JPH0677301B2 - Magnetic head manufacturing method - Google Patents
Magnetic head manufacturing methodInfo
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- JPH0677301B2 JPH0677301B2 JP13370286A JP13370286A JPH0677301B2 JP H0677301 B2 JPH0677301 B2 JP H0677301B2 JP 13370286 A JP13370286 A JP 13370286A JP 13370286 A JP13370286 A JP 13370286A JP H0677301 B2 JPH0677301 B2 JP H0677301B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、フロッピーディスク等の磁気ディスクに対し
て電磁変換素子部を接触させた状態で記録・再生を行う
磁気ヘッドの製造方法に関し、詳細には負圧溝の形成方
法に関する。The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head that performs recording / reproduction with a magnetic disk such as a floppy disk being in contact with an electromagnetic conversion element. Relates to a method of forming a negative pressure groove.
本発明は、記録再生用磁気ギャップと消去用磁気ギャッ
プを有する電磁変換素子部にマスク材が接合一体化さ
れ、かつ磁気ディスク対接面に負圧溝が形成されてなる
磁気ヘッドを製造するに際し、 予め、マスク材に溝を設けこの溝内に非磁性材充填し、
次に、得られたマスク材を上記電磁変換素子部に合体
し、その後、磁気ディスク対接面を研磨して上記非磁性
材を露出させ、さらに、露出した非磁性材をエッチング
により除去して負圧溝とすることにより、 上記負圧溝を精度良く、容易に、かつ歩留まり良く形成
しようとするものである。The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head in which a mask material is joined and integrated with an electromagnetic conversion element portion having a recording / reproducing magnetic gap and an erasing magnetic gap, and a negative pressure groove is formed on a contact surface of a magnetic disk. , A groove is provided in the mask material in advance, and a non-magnetic material is filled in the groove
Next, the obtained mask material is combined with the electromagnetic conversion element portion, and then the magnetic disk contact surface is polished to expose the nonmagnetic material, and the exposed nonmagnetic material is removed by etching. By using the negative pressure groove, it is intended to form the negative pressure groove accurately, easily, and with high yield.
フロッピーディスク等の円盤状の磁気ディスクは、取扱
いが比較的簡単で、しかも大容量の信号が記録できるこ
とから、各種コンピューター，ワードプロセッサ等の外
部記憶装置としての使用範囲が拡大されつつある。A disk-shaped magnetic disk such as a floppy disk is relatively easy to handle and can record a large-capacity signal, so that its range of use as an external storage device such as various computers and word processors is being expanded.
上記フロッピーディスクの駆動装置には、ディスクへの
情報の書込みや、ディスクからの情報の読出しを行う電
磁変換素子部に、スライダと称されるマスク材を接合一
体化した構造の磁気ヘッドが搭載されている。The above-mentioned floppy disk drive is equipped with a magnetic head having a structure in which a mask material called a slider is joined and integrated with an electromagnetic conversion element section that writes information to the disk and reads information from the disk. ing.
一般に上記マスク材は、電磁変換素子部の耐摩耗性等を
確保する目的の他、磁気ヘッドと磁気ディスクとの当た
り特性を確保する作用を有している。Generally, the above-mentioned mask material has a function of ensuring the contact resistance between the magnetic head and the magnetic disk, in addition to the purpose of ensuring wear resistance of the electromagnetic conversion element portion.
すなわち、上記マスク材のディスク対接面には、フロッ
ピーディスクの走行方向に負圧溝と称される略コ字状の
溝が切欠かれており、ディスクの回転とともに上記溝に
負圧、すなわち磁気ヘッドをディスクに引き付ける力が
生じ、ディスクと電磁変換素子部との当たり（摺接）を
確保している。特に、フロッピーディスクの大容量化
（高密度記録化）を図るには、上述の当たり特性を確保
することは極めて重要な要件であり、従って精度良く負
圧溝を形成する必要がある。That is, a substantially U-shaped groove called a negative pressure groove is cut out in the disk contact surface of the mask material in the running direction of the floppy disk, and a negative pressure, that is, a magnetic A force that attracts the head to the disk is generated to secure the contact (sliding contact) between the disk and the electromagnetic conversion element section. Particularly, in order to increase the capacity of the floppy disk (higher density recording), it is a very important requirement to secure the above-mentioned hitting characteristic, and therefore it is necessary to form the negative pressure groove with high accuracy.
