JPH0668464A - Production of magnetic recording medium - Google Patents
Production of magnetic recording mediumInfo
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- JPH0668464A JPH0668464A JP23902492A JP23902492A JPH0668464A JP H0668464 A JPH0668464 A JP H0668464A JP 23902492 A JP23902492 A JP 23902492A JP 23902492 A JP23902492 A JP 23902492A JP H0668464 A JPH0668464 A JP H0668464A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁性層として強磁性金
属薄膜が蒸着形成されてなる磁気記録媒体の製造方法に
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic recording medium in which a ferromagnetic metal thin film is formed as a magnetic layer by vapor deposition.
【０００２】[0002]
【従来の技術】磁性層として強磁性金属薄膜を蒸着形成
してなる，いわゆる蒸着テープを作製する手法として
は、電子ビームにより金属を溶解、蒸発させる成膜法が
主流になっているが、かかる成膜法においては、電子銃
の出力を大きくし蒸着レートを高くする方向にある。2. Description of the Related Art As a method for producing a so-called vapor-deposited tape, which is formed by vapor-depositing a ferromagnetic metal thin film as a magnetic layer, a film-forming method in which a metal is melted and evaporated by an electron beam has become mainstream. In the film forming method, the output of the electron gun is increased and the vapor deposition rate is increased.
【０００３】このような高速蒸着に伴い、蒸着時にベー
スフィルムが受ける熱負荷は大きくなり、ベースフィル
ムの熱負けによる形状不良に起因してドロップアウトが
増加するという現象が発生する。したがって、高速蒸着
時には、冷却キャンとベースフィルムの密着度を良く
し、前記熱負けを防止する必要がある。With such high-speed vapor deposition, the heat load applied to the base film during vapor deposition increases, causing a phenomenon in which dropout increases due to a defective shape due to heat loss of the base film. Therefore, at the time of high-speed vapor deposition, it is necessary to improve the adhesion between the cooling can and the base film to prevent the heat loss.
【０００４】一方、前述のように電子銃の加速電圧が高
くなると、２次電子によるベースフィルムへの帯電量が
多くなり、蒸着後の冷却キャン及びガイドロールとベー
スフィルムの間で静電気による貼り付きが強くなる。そ
の結果、ベースフィルムが冷却キャンやガイドロールか
ら剥がれる際に、ベース幅方向での張力が不均一にな
り、蒸着後のフィルムを変形させ、ベース幅方向での電
磁変換特性のバラツキ、当たり波形の劣化が起こってい
る。On the other hand, as described above, when the accelerating voltage of the electron gun is increased, the amount of charge on the base film due to secondary electrons is increased, and the cooling can after vapor deposition and sticking due to static electricity between the guide roll and the base film. Becomes stronger. As a result, when the base film is peeled off from the cooling can or the guide roll, the tension in the base width direction becomes non-uniform, the film after vapor deposition is deformed, the variation in the electromagnetic conversion characteristics in the base width direction, and the contact waveform Deterioration is occurring.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上述のように、蒸着中
にはベースフィルムの熱負けの観点からベースフィルム
と冷却キャンの密着を良くする必要があり、蒸着後には
ベースフィルムの冷却キャンやガイドロールへの貼り付
きを防止する必要がある。As described above, it is necessary to improve the adhesion between the base film and the cooling can during vapor deposition from the viewpoint of heat loss of the base film. It is necessary to prevent sticking to the roll.
【０００６】そこで本発明は、これらの問題を解消する
ことを目的に提案されたものであり、蒸着時に冷却キャ
ンとベースフィルムの密着度を良くし、熱負けによるド
ロップアウトの増加を抑制することを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed for the purpose of solving these problems, and improves the adhesion between the cooling can and the base film during vapor deposition to suppress the increase in dropout due to heat loss. With the goal.
【０００７】さらに本発明は、蒸着後の冷却キャン及び
ガイドロールとベースフィルムの静電気による貼り付き
を防止し、電磁変換特性のバラツキや当たり波形の劣化
を防止することを目的とする。A further object of the present invention is to prevent sticking of the cooling can and guide roll after vapor deposition to the base film due to static electricity, and to prevent variations in electromagnetic conversion characteristics and deterioration of the contact waveform.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明の第１の発明は、ベースフィルムを冷却キ
ャンに沿わせて走行せしめ、該ベースフィルム上に強磁
性金属薄膜を蒸着する磁気記録媒体の製造方法におい
て、前記強磁性金属薄膜の蒸着前にベースフィルムに電
荷を供給することを特徴とするものである。In order to achieve the above object, the first invention of the present invention is that a base film is run along a cooling can and a ferromagnetic metal thin film is vapor-deposited on the base film. In the method of manufacturing a magnetic recording medium described above, the electric charge is supplied to the base film before the vapor deposition of the ferromagnetic metal thin film.
