JPH0676738A - Fomation of color phoshor screen and color phosphor screen of field emission type dislay - Google Patents
Fomation of color phoshor screen and color phosphor screen of field emission type dislayInfo
- Publication number
- JPH0676738A JPH0676738A JP4225994A JP22599492A JPH0676738A JP H0676738 A JPH0676738 A JP H0676738A JP 4225994 A JP4225994 A JP 4225994A JP 22599492 A JP22599492 A JP 22599492A JP H0676738 A JPH0676738 A JP H0676738A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color
- phosphor
- electrode
- screen
- phosphor screen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、各種ディスプレイのカ
ラー蛍光面の形成方法と、その電子源として電界放出型
カソードを用いる電界放出型ディスプレイＦＥＤ（Fiel
d Emission Display）のカラー蛍光面に係わる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a color phosphor screen of various displays and a field emission display FED (Fiel) using a field emission cathode as its electron source.
d Emission Display) color phosphor screen.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に、カラー陰極線管におけるカラー
蛍光面の形成方法としては、電着法や印刷法等がある
が、一般には主としてスラリー法が用いられている。ス
ラリー法は、蛍光体と感光性結合材から成る蛍光体スラ
リーを蛍光パネル内面に塗布し、乾燥後色選択電極を通
して露光し、現像して所定の位置に蛍光体を形成するも
ので、例えば緑、青及び赤の各色蛍光体より成るカラー
蛍光面の場合は各色毎に上述の工程を繰り返して形成し
ている。2. Description of the Related Art Generally, as a method for forming a color phosphor screen in a color cathode ray tube, there are an electrodeposition method, a printing method and the like, but generally a slurry method is mainly used. In the slurry method, a phosphor slurry composed of a phosphor and a photosensitive binder is applied to the inner surface of the phosphor panel, dried, exposed through a color selection electrode, and developed to form a phosphor at a predetermined position. In the case of a color phosphor screen made of blue and red phosphors, the above-mentioned steps are repeated for each color.
【０００３】しかしながらこのスラリー法による場合
は、各色蛍光体間を隙間なく高精度に蛍光面を形成する
ことが困難であること、また結合材として有機系の材料
を使用しているがこの材料を焼成工程で燃焼するのみで
は完全に除去することができない。例えば上述のＦＥＤ
におけるカラー蛍光面を形成する場合、ディスプレイ内
を１０-8Ｔｏｒｒ程度の超高真空に保持することが必要
となるが、スラリー法では上述したように蛍光体が放出
ガスを生じさせて真空度の劣化を引き起こすという不都
合を有する。However, in the case of this slurry method, it is difficult to form a fluorescent screen with high precision without gaps between the phosphors of each color, and an organic material is used as a binder, but this material is used. It cannot be completely removed only by burning in the firing process. For example, the above-mentioned FED
In the case of forming the color phosphor screen in (1), it is necessary to maintain the inside of the display in an ultra-high vacuum of about 10 -8 Torr, but in the slurry method, as described above, the phosphor causes the emission gas to generate a vacuum degree. It has the disadvantage of causing deterioration.
【０００４】また電着法は、塗布しようとする蛍光体を
水溶性或いは非水溶性の電着液中に分散させて蛍光体を
正または負に帯電させ、この電着液中に被電着体即ちパ
ネル内面の透明電極と、その対極とを対向配置して、蛍
光体が正に帯電している場合は透明電極側を負電位、対
極側を正電位として（蛍光体が負に帯電している場合は
これとは逆の電位となる）蛍光面を形成するもので、例
えば本出願人の出願に係る特公昭６０−１１４１５号公
報に提案されているように、ストライプ透明電極上に
緑、青及び赤色蛍光体より成るカラー蛍光面の場合は
緑、青及び赤毎に上記工程を繰り返して形成することが
できる。In the electrodeposition method, the phosphor to be coated is dispersed in a water-soluble or non-water-soluble electrodeposition liquid to positively or negatively charge the phosphor, and the electrodeposition liquid is subjected to electrodeposition. The transparent electrode on the body, that is, the inner surface of the panel, and its counter electrode are arranged so as to face each other, and when the phosphor is positively charged, the transparent electrode side is set to a negative potential and the counter electrode side is set to a positive potential (the phosphor is charged negatively). In this case, the fluorescent surface is formed to have a potential opposite to that of the above. For example, as proposed in Japanese Patent Publication No. Sho 60-11415 filed by the applicant of the present invention, green is formed on the stripe transparent electrode. In the case of a color phosphor screen including blue and red phosphors, the above steps can be repeated for each of green, blue and red.
【０００５】しかしながらこの電着法による場合、各色
の蛍光体を順次電着法によって被着することから、蛍光
体の混色が発生し易く、輝度の低下や色純度の劣化を招
来する恐れがあり、２００μｍ程度以下の特に１００μ
ｍ以下のストライプ幅になると精度良く電着形成するこ
とができないなどの欠点を有する。However, in the case of this electrodeposition method, since the phosphors of respective colors are sequentially deposited by the electrodeposition method, color mixture of the phosphors is likely to occur, which may lead to a decrease in luminance and a deterioration in color purity. , 200μm or less, especially 100μ
If the stripe width is less than m, there is a drawback that the electrodeposition cannot be performed accurately.
【０００６】一方印刷法は、蛍光体とビヒクル（結合
材）からなる高粘性を有する液状の蛍光体材料をパネル
内面の所定の位置にスクリーン印刷し、乾燥後焼成して
蛍光体層を形成する方法で、例えば緑、青及び赤色蛍光
体より成るカラー蛍光面の場合は、上述の乾燥迄の工程
を例えば緑、青及び赤の各色毎に工程を繰り返して行
い、その後焼成を行って形成する。On the other hand, in the printing method, a highly viscous liquid phosphor material composed of a phosphor and a vehicle (binding material) is screen-printed on a predetermined position on the inner surface of the panel, dried and baked to form a phosphor layer. In the case of a color phosphor screen composed of, for example, green, blue and red phosphors, the above-mentioned steps up to drying are repeated for each color of green, blue and red, and then firing is performed. .
