JPH0665617A - Apparatus for production of powder - Google Patents
Apparatus for production of powderInfo
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- JPH0665617A JPH0665617A JP21940392A JP21940392A JPH0665617A JP H0665617 A JPH0665617 A JP H0665617A JP 21940392 A JP21940392 A JP 21940392A JP 21940392 A JP21940392 A JP 21940392A JP H0665617 A JPH0665617 A JP H0665617A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、合金を含む各種金属や
金属間化合物の微粉末を製造するための回転ディスク型
粉末製造装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotary disk type powder production apparatus for producing fine powders of various metals including alloys and intermetallic compounds.
【０００２】[0002]
【従来の技術】各種金属や金属間化合物の微粉末を製造
する手段として、回転ディスク法が周知である。回転デ
ィスク法は、高速回転するディスク上に金属または金属
間化合物の溶湯を滴下し、飛び散る飛沫を冷却して粉末
を得る方法であり、チタン合金や金属間化合物など高融
点材料の粉末製造にも適用できる利点を有する。2. Description of the Related Art The rotating disk method is well known as a means for producing fine powders of various metals and intermetallic compounds. The rotating disk method is a method in which a molten metal or an intermetallic compound is dropped on a disk that rotates at a high speed, and the splashed droplets are cooled to obtain a powder, which is also used for producing a powder of a high melting point material such as a titanium alloy or an intermetallic compound. It has the advantage of being applicable.
【０００３】回転ディスク法を応用した装置としては、
従来より、 回転する金属製ディスクと、これに対向して配置さ
れた粉末化材料との間で放電することにより粉末化材料
を溶解し、生じた溶湯を回転ディスク上に滴下させて粉
末化する方法、 水冷される銅ディスク上に溶湯を滴下して粉末化す
る遠心アトマイズ法、などが公知である。As an apparatus to which the rotating disk method is applied,
Conventionally, the powdered material is melted by discharging between the rotating metal disk and the powdered material placed facing it, and the resulting molten metal is dripped onto the rotary disk to be powdered. Known methods include a centrifugal atomization method in which a molten metal is dropped on a water-cooled copper disk to be powdered.
【０００４】また、更なる改良案として、特開昭６３−
２３０８０７号公報には、ディスク表面積の１／１０を
粉末化すべき材料と同一材料で構成することにより粉末
の純度低下を防ぐ方法、特開昭５８−９１１０１号公報
にはセラミックス製の回転ディスクを用いるとともに被
粉末化材料の加熱とは別個の熱源を用いてディスク表面
を加熱する方法、特開昭５９−１３３３０２号公報およ
び特開昭５９−１３３３０３号公報には、製造すべき粉
末組成に近い材料で回転ディスクを形成する方法がそれ
ぞれ記載されている。As a further improvement plan, Japanese Patent Laid-Open No. 63-
No. 230807 discloses a method of preventing a decrease in the purity of powder by forming 1/10 of the surface area of the disk with the same material as the material to be powdered, and Japanese Patent Laid-Open No. 58-91101 uses a rotating disk made of ceramics. In addition, a method of heating the disk surface using a heat source different from the heating of the material to be powdered, JP-A-59-133302 and JP-A-59-133303, describes a material having a powder composition close to that to be produced. Each method of forming a rotating disk is described in.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】ところで、回転ディス
クを水冷銅で形成した装置では、冷却された回転ディス
クの表面に粉末化材料が付着してスカルが発生し、この
スカルがある程度蓄積したのちその一部が飛散して回転
ディスクの重心が偏心し、回転バランスが悪化して装置
が破損したり、スカル量の増加による粉末製造の歩留ま
りが低下するなどの問題があった。By the way, in the apparatus in which the rotary disk is formed of water-cooled copper, the powdered material adheres to the surface of the cooled rotary disk to generate a skull, and after the skull is accumulated to some extent, There is a problem in that the center of gravity of the rotating disk is eccentric due to scattering of a part of the rotating disk, the rotational balance is deteriorated, the device is damaged, and the yield of powder production is reduced due to an increase in the amount of skull.