ところで従来、上記負圧溝は、記録再生用磁気ギャップ
と消去用磁気ギャップを有する電磁変換素子部の両側に
マスク材を合体した後、マスク材に対してディスク走行
方向（トラック幅方向と直交する方向）に砥石加工等の
機械的手段を用いて形成している。By the way, conventionally, the negative pressure groove is formed by joining a mask material on both sides of an electromagnetic conversion element portion having a magnetic gap for recording / reproducing and a magnetic gap for erasing, and then, with respect to the mask material, a disc traveling direction (perpendicular to the track width direction) Direction) by using a mechanical means such as a grindstone processing.
しかしながら、従来のように機械的手段で負圧溝を形成
した場合には、上記負圧溝のエッヂにカケが生じ易く、
さらにはこの溝深さにバラツキが生じ易く、加工精度，
生産性，歩留まりの点で大きな問題となっている。した
がって、磁気ディスクの高密度記録化に伴い、これらの
改善が強く望まれている。However, when the negative pressure groove is formed by mechanical means as in the conventional case, the edge of the negative pressure groove is likely to be chipped,
Furthermore, variations in the groove depth are likely to occur, resulting in processing accuracy,
It is a big problem in terms of productivity and yield. Therefore, these improvements have been strongly desired as the recording density of magnetic disks increases.
そこで本発明は、上述の実情に鑑みて提案されたもので
あり、磁気ヘッドの負圧溝を精度良く、容易に、かつ歩
留まり良く形成できる磁気ヘッドの製造方法を提供する
ことを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a magnetic head in which the negative pressure groove of the magnetic head can be formed accurately, easily, and with good yield.
上述の目的を達成するために、本発明の磁気ヘッド製造
方法は、記録再生用磁気ギャップと消去用磁気ギャップ
を有する電磁変換素子部にマスク材が接合一体化され、
かつ磁気ディスク対接面に負圧溝が形成されてなる磁気
ヘッドを製造するに際し、予め、マスク材に溝を設けこ
の溝内に非磁性材を充填し、次に、得られたマスク材を
上記電磁変換素子部に合体し、その後、磁気ディスク対
接面を研磨して上記非磁性材を露出させ、さらに、露出
した非磁性材をエッチングにより除去して負圧溝とした
ことを特徴とするものである。In order to achieve the above-mentioned object, the magnetic head manufacturing method of the present invention is such that a mask material is bonded and integrated to an electromagnetic conversion element portion having a recording / reproducing magnetic gap and an erasing magnetic gap.
Moreover, when manufacturing a magnetic head in which a negative pressure groove is formed on the contact surface of the magnetic disk, a groove is provided in the mask material in advance and a non-magnetic material is filled in the groove, and then the obtained mask material is It is integrated with the electromagnetic conversion element part, and then the magnetic disk contact surface is polished to expose the non-magnetic material, and the exposed non-magnetic material is removed by etching to form a negative pressure groove. To do.
〔作用〕 このように、予めマスク材に形成された溝内に充填した
非磁性材をエッチングにて除去し負圧溝を形成している
ことより、上記負圧溝を形成する際にこの溝のエッジ部
に機械的応力が作用しなくなるので、負圧溝にカケを生
じる心配はない。[Operation] As described above, since the non-magnetic material filled in the groove previously formed in the mask material is removed by etching to form the negative pressure groove, this negative pressure groove is formed when the negative pressure groove is formed. Since the mechanical stress does not act on the edge portion of, there is no fear of chipping in the negative pressure groove.