【０００７】ところがこの印刷法による場合においても
以下に述べる種々の問題が生じる。例えば蛍光パネルは
やや内側に湾曲しているため、印刷用のマスクをこのパ
ネル内面に密着させることができず、幅狭のストライプ
電極パターンを高精度に形成することが困難である。ま
た焼成後の蛍光体に有機物質が残留して真空度を損なう
恐れがあること、更にパネル内を超高真空に維持するた
めにはパネル内間隔を保持するための３００μｍ程度の
高さの支柱（リブ）を形成する必要があるが、このリブ
を形成した後にこの印刷法によって蛍光面を形成するこ
とはその高さによる立体的な影響から実際上不可能であ
り、上述のＦＥＤの蛍光面を作製する場合に適用するこ
とは難しい。However, even when this printing method is used, various problems described below occur. For example, since the fluorescent panel is slightly curved inward, a printing mask cannot be adhered to the inner surface of the panel, and it is difficult to form a narrow stripe electrode pattern with high accuracy. In addition, there is a possibility that an organic substance may remain in the phosphor after firing to impair the degree of vacuum, and in order to maintain an ultra-high vacuum inside the panel, a pillar having a height of about 300 μm for maintaining a space within the panel. Although it is necessary to form (rib), it is practically impossible to form a phosphor screen by this printing method after forming this rib because of the three-dimensional effect due to the height, and the phosphor screen of the FED described above is formed. It is difficult to apply it when manufacturing.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述したよ
うなカラー蛍光面の形成方法において、微細なピッチの
いわゆるファインストライプの蛍光体を高精度に混色を
生じることなく形成して高品位なカラー蛍光面を得られ
るようにし、またディスプレイ内の真空度を損なうこと
のない材料を用いて、ＦＥＤにおいて超高真空を保持す
るためのリブを形成する場合においてもその立体的な影
響を受けることなく均一な蛍光面が得られるようにす
る。DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention is a method of forming a color phosphor screen as described above, in which a so-called fine-stripe phosphor having a fine pitch is formed with high precision without causing color mixing to achieve high quality. A material that does not impair the degree of vacuum in the display so that a color phosphor screen can be obtained, and the ribs for holding the ultra-high vacuum in the FED are also affected by the three-dimensional effect. So that a uniform fluorescent screen can be obtained.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明カラー蛍光面の形
成方法は、その一例の模式的な説明図を図１に示すよう
に、蛍光パネルの内面に、各色蛍光体に対応する複数の
透明電極を形成し、各透明電極上に蛍光体を選択的に被
着形成するカラー蛍光面の形成方法において、この蛍光
パネル１０の内面に、各色蛍光体に対応する複数の透明
電極１（１Ｂ，１Ｇ，１Ｒ）を形成した後、水溶性或い
は非水溶性電着液１１中で、蛍光体を被着しない電極、
この場合１Ｂ及び１Ｒに、０又はこの蛍光体を被着する
電極この場合１Ｇとは逆バイアスの電圧を印加する。The method of forming a color phosphor screen according to the present invention includes a plurality of transparent members corresponding to phosphors of respective colors on the inner surface of a phosphor panel, as shown in a schematic explanatory view of an example thereof. In a method of forming a color phosphor screen in which an electrode is formed and a phosphor is selectively formed on each transparent electrode, a plurality of transparent electrodes 1 (1B, 1B, 1B, 1G, 1R), and then, in the water-soluble or water-insoluble electrodeposition liquid 11, an electrode not coated with a phosphor,
In this case, 0 or an electrode to which this phosphor is adhered is applied to 1B and 1R with a reverse bias voltage to that of 1G in this case.
【００１０】また本発明は、上述のカラー蛍光面の形成
方法において、上述の透明電極１をストライプ状とし、
且つその幅を２００μｍ以下として構成する。Further, in the present invention, in the above-mentioned method for forming a color phosphor screen, the transparent electrode 1 is formed into a stripe shape,
In addition, the width is set to 200 μm or less.
【００１１】更にまた本発明は、蛍光パネル１０がその
内部の高真空に耐えるようにその内面に柱を形成した
後、上述のカラー蛍光面の形成方法によってカラー蛍光
面を形成する。Further, according to the present invention, the fluorescent panel 10 has columns formed on its inner surface so as to withstand the high vacuum inside, and then the color fluorescent screen is formed by the above-described method of forming the color fluorescent screen.
【００１２】また本発明電界放出型ディスプレイのカラ
ー蛍光面は、上述のカラー蛍光面の形成方法によって形
成する。The color phosphor screen of the field emission display of the present invention is formed by the above-described method for forming a color phosphor screen.
【００１３】[0013]
【作用】上述したように、本発明は、蛍光パネル１０の
内面に透明電極１を形成した後、水溶性或いは非水溶性
電着液を用いるいずれの電着法においても、蛍光体を被
着しない電極に、０又は逆バイアスの電圧を印加する新
規な電着手法を用いるものであり、これによって非選択
電極への電気泳動による蛍光体の付着を確実に回避でき
ることから、高精度で且つ均一な電着を行うことがで
き、混色のない蛍光面の形成が可能となる。またこのと
き有機材料による蛍光体を用いることなく蛍光面を形成
でき、蛍光体による真空度の低下を回避できる。As described above, according to the present invention, after the transparent electrode 1 is formed on the inner surface of the fluorescent panel 10, the phosphor is applied by any of the electrodeposition methods using the water-soluble or water-insoluble electrodeposition liquid. A new electrodeposition method of applying 0 or reverse bias voltage to the non-selective electrode is used. This makes it possible to reliably avoid the attachment of the fluorescent substance to the non-selective electrode due to electrophoresis, and thus it is highly accurate and uniform. Electrodeposition can be performed, and a fluorescent screen without color mixture can be formed. Further, at this time, the phosphor screen can be formed without using a phosphor made of an organic material, and a decrease in vacuum degree caused by the phosphor can be avoided.
【００１４】また本発明は、透明電極１をストライプ状
とし、その幅を２００μｍ以下として上述の形成方法に
よりカラー蛍光面を形成することによって、高解像度の
カラーディスプレイを得ることができる。Further, according to the present invention, a high resolution color display can be obtained by forming the transparent fluorescent electrode 1 into a stripe shape and setting the width thereof to 200 μm or less to form the color phosphor screen by the above-described forming method.
【００１５】更に本発明は、蛍光パネル１０がこの蛍光
パネル１０内の高真空に耐えるようにその内面に柱を形
成した後、上述のカラー蛍光面の形成方法によってカラ
ー蛍光面を形成することから、蛍光面形成後の損傷を回
避することができる。Further, according to the present invention, since the fluorescent panel 10 has columns formed on its inner surface so as to withstand the high vacuum in the fluorescent panel 10, the color fluorescent screen is formed by the above-described method of forming the color fluorescent screen. It is possible to avoid damage after the fluorescent screen is formed.
【００１６】また本発明電界放出型ディスプレイのカラ
ー蛍光面は、上述の形成方法により作製することによっ
て、高解像度の薄型平面ディスプレイを得ることができ
る。By producing the color phosphor screen of the field emission display of the present invention by the above-mentioned forming method, a high-resolution thin flat display can be obtained.
【００１７】[0017]
【実施例】本実施例においては、電界放出型ディスプレ
イＦＥＤのカラー蛍光面を形成する場合を説明する。Ｆ
ＥＤは、カソードの大きさが数μｍ以下程度とされた微
小サイズのいわゆるスピント（Spindt）型の電界放出型
マイクロカソードを用いて電子を取り出し、これを蛍光
体に加速照射することによって発光表示させる薄型の平
面表示装置である。EXAMPLE In this example, a case of forming a color phosphor screen of a field emission display FED will be described. F
The ED uses a so-called Spindt type field emission type microcathode, which has a small size of a cathode of about several μm or less, to extract electrons, and accelerates and irradiates the electrons on a phosphor to display light. It is a thin flat display device.
【００１８】図２にその一例の分解斜視図を示すよう
に、このＦＥＤにおいては例えばＲ，Ｇ，Ｂ（赤、青、
緑）の三原色の各蛍光体素子がＩＴＯ（Ｉｎ、Ｓｎの混
合酸化物）等より成る透明電極（図示せず）を介してス
トライプ状に配列されてカラー蛍光面２１が形成される
光透過性の蛍光パネル２と、電界放出型カソードを有す
る電極構体１５が形成された背面パネル１６とがシール
材等により気密に封止され、所定の真空度に保持されて
構成される。図示しないが各パネル１０及び１６はその
間隔を一定に保持するために所要の高さの柱いわゆるリ
ブを介して封止される。As shown in an exploded perspective view of one example in FIG. 2, in this FED, for example, R, G, B (red, blue,
Light transmissive property in which color phosphor screens 21 are formed by arranging the phosphor elements of the three primary colors (green) in stripes through transparent electrodes (not shown) made of ITO (mixed oxide of In and Sn) or the like. The fluorescent panel 2 and the rear panel 16 on which the electrode structure 15 having the field emission type cathode is formed are hermetically sealed by a sealing material or the like, and are held at a predetermined vacuum degree. Although not shown, each of the panels 10 and 16 is sealed by a column having a required height, so-called rib, in order to keep the interval constant.
