JPH0669405U - Fluid pressure servo motor - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ピストン６０の周囲からの漏油がないように
して動作の応答性，制御性の変化，劣化を防止する。
【構成】 サーボ弁２０によって制御された油圧を受け
てシリンダ５１内でピストン６０及びピストンロッド６
５が移動する油圧サーボモータにおいて、シリンダ５１
に一端部を固着し他端部をピストン６０に固着してピス
トンロッド６５と同軸にベローズ８０を設けた。
(57) [Abstract] [Purpose] Preventing oil leakage from the surroundings of the piston 60 to prevent changes in operation response and controllability and deterioration. A piston 60 and a piston rod 6 are received in a cylinder 51 in response to a hydraulic pressure controlled by a servo valve 20.
In the hydraulic servomotor in which 5 moves, the cylinder 51
A bellows 80 is provided coaxially with the piston rod 65 by fixing one end to the piston 60 and the other end to the piston 60.
Description
【０００１】[0001]
この考案は、蒸気タービン，ガスタービン，水車，その他の動力装置類を制御 するために適用される流体（油）圧サーボモータに関するものである。 This invention relates to a fluid (hydraulic) pressure servomotor applied to control a steam turbine, a gas turbine, a water turbine, and other power devices.
【０００２】[0002]
図３は従来の油圧サーボモータを示す。図示しない油圧ポンプから高圧油路１ １を経て送られる高圧油はオリフィス１２を通り、制御油路１３，１５を経て油 入口２６からサーボ弁筐２１内に入り、ばね２５により押し下げられているカッ プ弁２３を押し上げ、カップ弁２３の下周辺にできる隙間を通って油出口２７か ら出てゆく。カップ弁２３に固着されている弁棒２２は図示しないガバナに連結 されている。また、オリフィス１２を通過した油は、制御油路１３，１６を経て 油入口５２からシリンダ５１のピストン上室５ａ内に入り、ばね７０で押し上げ られているピストン６０を油圧で押し下げる。ピストン６０に固着されているピ ストンロッド６５は図示しない蒸気加減弁等に連結されている。図示しないガバ ナにより弁棒２２を介してカップ弁２３が押し下げられると、カップ弁２３の下 周辺を油が抜け難くなるのでピストン上室５ａへの油圧が上がり、高くなった油 圧はピストン６０を押し下げ、ピストンロッド６５を介して図示しない蒸気加減 弁等を開け又は閉める方向に駆動する。以上と反対に、ガバナにより弁棒２２が 引き上げられると、カップ弁２３の下周辺の隙間が大きくなって油が通り易くな るので油圧が下がり、ピストン６０を押し下げる油圧力が小さくなり、ばね７０ によりピストンロッド６５は押し上げられ、ピストンロッド６５を介して図示し ない蒸気加減弁等を上記と反対方向に駆動する。 FIG. 3 shows a conventional hydraulic servomotor. High-pressure oil sent from a hydraulic pump (not shown) through the high-pressure oil passage 11 passes through the orifice 12, passes through the control oil passages 13 and 15, enters the servo valve casing 21 through the oil inlet 26, and is pushed down by the spring 25. Push the valve 23 up and out from the oil outlet 27 through the gap around the bottom of the cup valve 23. The valve rod 22 fixed to the cup valve 23 is connected to a governor (not shown). Further, the oil that has passed through the orifice 12 enters the piston upper chamber 5a of the cylinder 51 from the oil inlet 52 via the control oil passages 13 and 16, and hydraulically pushes down the piston 60 pushed up by the spring 70. The piston rod 65 fixed to the piston 60 is connected to a steam control valve or the like (not shown). When the cup valve 23 is pushed down via the valve rod 22 by a governor (not shown), it becomes difficult for the oil to drain around the lower periphery of the cup valve 23, so the hydraulic pressure to the piston upper chamber 5a rises, and the increased hydraulic pressure causes the piston 60 to rise. Is pushed down, and the steam control valve (not shown) or the like is driven through the piston rod 65 in the direction of opening or closing. Contrary to the above, when the governor pulls up the valve rod 22, the gap around the lower portion of the cup valve 23 becomes large and oil easily passes therethrough, so that the oil pressure decreases, and the oil pressure pushing down the piston 60 decreases, and the spring 70 As a result, the piston rod 65 is pushed up, and a steam control valve (not shown) or the like is driven in the opposite direction via the piston rod 65.