【０００６】また、セラミックス製の回転ディスクを用
いた装置では、ディスクを構成するセラミックスが摩耗
または剥離して粉末中へ混入したり、金属溶湯との接触
によりディスクが熱破壊するなどの問題が発生し易い。
また、セラミックス製ディスクの表面を加熱するには、
前述のように材料溶解とは別系統の加熱手段を設置しな
ければならず、設備コストがかかるという問題を有して
いた。Further, in an apparatus using a rotating disk made of ceramics, there arises a problem that the ceramics constituting the disk is worn or peeled and mixed into the powder, or the disk is thermally destroyed by contact with molten metal. Easy to do.
To heat the surface of the ceramic disc,
As described above, there is a problem that equipment cost is required because a heating means of a system different from that for material melting must be installed.
【０００７】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、ディスクから粉末への異物混入がなく、ディスク上
のスカル蓄積を防止でき、しかもディスク加熱のための
別電源が不要な粉末製造装置を提供することを課題とし
ている。The present invention has been made in view of the above circumstances and provides a powder manufacturing apparatus capable of preventing the accumulation of foreign matter from the disk into the powder, preventing the accumulation of skull on the disk, and requiring no separate power source for heating the disk. The challenge is to provide.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明に係る粉末製造装
置は、少なくとも表面部が製造すべき粉末と同材質で形
成された回転ディスクと、この回転ディスクを軸心回り
に回転させるディスク回転機構と、前記回転ディスクの
表面部と対向して配置された陰極と、この陰極を位置調
整可能に支持する陰極位置調整機構と、前記陰極と前記
回転ディスクとを結ぶ仮想線内にその先端を突入可能か
つ前記仮想線から後退可能に設けられた消耗陽極と、こ
の消耗陽極を進退させる消耗陽極進退機構と、前記陽極
にその陽極が接続されるとともに、前記消耗陰極および
前記回転ディスクにその陰極が接続されたプラズマ電源
とを具備したことを特徴とする。A powder manufacturing apparatus according to the present invention comprises a rotating disk having at least a surface portion made of the same material as the powder to be manufactured, and a disk rotating mechanism for rotating the rotating disk around its axis. A cathode arranged to face the surface of the rotating disk, a cathode position adjusting mechanism for supporting the cathode in a positionally adjustable manner, and a tip of the cathode protruding into an imaginary line connecting the cathode and the rotating disk. Possible and retractable from the imaginary line, a consumable anode advancing / retreating mechanism for advancing / retreating the consumable anode, the anode is connected to the anode, and the consumable cathode and the cathode are provided on the rotating disk. And a connected plasma power source.
【０００９】なお、前記回転ディスク上に付着するスカ
ルの厚さを検出するスカル厚測定センサーと、このスカ
ル量測定センサーからの出力信号が規定値を越えた場合
に前記消耗陽極進退機構を作動させ前記消耗陽極を後退
させて回転ディスクへの通電量を増加させる制御機構と
をさらに具備していてもよい。A skull thickness measuring sensor for detecting the thickness of the skull attached to the rotating disk, and the consumable anode advancing / retreating mechanism is operated when the output signal from the skull amount measuring sensor exceeds a specified value. A control mechanism for retracting the consumable anode to increase the amount of electricity to the rotating disk may be further provided.
