITUTION:The prism reflector 11 consists of two kind of glass materials M1 and M2 which differ in Abbe number and the side of the glass material 2 is formed in a triangular shape on the bottom surface of the prism reflector 11. The glass material Ml is formed in a trapezoid shape covering the glass material M2 and has a luminous flux incidence surface 13 and a luminous flux projection surface 14 and a border surface at the border of the glass materials M1 and M2. Then, when incident light beams L1 and L2 having wavelengths lambda1 and lambda2 are made incident on an incidence point A at an angle theta 1 of incidence, they are refracted at incidence points B and C on the glass material M2 to form an intersection D. The two light beams L1 and L2 which are reflected by the bottom surface at the intersection D are both projected at an angle theta1 of projection and the projection optical paths of the wavelengths lambda1 and 22 can be aligned with each other. Consequently, variation of the optical paths of the projection lights can be compensated and the stability of the parallelism between the projection lights can be improved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光磁気信号検出用光ピ
ックアップ等に用いられる集積型光導波路デバイス、導
波路型光ピックアップ及び集積型光導波路デバイス用プ
リズム作製方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an integrated optical waveguide device used for an optical pickup for detecting a magneto-optical signal, a waveguide type optical pickup and a method for producing a prism for the integrated optical waveguide device.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来より、光導波路への光結合方法とし
てプリズム反射器或いはプリズムカプラを用いる方法が
知られている。例えば、一般的なプリズム反射器１は図
１４に示すように単一の硝材Ｍ１により光束入射面２と
光束出射面３と光束反射面４とを有する台形状に形成し
てなる。2. Description of the Related Art Conventionally, a method of using a prism reflector or a prism coupler has been known as a method of optically coupling an optical waveguide. For example, a general prism reflector 1 is formed of a single glass material M1 into a trapezoidal shape having a light flux entrance surface 2, a light flux exit surface 3 and a light flux reflection surface 4 as shown in FIG.

【０００３】そして、光導波路内に集光偏向光学系、モ
ード分離光学系、導波光検出系を集積化し、光磁気信号
の検出機能を持たせた薄膜デバイスを光ピックアップと
して応用する提案がなされている。その一例として、例
えば特開平１−９８１３８号公報に示されるような導波
路型光ピックアップがある。まず、レーザ光源からの出
射ビームをコリメートレンズを介してプリズムカプラの
入射面より入射させ、このプリズムカプラの底面の反射
面で入射ビームを反射偏向させ、出射面より対物レンズ
に導き、光磁気ディスク上に集光照射させる。この光磁
気ディスクからの反射光を対物レンズを介してプリズム
カプラの出射面より再びプリズムカプラ中に導き、その
底面からのエバネッセント波（滲出し光）を光導波層と
位相整合させることで、光導波層へ励振させることで、
光結合させるようにしたものである。A proposal has been made to apply a thin film device having a function of detecting a magneto-optical signal by integrating a converging / deflecting optical system, a mode separation optical system and a guided light detecting system in an optical waveguide as an optical pickup. There is. As an example thereof, there is a waveguide type optical pickup as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 1-98138. First, the beam emitted from the laser light source is made incident on the incident surface of the prism coupler through the collimator lens, the incident beam is reflected and deflected by the reflecting surface at the bottom of the prism coupler, and is guided to the objective lens from the emitting surface, and the magneto-optical disk Focus and irradiate on top. The reflected light from this magneto-optical disk is guided again through the objective lens from the exit surface of the prism coupler into the prism coupler, and the evanescent wave (exuded light) from the bottom surface is phase-matched with the optical waveguide layer, thereby By exciting the wave layer,
It is designed to be optically coupled.

【０００４】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、光源に波長
変動が生じた場合を考えると、不都合を生ずる。例え
ば、図１４に示した一般的なプリズム反射器１におい
て、入射面２における屈折角θは入射光線の波長λによ
り異なるため、光源に波長変動（λ₁，λ₂）を生ずる
と、入射点Ａ及び出射点Ｄ，Ｅにおける屈折角も変動
し、図に示すように、プリズム反射器１を通過後の光路
が変化してしまう。However, considering the case where the wavelength of the light source fluctuates, an inconvenience occurs. For example, in the general prism reflector 1 shown in FIG. 14, since the refraction angle θ on the incident surface 2 varies depending on the wavelength λ of the incident light beam, when the wavelength variation (λ ₁ , λ ₂ ) occurs in the light source, the incident point The refraction angles at A and the emission points D and E also change, and as shown in the figure, the optical path after passing through the prism reflector 1 changes.

【０００５】これは、上記のような導波路型光ピックア
ップへの適用例で考えると、光磁気ディスク面に対する
照射位置ずれにより、対物レンズによる焦点が光磁気デ
ィスク面の記録層から外れるため、この記録層からの反
射光は対物レンズを逆方向に透過した後、非平行光束と
なる。ここに、このような非平行光束のマージナル光線
のプリズムカプラ出射面への入射角は非直角となるた
め、この出射面において屈折が生ずる。この際、レーザ
光源の波長が変動すると、この屈折角にも変化が生ずる
ため、屈折後のプリズムカプラ内の光路が変動する。こ
れにより、位相整合条件の安定性が劣化し、導波層に対
する結合効率も変動してしまうものとなる。Considering an application example to the above-mentioned waveguide type optical pickup, this is because the focal point by the objective lens deviates from the recording layer on the magneto-optical disk surface due to the deviation of the irradiation position on the magneto-optical disk surface. The reflected light from the recording layer becomes a non-parallel light flux after passing through the objective lens in the opposite direction. Here, since the angle of incidence of such a marginal ray of the non-parallel light flux on the exit surface of the prism coupler is non-perpendicular, refraction occurs at this exit surface. At this time, if the wavelength of the laser light source changes, this refraction angle also changes, so the optical path in the prism coupler after refraction changes. As a result, the stability of the phase matching condition deteriorates, and the coupling efficiency with respect to the waveguide layer also fluctuates.

【０００６】また、レーザ光源の波長変動時にプリズム
カプラ部では色収差が発生する。即ち、光源波長変動時
のコリメートレンズによる残存色収差の影響によっても
プリズムカプラ入射面への入射ビームのマージナル光線
入射角が変動し、プリズムカプラ内での色収差の影響が
対物レンズの集光スポットに影響を及ぼすものとなる。In addition, chromatic aberration occurs in the prism coupler when the wavelength of the laser light source changes. That is, the marginal ray incident angle of the incident beam on the entrance surface of the prism coupler also varies due to the influence of the residual chromatic aberration due to the collimator lens when the wavelength of the light source changes, and the influence of the chromatic aberration inside the prism coupler affects the focused spot of the objective lens. Will be affected.

【０００７】よって、プリズムカプラ部において、光源
の波長変動に対する光路補償を行ない、デバイスの信頼
性を向上させることが要望される。Therefore, in the prism coupler, it is required to perform optical path compensation for the wavelength fluctuation of the light source to improve the reliability of the device.

【０００８】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、光束の経路がアッベ数の異なる複数の硝材により形
成されたプリズム反射器を搭載した集積型光導波路デバ
イスとした。According to a first aspect of the present invention, there is provided an integrated optical waveguide device having a prism reflector in which a path of a light beam is formed of a plurality of glass materials having different Abbe numbers.

【０００９】請求項２記載の発明では、光束の経路がア
ッベ数の異なる３種以上の硝材により形成されたプリズ
ムカプラを搭載した集積型光導波路デバイスとした。According to a second aspect of the present invention, there is provided an integrated optical waveguide device having a prism coupler in which a path of a light beam is formed of three or more kinds of glass materials having different Abbe numbers.

【００１０】請求項３記載の発明では、少なくとも基板
とこの基板上に順次積層されたバッファ層と導波路層と
クラッド層と光束の経路がアッベ数の異なる複数の硝材
により形成されて前記導波路層へ光を結合励振させるプ
リズムカプラと前記導波路層中に配設された光集光器と
前記導波路層中の光路上に配設された光検出器とを有す
る集積型光導波路デバイスと、前記プリズムカプラの一
方の窓部前方に配設されてレーザ光源からの発散光を平
行化してこの窓部に対して垂直に入射させるコリメート
レンズ系と、前記プリズムカプラの他方の窓部前方に配
設されてこの窓部からの出射光の光軸と共軸とした対物
レンズとを有する光学系とよりなる導波路型光ピックア
ップとした。According to the third aspect of the present invention, at least the substrate, the buffer layer, the waveguide layer, the clad layer, and the light beam paths sequentially laminated on the substrate are formed of a plurality of glass materials having different Abbe numbers, and the waveguide is formed. An integrated optical waveguide device having a prism coupler for coupling and exciting light to a layer, an optical concentrator disposed in the waveguide layer, and a photodetector disposed on the optical path in the waveguide layer. , A collimating lens system disposed in front of one window of the prism coupler to collimate divergent light from a laser light source and make the light incident perpendicularly to this window, and in front of the other window of the prism coupler. A waveguide type optical pickup is provided which is provided with an optical system having an objective lens which is coaxial with the optical axis of the light emitted from the window.

【００１１】請求項４記載の発明では、請求項１記載の
集積型光導波路デバイスにおけるプリズム反射器の作製
方法として、少なくとも光束入射面と光束出射面と光束
反射面とを有するプリズム反射器本体の前記光束入射面
及び光束出射面上に、前記プリズム反射器本体とアッベ
数が異なり平行な対向面を有する平板状接合硝材の一方
の対向面を接着するようにした。According to a fourth aspect of the present invention, as a method of manufacturing the prism reflector in the integrated optical waveguide device according to the first aspect, a prism reflector main body having at least a light beam entrance surface, a light beam exit surface and a light beam reflection surface is provided. One opposing surface of a flat plate-shaped bonding glass material having opposing parallel surfaces having different Abbe numbers from the prism reflector main body is adhered to the light incident surface and the light exit surface.