【０００３】[0003]
従来の油圧サーボモータは上記のようであり、オリフィス１２の径，ばね２５ の強さ等は、動作の応答性，制御性が最適になるように設定される。ところが、 ピストン６０の周面とシリンダ５１の内面との間の隙間から漏れる油の量によっ ても応答性等は影響を受けるので、最初に最適状態に設定しても、運転にともな う摩耗等によりピストン６０の周囲の隙間が大きくなり漏油量が多くなると、応 答性等が変化し劣化するというような課題があった。 The conventional hydraulic servomotor is as described above, and the diameter of the orifice 12 and the strength of the spring 25 are set so that the response and controllability of the operation are optimized. However, the responsiveness is affected by the amount of oil leaking from the gap between the peripheral surface of the piston 60 and the inner surface of the cylinder 51. If the clearance around the piston 60 becomes large due to wear or the like and the amount of oil leakage increases, there is a problem that the response or the like changes and deteriorates.
【０００４】 この考案は上記課題を解消するためになされたもので、ピストン６０の周囲か らの漏油がないようにして、長期間運転しても動作の応答性，制御性が変化した り劣化することがない流体圧サーボモータを得ることを目的とする。The present invention was made in order to solve the above-mentioned problems, and in order to prevent oil from leaking from the periphery of the piston 60, the responsiveness and controllability of the operation may change even if it is operated for a long time. An object is to obtain a fluid pressure servomotor that does not deteriorate.
【０００５】[0005]
この考案に係る流体圧サーボモータは、シリンダに一端部を固着し他端部をピ ストンに固着してピストンロッドと同軸にベローズを設けたものである。 In the fluid pressure servomotor according to the present invention, one end is fixed to the cylinder and the other end is fixed to the piston, and a bellows is provided coaxially with the piston rod.
【０００６】[0006]
この考案における流体圧サーボモータのベローズは、シリンダに一端部を固着 し他端部をピストンに固着してピストンロッドと同軸に設けられているので、ピ ストン及びピストンロッドが軸方向に移動することを許容するとともに、ピスト ンの一方側と他方側とを隔離し、ピストンの一方側から他方側へ油が漏れること を完全に阻止する。これにより、動作の応答性，制御性が油の漏れにより変化， 劣化することが完全に防止される。 Since the bellows of the fluid pressure servomotor according to the present invention is provided coaxially with the piston rod by fixing one end to the cylinder and the other end to the piston, the piston and the piston rod can move in the axial direction. It also separates the piston from one side and the other side to completely prevent oil from leaking from one side of the piston to the other side. This completely prevents the responsiveness and controllability of operation from changing and deteriorating due to oil leakage.