【００１０】[0010]
【作用】本発明の粉末製造装置では、消耗陽極の位置を
制御することにより、陰極と消耗陽極、および陰極と回
転ディスク間の電流分配率を調整する。この調整によ
り、回転ディスク上にスカルが蓄積した場合には消耗陽
極を後退させ、回転ディスクへの電流分配率を増して固
着したスカルを再溶解させ、これを粉末化することが可
能であるから、粉末の収率が向上できるとともに、スカ
ル蓄積および一部脱落に起因する回転ディスクの回転バ
ランス悪化を防ぐことができ、長期に亙って安定して微
粉末を製造することができる。In the powder manufacturing apparatus of the present invention, the current distribution ratio between the cathode and the consumable anode and between the cathode and the rotating disk is adjusted by controlling the position of the consumable anode. By this adjustment, when the skull accumulates on the rotating disk, the consumable anode can be retracted, the current distribution ratio to the rotating disk can be increased, and the stuck skull can be redissolved and powdered. In addition, the powder yield can be improved, and the deterioration of the rotational balance of the rotary disk due to skull accumulation and partial dropout can be prevented, and the fine powder can be manufactured stably over a long period of time.
【００１１】また、回転ディスクの表層部を粉末化材料
と同一の材質で形成することにより、回転ディスク材料
の混入による粉末の純度低下が防止できるうえ、溶湯お
よび同一材料で形成された回転ディスクは濡れ性が良い
ため、溶湯が回転ディスク上に均一に広がり、粒度が揃
った粉末が製造可能である。Further, by forming the surface layer portion of the rotary disc with the same material as the powdered material, it is possible to prevent the purity of the powder from being deteriorated due to the mixing of the rotary disc material, and the molten metal and the rotary disc made of the same material can be used. Since the wettability is good, the molten metal spreads evenly on the rotating disk, and it is possible to manufacture a powder having a uniform particle size.
【００１２】[0012]
【実施例】図１および図２はいずれも本発明に係る粉末
製造装置の一実施例を示し、図１はその電極加熱系の構
成、図２は消耗陽極の位置制御系の構成をそれぞれ示す
ブロック図である。1 and 2 show an embodiment of the powder manufacturing apparatus according to the present invention, FIG. 1 shows the structure of the electrode heating system, and FIG. 2 shows the structure of the position control system of the consumable anode. It is a block diagram.
【００１３】図中符号１は水平に配置された円盤または
円柱状の回転ディスクであり、その周囲は、粉末を受け
とめるための容器に包囲されている。回転ディスク１
は、少なくとも、溶湯と接触するその表層部が製造すべ
き粉末と同材質で形成されており、モーター２によって
高速回転される。回転ディスク１の上面と対向して、Ｔ
ａ等の高融点金属からなる棒状の陰極４が下向きかつ同
軸に配置され、プラズマ電源１２の陰極に接続されてい
る。この陰極４は、電源電圧や溶解条件の変化などに対
応するため、位置制御機構６により上下および水平方向
へ位置調整可能に支持されている。In the figure, reference numeral 1 is a horizontally arranged disk or cylindrical rotating disk, the circumference of which is surrounded by a container for receiving the powder. Rotating disc 1
Is formed of at least the same material as the powder to be produced in the surface layer portion that comes into contact with the molten metal, and is rotated at high speed by the motor 2. Facing the upper surface of the rotating disk 1, T
A rod-shaped cathode 4 made of a refractory metal such as a is arranged downward and coaxially, and is connected to the cathode of the plasma power supply 12. The cathode 4 is supported by the position control mechanism 6 so as to be adjustable in the vertical and horizontal directions in order to respond to changes in the power supply voltage and melting conditions.
【００１４】符号８は、粉末化すべき材料で形成された
棒状の消耗陽極であり、回転ディスク１と陰極４とを結
ぶ仮想線内に、その先端を斜め下方へ向けて突入可能か
つ前記仮想線から後退可能に設けられており、消耗陽極
進退機構１０により進退駆動される。消耗電極進退機構
１０としては、例えば図２に示すように傾斜面に沿って
前進後退可能な台車およびこの台車を進退させる駆動系
を有する機構などが使用可能である。Reference numeral 8 is a rod-shaped consumable anode made of a material to be pulverized, and its tip can be slid into the imaginary line connecting the rotating disk 1 and the cathode 4 with the imaginary line. The consumable anode advancing / retracting mechanism 10 advances and retreats. As the consumable electrode advancing / retreating mechanism 10, for example, as shown in FIG. 2, a carriage capable of advancing / retreating along an inclined surface and a mechanism having a drive system for advancing / retreating the carriage can be used.