【００１９】電極構体１５としては、背面パネル１６の
内面上に例えば図２においてｘ軸で示す方向に延長する
帯状のカソード電極１７がストライプ状に平行配列さ
れ、これらカソード電極１７上に絶縁層１８を介してカ
ソード電極１７の延長方向とほぼ直交するｙ軸方向に、
同様に帯状のゲート電極１９がストライプ状に平行配列
されて成る。As the electrode structure 15, strip-shaped cathode electrodes 17 extending in the direction indicated by the x-axis in FIG. 2 are arranged in parallel on the inner surface of the rear panel 16 in a stripe shape, and the insulating layer 18 is formed on the cathode electrodes 17. In the y-axis direction substantially orthogonal to the extension direction of the cathode electrode 17,
Similarly, band-shaped gate electrodes 19 are arranged in parallel in stripes.
【００２０】そして各カソード電極１７とゲート電極１
９との互いの交叉部１０に、蛍光面１におけるＲ，Ｇ，
Ｂで示す三原色の各蛍光体素子に対応するように所定の
開口幅ｗを有するカソードホール１１が例えば複数個穿
設され、これらカソードホール１１内においてカソード
電極１７上にそれぞれ例えば図３にその要部の略線的拡
大斜視図を示すように、円錐状の電界放出型カソード１
２が被着形成されて電極構体５が構成される。図３にお
いて、図２に対応する部分には同一符号を付して重複説
明を省略する。Each cathode electrode 17 and gate electrode 1
R, G, and
For example, a plurality of cathode holes 11 having a predetermined opening width w are formed so as to correspond to the respective phosphor elements of the three primary colors shown by B, and the cathode holes 11 are provided on the cathode electrodes 17 in FIG. As shown in a schematic enlarged perspective view of a portion, a conical field emission type cathode 1
The electrode assembly 5 is formed by depositing 2 of the above. In FIG. 3, parts corresponding to those in FIG. 2 are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.
【００２１】そして本発明においては、ストライプ状の
蛍光体素子Ｒ，Ｇ，Ｂを、図１に示すように各色蛍光体
に対応する複数の透明電極１（１Ｂ，１Ｇ，１Ｒ）を形
成した後、水溶性或いは非水溶性電着液１１中で、蛍光
体を被着しない電極、この場合１Ｂ及び１Ｒに、０又は
この蛍光体を被着する電極この場合１Ｇとは逆バイアス
の電圧を印加する。In the present invention, after the stripe-shaped phosphor elements R, G, B are formed with a plurality of transparent electrodes 1 (1B, 1G, 1R) corresponding to each color phosphor as shown in FIG. , In the water-soluble or non-water-soluble electrodeposition liquid 11, the electrode to which the fluorescent substance is not applied, in this case 1B and 1R, 0 or the electrode to which the fluorescent substance is applied, in this case, a reverse bias voltage to 1G is applied. To do.
【００２２】このような透明電極１の形成方法として
は、例えば図４に示すように、ストライプ状の透明電極
１を順次被着形成した後、同色に対応する電極どうしを
共通接続して形成することができる。即ち、先ずＩＴＯ
等の透明導電層を全面的に被着した後、全面的にフォト
レジストを塗布してストライプ状のクロムマスクパター
ン等を用いてプロキシミティ露光法、密着露光法又はス
テッパー法等により露光した後、現像、エッチング及び
レジスト剥離工程を経て、例えば緑、青及び赤に対応し
て１Ｇ，１Ｂ及び１Ｒが順次形成されたストライプ状の
透明電極１を形成する。As a method of forming such a transparent electrode 1, for example, as shown in FIG. 4, stripe-shaped transparent electrodes 1 are sequentially deposited and formed, and then electrodes corresponding to the same color are commonly connected. be able to. That is, first ITO
After depositing a transparent conductive layer such as the whole surface, the whole surface is coated with a photoresist and exposed by a proximity exposure method, a contact exposure method or a stepper method using a stripe-shaped chrome mask pattern, etc., Through development, etching, and resist stripping steps, for example, stripe-shaped transparent electrodes 1 in which 1G, 1B, and 1R are sequentially formed corresponding to green, blue, and red are formed.
【００２３】Ｔｇ，Ｔｂ及びＴｒはそれぞれ緑、青及び
赤に対応して導出される端子を示し、それぞれ各透明電
極１のうち一つの電極を他の電極に比し延長して形成す
ることによって構成する。この例においては図４におい
て左端から緑、青及び赤より成る１トリオ毎に各端子を
導出させた例であるが、導出位置はこれに限ることな
く、又その間隔も２トリオ毎とする等種々の変形が可能
である。この場合各電極１の幅ｗを例えば５０μｍ、電
極間の間隔ｄを例えば５０μｍ、１トリオ間の間隔Ｌを
例えば８０μｍとして形成した。Tg, Tb, and Tr represent terminals led out corresponding to green, blue, and red, respectively, and one electrode of each transparent electrode 1 is formed to extend in comparison with other electrodes. Constitute. In this example, each terminal is derived from the left end in FIG. 4 for each trio of green, blue, and red, but the derivation position is not limited to this, and the interval is every two trios. Various modifications are possible. In this case, the width w of each electrode 1 is, for example, 50 μm, the distance d between the electrodes is, for example, 50 μm, and the interval L between the trios is, for example, 80 μm.
【００２４】そして、このストライプ状透明電極１の一
端に、これと直交する方向（水平方向）に延長するガラ
スペースト等より成る絶縁性物質枠３を、例えば各色の
電極１Ｇ，１Ｂ，１Ｒに対応してコンタクトホール２
Ｇ、２Ｂ及び２Ｒがそれぞれ水平方向に配列されるパタ
ーンとして印刷法等によりパターニング、乾燥及び焼成
を行って形成する。このようなパターンは、例えば図５
Ａに示すように、コンタクトホール２Ｇ、２Ｂ及び２Ｒ
に対応する位置がマスク部６とされた例えば網目状の絶
縁性物質用マスク５を用いてパターニングすることがで
きる。An insulating material frame 3 made of glass paste or the like extending in a direction (horizontal direction) orthogonal to the striped transparent electrode 1 is provided at one end thereof, for example, corresponding to the electrodes 1G, 1B, 1R of the respective colors. Then contact hole 2
A pattern in which G, 2B, and 2R are arranged in the horizontal direction is formed by patterning, drying, and baking by a printing method or the like. Such a pattern is shown in FIG.
As shown in A, contact holes 2G, 2B and 2R
It is possible to perform patterning by using, for example, a mesh-shaped mask 5 for an insulating material having a mask portion 6 at a position corresponding to.