【０００９】また、本発明の第２の発明は、ベースフィ
ルムを冷却キャンに沿わせて走行せしめ、該ベースフィ
ルム上に強磁性金属薄膜を蒸着する磁気記録媒体の製造
方法において、前記強磁性金属薄膜の蒸着後、冷却キャ
ンの出口側においてベースフィルムをディスチャージす
ることを特徴とするものである。A second invention of the present invention is a method for manufacturing a magnetic recording medium, comprising: running a base film along a cooling can; and depositing a ferromagnetic metal thin film on the base film. After vapor deposition of the thin film, the base film is discharged on the outlet side of the cooling can.
【００１０】さらに、本発明の第３の発明は、ベースフ
ィルムをガイドロールを介してキャンに沿わせて走行せ
しめ、該ベースフィルム上に強磁性金属薄膜を蒸着する
磁気記録媒体の製造方法において、前記キャン及び／又
はガイドロールの帯電電荷を除電することを特徴とする
ものである。Further, a third invention of the present invention is a method for manufacturing a magnetic recording medium, wherein a base film is run along a can via a guide roll, and a ferromagnetic metal thin film is vapor-deposited on the base film. It is characterized in that the charge of the can and / or the guide roll is removed.
【００１１】本発明により製造される磁気記録媒体にお
いては、非磁性支持体上に強磁性金属材料を直接蒸着す
ることにより金属磁性薄膜が磁性層として形成される
が、この金属磁性材料としては、通常の蒸着テ−プに使
用されるものであれば如何なるものであってもよい。In the magnetic recording medium manufactured according to the present invention, a metal magnetic thin film is formed as a magnetic layer by directly depositing a ferromagnetic metal material on a non-magnetic support. Any material may be used as long as it is used for a normal vapor deposition tape.
【００１２】例示すれば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉなどの強磁
性金属、Ｆｅ−Ｃｏ，Ｃｏ−Ｎｉ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ，
Ｆｅ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ｃｕ，Ｃｏ−Ａｕ，Ｃｏ−Ｐｔ，Ｍ
ｎ−Ｂｉ，Ｍｎ−Ａｌ，Ｆｅ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ，Ｎｉ
−Ｃｒ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ，Ｆｅ−
Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等の強磁性合金が挙げられる。これら
の単層膜であってもよいし多層膜であってもよい。さら
には、非磁性支持体と金属磁性薄膜間、あるいは多層膜
の場合には、各層間の付着力向上、並びに抗磁力の制御
等のため、下地層または、中間層を設けてもよい。ま
た、例えば磁性層表面近傍が耐蝕性改善等のために酸化
物となっていてもよい。For example, ferromagnetic metals such as Fe, Co and Ni, Fe-Co, Co-Ni, Fe-Co-Ni,
Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, Co-Pt, M
n-Bi, Mn-Al, Fe-Cr, Co-Cr, Ni
-Cr, Fe-Co-Cr, Co-Ni-Cr, Fe-
A ferromagnetic alloy such as Co-Ni-Cr can be used. These may be a single layer film or a multilayer film. Further, an underlayer or an intermediate layer may be provided between the non-magnetic support and the metal magnetic thin film, or in the case of a multilayer film, for improving the adhesive force between the layers and controlling the coercive force. Further, for example, the vicinity of the surface of the magnetic layer may be an oxide to improve the corrosion resistance.
【００１３】また、上記非磁性支持体上に形成された強
磁性金属材料上には保護膜層が形成されていていてもよ
く、またその材料としては、通常の金属磁性薄膜用保護
膜として一般に使用されるものであれば如何なるもので
あってもよい。例示すれば、カーボン、Ａｌ2 Ｏ3 ，Ｓ
ｉＯ2 ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，ＳｉＣ，ＴｉＣ，ＴｉＮ等があげ
られる。これらの単層膜であってもよいし多層膜や複合
膜であってもよい。A protective film layer may be formed on the ferromagnetic metal material formed on the non-magnetic support, and the material is generally used as a conventional protective film for metal magnetic thin films. Any material can be used as long as it is used. For example, carbon, Al 2 O 3 , S
Examples thereof include iO 2 , Si 3 N 4 , SiC, TiC and TiN. These may be a single layer film, a multilayer film or a composite film.