【００１５】消耗陽極８および回転ディスク１は、共に
陰極４の外周に同軸に配置されたコイル１４を介してプ
ラズマ電源１２の陽極に接続されており、互いに同電位
とされている。コイル１４はプラズマを集束する作用を
果たす。The consumable anode 8 and the rotating disk 1 are both connected to the anode of the plasma power source 12 via a coil 14 coaxially arranged on the outer circumference of the cathode 4 and have the same electric potential. The coil 14 serves to focus the plasma.
【００１６】一方、回転ディスク１の上面と対向して、
スカル厚測定センサー１６が配置されている。このスカ
ル厚測定センサー１６としては、例えばレーザーセンサ
ー等が使用可能であり、レーザー光をスカルに照射して
その反射光を検出することにより、センサー１６とスカ
ル表面との距離を測定しその値からスカルの厚さを検出
する。スカル厚測定センサー１６としては他の形式のセ
ンサーも使用可能であり、例えば回転ディスク１と、対
向配置した電極との間の静電容量を検出する静電容量
式、スカルによる磁界変化を検出する磁気式、回転ディ
スク１の重量または回転モーメントを検出する重量検出
式などいかなる形式のセンサーを使用しても良い。On the other hand, facing the upper surface of the rotary disk 1,
A skull thickness measuring sensor 16 is arranged. As the skull thickness measuring sensor 16, for example, a laser sensor or the like can be used, and the distance between the sensor 16 and the skull surface is measured by irradiating the skull with laser light and detecting the reflected light, and Detect the thickness of the skull. Other types of sensors can be used as the skull thickness measuring sensor 16, for example, an electrostatic capacitance type for detecting the electrostatic capacitance between the rotating disk 1 and the electrodes arranged to face each other, or a change in the magnetic field due to the skull. Any type of sensor such as a magnetic type or a weight detection type for detecting the weight or rotation moment of the rotating disk 1 may be used.
【００１７】スカル厚測定センサー１６の出力は距離計
算手段１８に伝達され、これによりスカルとセンサー１
６間の距離が算出される。算出結果は比較手段２０に伝
達され、予め設定されていた基準離間距離と対比され、
この基準離間距離よりもスカル厚測定センサー１６とス
カル表面との距離が小さければ（すなわちスカルが設定
値よりも厚ければ）陽極後退信号を出力する一方、基準
離間距離よりもスカル厚測定センサー１６とスカル表面
との距離が大きければ（すなわちスカル厚さが許容範囲
内であれば）陽極前進信号を出力する。The output of the skull thickness measuring sensor 16 is transmitted to the distance calculating means 18, whereby the skull and the sensor 1 are detected.
The distance between 6 is calculated. The calculation result is transmitted to the comparison means 20 and compared with a preset reference separation distance,
If the distance between the skull thickness measuring sensor 16 and the skull surface is smaller than the reference separation distance (that is, if the skull is thicker than the set value), the anode retreat signal is output, while the skull thickness measuring sensor 16 is larger than the reference separation distance. If the distance between the skull surface and the skull surface is large (that is, if the skull thickness is within the allowable range), the anode advance signal is output.