【００２５】そして更にこの上に、上述の水平方向即ち
透明電極１と直交する方向に延長する導電性金属又はカ
ーボンペースト等より成る導電性物質４を、同様に印刷
法等により例えば図５Ｂに示すストライプ状の導電性物
質用マスク７を用いてパターニング、乾燥及び焼成して
形成することができ、これによって各色に対応する透明
電極１Ｇ，１Ｂ及び１Ｒを電気的に接続させて、端子Ｔ
ｇ、Ｔｂ及びＴｒのみによって端子導出を行うことがで
きる。Further thereon, a conductive substance 4 made of a conductive metal or carbon paste which extends in the horizontal direction, that is, in the direction orthogonal to the transparent electrode 1 is also shown in FIG. 5B by a printing method or the like. It can be formed by patterning, drying and firing using the stripe-shaped mask 7 for conductive material, thereby electrically connecting the transparent electrodes 1G, 1B and 1R corresponding to each color to the terminal T.
The terminal can be derived only by g, Tb, and Tr.
【００２６】このような構成とすることによって、例え
ば画素数の比較的多い高品位のキャラクターディスプレ
イ、画素数６４０×４８０程度以上のＴＶ表示などを行
う場合に端子数の増大を避けることができ、端子耐電圧
の信頼性やファインピッチな配線の信頼性を確保するこ
とができる。With such a configuration, it is possible to avoid an increase in the number of terminals when performing, for example, a high-quality character display having a relatively large number of pixels or a TV display having a pixel number of 640 × 480 or more, It is possible to secure the reliability of terminal withstand voltage and the reliability of fine pitch wiring.
【００２７】次に、図６にその略線的拡大斜視図を示す
ように、三色のストライプより成る１トリオ毎の間隙
に、印刷法等によって柱２３いわゆるリブを形成する。
この柱２３は、例えば絶縁性ガラスペースト等を重ね塗
り印刷することにより、例えばその直径φを５０μｍ、
高さ３００μｍ程度として１トリオ毎のストライプ状の
間隙に、所定の間隔をもって複数個配置形成する。Next, as shown in the enlarged schematic perspective view of FIG. 6, pillars 23, so-called ribs, are formed by a printing method or the like in the gap of each trio of stripes of three colors.
The pillars 23 have a diameter φ of 50 μm, for example, by being overprinted with an insulating glass paste or the like.
A plurality of stripes are formed at intervals of one trio with a height of approximately 300 μm, and a plurality of them are arranged at a predetermined interval.
【００２８】そしてこのように透明電極１が形成された
蛍光パネル１０を、所要の色の蛍光粉体を分散させた電
着液１１を注入した電着槽９内に図１に示す如く配置し
て、この蛍光粉体の色に対応する透明電極１に対して順
次緑、青及び赤の各色蛍光体の電着を行う。蛍光体とし
ては、例えば緑色としてＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ等、青色と
してＺｎＳ：Ａｇ，Ｃｌ等、赤色としてＹ2 Ｏ2 Ｓ：Ｅ
ｕ，ＣｄＳ等、また他の色として例えばＺｎＳ：Ｍｎ、
Ｙ2 Ｏ3 ：Ｅｕ、ＺｎＯ：Ｚｎ等、溶媒に溶出し易い粉
体を除いてほとんどの半導体及び絶縁体を電着法に用い
ることができる。図１において８は電着の際に蛍光パネ
ル上の電極１とは逆の極性とする対極、１２は電着液１
１の撹拌子、１３Ａは電着用の電源、１３Ｂ及び１３Ｃ
はそれぞれ逆バイアス印加用の電源を示す。The fluorescent panel 10 having the transparent electrode 1 thus formed is placed in an electrodeposition tank 9 into which an electrodeposition liquid 11 in which a fluorescent powder of a desired color is dispersed is poured, as shown in FIG. Then, the green, blue, and red phosphors are sequentially electrodeposited on the transparent electrode 1 corresponding to the color of the phosphor powder. Examples of the phosphor include ZnS: Cu, Al for green, ZnS: Ag, Cl for blue, and Y 2 O 2 S: E for red.
u, CdS, etc., and other colors such as ZnS: Mn,
Most semiconductors and insulators can be used for the electrodeposition method except for powders such as Y 2 O 3 : Eu and ZnO: Zn, which are easily eluted in a solvent. In FIG. 1, 8 is a counter electrode having a polarity opposite to that of the electrode 1 on the fluorescent panel at the time of electrodeposition, and 12 is an electrodeposition liquid 1
1 stirrer, 13A is a power supply for electrodeposition, 13B and 13C
Indicates a power supply for reverse bias application.
【００２９】このような構成において、先ずパネル１０
を緑色蛍光粉体を分散した電着液１１、例えば陰極電着
においては電解質として硝酸アルミニウム、硝酸マグネ
シウム、硝酸ランタニウム、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム及び硝酸トリウム等、また分散材としてグリセ
リン、溶媒としてイソプロピルアルコール、アセトン等
を含む電着液１１に入れ、端子Ｔｇを介して第１のスト
ライプ状透明電極１Ｇに負電位（直流電圧）、端子Ｔ
ｂ、Ｔｒを介して他のストライプ状透明電極１Ｂ、１Ｒ
に０または正電位（逆バイアス電圧）を印加し、その対
極８に正電位を印加して、電極１Ｇにのみ緑色蛍光粉体
を電着し、緑色蛍光体膜を形成する。その後、ストライ
プ状透明電極１間及び上述の柱２３にファンデルワール
ス力等の非静電的作用により付着したごく少量の蛍光粉
体等を除去するためパネル１０をアルコール等で洗浄
し、次いで熱風乾燥する。In such a structure, first, the panel 10
Is an electrodeposition liquid 11 in which green fluorescent powder is dispersed, such as aluminum nitrate, magnesium nitrate, lanthanum nitrate, sodium hydroxide, potassium hydroxide and thorium nitrate as an electrolyte in cathodic electrodeposition, glycerin as a dispersant, and a solvent. The electrodeposited solution 11 containing isopropyl alcohol, acetone, etc., was put in, and a negative potential (DC voltage) was applied to the first stripe-shaped transparent electrode 1G via the terminal Tg.
Other striped transparent electrodes 1B, 1R via b, Tr
0 or a positive potential (reverse bias voltage) is applied to the counter electrode 8 and a positive potential is applied to the counter electrode 8 to electrodeposit the green phosphor powder only on the electrode 1G to form a green phosphor film. After that, the panel 10 is washed with alcohol or the like to remove a very small amount of the fluorescent powder or the like adhering between the stripe-shaped transparent electrodes 1 and the above-mentioned pillars 23 due to a non-electrostatic action such as van der Waals force, and then hot air. dry.
【００３０】次に、青色蛍光粉体を分散して電着液１１
にこの蛍光パネル１０を入れ、端子１を介して青色に対
応する各透明電極１Ｂに負電位、他の透明電極１Ｇ及び
１Ｒに０または正電位（逆バイアス電位）、更に対極８
に正電位を与えて電極１Ｂ上に青色蛍光粉体のみを電着
し、上述の緑色蛍光膜には全く混色なく青色蛍光膜を形
成することができる。そしてこの場合もアルコール等で
洗浄した後熱風乾燥する。Next, the blue fluorescent powder is dispersed to form an electrodeposition solution 11
This fluorescent panel 10 is put in the transparent electrode 1B corresponding to the blue color via the terminal 1, and the other transparent electrodes 1G and 1R have a negative potential or 0 or a positive potential (reverse bias potential), and the counter electrode 8
By applying a positive potential to the electrode 1B and electrodepositing only the blue fluorescent powder on the electrode 1B, it is possible to form the blue fluorescent film without any color mixture on the green fluorescent film. Also in this case, after washing with alcohol or the like, hot air drying is performed.