また、エッチング時間等の条件を適宜設定することによ
り、容易に溝深さや加工精度を確保できる。Further, by appropriately setting the conditions such as the etching time, it is possible to easily secure the groove depth and the processing accuracy.
以下、本発明の一実施例を図面を参照しながら説明す
る。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
本実施例により磁気ヘッドを製造するには、先ず、第１
図に示すように、チタン酸カリウムやチタン酸バリウム
等のセラミックスよりなり、断面略Ｌ字状の非磁性材を
用意し、この非磁性材に対して例えば回転砥石加工等の
機械的手段にて第１の溝（２），第２の溝（３）及び第
３の溝（４）を形成し、マスク材（１）を得る。In order to manufacture the magnetic head according to this embodiment, first,
As shown in the figure, a non-magnetic material made of ceramics such as potassium titanate or barium titanate and having a substantially L-shaped cross section is prepared, and the non-magnetic material is mechanically processed, for example, by a rotary grindstone. The first groove (2), the second groove (3) and the third groove (4) are formed to obtain a mask material (1).
上記各溝（２），（３），（４）は、上記マスク材
（１）における電磁変換素子部との接合面（1a）に形成
する。そして、上記第２の溝（３）及び第３の溝（４）
は、磁気ディスク対接面に相当する上面（1b）の磁気デ
ィスク走行方向（第１図中Ｘ方向）と略平行となるよう
に上記接合面（1a）の全幅に亘って形成する。また、上
記第１の溝（２）は、上記第２の溝（３）及び第３の溝
（４）と直交するように上記接合面（1a）の略中央部の
全幅に亘って形成する。ここで、上記第１の溝（２）及
び第２の溝（３）が前記負圧溝に相当する溝を構成す
る。なお、上記第２の溝（３）の形成位置は重要であ
り、後述のマスク材（１）と電磁変換素子部とを接合一
体化した後のディスク対接面の研磨により、磁気ヘッド
として設定したデプス長が所定のデプス長となる位置に
設定されるように形成する。The grooves (2), (3), and (4) are formed on the bonding surface (1a) of the mask material (1) with the electromagnetic conversion element portion. Then, the second groove (3) and the third groove (4)
Is formed over the entire width of the joining surface (1a) so as to be substantially parallel to the magnetic disk running direction (X direction in FIG. 1) of the upper surface (1b) corresponding to the contact surface of the magnetic disk. Further, the first groove (2) is formed over the entire width of the substantially central portion of the joint surface (1a) so as to be orthogonal to the second groove (3) and the third groove (4). . Here, the first groove (2) and the second groove (3) form a groove corresponding to the negative pressure groove. The formation position of the second groove (3) is important, and it is set as a magnetic head by polishing the disk contact surface after the mask material (1) and the electromagnetic conversion element portion, which will be described later, are bonded and integrated. It is formed so that the depth depth is set to a position where the predetermined depth length is obtained.
次に、第２図に示すように、上記各溝（２），（３），
（４）内に非磁性材（５）を溶融充填する。上記非磁性
材（５）としては、接着作用を有し且つエッチングによ
り容易に除去できる材料が好ましく、例えばPb、Na、Bi
等を含有するガラスが好適である。但し、上記非磁性材
（５）にはギャップスペーサの材料とのエッチングの選
択比が極めて大きいことが要求されることはいうまでも
ない。Next, as shown in FIG. 2, the grooves (2), (3),
The non-magnetic material (5) is melt-filled in (4). The non-magnetic material (5) is preferably a material that has an adhesive action and can be easily removed by etching, such as Pb, Na or Bi.
A glass containing etc. is suitable. However, it goes without saying that the non-magnetic material (5) is required to have an extremely high etching selection ratio with respect to the material of the gap spacer.