【００１４】勿論、磁気テープの構成はこれに限定され
るものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での変
更、例えば必要に応じてバックコート層を形成したり、
非磁性支持体上に下塗層を形成したり、潤滑剤、防錆剤
などの層を形成することは何等差し支えない。この場
合、バックコート層に含まれる非磁性顔料、樹脂結合剤
あるいは潤滑剤、防錆剤層に含まれる材料としては従来
公知のものがいずれも使用できる。Of course, the structure of the magnetic tape is not limited to this, and changes may be made without departing from the scope of the present invention, for example, a back coat layer may be formed if necessary,
There is no problem in forming an undercoat layer or forming a layer of a lubricant, an anticorrosive agent or the like on the non-magnetic support. In this case, as the material contained in the non-magnetic pigment, the resin binder or the lubricant, and the rust preventive agent layer contained in the back coat layer, any conventionally known materials can be used.
【００１５】[0015]
【作用】強磁性金属薄膜の蒸着前に予めベースフィルム
に電荷を供給すると、蒸着時に冷却キャンに対して静電
吸着し、密着度が良好なものとなる。その結果、ベース
フィルムが確実に冷却されて、熱負けが抑えられ、フィ
ルムの熱負けによる形状不良によって発生するドロップ
アウトが減少する。When the electric charge is supplied to the base film in advance before the evaporation of the ferromagnetic metal thin film, it is electrostatically adsorbed to the cooling can during the evaporation and the adhesion is improved. As a result, the base film is reliably cooled, heat loss is suppressed, and dropouts caused by a defective shape due to heat loss of the film are reduced.
【００１６】一方、冷却キャンの出口側において、ベー
スフィルムに蓄積された帯電電荷をディスチャージする
と、静電気による貼り付きが解消され、冷却キャンやガ
イドロールからベースフィルムが剥がれる際にフィルム
が変形することはない。したがって、フィルムの形状が
良好なものとなり、電磁変換特性のバラツキや当たり波
形の劣化が解消される。On the other hand, when the charge accumulated in the base film is discharged on the outlet side of the cooling can, sticking due to static electricity is eliminated, and the film is not deformed when the base film is peeled from the cooling can or the guide roll. Absent. Therefore, the film has a good shape, and variations in the electromagnetic conversion characteristics and deterioration of the contact waveform are eliminated.
【００１７】[0017]
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて、図面や実験結果をもとに詳細に説明する。EXAMPLES Specific examples to which the present invention is applied will be described in detail below with reference to the drawings and experimental results.
【００１８】実施例１ 本実施例においては、蒸着前に予めベースフィルムをチ
ャージアップし、冷却キャンとの密着度を高めて熱負け
を防止した例である。 Example 1 This example is an example in which the base film was charged up in advance before vapor deposition to improve the adhesion with the cooling can and prevent heat loss.
【００１９】先ず、本実施例において使用した蒸着製造
装置の構成について説明する。図１に示す様に、この製
造装置においては、頭部と低部にそれぞれ設けられた排
気口１５から排気されて内部が真空状態となされた真空
室１内に、図中の反時計回り方向に定速回転する送りロ
ール３と、図中の時計回り方向に定速回転する巻取りロ
ール４とが設けられ、これら送りロール３から巻取りロ
ール４にテープ状のベースフィルム２が順次走行するよ
うになされている。First, the structure of the vapor deposition manufacturing apparatus used in this embodiment will be described. As shown in FIG. 1, in this manufacturing apparatus, the inside of the vacuum chamber 1 is evacuated from the exhaust ports 15 provided at the head and the lower part, and the inside is in a vacuum state. A feed roll 3 that rotates at a constant speed and a winding roll 4 that rotates at a constant speed in the clockwise direction in the drawing are provided on the tape roll base film 2. The tape-shaped base film 2 sequentially runs from the feed roll 3 to the winding roll 4. It is done like this.
【００２０】これら送りロール３から巻取りロール４側
に上記ベースフィルム２が走行する中途部には、上記各
ロール３、４の径よりも大径となされた冷却キャン５が
設けられている。この冷却キャン５は、上記ベースフィ
ルム２を図中下方に引き出す様に設けられ、図中の時計
回り方向に定速回転する構成とされる。尚、上記送りロ
ール３、巻取りロール４、及び、冷却キャン５は、それ
ぞれベースフィルム２の幅と略同じ長さからなる円筒状
をなすものであり、また上記冷却キャン５には、内部に
図示しない冷却装置が設けられ、上記ベースフィルム２
の温度上昇による変形等を抑制し得るようになされてい
る。A cooling can 5 having a diameter larger than that of each of the rolls 3 and 4 is provided in the middle of the traveling of the base film 2 from the feed roll 3 to the winding roll 4 side. The cooling can 5 is provided so as to draw the base film 2 downward in the figure, and is configured to rotate at a constant speed in the clockwise direction in the figure. The feed roll 3, the take-up roll 4, and the cooling can 5 each have a cylindrical shape having a length substantially the same as the width of the base film 2, and the cooling can 5 has an internal structure. The base film 2 is provided with a cooling device (not shown).
