JPH0672508A - ウエハ入替え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】ウエハの入れ替えを簡単な構成の装置により実
現し、その際の操作環境の汚染を防止する。 【構成】ウエハＷのあるバスケット９と空のバスケット
１０とを対向させて載置する載置台１１と、スクリュウ
ナット１８とねじ棒１９の回転により移動される水平ブ
ロック８とそれに対し複数枚のウエハ受け板２４が突設
された上下作動板２２と、往路用のカム溝１４か復路用
のカム溝１５の一方に合されるカム軸２６と、溝終端位
置でカム軸２６を復路用カム溝１５側に移動させるカム
溝１４と、ブロック８を後退させる際に、バスケット１
０内のウエハに接触しない上下位置に受け板２４を保持
すると共に、往路用のカム溝１４の溝高さと同一地点で
カム軸２６を往カム溝１４に移動させる復路用のカム溝
１５とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ウエハバスケット内に
収容された複数枚の半導体ウエハなどを別のウエハバス
ケットに一括して移し替える際に使用するウエハ入替え
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一つの処理工程で処理がなされた半導体
ウエハを別の処理工程に移して処理を行なおうとする場
合、複数枚のウエハをウエハバスケットに収納して搬送
する。その際に複数枚の処理済みの半導体ウエハを搬送
用のバスケットに移し替えたり、別の処理工程で他のバ
スケットにウエハを一括して移し替える場合に、ウエハ
入替え装置が用いられる。このようなウエハ入替え装置
としては、たとえば実開平２−４１４３６号の公報に記
載されるものが従来から知られている。このウエハ入替
え装置では、複数枚のウエハ受け板を水平方向に突設し
た移動ブロックが低速モータによって前後方向に移動で
きるようになっており、ウエハバスケットが載せれる載
置台が別の低速モータを使って上下方向に移動できるよ
うになっている。この移動ブロックの水平運動とバスケ
ット載置台の昇降動作を組み合わせることにより、一方
のバスケット内に収納された複数枚の半導体ウエハを別
のバスケットに一括して移し替えることができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このように従来のウエ
ハ入替え装置では、水平移動ブロックとバスケット載置
台の駆動に低速モータを用いており、各低速モータの出
力をベルトやねじ棒を介して伝達している。また、各低
速モータのタイミング制御に駆動制御回路を用いてい
る。このため装置全体の構成が複雑であり、故障の発生
を招きやすいと共に、低速モータなどを含めた駆動機構
に使われる潤滑油が操作環境を汚染して、半導体ウエハ
に不純物を付着させる要因ともなっていた。また、駆動
機構から発する振動によってウエハ入替え時にウエハに
ダメージを与えるという問題点もあった。また、装置が
大掛かりなため、広い設置スペースが必要であり、省ス
ペース化を図る上で問題があった。

【０００４】本発明は、このような従来の技術が有する
課題を解決するために提案されたものであり、装置の構
成が簡単であり、オイルレスであることから操作環境を
汚染しないウエハ入替え装置を提供することを目的とす
る。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明によるウエハ入替え装置は、装置本体に対して
水平を保って駆動機構により前後方向に移動される水平
移動ブロックと、この水平移動ブロックに対して上下可
動に取り付けられ、前面部に複数枚のウエハ受け板を上
下方向等間隔に水平に突設した上下作動板と、装置本体
の前部に設けられ、空の移替え先ウエハバスケットと底
部開口の移替え元ウエハバスケットとを移替え元ウエハ
バスケットが手前側に位置するように向かい合わせて前
後方向水平に載置する載置台と、装置本体の左右両側に
設けられた往路用のカム溝または復路用のカム溝の一方
に嵌合され、上記上下作動板に左右方向移動可能に組み
込まれたカム軸と、水平移動ブロックが前進してウエハ
受け板が底部開口から移替え元ウエハバスケット内に完
全に入り込んだ際に、ウエハ受け板を上昇させてこのバ
スケット内のウエハを受け止めると共に、水平移動ブロ
ックが移替え元ウエハバスケット内を前進してウエハ受
け板が空の移替え先ウエハバスケット内に完全に入り込
んだ際に、ウエハ受け板を下降させてこのバスケット内
の仕切り板上にウエハを載置するように、カム軸との連
動によって上下作動板を上下動させて溝終端位置でカム
軸を復路用のカム溝側に移動させる往路用のカム溝と、
ウエハの移し替えを終えた水平移動ブロックの後退を案
内すると共に、後退途中でカム軸を往路用のカム溝側に
移動させる復路用のカム溝とを有している。

【０００６】また、本発明によるウエハ入替え装置は、
装置本体に対して水平を保って駆動機構により前後方向
に移動される水平移動ブロックと、この水平移動ブロッ
クに対して上下可動に取り付けられ、前面部に複数枚の
ウエハ受け板を上下方向等間隔に水平に突設した上下作
動板と、移動機構によって左右方向移動可能に装置本体
の前部に設けられ、移替え元ウエハバスケットが載置さ
れる第１の載置台と、この第１の載置台に近接して装置
本体の最前部に設けられ、移替え先ウエハバスケットが
載置される第２の載置台と、装置本体左右の一側または
他側に設けられた第１乃至第４のカム溝の一つに嵌合さ
れ、上記上下作動板に左右方向移動可能に組み込まれた
カム軸と、装置本体一側の前後方向に設けられ、水平移
動ブロックが前進してウエハ受け板が移替え元ウエハバ
スケット内に完全に入り込んだ際に、ウエハ受け板を上
昇させてこのバスケット内のウエハを受け止められるよ
うに、カム軸との連動によって上下作動板を上昇させ、
この上昇時にカム軸を装置本体他側の第２のカム溝側に
移動させる第１のカム溝と、装置本体他側の前後方向に
設けられ、水平移動ブロックを後退させてウエハ受け板
上のウエハを移替え元ウエハバスケットから取り出した
後に、カム軸を装置本体一側の第１のカム溝側に移動さ
せる第２のカム溝と、この第２のカム溝に連続して装置
本体他側の前部に設けられ、水平移動ブロックが第１の
カム溝を前進した後にカム軸が嵌合して水平移動ブロッ
クが前進し、ウエハ受け板上のウエハが移替え先ウエハ
バスケット内に完全に入り込んだ際に、ウエハ受け板を
下降させてウエハをこのバスケット内の仕切り板上に載
置できるように、カム軸との連動によって上下作動板を
下降させると共に、この下降時にカム軸を装置本体一側
の第４のカム溝側に移動させる第３のカム溝と、装置本
体一側の前部に設けられ、水平移動ブロックを後退させ
てウエハ受け板を移替え先ウエハバスケットから脱出さ
せた後に、カム軸を第３のカム溝側に移動させる第４の
カム溝とを有している。