【００３１】更に、パネル１０を赤色蛍光粉体を分散し
た電着液１１に入れ、端子Ｔｒを介して赤色に対応する
各透明電極１Ｒに負電位、他の透明電極１Ｇ及び１Ｂに
０または正電位（逆バイアス電位）、更に対極８に正電
位を与えて電極１Ｒ上に赤色蛍光粉体のみを電着し、上
述の緑色蛍光膜及び青色蛍光膜には全く混色なく赤色蛍
光膜を形成することができる。この場合も同様にアルコ
ール等で洗浄した後熱風乾燥する。Further, the panel 10 is placed in an electrodeposition liquid 11 in which red fluorescent powder is dispersed, and a negative potential is applied to each transparent electrode 1R corresponding to red through the terminal Tr, and 0 or positive to the other transparent electrodes 1G and 1B. Potential (reverse bias potential), and further positive potential is applied to the counter electrode 8 to electrodeposit only the red fluorescent powder on the electrode 1R to form a red fluorescent film without any color mixture on the green fluorescent film and the blue fluorescent film described above. be able to. In this case as well, it is similarly washed with alcohol or the like and then dried with hot air.
【００３２】陰極電着においては、水等の電気分解及び
電解質（フリーイオン）の陰極における電気化学的反応
により陰極側にＨ2 等が発生し、ＩＴＯより成る透明電
極１を還元させてしまうという欠点を有するが、電着液
の前処理を行うことによってこれを避けることは可能で
ある。即ち水分除去、電解処理等や電解質フリーイオン
を除去するとか電着液の上澄み液を交換するなどの処理
を行うことにより透明電極１の白色化を回避することが
できる。In cathodic electrodeposition, H 2 or the like is generated on the cathode side due to electrolysis of water or the like and an electrochemical reaction of the electrolyte (free ions) at the cathode, and the transparent electrode 1 made of ITO is reduced. Despite the drawbacks, it is possible to avoid this by pretreatment of the electrodeposition solution. That is, it is possible to avoid the whitening of the transparent electrode 1 by removing water, performing electrolytic treatment, removing electrolyte free ions, or exchanging the supernatant of the electrodeposition solution.
【００３３】また、各蛍光体の塗膜値は電着時間、電界
強度や蛍光体量等で制御することができ、例えば電着用
電源の直流電界が５０Ｖ／ｃｍである場合、１５μｍを
付着させるには３０秒間の電着で可能である。また、逆
バイアス電位は０〜５００Ｖ程度、アルコール等の洗浄
所要時間は３０秒程度である。The coating film value of each phosphor can be controlled by the electrodeposition time, the electric field strength, the amount of phosphor, etc. For example, when the DC electric field of the electrodeposition power source is 50 V / cm, 15 μm is deposited. It can be done by electrodeposition for 30 seconds. The reverse bias potential is about 0 to 500 V, and the time required for cleaning alcohol or the like is about 30 seconds.
【００３４】更に上述の例においては水溶液系の陰極電
着を行う場合であるが、ニトロセルロースを含むケトン
系電着液等の非水溶液系の陽極電着を行う場合において
も、逆バイアスを非選択電極に印加することによって、
上述の例と同様に混色を避けて高精度に蛍光体を被着す
ることができる。Further, in the above-mentioned example, an aqueous solution type cathodic electrodeposition is carried out. However, even when a non-aqueous solution type anodic electrodeposition of a ketone type electrodeposition solution containing nitrocellulose is carried out, the reverse bias is not applied. By applying to the select electrode,
As in the above-mentioned example, the phosphor can be applied with high accuracy while avoiding color mixture.
【００３５】そしてこのようにして形成されたカラー蛍
光パネル１０を、図２において説明した上述の電界放出
型カソードを配置したパネルとガラス接着材等によって
その間隔を３００μｍ程度に保持して接合した後、内部
を１０-8Ｔｏｒｒ程度に排気して、電界放出型ディスプ
レイＦＥＤを構成する。After the color fluorescent panel 10 thus formed is joined to the panel having the above-mentioned field emission type cathode described in FIG. 2 by a glass adhesive or the like while keeping the distance between them to about 300 μm. Then, the inside is evacuated to about 10 −8 Torr to form a field emission display FED.
【００３６】そしてそれぞれ直交する２方向に延長する
カソード１７とゲート電極１９とを選択して電圧を順次
印加し、その交叉部２２の電界放出型カソード２１から
電子を放出して各色に対応する蛍光体を発光させること
によって、信号に対応するカラー映像表示を行うことが
できる。Then, the cathode 17 and the gate electrode 19 extending in two directions orthogonal to each other are selected and voltages are sequentially applied, and electrons are emitted from the field emission cathode 21 at the intersection 22 to emit fluorescence corresponding to each color. By making the body emit light, color image display corresponding to the signal can be performed.
【００３７】このカラー表示方法としては、選択された
交叉部２２の各カソードと一色の蛍光体とを対応させる
方法と、各カソードと複数の色蛍光体とを対応させるい
わゆる色選別方法がある。この場合の色選別の動作を図
７及び図８を用いて説明する。As the color display method, there are a method of associating each cathode of the selected crossing portion 22 with a phosphor of one color and a so-called color selecting method of associating each cathode with a plurality of color phosphors. The color selection operation in this case will be described with reference to FIGS. 7 and 8.
【００３８】図７において、蛍光パネル１０の内面の複
数のストライプ状の透明電極１は図７と直交する方向に
延長し、上述したようにこの上に各色に対応するＲ，
Ｇ，Ｂの蛍光体が順次配列されて形成され、各色の電極
はそれぞれ赤色はＴｒ、緑色はＴｇ、青色はＴｂの端子
に集約されて成る。対向する背面パネル１６上には、上
述したようにカソード電極１７及びゲート電極１９が直
交してストライプ状に設けられ、このカソード電極１７
−ゲート電極１９間に１０8 〜１０9 Ｖ／ｍの電界強度
を加えると、各電極の交叉部２２に形成された電界放出
型カソード（図示せず）から電子が放出される。一方透
明電極１即ちアノード電極とカソード電極１７間とのに
は１００〜１０００Ｖの電圧を印加して電子を加速し、
蛍光体を発光させる。図７の例においては赤色蛍光体Ｒ
にのみ電圧印加して電子を矢印ｅで示すように加速させ
た場合を示している。In FIG. 7, a plurality of stripe-shaped transparent electrodes 1 on the inner surface of the fluorescent panel 10 extend in a direction orthogonal to FIG. 7, and as described above, R, corresponding to each color,
The G and B phosphors are sequentially arranged and formed, and the electrodes of each color are integrated into the terminals of Tr for red, Tg for green, and Tb for blue. As described above, the cathode electrodes 17 and the gate electrodes 19 are provided in a stripe shape so as to be orthogonal to each other on the rear panel 16 facing each other.