The deformation and the like due to the temperature rise of the above can be suppressed.
【００２１】従って、上記ベースフィルム２は送りロー
ル３から順次送り出され、さらに上記冷却キャン５の周
面を通過し、巻取りロール４に巻取られていくようにな
されている。尚、上記送りロール３と上記冷却キャン５
との間及び該冷却キャン５と上記巻取りロール４との間
にはそれぞれガイドロール６、７が配設され、上記送り
ロール３から冷却キャン５及び該冷却キャン５から巻取
りロール４にわたって走行するベースフィルム２に所定
のテンションをかけ、該ベースフィルム２が円滑に走行
するようになされている。また、上記真空室内には、上
記冷却キャン５の下方にルツボ８が設けられ、このルツ
ボ８内に金属磁性材料９が充填されている。このルツボ
８は、上記冷却キャン５の幅と略同一の幅を有してな
る。Therefore, the base film 2 is sequentially fed from the feed roll 3, passes through the peripheral surface of the cooling can 5, and is wound up by the winding roll 4. Incidentally, the feed roll 3 and the cooling can 5
And guide rolls 6 and 7 are disposed between the cooling can 5 and the winding roll 4, respectively, and travels from the feeding roll 3 to the cooling can 5 and from the cooling can 5 to the winding roll 4. A predetermined tension is applied to the base film 2 to be smoothly moved. In the vacuum chamber, a crucible 8 is provided below the cooling can 5, and the crucible 8 is filled with a metal magnetic material 9. The crucible 8 has a width substantially the same as the width of the cooling can 5.
【００２２】一方、上記真空室１の側壁部には、上記ル
ツボ８内に充填された金属磁性材料９を加熱蒸発させる
ための電子銃１０が取り付けられる。この電子銃１０
は、当該電子銃１０より放出される電子線Ｘが上記ルツ
ボ８内の金属磁性材料９に照射されるような位置に配設
される。そして、この電子銃１０によって蒸発した金属
磁性材料９が上記冷却キャン５の周面を定速走行するベ
ースフィルム２上に磁性層として被着形成されるように
なっている。On the other hand, an electron gun 10 for heating and evaporating the metallic magnetic material 9 filled in the crucible 8 is attached to the side wall of the vacuum chamber 1. This electron gun 10
Is arranged at a position such that the electron beam X emitted from the electron gun 10 is applied to the metallic magnetic material 9 in the crucible 8. The metallic magnetic material 9 evaporated by the electron gun 10 is deposited and formed as a magnetic layer on the base film 2 traveling at a constant speed on the peripheral surface of the cooling can 5.
【００２３】また、上記冷却キャン５と上記ルツボ８と
の間であって該冷却キャン５の近傍には、シャッタ１３
が配設されている。このシャッタ１３は、上記冷却キャ
ン５の周面を定速走行するベースフィルム２の所定領域
を覆う形で形成され、このシャッタ１３により上記蒸発
せしめられた金属磁性材料９が上記ベースフィルム２に
対して所定の角度範囲で斜めに蒸着されるようになって
いる。更に、このような蒸着に際し、上記真空室１の側
壁部を貫通して設けられる酸素ガス導入口１４を介して
ベースフィルム２の表面に酸素ガスが供給され、磁気特
性、耐久性及び耐候性の向上が図られている。A shutter 13 is provided between the cooling can 5 and the crucible 8 and near the cooling can 5.
Is provided. The shutter 13 is formed so as to cover a predetermined region of the base film 2 which runs at a constant speed on the peripheral surface of the cooling can 5, and the metal magnetic material 9 evaporated by the shutter 13 is applied to the base film 2. And is obliquely vapor-deposited within a predetermined angle range. Further, during such vapor deposition, oxygen gas is supplied to the surface of the base film 2 through the oxygen gas inlet 14 provided penetrating the side wall of the vacuum chamber 1, so that magnetic properties, durability and weather resistance are improved. It is being improved.