【０００７】また、本発明によるウエハ入替え装置は、
装置本体に対して水平を保って駆動機構により前後方向
に移動される水平移動ブロックと、この水平移動ブロッ
クの前面部に上下方向等間隔に水平に突設された複数枚
のウエハ受け板と、移動機構によって左右方向移動可能
に装置本体の前部に設けられ、移替え元ウエハバスケッ
トが載置される第１の載置台と移替え先ウエハバスケッ
トが載置される第２の載置台とが左右に並設された載置
台本体と、水平移動ブロックが前進してウエハ受け板が
移替え元ウエハバスケット内に完全に入り込んだ際に、
水平移動ブロックの一部によって押圧された第１の載置
台を下降させて、ウエハ受け板にこのバスケット内のウ
エハを載せる第１の載置台用下降機構と、水平移動ブロ
ックが前進してウエハ受け板上のウエハが移替え先ウエ
ハバスケット内に完全に入り込んだ際に、水平移動ブロ
ックの一部によって押圧された第２の載置台を上昇させ
て、ウエハをこのバスケット内の仕切り板上に載置する
第２の載置台用上昇機構と、下降した第１の載置台およ
び上昇した第２の載置台を、上記移動機構によって載置
台本体を左右方向に移動させた際に待機位置に復元させ
る載置台復元機構とを有している。

【０００８】また、本発明によるウエハ入替え装置は、
移替え元ウエハバスケット内の複数枚のウエハ間に挿入
され、これらウエハを載せてこのウエハバスケットから
取り出すと共に、取り出したウエハを移替え先ウエハバ
スケット内に搬送して、このバスケット内の仕切り板上
にウエハを載置するためのウエハ受け板をウエハ入替え
装置の搬送手段に取り付けるにあたって、受け板固定用
の水平挿入溝を受け板取付けブロックの上下方向に等間
隔に形成し、これら水平挿入溝にウエハ受け板を挿入し
て位置決め手段によって位置決めすることで、水平位置
を保ち複数枚のウエハ受け板を上下方向等間隔に着脱可
能に取り付けられるようにしてある。

【０００９】

【実施例】以下、本発明によるウエハ入替え装置の具体
的な実施例を図面に基づき詳細に説明する。図１の外観
斜視図にこのウエハ入替え装置の一実施例を示し、図２
にＡ−Ａ線断面図を示す。これらの図で、装置本体１は
前後の立板２，３の両側に側板４，５が取り付けられ、
これら側板４，５の内側に段を下げてベース板６，７が
それぞれ長手方向に水平を保持した状態で取り付けられ
ている。これらベース板６，７は、水平移動ブロック８
を懸架すると共に、ウエハバスケット９，１０の載置台
１１を兼ねている。内側を向くベース板６，７の先端縁
の下面部には、ベース板６，７から突出するようにカム
レール１２，１３が長手方向にそれぞれ取り付けられて
いる。これらカムレール１２，１３の内側面には後述す
るカム溝１４，１５が刻設されている。また、移動ブロ
ック本体８Ａの両側部にはガイドレール１６，１７がそ
れぞれ固定されており、これらガイドレール１６，１７
のレール溝１６ａ，１７ａに、ベース板６，７から突き
出たカムレール１２，１３が嵌め込まれている。これに
より水平移動ブロック８は、カムレール１２，１３に沿
って前後方向（ウエハ入替え方向）に摺動自在となって
いる。

【００１０】移動ブロック本体８Ａの下端部には、図３
に示すようにスクリュナット１８が取り付けられてお
り、このスクリュナット１８に螺合するねじ棒１９が前
後の立板２，３に回転自在に軸支されている。立板２か
ら突出するねじ棒１９の先端部には、回転ハンドル２０
が取り付けられており、この回転ハンドル２０を回すこ
とにより、ねじ棒１９が回転し、このねじ棒１９の回転
方向に応じて移動ブロック８全体がカムレール１２，１
３に沿って前後方向に水平運動される。

【００１１】移動ブロック本体８Ａの前面部には、図４
に示すようにアリ溝状のガイド溝２１が上下方向に凹設
されており、このガイド溝２１に上下作動板２２の嵌合
突起２２ａが嵌め込まれており、上下作動板２２はこの
ガイド溝２１に沿って上下動できるようになっている。
上下作動板２２の前面部には、受け板取付けブロック２
３が取り付けられており、このブロック２３の前面部に
は水平方向に突出する複数枚のウエハ受け板２４が上下
方向に等間隔に取り付けられている。

【００１２】上下作動板２２の下側部には、両側のカム
レール１２，１３と対峙する位置に軸孔２５が貫通して
形成されており、この軸孔２５にカム軸２６が左右方向
移動自在に嵌め込まれている。このカム軸２６の長さは
作動板２２の幅とカム溝１つ分を合わせた長さに設定さ
れており、軸孔２５に挿通されたカム軸２６は一方側の
カム溝１４または１５に嵌まり込める長さだけ、作動板
２２の側面から突出している。

【００１３】往路用に使用するカムレール１２の内側面
には、図５（ａ），（ｂ）および図６（ａ）に示すよう
にレール長手方向にカム溝１４が形成されている。この
カム溝１４は水平移動ブロック８が駆動されて前方に移
動され、ウエハ受け板２４がエウハＷ間の位置を維持し
て移替え元のバスケット９内に底部開口から完全に入り
込むまでの区間が、高さｈ１の位置に形成され、その後
切替え位置２７でたとえば２ｍｍ程度立ち上がり、受け
板２４がエウハＷを持ち上げて移替え先の空のバスケッ
ト１０内に搬送するまでの区間が高さｈ２の位置に形成
されている。この高さｈ２の区間の先端側のカム溝終端
部には、カム溝１４側に嵌まり込んでいたカム軸２６を
矢印Ｐ１に示すようにカムレール１３側のカム溝１５に
移す替えるための傾斜溝２８が形成されている。