【０００７】[0007]
以下、この考案の一実施例を図について説明する。図１において、２０はこの 流体（油）圧サーボモータの入力部であるサーボ弁であり、サーボ弁２０の弁棒 ２２は図示しない制御対象動力装置のガバナに連結されている。５０は出力部で あるパイロットシリンダであり、パイロットシリンダ５０のピストンロッド６５ は図示しない制御対象動力装置の蒸気加減弁等に連結されている。１１は図示し ない油圧ポンプの吐出部に連結された高圧油路であり、高圧油路１１には流路を 絞って流量を制限するオリフィス１２が連結され、オリフィス１２には制御油路 １３及び分岐油路１４が連結され、分岐油路１４から分岐して、制御油路１５を 経て油入口２６からサーボ弁２０のサーボ弁筐２１内に入る油路と、制御油路１ ６を経て油入口５２からパイロットシリンダ５０のシリンダ５１内に入る油路と が設けられている。 An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In FIG. 1, reference numeral 20 denotes a servo valve which is an input portion of the fluid (hydraulic) pressure servomotor, and a valve rod 22 of the servovalve 20 is connected to a governor of a control target power unit (not shown). Reference numeral 50 denotes a pilot cylinder which is an output unit, and a piston rod 65 of the pilot cylinder 50 is connected to a steam control valve or the like of a power device to be controlled (not shown). Reference numeral 11 is a high-pressure oil passage connected to the discharge portion of a hydraulic pump (not shown). The high-pressure oil passage 11 is connected to an orifice 12 for restricting the flow rate, and the orifice 12 is connected to a control oil passage 13 and The branch oil passage 14 is connected and branched from the branch oil passage 14 to enter the servo valve housing 21 of the servo valve 20 from the oil inlet 26 via the control oil passage 15 and the control oil passage 16 to the oil passage. An oil passage is provided from the inlet 52 into the cylinder 51 of the pilot cylinder 50.
【０００８】 サーボ弁２０は、図１に示すように、サーボ弁筐２１と、サーボ弁筐２１の天 板を貫通して昇降可能に設けられた弁棒２２と、弁棒２２の下端部に取り付けら れたカップ弁２３と、カップ弁２３を押し下げるようにカップ弁２３の上面とサ ーボ弁筐２１の天板下面との間に圧縮して設けられたばね２５とからなる。サー ボ弁筐２１には、底板の中央部に油入口２６があけられて制御油路１５が連結さ れ、側板下部に油出口２７があけられて戻り油路１８が連結されている。弁棒２ ２の図の上方には図示しない制御対象動力装置のガバナが連結されている。カッ プ弁２３は逆さまにした浅いお椀状であり、カップ弁２３が下がったとき、カッ プ弁２３の下端部のお椀の縁の全周がサーボ弁筐２１の底板上面に密接するよう に、サーボ弁筐２１の底板上面は平面に形成され、カップ弁２３の下端部のお椀 の縁の全周も高低なく一平面になるように形成されている。As shown in FIG. 1, the servo valve 20 includes a servo valve casing 21, a valve rod 22 penetrating a top plate of the servo valve casing 21 and capable of moving up and down, and a lower end portion of the valve rod 22. It comprises a mounted cup valve 23, and a spring 25 compressed between the upper surface of the cup valve 23 and the lower surface of the top plate of the servo valve casing 21 so as to push down the cup valve 23. In the servo valve casing 21, an oil inlet 26 is opened in the center of the bottom plate to connect the control oil passage 15, and an oil outlet 27 is opened in the lower portion of the side plate to connect the return oil passage 18. A governor (not shown) of the power plant to be controlled is connected to the valve rod 22 above the drawing. The cup valve 23 is in the shape of an inverted shallow bowl, and when the cup valve 23 is lowered, the entire circumference of the bowl edge at the lower end of the cup valve 23 is in close contact with the upper surface of the bottom plate of the servo valve casing 21. The upper surface of the bottom plate of the servo valve casing 21 is formed to be a flat surface, and the entire circumference of the edge of the bowl at the lower end of the cup valve 23 is also formed to be a flat surface.