When an electric field intensity of 10 8 to 10 9 V / m is applied between the gate electrodes 19, electrons are emitted from the field emission type cathode (not shown) formed at the intersection 22 of each electrode. On the other hand, a voltage of 100 to 1000 V is applied between the transparent electrode 1, that is, between the anode electrode and the cathode electrode 17 to accelerate electrons,
Causes the phosphor to emit light. In the example of FIG. 7, the red phosphor R
It shows the case where a voltage is applied only to accelerating the electrons as indicated by arrow e.
【００３９】このように、三端子化された各色ＲＧＢを
時系列で選択することによってカラー表示を行うことが
できる。各カソード電極列上のある一点のカソード、ゲ
ート及びアノード（蛍光体ストライプ）のＮＴＳＣ方式
での色選別タイミングチャートを図８に示す。各カソー
ド電極１７を１Ｈの周期で線順次駆動させるときに、各
色蛍光体Ｒ，Ｇ，Ｂに対しそれぞれ周期ＨのうちＨ／３
ずつ＋ｈＶの信号を与え、一方ゲート信号及びカソード
信号をＨ／３周期でゲート信号として＋αＶ、カソード
信号として−αＶ〜−βＶを同期してそれぞれ与え、ゲ
ート−カソード間電圧Ｖpp＝＋２αＶのときに電子を放
出して、Ｈ／３毎に選択されるＲＧＢの各蛍光体を発光
させて色選別を行うことができ、これによりフルカラー
表示を行うことができる。As described above, color display can be performed by selecting each of the three-terminal RGB colors in time series. FIG. 8 shows a color selection timing chart in the NTSC system for a certain cathode, gate and anode (phosphor stripe) on each cathode electrode array. When each cathode electrode 17 is line-sequentially driven at a period of 1H, H / 3 of the period H for each color phosphor R, G, B
When a + hV signal is applied to each of the gate signals, and a gate signal and a cathode signal are applied in synchronization with + αV as a gate signal and −αV to −βV as a cathode signal in the H / 3 cycle, respectively, and when the gate-cathode voltage V pp = + 2αV The electrons can be emitted to each of the R, G, and B phosphors of R, G, and B to emit light to perform color selection, and thus full-color display can be performed.
【００４０】尚、上述の例においてはＦＥＤに適用した
場合について説明したが、本発明はその他各種ディスプ
レイにおけるカラー蛍光面、特にその蛍光体が２００μ
ｍ以下程度とされるいわゆるファインストライプの蛍光
面を形成する場合に本発明を適用しすることができ、ま
たその形成方法としても種々の変更が可能であることは
いうまでもない。In the above example, the case of application to the FED has been described, but the present invention applies the color phosphor screen of various other displays, particularly the phosphor of 200 μm.
It goes without saying that the present invention can be applied to the case of forming a so-called fine stripe phosphor screen having a size of about m or less, and various changes can be made in the method of forming the same.
【００４１】[0041]
【発明の効果】上述したように、本発明によれば蛍光体
を電着により形成するにあたって非選択電極に０または
逆バイアスを印加することによって、混色を確実に回避
することができ、特にファインストライプの蛍光体を高
精度に混色なく被着できて、高品位なカラー蛍光面が容
易に得られる。As described above, according to the present invention, by applying 0 or a reverse bias to the non-selective electrode when the phosphor is formed by electrodeposition, it is possible to surely avoid the color mixture, and particularly fine Striped phosphors can be applied with high precision without color mixing, and a high-quality color phosphor screen can be easily obtained.
【００４２】更に、有機系材料を用いることなく蛍光面
を形成でき、ディスプレイ内の超高真空を維持すること
が可能となる。Furthermore, the fluorescent screen can be formed without using an organic material, and it is possible to maintain an ultrahigh vacuum in the display.
【００４３】また真空に抗して蛍光パネルを支える柱を
このパネル内面に形成する場合においてもその立体的な
影響を受けることなく、均一な蛍光体膜を形成すること
ができる。Also, when a pillar for supporting the fluorescent panel against the vacuum is formed on the inner surface of this panel, a uniform fluorescent film can be formed without being affected three-dimensionally.
【００４４】また本発明によれば、ファインストライプ
の蛍光体が高精度に混色なく被着されて電界放出型ディ
スプレイのカラー蛍光面を得ることができる。Further, according to the present invention, the fine stripe phosphors can be applied with high precision without color mixing to obtain a color phosphor screen of a field emission display.
【００４５】更にまた、電着の際に各色毎の端子を集約
することによって端子の本数を蛍光体色と同数にまで減
じることができ、ファインストライプの蛍光体の場合特
にその端子数の低減化により実装空間を拡大して外部回
路との接続の信頼性を向上することができる。Furthermore, by collecting the terminals for each color during electrodeposition, the number of terminals can be reduced to the same number as the phosphor color, and in the case of fine stripe phosphors, the number of terminals can be particularly reduced. Thus, the mounting space can be expanded and the reliability of the connection with the external circuit can be improved.
【００４６】更にＲＧＢ三端子化することにより色選別
が容易となり、フルカラー表示を行うことができる。Further, by providing RGB three terminals, color selection becomes easy and full color display can be performed.
【図１】カラー蛍光面の形成方法の一例の説明図であ
る。FIG. 1 is an explanatory diagram of an example of a method of forming a color phosphor screen.
【図２】電界放出型ディスプレイの一例の分解斜視図で
ある。FIG. 2 is an exploded perspective view of an example of a field emission display.
【図３】電界放出型ディスプレイの一例の要部の略線的
拡大斜視図である。FIG. 3 is a schematic linear enlarged perspective view of a main part of an example of a field emission display.
【図４】カラー蛍光面の形成方法の一例の説明図であ
る。FIG. 4 is an explanatory diagram of an example of a method of forming a color phosphor screen.
【図５】カラー蛍光面の形成方法の一例の説明図であ
る。FIG. 5 is an explanatory diagram of an example of a method of forming a color phosphor screen.
【図６】カラー蛍光面の一例の略線的拡大斜視図であ
る。FIG. 6 is an enlarged schematic perspective view of an example of a color phosphor screen.
【図７】ＲＧＢ三端子切り換えによる色選別の説明図で
ある。FIG. 7 is an explanatory diagram of color selection by switching RGB three terminals.
【図８】色選別のタイミングチャートを示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a timing chart of color selection.
１ 透明電極 １Ｇ 透明電極 １Ｂ 透明電極 １Ｒ 透明電極 ８ 対極 ９ 電着槽 １０ 蛍光パネル １１ 電着液 1 Transparent Electrode 1G Transparent Electrode 1B Transparent Electrode 1R Transparent Electrode 8 Counter Electrode 9 Electrodeposition Tank 10 Fluorescent Panel 11 Electrodeposition Liquid
─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年１０月１４日[Submission date] October 14, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００３[Name of item to be corrected] 0003
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００３】しかしながらこのスラリー法による場合
は、各色蛍光体間を隙間なく高精度に蛍光面を形成する
ことが困難であること、また結合材として有機系の材料
を使用しているがこの材料を焼成工程で燃焼するのみで
は完全に除去することができない。例えば上述のＦＥＤ
におけるカラー蛍光面を形成する場合、ディスプレイ内
を１０-8Ｔｏｒｒ程度の超高真空に保持することが必要
となるが、スラリー法では上述したように蛍光面からの
放出ガスによって真空度の劣化を引き起こすという不都
合を有する。However, in the case of this slurry method, it is difficult to form a fluorescent screen with high precision without gaps between the phosphors of each color, and an organic material is used as a binder, but this material is used. It cannot be completely removed only by burning in the firing process. For example, the above-mentioned FED
In the case of forming the color phosphor screen in (1), it is necessary to maintain the inside of the display in an ultra-high vacuum of about 10 -8 Torr .