【００１８】比較手段２０の出力は信号変換手段２２を
経て進退制御機構２４に伝達される。信号変換手段２２
は、比較手段２０の出力を進退制御機構２４を制御する
ための信号に変換する。そして進退制御機構２４は、消
耗陽極後退信号を受けると消耗陽極進退機構１０を介し
て消耗陽極８を後退させ、陰極４と回転ディスク１間の
通電量を相対的に増大させ、回転ディスク１上に堆積し
たスカルを再溶解するようになっている。一方、陽極前
進信号を受けた場合には、回転ディスク１と陰極４とを
結ぶ仮想線内に、消耗陽極８の先端を突入する、あるい
は突入した状態を維持するように設定されている。The output of the comparing means 20 is transmitted to the advancing / retreating control mechanism 24 via the signal converting means 22. Signal conversion means 22
Converts the output of the comparison means 20 into a signal for controlling the advancing / retreating control mechanism 24. When the advancing / retreating control mechanism 24 receives the consumable anode retreat signal, the advancing / retreating control mechanism 24 retracts the consumable anode 8 via the consumable anode advancing / retreating mechanism 10 to relatively increase the amount of electricity supplied between the cathode 4 and the rotating disk 1 and to rotate the rotating disk 1. It is designed to redissolve the skulls deposited on. On the other hand, when the anode advance signal is received, the tip of the consumable anode 8 is set to rush into the virtual line connecting the rotating disk 1 and the cathode 4, or the rushed state is maintained.
【００１９】次に上記構成からなる粉末製造装置の使用
方法を説明する。まず、モーター２を作動させ回転ディ
スク１を回転させる。回転数は目的の粒度を得られる値
に設定する。次いで、消耗陽極８を後退させたうえ、プ
ラズマ電源１２を作動させ、陰極４と回転ディスク１間
にプラズマを発生させる。こうして回転ディスク１をデ
ィスク表層材質（すなわち粉末化すべき材料）の融点直
下まで加熱したら、陰極４と回転ディスク１を結ぶ仮想
線内に消耗陽極８の先端を突入させる。すると、それま
で陰極４と回転ディスク１との間で生じていた溶解電流
が低下し、陰極４と消耗陽極８との間の溶解電流が増加
し、消耗陽極８の溶解が始まる。Next, a method of using the powder manufacturing apparatus having the above structure will be described. First, the motor 2 is operated to rotate the rotating disk 1. The number of rotations is set to a value that gives the target grain size. Then, the consumable anode 8 is retracted, and the plasma power supply 12 is operated to generate plasma between the cathode 4 and the rotating disk 1. In this way, when the rotating disk 1 is heated to just below the melting point of the disk surface material (that is, the material to be powdered), the tip of the consumable anode 8 is thrust into the imaginary line connecting the cathode 4 and the rotating disk 1. Then, the melting current, which has been generated between the cathode 4 and the rotating disk 1 until then, decreases, the melting current between the cathode 4 and the consumable anode 8 increases, and the consumable anode 8 starts melting.
【００２０】消耗陽極８が溶解して生じた溶湯は、回転
ディスク１上に滴下し、回転ディスク１から与えられる
遠心力により周囲に飛散し、その飛行過程で冷却されて
粉末化されたうえ、図示しない容器に受けとめられる。
一方、回転ディスク１の表面には溶湯の一部が固着して
スカルが発生する。このスカルの厚さは、スカル厚測定
センサー１６により検出され、距離計算手段１８を経て
比較手段２０により、規定値よりも厚いか否かが判定さ
れる。The molten metal produced by melting the consumable anode 8 is dropped on the rotating disk 1, scattered around by the centrifugal force applied from the rotating disk 1, cooled in the course of its flight, and powdered. It is received in a container (not shown).
On the other hand, a part of the molten metal adheres to the surface of the rotating disk 1 to generate a skull. The thickness of the skull is detected by the skull thickness measuring sensor 16, and the distance calculating means 18 and the comparing means 20 determine whether or not the thickness is thicker than a prescribed value.
【００２１】規定値よりもスカルが薄ければ、消耗陽極
８の位置はそのまま突入位置に保たれる。しかし、規定
値よりもスカルが厚ければ、信号変換手段２２および進
退制御機構２４を経て、消耗陽極進退機構１０が作動さ
れ、消耗陽極８が後退方向へ移動される。これにより、
回転ディスク１への通電量が増し、回転ディスク１が加
熱されてスカルが溶解し、溶解物が回転ディスク１の回
転につれ粉末化される。If the skull is thinner than the specified value, the position of the consumable anode 8 is kept at the plunge position. However, if the skull is thicker than the specified value, the consumable anode advancing / retreating mechanism 10 is operated via the signal converting means 22 and the advancing / retreating control mechanism 24, and the consumable anode 8 is moved in the retreating direction. This allows
The amount of electricity supplied to the rotating disk 1 increases, the rotating disk 1 is heated, the skull is melted, and the melted material is pulverized as the rotating disk 1 rotates.
【００２２】こうしてスカルの厚さが規定値よりも薄く
なったら、比較手段２０の出力が再び陽極突入信号に変
化し、消耗陽極８の先端は再び陰極４と回転ディスク１
の間に突き出される。これにより、再び消耗陽極８と陰
極４との間の通電量が増し、消耗陽極８が溶解して粉末
製造が続行される。When the thickness of the skull becomes smaller than the specified value in this way, the output of the comparison means 20 changes to the anode rush signal again, and the tip of the consumable anode 8 again has the cathode 4 and the rotating disk 1 again.
Is projected between. As a result, the amount of electricity supplied between the consumable anode 8 and the cathode 4 is increased again, the consumable anode 8 is melted, and the powder production is continued.
【００２３】このような粉末製造装置によれば、消耗陽
極８の位置を制御することにより、陰極４と消耗陽極８
間、および陰極４と回転ディスク１間の電流分配率を調
整することができる。これにより、回転ディスク１上に
スカルが蓄積した場合には、消耗陽極８を後退させ、回
転ディスク１への電流分配率を増して、固着したスカル
を再溶解させ、これを粉末化することが可能であるか
ら、粉末の収率が向上できるとともに、スカル蓄積およ
び一部脱落に起因する回転ディスクの回転バランス悪化
を防ぐことができ、長期に亙って安定して微粉末を製造
することができる。According to such a powder manufacturing apparatus, by controlling the position of the consumable anode 8, the cathode 4 and the consumable anode 8 can be controlled.
, And the current distribution ratio between the cathode 4 and the rotating disk 1 can be adjusted. As a result, when the skull accumulates on the rotating disk 1, the consumable anode 8 is retracted, the current distribution ratio to the rotating disk 1 is increased, the stuck skull is redissolved, and this can be pulverized. As a result, it is possible to improve the powder yield and prevent the deterioration of the rotational balance of the rotary disk due to skull accumulation and partial dropout, and it is possible to stably produce fine powder over a long period of time. it can.
【００２４】また、回転ディスク１の少なくとも表層部
が、被粉末化材料と同一の材質で形成されているから、
回転ディスク材料の混入による粉末の純度低下が防止で
きるうえ、溶湯と同一材料で形成された回転ディスク１
表面は、溶湯との濡れ性が良好であるから、溶湯が回転
ディスク１上に均一に広がり、粒度が揃った粉末が製造
可能である。Further, at least the surface layer portion of the rotary disk 1 is made of the same material as the material to be powdered,
In addition to preventing deterioration of powder purity due to mixing of the rotating disk material, the rotating disk 1 made of the same material as the molten metal 1
Since the surface has good wettability with the molten metal, the molten metal is spread evenly on the rotating disk 1 and a powder having a uniform particle size can be produced.
【００２５】実際に、上記装置を作成して粉末製造実験
を行ったところ、従来型の回転ディスク法に比べ、スカ
ル発生量が大幅に減少し、投入溶湯量の９０％以上が粉
末化された。また、製造された粉末の化学分析結果で
は、汚染による合金成分の変化などは全く見られなかっ
た。Actually, when the above apparatus was prepared and a powder production experiment was conducted, the amount of skull generated was significantly reduced as compared with the conventional rotary disk method, and 90% or more of the amount of molten metal charged was powdered. . In addition, the chemical analysis results of the manufactured powder did not show any change in alloy components due to contamination.