【０００９】 パイロットシリンダ５０は、図１に示すように、シリンダ５１と、シリンダ５ １の天板を貫通して昇降可能に設けられたピストンロッド６５と、ピストンロッ ド６５の下端部に取り付けられたピストン６０と、ピストンロッド６５を押し上 げるようにつば６７の下面とシリンダ５１の天板上面との間に圧縮して設けられ たばね７０と、ベローズ８０とからなる。シリンダ５１の天板には油入口５２が あけられて制御油路１６が連結されている。ピストンロッド６５の図の上方には 図示しない制御対象動力装置の蒸気加減弁等が連結されている。このパイロット シリンダ５０には、シリンダ５１とピストン６０とを相対移動可能に連結するよ うにピストンロッド６５と同軸にベローズ８０が設けられている。ベローズ８０ の上端フランジ８０ａはシリンダ５１の側板上部に油密に固着され、ベローズ８ ０の下端フランジ８０ｂはピストン６０に油密に固着されている。したがって、 ピストン６０の昇降はベローズ８０により拘束されることなく、かつ、シリンダ ５１内はベローズ８０及びピストン６０によりピストン上室であるベローズ内室 ５ｃとピストン下室であるベローズ外室５ｄとに油の漏れが不可能に隔離されて いる。なお、ピストン６０の下端面中心部に取り付けられて下向きにシリンダ５ １の底板を昇降可能に貫通する案内ロッド６９が設けられているが、これはピス トン６０の昇降動作を円滑にするためのものである。As shown in FIG. 1, the pilot cylinder 50 is attached to a cylinder 51, a piston rod 65 penetrating a top plate of the cylinder 51 and capable of moving up and down, and a lower end portion of the piston rod 65. It comprises a piston 60, a spring 70 compressed between the lower surface of the flange 67 and the upper surface of the top plate of the cylinder 51 so as to push up the piston rod 65, and a bellows 80. An oil inlet 52 is opened in the top plate of the cylinder 51 and the control oil passage 16 is connected thereto. Above the piston rod 65 in the drawing, a steam control valve or the like of a power unit to be controlled (not shown) is connected. The pilot cylinder 50 is provided with a bellows 80 coaxially with the piston rod 65 so as to connect the cylinder 51 and the piston 60 so as to be relatively movable. An upper end flange 80a of the bellows 80 is oil-tightly fixed to the upper portion of the side plate of the cylinder 51, and a lower end flange 80b of the bellows 80 is oil-tightly fixed to the piston 60. Therefore, the lifting and lowering of the piston 60 is not restricted by the bellows 80, and the inside of the cylinder 51 is oiled by the bellows 80 and the piston 60 into the bellows inner chamber 5c which is the piston upper chamber and the bellows outer chamber 5d which is the piston lower chamber. The leak is impossible to isolate. A guide rod 69 is provided which is attached to the center of the lower end surface of the piston 60 and penetrates the bottom plate of the cylinder 51 downward so that the piston 60 can be smoothly moved up and down. It is a thing.
【００１０】 次に、図１に示す実施例の動作について説明する。図示しない油圧ポンプから 高圧油路１１を経て送られる高圧油はオリフィス１２を通過するとき絞られて流 量が制限され、オリフィス１２を通過した後の油の圧力は、流量が少ないと高く なり、流量が多いと低くなる。オリフィス１２を通過した油は制御油路１３を経 て分岐油路１４で分岐して、制御油路１５を経て油入口２６からサーボ弁筐２１ 内のカップ弁２３の下面に入り、また、制御油路１６を経て油入口５２からシリ ンダ５１のベローズ内室５ｃ内に入る。油入口２６からサーボ弁筐２１内に入っ た油はカップ弁２３を押し上げてカップ弁２３の下端周縁にできる隙間を通過し て油出口２７から戻り油路１８を通って図示しない油圧源の油タンクに戻る。Next, the operation of the embodiment shown in FIG. 1 will be described. The high-pressure oil sent from a hydraulic pump (not shown) through the high-pressure oil passage 11 is throttled when passing through the orifice 12 and the flow rate is limited, and the oil pressure after passing through the orifice 12 becomes high when the flow rate is low, The lower the flow rate, the lower the flow rate. The oil that has passed through the orifice 12 branches through the control oil passage 13 and the branch oil passage 14, and then enters the lower surface of the cup valve 23 in the servo valve housing 21 from the oil inlet 26 through the control oil passage 15 and the control oil passage. The oil enters from the oil inlet 52 through the oil passage 16 into the bellows inner chamber 5c of the cylinder 51. The oil that has entered the servo valve casing 21 from the oil inlet 26 pushes up the cup valve 23 and passes through a gap formed at the lower edge of the cup valve 23, and then returns from the oil outlet 27 to the return oil passage 18 to the oil of a hydraulic source (not shown). Return to the tank.