【００１２】請求項５記載の発明では、請求項１記載の
集積型光導波路デバイスにおけるプリズム反射器の作製
方法として、少なくとも光束入射面と光束出射面と光束
反射面とを有するプリズム反射器本体の前記光束入射面
及び光束出射面上に、前記プリズム反射器本体とアッベ
数が異なる光学薄膜を形成するようにした。According to a fifth aspect of the present invention, as a method of manufacturing the prism reflector in the integrated optical waveguide device according to the first aspect, a prism reflector main body having at least a light flux entrance surface, a light flux exit surface, and a light flux reflection surface is used. Optical thin films having different Abbe numbers from the prism reflector main body are formed on the light flux incident surface and the light flux exit surface.

【００１３】請求項６記載の発明では、請求項２記載の
集積型光導波路デバイスにおけるプリズムカプラの作製
方法として、少なくとも光束入射面と光束出射面と光束
反射面とを有するプリズムカプラ本体の前記光束入射面
及び光束出射面上に、各々平行な対向面を有して前記プ
リズムカプラ本体とアッベ数が異なるとともに相互のア
ッベ数が異なる複数の平板状接合硝材の一つの対向面を
接着するようにした。According to a sixth aspect of the present invention, as a method of manufacturing the prism coupler in the integrated optical waveguide device according to the second aspect, the light flux of the prism coupler body having at least a light flux incident surface, a light flux exit surface, and a light flux reflection surface. On each of the incident surface and the light flux exit surface, there are parallel facing surfaces, and one facing surface of a plurality of flat plate-shaped bonding glass materials having different Abbe numbers and different Abbe numbers from the prism coupler body are bonded together. did.

【００１４】請求項７記載の発明では、請求項２記載の
集積型光導波路デバイスにおけるプリズムカプラの作製
方法として、少なくとも光束入射面と光束出射面と光束
反射面とを有するプリズムカプラ本体の前記光束入射面
及び光束出射面上に、前記プリズムカプラ本体とアッベ
数が異なるとともに相互のアッベ数の異なる２層以上の
光学薄膜を積層形成するようにした。According to a seventh aspect of the invention, as a method of manufacturing the prism coupler in the integrated optical waveguide device according to the second aspect, the light flux of the prism coupler body having at least a light flux entrance surface, a light flux exit surface, and a light flux reflection surface. Two or more optical thin films having different Abbe numbers and different Abbe numbers from the prism coupler body are laminated and formed on the incident surface and the luminous flux exit surface.

【００１５】請求項８記載の発明では、請求項２記載の
集積型光導波路デバイスにおけるプリズムカプラの作製
方法として、少なくとも光束入射面と光束出射面と光束
反射面とを有するプリズムカプラ本体の前記光束入射面
及び光束出射面上に、平行な対向面を有する平板状接合
硝材の一方の対向面を前記プリズムカプラ本体とアッベ
数の異なる接着剤で接着するようにした。According to an eighth aspect of the present invention, as a method of manufacturing the prism coupler in the integrated optical waveguide device according to the second aspect, the light flux of the prism coupler body having at least a light flux entrance surface, a light flux exit surface, and a light flux reflection surface. One of the facing surfaces of a flat plate-shaped bonding glass material having parallel facing surfaces is bonded to the prism coupler body with an adhesive having a different Abbe number on the entrance surface and the light flux exit surface.

【００１６】[0016]

【作用】請求項１，２記載の発明によれば、プリズム反
射器ないしはプリズムカプラがアッベ数の異なる複数の
硝材により形成されているので、入射光に波長変動が生
じても出射光の光路が一致するように出射光の光路変動
を補償し得るものとなり、出射光の平行度の安定性が向
上する。According to the first and second aspects of the present invention, since the prism reflector or the prism coupler is formed of a plurality of glass materials having different Abbe numbers, the optical path of the outgoing light is maintained even if the wavelength of the incoming light varies. The optical path variation of the emitted light can be compensated so as to match, and the stability of the parallelism of the emitted light is improved.

【００１７】請求項３記載の発明によれば、請求項２記
載の発明によるプリズムカプラを搭載した集積型光導波
路デバイスを備えた導波路型光ピックアップとして構成
したので、レーザ光源の波長変動に対して光信号検出の
安定性の高い光磁気信号検出光学系となる。According to the third aspect of the invention, the waveguide type optical pickup is provided with the integrated optical waveguide device equipped with the prism coupler according to the second aspect of the invention. As a result, a magneto-optical signal detection optical system with high stability of optical signal detection is obtained.

【００１８】ここに、請求項４記載の発明によれば、請
求項１記載の発明中のプリズム反射器の作製方法とし
て、バルク材料の平面接着方式を用いているので、作製
が容易で歩留まりのよいものとなる。また、請求項５記
載の発明によれば、薄膜材料によるため、選択性の広い
ものであり、かつ、膜厚を高精度に制御し得るため色消
し条件を満たすデバイス構造を高精度に実現し得るもの
となる上に、プリズム反射器を小型化し得るものとな
る。According to the invention described in claim 4, since the planar bonding method of the bulk material is used as the method for manufacturing the prism reflector in the invention described in claim 1, the manufacturing is easy and the yield is high. It will be good. Further, according to the invention of claim 5, since it is made of a thin film material, it has a wide selectivity, and since the film thickness can be controlled with high accuracy, a device structure satisfying an achromatic condition can be realized with high accuracy. In addition to being obtained, the prism reflector can be miniaturized.

【００１９】また、請求項６記載の発明によれば、請求
項２記載の発明中のプリズムカプラの作製方法として、
バルク材料の平面接着方式を用いているので、作製が容
易で歩留まりのよいものとなる。また、請求項７記載の
発明によれば、薄膜材料によるため、選択性の広いもの
であり、かつ、膜厚を高精度に制御し得るため色消し条
件を満たすデバイス構造を高精度に実現し得るものとな
る上に、プリズム反射器を小型化し得るものとなる。さ
らに、請求項８記載の発明によれば、接着剤自体にアッ
ベ数の異なるものを用いて１層形成しているため、使用
するバルク材料数を低減し得るものとなり、材料コスト
の軽減及びデバイスの小型・軽量化を図れる。Further, according to the invention of claim 6, as a method for producing the prism coupler in the invention of claim 2,
Since the planar bonding method of the bulk material is used, the manufacturing is easy and the yield is high. Further, according to the invention described in claim 7, since it is made of a thin film material, it has wide selectivity, and since the film thickness can be controlled with high accuracy, a device structure satisfying an achromatic condition can be realized with high accuracy. In addition to being obtained, the prism reflector can be miniaturized. Further, according to the invention described in claim 8, since one layer is formed by using adhesives having different Abbe numbers, it is possible to reduce the number of bulk materials to be used, thereby reducing material cost and device. Can be made smaller and lighter.

【００２０】[0020]

【実施例】請求項１記載の発明の一実施例を図１ないし
図４に基づいて説明する。まず、本実施例の基本構成及
びその動作原理を図１及び図２により説明する。本実施
例のプリズム反射器１１は、外形的には、図１４の場合
と同様に台形状に形成されているが、単一の硝材による
ものではなく、光束の経路を辿った場合に、例えばアッ
ベ数の異なる２種の硝材Ｍ１，Ｍ２により構成されてい
る点が特徴である。ここに、硝材Ｍ２側はプリズム反射
器１１の底面ｂｄｄ′ｂ′側に配設されて三角形状に形
成されている。これにより、ｆｇｇ′ｆ′なる光束反射
面１２を形成している。硝材Ｍ１は硝材Ｍ２を覆って台
形状をなすように形成されており、ａｂｂ′ａ′なる光
束入射面１３を有し、ｃｄｄ′ｃ′なる光束出射面１４
を有する。よって、硝材Ｍ１，Ｍ２の境界には、光束入
射面１３側に対してｅｆｆ′ｅ′なる境界面を有し、光
束出射面１４側に対してｅｇｇ′ｅ′なる境界面を有す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. First, the basic configuration and the operating principle of this embodiment will be described with reference to FIGS. The prism reflector 11 of the present embodiment is externally formed in a trapezoidal shape as in the case of FIG. 14, but is not made of a single glass material, but when the path of a light beam is traced, for example, The feature is that it is composed of two kinds of glass materials M1 and M2 having different Abbe numbers. Here, the glass material M2 side is disposed on the bottom surface bdd′b ′ side of the prism reflector 11 and is formed in a triangular shape. As a result, the light flux reflecting surface 12 of fgg'f 'is formed. The glass material M1 is formed so as to cover the glass material M2 and has a trapezoidal shape, and has a light beam incident surface 13 of abb'a 'and a light beam emission surface 14 of cdd'c'.
Have. Therefore, the boundary between the glass materials M1 and M2 has a boundary surface of eff'e 'on the side of the light flux incident surface 13 and a boundary surface of egg'e' on the side of the light flux exit surface 14.

【００２１】このような構成において、今、入射光線は
入射点Ａに対して入射角θ₁ で入射するものとし、波長
変動し得る入射光線Ｌ₁ ，Ｌ₂ の波長をλ₁ ，λ₂ とす
る。硝材Ｍ１の波長λ₁ に対する屈折率をｎ₁ ，波長λ
₂ に対する屈折率をｎ₂ とし、さらに、入射点Ａにおけ
る波長λ₁ に対する屈折角をψ₁ ，波長λ₂ に対する屈
折角をφ₁ とすると、 sinθ₁＝ｎ₁・sinψ₁＝ｎ₂・sinφ₁ ……………………(１) が成立する。In such a structure, it is assumed that the incident light rays are incident on the incident point A at an incident angle θ ₁ and the wavelengths of the incident light rays L ₁ and L ₂ which can change in wavelength are λ ₁ and λ ₂ . To do. The refractive index for the wavelength λ _{1 of the} glass material M ₁ is n ₁ , the wavelength λ ₁
The refractive index for ₂ and n _2, further ₁ to refraction angle for the wavelength lambda ₁ at the incident point A [psi, and the refractive angle to the wavelength lambda ₂ and _{φ 1, sinθ 1 = n 1} · sinψ 1 = n 2 · sinφ ₁ ………………………… (1) is established.