次いで、第３図（Ａ）及び第３図（Ｂ）示すように、記
録再生用磁気ギャップg1及び消去用磁気ギャップg2を有
するフロントコア（６）を形成し、さらにこのフロント
コア（６）のトラック幅方向両側に一対のマスク材
（１），（１）を接合一体化し、ヘッドチップ部材を作
製する。Next, as shown in FIGS. 3 (A) and 3 (B), a front core (6) having a recording / reproducing magnetic gap g 1 and an erasing magnetic gap g 2 is formed, and the front core (6) is further formed. A pair of mask materials (1) and (1) are joined and integrated on both sides in the track width direction of (1) to produce a head chip member.
したがって、得られるヘッドチップ部材の磁気ディスク
対接面に相当する面には、記録再生用磁気ギャップg1及
び消去用磁気ギャップg2が露出することは勿論のこと、
第１の溝（２）内に充填された非磁性材（５）も露出し
ている。Therefore, it goes without saying that the recording / reproducing magnetic gap g 1 and the erasing magnetic gap g 2 are exposed on the surface of the obtained head chip member corresponding to the contact surface of the magnetic disk.
The non-magnetic material (5) filled in the first groove (2) is also exposed.
ここで、上記接合加工は、フロントコア（６）の両側に
マスク材（１），（１）を接合し、約500℃程度に加熱
することにより容易に合体できる。すなわち、上記加熱
時に各溝（２），（３），（４）内に充填された非磁性
材（５）が溶け出し、接着材として作用するためであ
る。Here, the joining process can be easily performed by joining the mask materials (1) and (1) on both sides of the front core (6) and heating them to about 500 ° C. That is, the non-magnetic material (5) filled in the grooves (2), (3), and (4) melts during the above heating and acts as an adhesive.
また、上記フロントコア（６）は、後に述べるコイル，
バックコアと組み合わされ、ディスクに対して情報を書
込んだり、あるいはディスクから情報を読出しする電磁
変換素子部を形成するが、上記電磁変換素子部は、通常
のフロッピーディスク駆動装置に搭載されるものであれ
ば如何なるものであっても良く、さらにこの製造方法も
従来公知の製法が採用できる。具体的には、いわゆるト
ンネル・イレーズ・ヘッド（バルク型またはラミネート
型）、いわゆるストラドル・イレーズ・ヘッド等が挙げ
られる。本実施例では、フロントコア（６）として、記
録再生用磁気ギャップg1の後方両側に一対の消去用磁気
ギャップg2を配設してなる、いわゆるトンネル・イレー
ズ・ヘッド（バルク型）に対応するものを用いた。Further, the front core (6) is a coil described later,
It is combined with a back core to form an electromagnetic conversion element section for writing information to a disk or reading information from the disk. The electromagnetic conversion element section is mounted on an ordinary floppy disk drive. Any method may be used as long as it is a known method. Specific examples thereof include so-called tunnel erase heads (bulk type or laminate type), so-called straddle erase heads, and the like. The present embodiment corresponds to a so-called tunnel erase head (bulk type) in which a pair of erasing magnetic gaps g 2 are arranged on both rear sides of the recording / reproducing magnetic gap g 1 as the front core (6). I used the one that does.
上記フロントコア（６）を作製するには、非磁性材（10
a）を介して接合された棒状のセンターコア部（10）の
両側にそれぞれ略Ｌ字状の記録再生コア部（11）及び消
去コア部（12）をギャップスペーサー（図示せず）を介
して突き合わせる。この際、センターコア部（10）と記
録再生コア部（11）の突き合わせ面間には記録再生用磁
気ギャップg1、センターコア（10）と消去コア部（12）
の突き合わせ面間には消去用磁気ギャップg2が形成され
る。To make the front core (6), a non-magnetic material (10
A substantially L-shaped recording / reproducing core portion (11) and an erasing core portion (12) are provided on both sides of a rod-shaped center core portion (10) joined via a) via a gap spacer (not shown). Match. At this time, the recording / reproducing magnetic gap g 1 , the center core (10) and the erasing core portion (12) are provided between the abutting surfaces of the center core portion (10) and the recording / reproducing core portion (11).