【００１１】 図１において、図示しない制御対象動力装置のガバナによりサーボ弁２０の弁 棒２２に下方への力が加えられると、その下方への力とばね２５の押し下げ力と の合力はカップ弁２３を強く押し下げる。カップ弁２３が強く押し下げられると 、カップ弁２３の下端周縁の隙間が小さくなり、その隙間を通る油量が少なくな り、オリフィス１２を通過する流量が少なくなり、オリフィス１２以降の油路内 の油圧が高くなり、ある油圧になったところで、カップ弁２３を上から押し下げ る上記の力と下から押し上げる油圧の力とがバランスする。このバランスした高 い圧力の油は制御油路１６を経てパイロットシリンダ５０の油入口５２からシリ ンダ５１のベローズ内室５ｃ内に入り、ピストン６０を押し下げ、ピストン６０ に取り付けられているピストンロッド６５を引き下げ、ピストンロッド６５は図 示しない制御対象動力装置の蒸気加減弁等を開け又は閉める方向に駆動する。In FIG. 1, when a downward force is applied to the valve rod 22 of the servo valve 20 by a governor of a power plant to be controlled (not shown), the resultant force of the downward force and the pushing force of the spring 25 is the cup valve. Press down 23 strongly. When the cup valve 23 is strongly pushed down, the gap at the lower edge of the cup valve 23 becomes smaller, the amount of oil passing through the gap becomes smaller, the flow rate passing through the orifice 12 becomes smaller, and the oil passage in the oil passage after the orifice 12 becomes smaller. When the hydraulic pressure becomes high and reaches a certain hydraulic pressure, the above-mentioned force that pushes down the cup valve 23 from above and the force of the hydraulic pressure that pushes up from below are balanced. This balanced high-pressure oil enters the bellows inner chamber 5c of the cylinder 51 from the oil inlet 52 of the pilot cylinder 50 through the control oil passage 16, pushes down the piston 60, and the piston rod 65 attached to the piston 60. And the piston rod 65 drives in a direction to open or close the steam control valve or the like of the power unit to be controlled (not shown).
【００１２】 以上と反対に、図１において、図示しない制御対象動力装置のガバナからサー ボ弁２０の弁棒２２に上方への力が加えられると、その力だけばね２５の押し下 げ力を減殺してカップ弁２３を押し下げる力が小さくなる。すると、カップ弁２ ３は油圧で押し上げられて、カップ弁２３の下端周縁の隙間が大きくなり、その 隙間を通る油量が多くなる。供給油量はオリフィス１２で絞られているので、オ リフィス１２以降の油路内の油圧が低くなってバランスする。したがって、ベロ ーズ内室５ｃ内の油圧も低くなり、油圧による押し下げ力は小さくなるので、ば ね７０によりピストンロッド６５が押し上げられ、ピストンロッド６５は図示し ない制御対象動力装置の蒸気加減弁等を前記と逆の方向に駆動する。Contrary to the above, in FIG. 1, when an upward force is applied to the valve rod 22 of the servo valve 20 from the governor (not shown) of the controlled power plant, the pushing force of the spring 25 is reduced by that amount. The force of depressing and pushing down the cup valve 23 becomes small. Then, the cup valve 23 is pushed up by hydraulic pressure, and the gap at the lower edge of the cup valve 23 becomes large, so that the amount of oil passing through the gap becomes large. Since the amount of oil supplied is throttled by the orifice 12, the oil pressure in the oil passage after the orifice 12 becomes low and balances. Therefore, the hydraulic pressure in the bellows inner chamber 5c also becomes low, and the pushing down force by the hydraulic pressure becomes small, so that the piston rod 65 is pushed up by the rod 70, and the piston rod 65 is the steam control valve of the controlled power plant (not shown). Etc. are driven in the opposite direction.