【００２２】次に、入射点Ａからプリズム反射器１１中
へ屈折入射した光線Ｌ₁ ，Ｌ₂ に関し、硝材Ｍ２に対す
る光線Ｌ₁ の入射点をＢ、光線Ｌ₂ の入射点をＣとし、
各々の入射角をψ₂ ，φ₂ とする。また、硝材Ｍ２の波
長λ₁ に対する屈折率をｍ₁，波長λ₂ に対する屈折率
をｍ₂ 、入射点Ｂにおける波長λ₁ に対する屈折角をψ
₂′、入射点Ｃにおける波長λ₂ に対する屈折角をφ₂′
とすると、 ｎ₁・sinψ₂＝ｍ₁・sinψ₂′ ……………………(２) ｎ₂・sinφ₂＝ｍ₂・sinφ₂′ ……………………(３) となる。Next, relates rays L _1, L ₂ refracted incident on the incident point A into the prism reflector 11, and the incident point of the light beam L ₁ with respect to the glass material M2 B, the incident point of the light beam L ₂ is C,
Let the incident angles be ψ ₂ and φ ₂ , respectively. Further, the refractive index of the glass material M2 for the wavelength λ ₁ is m ₁ , the refractive index for the wavelength λ ₂ is m ₂ , and the refraction angle for the wavelength λ _{1 at the} incident point B is ψ.
₂ ′, the refraction angle for the wavelength λ _{2 at} the incident point C is φ ₂ ′
Then, n ₁ · sin ψ ₂ = m ₁ · sin ψ ₂ ′ ……………… (2) n ₂ · sin φ ₂ = m ₂ · sin φ ₂ ′ ……………… (3) Become.

【００２３】ここで、ψ₂ ，φ₂ がψ₂ ＞φ₂ なる関係
にある場合に、Δｎ＝ｎ₂ ／ｎ₁ ，Δｍ＝ｍ₂ ／ｍ₁ と
して、 Δｍ＞Δｎ・sinφ₂ ／sinψ₂ ……………………(４) なる関係を満たすΔｍを与えることにより、入射点Ｂ，
Ｃで屈折した２光線Ｌ₁，Ｌ₂ は交点Ｄを結ぶ。Here, when φ ₂ and φ ₂ are in the relation of φ ₂ > φ ₂ , Δn = n ₂ / n ₁ and Δm = m ₂ / m ₁ , Δm> Δn · sin φ ₂ / sin φ ₂ ………………………… (4) By giving Δm that satisfies the relation, the incident point B,
Two rays L ₁ and L ₂ refracted at C connect the intersection point D.

【００２４】ついで、この交点Ｄを結ぶプリズム反射器
１１の底面（光束反射面１２）を定義する。ここで、交
点Ｄを底面の稜線ｆｇの中心に置き、プリズム反射器１
１の形状を、この交点Ｄを通り、かつ、稜線ｆｇと垂直
となる仮想面ｅＤＤ′ｅ′に対して対称に構成すること
により、交点Ｄにおいて底面反射された２光線Ｌ₁ ，Ｌ
₂ は、各々硝材Ｍ１，Ｍ２の境界面ｅｇｇ′ｅ′上の入
射点Ｅ，Ｆへ入射角ψ₂′ ，φ₂′ にて入射し、屈折角
ψ₂ ，φ₂ にて硝材Ｍ１の光束出射面１４なるｃｄｄ′
ｃ′面上の入射点Ｇへ入射角ψ₁ ，φ₁ にて入射し、と
もに、出射角θ₁ にて出射し、波長λ₁ ，λ₂ の出射光
光路を一致させることができる。Next, the bottom surface (light flux reflecting surface 12) of the prism reflector 11 connecting the intersection points D will be defined. Here, the intersection D is placed at the center of the ridgeline fg on the bottom surface, and the prism reflector 1
By constructing the shape of No. 1 symmetrically with respect to an imaginary plane eDD′e ′ that passes through the intersection D and is perpendicular to the ridge line fg, the two rays L ₁ and L reflected by the bottom surface at the intersection D are formed.
₂ is incident on incident points E and F on the boundary surface egg'e 'of the glass materials M1 and M2 at incident angles ψ ₂ ′ and φ ₂ ′, respectively, and the luminous flux of the glass material M1 is at refraction angles ψ ₂ and φ ₂ . Exit surface 14 is cdd '
It is possible to enter the incident point G on the c ′ plane at incident angles ψ ₁ and φ ₁ and both at the outgoing angle θ _{1 so} that the outgoing light optical paths of the wavelengths λ ₁ and λ ₂ are matched.

【００２５】このような原理に基づく、本実施例の具体
例を図３及び図４により説明する。実際の入射光は幅を
持った光束であるので、この場合の光路補償について説
明する。ここでは、硝材Ｍ２の下部側に、アッベ数の異
なる別の硝材Ｍ３が設けられ、３つの異なるアッベ数の
硝材Ｍ１〜Ｍ３により構成されている。図において、光
束入射面１３なる入射面ａｂｂ′ａ′への入射光束のＺ
Ｙ平面におけるマージナル光線をＭ₁，Ｍ₂とし、主光線
をＰで示すものとする。入射面ａｂｂ′ａ′へのマージ
ナル光線Ｍ₁ の入射点をＡ₁ 、入射角をθ₁ とする、ま
た、入射面ａｂｂ′ａ′への主光線Ｐの入射点をＡ₀ と
し、入射角は９０°であるとする。今、硝材Ｍ１の波長
λ₁ に対する屈折率をｎ₁₁、波長λ₂ に対する屈折率を
ｎ₁₂とし、入射点Ａ₁ における波長λ₁ に対する屈折角
をψ₁ 、波長λ₂ に対する屈折角をφ₁ とすると、(１)
式と同様に、 sinθ₁＝ｎ₁₁・sinψ₁＝ｎ₁₂・sinφ₁ ……………………(５) が成立する。A concrete example of this embodiment based on such a principle will be described with reference to FIGS. Since the actual incident light is a light flux having a width, the optical path compensation in this case will be described. Here, another glass material M3 having a different Abbe number is provided on the lower side of the glass material M2, and is composed of three glass materials M1 to M3 having different Abbe numbers. In the figure, Z of the incident light flux on the incident surface abb'a 'which is the light flux incidence surface 13
Let marginal rays on the Y plane be M ₁ and M ₂ , and the principal ray be P. Incident surface Abb'a 'the point of incidence of marginal ray M ₁ to A _1, the incident angle and theta _1, also the entrance surface Abb'a' the point of incidence of the principal ray P to the A _0, the angle of incidence Is 90 °. Now, let n _{11 be} the refractive index of the glass material M1 with respect to the wavelength λ ₁ and n ₁₂ be the refractive index with respect to the wavelength λ _2, and let the refraction angle for the wavelength λ ₁ at the incident point A _{1 be} ψ ₁ and the refraction angle for the wavelength λ _{2 be} φ _1. Then, (1)
Similar to the equation, sin θ ₁ = n ₁₁ · sin ψ ₁ = n ₁₂ · sin φ ₁ …………………… (5) holds.

【００２６】これは、入射面ａｂｂ′ａ′への入射点を
Ａ₂ とし、入射角が−θ₁ となるマージナル光線Ｍ₂ 側
についても、正負の符号が異なるだけで、（５）式が同
様に成立する。This is because the point of incidence on the plane of incidence abb'a 'is A ₂ and the marginal ray M ₂ side where the angle of incidence is -θ ₁ is different only in the positive and negative signs, and equation (5) is The same applies.

【００２７】次に、入射点Ａ₁ における屈折光線のう
ち、硝材Ｍ２への光線Ｍ₁₁に対する入射点をＢ₁₁、光線
Ｍ₁₂に対する入射点をＣ₁₁とし、各々の入射角をψ₂ ，
φ₂ とする。また、入射点Ａ₂ における屈折光線のう
ち、硝材Ｍ２への光線Ｍ₂₁に対する入射点をＢ₂₁、光線
Ｍ₂₂に対する入射点をＣ₂₁とし、各々の入射角をψ₂ ，
φ₂ （即ち、入射面ａｂｂ′ａ′と境界面ｅｆｆ′ｅ′
とを平行に配置）とする。Next, among the refracted rays at the incident point A ₁ , the incident point on the glass material M2 for the ray M ₁₁ is B ₁₁ , the incident point on the ray M ₁₂ is C _11, and the incident angles are ψ ₂ ,
φ ₂ Of the refracted rays at the incident point A ₂ , the incident point on the glass material M2 with respect to the ray M ₂₁ is B ₂₁ , the incident point with respect to the ray M ₂₂ is C ₂₁ , and the respective incident angles are ψ ₂ ,
φ ₂ (that is, the incident surface abb′a ′ and the boundary surface eff′e ′
And are arranged in parallel).

【００２８】また、硝材Ｍ２の波長λ₁ に対する屈折率
をｎ₂₁、波長λ₂ に対する屈折率をｎ₂₂とする。この
時、入射点Ｂ₁₁における波長λ₁ に対する屈折角を
ψ₂′ 、入射点Ｃ₁₁における波長λ₂ に対する屈折角を
ψ₂′ とすると、 ｎ₁₁・sinψ₂＝ｎ₂₁・sinψ₂′ ……………………(６) ｎ₁₂・sinφ₂＝ｎ₂₂・sinφ₂′ ……………………(７) となる。The refractive index of the glass material M2 for the wavelength λ ₁ is n ₂₁ , and the refractive index for the wavelength λ ₂ is n ₂₂ . At this time, the refraction angle for the wavelength lambda ₁ at the incident point B ₁₁ [psi ₂ With ', the angle of refraction with respect to wavelength lambda ₂ [psi ₂ at the incident point C _{11' and, n 11 · sinψ 2 = n} 21 · sinψ 2 '... ………………… (6) n ₁₂ · sinφ ₂ = n ₂₂ · sinφ ₂ ′ …………………… (7).