An erasing magnetic gap g 2 is formed between the abutting surfaces of.
続いて、第３図（Ｂ）中Ｙ−Ｙ線で示す位置まで研磨を
施し第４図（Ａ）及び第４図（Ｂ）に示すように磁気デ
ィスク対接面（18）を形成する。なお、上記研磨加工
は、第２の溝（３）が磁気ディスク対接面（18）に露出
する範囲内で、しかも磁気ヘッドとして設定したデプス
長が得られるまで行う。Then, polishing is performed up to the position indicated by line YY in FIG. 3 (B) to form a magnetic disk contact surface (18) as shown in FIGS. 4 (A) and 4 (B). The polishing process is performed within the range in which the second groove (3) is exposed on the magnetic disk contact surface (18) and until the depth length set for the magnetic head is obtained.
したがって、磁気ディスク対接面（18）には、記録再生
用磁気ギャップg1及び消去用磁気ギャップg2の他、第１
の溝（２）及び第３の溝（４）内に充填された非磁性材
（５）が露出している。Therefore, in addition to the recording / reproducing magnetic gap g 1 and the erasing magnetic gap g 2 , the magnetic disk contact surface (18)
The non-magnetic material (5) filled in the groove (2) and the third groove (4) is exposed.
次に、第５図（Ａ）及び第５図（Ｂ）に示すように、磁
気ディスク対接面（18）に露出した非磁性材（５）の一
部または全部をエッチングにて除去し負圧溝（19）を形
成する。Next, as shown in FIGS. 5 (A) and 5 (B), a part or the whole of the non-magnetic material (5) exposed on the magnetic disk contact surface (18) is removed by etching to remove the negative magnetic material. Forming a pressure groove (19).
上記エッチング加工においては、各磁気ギャップg1,g2
のギャップスペーサを浸食しないように注意する必要が
ある。具体的な手法としては、例えば、非磁性材（５）
にPb,Na,Biを含有するガラスを使用し、エッチング液に
弱酸を使用した、いわゆるウエットエッチング法が挙げ
られ、この手法によれば上述の目的が達成できることが
確認されている。In the above etching process, each magnetic gap g 1 , g 2
Care must be taken not to erode the gap spacers. As a concrete method, for example, a non-magnetic material (5)
There is a so-called wet etching method in which a glass containing Pb, Na, Bi is used in and a weak acid is used in the etching solution, and it has been confirmed that the above object can be achieved by this method.
また、上記負圧溝（19）の溝深さＬは、第１の溝（２）
の深さの範囲内で自由に設定され、エッチング条件を適
宜設定することにより決定される。Further, the groove depth L of the negative pressure groove (19) is equal to that of the first groove (2).
Is freely set within the range of the depth and is determined by appropriately setting etching conditions.
最後にコイル及びバックコアの装着を行う。すなわち、
第６図に示されるように、上記フロントコア（６）の形
状に対応して略コ字状のバックコア（14）を記録再生コ
イル（図示は省略する。），消去コイル（15）内で段重
ねの状態に重ね合わせ、さらに上記記録再生コイル，消
去コイル（15）内でそれぞれ板バネ（16）によって固定
し（図中には消去用コイル側のみ示す。）、電磁変換素
子部（13）を形成し、磁気ヘッドを完成する。Finally, the coil and back core are attached. That is,
As shown in FIG. 6, a substantially U-shaped back core (14) corresponding to the shape of the front core (6) is formed in the recording / reproducing coil (not shown) and the erasing coil (15). The electromagnetic conversion element part (13) is stacked in a stacked state and further fixed in the recording / reproducing coil and the erasing coil (15) by leaf springs (16) (only the erasing coil side is shown in the figure). ) Is formed to complete the magnetic head.
