JPH0675042B2 - X線断層像撮影装置 - Google Patents
X線断層像撮影装置Info
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- JPH0675042B2 JPH0675042B2 JP63291102A JP29110288A JPH0675042B2 JP H0675042 B2 JPH0675042 B2 JP H0675042B2 JP 63291102 A JP63291102 A JP 63291102A JP 29110288 A JP29110288 A JP 29110288A JP H0675042 B2 JPH0675042 B2 JP H0675042B2
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) 本発明は、マイクロフォーカスX線発生装置をX線源と
するX線断層像撮影装置に関する。
するX線断層像撮影装置に関する。
(従来の技術) 一般に、X線断層像撮影装置のX線源としては、高電圧
を印加し管内に発生した熱電子をこの高電圧により加速
し、タングステン等により構成されるターゲットへ当て
て、そのターゲットから制動放射によりX線を発生させ
るX線発生装置が用いられる。
を印加し管内に発生した熱電子をこの高電圧により加速
し、タングステン等により構成されるターゲットへ当て
て、そのターゲットから制動放射によりX線を発生させ
るX線発生装置が用いられる。
このようなX線断層像撮影装置では、上記X線発生装置
の焦点位置を決められた位置に正確に合わせることが重
要である。この位置にずれがあると、断層像にボケやア
ーティファクト(偽像)を生じてしまうからである。
の焦点位置を決められた位置に正確に合わせることが重
要である。この位置にずれがあると、断層像にボケやア
ーティファクト(偽像)を生じてしまうからである。
ところで、X線断層像撮影装置に一般的に使用されるX
線発生装置の焦点寸法は、1/10〜1mm程度である。した
がって、この焦点自身の大きさと位置の時間的変動は、
通常問題にならない。
線発生装置の焦点寸法は、1/10〜1mm程度である。した
がって、この焦点自身の大きさと位置の時間的変動は、
通常問題にならない。
ところが、最近では、被検査物がセラミックス等のよう
な場合には、数十μmまでの欠陥をX線断層像撮影装置
で検出したという要望が強い。
な場合には、数十μmまでの欠陥をX線断層像撮影装置
で検出したという要望が強い。
そこで、X線発生装置の焦点寸法をほぼこの検出したい
欠陥の大きさあるいはそれ以下まで小さくするため、撮
影の拡大倍率を上げて前記程度の微小欠陥の検出を可能
とするマイクロフォーカスX線発生装置を用いることが
考えられる。
欠陥の大きさあるいはそれ以下まで小さくするため、撮
影の拡大倍率を上げて前記程度の微小欠陥の検出を可能
とするマイクロフォーカスX線発生装置を用いることが
考えられる。
しかしながら、マイクロフォーカスX線発生装置では、
ターゲットに当てる電子ビームを極めて細く集束させる
ために、それ自身の焦点寸法(数〜数十μm)に対し
て、同等もしくはそれ以上に焦点の大きさと位置が時間
的に変動してしまう。そのため、焦点の大きさ及び位置
を必要以上に調整しなければならず、多大な時間と手間
を要するという課題を生じる。
ターゲットに当てる電子ビームを極めて細く集束させる
ために、それ自身の焦点寸法(数〜数十μm)に対し
て、同等もしくはそれ以上に焦点の大きさと位置が時間
的に変動してしまう。そのため、焦点の大きさ及び位置
を必要以上に調整しなければならず、多大な時間と手間
を要するという課題を生じる。
(発明が解決しようとする課題) 即ち、マイクロフォーカスX線発生装置をX線断層像撮
影装置に使用する場合、単にマイクロフォーカスX線発
生装置を従来の一般的なX線発生装置と同じように用い
たのでは、その焦点の大きさや位置を確認したり、調整
したりすることは極めて困難である。一方、焦点の大き
さや位置が不確定のままでは、X線断層像撮影装置とし
て実用的に使用することはできない。
影装置に使用する場合、単にマイクロフォーカスX線発
生装置を従来の一般的なX線発生装置と同じように用い
たのでは、その焦点の大きさや位置を確認したり、調整
したりすることは極めて困難である。一方、焦点の大き
さや位置が不確定のままでは、X線断層像撮影装置とし
て実用的に使用することはできない。
その理由は、次の通りである。
(1)一般にX線断層像撮影装置のX線検出器は、一次