【００１３】 図１に示すように、このパイロットシリンダ５０においては、上端フランジ８ ０ａをシリンダ５１の側板上部に油密固着し、下端フランジ８０ｂをピストン６ ０に油密固着して、ピストンロッド６５の軸心と同軸にベローズ８０が設けられ ている。したがって、上記の動作において、ベローズ８０はピストン６０の昇降 動作を拘束しないとともに、ピストン６０の上側であるベローズ内室５ｃとピス トン６０の下側であるベローズ外室５ｄとを完全に隔離するので、油がベローズ 内室５ｃからベローズ外室５ｄへ漏れることは全くない。これにより、従来のピ ストン６０の周囲の摩耗等による漏油量増加によって応答性，制御性が変化，劣 化するというような問題は全く解消される。As shown in FIG. 1, in this pilot cylinder 50, the upper end flange 80a is oil-tightly fixed to the upper part of the side plate of the cylinder 51, and the lower end flange 80b is oil-tightly fixed to the piston 60, so that the piston rod 65 The bellows 80 is provided coaxially with the axis of the. Therefore, in the above operation, the bellows 80 does not restrain the ascending / descending movement of the piston 60, and completely separates the bellows inner chamber 5c above the piston 60 from the bellows outer chamber 5d below the piston 60. The oil never leaks from the bellows inner chamber 5c to the bellows outer chamber 5d. As a result, the conventional problem that the responsiveness and controllability are changed and deteriorated due to an increase in the amount of oil leakage due to wear around the piston 60 is completely eliminated.
【００１４】 次に、図２に示す実施例について説明する。オリフィス１２等の油路及びサー ボ弁２０については図１と同様であり、説明は省略する。図２に示す実施例のパ イロットシリンダ５０では、シリンダ５１内に設けるピストンとして、自由昇降 可能な比較的大径の第１ピストン６１を下方に設け、ピストンロッド６５に取り 付けられた比較的小径の第２ピストン６２を上方に設けている。また、上端フラ ンジ８１ａをシリンダ５１の側板上部に油密固着し、下端フランジ８１ｂを第１ ピストン６１に油密固着してピストンロッド６５と同軸に比較的大径の第１ベロ ーズ８１が設けられており、上端フランジ８２ａを第２ピストン６２に油密固着 し、下端フランジ８２ｂを第１ピストン６１に油密固着してピストンロッド６５ と同軸に比較的小径の第２ベローズ８２が設けられている。したがって、シリン ダ５１内は、第１ベローズ８１内のピストン上室である上室５ｅと、第２ベロー ズ８２内の中室５ｆと、第１ベローズ８１外のピストン下室である下室５ｇとに 油密隔離されている。Next, the embodiment shown in FIG. 2 will be described. The oil passages such as the orifice 12 and the servo valve 20 are the same as those in FIG. In the pilot cylinder 50 of the embodiment shown in FIG. 2, as a piston provided in the cylinder 51, a relatively large diameter first piston 61 that can freely move up and down is provided below, and a relatively small diameter attached to a piston rod 65. The second piston 62 of is provided above. Further, the upper flange 81a is oil-tightly fixed to the upper portion of the side plate of the cylinder 51, and the lower flange 81b is oil-tightly fixed to the first piston 61 so that the first bellows 81 having a relatively large diameter is coaxial with the piston rod 65. An upper end flange 82a is oil-tightly fixed to the second piston 62, and a lower end flange 82b is oil-tightly fixed to the first piston 61, and a second bellows 82 having a relatively small diameter is provided coaxially with the piston rod 65. ing. Therefore, inside the cylinder 51, the upper chamber 5e which is the piston upper chamber inside the first bellows 81, the middle chamber 5f inside the second bellows 82, and the lower chamber 5g which is the piston lower chamber outside the first bellows 81. And oiltightly isolated.