以上のようにして作製された磁気ヘッドは、磁気ディス
ク対接面（18）に第１の溝（２）及び第２の溝（３）に
充填された非磁性材（５）の一部または全部が除去され
凹状の負圧溝（19）が露出した構造となり、この負圧溝
（19）がディスクの回転時に磁気ヘッドをディスクに引
付ける作用をする。The magnetic head manufactured as described above includes a part of the non-magnetic material (5) filled in the first groove (2) and the second groove (3) in the magnetic disk contact surface (18) or The entire structure is removed to expose the concave negative pressure groove (19), and the negative pressure groove (19) acts to attract the magnetic head to the disk when the disk rotates.
このように、本実施例では、ガラスボンディング技術を
発展させエッチングにて容易に負圧溝（19）を形成して
いるので、この負圧溝（19）形成工程で、負圧溝（19）
のエッヂ部が損傷されることがなくなり、歩留まりが格
段に向上する。また、製造工程が簡略化され、生産性の
大幅な向上が図れる。As described above, in this embodiment, the negative pressure groove (19) is easily formed by etching by developing the glass bonding technique. Therefore, in the negative pressure groove (19) forming step, the negative pressure groove (19) is formed.
The edge part of is not damaged, and the yield is significantly improved. In addition, the manufacturing process is simplified and the productivity can be significantly improved.
さらに、上記負圧溝（19）は、エッチング条件を適宜設
定することにより、精度良く加工できる。したがって、
磁気ヘッドと磁気ディスクとの当たり特性が大幅に改善
され、高密度記録用の磁気ヘッドとして好適なものが提
供できる。Further, the negative pressure groove (19) can be processed with high precision by appropriately setting etching conditions. Therefore,
The contact characteristics between the magnetic head and the magnetic disk are significantly improved, and a magnetic head suitable for high density recording can be provided.
なお、本発明は上述の実施例に限定されるものではな
く、本発明の趣旨を逸脱することなく種々の構造が取り
得ることは言うまでもない。It is needless to say that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and various structures can be adopted without departing from the gist of the present invention.
例えば、先の実施例では３本の溝（２），（３），
（４）を形成し、それぞれ溝内に充填した非磁性材
（５）を負圧溝形成用あるいは電磁変換素子部との接合
用として形成したが、第２の溝（３）と第３の溝（４）
とを合体し１本の溝とする等、マスク材（１）に設けら
れる溝の数や形状は種々取り得る。For example, in the previous embodiment, three grooves (2), (3),
(4) was formed, and the non-magnetic material (5) filled in the grooves was formed for forming the negative pressure groove or for joining with the electromagnetic conversion element portion. Groove (4)
The number and shape of the grooves provided in the mask material (1) can be various, such as by combining and into one groove.
あるいは、第７図（Ａ）及び第７図（Ｂ）に示すよう
に、記録再生用磁気ギャップg1と消去用磁気ギャップg2
を囲むように負圧溝（29）が構成されてなる磁気ヘッド
の製造方法にも本発明は適用される。Alternatively, as shown in FIGS. 7A and 7B, the recording / reproducing magnetic gap g 1 and the erasing magnetic gap g 2
The present invention is also applied to a method of manufacturing a magnetic head in which a negative pressure groove (29) is formed so as to surround the.
すなわち、上記磁気ヘッドを製造するには、先ず、非磁
性材（22）を介して接合されたセンターコア部（21）の
両側に記録再生コア部（23）及び消去コア部（24）を突
き合わせ記録再生用磁気ギャップg1及び消去用磁気ギャ
ップg2を有するフロントコア（20）を形成する。したが
って、これら磁気ギャップg1,g2の近傍部は略凸状に突
出した構造となる。That is, in order to manufacture the magnetic head, first, the recording / reproducing core portion (23) and the erasing core portion (24) are butted to both sides of the center core portion (21) joined via the non-magnetic material (22). A front core (20) having a recording / reproducing magnetic gap g 1 and an erasing magnetic gap g 2 is formed. Therefore, the vicinity of these magnetic gaps g 1 and g 2 has a structure protruding in a substantially convex shape.