元的に配列された多チャンネル検出器であるから、チャ
ンネル方向の焦点の大きさと位置が測定できる可能性は
あってもX線のスライス方向の焦点の大きさと位置を測
定することはできない。
元的に配列された多チャンネル検出器であるから、チャ
ンネル方向の焦点の大きさと位置が測定できる可能性は
あってもX線のスライス方向の焦点の大きさと位置を測
定することはできない。
(2)一般にX線断層像撮影装置は、1スキャン(1回
の断層撮影)分のデータ収集を行った後に、断層線また
はデータ収集の結果を出力できるので、焦点の大きさ及
び位置を測定しようとすると1回当り数秒〜数100秒も
要し、焦点の大きさ及び位置を最適化するのに仮に10回
の測定でとりあえず、チャンネル方向のみ完了したとし
ても数分〜数十分もかかってしまい、実用的でない。
の断層撮影)分のデータ収集を行った後に、断層線また
はデータ収集の結果を出力できるので、焦点の大きさ及
び位置を測定しようとすると1回当り数秒〜数100秒も
要し、焦点の大きさ及び位置を最適化するのに仮に10回
の測定でとりあえず、チャンネル方向のみ完了したとし
ても数分〜数十分もかかってしまい、実用的でない。
(3)しかも、上記(2)における焦点の大きさと位置
の確認または調整は、少なくともマイクロフォーカスX
線発生装置の電源投入時には毎回必要である。
の確認または調整は、少なくともマイクロフォーカスX
線発生装置の電源投入時には毎回必要である。
(4)マイクロフォーカスX線発生装置の焦点の大きさ
および位置をX線断層像撮影装置に必要な1μm程度の
再現性および長時間安定度で維持することは、その技術
的難易度から見て当面不可能であると考えられる。
および位置をX線断層像撮影装置に必要な1μm程度の
再現性および長時間安定度で維持することは、その技術
的難易度から見て当面不可能であると考えられる。
本発明はこのような事情に基づきなされたもので、マイ
クロフォーカスX線発生装置から放射されるX線の焦点
の大きさ及び位置の確認または調整を容易に行うことが
できるX線断層像撮影装置を提供することを目的とす
る。
クロフォーカスX線発生装置から放射されるX線の焦点
の大きさ及び位置の確認または調整を容易に行うことが
できるX線断層像撮影装置を提供することを目的とす
る。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) 本発明のX線断層像撮影装置は、X線を発生するマイク
ロフォーカスX線発生装置と、前記X線により内部状態
の検査なされる被検査物が設置される試料台と、前記マ
イクロフォーカスX線発生装置と前記試料台との間に配
置され、前記マイクロフォーカスX線発生装置から放射
されるX線を平行束とし、前記試料台に設置された被検
査物に照射するコリメータと、前記被検査物を透過した
X線の量を検出する第1のX線検出器と、前記マイクロ
フォーカスX線発生装置から放射されるX線の焦点の大
きさ及び位置を確認するための第2のX線検出器と、前
記マイクロフォーカスX線発生装置から放射されるX線
を前記第1のX線検出器側または前記第2のX線検出器
側のいずれか一方に照射させるため、前記マイクロフォ
ーカスX線発生装置と前記第1のX線検出器及び前記第
2のX線検出器とを相対的に移動させる移動機構とを具
備するものである。
ロフォーカスX線発生装置と、前記X線により内部状態
の検査なされる被検査物が設置される試料台と、前記マ
イクロフォーカスX線発生装置と前記試料台との間に配
置され、前記マイクロフォーカスX線発生装置から放射
されるX線を平行束とし、前記試料台に設置された被検
査物に照射するコリメータと、前記被検査物を透過した
X線の量を検出する第1のX線検出器と、前記マイクロ
フォーカスX線発生装置から放射されるX線の焦点の大
きさ及び位置を確認するための第2のX線検出器と、前
記マイクロフォーカスX線発生装置から放射されるX線
を前記第1のX線検出器側または前記第2のX線検出器
側のいずれか一方に照射させるため、前記マイクロフォ
ーカスX線発生装置と前記第1のX線検出器及び前記第
2のX線検出器とを相対的に移動させる移動機構とを具
備するものである。
(作用) 本発明では、マイクロフォーカスX線発生装置から放射
されるX線の焦点の大きさ及び位置を確認するための手
段として、独立した第2のX線検出器が備えられている
ので、マイクロフォーカスX線発生装置から放射される
X線の焦点の大きさ及び位置の確認または調整を容易に
行うことができる。
されるX線の焦点の大きさ及び位置を確認するための手
段として、独立した第2のX線検出器が備えられている
ので、マイクロフォーカスX線発生装置から放射される
X線の焦点の大きさ及び位置の確認または調整を容易に
行うことができる。
(実施例) 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第1図は本発明の一実施例に係るX線断層像撮影装置の
構成を示す図である。
構成を示す図である。
同図において、1はX線を発生するマイクロフォーカス
X線発生装置、2はこのX線により内部状態の検査なさ
れる例えばセラミックス等の被検査物3が設置される試
料台、4はマイクロフォーカスX線発生装置1から放射
されるX線を平行束とし被検査物3に照射するコリメー
タ、5は被検査物を透過しコリメータ6を通過したX線
の量を検出する多チャンネルX線検出器である。
X線発生装置、2はこのX線により内部状態の検査なさ
れる例えばセラミックス等の被検査物3が設置される試
料台、4はマイクロフォーカスX線発生装置1から放射
されるX線を平行束とし被検査物3に照射するコリメー
タ、5は被検査物を透過しコリメータ6を通過したX線
の量を検出する多チャンネルX線検出器である。
また、7はマイクロフォーカスX線発生装置1から放射
されるX線の焦点の大きさ及び位置を確認するための、
X線I,I(イメージインテンシファイア)、X線ビジコ
ン等のリアルタイムにX線を撮影できるX線撮像部、8
はマイクロフォーカスX線発生装置1を多チャンネルX
線検出器5側(以下、断層像撮影位置と呼ぶ。)または
X線撮像部7側(以下、焦点モニタ位置と呼ぶ。)にそ
れぞれ正確に移動させるX線発生装置移動架台である。
されるX線の焦点の大きさ及び位置を確認するための、
X線I,I(イメージインテンシファイア)、X線ビジコ
ン等のリアルタイムにX線を撮影できるX線撮像部、8
はマイクロフォーカスX線発生装置1を多チャンネルX
線検出器5側(以下、断層像撮影位置と呼ぶ。)または
X線撮像部7側(以下、焦点モニタ位置と呼ぶ。)にそ
れぞれ正確に移動させるX線発生装置移動架台である。
マイクロフォーカスX線発生装置1には、高電圧を発生
する高電圧発生装置9が接続されている。マイクロフォ
ーカスX線発生装置1及び高電圧発生装置9には、これ
らを制御するX線制御装置10が接続されている。
する高電圧発生装置9が接続されている。マイクロフォ
ーカスX線発生装置1及び高電圧発生装置9には、これ
らを制御するX線制御装置10が接続されている。
多チャンネルX線検出器5により得られたX線の量に関
するデータは、データ収集装置11により収集され、計算
機12に送られる。計算機12では、予め定められた所定の
演算が行われ、その演算結果はCRT13に表示される。
するデータは、データ収集装置11により収集され、計算
機12に送られる。計算機12では、予め定められた所定の
演算が行われ、その演算結果はCRT13に表示される。
試料台2は、被検査物3に照射されるX線の角度や位置
を変えるための可動機構を具備しており、この可動機構
は機構制御装置14により制御される。
を変えるための可動機構を具備しており、この可動機構
は機構制御装置14により制御される。
計算機12及び機構制御装置14は、システム全体のタイミ
ングを制御するシステム制御装置15に接続されている。
ングを制御するシステム制御装置15に接続されている。
X線発生装置移動架台8は、マイクロフォーカスX線発
生装置1を、断層像撮影位置及び焦点モニタ位置で正確
に例えば焦点寸法の1/10程度の誤差で停止・固定できる
構成にされている。また、X線発生装置移動架台8の焦
点モニタ位置における開口部は、薄くX線に対する吸収
係数の大きなAu等の材質に、例えば第2図に示すよう
に、正確に細いスリットをX線のスライス面に平行およ
び垂直な方向にきざんだ焦点確認用治具16により塞がれ
ている。
生装置1を、断層像撮影位置及び焦点モニタ位置で正確
に例えば焦点寸法の1/10程度の誤差で停止・固定できる
構成にされている。また、X線発生装置移動架台8の焦
点モニタ位置における開口部は、薄くX線に対する吸収
係数の大きなAu等の材質に、例えば第2図に示すよう
に、正確に細いスリットをX線のスライス面に平行およ
び垂直な方向にきざんだ焦点確認用治具16により塞がれ
ている。
X線撮像部7には、このX線撮像部7からの信号を画像
として表示する例えばCRT等の表示装置17が接続されて
いる。
として表示する例えばCRT等の表示装置17が接続されて
いる。
尚、第1図において、18は断層像を撮影する場合のマイ
クロフォーカスX線発生装置1の焦点、19は焦点位置を