【００２４】この真空蒸着は、真空室１を例えば真空度
１×１０-4Torrに保ちながら、これらの真空室１内にガ
ス導入口１４により酸素ガスを例えば２５０cc／min の
割合で導入しながら行う。この場合、ベースフィルム２
に対する蒸発金属の入射角は例えば４５〜９０°の範囲
とする。また、磁性層は円筒キャン５において例えば２
０００Åの厚さに蒸着される。In this vacuum deposition, while maintaining the vacuum chamber 1 at a vacuum degree of 1 × 10 −4 Torr, for example, oxygen gas is introduced into the vacuum chamber 1 through the gas inlet 14 at a rate of 250 cc / min. To do. In this case, the base film 2
The incident angle of the evaporated metal with respect to is in the range of 45 to 90 °, for example. Further, the magnetic layer is, for example, 2 in the cylindrical can 5.
It is deposited to a thickness of 000Å.
【００２５】さらに、上記蒸着装置においては、ガス導
入管１６からキャリアガスとして窒素、酸素、アルゴン
等を導入し、電極１７より直流高電圧を印加するように
構成されている。Further, in the above vapor deposition apparatus, nitrogen, oxygen, argon or the like is introduced as a carrier gas from the gas introduction pipe 16 and a high DC voltage is applied from the electrode 17.
【００２６】一般に、ベースフィルム２は、冷却キャン
５に達するまでに走行する間に＋側に帯電する。帯電量
は、ベースフィルム２の種類、表面性により異なるが、
図３に示すようにベースフィルム２から５０ｍｍの距離
に静電気測定器２１を配置して測定する測定法によれ
ば、＋１〜１０ｋＶ程度である。したがって、冷却キャ
ン５へのベースフィルム２の密着度を増すには、ベース
フィルム２を−側に帯電する必要があり、チャージアッ
プ量としては−１０〜−２０ｋＶ程度が必要である。In general, the base film 2 is charged to the + side while traveling until it reaches the cooling can 5. The amount of charge varies depending on the type and surface property of the base film 2,
According to the measuring method in which the static electricity measuring device 21 is arranged at a distance of 50 mm from the base film 2 as shown in FIG. 3, it is about +1 to 10 kV. Therefore, in order to increase the degree of adhesion of the base film 2 to the cooling can 5, it is necessary to charge the base film 2 to the − side, and the charge-up amount is required to be about −10 to −20 kV.
【００２７】また、本例では、電極より直流高電圧を印
加してチャージアップするようにしたが、チャージアッ
プ方法としてはこれに限らず、電子銃による直接照射、
間接照射、イオンガンによる照射、ボンバード処理等の
方法を用いることも可能である。Further, in this example, a high DC voltage is applied from the electrodes to charge up, but the charge-up method is not limited to this, and direct irradiation with an electron gun,
It is also possible to use methods such as indirect irradiation, irradiation with an ion gun, and bombardment treatment.
【００２８】以上のような構成を有する蒸着装置を用
い、下塗りが施されたベースフィルム上に、酸素雰囲気
中でＣｏ−Ｎｉ合金を斜め蒸着し、膜厚０．２μｍの強
磁性金属薄膜を磁性層として蒸着形成した後、バックコ
ート、トップコートを施して所定のテープ幅に裁断して
サンプルテープを作製した。作製条件は下記の通りであ
る。A Co—Ni alloy was obliquely vapor-deposited on an undercoated base film in an oxygen atmosphere by using the vapor deposition apparatus having the above-mentioned structure, and a 0.2 μm-thick ferromagnetic metal thin film was magnetically deposited. After forming a layer by vapor deposition, a back coat and a top coat were applied and cut into a predetermined tape width to prepare a sample tape. The production conditions are as follows.