次に、チタン酸カリウム等の粉末セラミックスを圧粉プ
レスの手法にて上記フロントコア（20）に対応した形状
に成形しマスク材（28）を形成すると同時に、先の実施
例と同様の非磁性材（30）を用いて上記マスク材（28）
をフロントコア（20）に接合一体化する。Next, a powder ceramics such as potassium titanate is molded into a shape corresponding to the front core (20) by a powder pressing method to form a mask material (28), and at the same time, the same nonmagnetic property as in the previous embodiment is obtained. Mask material (28) using material (30)
Is integrated with the front core (20).
さらに、磁気ギャップg1,g2形成面に研磨を施し磁気デ
ィスク対接面（27）を形成した後、先の実施例と同様の
手法にて磁気ディスク対接面に露出した非磁性材（30）
を除去し所定の溝深さの負圧溝（29）を形成する。そし
て、棒状のバックコア（25），（26）に記録再生コイル
（31）と消去コイル（32）を組み込んで、フロントコア
（20）と組付け、電磁変換素子部（33）を形成し、磁気
ヘッドを完成する。Furthermore, after polishing the magnetic gaps g 1 and g 2 forming surface to form the magnetic disk contact surface (27), the non-magnetic material exposed on the magnetic disk contact surface ( 30)
Is removed to form a negative pressure groove (29) having a predetermined groove depth. Then, by incorporating the recording / reproducing coil (31) and the erasing coil (32) into the rod-shaped back cores (25) and (26) and assembling with the front core (20), the electromagnetic conversion element section (33) is formed, Complete the magnetic head.
この方法によれば、電磁変換素子部（33）とマスク材
（28）とを別体の構成部品として装置本体に接着する必
要がなくヘッドの位置精度が確保できるとともに、磁気
ヘッド以外の構成部品が不要となり、信頼性や材料コス
ト等の点で有利である。According to this method, it is not necessary to bond the electromagnetic conversion element section (33) and the mask material (28) to the main body of the apparatus as separate components, and the positional accuracy of the head can be secured, and the components other than the magnetic head can be secured. Is unnecessary, which is advantageous in terms of reliability and material cost.
以上の説明からも明らかなように、本発明によればガラ
スボンディング技術を発展させ、エッチングにて容易に
負圧溝を形成しているので、生産性が向上する。As is apparent from the above description, according to the present invention, the glass bonding technique is developed and the negative pressure groove is easily formed by etching, so that the productivity is improved.
また、エッチング加工で溝を形成していることより、負
圧溝のエッヂ部がカケる等の損傷の心配がなくなるの
で、歩留まりの大幅な向上が図れる。Further, since the groove is formed by etching, there is no fear of damage such as chipping of the edge portion of the negative pressure groove, and thus the yield can be significantly improved.
さらに、上記負圧溝の溝深さを容易に設定でき、しかも
精度良く加工できるという利点もあり、従って、高密度
記録化に好適な磁気ヘッドを安価に提供できる。Further, there is an advantage that the groove depth of the negative pressure groove can be easily set and the processing can be performed with high precision. Therefore, a magnetic head suitable for high density recording can be provided at low cost.