【００１５】 次に、図２に示す実施例の動作について説明する。図示しないガバナによりサ ーボ弁２０の弁棒２２，カップ弁２３に下向きの力が加えられると、図１に示す 実施例についての説明と同様に、シリンダ５１内の上室５ｅ内の油圧が高くなり 、その高い油圧は、第２ピストン６２を直接に押し下げ、第１ピストン６１を押 し下げて第２ベローズ８２を介して第２ピストン６２を引き下げ、第２ピストン ６２と一体的なピストンロッド６５が下降し、ピストンロッド６５は図示しない 蒸気加減弁等を開け又は閉める方向に駆動する。以上と逆に、図示しないガバナ によりサーボ弁２０の弁棒２２，カップ弁２３に上向きの力が加えられると、上 室５ｅ内の油圧が低くなり、ばね７０の力によりピストンロッド６５は押し上げ られ、ピストンロッド６５は図示しない蒸気加減弁等を上記と逆の方向に駆動す る。Next, the operation of the embodiment shown in FIG. 2 will be described. When a downward force is applied to the valve rod 22 and the cup valve 23 of the servo valve 20 by a governor (not shown), the hydraulic pressure in the upper chamber 5e in the cylinder 51 is changed as in the description of the embodiment shown in FIG. The higher hydraulic pressure pushes down the second piston 62 directly, pushes down the first piston 61, pulls down the second piston 62 via the second bellows 82, and the piston rod integral with the second piston 62. 65 descends, and the piston rod 65 drives in a direction to open or close a steam control valve (not shown). Conversely, when an upward force is applied to the valve rod 22 and the cup valve 23 of the servo valve 20 by a governor (not shown), the hydraulic pressure in the upper chamber 5e decreases, and the force of the spring 70 pushes up the piston rod 65. The piston rod 65 drives a steam regulating valve (not shown) in the opposite direction to the above.
【００１６】 図２に示す実施例においても、図１についての説明と同様に、第１ベローズ８ １及び第２ベローズ８２を設けて完全に隔離したので、油の漏れが全くなく、従 来のピストン６０の周囲の摩耗による漏油量増加によって応答性，制御性が変化 ，劣化するというような問題が全く解消される。なお、図２に示す実施例では、 第１ベローズ８１及び第２ベローズ８２の形状や弾性を適当に設定することによ り、応答制御特性を適当に設定することができる。Also in the embodiment shown in FIG. 2, the first bellows 81 and the second bellows 82 are provided and completely isolated in the same manner as described with reference to FIG. The problem that the responsiveness and controllability are changed and deteriorated due to the increase in the amount of oil leakage due to the wear around the piston 60 is completely solved. In the embodiment shown in FIG. 2, the response control characteristics can be set appropriately by appropriately setting the shapes and elasticity of the first bellows 81 and the second bellows 82.
【００１７】 なお、図１に示す実施例において、シリンダ５１のベローズ外室５ｄは案内ロ ッド６９の貫通隙間以外は密閉されているが、シリンダ５１の下部にベローズ外 室５ｄに大気が通じる穴をあけて開放とし、ピストン６０の昇降動作を容易にさ せることもできる。また、図２に示す実施例においても、シリンダ５１の下部に 穴をあけて下室５ｇを大気に開放とすることができ、また、例えば案内ロッド６ ９内に大気が中室５ｆに通じる穴をあけて中室５ｆを開放とすることもできる。 中室５ｆ内を密閉とするか開放とするかによって応答特性が異なる。In the embodiment shown in FIG. 1, the bellows outer chamber 5d of the cylinder 51 is sealed except for the through gap of the guide rod 69, but the atmosphere communicates with the bellows outer chamber 5d at the lower part of the cylinder 51. The piston 60 can be easily moved up and down by opening a hole. Also in the embodiment shown in FIG. 2, a hole can be opened in the lower part of the cylinder 51 to open the lower chamber 5g to the atmosphere. For example, in the guide rod 69, a hole through which the atmosphere communicates with the inner chamber 5f. It is also possible to open the inner chamber 5f by opening. The response characteristics differ depending on whether the inside of the inner chamber 5f is closed or open.