There is a disadvantage that the degree of vacuum is deteriorated by the released gas .
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００７[Correction target item name] 0007
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００７】ところがこの印刷法による場合においても
以下に述べる種々の問題が生じる。例えば印刷法では、
印刷用のマスクをこのパネル内面に密着させることがで
きず、幅狭のストライプ電極パターンを高精度に形成す
ることが困難である。また焼成後の蛍光体に有機物質が
残留して真空度を損なう恐れがあること、更にパネル内
を超高真空に維持するためにはパネル内間隔を保持する
ための３００μｍ程度の高さの支柱（リブ）を形成する
必要があるが、このリブを形成した後にこの印刷法によ
って蛍光面を形成することはその高さによる立体的な影
響から実際上不可能であり、上述のＦＥＤの蛍光面を作
製する場合に適用することは難しい。However, even when this printing method is used, various problems described below occur. For example, in the printing method,
The printing mask cannot be brought into close contact with the inner surface of the panel, and it is difficult to form a narrow stripe electrode pattern with high accuracy. In addition, there is a possibility that an organic substance may remain in the phosphor after firing to impair the degree of vacuum, and in order to maintain an ultra-high vacuum inside the panel, a pillar having a height of about 300 μm for maintaining a space within the panel. Although it is necessary to form (rib), it is practically impossible to form a phosphor screen by this printing method after forming this rib because of the three-dimensional effect due to the height, and the phosphor screen of the FED described above is formed. It is difficult to apply it when manufacturing.
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１３[Correction target item name] 0013
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１３】[0013]
【作用】上述したように、本発明は、蛍光パネル１０の
内面に透明電極１を形成した後、水溶性或いは非水溶性
電着液を用いるいずれの電着法においても、蛍光体を被
着しない電極に、０又は逆バイアスの電圧を印加する新
規な電着手法を用いるものであり、これによって非選択
電極への電気泳動による蛍光体の付着を確実に回避でき
ることから、高精度で且つ均一な電着を行うことがで
き、混色のない蛍光面の形成が可能となる。またこのと
き有機結合材を含む蛍光体を用いることなく蛍光面を形
成でき、放出ガスによる真空度の低下を回避できる。As described above, according to the present invention, after the transparent electrode 1 is formed on the inner surface of the fluorescent panel 10, the phosphor is applied by any of the electrodeposition methods using the water-soluble or water-insoluble electrodeposition liquid. A new electrodeposition method of applying 0 or reverse bias voltage to the non-selective electrode is used. This makes it possible to reliably avoid the attachment of the fluorescent substance to the non-selective electrode due to electrophoresis, and thus it is highly accurate and uniform. Electrodeposition can be performed, and a fluorescent screen without color mixture can be formed. Further, at this time, the phosphor screen can be formed without using the phosphor containing the organic binder, and the decrease of the vacuum degree due to the released gas can be avoided.
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２０[Correction target item name] 0020
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２０】そして各カソード電極１７とゲート電極１
９との互いの交叉部１０に、蛍光面１におけるＲ，Ｇ，
Ｂで示す三原色の各蛍光体素子に対応するように所定の
開口幅ｗを有するカソードホール２０が例えば複数個穿
設され、これらカソードホール２０内においてカソード
電極１７上にそれぞれ例えば図３にその要部の略線的拡
大斜視図を示すように、円錐状の電界放出型カソード２
１が被着形成されて電極構体１５が構成される。図３に
おいて、図２に対応する部分には同一符号を付して重複
説明を省略する。Each cathode electrode 17 and gate electrode 1
R, G, and
For example, a plurality of cathode holes 20 having a predetermined opening width w are provided so as to correspond to the respective phosphor elements of the three primary colors shown by B, and the cathode holes 20 are respectively formed on the cathode electrodes 17 in the cathode holes 20 , for example, as shown in FIG. As shown in a schematic enlarged perspective view of a portion, a conical field emission type cathode 2
The electrode assembly 15 is formed by depositing 1 of the above. In FIG. 3, parts corresponding to those in FIG. 2 are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.
【手続補正５】[Procedure Amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２９[Name of item to be corrected] 0029
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２９】このような構成において、先ずパネル１０
を緑色蛍光粉体を分散した電着液１１、例えば陰極電着
においては電解質として硝酸アルミニウム、硝酸マグネ
シウム、硝酸ランタニウム、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム及び硝酸トリウム等、また分散材としてグリセ
リン、溶媒としてイソプロピルアルコール、アセトン、
アミルアルコール等を含む電着液１１に入れ、端子Ｔｇ
を介して第１のストライプ状透明電極１Ｇに負電位（直
流電圧）、端子Ｔｂ、Ｔｒを介して他のストライプ状透
明電極１Ｂ、１Ｒに０または正電位（逆バイアス電圧）
を印加し、その対極８に正電位を印加して、電極１Ｇに
のみ緑色蛍光粉体を電着し、緑色蛍光体膜を形成する。
その後、ストライプ状透明電極１間及び上述の柱２３に
ファンデルワールス力等の非静電的作用により付着した
ごく少量の蛍光粉体等を除去するためパネル１０をアル
コール等で洗浄し、次いで熱風乾燥する。In such a structure, first, the panel 10
Is an electrodeposition liquid 11 in which green fluorescent powder is dispersed, such as aluminum nitrate, magnesium nitrate, lanthanum nitrate, sodium hydroxide, potassium hydroxide and thorium nitrate as an electrolyte in cathodic electrodeposition, glycerin as a dispersant, and a solvent. Isopropyl alcohol, acetone ,
Put in electrodeposition liquid 11 containing amyl alcohol etc.
Negative potential (DC voltage) to the first striped transparent electrode 1G via, and 0 or positive potential (reverse bias voltage) to the other striped transparent electrodes 1B and 1R via terminals Tb and Tr.
Is applied and a positive potential is applied to the counter electrode 8 to electrodeposit green fluorescent powder only on the electrode 1G to form a green fluorescent film.
After that, the panel 10 is washed with alcohol or the like to remove a very small amount of the fluorescent powder or the like adhering between the stripe-shaped transparent electrodes 1 and the above-mentioned pillars 23 due to a non-electrostatic action such as van der Waals force, and then hot air. dry.
【手続補正６】[Procedure correction 6]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００３２[Name of item to be corrected] 0032
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００３２】陰極電着においては、水等の電気分解及び
電解質（フリーイオン）の陰極における電気化学的反応
により陰極側にＨ2 等が発生し、ＩＴＯより成る透明電
極１を還元させてしまうという欠点を有するが、電着液
の前処理を行うことによってこれを避けることは可能で
ある。即ち水分除去、電解処理等や電解質フリーイオン
を除去するとか電着液の上澄み液を交換するなどの処理
を行うことにより透明電極１の不透明化を回避すること
ができる。In cathodic electrodeposition, H 2 or the like is generated on the cathode side due to electrolysis of water or the like and an electrochemical reaction of the electrolyte (free ions) at the cathode, and the transparent electrode 1 made of ITO is reduced. Despite the drawbacks, it is possible to avoid this by pretreatment of the electrodeposition solution. That is, the transparent electrode 1 can be prevented from becoming opaque by removing water, performing electrolytic treatment, removing electrolyte free ions, or exchanging the supernatant of the electrodeposition solution.