第１図ないし第６図は本発明の磁気ヘッドの製造方法を
その工程順に従って示すもので、第１図はマスク材形成
工程を示す概略斜視図、第２図は非磁性材充填工程を示
す概略斜視図、第３図（Ａ）はフロントコアとマスク材
の接合工程示す概略斜視図、第３図（Ｂ）は第３図
（Ａ）ａ−ａ線における断面図、第４図（Ａ）は研磨工
程を示す概略斜視図、第４図（Ｂ）は第４図（Ａ）ｂ−
ｂ線における断面図、第５図（Ａ）はエッチング工程を
示す概略斜視図、第５図（Ｂ）は第５図（Ａ）ｃ−ｃ線
における断面図、第６図は電磁変換素子部形成行程を示
す断面図である。 第７図（Ａ）は本発明の製造方法により作製される磁気
ヘッドの他の例を示す概略斜視図であり、第７図（Ｂ）
は第７図（Ａ）ｄ−ｄ線にける断面図である。 １……マスク材 2,3,4……溝 ５……非磁性材 ６……電磁変換素子部 18……磁気ディスク対接面 19……負圧溝1 to 6 show a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention in the order of the steps, FIG. 1 is a schematic perspective view showing a mask material forming step, and FIG. 2 is a non-magnetic material filling step. 3A is a schematic perspective view showing a step of joining the front core and the mask material, FIG. 3B is a sectional view taken along line aa of FIG. 3A, and FIG. 4A. ) Is a schematic perspective view showing the polishing step, and FIG. 4 (B) is FIG. 4 (A) b-.
Sectional drawing in the line b, FIG. 5 (A) is a schematic perspective view showing an etching process, FIG. 5 (B) is a sectional view in the line cc of FIG. 5 (A), and FIG. 6 is an electromagnetic conversion element part. It is sectional drawing which shows a formation process. FIG. 7 (A) is a schematic perspective view showing another example of the magnetic head manufactured by the manufacturing method of the present invention, and FIG. 7 (B).
FIG. 7 is a sectional view taken along line d-d of FIG. 7 (A). 1 …… Mask material 2,3,4 …… Groove 5 …… Non-magnetic material 6 …… Electromagnetic transducer 18 …… Magnetic disk contact surface 19 …… Negative pressure groove
Claims (1)
ップを有する電磁変換素子部にマスク材が接合一体化さ
れ、かつ磁気ディスク対接面に負圧溝が形成されてなる
磁気ヘッドを製造するに際し、 予め、マスク材に溝を設けこの溝内に非磁性材を充填
し、 次に、得られたマスク材を上記電磁変換素子部に合体
し、 その後、磁気ディスク対接面を研磨して上記非磁性材を
露出させ、 さらに、露出した非磁性材をエッチングにより除去して
負圧溝としたことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。1. A magnetic head in which a mask material is joined and integrated with an electromagnetic conversion element portion having a recording / reproducing magnetic gap and an erasing magnetic gap, and a negative pressure groove is formed on a contact surface of a magnetic disk. At this time, a groove is provided in the mask material in advance and a non-magnetic material is filled in the groove, then the obtained mask material is combined with the electromagnetic conversion element portion, and then the magnetic disk contact surface is polished. A method of manufacturing a magnetic head, wherein the nonmagnetic material is exposed, and the exposed nonmagnetic material is removed by etching to form a negative pressure groove.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13370286A JPH0677301B2 (en) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | Magnetic head manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13370286A JPH0677301B2 (en) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | Magnetic head manufacturing method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62291718A JPS62291718A (en) | 1987-12-18 |
| JPH0677301B2 true JPH0677301B2 (en) | 1994-09-28 |
Family
ID=15110890
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13370286A Expired - Fee Related JPH0677301B2 (en) | 1986-06-11 | 1986-06-11 | Magnetic head manufacturing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0677301B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190000783A (en) * | 2017-06-23 | 2019-01-03 | 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 | Substrate fixing device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2585340B2 (en) * | 1988-01-30 | 1997-02-26 | シチズン時計株式会社 | Magnetic head gimbal assembly |
-
1986
- 1986-06-11 JP JP13370286A patent/JPH0677301B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190000783A (en) * | 2017-06-23 | 2019-01-03 | 신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤 | Substrate fixing device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62291718A (en) | 1987-12-18 |
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