【００１４】復路用に使用するカムレール１３の先端部
には、図５（ｃ），（ｄ）および図６（ｂ）に示すよう
にカムレール１３側に移されたカム軸２６が嵌まり込ん
だあと、受け板２４上のエウハＷを移替え先のバスケッ
ト１０の仕切り板１０ａ上に降下させるための下降溝２
９が形成されており、この下降溝２９に連続して形成さ
れているカム溝１５は、カムレール１２側の手前側のカ
ム溝１４と同じ高さｈ１に形成されている。このカム溝
１５の終端位置には、カム軸２６を矢印Ｐ２に示すよう
にカムレール１２側のカム溝１４に移すための傾斜溝３
０が形成されている。

【００１５】つぎに、このように構成されるウエハ入替
え装置の動作を説明する。まず、複数枚の半導体エウハ
Ｗが収納されたバスケット９を載置台１１となる前方の
ベース板６，７上にセットすると共に、エウハＷを移し
替えたい空のバスケット１０を互いに開口部（ウエハ出
入れ口）を向かい合わせてバスケット９の前方に設置す
る。続いて、摘み２０ａを握ってハンドル２０を右回り
に回転させて、水平移動ブロック８を前進させる。その
際にカム軸２６はカムレール１２側のカム溝１４に嵌合
しており、このカム溝１４の切替え位置２７まで移動ブ
ロック８が前進する間に、ウエハ受け板２４は後部開口
３１からバスケット９内に入り込み、仕切り板９ａ上の
各エウハＷ間の隙間に接触しない状態で完全に挿入され
る。さらに、水平移動ブロック８が前進すると、カム軸
２６がカム溝１４の切替え位置２７を通過するため、カ
ム軸２６に上方向の力が加わり、上下作動板２２が上昇
する。これにより、ウエハ受け板２４が一体に上昇し
て、バスケット９内の仕切り板９ａ上の各エウハＷを受
け止めて持ち上げる。この状態で水平移動ブロック８が
前進すると、複数枚のエウハＷは受け板２４に載置され
た状態で前方のバスケット１０側に搬送される。水平移
動ブロック８がさらに前進を続けると、受け板取付けブ
ロック２３が手前側のバスケット９の後部開口３１から
内部に入り込み、受け板２４上のエウハＷが開口部から
バスケット１０内に入り込んで、仕切り板１０ａ上方位
置まで運ばれる。

【００１６】カム軸２６がカム溝１４の終端部に到達す
ると、この終端部に形成された傾斜溝２８によってカム
軸２６がカムレール１３側に押し出され、このカムレー
ル１３のカム溝始端位置に形成されている下降溝２９に
嵌まり込む。その後、ハンドル２０を左回りに逆転する
と、カム軸２６が下降溝２９に沿って下がるため、上下
作動板２２が降下し、受け板２４も一体に降下する。こ
の動作で、各エウハＷはバスケット１０内の仕切り板１
０ａ上に載置され、バスケット１０側に移し替えられ
る。継続してハンドル２０を左回りに回転し続けると、
水平移動ブロック８が後退し、ウエハ受け板２４はバス
ケット１０内の仕切り板１０ａの隙間を通って、バスケ
ット１０を抜けで、さらにバスケット９を抜けでる。そ
の後、カム軸２６がカム溝１４の終端位置に形成された
傾斜溝３０に到達すると、カム軸２６はこの傾斜溝３０
によってカムレール１２側のカム溝１４側に押し戻され
て、カム溝１４に嵌まり込む。この状態で、水平移動ブ
ロック８がさらに後退し、待機位置に復帰する。

【００１７】なお、上述した実施例では、水平移動ブロ
ック８をねじ棒１９とスクリュナット１８の組み合わせ
で移動させているが、水平移動ブロック８を流体圧シリ
ンダによって移動させる構成としてもよい。

【００１８】つぎに、他の実施例のウエハ入替え装置を
説明する。図７はこの装置の斜視図であり、図８は載置
台部分の斜視図である。このウエハ入替え装置は、底部
が閉塞された搬送用のウエハバスケットに入れられたウ
エハを他のプロセス用または搬送用のウエハバスケット
に移し替える際に使用される。装置本体３５の前部に
は、ウエハの移替え元となるウエハバスケット３８を載
置する第１の載置台３９が設けられており、最前部には
ウエハの移替え先となる空のウエハバスケット３６を載
置する第２の載置台３７が設けられている。載置台３９
は、左右方向に移動可能に構成されている。装置本体３
５の前後の立板４０，４１の両側には、左右の側板４
２，４３が取り付けられており、両側板４２，４３の内
側の上縁部には、図９に示すようにウエハ受け板２４を
設けた水平移動ブロック４４を懸架し、この移動ブロッ
ク４４の前後方向の移動を案内するためのカムレール４
５，４６が水平に取り付けられている。両カムレール４
５，４６の対向面には、後述するカム溝４７，４８およ
び４９が形成されている。水平移動ブロック４４のブロ
ック本体４４Ａの両下側部には、カムレール４５，４６
をくわえ込むレール溝５０，５１が形成されており、ブ
ロック本体４４Ａをカムレール４５，４６に沿って摺動
できるようにしている。前後の立板４０，４１には、図
１０に示すようにねじ棒５２が回転自在に軸支されてお
り、このねじ棒５２がブロック本体４４Ａの下端部に固
定されたスクリュナット５３に螺合している。これによ
り、回転ハンドル５４を回してねじ棒５２を回転させる
ことにより、水平移動ブロック４４を前後方向に水平移
動させることができる。

【００１９】また、ブロック本体４４Ａの前面部には、
図１の実施例のものと同様、図１１に示すように上下作
動板２２がアリ溝状のガイド溝２１に沿って上下動でき
るように組み付けられている。この上下作動板２２の前
面部には、複数枚のウエハ受け板２４を等間隔に取り付
けた受け板取付けブロック２３が上下位置を調整可能に
取り付けられている。上下作動板２２の下側部には、カ
ムレール４５，４６の対向面と対峙する位置に軸孔５６
が貫通形成されており、この軸孔５６には左右一方のカ
ム溝４７，４８または４９に嵌まり込むカム軸５７が左
右方向移動可能に嵌め込まれている。

【００２０】左側のカムレール５０には、図１２
（ａ），（ｂ）に示すようにスタート位置からウエハ受
け板２４が移替え元のウエハバスケット３８内に完全に
入り込むまでの区間に第１のカム溝４７が高さｈ３の位
置に形成されている。このカム溝４７の終端位置には、
ウエハ受け板２４を上昇させるための上昇溝５８が形成
されていると共に、カム軸５７をカムレール４６側のカ
ム溝４９に押し出すための傾斜溝５９がこの溝５８内に
形成されている。また、カムレール４５の前部側には、
第２のカム溝４７と不連続な第４のカム溝４８が形成さ
れている。このカム溝４８は、移替え先のウエハバスケ
ット３６にウエハを移し替えた後に水平移動ブロック４
４を後退させる際に使用され、上昇溝５８に隣り合う溝
終端位置に上昇溝６０とカム軸５７をカム溝４９側に押
し出すための傾斜溝６１とが形成されている。

【００２１】一方、右側のカムレール４６には、図１２
（ｃ），（ｄ）に示すようにカムレール４５側のカム溝
４７の中途位置から最前部位置まで（ウエハ受け板２４
が移替え先のバスケット３６内に完全に入り込む位置ま
で）の区間に、第２および第３のカム溝４９ａ，４９ｂ
を構成する連続したカム溝４９が形成されている。この
カム溝４９は、ウエハ受け板２４が移替え元のバスケッ
ト３８内のウエハを持ち上げた後に、同じ高さを保って
後退させるときと、ウエハ受け板２４がウエハを載せた
状態で、移替え先のウエハバスケット３６内まで搬送す
る際に使用される。このカム溝４９は、カム溝４７，４
８側の上昇溝５８，６０の上端高さと同じ高さｈ４の位
置に形成され、前後の溝終端位置に下降溝６２，６４と
カム軸５７をカム溝４７，４８側に押し出すための傾斜
溝６３，６５がそれぞれ形成されている。

【００２２】移替え元のウエハバスケット３８を載置す
る第１の載置台３９は、両側板６６，６７に水平板６８
を取り付けてあり、水平板６８上の左右両側にバスケッ
トの載置スペース３９Ａ，３９Ｂをそれぞれ設けた構成
となっている。各載置スペース３９Ａ，３９Ｂの中央部
には、水平移動ブロック４４が入り込める切欠き６９が
形成されている。この載置台３９の両側板６６，６７
は、装置本体３５側の側板４２，４３にスライド自在に
架け渡された前後２本のガイドロッド７０，７１の両端
に固着されており、これらガイドロッド７０，７１に案
内されて載置台３９が装置本体３５に対して１載置スペ
ース分だけ左右方向に移動できるようになっている。ま
た、載置台３９の両側板６６，６７間にはラックギア７
２が取り付けられており、装置本体３５の前後方向に回
転自在に軸支されたギア軸７３に固定されたピニオンギ
ア７４がこのラックギア７２に噛み合っている。立て板
４１から突出するギア軸７３には、回転つまみ７５が取
り付けられており、この回転つまみ７５を回すことによ
り載置台３９を左右方向に移動できるようになってい
る。

【００２３】また、移替え先のウエハバスケット３６を
載置する第２の載置台３７は、装置本体３５の両側板４
２，４３の上縁部に水平板７６を取り付けた構成となっ
ており、水平板７６の高さ位置は調整つまみ７７によっ
て調整できるようになっている。なお、この上下調整機
構については、図１５を参照されたい。

【００２４】これら載置台３７，３９の各載置スペース
には、バスケット３６，３８の背面部が当接する左右両
側のストッパ７８，７９の前面部にそれぞれ板バネ８
０，８１が取り付けられており、水平移動ブロック４４
のブロック本体４４Ａには、ウエハ受け板２４がバスケ
ット３６，３８内に入り込んだ際に、バスケット３６，
３８に当接してバスケット３６，３８を前方に押し出す
ための押圧板８２が左右両側に取り付けられている。こ
れにより、水平移動ブロック４４の受け板２４がバスケ
ット３８内に入り込んでウエハを持ち上げる際に、押圧
板８２によってバスケット３８を板バネ８１に抗して前
進させることができ、受け板２４はウエハに対して前後
方向に相対的に移動することなくウエハを受け止られる
ので、受け板２４とウエハとが擦り合うことによって生
じる損傷を防止できる。同様に受け板２４上のウエハを
空のウエハバスケット３６内に移し替える際も、押圧板
８２によってバスケット３６を板バネ８０に抗して前進
させられ、受け板２４とウエハが前後方向に相対的に移
動することなく、ウエハの移し替えを行なえるので、ウ
エハに対して損傷を与えない。

【００２５】つぎに、このように構成されるウエハ入替
え装置の動作を説明する。まず、一方の載置スペース
（たとえば３９Ａ側）を装置本体３５の中央部に位置さ
せた状態で、この載置スペース３９Ａ上にウエハが収容
された移替え元のバスケット３８を載置し、前方の載置
台３７に移替え先となる空のバスケット３６を載置す
る。その後、回転ハンドル５４を回して水平移動ブロッ
ク４４を前進させると、カムレール４５側の第１のカム
溝４７に嵌合しながら移動するカム軸５７が上昇溝５８
の手前に到達した際に、ウエハ受け板２４がバスケット
３８内のウエハ間の隙間に完全に入り込む。その際に、
押圧板８２の先端がバスケット３８に当接する（図１３
中、経路Ｋ１〜Ｋ２）。さらに、回転ハンドル５４を回
して水平移動ブロック４４を前進させると、カム軸５７
が上昇溝５８を昇る際に、上下差動板２２が押し上げら
れ、受け板２４が上昇してバスケット３８内のウエハを
受け止める。その際に、押圧板８２がバスケット３８を
板ばね８１に抗して前方に押し出すので、ウエハ受け板
２４とウエハとの相対的な前後方向の移動がない状態で
受け板２４上にウエハを載せることができ、受け板２４
がウエハに擦り合わうことによる損傷を防げる。また、
その際にカム軸５７は上昇溝５８を昇りながら傾斜溝５
９によってカムレール４６側に押し出され、第２のカム
溝４９ａと嵌合する（経路Ｋ２〜Ｋ３）。

【００２６】バスケット３８がストッパ７９に当接して
停止したあとは、回転ハンドル５４を逆転して水平移動
ブロック４４を後退させ、バスケット３８内のウエハを
外部に取り出す。さらに、移動ブロック４４を後退させ
ると、カム軸５７が第２のカム溝４９ａの終端に設けら
れた下降溝６４を通過する際に、上下作動板２２が下が
りウエハを載せた受け板２４が降下する。また、カム軸
５７は傾斜溝６５によってカムレール４５側に押し戻さ
れ、第１のカム溝４７と嵌合する（経路Ｋ３〜Ｋ５）。
その後、回転つまみ７５を操作して載置台３９を左側に
移動し、バスケットを載置していない載置スペース３９
Ｂ側を装置本体の中央部に位置させる。その際に水平板
６８の右側の切欠き６９が水平移動ブロック４４の通路
となる。

【００２７】続いて、回転ハンドル５４を正転して水平
移動ブロック４４を前進させると、第１のカム溝４７に
沿って移動するカム軸５７が上昇溝５８を通過する際に
上下作動板２２が上り、ウエハを載せた受け板２４が上
昇すると共に、カム軸５７が傾斜溝５９によってカムレ
ール４６側に押し出されて第３のカム溝４９ｂに嵌合す
る（経路Ｋ５〜Ｋ７）。さらに、回転ハンドル５４を回
し続けると、水平移動ブロック４４は水平板６８の切欠
き６９の中に入り込んで前進し、カム軸５７がカム溝４
９ｂ終端の下降溝６２の手前に到達した際に、ウエハを
載せた受け板２４が移替え先のバスケット３６内に完全
に入り込み、押圧板８２の先端がバスケット３６に当接
する（経路Ｋ７〜Ｋ８）。回転ハンドル５４を回してさ
らに水平移動ブロック４４を前進させると、カム軸５７
が下降溝６２を降りる際に上下作動板２２が下がって受
け板２４が降下し、受け板２４上のウエハがバスケット
３６内の各仕切り板３６ａ上に載置されてウエハの移し
替えが行なわれる。その際に、押圧板８２がバスケット
３６を板ばね８０に抗して前方に押し出すので、ウエハ
受け板２４はウエハに対して相対的に前後方向に移動す
ることなく、仕切り板３６ａ上にウエハを載せることが
でき、受け板２４がウエハに擦り合わうことによる損傷
を防げる。また、その際にカム軸５７は傾斜溝６３によ
ってカムレール４５側に押し戻され、第４のカム溝４８
と嵌合する（経路Ｋ８〜Ｋ９）。

【００２８】その後、回転ハンドル５４を逆転して水平
移動ブロック４４を後退させると、受け板２４がバスケ
ット３６の外側に脱出する。さらに後退を続けると、カ
ム軸５７がカム溝終端の上昇溝６１を通過する際に、こ
の溝６１内の傾斜溝６０によってカム軸５７がカムレー
ル４６側に押し出されて第３のカム溝４９ｂに嵌合する
（経路Ｋ９〜Ｋ１１）。さらに水平移動ブロック４４が
後退すると、カム軸５７がカム溝４９ａ終端の下降溝６
４を通過する際に、傾斜溝６５によってカム軸５７がカ
ムレール４５側に押し戻され、第１のカム溝４７と嵌合
する（経路Ｋ１１〜Ｋ１３）。この状態で、さらに回転
ハンドル５４を回し続けると、水平移動ブロック４４が
定位置まで後退して待機状態となる（経路Ｋ１３〜Ｋ１
４）。

【００２９】つぎに、他の実施例のウエハ入替え装置を
説明する。図１４はこの装置の斜視図であり、図１５は
載置台部分の分解斜視図である。この実施例のウエハ入
替え装置では、ウエハ受け板２４を突設した受け板取付
けブロック２３が水平移動ブロック８５のブロック本体
に上下位置調整可能に固着されており、回転ハンドル８
６を回した際にねじ棒８７とスクリュナット８８の螺合
によって水平移動ブロック８５を装置本体８４の前後方
向に移動できる構成となっている（図１６および図１７
参照）。バスケットに対する相対的なウエハ受け板２４
の昇降は、水平移動ブロック８５の前進に連動して第１
および第２の載置台８９，９０を昇降することで行なっ
ている。

【００３０】装置本体８４の前部には、図１８に示すよ
うに移替え元のウエハバスケット９１を載置する第１の
載置台８９が左側に設けられ、移替え先のウエハバスケ
ット９２を載置する第２の載置台９０が右側に設けられ
ている。第１の載置台８９は、下降機構を構成する傾斜
下降側板９３の上部に水平板９４が取り付けられ、支持
板となる外側の側板９６に組み付けられた上下調整板９
５にこの下降側板９３が嵌合した構成となっている。第
２の載置台９０は、上昇機構を構成する傾斜上昇側板９
７の上部に水平板９８が取り付けられ、この上昇側板９
７が、側板１００に組み付けられた上下調整板９９に嵌
合した構成となっている。載置台８９，９０の両側板９
６，１００は、装置本体８４側の側板１０１，１０２に
スライド自在に架け渡された前後のガイドロッド１０
３，１０４の両端に固定されており、載置台全体が装置
本体８４に対して１載置台スペース分だけ左右方向に移
動できるようになっている。また、装置本体８４の前後
方向には、載置台移動用のねじ棒１０５が回転自在に軸
支されており、このねじ棒１０５の端部に取り付けられ
た傘歯車１０６に、回転ハンドル１０７に連結された傘
歯車１０８が噛み合っている。また、載置台側の両側板
９６，１００間には、左右送り用のねじ棒１０９が固定
されており、このねじ棒１０９に螺合された傘歯車１１
０がねじ棒１０５の前端部に取り付けられた傘歯車１１
１に噛み合っている。これにより、回転ハンドル１０７
を回すことにより、載置台８９，９０の全体を左右方向
に移動できる。

【００３１】載置台８９側の傾斜下降板９３の外面と上
下調整板９５の内面には、両者を摺動自在に組み付ける
アリ溝状の下降溝９３ａ，９５ａがたとえば２０度の下
降傾斜角でそれぞれ形成されており、水平板９４を前方
に押圧した際に、これら下降溝９３ａ，９５ａに案内さ
れて水平板９４（載置台８９）が降下されるようになっ
ている。また、載置台９０側の傾斜上昇板９７と上下調
整板９９の対向面には、傾斜角が２０度の上昇溝９７
ａ，９９ａがそれぞれ形成されており、水平板９８を前
方に押圧した際に、これら上昇溝９７ａ，９９ａに案内
されて水平板９８（載置台９０）が上昇されるようにな
っている。なお、傾斜下降板９３および傾斜上昇板９７
には、位置ずれ防止用のノッチピン１１２がばね１１３
を介して取り付けられており、このノッチピン１１２が
上下調整板９５，９９側のノッチ孔１１４に嵌まり込む
ことで、傾斜下降板９３および傾斜上昇板９７が不必要
に降下するのを防止できるようになっている。また、上
下調整板９５，９９は側板９６，１００のアリ溝１１５
を上下動できるようになっており、上下調整板９５，９
９にねじ１１６により固定された角ナット１１７が側板
９６，１００側の上下のガイド孔１１８に嵌め込まれて
いる。この角ナット１１７には、側板９６，１００側の
調整ねじ１１９が座１２０を介して螺合しており、調整
つまみ１２１を回すことにより水平板９４，９８の上下
位置をそれぞれ調整できるようになっている。

【００３２】また、各水平板９４，９８の前縁部には、
カム溝１２２，１２４を形成した載置台位置復元カム１
２３，１２５がそれぞれ取り付けられており、装置本体
８４の前端部に取り付けられたカム板１２６のカム１２
７，１２８とこれら復元カム１２３，１２５が係脱する
ことで、載置台８９，９０をそれぞれ待機位置に復元で
きるようになっている。復元カム１２３，１２５とカム
板１２６は、載置台復元機構を構成する。

【００３３】つぎに、このように構成されるウエハ入替
え装置の動作を説明する。まず、左側の載置台８９上
に、ウエハを収容した移替え元のバスケット９１を載置
し、右側の載置台９０上に移替え先の空のバスケット９
２を載置する。その後、左右送り用の回転ハンドル１０
７を操作して載置台８９を装置本体８４の中央部に位置
させる。続いて、前後送り用の回転ハンドル８６を回し
て水平移動ブロック８５を前進させると、ウエハ受け板
２４がバスケット９１内のウエハ間の隙間に完全に入り
込んだ際に、押圧片１２９が水平板９８に当接してこの
水平板９４を前方に押し出すので、載置台８９が降下し
てバスケット９１内の各ウエハが受け板２４上に受け止
められる。載置台８９が完全に降下すると、復元カム１
２３のカム溝１２２にカム板１２６のカム１２７が入り
込む。その際に水平移動ブロック８５の前進に合わせ
て、バスケット９１が前進しながら降下するため、ウエ
ハ受け板２４とウエハとの相対的な前後方向の移動がな
い状態でウエハを受け板２４に載置でき、受け板２４が
ウエハに擦り合うことによる損傷を防止できる。この状
態で、回転ハンドル８６を逆転して水平移動ブロック８
５を後退させると、バスケット９１内の複数枚のウエハ
を受け板２４に載せた状態で外部に取り出すことができ
る。

【００３４】続いて、左右送り用の回転ハンドル１０７
を操作して載置台全体を左側に移動し、移替え先の空の
バスケット９２を載せた載置台９０を装置本体８４の中
央部に位置させる。その際に、カム板１２６のカム１２
７がカム溝１２２から脱出して復元カム１２３を押圧す
るので、水平板９４が押し戻され、載置台８９が定位置
まで上昇して待機状態となる。続いて、回転ハンドル８
６を回して水平移動ブロック８５を前進させると、ウエ
ハ受け板２４上に載ったウエハが空のバスケット９２内
に完全に入り込んだ際に、押圧片１２９が水平板９８に
当接してこの水平板９８を前方に押し出し、載置台９０
が上昇して受け板２４上のウエハがバスケット９２内の
各仕切り板９２ａ上に載置される。載置台９０が完全に
上昇すると、復元カム１２５のカム溝１２４にカム板１
２６のカム１２８が入り込む。その際に水平移動ブロッ
ク８５の前進に合わせて、バスケット９２が前進しなが
ら上昇するので、受け板２４とウエハとの相対的な前後
方向の移動がないままウエハの移し替えを行なえ、受け
板２４がウエハに損傷を与えることがない。

【００３５】その後、回転ハンドル８６を逆転して水平
移動ブロック８５を後退させ定位置に復帰させる。ま
た、左右送り用の回転ハンドル１０７を操作して載置台
全体を図１４に示す定位置に復帰させる。その際に、カ
ム板１２６のカム１２８がカム溝１２４から脱出して復
元カム１２５を押圧するため、水平板９８が押し戻され
て載置台９０が定位置まで降下して待機状態となる。以
上の一連の操作により、バスケット９１内のウエハをバ
スケット９２に移し替えることができる。

【００３６】つぎに、図１９に基づいてウエハ受け板２
４の受け板取付けブロック２３への組付け構造について
説明する。受け板取付けブロック２３の両側面部および
円弧状の前面部には、複数の受け板挿入溝１３０が水平
位置を保って上下方向に等間隔に刻設されている。挿入
溝１３０の間隔は、バスケット内のウエハの間隔に等し
く設定されている。挿入溝１３０の後端部には、止めピ
ン挿入用の溝１３１が上下方向に形成されている。ま
た、ウエハ受け板２４の基部側中央部は嵌合用の切欠き
１３２が形成されており、後部両側にはピン孔１３３が
穿設されている。各ウエハ受け板２４は、切欠き１３２
の左右側縁部および前縁部が受け板取付けブロック２３
の挿入溝１３０に嵌め込まれることでブロック２３に取
り付けられる。なお、ウエハ受け板２４の上面には、載
置されるウエハを点接触で受けるための複数のぼっち２
４ａが突設されている。受け板取付けブロック２３にウ
エハ受け板２４を嵌め込んだ状態で、位置決め手段をな
す止めピン１３４を溝１３１に沿ってピン孔１３３に差
し込むことで、複数枚のウエハ受け板２４が取付けブロ
ック２３の所定位置に位置決めされて固定される。この
ように取付けブロック２３に挿入溝１３０を形成してウ
エハ受け板２４を嵌め込む構成としたことで、複数のウ
エハ受け板２４を水平位置を保った状態で等間隔に取付
けブロック２３に精度よく取り付けることができると共
に、取り付けられたウエハ受け板２４の剛性を高くでき
る。また、止めピン１３４を抜くことでウエハ受け板２
４を取付けブロック２３から容易に取り外すことがで
き、受け板２４の交換を簡単に行なえる。

【００３７】なお、取付けブロック２３の背面部に形成
された嵌合部１３５は、上下作動板２２の前面部に形成
されたアリ溝１３６に上下方向移動可能に嵌合され、調
整ねじ１３７によりウエハ受け板２４の上下位置を調節
できるようになっている。

【００３８】上述した実施例では、ウエハの搬送手段で
ある水平移動ブロック４４，８５の駆動機構をねじ棒と
スクリュナットの組み合わせで構成し、バスケットを載
置する載置台３９および８９，９０の移動機構を、ラッ
クギアとピニオンギアの組み合わせやギア軸と傘歯車の
組み合わせで構成しているが、これらの駆動機構や移動
機構をエア圧シリンダを用いて構成してもよい。

【００３９】なお、上述した各実施例のウエハ入替え装
置は、ＰＥＥＫ材や他のフッ素樹脂などからなる素材を
用いて構成されており、耐薬品性に優れていると共に、
微粒子の飛散がなく、ウエハへの汚染の危惧がない。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、バ
スケット内のウエハの入れ替えを行なうにあたって、駆
動モータやこのモータに組み合わされる駆動機構を用い
ずに、カム溝とカム軸の連動などによって行なっている
ので、特別な制御回路が不要であり、装置の構成も大幅
に簡単化される。これにより装置が小形化され、装置を
設置する上での省スペース化が図れる。また、装置の構
成が簡単なことは故障の発生をなくし、保守管理を容易
にするという利点がある。また、モータなどの駆動機構
を用いないので、機械的な振動の発生がなく、ウエハへ
ダメージを与えることがない。また、駆動モータやこの
モータに連結される駆動機構を用いていないことは、潤
滑油が不要（オイルレス）となり、従来のように潤滑油
によって作業環境が汚染され、ウエハに不純物が付着す
るような危惧はまったくない。このように本発明では、
ウエハに損傷や不純物を付着させることがないので、特
に衝撃に弱い化合物半導体ウエハなどの移し替えに最適
な装置を提供できる。特に請求項１に対応した発明で
は、底部が開口したプロセス用のバスケットから他のバ
スケットにウエハを安全に移し替えるのに適している。
また、請求項２に対応した発明では、底部が閉塞した搬
送用のバスケットから他のバスケットへのウエハの移し
替えをカム溝とカム軸の連動と載置台の左右方向への移
動だけで行なえるようにしており、ウエハへまったくダ
メージを与えることのない安全な移し替えが可能であ
る。また、請求項３に対応した発明では、カム溝を用い
ない代わりに、水平移動ブロックが押し当たった際に載
置台が昇降することでウエハの移し替えを行なえるよう
にしており、装置の構成が簡単であるにもかかわらず、
確実で安全なウエハの移し替えが可能である。また、請
求項４に対応した発明では、水平挿入溝を用いてウエハ
受け板の取り付けを行なっていることで、取付けブロッ
クに装着されたウエハ受け板の剛性を高くできると共
に、高い精度を保ってウエハ受け板の取り付けを行なえ
るという利点を有している。また、着脱可能であるか
ら、損傷したウエハ受け板の交換が容易であるという利
点がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるウエハ入替え装置の一実施例を示
す外観斜視図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【図３】図２のＢ−Ｂ線断面図である。

【図４】上記ウエハ入替え装置の平面図である。

【図５】上記ウエハ入替え装置のカムレールに形成され
たカム溝を示し、（ａ）は往路用のカム溝の平面図、
（ｂ）は往路用のカム溝の側面図、（ｃ）は復路用のカ
ム溝の平面図、（ｄ）は復路用のカム溝の側面図であ
る。

【図６】カムレールの断面図を示し、（ａ）は図５
（ａ）のＣ−Ｃ断面図、（ｂ）は図５（ｄ）のＤ−Ｄ断
面図を示す。

【図７】他の実施例のウエハ入替え装置を示す外観斜視
図である。

【図８】図７のウエハ入替え装置の載置台部分を示す斜
視図である。

【図９】図７のＥ−Ｅ線断面図である。

【図１０】図９のＦ−Ｆ線断面図である。

【図１１】上記ウエハ入替え装置の平面図である。

【図１２】上記ウエハ入替え装置のカムレールに形成さ
れたカム溝を示し、（ａ）は左側のカム溝の側面図、
（ｂ）は左側のカム溝の平面図、（ｃ）は右側のカム溝
の平面図、（ｄ）は右側のカム溝の側面図である。

