JPH0669549A - 熱電装置 - Google Patents

熱電装置

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JPH0669549A
JPH0669549A JP4216749A JP21674992A JPH0669549A JP H0669549 A JPH0669549 A JP H0669549A JP 4216749 A JP4216749 A JP 4216749A JP 21674992 A JP21674992 A JP 21674992A JP H0669549 A JPH0669549 A JP H0669549A
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JP
Japan
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semiconductor
film
thermoelectric device
electrode
voltage
Prior art date
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Pending
Application number
JP4216749A
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English (en)
Inventor
Hiroyoshi Tanaka
博由 田中
Fumitoshi Nishiwaki
文俊 西脇
Koichi Kodera
宏一 小寺
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 熱電装置の性能の改善を目的とする。 【構成】 ゼーベック効果(ペルチェ効果)を生ずる半
導体9の表面に電気絶縁体10を設け、絶縁体10を介
して半導体9に電圧を印加するという構成をもつ。 【効果】 外部電圧によってゼーベック係数(ペルチェ
係数)を本来の材料物性とは異なる値とすることができ
るので、最適化によって著しく高い熱電特性を実現でき
る。つまり本発明により著しく性能の高い熱電装置を実
現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はペルチェ効果により電気
的に冷却もしくは加熱を行い、あるいはゼーベック効果
により温度差を用いて発電を行う熱電装置の改良に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来、熱を電気に変換し、もしくは電気
を熱に変換する熱電装置は、図4の従来例に示す様に金
属板1、及び金属板2によってP型半導体4、もしくは
N型の半導体3を挟み込む構成を有し、両側の金属の温
度差により発電を行い、もしくは電圧を与え電流を通ず
ることにより冷却を行うものである。
【0003】図4の従来例はN型の半導体3とP型の半
導体4を交互に直列的に配列した熱電装置であり端子5
と端子6間に電位を与えると、金属板の一方が冷却さ
れ、他方が加熱される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、半導体材料の特性によってこのような熱
電装置の性能が決定され、飛躍的に特性の高い材料が見
いだせない限り、現在市販されているものを著しく凌駕
する性能を有する熱電装置は期待できない。
【0005】本発明は上記問題点に鑑み、現在熱電装置
に用いられている程度の特性を有する半導体材料であっ
ても、能動的な方法によってその特性の改善を行うこと
ができる手段を提供することを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに本発明の熱電装置は、熱電装置を構成する半導体に
絶縁層を介して電圧を印加するという方法、およびその
電圧を半導体内を流通する電流方向に変化させて印加す
るという構成を備えたものである。
【0007】
【作用】本発明は上記した構成によって、絶縁層を介し
半導体に加えられる外部の電圧によって一種のコンデン
サーが形成され、半導体の比較的表面近傍に電子もしく
は、正孔がトラップされる。そのため電流の方向と直角
方向の導電バンドの歪みを生じる。n型半導体では、ゼ
ーベック係数はフェルミ準位と導電準位のエネルギー差
により影響をうける。この差を外部電圧によって変化さ
せ、ゼーベック係数もしくはペルチェ係数を向上させよ
うとするものである。また外部電圧によって、見かけの
キャリアーを増加させることができるため、導電率が向
上しジュール発熱による損失が低下する。このようにし
て熱電装置の性能は飛躍的に向上する。つまり、本発明
によって本来の材料の熱電特性とは異なる著しく高い特
性の熱電装置を得ることができるのである。
【0008】
【実施例】以下本発明の第1の実施例の熱電装置につい
て、図面を参照しながら説明する。
【0009】図1は、本実施例熱電装置の構成を電気結
線と共に示した断面図である。図1において、8、8’
は電極、9はN型半導体、10は電気絶縁体、11は導
電体、12、13はバイアス電源である。
【0010】以下本実施例装置を冷却装置としてもちい
た場合の例について説明する。つまり、バイアス電源1
2によって駆動される電子流は、金属の電極8’からN
型半導体9に流れ込み、フェルミ準位よりも高いエネル
ギー準位にある半導体導電バンドに飛び移る際に、熱を
奪い電極8’近傍を冷却する。電子は半導体9の導電バ
ンド内を通過した後、金属の電極8のフェルミ準位に移
る。
【0011】その際、電子は、導電バンド内で有してい
たエネルギを熱として放出するため、電極8近傍は加熱
され昇温する。半導体9の表面には、電気絶縁体10を
介して、導電体11が接触しており、導電体11にはバ
イアス13が印加されている。バイアス13が印加され
ていない場合には、この熱電装置の冷却性能は、幾何学
的形状と用いている材料とによってきめられる。
【0012】一般にテルル、ビスマス系の材料を用いた
場合には、高温低温の温度差にもよるが、温度差が40
〜50度程度で冷却効率は30〜40%程度である。し
かしながら、本発明のごとく適当なバイアス13を導電
体11に印加すると、半導体9と導電体11がコンデン
サーを形成して、電子または正孔が電気絶縁層11近傍
の半導体9に蓄積される。
【0013】本実施例では、導電体11に印加される電
圧が、バイアス12の電圧より高くとっている。そのた
め半導体11の内部は蓄積状態となりキャリアが増加す
る。また逆に、バイアス13をバイアス12の電圧より
も低くとっても良い。
【0014】しかしながら、この場合バイアス13とバ
イアス12の差が小さいと、半導体内部に空乏層が形成
され、逆に抵抗が増加し効率が低下する。そのためこの
様な場合には、反転状態となるまで、バイアス13の電
圧を高める必要がある。
【0015】このようにバイアス13を適当に制御する
と、ゼーベック係数の増加と抵抗の減少が実現できるの
で、熱電性能を飛躍的に向上させることができる。
【0016】次に、本発明の第2の実施例について図面
を参照しながら説明する。図2は本発明の第2の実施例
の熱電装置の構成を、電気結線とともに示した断面図で
ある。
【0017】同図において、14、14’は電極膜、1
5はN型半導体膜、16は基板、17は電気絶縁体膜、
18は導電体膜、20、21はバイアスである。
【0018】本実施例においては、その作用において、
第1の実施例とほぼ同じである。つまり、電極膜14’
から入った電子は、半導体膜15に流入する際に外部か
ら熱を奪い、冷却効果を生じる。また半導体膜15から
電極膜14へ電子が流出する際には熱を放出し加熱効果
を生じる。
【0019】しかし、本実施例では次の2点で第一の実
施例と異なる。 (1)電極、半導体、絶縁体、導電体を蒸着もしくは溶
射により膜状に形成して熱電装置としている点。各部を
薄膜化することによって、従来のような、バルク材料か
ら微細な部材を切り出し、接合すると言う工程上の煩雑
さがなくなり、歩留の向上、スループットの向上による
コストダウンが図れる。つまり、本実施例のごとき構造
では、マスクパターンの上から成膜するだけで各部の形
成と接合がなされ熱電装置構成が容易に実現できるので
ある。
【0020】(2)導電膜18を高抵抗とし、バイアス
19によって導電膜18内に電流を導通させている点。
このように導電膜18内で電圧降下をもたせることで、
N型半導体15の内部に蓄積される電子の量に変化が生
じ、蓄積電子数に応じたゼーベック係数(ペルチェ係
数)の変化が生じる。そこで、高温側と低温側の温度変
化と放熱量に適したゼーベック係数の勾配を外部電圧に
よって制御することによって、著しく高い熱電性能を得
ることができる。
【0021】次に本発明による第3の実施例について説
明する。図3(a)は、本発明の第3の実施例の熱電装
置の構造を示す断面図であり、同図(b)はその正面図
である。基本的にその構成は第2の実施例と同じである
が、導電体膜18の抵抗値を増加させるために膜に切込
みをいれ蛇行状に電流通路を構成した点が異なる。低比
抵抗な導電体膜材料でも高抵抗値を実現できる利点があ
【0022】
【発明の効果】以上のように本発明はゼーベック効果
(ペルチェ効果)を生ずる半導体材料の表面に電気絶縁
体を設け、絶縁体を介して半導体に電圧を印加するとい
う特徴ををもつ。この電圧によってゼーベック係数(ペ
ルチェ係数)を本来の材料物性とは異なる値とすること
ができるという効果を生じる。そして印加する電圧の値
を最適化することで、著しく高い熱電特性を実現でき
る。つまり本発明を実施することで著しく性能の高い熱
電装置を実現できるという効果を奏するものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の熱電装置の第1の実施例装置の構成を
示す断面図
【図2】本発明の第2の実施例装置の構成を示す断面図
【図3】(a)は、本発明の第3の実施例装置の構成を
示す断面図 (b)は、同実施例装置の正面図
【図4】従来の熱電装置の概略図
【符号の説明】
9 半導体 10 電気絶縁体 11 導電体 12 バイアス電源