確認及び調整するためにマイクロフォーカスX線発生装
置1を焦点モニタ位置に移動した場合のマイクロフォー
カスX線発生装置1の焦点である。
クロフォーカスX線発生装置1の焦点、19は焦点位置を
確認及び調整するためにマイクロフォーカスX線発生装
置1を焦点モニタ位置に移動した場合のマイクロフォー
カスX線発生装置1の焦点である。
次に、このように構成されたX線断層像撮影装置の動作
を説明する。
を説明する。
始めに、マイクロフォーカスX線発生装置1をその焦点
が19の位置(焦点モニタ位置)になるように移動させ
る。
が19の位置(焦点モニタ位置)になるように移動させ
る。
焦点確認用治具16の像は、拡大されてX線撮影部7に映
り、表示装置17にリアルタイムで表示される。そして、
X線制御装置10の焦点調整機能により、焦点調整用治具
16の像が表示装置17上の決められた位置に決められたボ
ケかたで映るように調整する。
り、表示装置17にリアルタイムで表示される。そして、
X線制御装置10の焦点調整機能により、焦点調整用治具
16の像が表示装置17上の決められた位置に決められたボ
ケかたで映るように調整する。
ここで、マイクロフォーカスX線発生装置1の焦点の大
きさ及び位置は決められた最適値に調整されている。
きさ及び位置は決められた最適値に調整されている。
次に、マイクロフォーカスX線発生装置1をその焦点が
18の位置(断層像撮影位置)になるように移動させ、X
線を発生させる。このX線は、コリメータ4及びコリメ
ータ6により所望の透過経路のみのX線がX線検出器5
に入射するようにコリメートされる。
18の位置(断層像撮影位置)になるように移動させ、X
線を発生させる。このX線は、コリメータ4及びコリメ
ータ6により所望の透過経路のみのX線がX線検出器5
に入射するようにコリメートされる。
試料台2に設置された被検査物3はX線透過経路上に置
かれるとともに、試料台2の可動によりX線が被検査物
3の所望の角度及び位置から照射されるよう被検査物3
の位置決めがなされる。
かれるとともに、試料台2の可動によりX線が被検査物
3の所望の角度及び位置から照射されるよう被検査物3
の位置決めがなされる。
ここで、第2世代のX線断層像撮影装置の場合には、試
料台2をトラバース及びローテーションという走査を行
い、1つの断層像の撮影に必要な分だけデータを収集す
る。
料台2をトラバース及びローテーションという走査を行
い、1つの断層像の撮影に必要な分だけデータを収集す
る。
そして、X線検出器5から得られる電気信号は、データ
収集装置11により積分、A/D変換等の処理がなされた
後、計算機12に送られる。計算機12では、断層像を再構
成するための演算が施され、その結果がCRT13に表示さ
れる。
収集装置11により積分、A/D変換等の処理がなされた
後、計算機12に送られる。計算機12では、断層像を再構
成するための演算が施され、その結果がCRT13に表示さ
れる。
このように、本実施例では、焦点モニタ位置において予
めマイクロフォーカスX線発生装置1の焦点の大きさ及
び位置を所望の最適値となるように合わせておけばよい
ので、マイクロフォーカスX線発生装置1の焦点の大き
さ及び位置の確認または調整を容易に行うことができ
る。
めマイクロフォーカスX線発生装置1の焦点の大きさ及
び位置を所望の最適値となるように合わせておけばよい
ので、マイクロフォーカスX線発生装置1の焦点の大き
さ及び位置の確認または調整を容易に行うことができ
る。
尚、このようなマイクロフォーカスX線発生装置1の焦
点の大きさ及び位置の確認または調整は、初期時ばかり
でなく、マイクロフォーカスX線発生装置1の性能に合
わせて使用中の適度な時期に実施するようにしてもよ
い。
点の大きさ及び位置の確認または調整は、初期時ばかり
でなく、マイクロフォーカスX線発生装置1の性能に合
わせて使用中の適度な時期に実施するようにしてもよ
い。
次に、本発明の他の実施例を説明する。
第3図は本発明の他の実施例に係るX線断層像撮影装置
の構成を示す図である。
の構成を示す図である。
同図に示すこの装置は、X線撮影部としてX線I,I20、T
Vカメラ21及びカメラコントローラ22を用い、表示装置1
6としてCRT23を用いたものである。
Vカメラ21及びカメラコントローラ22を用い、表示装置1
6としてCRT23を用いたものである。
そして、焦点モニタ位置に置かれたマイクロフォーカス
X線発生装置1から照射されたX線による焦点確認用治
具16の像は、X線I,I20に入射し、可視光の像となりTV
カメラ21により撮像され、CRT23に表示される。カメラ
コントローラ22はTVカメラ21のラスタスキャンを制御す
る。
X線発生装置1から照射されたX線による焦点確認用治
具16の像は、X線I,I20に入射し、可視光の像となりTV
カメラ21により撮像され、CRT23に表示される。カメラ
コントローラ22はTVカメラ21のラスタスキャンを制御す
る。
ここで、X線I,I20は、入射面の口径が小型の6インチ
のものであってもφ150mm程度と大きいので、X線の焦
点が多少大きくずれていても焦点調整用治具16の像を見
失うことがなく実用的である。
のものであってもφ150mm程度と大きいので、X線の焦
点が多少大きくずれていても焦点調整用治具16の像を見
失うことがなく実用的である。
また、焦点調整用治具16には、第2図に示したように、
X線のスライス面に平行及び垂直な方向に各数本ずつの
所定のピッチの細いスリットが設けられているので、CR
T23上では、スライス面に平行及び垂直な2方向に対し
焦点の大きさ及び位置が同時にリアルタイムで調整可能
である。
X線のスライス面に平行及び垂直な方向に各数本ずつの
所定のピッチの細いスリットが設けられているので、CR
T23上では、スライス面に平行及び垂直な2方向に対し
焦点の大きさ及び位置が同時にリアルタイムで調整可能
である。
尚、以上の実施例では、マイクロフォーカスX線発生装
置1を移動させたが、マイクロフォーカスX線発生装置
1の位置は常に固定し、X線検出器5とX線I,I20及びT
Vカメラ21とが移動しても良い。この場合には、焦点確
認用治具16に相当するものを試料台3の中心部に固定す
る。そして、この場合には、焦点確認用治具16の像が拡
大された位置で調整可能となるので、焦点調整の精度を
上げやすいと共に、マイクロフォーカスX線発生装置1
を移動しないため、本装置に振動が加わらないという効
果もある。
置1を移動させたが、マイクロフォーカスX線発生装置
1の位置は常に固定し、X線検出器5とX線I,I20及びT
Vカメラ21とが移動しても良い。この場合には、焦点確
認用治具16に相当するものを試料台3の中心部に固定す
る。そして、この場合には、焦点確認用治具16の像が拡
大された位置で調整可能となるので、焦点調整の精度を
上げやすいと共に、マイクロフォーカスX線発生装置1
を移動しないため、本装置に振動が加わらないという効
果もある。
[発明の効果] 以上説明したように本発明によれば、マイクロフォーカ
スX線発生装置から放射されるX線の焦点の大きさ及び
位置を確認するための手段として、独立した第2のX線
検出器が備えられているので、マイクロフォーカスX線
発生装置から放射されるX線の焦点の大きさ及び位置の
確認または調整を容易に行うことができる。
スX線発生装置から放射されるX線の焦点の大きさ及び
位置を確認するための手段として、独立した第2のX線
検出器が備えられているので、マイクロフォーカスX線
発生装置から放射されるX線の焦点の大きさ及び位置の
確認または調整を容易に行うことができる。
即ち、第2のX線検出器により、具体的に焦点の大きさ
及び位置を確認または調整することを必要とするマイク
ロフォーカスX線発生装置の焦点調整がスライス面に平
行及び垂直な方向とも同時にリアルタイムで行える。し
たがって、この調整に要する時間は、数十秒程度で済む
ため、本発明を実施しない場合に比較し、所要時間は1/
100くらいに節約できる。
及び位置を確認または調整することを必要とするマイク
ロフォーカスX線発生装置の焦点調整がスライス面に平
行及び垂直な方向とも同時にリアルタイムで行える。し
たがって、この調整に要する時間は、数十秒程度で済む
ため、本発明を実施しない場合に比較し、所要時間は1/
100くらいに節約できる。
第1図は本発明の一実施例に係るX線断層像撮影装置の
構成を示す図、第2図は焦点確認用治具を示す図、第3
図は本発明の他の実施例に係るX線断層像撮影装置の構
成を示す図である。 1……マイクロフォーカスX線発生装置、2……試料
台、3……被検査物、4、6……コリメータ、5……多
チャンネルX線検出器、7……X線撮像部、8……X線
発生装置移動架台、9……高電圧発生装置、10……X線
制御装置、11……データ収集装置、12……計算機、13…
…CRT、14……機構制御装置、15……システム制御装
置、16……焦点確認用治具、17……表示装置。
構成を示す図、第2図は焦点確認用治具を示す図、第3
図は本発明の他の実施例に係るX線断層像撮影装置の構
成を示す図である。 1……マイクロフォーカスX線発生装置、2……試料
台、3……被検査物、4、6……コリメータ、5……多
チャンネルX線検出器、7……X線撮像部、8……X線
発生装置移動架台、9……高電圧発生装置、10……X線
制御装置、11……データ収集装置、12……計算機、13…
…CRT、14……機構制御装置、15……システム制御装
置、16……焦点確認用治具、17……表示装置。
Claims (1)
- 【請求項1】X線を発生するマイクロフォーカスX線発
生装置と、前記X線により内部状態の検査なされる被検
査物が設置される試料台と、前記マイクロフォーカスX
線発生装置と前記試料台との間に配置され、前記マイク
ロフォーカスX線発生装置から放射されるX線を平行束
とし、前記試料台に設置された被検査物に照射するコリ
メータと、前記被検査物を透過したX線の量を検出する
第1のX線検出器と、前記マイクロフォーカスX線発生
装置から放射されるX線の焦点の大きさ及び位置を確認
するための第2のX線検出器と、前記マイクロフォーカ
スX線発生装置から放射されるX線を前記第1のX線検
出器側または前記第2のX線検出器側のいずれか一方に
照射させるため、前記マイクロフォーカスX線発生装置
と前記第1のX線検出器及び前記第2のX線検出器とを
相対的に移動させる移動機構とを具備することを特徴と
するX線断層像撮影装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63291102A JPH0675042B2 (ja) | 1988-11-19 | 1988-11-19 | X線断層像撮影装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63291102A JPH0675042B2 (ja) | 1988-11-19 | 1988-11-19 | X線断層像撮影装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH02138854A JPH02138854A (ja) | 1990-05-28 |
JPH0675042B2 true JPH0675042B2 (ja) | 1994-09-21 |
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ID=17764476
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP63291102A Expired - Lifetime JPH0675042B2 (ja) | 1988-11-19 | 1988-11-19 | X線断層像撮影装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JPH0675042B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (4)
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DE102007043820B4 (de) * | 2007-09-13 | 2020-06-04 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Bestimmung eines Korrekturwerts einer Bremsfleckposition einer Röntgenquelle einer Messanordnung sowie eine Messanordnung zum Erzeugen von Durchstrahlungsbildern |
JP2015161507A (ja) * | 2014-02-26 | 2015-09-07 | 日本装置開発株式会社 | X線検査装置およびx線検査装置の制御方法 |
-
1988
- 1988-11-19 JP JP63291102A patent/JPH0675042B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005345184A (ja) * | 2004-06-01 | 2005-12-15 | Shimadzu Corp | X線撮影装置 |
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Publication number | Publication date |
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