【手続補正７】[Procedure Amendment 7]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４０[Correction target item name] 0040
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００４０】尚、上述の例においてはＦＥＤに適用した
場合について説明したが、本発明はその他各種ディスプ
レイにおけるカラー蛍光面、特にその蛍光体が２００μ
ｍ以下程度とされるいわゆるファインストライプの蛍光
面を形成する場合に本発明を適用することができ、また
その形成方法としても種々の変更が可能であることはい
うまでもない。In the above example, the case of application to the FED has been described, but the present invention applies the color phosphor screen of various other displays, particularly the phosphor of 200 μm.
The present invention can be Rukoto applied to the case of forming a phosphor screen of a so-called fine stripes are much less m, also it is needless to say various modifications are possible as a method of forming.
【手続補正８】[Procedure Amendment 8]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４２[Correction target item name] 0042
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００４２】更に、有機系結合材料を用いることなく蛍
光面を形成でき、ディスプレイ内の超高真空を維持する
ことが可能となる。Furthermore, the phosphor screen can be formed without using an organic bonding material, and an ultrahigh vacuum in the display can be maintained.
【手続補正９】[Procedure Amendment 9]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図６[Name of item to be corrected] Figure 6
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図６】 [Figure 6]
Claims (4)
する複数の透明電極を形成し、上記各透明電極上に蛍光
体を選択的に被着形成するカラー蛍光面の形成方法にお
いて、 上記蛍光パネルの内面に、各色蛍光体に対応する複数の
透明電極を形成した後、 水溶性或いは非水溶性電着液中で、 上記蛍光体を被着しない電極に、０又は上記蛍光体を被
着する電極とは逆バイアスの電圧を印加することを特徴
とするカラー蛍光面の形成方法。1. A method of forming a color phosphor screen, wherein a plurality of transparent electrodes corresponding to phosphors of respective colors are formed on an inner surface of a phosphor panel, and phosphors are selectively deposited on the respective transparent electrodes. After forming a plurality of transparent electrodes corresponding to the phosphors of each color on the inner surface of the fluorescent panel, in the water-soluble or non-water-soluble electrodeposition solution, the electrode not coated with the phosphor is coated with 0 or the phosphor. A method of forming a color phosphor screen, characterized in that a voltage having a reverse bias to that of the electrode to be applied is applied.
幅を２００μｍ以下とすることを特徴とする上記請求項
１に記載のカラー蛍光面の形成方法。2. The method for forming a color phosphor screen according to claim 1, wherein the transparent electrode is stripe-shaped and the width thereof is 200 μm or less.
真空に耐えるように上記蛍光パネル内面に柱を形成した
後、上記カラー蛍光面を形成することを特徴とする上記
請求項１に記載のカラー蛍光面の形成方法。3. The color phosphor screen according to claim 1, wherein columns are formed on an inner surface of the phosphor panel so that the phosphor panel withstands a high vacuum in the phosphor panel, and then the color phosphor screen is formed. Method of forming color phosphor screen.
成方法によってカラー蛍光面が形成されて成ることを特
徴とする電界放出型ディスプレイのカラー蛍光面。4. A color phosphor screen of a field emission display, wherein the color phosphor screen is formed by the method for forming a color phosphor screen according to claim 1.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4225994A JPH0676738A (en) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | Fomation of color phoshor screen and color phosphor screen of field emission type dislay |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4225994A JPH0676738A (en) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | Fomation of color phoshor screen and color phosphor screen of field emission type dislay |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0676738A true JPH0676738A (en) | 1994-03-18 |
Family
ID=16838130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4225994A Pending JPH0676738A (en) | 1992-08-25 | 1992-08-25 | Fomation of color phoshor screen and color phosphor screen of field emission type dislay |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0676738A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001110303A (en) * | 1999-08-12 | 2001-04-20 | Samsung Sdi Co Ltd | Fabrication method of carbon nanotube field emitter utilizing electrophoresis |
| WO2013178618A3 (en) * | 2012-05-29 | 2014-07-17 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Process for producing a component and apparatus for producing a component |
-
1992
- 1992-08-25 JP JP4225994A patent/JPH0676738A/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001110303A (en) * | 1999-08-12 | 2001-04-20 | Samsung Sdi Co Ltd | Fabrication method of carbon nanotube field emitter utilizing electrophoresis |
| WO2013178618A3 (en) * | 2012-05-29 | 2014-07-17 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Process for producing a component and apparatus for producing a component |
| KR20150015018A (en) * | 2012-05-29 | 2015-02-09 | 오스람 옵토 세미컨덕터스 게엠베하 | Process for producing a component and apparatus for producing a component |
| CN104395507A (en) * | 2012-05-29 | 2015-03-04 | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 | Process for producing a component and apparatus for producing a component |
| CN104395507B (en) * | 2012-05-29 | 2017-10-20 | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 | The manufacture method of component and the manufacture device of component |
| US10091889B2 (en) | 2012-05-29 | 2018-10-02 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Process of producing a component and apparatus that produces a component |
| US10091890B2 (en) | 2012-05-29 | 2018-10-02 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Process of producing a component and apparatus that produces a component |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5949184A (en) | Light-emitting device and method of manufacturing the same | |
| US2787556A (en) | Image reproduction device screen forming process | |
| EP0635865B1 (en) | Field-emission display | |
| EP0690467B1 (en) | Fluorescent screen structure and field emission display and methods for manufacturing these | |
| US5693438A (en) | Method of manufacturing a flat panel field emission display having auto gettering | |
| JP2584045B2 (en) | Flat panel image display | |
| JP3341385B2 (en) | Phosphor electrodeposition method for field emission display | |
| JPH0676738A (en) | Fomation of color phoshor screen and color phosphor screen of field emission type dislay | |
| JP3239652B2 (en) | Light emitting device and method of manufacturing the same | |
| JP3297856B2 (en) | Phosphor screen structure, field emission type display device, and manufacturing method thereof | |
| US5611719A (en) | Method for improving flat panel display anode plate phosphor efficiency | |
| JP3424703B2 (en) | Light emitting device and method of manufacturing the same | |
| JP2001216925A (en) | Image display device | |
| US2714175A (en) | Color television system and display therefor | |
| KR100250196B1 (en) | Method for forming a fluorescent film | |
| JPH08339771A (en) | Emitting device and manufacture thereof | |
| KR100346738B1 (en) | Electric field effect electron emission device and manufacturing method thereof | |
| US2844758A (en) | Method of making multicolor cathde-ray tube screens | |
| KR100429835B1 (en) | Method for producing field emission array for field emission display by using diamond paste | |
| JPS6012639A (en) | Manufacture of phosphor screen of cathode-ray tube for light source | |
| KR100393195B1 (en) | Method for depositing phosphor screen for field effect electron emitting device by using electrophoretic method | |
| RU2258974C1 (en) | Low-voltage cathode-ray fluorescent matrix screen | |
| RU2253167C2 (en) | Fluorescent-cathode matrix screen | |
| RU1800499C (en) | Cathode-luminescent screen | |
| JP3309017B2 (en) | Method of manufacturing gas discharge display panel |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |