JPH066794A - Picture fetching device - Google Patents
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- JPH066794A JPH066794A JP4182915A JP18291592A JPH066794A JP H066794 A JPH066794 A JP H066794A JP 4182915 A JP4182915 A JP 4182915A JP 18291592 A JP18291592 A JP 18291592A JP H066794 A JPH066794 A JP H066794A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、測定対象を撮像して画
像データを取込む画像取込み装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an image capturing device for capturing an image of a measurement object and capturing image data.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近時、ＩＣ基板などの測定（検査）対象
を目視によらなくパターン認識により検査するようにし
た自動化検査が盛んである。これは周知のように、ＣＣ
Ｄセンサ等の撮像素子で検査対象を撮像して、得られた
画像に画像処理を施すことでパターン認識を行うもので
あり、パターン認識のための画像データを取込む画像取
込みの技術に関して、例えば特開平２−１７９４０５号
などの公報に見られるように、検査対象と撮像素子との
相対関係を微小移動により適宜に変更して移動毎に画像
を取込み、それらを合成することにより撮像素子それ自
体で制限された以上の分解能を得るようにした技術が提
案されている。2. Description of the Related Art Recently, an automated inspection has been popular in which an object to be measured (inspected) such as an IC substrate is inspected by pattern recognition instead of visually. As is well known, CC
Pattern recognition is performed by capturing an image of an inspection target with an image sensor such as a D sensor and performing image processing on the obtained image. For example, regarding an image capturing technique for capturing image data for pattern recognition, As disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-179405 and the like, the relative relationship between the inspection object and the image pickup device is appropriately changed by a minute movement, an image is captured for each movement, and the images are combined to synthesize the image pickup device itself. There is proposed a technique for obtaining a resolution higher than that limited by.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、そうし
た画像の取込みでは、分解能の向上には微小移動をそれ
相応に繰返す必要があり、そのため画像の取込みに時間
がかかり処理速度の面で不利があった。However, in capturing such an image, it is necessary to repeat minute movements accordingly in order to improve the resolution, which takes time to capture the image and is disadvantageous in terms of processing speed. .
【０００４】また、自動化検査のためのパターン認識で
は、低分解能であっても充分なこともあり、必ずしも高
分解能が求められるわけではなく、必要過多であっては
むだがあり好ましくない。In pattern recognition for automated inspection, a low resolution may be sufficient, and a high resolution is not always required, and it is unnecessarily unnecessarily preferable.
【０００５】本発明は前記の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、取込み画像についての分解能を高
・低適宜に変更することができ、処理速度の面でも有利
性がある画像取込み装置を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to change the resolution of a captured image to high or low as appropriate, which is advantageous in terms of processing speed. To provide a device.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明は、測定対象を撮像して画像データを取込むもの
であって、二次元画素の一方向を標準の倍画素数とした
撮像手段と、上記撮像手段で撮えた画像データを記憶す
る画像記憶手段と、上記撮像手段の倍画素数方向につい
てサンプリング数を半減させる切替え手段とを備えたこ
とを特徴とする。In order to achieve the above-mentioned object, the present invention is directed to capturing an image of a measurement object and capturing image data, and capturing an image in which one direction of a two-dimensional pixel is a standard number of double pixels. Means, image storage means for storing image data taken by the imaging means, and switching means for halving the sampling number in the direction of the number of double pixels of the imaging means.
【０００７】また本発明は、測定対象を撮像して画像デ
ータを取込むものであって、二次元画素の一方向を標準
の倍画素数とした撮像手段と、上記撮像手段で撮えた画
像データを記憶する画像記憶手段と、上記撮像手段と上
記測定対象との相対関係を標準画素数方向について半画
素幅だけ移動させる駆動手段とを備えたことを特徴とす
る。According to the present invention, an image of an object to be measured is picked up and image data is taken in. The image pickup means has a standard number of double pixels in one direction of two-dimensional pixels, and the image data taken by the image pickup means. And an image storage means for storing, and a drive means for moving the relative relationship between the imaging means and the measurement object by a half pixel width in the standard pixel number direction.
【０００８】[0008]
【作用】本発明の作用について述べると、画像取込み装
置としては、切替え手段によって撮像手段の倍画素数方
向についてサンプリング数を半減させる切替えが行われ
ることから、サンプリング数を半減時には画像記憶手段
へ取込まれる画像データが半減し、そのため分解能は標
準的なものとなる。一方、駆動手段の駆動により撮像手
段が標準画素数方向について半画素幅だけ移動され、半
画素幅シフトした状態でも画像データが取込まれるの
で、標準画素数方向について二倍にでき、その結果、分
解能は標準時の二倍となる。The operation of the present invention will be described. In the image capturing device, the switching means switches the sampling number in half in the direction of the number of pixels of the image pickup means. The image data to be incorporated is halved, so the resolution becomes standard. On the other hand, the driving of the driving unit moves the image pickup unit by the half pixel width in the standard pixel number direction, and the image data is captured even in the state of being shifted by the half pixel width, so that the standard pixel number direction can be doubled. The resolution is twice that of standard time.
【０００９】[0009]
【実施例】以下、本発明の実施例につき、添付図面を参
照して説明する。図１は、本発明にかかる画像取込み装
置の好適な一実施例を示す構成図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a preferred embodiment of an image capturing apparatus according to the present invention.
【００１０】この画像取込み装置は、測定対象としての
検査対象１を撮像してパターン認識のための画像データ
を取込むものであって、検査対象１を撮像するビデオカ
メラ２と、そのビデオカメラ２で撮えた画像データを記
憶する画像メモリ３と、画像データについてサンプリン
グ数の切替えを行うセレクタ４と、画像メモリ３から画
像データの読み出しを行うマルチプレクサ５と、ビデオ
カメラ２を所定方向へ微小移動させるリニアテーブル６
などを備えて構成されている。尚、本例では検査対象１
としては、基板上にハンダ付けされたＩＣが用いられ、
そのハンダ付けの良・不良を検査するようになっている
が、これに限られないのはもちろんである。This image capturing device captures an image of an inspection target 1 as a measurement target and captures image data for pattern recognition. The video camera 2 captures the inspection target 1 and the video camera 2 thereof. The image memory 3 for storing the image data taken by the above, the selector 4 for switching the number of samplings of the image data, the multiplexer 5 for reading the image data from the image memory 3, and the video camera 2 are slightly moved in a predetermined direction. Linear table 6
And so on. In this example, the inspection target 1
As for, an IC soldered on the substrate is used,
It is designed to inspect whether the soldering is good or bad, but it is not limited to this.
【００１１】ビデオカメラ２には、レンズの結像面に二
次元画素の撮像素子２０が配設されている。この撮像素
子２０は、本実施例ではＣＣＤセンサであり、二次元画
素について、垂直方向は標準ＴＶ方式に準拠した画素数
（４８０）に設定されているが、水平方向は標準の倍の
画素数（１０２４）に設定されている。そして、本例に
用いるＣＣＤとしては、少なくとも４０万画素以上のも
のを用いている。The video camera 2 is provided with an image pickup device 20 of two-dimensional pixels on the image forming surface of the lens. The image sensor 20 is a CCD sensor in this embodiment, and the number of pixels in the vertical direction is set to the number of pixels (480) conforming to the standard TV system for the two-dimensional pixels, but the number of pixels in the horizontal direction is double the standard number. It is set to (1024). The CCD used in this example has at least 400,000 pixels.
【００１２】画像メモリ３は、四枚の画像メモリ３ａ〜
３ｄを備えるものであって、各画像メモリ３ａ〜３ｄは
水平・垂直のアドレス構成を５１２×４８０に設定され
ていて、全体として１０２４×９６０となっている。こ
の画像メモリ３には、セレクタ４およびマルチプレクサ
５が接続されており、ビデオカメラ２で撮えた画像がセ
レクタ４へ送られて、これを介して画像メモリ３へ取込
まれるようになっている。そして、画像メモリ３へ取込
まれた画像データは、マルチプレクサ５から順次に読み
出されるようになっており、図示しない後段のパターン
認識部へ送り込まれる。尚、この画像メモリ３ａ，３ｂ
には偶数番目の走査線についてのデータが記憶され、画
像メモリ３ｃ，３ｄには奇数番目の走査線についてのデ
ータが記憶されているため、マルチプレクサ５で読み出
す際にそれらが適宜合成されるようになる。The image memory 3 includes four image memories 3a ...
Each of the image memories 3a to 3d has a horizontal / vertical address structure set to 512 × 480, and has a total size of 1024 × 960. A selector 4 and a multiplexer 5 are connected to the image memory 3, and an image taken by the video camera 2 is sent to the selector 4 and is taken into the image memory 3 via the image. Then, the image data taken into the image memory 3 is sequentially read from the multiplexer 5 and sent to a pattern recognition unit at a subsequent stage (not shown). The image memories 3a and 3b
Since the data for the even-numbered scanning lines is stored in, and the data for the odd-numbered scanning lines is stored in the image memories 3c and 3d, the data can be appropriately combined when read by the multiplexer 5. Become.
【００１３】また、ビデオカメラ２はリニアテーブル６
へマウントされていて、撮像素子２０の垂直方向につい
て微小移動されるようになっており、撮像素子２０と検
査対象１との相対関係を、標準画素数方向について半画
素幅だけ移動させることができるように構成されてい
る。なお、この微小移動のための機構は、例えば図２に
示すように、ビデオカメラ内部に設けた圧電アクチェー
タ７により撮像素子２０を駆動するようにした構成でも
よい。あるいは、検査対象１を微小移動させるようにし
てもよい。The video camera 2 has a linear table 6
Is mounted on the image pickup device 20 and is slightly moved in the vertical direction of the image pickup device 20, and the relative relationship between the image pickup device 20 and the inspection target 1 can be moved by a half pixel width in the standard pixel number direction. Is configured. The mechanism for this minute movement may be configured to drive the image pickup device 20 by the piezoelectric actuator 7 provided inside the video camera as shown in FIG. 2, for example. Alternatively, the inspection target 1 may be slightly moved.
【００１４】セレクタ４は、高低２つのサンプリング周
波数を備え、その周波数を切り替えることにより撮像素
子２０の倍画素数方向（水平方向）についてのサンプリ
ング数を半減させる切替えを行うものであり、サンプリ
ング数の半減時には、ビデオカメラ２で撮えた画像デー
タを画像メモリ３ａに取込むようになっている。この場
合、画像データは、５１２×４８０画素となるので標準
ＴＶ方式に準拠したものとなり、標準的な分解能が得ら
れる。The selector 4 has two sampling frequencies, high and low, and switches the frequencies so as to halve the sampling number in the direction of the number of pixels of the image pickup device 20 (horizontal direction). When halving, the image data taken by the video camera 2 is taken into the image memory 3a. In this case, since the image data has 512 × 480 pixels, it conforms to the standard TV system, and standard resolution can be obtained.
【００１５】一方、撮像素子２０の水平画素数に対応し
た所定のサンプリング数のときには、まず、ビデオカメ
ラ２で撮えた画像データを画像メモリ３ａおよび３ｂと
に取込み、この後、リニアテーブル６を起動してビデオ
カメラ２を微小移動し、すなわち撮像素子２０を標準画
素数方向について半画素幅だけ移動するものであり、半
画素幅シフトした状態のビデオカメラ２で撮えた画像デ
ータを画像メモリ３ｃおよび３ｄとに取込むようになっ
ている。したがってこの場合、画像データは１０２４×
９６０画素となり、標準時の二倍の分解能が得られる。
尚、このサンプリング（周波）数の切り替えは、図示省
略するスイッチにより人間が手動にて行うようにしても
良く、或いは解像度が悪いことを検知し、自動的に切り
替えるようにしても良い。On the other hand, when the number of samplings corresponds to the number of horizontal pixels of the image pickup device 20, first, the image data taken by the video camera 2 is taken into the image memories 3a and 3b, and then the linear table 6 is started. Then, the video camera 2 is slightly moved, that is, the image sensor 20 is moved by a half pixel width in the standard pixel number direction, and the image data taken by the video camera 2 in the half pixel width shifted state is stored in the image memory 3c and the image memory 3c. It is designed to be included in 3d. Therefore, in this case, the image data is 1024 ×
With 960 pixels, a resolution twice as high as the standard time can be obtained.
The number of samplings (frequency) may be switched manually by a person using a switch (not shown), or may be automatically switched after detecting that the resolution is poor.
【００１６】このように、セレクタ４によって撮像素子
２０の倍画素数方向についてサンプリング数を半減させ
る切替えが行われることから、サンプリング数を半減時
には画像メモリ３へ取込まれる画像データが半減し、そ
のため分解能は標準的なものとなる。一方、リニアテー
ブル６の駆動により撮像素子２０が標準画素数方向につ
いて半画素幅だけ移動され、半画素幅シフトした状態で
も画像データが取込まれるので、標準画素数方向につい
て二倍にでき、その結果、分解能は標準時の二倍とな
る。したがって、取込み画像についての分解能を高・低
適宜に変更することができ、自動化検査のためのパター
ン認識に際して使い分けでき、合理的と言える。また、
分解能の向上には一回の微小移動で済み、そのため処理
速度の面でも有利性がある。As described above, since the selector 4 switches the sampling number by half in the direction of the double pixel number of the image sensor 20, the image data taken into the image memory 3 is reduced by half when the sampling number is reduced by half, and therefore the sampling number is reduced by half. The resolution will be standard. On the other hand, by driving the linear table 6, the image pickup device 20 is moved by a half pixel width in the standard pixel number direction, and the image data is taken in even in the state of being shifted by the half pixel width, so that it can be doubled in the standard pixel number direction. As a result, the resolution is double that of standard time. Therefore, the resolution of the captured image can be changed appropriately between high and low, and it can be said that it is rational because it can be selectively used in pattern recognition for automated inspection. Also,
Only one minute movement is required to improve the resolution, which is advantageous in terms of processing speed.
【００１７】また、上記した実施例ではその分解能は高
・低の２種類を切り替えるようにしたが、例えばリニア
テーブル６等のビデオカメラを移動させる機能を省略
し、水平方向に対する分解能の切り替えのみをするよう
にしたり、更には、それらを適宜組合わせ実施、すなわ
ち、上記した実施例の装置を用い、実施例に示す高・低
２種類の分解能に加え、水平方向のみ高分解能（垂直方
向は低分解能）という中間の分解能を設けることもでき
る。In the above embodiment, the resolution is switched between high and low, but the function of moving the video camera such as the linear table 6 is omitted, and only the resolution is switched in the horizontal direction. In addition to the two types of high and low resolutions shown in the embodiment, a high resolution can be obtained only in the horizontal direction (a low resolution in the vertical direction) by using the apparatus of the above-described embodiment. It is also possible to provide an intermediate resolution called "resolution".