【図１３】図７のウエハ入替え装置で水平移動ブロック
のカム軸の移動経路を示す説明図である。

【図１４】他の実施例のウエハ入替え装置を示す外観斜
視図である。

【図１５】図１４のウエハ入替え装置の載置台部分を示
す分解斜視図である。

【図１６】図１４のＧ−Ｇ線断面図である。

【図１７】図１４のウエハ入替え装置の側面図である。

【図１８】図１４のウエハ入替え装置の平面図である。

【図１９】ウエハ受け板の取付け構造を説明するための
分解斜視図である。

【符号の説明】

１，３５，８４ 装置本体 ２，３，４０，４１ 立板 ４，５，４２，４３，１０１，１０２ 側板 ６，７ ベース板 ８，４４，８５ 水平移動ブロック ８Ａ，４４Ａ，８５Ａ 移動ブロック本体 ９，１０，３６，３８，９１，９２ バスケット ９ａ，１０ａ，３６ａ，９２ａ 仕切り板 １１，３７，３９，８９，９０ 載置台 １２，１３，４５，４６ カムレール １４，１５，４７，４８，４９ カム溝 １６，１７ ガイドレール １８，５３，８８ スクリュナット １９，５２，８７，１０５，１０９ ねじ棒 ２０，５４，８６，１０７ 回転ハンドル ２１ ガイド溝 ２２ 上下作動板 ２２ａ 嵌合突起 ２３ 受け板取付けブロック ２４ ウエハ受け板 ２５，５６ 軸孔 ２６，５７ カム軸 ２７ 切替え位置 ２８，３０，５９，６１，６３，６５ 傾斜溝 ２９，６２，６４ 下降溝 ３１ 後部開口 ５０，５１ レール溝 ５８，６０ 上昇溝 ６６，６７，９６，１００ 側板 ６８，７６，９４，９８ 水平板 ７０，７１，１０３，１０４ ガイドロッド ７２ ラックギア ７３ ギア軸 ７４ 調整つまみ ７５ 回転つまみ ７７，１２１ 調整つまみ ７８，７９ ストッパ ８０，８１ 板バネ ８２ 押圧板 ９３ 傾斜下降側板 ９３ａ，９５ａ 下降溝 ９５，９９ 上下調整側板 ９７ 傾斜上昇溝 ９７ａ 上昇溝 １０６，１０８，１１０，１１１ 傘歯車 １２３，１２５ 載置台復元カム １２６ カム板 １２９ 押圧片 １３０ 受け板挿入溝 １３１ 止めピン挿入用の溝 １３２ 切欠き １３３ ピン孔 １３４ 止めピン １３５ 嵌合部 １３６ アリ溝 １３７ 調整ねじ Ｗ ウエハ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 装置本体に対して水平を保って駆動機構
   により前後方向に移動される水平移動ブロックと、 この水平移動ブロックに対して上下可動に取り付けら
   れ、前面部に複数枚のウエハ受け板を上下方向等間隔に
   水平に突設した上下作動板と、 装置本体の前部に設けられ、空の移替え先ウエハバスケ
   ットと底部開口の移替え元ウエハバスケットとを移替え
   元ウエハバスケットが手前側に位置するように向かい合
   わせて前後方向水平に載置する載置台と、 装置本体の左右両側に設けられた往路用のカム溝または
   復路用のカム溝の一方に嵌合され、上記上下作動板に左
   右方向移動可能に組み込まれたカム軸と、 水平移動ブロックが前進してウエハ受け板が底部開口か
   ら移替え元ウエハバスケット内に完全に入り込んだ際
   に、ウエハ受け板を上昇させてこのバスケット内のウエ
   ハを受け止めると共に、水平移動ブロックが移替え元ウ
   エハバスケット内を前進してウエハ受け板が空の移替え
   先ウエハバスケット内に完全に入り込んだ際に、ウエハ
   受け板を下降させてこのバスケット内の仕切り板上にウ
   エハを載置するように、カム軸との連動によって上下作
   動板を上下動させて溝終端位置でカム軸を復路用のカム
   溝側に移動させる往路用のカム溝と、 ウエハの移し替えを終えた水平移動ブロックの後退を案
   内すると共に、後退途中でカム軸を往路用のカム溝側に
   移動させる復路用のカム溝とを有することを特徴とする
   ウエハ入替え装置。
2. 【請求項２】 装置本体に対して水平を保って駆動機構
   により前後方向に移動される水平移動ブロックと、 この水平移動ブロックに対して上下可動に取り付けら
   れ、前面部に複数枚のウエハ受け板を上下方向等間隔に
   水平に突設した上下作動板と、 移動機構によって左右方向移動可能に装置本体の前部に
   設けられ、移替え元ウエハバスケットが載置される第１
   の載置台と、 この第１の載置台に近接して装置本体の最前部に設けら
   れ、移替え先ウエハバスケットが載置される第２の載置
   台と、 装置本体左右の一側または他側に設けられた第１乃至第
   ４のカム溝の一つに嵌合され、上記上下作動板に左右方
   向移動可能に組み込まれたカム軸と、 装置本体一側の前後方向に設けられ、水平移動ブロック
   が前進してウエハ受け板が移替え元ウエハバスケット内
   に完全に入り込んだ際に、ウエハ受け板を上昇させてこ
   のバスケット内のウエハを受け止められるように、カム
   軸との連動によって上下作動板を上昇させ、この上昇時
   にカム軸を装置本体他側の第２のカム溝側に移動させる
   第１のカム溝と、 装置本体他側の前後方向に設けられ、水平移動ブロック
   を後退させてウエハ受け板上のウエハを移替え元ウエハ
   バスケットから取り出した後に、カム軸を装置本体一側
   の第１のカム溝側に移動させる第２のカム溝と、 この第２のカム溝に連続して装置本体他側の前部に設け
   られ、水平移動ブロックが第１のカム溝を前進した後に
   カム軸が嵌合して水平移動ブロックが前進し、ウエハ受
   け板上のウエハが移替え先ウエハバスケット内に完全に
   入り込んだ際には、ウエハ受け板を下降させてウエハを
   このバスケット内の仕切り板上に載置できるように、カ
   ム軸との連動によって上下作動板を下降させると共に、
   この下降時にカム軸を装置本体一側の第４のカム溝側に
   移動させる第３のカム溝と、 装置本体一側の前部に設けられ、水平移動ブロックを後
   退させてウエハ受け板を移替え先ウエハバスケットから
   脱出させた後に、カム軸を第３のカム溝側に移動させる
   第４のカム溝とを有することを特徴とするウエハ入替え
   装置。
3. 【請求項３】 装置本体に対して水平を保って駆動機構
   により前後方向に移動される水平移動ブロックと、 この水平移動ブロックの前面部に上下方向等間隔に水平
   に突設された複数枚のウエハ受け板と、 移動機構によって左右方向移動可能に装置本体の前部に
   設けられ、移替え元ウエハバスケットが載置される第１
   の載置台と移替え先ウエハバスケットが載置される第２
   の載置台とが左右に並設された載置台本体と、 水平移動ブロックが前進してウエハ受け板が移替え元ウ
   エハバスケット内に完全に入り込んだ際に、水平移動ブ
   ロックの一部によって押圧された第１の載置台を下降さ
   せて、ウエハ受け板にこのバスケット内のウエハを載せ
   る第１の載置台用下降機構と、 水平移動ブロックが前進してウエハ受け板上のウエハが
   移替え先ウエハバスケット内に完全に入り込んだ際に、
   水平移動ブロックの一部によって押圧された第２の載置
   台を上昇させて、ウエハをこのバスケット内の仕切り板
   上に載置する第２の載置台用上昇機構と、 下降した第１の載置台および上昇した第２の載置台を、
   上記移動機構によって載置台本体を左右方向に移動させ
   た際に待機位置に復元させる載置台復元機構とを有する
   ことを特徴とするウエハ入替え装置。
4. 【請求項４】 移替え元ウエハバスケット内の複数枚の
   ウエハ間に挿入されて、これらウエハを載せてこのウエ
   ハバスケットから取り出すと共に、取り出したウエハを
   移替え先ウエハバスケット内に搬送して、このバスケッ
   ト内の仕切り板上にウエハを載置するためのウエハ受け
   板をウエハ入替え装置の搬送手段に取り付けるにあたっ
   て、 受け板固定用の水平挿入溝を受け板取付けブロックの上
   下方向に等間隔に形成し、これら水平挿入溝にウエハ受
   け板を挿入して位置決め手段によって位置決めすること
   で、水平位置を保ち複数枚のウエハ受け板を上下方向等
   間隔に着脱可能に取り付けられるようにしたことを特長
   とするウエハ入替え装置。