【００２９】同様に、入射点Ｂ₂₁における波長λ₁ に対
する屈折角をψ₂′ 、入射点Ｃ₂₁における波長λ₂ に対
する屈折角をψ₂′ とすると、 ｎ₁₁・sinψ₂＝ｎ₂₁・sinψ₂′ ……………………(８) ｎ₁₂・sinφ₂＝ｎ₂₂・sinφ₂′ ……………………(９) となる。即ち、(６)式＝(８)式、(７)式＝(９)式とな
る。[0029] Similarly, the refraction angle for the wavelength lambda ₁ at the incident point B ₂₁ [psi ₂ when ', the angle of refraction with respect to wavelength lambda ₂ at an incident point C ₂₁ [psi _{2' and, n 11 · sinψ 2 = n} 21 · sinψ ₂ ′ …………………… (8) n ₁₂ · sinφ ₂ = n ₂₂ · sinφ ₂ ′ ……………… (9). That is, equation (6) = equation (8) and equation (7) = equation (9).

【００３０】ここで、ψ₂ ，φ₂ がψ₂ ＞φ₂ なる関係
にある場合に、Δｎ₁ ＝ｎ₁₂／ｎ₁₁，Δｎ₂ ＝ｎ₂₂／ｎ
₂₁とすると、(４)式に準じて Δｎ₂＞Δｎ₁・sinφ₂ ／sinψ₂ ……………………(10) なる関係を満たすΔｎ₂ を与えることにより、入射点Ｂ
₁₁，Ｃ₁₁で屈折した２光線は交点Ｄ₁ を結ぶ。また、入
射点Ｂ₂₁，Ｃ₂₁で屈折した２光線は交点Ｄ₂ を結ぶ。Here, when φ ₂ and φ ₂ have a relation of φ ₂ > φ ₂ , Δn ₁ = n ₁₂ / n ₁₁ and Δn ₂ = n ₂₂ / n
When _21, by providing a [Delta] n ₂ satisfying _{(4) Δn 2> Δn 1} · sinφ 2 / sinψ 2 ........................ (10) the relationship according to equation incident point B
_The two rays refracted at ₁₁ and C ₁₁ connect the intersection point D ₁ . Further, the two light rays refracted at the incident points B ₂₁ and C ₂₁ connect the intersection point D ₂ .

【００３１】次に、硝材Ｍ２，Ｍ３の光線入射側の境界
面ｈｉｉ′ｈ′を、これらの交点Ｄ₁ ，Ｄ₂ を含む平面
とし、交点Ｄ₁ への光線Ｍ₁₁の入射角をψ₃ 、屈折角を
ψ₃′ 、光線Ｍ₁₂の入射角をφ₃ 、屈折角をφ₃′ とす
る。また、硝材Ｍ３の波長λ₁ に対する屈折率をｎ₃₁、
波長λ₂ に対する屈折率をｎ₃₂とする。この時、 ｎ₂₁・sinψ₃＝ｎ₃₁・sinψ₃′ ……………………(11) ｎ₂₂・sinφ₃＝ｎ₃₂・sinφ₃′ ……………………(12) となる。Next, the glass material M2, M3 and the light incident side of the boundary surface Hii'h 'of, as the plane containing these intersections D _1, D _{2, 3} the incident angle ψ of the light beam M ₁₁ to the intersection point D ₁ , The refraction angle is φ ₃ ′, the incident angle of the light beam M ₁₂ is φ ₃ , and the refraction angle is φ ₃ ′. Further, the refractive index of the glass material M3 with respect to the wavelength λ ₁ is n ₃₁ ,
The refractive index for the wavelength λ ₂ is n ₃₂ . At this time, n ₂₁ · sin ψ ₃ = n ₃₁ · sin ψ ₃ ′ ……………… (11) n ₂₂ · sinφ ₃ = n ₃₂ · sinφ ₃ ′ …………………… (12) Become.

【００３２】今、ｎ₃₂／ｎ₃₁＝Δｎ₃ と表すものとし、 Δｎ₃ ＝Δｎ₂・sinφ₃ ／sinψ₃ ……………………(13) を満たす硝材Ｍ３を用いれば、ψ₃′ ＝φ₃′ となり、
２つの光線Ｍ₁₁，Ｍ₁₂は、交点Ｄ₁ において屈折後、経
路が同一となる。また、２つの光線Ｍ₂₁，Ｍ₂₂が交点Ｄ
₂ において屈折後、経路が同一となる。[0032] Now, it is assumed to represent a _{n 32 / n 31 = Δn 3} , the use of the glass material M3 satisfying _{Δn 3 = Δn 2 · sinφ 3} / sinψ 3 ........................ (13), ψ 3 ′ = Φ ₃ ′,
The two rays M ₁₁ and M ₁₂ have the same path after being refracted at the intersection D ₁ . Also, the two rays M ₂₁ and M ₂₂ intersect at the intersection D.
After refraction at ₂ , the paths are the same.

【００３３】従って、硝材３の底面をプリズム反射器１
１の底面とすれば、図３に示すように構成することによ
り、このプリズム反射器１１の底面（光束反射面１２）
への光線入射角の変動を、波長λ₁ ，λ₂ の範囲内にお
いて抑えることができる。Therefore, the bottom surface of the glass material 3 is attached to the prism reflector 1
Assuming that the bottom surface of the prism is 1, the bottom surface of the prism reflector 11 (light flux reflecting surface 12) can be obtained by configuring as shown in FIG.
It is possible to suppress the variation of the incident angle of the light beam on the wavelengths λ ₁ and λ ₂ .

【００３４】つづいて、請求項２記載の発明の一実施例
を図５により説明する。前記実施例で示した部分と同一
部分は同一符号を用いて示す（以下の実施例でも同様と
する）。本実施例は、図３及び図４に示したようなプリ
ズム反射器１１をプリズムカプラとして用い、このよう
なプリズムカプラ１１を集積型光導波路デバイス１５の
一部として組込んだものである。即ち、本実施例の集積
型光導波路デバイス１５は、少なくとも、基板１６と、
この基板１６上に順次積層されたバッファ層１７と、導
波路層１８と、クラッド層１９と、前記プリズムカプラ
１１と、前記導波路層１８中に配設された光集光器２０
と、前記導波路層１８中の光路上に配設された光検出器
２１とにより構成されている。前記プリズムカプラ１１
は導波路層１８へ光を結合励振させるもので、その底面
が導波路層１８上に接着層２２を介して搭載されてい
る。Next, an embodiment of the invention described in claim 2 will be described with reference to FIG. The same parts as those shown in the above-mentioned embodiments are designated by the same reference numerals (the same applies to the following embodiments). In this embodiment, the prism reflector 11 as shown in FIGS. 3 and 4 is used as a prism coupler, and such a prism coupler 11 is incorporated as a part of the integrated optical waveguide device 15. That is, the integrated optical waveguide device 15 of this embodiment includes at least the substrate 16 and
A buffer layer 17, a waveguide layer 18, a cladding layer 19, the prism coupler 11, and an optical concentrator 20 disposed in the waveguide layer 18, which are sequentially laminated on the substrate 16.
And a photodetector 21 arranged on the optical path in the waveguide layer 18. The prism coupler 11
Is for coupling and exciting light to the waveguide layer 18, and its bottom surface is mounted on the waveguide layer 18 via an adhesive layer 22.

【００３５】このような構成において、プリズムカプラ
１１の光束入射面１３より入射した平行光束ないしは非
平行光束は、この光束入射面１３において屈折し、硝材
Ｍ１の内部を透過し、硝材Ｍ１とアッベ数の異なる硝材
Ｍ２との境界面ｅｆｆ′ｅ′に至り、この境界面ｅｆ
ｆ′ｅ′にて再度屈折して硝材Ｍ３の領域を通過し、こ
の硝材Ｍ３の領域にあるプリズムカプラ１１の底面、即
ち、光束反射面１２に至る。In such a structure, the parallel light flux or the non-parallel light flux incident from the light flux incident surface 13 of the prism coupler 11 is refracted at the light flux incident surface 13 and transmitted through the inside of the glass material M1, and the glass material M1 and the Abbe number. To the boundary surface eff'e 'with the glass material M2 having a different
The light is refracted again at f′e ′, passes through the area of the glass material M3, and reaches the bottom surface of the prism coupler 11 in the area of the glass material M3, that is, the light flux reflecting surface 12.

【００３６】プリズムカプラ１１の底面に至った入射光
束の一部は、エバネッセント波として、底面下に滲み出
し、接着層２２を介して導波路層１８内部へ導波励振さ
れる。導波励振された導波光は、この導波路層１８内の
光集光器２０を介して基板両側の光検出器２１へ集光導
波される。この時、前述したような動作を示すプリズム
カプラ１１を利用しているため、光束に波長変動があっ
ても、プリズムカプラ１１の底面への入射角の変動が抑
制されるので、波長変動に伴う導波路層１８への結合効
率の変動を抑制することができる。A part of the incident light flux reaching the bottom surface of the prism coupler 11 oozes out below the bottom surface as an evanescent wave and is guided and excited into the inside of the waveguide layer 18 through the adhesive layer 22. The guided light excited by the guided wave is condensed and guided to the photodetectors 21 on both sides of the substrate through the light collector 20 in the waveguide layer 18. At this time, since the prism coupler 11 exhibiting the above-described operation is used, even if the light flux has a wavelength variation, the variation of the incident angle to the bottom surface of the prism coupler 11 is suppressed, so that the wavelength variation is accompanied. It is possible to suppress the fluctuation of the coupling efficiency with the waveguide layer 18.

【００３７】さらに、請求項３記載の発明の一実施例を
図６により説明する。本実施例は、前記実施例による集
積型光導波路デバイス１５に光学系２３を組合せて、光
ディスク（光磁気ディスク）２４の光磁気信号を再生す
る導波路型光ピックアップ２５を構成したものである。
ここに、光学系２３は、前記プリズムカプラ１１の一方
の窓部、ここでは光束出射面１４なるｃｄｄ′ｃ′面の
前方に配設されてレーザ光源２６からの発散光を平行化
してこの窓部（ｃｄｄ′ｃ′面）に対して垂直に入射さ
せるコリメートレンズ系２７と、前記プリズムカプラ１
１の他方の窓部、ここでは光束入射面１３なるａｂｂ′
ａ′面の前方に配設されてこの窓部（ａｂｂ′ａ′面）
からの出射光の光軸と共軸として前記光ディスク２４に
対向する対物レンズ２８とにより構成されている。Further, an embodiment of the invention described in claim 3 will be described with reference to FIG. In this embodiment, an optical system 23 is combined with the integrated optical waveguide device 15 according to the above embodiment to construct a waveguide type optical pickup 25 for reproducing a magneto-optical signal of an optical disk (magneto-optical disk) 24.
Here, the optical system 23 is disposed in front of one of the windows of the prism coupler 11, here, the cdd'c 'surface which is the light beam emitting surface 14, and collimates the divergent light from the laser light source 26 to make this window. The collimating lens system 27 for making the light incident perpendicularly to the portion (cdd′c ′ surface), and the prism coupler 1
The other window of No. 1, ab 'which is the light-incident surface 13 here.
This window portion (abb'a 'surface) is provided in front of the a' surface.
The objective lens 28 faces the optical disc 24 as a coaxial axis with the light emitted from the optical disc.

【００３８】このような構成において、レーザ光源２６
より出射された発散光はコリメートレンズ系２７により
平行光束とされ、プリズムカプラ１１のｃｄｄ′ｃ′面
へ垂直に入射する。ここで、コリメートレンズ系２７が
レーザ光源２６の波長変動に対して色収差補正されてい
れば、レーザ光源２６の波長変動によらず、ｃｄｄ′
ｃ′面に対して垂直に入射する。このような入射光束
は、プリズムカプラ１１において硝材Ｍ１内を透過し、
硝材Ｍ１，Ｍ２の境界面ｅｇｇ′ｅ′へ至る。ここで、
この境界面ｅｇｇ′ｅ′はｃｄｄ′ｃ′面と平行に配置
され、この境界面ｅｇｇ′ｅ′への透過光束の入射角は
垂直となる。境界面ｅｇｇ′ｅ′への入射光束は、硝材
Ｍ３の領域を透過し、この硝材Ｍ３の底面ｉｊｊ′ｉ′
に至る。この底面ｉｊｊ′ｉ′で透過光束の一部は反射
され、硝材Ｍ３，Ｍ２の境界面ｉｈｈ′ｉ′へ至る。こ
の時、この境界面ｈｉｉ′ｈ′への入射角が垂直となる
ように、この境界面ｈｉｉ′ｈ′を配置させると、底面
ｉｊｊ′ｉ′からの反射光束は屈折を生ずることなく、
硝材Ｍ２の領域中へ透過し、硝材Ｍ２，Ｍ１の境界面ｅ
ｆｆ′ｅ′に至る。In such a structure, the laser light source 26
The divergent light emitted by the collimator lens system 27 is converted into a parallel light flux, which is vertically incident on the cdd'c 'plane of the prism coupler 11. Here, if the collimator lens system 27 is chromatic aberration-corrected with respect to the wavelength variation of the laser light source 26, cdd ′ will be obtained regardless of the wavelength variation of the laser light source 26.
It is incident perpendicularly to the c'plane. Such an incident light flux passes through the glass material M1 in the prism coupler 11,
The boundary surface egg'e 'between the glass materials M1 and M2 is reached. here,
The boundary surface egg'e 'is arranged in parallel with the cdd'c' surface, and the incident angle of the transmitted light beam on the boundary surface egg'e 'is vertical. The light flux incident on the boundary surface egg'e 'passes through the region of the glass material M3, and the bottom surface ijj'i' of this glass material M3.
Leading to. A part of the transmitted light flux is reflected by the bottom surface ijj'i 'and reaches the boundary surface ihh'i' of the glass materials M3, M2. At this time, when the boundary surface hii'h 'is arranged so that the incident angle on the boundary surface hii'h' becomes vertical, the reflected light beam from the bottom surface ijj'i 'does not cause refraction.
It penetrates into the region of the glass material M2 and the boundary surface e between the glass materials M2 and M1.
to ff'e '.

【００３９】この時、この境界面ｅｆｆ′ｅ′を境界面
ｈｉｉ′ｈ′と平行に配置させると、硝材Ｍ２中の透過
光の境界面ｅｆｆ′ｅ′への入射角が垂直となるので、
境界面ｅｆｆ′ｅ′で屈折を生ずることなく、窓部、即
ち、入射面ａｂｂ′ａ′に至る。この時、この入射面ａ
ｂｂ′ａ′を境界面ｅｆｆ′ｅ′面と平行に配置させる
と、硝材Ｍ１中の透過光は入射面ａｂｂ′ａ′に対する
入射角が垂直となるので、この面で屈折を生ずることな
く、対物レンズ２８に向けて出射する。At this time, if the boundary surface eff'e 'is arranged in parallel with the boundary surface hii'h', the incident angle of the transmitted light in the glass material M2 on the boundary surface eff'e 'becomes vertical.
It reaches the window portion, that is, the incident surface abb'a 'without causing refraction at the boundary surface eff'e'. At this time, this incident surface a
When bb'a 'is arranged in parallel with the boundary surface eff'e' surface, the transmitted light in the glass material M1 has a perpendicular incident angle with respect to the incident surface abb'a ', so that refraction does not occur at this surface. The light is emitted toward the objective lens 28.

【００４０】このように、プリズムカプラ１１におい
て、各面ｃｄｄ′ｃ′，ｅｇｇ′ｅ′ｈｊｊ′ｈ′，ｈ
ｉｉ′ｈ′，ｅｆｆ′ｅ′，ａｂｂ′ａ′における入射
角が何れも垂直なため、レーザ光源２６の波長が変動し
ても光路は一定に保たれる。As described above, in the prism coupler 11, the respective surfaces cdd'c ', egg'e'hjj'h', h
Since the incident angles at ii'h ', eff'e', and abb'a 'are all vertical, the optical path is kept constant even if the wavelength of the laser light source 26 changes.

【００４１】次に、入射面（出射面）ａｂｂ′ａ′から
出射された光束は対物レンズ２８へ至り、光ディスク２
４の保護層を介して記録層表面に集光される。集光され
た光は、この記録層表面で反射され、再び対物レンズ２
８へ戻り、プリズムカプラ１１の入射面ａｂｂ′ａ′に
至る。対物レンズ２８を経て戻る光束は、光ディスク２
４の記録層表面が対物レンズ２８の焦点面に位置する場
合において平行光束となり、焦点面より前方にずれると
発散光束、焦点面より後方にずれると収束光束となる。Next, the light flux emitted from the incident surface (emission surface) abb'a 'reaches the objective lens 28, and the optical disk 2 is reached.
The light is focused on the surface of the recording layer through the protective layer 4. The condensed light is reflected on the surface of this recording layer, and again the objective lens 2
8 and reaches the entrance surface abb'a 'of the prism coupler 11. The light flux returning through the objective lens 28 is the optical disc 2
When the surface of the recording layer 4 is located on the focal plane of the objective lens 28, it becomes a parallel light flux, and when it shifts forward from the focal plane, it becomes a divergent light flux, and when it shifts backward from the focal surface, it becomes a convergent light flux.

【００４２】対物レンズ２８側からの戻り光が、平行光
束の場合、入射面ａｂｂ′ａ′へ垂直入射し、硝材Ｍ１
の領域を透過して境界面ｅｆｆ′ｅ′に垂直入射し、硝
材Ｍ２の領域を透過して境界面ｈｉｉ′ｈ′に垂直入射
し、硝材Ｍ３の領域を透過してその底面ｉｊｊ′ｉ′に
至る。When the return light from the objective lens 28 side is a parallel light flux, it is vertically incident on the incident surface abb'a ', and the glass material M1.
Of the glass material M2 to be vertically incident on the boundary surface eff'e ', and to be transmitted through the area of the glass material M2 to be vertically incident on the boundary surface hii'h', and to be transmitted through the area of the glass material M3 to be its bottom surface ijj'i '. Leading to.

【００４３】一方、対物レンズ２８側からの戻り光が、
非平行光束の場合、そのマージナル光線は入射面ａｂ
ｂ′ａ′へ非垂直なる入射角をもって入射するために、
レーザ光源２６に波長変動を生じた場合には、この入射
面ａｂｂ′ａ′における屈折角が変動し、光路が一旦分
れるが、図５等で前述した動作原理により、境界面ｈｉ
ｉ′ｈ′おける出射点と屈折角が各々同一となり、硝材
Ｍ３の領域において光路が一定に保たれ、プリズムカプ
ラ１１の底面ｉｊｊ′ｉ′への入射角が波長変動に対し
て安定する。On the other hand, the return light from the objective lens 28 side is
In the case of a non-parallel light beam, the marginal ray is the incident surface ab.
In order to make incident on b′a ′ with a non-perpendicular incident angle,
When the laser light source 26 fluctuates in wavelength, the refraction angle at the incident surface abb'a 'fluctuates and the optical path is once divided. However, due to the operation principle described above with reference to FIG.
The exit point at i′h ′ is the same as the refraction angle, the optical path is kept constant in the region of the glass material M3, and the incident angle at the bottom surface ijj′i ′ of the prism coupler 11 is stable against wavelength fluctuation.

【００４４】このように波長変動に対して安定して底面
ｉｊｊ′ｉ′に至った光束の一部は、底面ｉｊｊ′ｉ′
下へ滲み出し、接着層２２を介して導波路層１８へ結合
励振され、光集光器２０を介して光検出器２１に集光導
波される。As described above, a part of the light flux that has reached the bottom surface ijj'i 'stably with respect to the wavelength fluctuation is part of the bottom surface ijj'i'.
It exudes downward, is coupled and excited to the waveguide layer 18 via the adhesive layer 22, and is condensed and guided to the photodetector 21 via the optical condenser 20.

【００４５】ところで、図６等に示す集積型光導波路デ
バイス１５について、より詳細に説明する。まず、光集
光器２０を図６(ｂ)（或いは、図５(ｂ)）に示すよう
に、導波光の光路に対して偏心配置させることにより、
光集光器２０への入射光束が非平行なる場合にこの光集
光器２０による集光点移動方向を導波光伝搬方向と直交
させ、光検出器２１Ａ，２１Ｂを、光集光器２０への入
射光束が平行な場合における集光点に対して対称かつ集
光点移動方向に並列配置させる。この時、光検出器２１
Ａ，２１Ｂの差信号は、入射光束の発散、収束に対応す
るため、この差信号を用いることにより、光ディスク２
４のフォーカシング誤差検出が行なわれる。この時、レ
ーザ光源２６の波長変動に対するプリズムカプラ１１に
よる導波路層１８への結合効率は、図１４に示したよう
な従来のプリズムカプラ１を用いた場合に比して、その
安定性が向上するものとなる。よって、レーザ光源２６
の波長変動に対するフォーカシング誤差信号の検出精度
の高いものとなる。The integrated optical waveguide device 15 shown in FIG. 6 and the like will be described in more detail. First, as shown in FIG. 6B (or FIG. 5B), the optical concentrator 20 is eccentrically arranged with respect to the optical path of the guided light.
When the incident light flux to the light concentrator 20 is non-parallel, the moving direction of the condensing point by the light concentrator 20 is made orthogonal to the guided light propagation direction, and the photodetectors 21A and 21B are moved to the light concentrator 20. When the incident light beams are parallel to each other, they are arranged symmetrically with respect to the converging point and in the converging point moving direction. At this time, the photodetector 21
Since the difference signal between A and 21B corresponds to the divergence and convergence of the incident light flux, by using this difference signal, the optical disc 2
Focusing error detection of No. 4 is performed. At this time, the coupling efficiency of the prism coupler 11 to the waveguide layer 18 with respect to the wavelength fluctuation of the laser light source 26 is improved as compared with the case where the conventional prism coupler 1 as shown in FIG. 14 is used. It will be done. Therefore, the laser light source 26
The accuracy of detection of the focusing error signal with respect to the wavelength fluctuation of is high.

【００４６】つづいて、請求項４記載の発明の一実施例
を図７を参照して説明する。本実施例は、例えば図１，
２に示したようなアッベ数の異なる２種の硝材Ｍ１，Ｍ
２によるプリズム反射器３１の作製方法に関するもので
ある。まず、光束入射面ａｂｃｄ、光束反射面ｃｇｈ
ｄ、光束出射面ｅｆｇｈを有する硝材Ｍ２による台形状
のプリズム反射器本体３２を用意し、光束入射面ａｂｃ
ｄに対して硝材Ｍ２とアッベ数の異なる硝材Ｍ１による
平板状接合硝材３３の一方の対向面ａ′ｂ′ｃ′ｄ′を
接合させる。平板状接合硝材３３は対向面ａ′ｂ′ｃ′
ｄ′に平行な対向面ａ″ｂ″ｃ″ｄ″を有する。この
時、平板状接合硝材３３の稜角∠ｂ″ｃ″ｃ′を、プリ
ズム反射器本体３２の稜角∠ｂｃｇより大きくとること
により、プリズム反射器本体３２の反射面ｃｇｈｄを導
波路層に対して良好に接合できる。Next, an embodiment of the invention described in claim 4 will be described with reference to FIG. In this embodiment, for example, FIG.
Two types of glass materials M1 and M with different Abbe numbers as shown in 2
The present invention relates to a method of manufacturing the prism reflector 31 according to No. 2. First, the light flux incident surface abcd and the light flux reflection surface cgh
d, a trapezoidal prism reflector main body 32 made of a glass material M2 having a light flux exit surface efgh is prepared.
One opposing surface a′b′c′d ′ of the flat plate-shaped bonding glass material 33 made of the glass material M2 and the glass material M1 having a different Abbe number is bonded to d. The flat bonding glass material 33 has an opposing surface a'b'c '.
It has an opposing surface a "b" c "d" parallel to d '. At this time, by setting the ridge angle ∠b ″ c ″ c ′ of the flat plate-shaped bonding glass material 33 to be larger than the ridge angle ∠bcg of the prism reflector body 32, the reflection surface cghd of the prism reflector body 32 with respect to the waveguide layer. Can be joined well.

【００４７】一方、プリズム反射器本体３２の光束出射
面ｅｆｇｈに対して硝材Ｍ１による平板状接合硝材３４
の一方の対向面ｅ′ｆ′ｇ′ｈ′を接合させる。平板状
接合硝材３４は対向面ｅ′ｆ′ｇ′ｈ′に平行な対向面
ｅ″ｆ″ｇ″ｈ″を有する。この場合も、平板状接合硝
材３４の稜角∠ｆ″ｇ″ｇ′を、プリズム反射器本体３
２の稜角∠ｆｇｃより大きくとることにより、プリズム
反射器本体３２の反射面ｃｇｈｄを導波路層に対して良
好に接合できる。On the other hand, the flat plate-shaped joining glass material 34 made of the glass material M1 is attached to the light flux emission surface efgh of the prism reflector body 32.
One of the opposing surfaces e'f'g'h 'is joined. The flat plate-shaped bonding glass material 34 has a facing surface e ″ f ″ g ″ h ″ parallel to the facing surface e′f′g′h ′. Also in this case, the ridge angle ∠f ″ g ″ g ′ of the flat plate-shaped bonding glass material 34 is set to the prism reflector main body 3
By setting the ridge angle of 2 to be larger than ∠fgc, the reflecting surface cghd of the prism reflector main body 32 can be satisfactorily joined to the waveguide layer.

【００４８】なお、この場合、図８に示すように、平板
状接合硝材３３，３４の持つ全ての稜角を直角としたも
のを用いれば、これらの平板状接合硝材３３，３４の形
状が単純となる分、形状加工が容易となり、低コストと
なる。In this case, as shown in FIG. 8, if all the ridge angles of the flat plate-shaped bonding glass materials 33 and 34 are used at right angles, the flat plate-shaped bonding glass materials 33 and 34 will have a simple shape. As a result, the shape processing becomes easier and the cost becomes lower.

【００４９】ついで、請求項５記載の発明の一実施例を
図９により説明する。本実施例は、前記実施例とは別の
アッベ数の異なる２種の硝材Ｍ１，Ｍ２によるプリズム
反射器３５の作製方法に関するものである。本実施例
は、プリズム反射器本体３２の光束入射面ａｂｃｄ及び
光束出射面ｅｆｇｈに対してプリズム反射器本体３２と
はアッベ数の異なる光学薄膜３６，３７を直接形成する
ようにしたものである。薄膜形成法としては、プラズマ
ＣＶＤ法等を用い得る。プラズマＣＶＤ法による場合、
その膜厚と屈折率との制御性がよく、所望の色消し条件
が比較的容易に得られるメリットがある。また、図７や
図８のようなバルク材料のハイブリッド化に比べ、プリ
ズムの小型・軽量化を図れる。Next, an embodiment of the invention described in claim 5 will be described with reference to FIG. This embodiment relates to a method of manufacturing the prism reflector 35 using two kinds of glass materials M1 and M2 having different Abbe numbers different from the above-mentioned embodiments. In this embodiment, optical thin films 36 and 37 having different Abbe numbers from the prism reflector body 32 are directly formed on the light flux incident surface abcd and the light flux exit surface efgh of the prism reflector body 32. A plasma CVD method or the like may be used as the thin film forming method. When using the plasma CVD method,
The controllability of the film thickness and the refractive index is good, and there is an advantage that a desired achromatic condition can be obtained relatively easily. Further, the prism can be made smaller and lighter than the hybrid material made of a bulk material as shown in FIGS. 7 and 8.

【００５０】また、請求項６記載の発明の一実施例を図
１０を参照して説明する。本実施例は、例えば図３，４
に示したようなアッベ数の異なる３種の硝材Ｍ１〜Ｍ３
によるプリズムカプラ３８の作製方法に関するものであ
る。まず、光束入射面ａｂｃｄ、光束反射面ｃｇｈｄ、
光束出射面ｅｆｇｈを有する硝材Ｍ３による台形状のプ
リズムカプラ本体３９を用意し、光束入射面ａｂｃｄに
対して硝材Ｍ３とアッベ数の異なる硝材Ｍ２による平板
状接合硝材４０の一方の対向面ａ′ｂ′ｃ′ｄ′を接合
させる。平板状接合硝材４０は対向面ａ′ｂ′ｃ′ｄ′
に平行な対向面ａ″ｂ″ｃ″ｄ″を有する。この平板状
接合硝材４０の対向面ａ″ｂ″ｃ″ｄ″に対しては、こ
れらの硝材Ｍ３，Ｍ２の双方とアッベ数の異なる硝材Ｍ
１による平板状接合硝材４１の一方の対向面ＡＢＣＤを
接合させる。平板状接合硝材４１は対向面ＡＢＣＤに平
行な対向面Ａ′Ｂ′Ｃ′Ｄ′を有する。An embodiment of the invention described in claim 6 will be described with reference to FIG. In this embodiment, for example, FIGS.
3 types of glass materials M1 to M3 having different Abbe numbers as shown in
The present invention relates to a method for manufacturing the prism coupler 38 according to. First, the light flux incident surface abcd, the light flux reflection surface cghd,
A trapezoidal prism coupler body 39 made of a glass material M3 having a light flux exit surface efgh is prepared, and one of the facing surfaces a'b of the flat plate-shaped bonding glass material 40 made of the glass material M3 and the glass material M2 having a different Abbe number from the light flux entrance surface abcd. Join'c'd '. The flat plate-shaped bonding glass material 40 has an opposing surface a'b'c'd '.
Has a facing surface a "b" c "d" parallel to the. With respect to the facing surface a ″ b ″ c ″ d ″ of the flat plate-shaped bonding glass material 40, the glass material M having an Abbe number different from both of these glass materials M3 and M2.
One opposing surface ABCD of the flat bonding glass material 41 according to No. 1 is bonded. The flat bonding glass material 41 has an opposing surface A′B′C′D ′ parallel to the opposing surface ABCD.