【００１８】[0018]
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明にか
かる画像取込み装置によれば、切替え手段によって撮像
手段の倍画素数方向についてサンプリング数を半減させ
る切替えが行われることから、サンプリング数を半減時
には画像記憶手段へ取込まれる画像データが半減し、そ
のため分解能は標準的なものとなり、その一方、駆動手
段の駆動により撮像手段が標準画素数方向について半画
素幅だけ移動され、半画素幅シフトした状態でも画像デ
ータが取込まれるので、標準画素数方向について二倍に
でき、その結果、分解能は標準時の二倍となる。したが
って、取込み画像についての分解能を高・低適宜に変更
することができ、自動化検査のためのパターン認識に際
して使い分けでき、合理的と言える。また、分解能の向
上には一回の微小移動で済み、そのため処理速度の面で
も有利性がある。As described in detail above, according to the image capturing apparatus of the present invention, since the switching means switches the sampling number in half in the direction of the number of pixels of the image pickup means, the sampling number is changed. When it is halved, the image data taken into the image storage means is halved, and therefore the resolution becomes standard. On the other hand, the driving of the drive means moves the image pickup means by a half pixel width in the direction of the standard number of pixels, resulting in a half pixel width. Since the image data is taken in even in the shifted state, it can be doubled in the standard pixel number direction, and as a result, the resolution is double that in the standard time. Therefore, the resolution of the captured image can be changed appropriately between high and low, and it can be said that it is rational because it can be selectively used in pattern recognition for automated inspection. Further, a single minute movement is required to improve the resolution, which is also advantageous in terms of processing speed.
【図１】本発明の一実施例を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of the present invention.
【図２】微小移動のための機構の他例を例示した斜視図
である。FIG. 2 is a perspective view illustrating another example of a mechanism for minute movement.
【図３】作用を説明するためのフローチャート図であ
る。FIG. 3 is a flowchart for explaining the operation.
１ 検査対象 ３ 画像メモリ（画像記憶手段） ４ セレクタ（切替え手段） ６ リニアテーブル（駆動手段） ２０ 撮像素子（撮像手段） 1 Inspection Target 3 Image Memory (Image Storage Means) 4 Selector (Switching Means) 6 Linear Table (Drive Means) 20 Imaging Device (Imaging Means)
Claims (2)
ものであって、二次元画素の一方向を標準の倍画素数以
上とした撮像手段と、上記撮像手段で撮えた画像データ
を記憶する画像記憶手段と、上記撮像手段の倍画素数方
向についてサンプリング数を半減させる切替え手段とを
備えたことを特徴とする画像取込み装置。1. An image pickup device for picking up an image of an object to be measured and capturing image data, wherein an image pickup device having one direction of a two-dimensional pixel equal to or larger than a standard number of pixels, and image data taken by the image pickup device are stored. And an image capturing device for switching the number of samplings by half in the direction of the number of double pixels of the image capturing device.
ものであって、二次元画素の一方向を標準の倍画素数と
した撮像手段と、上記撮像手段で撮えた画像データを記
憶する画像記憶手段と、上記撮像手段と上記測定対象と
の相対関係を標準画素数方向について半画素幅だけ移動
させる駆動手段とを備えたことを特徴とする画像取込み
装置。2. An image pickup device for picking up an image of an object to be measured and taking in image data, wherein image pickup means having a standard number of double pixels in one direction of a two-dimensional pixel and image data taken by said image pickup means are stored. An image capturing device comprising: an image storage means; and a drive means for moving a relative relationship between the image pickup means and the measurement target by a half pixel width in a standard pixel number direction.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4182915A JPH066794A (en) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | Picture fetching device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4182915A JPH066794A (en) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | Picture fetching device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH066794A true JPH066794A (en) | 1994-01-14 |
Family
ID=16126614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4182915A Withdrawn JPH066794A (en) | 1992-06-18 | 1992-06-18 | Picture fetching device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH066794A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010000122A1 (en) | 2009-01-20 | 2010-07-29 | CKD Corporation, Komaki-shi | Device for three-dimensional measuring |
-
1992
- 1992-06-18 JP JP4182915A patent/JPH066794A/en not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010000122A1 (en) | 2009-01-20 | 2010-07-29 | CKD Corporation, Komaki-shi | Device for three-dimensional measuring |
| JP2010169433A (en) * | 2009-01-20 | 2010-08-05 | Ckd Corp | Three-dimensional measuring device |
| US8224070B2 (en) | 2009-01-20 | 2012-07-17 | Ckd Corporation | Three-dimensional measuring device |
| DE102010000122B4 (en) * | 2009-01-20 | 2014-05-22 | Ckd Corporation | Device for three-dimensional measuring |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990831 |