【００２９】＜サンプルテープの作成＞ ベース ：ポリエチレンテレフタレート １０μｍ ４５０ｍｍ幅（有効蒸着幅） 下塗 ：アクリルエステルを主成分とする
水溶性ラテックスを塗布 密度 約１０００万個／ｍｍ2 <Preparation of sample tape> Base: polyethylene terephthalate 10 μm 450 mm width (effective vapor deposition width) Undercoat: Water-soluble latex containing acrylic ester as a main component is applied Density about 10 million pieces / mm 2
【００３０】蒸着条件 インゴット ：Ｃｏ８０重量％−Ｎｉ２０重量％ 入射角 ：４５〜９０° 送り速度 ：０．１７ｍ／秒 酸素導入量 ：３．３×１０-6ｍ3 ／秒 蒸着時真空度 ：７×１０-2ＰａDeposition conditions Ingot: 80 wt% Co-20 wt% Ni Incident angle: 45 to 90 ° Feed rate: 0.17 m / sec Oxygen introduction rate: 3.3 × 10 −6 m 3 / sec Deposition vacuum degree: 7 × 10 -2 Pa
【００３１】バックコート ：カーボン、及びウレ
タンバインダーを混合したものを０．６μｍ厚塗布 トップコート ：パーフルオロポリエーテルを塗布 スリット幅 ：８ｍｍ幅Backcoat: A mixture of carbon and urethane binder is applied to a thickness of 0.6 μm Topcoat: Perfluoropolyether is applied Slit width: 8 mm width
【００３２】作製したサンプルテープについて、８ミリ
ＶＴＲを用いてドロップアウトを測定した。ドロップア
ウトは、再生出力レベルから、−１６ｄＢ・５μ秒及び
−１０ｄＢ・５μ秒以上の出力を落ちをドロップアウト
とし、１０分間測定を行い１分間当たりのドロップアウ
ト数の平均値を求めた。結果を表１に示す。なお、表１
において、比較例１は、ベースフィルムに対してチャー
ジアップを行っていない場合の例である。Dropout of the produced sample tape was measured using an 8 mm VTR. For dropout, an output of −16 dB · 5 μsec and −10 dB · 5 μsec or more was dropped from the reproduction output level, and the dropout was measured for 10 minutes to obtain the average value of the number of dropouts per minute. The results are shown in Table 1. In addition, Table 1
In Comparative Example 1, Comparative Example 1 is an example in which the base film is not charged up.
【００３３】[0033]
【表１】 [Table 1]
【００３４】通常、ドロップアウトの測定は−１６ｄＢ
・５μ秒以上で行い評価しているが、大きいドロップア
ウトは付着物に起因しており、−１０ｄＢ・５μ秒程度
になると微小な熱負けに起因する形状不良によるドロッ
プアウトの影響が大きいと思われる。このような観点か
ら表１を見ると、熱負けによる形状不良起因のドロップ
アウトは、３８０個／分から１８０個／分に減少してい
る。Normally, the dropout measurement is -16 dB.
・ Evaluation was performed for 5 μs or more, but large dropouts are caused by deposits. At about −10 dB, 5 μs, it is considered that the dropouts have a large effect due to shape defects due to minute heat loss. Be done. From this point of view, when looking at Table 1, the dropouts due to the shape defect due to heat loss are reduced from 380 pieces / minute to 180 pieces / minute.
【００３５】実施例２ 本実施例は、蒸着後に冷却キャン５の出口側でベースフ
ィルム２のディスチャージを行い、その効果を確認した
ものである。蒸着装置の構造は、実施例１の場合と同様
であるが、図２に示すように、本例ではガス導入管１８
と電極１９を冷却キャン５の出口側に配置した。なお、
電極１９の下流側には帯電誘電板２０を配置し、ベース
フィルム２の帯電量を真空室１外の大気中まで誘導し、
そこで静電気測定器により帯電量を測定し印加電圧の制
御を行うようにした。 Example 2 In this example, the base film 2 was discharged on the outlet side of the cooling can 5 after vapor deposition, and its effect was confirmed. The structure of the vapor deposition device is similar to that of the first embodiment, but as shown in FIG.
The electrode 19 was arranged on the outlet side of the cooling can 5. In addition,
A charging dielectric plate 20 is arranged on the downstream side of the electrode 19, and the charge amount of the base film 2 is guided to the atmosphere outside the vacuum chamber 1,
Therefore, the amount of charge is measured by an electrostatic measuring device and the applied voltage is controlled.
【００３６】上述の蒸着装置においては、、蒸着中に電
子銃による２次電子がベースフィルム２上に帯電し、静
電気が発生する。この帯電量は電子銃のパワーに依存し
ているが、およそ０〜−５０ｋＶの範囲にあると考えら
れる。そこで、前記静電気測定器に検出される値を零に
するような極性と大きさの電荷を印加する。ディスチャ
ージの手法としては、先の実施例１で述べた方法を極性
を変えることによってそのまま使用することができる。In the above vapor deposition apparatus, secondary electrons from the electron gun are charged on the base film 2 during vapor deposition to generate static electricity. Although this charge amount depends on the power of the electron gun, it is considered to be in the range of approximately 0 to -50 kV. Therefore, a charge having a polarity and a magnitude that makes the detected value zero is applied to the static electricity measuring device. As the discharging method, the method described in the first embodiment can be used as it is by changing the polarity.