【００５１】同様に、プリズムカプラ本体３９の光束出
射面ｅｆｇｈに対して硝材Ｍ３とアッベ数の異なる硝材
Ｍ２による平板状接合硝材４２の一方の対向面ｅ′ｆ′
ｇ′ｈ′を接合させる。平板状接合硝材４２は対向面
ｅ′ｆ′ｇ′ｈ′に平行な対向面ｅ″ｆ″ｇ″ｈ″を有
する。この平板状接合硝材４２の対向面ｅ″ｆ″ｇ″
ｈ″に対しては、これらの硝材Ｍ３，Ｍ２の双方とアッ
ベ数の異なる硝材Ｍ１による平板状接合硝材４３の一方
の対向面ＥＦＧＨを接合させる。平板状接合硝材４３は
対向面ＥＦＧＨに平行な対向面Ｅ′Ｆ′Ｇ′Ｈ′を有す
る。Similarly, one surface e'f 'of the flat plate-bonded glass material 42 made of the glass material M3 and the glass material M2 having a different Abbe number is opposite to the light flux emission surface efgh of the prism coupler body 39.
Join g'h '. The flat bonding glass material 42 has an opposing surface e ″ f ″ g ″ h ″ parallel to the opposing surface e′f′g′h ′. Opposing surface e ″ f ″ g ″ of the flat plate-shaped bonding glass material 42
For h ″, both of these glass materials M3 and M2 and one of the facing surfaces EFGH of the flat bonding glass material 43 made of a glass material M1 having a different Abbe number are bonded. The flat bonding glass material 43 is parallel to the facing surface EFGH. It has an opposing surface E'F'G'H '.

【００５２】この時、平板状接合硝材４０，４１の稜角
∠Ｂ′Ｃ′ｃ′をプリズムカプラ本体３９の稜角∠ｂｃ
ｇより大きくとり、平板状接合硝材４２，４３の稜角∠
Ｆ′Ｇ′ｇ′をプリズムカプラ本体３９の稜角∠ｆｇｃ
より大きくとることにより、プリズムカプラ本体３９の
反射面ｃｇｈｄを導波路層に対して良好に接合できる。At this time, the ridge angle ∠B'C'c 'of the flat plate-shaped bonding glass materials 40 and 41 is changed to the ridge angle ∠bc of the prism coupler body 39.
g larger than g, and the ridge angle ∠ of the flat plate-shaped bonding glass materials 42, 43
F′G′g ′ is the ridge angle ∠fgc of the prism coupler body 39.
By making it larger, the reflecting surface cghd of the prism coupler body 39 can be favorably joined to the waveguide layer.

【００５３】なお、この場合も、図１１に示すように、
平板状接合硝材４０〜４３の持つ全ての稜角を直角とし
たものを用いれば、これらの平板状接合硝材４０〜４３
の形状が単純となる分、形状加工が容易となり、低コス
トとなる。また、入射開口、出射開口を広げることもで
きる。Also in this case, as shown in FIG.
If all the ridge angles of the flat plate-shaped bonding glass materials 40 to 43 are used, these flat plate-shaped bonding glass materials 40 to 43 will be used.
Since the shape is simple, shape processing becomes easy and the cost is low. Further, the entrance opening and the exit opening can be widened.

【００５４】ついで、請求項７記載の発明の一実施例を
図１２を参照して説明する。本実施例は、前記実施例と
は別のアッベ数の異なる３種構造のプリズムカプラ４４
の作製方法に関するものである。本実施例は、プリズム
カプラ本体３９の光束入射面ａｂｃｄ及び光束出射面ｅ
ｆｇｈに対してプリズム反射器本体３９とはアッベ数が
異なり、かつ、相互にもアッベ数の異なる光学薄膜４
５，４６を各々２層ずつ積層構造で形成するようにした
ものである。薄膜形成法としては、図９の場合と同様
に、プラズマＣＶＤ法等を用い得る。プラズマＣＶＤ法
による場合、その膜厚と屈折率との制御性がよく、所望
の色消し条件が比較的容易に得られるメリットがある。
また、図１０や図１１のようなバルク材料のハイブリッ
ド化に比べ、プリズムの小型・軽量化を図れる。Next, an embodiment of the invention described in claim 7 will be described with reference to FIG. This embodiment is different from the above-mentioned embodiment in that the prism coupler 44 has a structure of three kinds having different Abbe numbers.
The present invention relates to a manufacturing method of. In this embodiment, the light flux entrance surface abcd and the light flux exit surface e of the prism coupler body 39 are used.
The optical thin films 4 having different Abbe numbers from fgh and the prism reflector main body 39, and different Abbe numbers from each other.
5, 5 and 46 are formed in a laminated structure of two layers each. As the thin film forming method, a plasma CVD method or the like can be used as in the case of FIG. When the plasma CVD method is used, the controllability of the film thickness and the refractive index is good, and there is an advantage that a desired achromatic condition can be obtained relatively easily.
Further, the prism can be made smaller and lighter than the hybrid material made of a bulk material as shown in FIGS.

【００５５】さらに、請求項８記載の発明の一実施例を
図１３を参照して説明する。本実施例は、さらに別の３
種構造のプリズムカプラ４７の作製方法に関し、色消し
をバルク材料と薄膜とのハイブリッド構造により行なう
ようにしたものである。即ち、本実施例では、プリズム
カプラ本体３９の光束入射面ａｂｃｄ及び光束出射面ｅ
ｆｇｈに対してプリズム反射器本体３９とはアッベ数が
異なる平板状接合硝材４８，４９を各々接合させるが、
このようなバルク材料の接合時に必須要素として用いる
接着剤５０にアッベ数の異なる１つの層の役割を持たせ
るようにしたものである。具体的には、バルク材（平板
状接合硝材４８，４９）よりもアッベ数の大きな接着剤
５０が用いられる。本実施例方式によれば、必要とする
バルク材料が少なくて済み、材料コストを安くできる上
に、デバイスの小型・軽量化を図れる。Further, an embodiment of the invention described in claim 8 will be described with reference to FIG. This embodiment is further another 3
Regarding the method of manufacturing the prism coupler 47 having the seed structure, achromatization is performed by a hybrid structure of a bulk material and a thin film. That is, in the present embodiment, the light flux incident surface abcd and the light flux exit surface e of the prism coupler body 39.
Flat plate bonding glass materials 48 and 49 having different Abbe numbers from the prism reflector body 39 are bonded to fgh.
The adhesive 50 used as an essential element at the time of joining such bulk materials is made to have a role of one layer having a different Abbe number. Specifically, an adhesive agent 50 having a larger Abbe number than that of the bulk material (the flat bonding glass materials 48, 49) is used. According to the method of this embodiment, the bulk material required is small, the material cost can be reduced, and the device can be made small and lightweight.

【００５６】[0056]

【発明の効果】請求項１，２記載の発明によれば、プリ
ズム反射器ないしはプリズムカプラにおいて光束の経路
を、アッベ数の異なる複数の硝材により形成したので、
入射光に波長変動が生じても射出光の光路が一致するよ
うに出射光の光路変動を補償することができ、出射光の
平行度の安定性を向上させることができる。According to the first and second aspects of the present invention, in the prism reflector or the prism coupler, the path of the light beam is formed by a plurality of glass materials having different Abbe numbers.
Even if the wavelength of the incident light varies, the variation of the optical path of the outgoing light can be compensated so that the optical paths of the outgoing light coincide with each other, and the stability of the parallelism of the outgoing light can be improved.

【００５７】請求項３記載の発明によれば、請求項２記
載の発明によるプリズムカプラを搭載した集積型光導波
路デバイスを備えた導波路型光ピックアップとして構成
したので、レーザ光源の波長変動に対して光信号検出の
安定性の高い光磁気信号検出光学系を提供できる。According to the third aspect of the present invention, the waveguide type optical pickup is provided with the integrated optical waveguide device having the prism coupler according to the second aspect of the present invention. Thus, it is possible to provide a magneto-optical signal detection optical system with high stability of optical signal detection.

【００５８】ここに、請求項４記載の発明によれば、請
求項１記載の発明中のプリズム反射器の作製方法とし
て、バルク材料の平面接着方式を用いたので、作製が容
易で歩留まりのよいものとすることでき、一方、請求項
５記載の発明によれば、薄膜材料によるため、選択性の
広いものであり、かつ、膜厚を高精度に制御し得るため
色消し条件を満たすデバイス構造を高精度に実現し得る
ものとなる上に、プリズム反射器を小型化し得るものと
なる。According to the invention described in claim 4, since the planar bonding method of the bulk material is used as the method for manufacturing the prism reflector in the invention described in claim 1, the manufacturing is easy and the yield is good. On the other hand, according to the invention of claim 5, since it is a thin film material, it has wide selectivity, and since the film thickness can be controlled with high accuracy, a device structure that satisfies the achromatic condition. Can be realized with high accuracy, and the prism reflector can be miniaturized.

【００５９】また、請求項６記載の発明によれば、請求
項２記載の発明中のプリズムカプラの作製方法として、
バルク材料の平面接着方式を用いたので、作製が容易で
歩留まりのよいものとすることができ、請求項７記載の
発明によれば、薄膜材料によるため、選択性の広いもの
であり、かつ、膜厚を高精度に制御し得るため色消し条
件を満たすデバイス構造を高精度に実現し得るものとな
る上に、プリズム反射器を小型化し得るものとなり、さ
らに、請求項８記載の発明によれば、接着剤自体にアッ
ベ数の異なるものを用いて１層を形成するようにしたの
で、使用するバルク材料数を低減し得るものとなり、材
料コストの軽減及びデバイスの小型軽量化を図ることが
できる。According to the invention of claim 6, as a method for producing the prism coupler in the invention of claim 2,
Since the planar bonding method of the bulk material is used, it is possible to make the manufacturing easy and the yield is good. According to the invention of claim 7, since the thin film material is used, the selectivity is wide, and Since the film thickness can be controlled with high accuracy, a device structure satisfying the achromatic condition can be realized with high accuracy, and the prism reflector can be miniaturized. Furthermore, according to the invention of claim 8, In this case, since one layer is formed by using adhesives having different Abbe numbers, it is possible to reduce the number of bulk materials used, and it is possible to reduce the material cost and the size and weight of the device. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】請求項１記載の発明の一実施例の基本構造を示
す正面図である。FIG. 1 is a front view showing a basic structure of an embodiment of the invention described in claim 1.