【００１８】[0018]
以上のように、この考案によれば、シリンダとピストンとの間にベローズを設 けたので、漏油が全くない構造となり、従来のピストン周囲の摩耗による漏油量 の増加によって応答性，制御性が変化，劣化するというような問題を全く解消す ることができる。 As described above, according to the present invention, since the bellows is installed between the cylinder and the piston, the structure has no oil leakage, and the responsiveness and controllability are increased by the increase in the amount of oil leakage due to the wear around the conventional piston. It is possible to completely eliminate the problem of change and deterioration of the temperature.
【図１】この考案の一実施例による油圧サーボモータの
断面構成図である。FIG. 1 is a cross-sectional configuration diagram of a hydraulic servomotor according to an embodiment of the present invention.
【図２】この考案の他の実施例による油圧サーボモータ
の断面構成図である。FIG. 2 is a sectional view of a hydraulic servomotor according to another embodiment of the present invention.
【図３】従来の油圧サーボモータの断面構成図である。FIG. 3 is a sectional configuration diagram of a conventional hydraulic servomotor.
１１：高圧油路、 １２：オリフィス、１３，１５，１
６：制御油路、 １４：分岐油路、２０：サーボ弁、
２１：サーボ弁筐、２２：弁棒、 ２３：カップ弁、
２５：ばね、５０：パイロットシリンダ、 ５１：シリ
ンダ、６０，６１，６２：ピストン、 ６５：ピストン
ロッド、７０：ばね、８０，８１，８２：ベローズ。11: High-pressure oil passage, 12: Orifice, 13, 15, 1
6: Control oil passage, 14: Branch oil passage, 20: Servo valve,
21: servo valve housing, 22: valve stem, 23: cup valve,
25: spring, 50: pilot cylinder, 51: cylinder, 60, 61, 62: piston, 65: piston rod, 70: spring, 80, 81, 82: bellows.
Claims (1)
けてシリンダ内でピストンがピストンロッドの軸方向に
移動する流体圧サーボモータにおいて、前記シリンダに
一端部を固着し他端部を前記ピストンに固着して前記ピ
ストンロッドと同軸にベローズを設けたことを特徴とす
る流体圧サーボモータ。1. In a fluid pressure servomotor in which a piston moves in the cylinder in the axial direction of a piston rod in response to a fluid pressure controlled by a servo valve, one end is fixed to the cylinder and the other end is fixed to the piston. A fluid pressure servomotor which is fixedly provided with a bellows coaxially with the piston rod.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1503793U JPH0669405U (en) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | Fluid pressure servo motor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1503793U JPH0669405U (en) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | Fluid pressure servo motor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0669405U true JPH0669405U (en) | 1994-09-30 |
Family
ID=11877642
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1503793U Withdrawn JPH0669405U (en) | 1993-03-08 | 1993-03-08 | Fluid pressure servo motor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0669405U (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5727646B1 (en) * | 2014-04-01 | 2015-06-03 | エネスジー、カンパニー、リミテッドＥｎｅｓｇ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Air discharge device for hydraulic actuator and hydraulic actuator for power plant having the same |
| JP5727647B1 (en) * | 2014-02-27 | 2015-06-03 | エネスジー、カンパニー、リミテッドＥｎｅｓｇ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Hydraulic actuator assembly for power plant |
| JP5727648B1 (en) * | 2014-02-27 | 2015-06-03 | エネスジー、カンパニー、リミテッドＥｎｅｓｇ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Hydraulic actuator assembly for power plant |
-
1993
- 1993-03-08 JP JP1503793U patent/JPH0669405U/en not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5727647B1 (en) * | 2014-02-27 | 2015-06-03 | エネスジー、カンパニー、リミテッドＥｎｅｓｇ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Hydraulic actuator assembly for power plant |
| JP5727648B1 (en) * | 2014-02-27 | 2015-06-03 | エネスジー、カンパニー、リミテッドＥｎｅｓｇ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Hydraulic actuator assembly for power plant |
| JP5727646B1 (en) * | 2014-04-01 | 2015-06-03 | エネスジー、カンパニー、リミテッドＥｎｅｓｇ Ｃｏ．，Ｌｔｄ． | Air discharge device for hydraulic actuator and hydraulic actuator for power plant having the same |
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