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半導体を用いたペルチェ効果もしくはゼー
    ベック効果を利用する素子において、前記半導体に絶縁
    層を介して電圧を印加することを特徴とする熱電装置。
  2. 【請求項2】半導体を用いたペルチェ効果もしくはゼー
    ベック効果を利用する素子において、前記半導体に絶縁
    層を介して電圧を印加し、かつ前記電圧が前記半導体内
    部を流通する電流方向に変化していることを特徴とする
    熱電装置。
  3. 【請求項3】半導体を用いたペルチェ効果もしくはゼー
    ベック効果を利用する素子において、前記半導体部を薄
    膜で形成し、前記薄膜半導体表面に薄膜の電気絶縁体膜
    を堆積し、かつ前記薄膜電気絶縁体膜の表面に電気導電
    体膜を前記半導体膜に接することなく構成をした熱電装
    置。
  4. 【請求項4】半導体を用いたペルチェ効果もしくはゼー
    ベック効果を利用する素子において、前記半導体部を薄
    膜で形成し、前記半導体膜表面に薄膜の電気絶縁体膜を
    堆積し、かつ前記薄膜電気絶縁体膜の表面に電気導電体
    膜を前記半導体膜に前記半導体膜に導通させるべく構成
    された電極間に半導体に接触することなく堆積させると
    共に、前記電気導電体膜を高抵抗の膜となし、前記電気
    導電体膜に電流を導通させることを特徴とする熱電装
    置。
  5. 【請求項5】高抵抗な電気導電体膜を蛇行状に絶縁体膜
    上に構成したことを特徴とする請求項4記載の熱電装
    置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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