【図２】その斜視図である。FIG. 2 is a perspective view thereof.

【図３】より具体的な拡張例を示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing a more specific expansion example.

【図４】その斜視図である。FIG. 4 is a perspective view thereof.

【図５】請求項２記載の発明の一実施例を示し、（ａ）
は正面図、（ｂ）は平面図である。FIG. 5 shows an embodiment of the invention according to claim 2, (a)
Is a front view and (b) is a plan view.

【図６】請求項３記載の発明の一実施例を示し、（ａ）
は正面図、（ｂ）は平面図である。FIG. 6 shows an embodiment of the invention according to claim 3, (a)
Is a front view and (b) is a plan view.

【図７】請求項４記載の発明の一実施例を示し、（ａ）
は作製前の分解斜視図、（ｂ）は作製後の斜視図であ
る。FIG. 7 shows an embodiment of the invention according to claim 4, (a)
Is an exploded perspective view before production, and (b) is a perspective view after production.

【図８】その変形例を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a modification thereof.

【図９】請求項５記載の発明の一実施例を示す斜視図で
ある。FIG. 9 is a perspective view showing an embodiment of the invention as set forth in claim 5;

【図１０】請求項６記載の発明の一実施例を示す斜視図
である。FIG. 10 is a perspective view showing an embodiment of the invention according to claim 6;

【図１１】その変形例を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a modification thereof.

【図１２】請求項７記載の発明の一実施例を示す斜視図
である。FIG. 12 is a perspective view showing an embodiment of the invention described in claim 7.

【図１３】請求項８記載の発明の一実施例を示す斜視図
である。FIG. 13 is a perspective view showing an embodiment of the invention as set forth in claim 8;

【図１４】従来例を示す正面図である。FIG. 14 is a front view showing a conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１１ プリズム反射器又はプリズムカプラ １５ 集積型光導波路デバイス １６ 基板 １７ バッファ層 １８ 導波路層 １９ クラッド層 ２０ 光集光器 ２１ 光検出器 ２３ 光学系 ２５ 導波路型光ピックアップ ２６ レーザ光源 ２７ コリメートレンズ系 ２８ 対物レンズ ３１ プリズム反射器 ３２ プリズム反射器 ３３，３４ 平板状接合硝材 ３５ プリズム反射器 ３６，３７ 光学薄膜 ３８ プリズムカプラ ３９ プリズムカプラ本体 ４０〜４３ 平板状接合硝材 ４４ プリズムカプラ ４５，４６ 光学薄膜 ４７ プリズムカプラ ４８，４９ 平板状接合部材 ５０ 接着剤 Ｍ１〜Ｍ３ アッベ数の異なる硝材 11 Prism Reflector or Prism Coupler 15 Integrated Optical Waveguide Device 16 Substrate 17 Buffer Layer 18 Waveguide Layer 19 Cladding Layer 20 Optical Concentrator 21 Photodetector 23 Optical System 25 Waveguide Optical Pickup 26 Laser Light Source 27 Collimating Lens System 28 Objective Lens 31 Prism Reflector 32 Prism Reflector 33, 34 Flat Plate Bonding Glass Material 35 Prism Reflector 36, 37 Optical Thin Film 38 Prism Coupler 39 Prism Coupler Main Body 40-43 Flat Plate Bonding Glass Material 44 Prism Coupler 45, 46 Optical Thin Film 47 Prism coupler 48,49 Flat plate bonding member 50 Adhesives M1 to M3 Glass materials with different Abbe numbers

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 光束の経路がアッベ数の異なる複数の硝
材により形成されたプリズム反射器を搭載したことを特
徴とする集積型光導波路デバイス。1. An integrated optical waveguide device comprising a prism reflector formed by a plurality of glass materials having different Abbe numbers for paths of light beams. 【請求項２】 光束の経路がアッベ数の異なる３種以上
の硝材により形成されたプリズムカプラを搭載したこと
を特徴とする集積型光導波路デバイス。2. An integrated optical waveguide device, comprising a prism coupler formed of three or more kinds of glass materials having different Abbe numbers for the path of light flux. 【請求項３】 少なくとも基板とこの基板上に順次積層
されたバッファ層と導波路層とクラッド層と光束の経路
がアッベ数の異なる複数の硝材により形成されて前記導
波路層へ光を結合励振させるプリズムカプラと前記導波
路層中に配設された光集光器と前記導波路層中の光路上
に配設された光検出器とを有する集積型光導波路デバイ
スと、前記プリズムカプラの一方の窓部前方に配設され
てレーザ光源からの発散光を平行化してこの窓部に対し
て垂直に入射させるコリメートレンズ系と、前記プリズ
ムカプラの他方の窓部前方に配設されてこの窓部からの
出射光の光軸と共軸とした対物レンズとを有する光学系
とよりなることを特徴とする導波路型光ピックアップ。3. A substrate, at least a buffer layer, a waveguide layer, a clad layer, and a light beam path which are sequentially laminated on the substrate are formed of a plurality of glass materials having different Abbe numbers, and light is coupled and excited to the waveguide layer. An integrated optical waveguide device having a prism coupler, a light collector arranged in the waveguide layer, and a photodetector arranged on the optical path in the waveguide layer; and one of the prism couplers And a collimating lens system for collimating the divergent light from the laser light source to make the light incident perpendicularly to this window, and the other window for the prism coupler An optical system including an optical system having an objective lens coaxial with an optical axis of light emitted from the optical waveguide. 【請求項４】 少なくとも光束入射面と光束出射面と光
束反射面とを有するプリズム反射器本体の前記光束入射
面及び光束出射面上に、前記プリズム反射器本体とアッ
ベ数が異なり平行な対向面を有する平板状接合硝材の一
方の対向面を接着するようにしたことを特徴とする請求
項１記載の集積型光導波路デバイスにおけるプリズム反
射器の作製方法。4. A prism-reflector main body having at least a light-beam incident surface, a light-beam exit surface, and a light-beam reflection surface, on the light-beam incident surface and the light-beam exit surface, facing surfaces parallel to each other and having different Abbe numbers from the prism reflector main body. The method for producing a prism reflector in an integrated optical waveguide device according to claim 1, wherein one of the opposite surfaces of the flat plate-shaped bonding glass material having the above is bonded. 【請求項５】 少なくとも光束入射面と光束出射面と光
束反射面とを有するプリズム反射器本体の前記光束入射
面及び光束出射面上に、前記プリズム反射器本体とアッ
ベ数が異なる光学薄膜を形成するようにしたことを特徴
とする請求項１記載の集積型光導波路デバイスにおける
プリズム反射器の作製方法。5. An optical thin film having an Abbe number different from that of the prism reflector body is formed on the light flux incidence surface and the light flux exit surface of the prism reflector body having at least a light flux entrance surface, a light flux exit surface, and a light flux reflection surface. The method for producing a prism reflector in an integrated optical waveguide device according to claim 1, characterized in that. 【請求項６】 少なくとも光束入射面と光束出射面と光
束反射面とを有するプリズムカプラ本体の前記光束入射
面及び光束出射面上に、各々平行な対向面を有して前記
プリズムカプラ本体とアッベ数が異なるとともに相互の
アッベ数が異なる複数の平板状接合硝材の一つの対向面
を接着するようにしたことを特徴とする請求項２記載の
集積型光導波路デバイスにおけるプリズムカプラの作製
方法。6. A prism coupler body having at least a light flux entrance surface, a light flux exit surface, and a light flux reflection surface, and having parallel opposing surfaces on the light flux entrance surface and the light flux exit surface, respectively. 3. The method for producing a prism coupler in an integrated optical waveguide device according to claim 2, wherein one opposing surface of a plurality of flat plate-shaped bonding glass materials having different numbers and different Abbe numbers is bonded. 【請求項７】 少なくとも光束入射面と光束出射面と光
束反射面とを有するプリズムカプラ本体の前記光束入射
面及び光束出射面上に、前記プリズムカプラ本体とアッ
ベ数が異なるとともに相互のアッベ数の異なる２層以上
の光学薄膜を積層形成するようにしたことを特徴とする
請求項２記載の集積型光導波路デバイスにおけるプリズ
ムカプラの作製方法。7. A prism coupler main body having at least a light flux entrance surface, a light flux exit surface, and a light flux reflection surface has different Abbe numbers from the prism coupler body and mutual Abbe numbers on the light flux entrance surface and the light flux exit surface. The method for producing a prism coupler in an integrated optical waveguide device according to claim 2, wherein two or more different optical thin films are laminated. 【請求項８】 少なくとも光束入射面と光束出射面と光
束反射面とを有するプリズムカプラ本体の前記光束入射
面及び光束出射面上に、平行な対向面を有する平板状接
合硝材の一方の対向面を前記プリズムカプラ本体とアッ
ベ数の異なる接着剤で接着するようにしたことを特徴と
する請求項２記載の集積型光導波路デバイスにおけるプ
リズムカプラの作製方法。8. A facing surface of a flat bonding glass material having parallel facing surfaces on the light flux incident surface and the light flux exit surface of a prism coupler body having at least a light flux entrance surface, a light flux exit surface, and a light flux reflection surface. 3. The method for producing a prism coupler in an integrated optical waveguide device according to claim 2, wherein said is bonded to said prism coupler body with an adhesive having a different Abbe number.