【００３７】以上の手法により、先の実施例１と同様の
サンプルテープを作製した。得られたサンプルテープに
ついて、幅方向での電磁変換特性のバラツキ及び当たり
波形の測定を行った。当たり波形の観察は、オシロスコ
ープにより行い、ＲＦ波形でのケバ立ちや波形ひずみ等
を考慮して判断した。結果を表２に示す。なお、表２に
は、ディスチャージしない場合を比較例２として結果を
併せて記載した。By the above method, a sample tape similar to that of Example 1 above was produced. With respect to the obtained sample tape, the variation of the electromagnetic conversion characteristics in the width direction and the hit waveform were measured. The hit waveform was observed with an oscilloscope, and the judgment was made in consideration of fluffing and waveform distortion in the RF waveform. The results are shown in Table 2. In addition, in Table 2, the result is also shown as Comparative Example 2 in the case where no discharge was performed.
【００３８】[0038]
【表２】 [Table 2]
【００３９】実施例３ 本実施例は、冷却キャン５やガイドロール６、７の帯電
を除電し、その効果を確認したものである。 Example 3 In this example, the charging of the cooling can 5 and the guide rolls 6 and 7 was eliminated, and the effect was confirmed.
【００４０】蒸着装置の構造は、実施例１の場合と同様
であるが、図４に示すように、冷却キャン５の回転軸５
ａに両端を固定し、片側接地した導電性金属フィルム２
２を接触させることにより、冷却キャン５にたまった電
荷を取り除くようにした。なお、この際、導電性金属フ
ィルム２２の張力は、回転軸５ａに対する摩擦が適度な
ものとなるように調整する必要がある。The structure of the vapor deposition device is the same as that of the first embodiment, but as shown in FIG. 4, the rotating shaft 5 of the cooling can 5 is rotated.
Conductive metal film 2 with both ends fixed to a and grounded on one side
By bringing 2 into contact with each other, the electric charge accumulated in the cooling can 5 is removed. At this time, the tension of the conductive metal film 22 needs to be adjusted so that the friction with respect to the rotating shaft 5a becomes appropriate.
【００４１】あるいは、図５に示すように、冷却キャン
５にアースされた金属ブラシ２３を直接接触させること
で除電するようにしてもよい。ガイドロール６、７にお
いても、同様の方法で除電する。Alternatively, as shown in FIG. 5, the metal brush 23 grounded to the cooling can 5 may be brought into direct contact with the cooling can 5 to eliminate the charge. Also in the guide rolls 6 and 7, the charge is removed by the same method.
【００４２】金属ブラシ２３により冷却キャン５の帯電
を除去しながら先の実施例１と同様のサンプルテープを
作製した。得られたサンプルテープについて、幅方向で
の電磁変換特性のバラツキ及び当たり波形の測定を行っ
た。当たり波形の観察は、オシロスコープにより行い、
ＲＦ波形でのケバ立ちや波形ひずみ等を考慮して判断し
た。結果を表３に示す。なお、表３には、冷却キャン５
を除電しない場合を比較例３として結果を併せて記載し
た。A sample tape similar to that of the above-described Example 1 was prepared while removing the charge on the cooling can 5 with the metal brush 23. With respect to the obtained sample tape, the variation of the electromagnetic conversion characteristics in the width direction and the hit waveform were measured. The observation of the hit waveform is done with an oscilloscope,
The judgment was made in consideration of fluffing and waveform distortion in the RF waveform. The results are shown in Table 3. In Table 3, the cooling can 5
The results are also shown as Comparative Example 3 in which no charge was removed.
【００４３】[0043]
【表３】 [Table 3]
【００４４】表３を見ると、冷却キャン５の除電が電磁
変換特性のバラツキや当たり波形の改善に有効であるこ
とがわかる。なお、導電性金属フィルムを用いた場合に
も同様の効果が得られた。From Table 3, it can be seen that static elimination of the cooling can 5 is effective in improving the variation of electromagnetic conversion characteristics and the hit waveform. The same effect was obtained when a conductive metal film was used.
【００４５】[0045]
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明においては、蒸着前に予めベースフィルムをチャージ
アップしているので、冷却キャンとの密着度を良好なも
のとすることができ、ベースフィルムの熱負けを防止
し、ドロップアウトの発生を抑制することが可能であ
る。As is apparent from the above description, in the present invention, since the base film is precharged before vapor deposition, the adhesion with the cooling can can be improved. It is possible to prevent heat loss of the base film and suppress the occurrence of dropout.
【００４６】また、本発明の第２、第３の発明において
は、蒸着後のベースフィルムをディスチャージし、ある
いは冷却キャンやガイドロールを除電しているので、静
電気による貼り付きを解消することができ、フィルム幅
方向での形状を良好なものとすることが可能である。し
たがって、幅方向での電磁変換特性や当たり波形が良好
なものとなる。さらには、後工程での歩留が良くなり、
生産性が向上する。Further, in the second and third aspects of the present invention, since the base film after vapor deposition is discharged, or the cooling can and the guide roll are discharged, the sticking due to static electricity can be eliminated. It is possible to improve the shape in the film width direction. Therefore, the electromagnetic conversion characteristics and the hitting waveform in the width direction are good. Furthermore, the yield in the post process is improved,
Productivity is improved.
【図１】蒸着装置の一例を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing an example of a vapor deposition device.
【図２】蒸着装置の他の例を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic view showing another example of a vapor deposition device.
【図３】静電気の測定方法を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing a method of measuring static electricity.
【図４】導電性金属フィルムによる除電方法を示す模式
図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a method of removing electricity by using a conductive metal film.
【図５】金属ブラシによる除電方法を示す模式図であ
る。FIG. 5 is a schematic diagram showing a method of removing electricity with a metal brush.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 研一 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 山田 ゆかり 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 武田 勉 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 千葉 一信 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Kenichi Sato, 6-735 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation (72) Yukari Yamada 6-7-35, Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation (72) Inventor Tsutomu Takeda 6-735 Kitashinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation (72) Inventor Isshin Chiba 6-735 Kitashinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony -Inside the corporation
Claims (7)
走行せしめ、該ベースフィルム上に強磁性金属薄膜を蒸
着する磁気記録媒体の製造方法において、 前記強磁性金属薄膜の蒸着前にベースフィルムに電荷を
供給することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。1. A method for manufacturing a magnetic recording medium, comprising: running a base film along a cooling can; and depositing a ferromagnetic metal thin film on the base film, wherein a charge is applied to the base film before depositing the ferromagnetic metal thin film. A method of manufacturing a magnetic recording medium, comprising:
入し、直流高電圧を印加してベースフィルムに電荷を供
給することを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体の
製造方法。2. The method for producing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein a carrier gas is introduced in the vicinity of the base film, and a direct current high voltage is applied to supply an electric charge to the base film.
走行せしめ、該ベースフィルム上に強磁性金属薄膜を蒸
着する磁気記録媒体の製造方法において、 前記強磁性金属薄膜の蒸着後、冷却キャンの出口側にお
いてベースフィルムをディスチャージすることを特徴と
する磁気記録媒体の製造方法。3. A method of manufacturing a magnetic recording medium, comprising: running a base film along a cooling can; and depositing a ferromagnetic metal thin film on the base film. After the ferromagnetic metal thin film is deposited, the exit of the cooling can. A method of manufacturing a magnetic recording medium, wherein the base film is discharged on the side.
入し、直流高電圧を印加してベースフィルムに帯電電荷
と逆極性の電荷を供給することを特徴とする請求項３記
載の磁気記録媒体の製造方法。4. A magnetic recording medium according to claim 3, wherein a carrier gas is introduced in the vicinity of the base film and a high DC voltage is applied to supply a charge having a polarity opposite to that of the charged charges to the base film. Method.
キャンに沿わせて走行せしめ、該ベースフィルム上に強
磁性金属薄膜を蒸着する磁気記録媒体の製造方法におい
て、 前記キャン及び／又はガイドロールの帯電電荷を除電す
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。5. A method of manufacturing a magnetic recording medium, comprising: running a base film along a can via a guide roll, and depositing a ferromagnetic metal thin film on the base film; charging the can and / or the guide roll. A method for manufacturing a magnetic recording medium, which comprises removing charges.
動軸に片側接地した金属フィルムを接触させて除電する
ことを特徴とする請求項５記載の磁気記録媒体の製造方
法。6. The method for producing a magnetic recording medium according to claim 5, wherein the cooling can and / or the rotating shaft of the guide roll is contacted with a metal film grounded on one side to remove electricity.
地した金属ブラシを接触させて除電することを特徴とす
る請求項５記載の磁気記録媒体の製造方法。7. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 5, wherein the cooling can and / or the guide roll is brought into contact with a grounded metal brush to remove the charge.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23902492A JPH0668464A (en) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | Production of magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23902492A JPH0668464A (en) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | Production of magnetic recording medium |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0668464A true JPH0668464A (en) | 1994-03-11 |
Family
ID=17038753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23902492A Pending JPH0668464A (en) | 1992-08-14 | 1992-08-14 | Production of magnetic recording medium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0668464A (en) |
-
1992
- 1992-08-14 JP JP23902492A patent/JPH0668464A/en active Pending
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