【００２６】[0026]
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る粉末
製造装置によれば、消耗陽極の位置を制御することによ
り、陰極と消耗陽極、陰極と回転ディスク間の電流分配
率を調整する。これにより、回転ディスク上にスカルが
蓄積した場合に消耗陽極を後退させ、回転ディスクへの
電流分配率を増して、固着したスカルを再溶解させ、こ
れを粉末化することが可能であるから、粉末の収率が向
上できるとともに、スカル蓄積および一部脱落に起因す
る回転ディスクの回転バランス悪化を防ぐことができ、
長期に亙って安定して微粉末を製造することができる。As described above, according to the powder manufacturing apparatus of the present invention, the current distribution ratio between the cathode and the consumable anode and between the cathode and the rotating disk is adjusted by controlling the position of the consumable anode. Thereby, when the skull accumulates on the rotating disk, the consumable anode is retracted, the current distribution ratio to the rotating disk is increased, the stuck skull is redissolved, and it is possible to powder the same. The powder yield can be improved, and the deterioration of the rotational balance of the rotating disk due to skull accumulation and partial dropout can be prevented,
A fine powder can be stably produced over a long period of time.
【００２７】また、回転ディスクの表層部を被粉末化材
料と同一の材質で形成することにより、回転ディスク材
料の混入による粉末の純度低下が防止できるうえ、溶湯
および同一材料で形成された回転ディスクとは濡れ性が
良いため、溶湯が回転ディスク上に均一に広がり、粒度
が揃った粉末が製造可能である。Further, by forming the surface layer of the rotating disk with the same material as the material to be powdered, it is possible to prevent the purity of the powder from being deteriorated due to the mixing of the material of the rotating disk, and the molten disk and the rotating disk made of the same material. Because of good wettability, the molten metal is spread evenly on the rotating disk, and it is possible to manufacture powder having a uniform particle size.
【図１】本発明に係る粉末製造装置の一実施例の電極加
熱系の構成を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of an electrode heating system of an embodiment of a powder manufacturing apparatus according to the present invention.
【図２】同実施例の消耗陽極の位置制御系の構成を示す
ブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a configuration of a position control system for a consumable anode according to the embodiment.
１ 回転ディスク ２ モーター ４ 陰極 ６ 位置制御機構 ８ 消耗陽極 １０ 消耗陽極進退機構 １２ プラズマ電源 １６ スカル厚測定センサー ２０ 比較手段 ２４ 進退制御機構 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 rotating disk 2 motor 4 cathode 6 position control mechanism 8 consumable anode 10 consumable anode advancing / retreating mechanism 12 plasma power supply 16 skull thickness measuring sensor 20 comparing means 24 advancing / retreating control mechanism
Claims (2)
質で形成された回転ディスクと、この回転ディスクを軸
心回りに回転させるディスク回転機構と、前記回転ディ
スクの表面部と対向して配置された陰極と、この陰極を
位置調整可能に支持する陰極位置調整機構と、前記陰極
と前記回転ディスクとを結ぶ仮想線内にその先端を突入
可能かつ前記仮想線から後退可能に設けられた消耗陽極
と、この消耗陽極を進退させる消耗陽極進退機構と、前
記陽極にその陽極が接続されるとともに、前記消耗陰極
および前記回転ディスクにその陰極が接続されたプラズ
マ電源とを具備することを特徴とする粉末製造装置。1. A rotating disk, at least a surface portion of which is made of the same material as the powder to be manufactured, a disk rotating mechanism for rotating the rotating disk about its axis, and the rotating disk is arranged to face the surface portion of the rotating disk. And a cathode position adjusting mechanism that supports the cathode so that the position of the cathode can be adjusted, and an exhaustion provided so that its tip can be projected into the virtual line connecting the cathode and the rotating disk and can be retracted from the virtual line. An anode, a consumable anode advancing / retreating mechanism for advancing / retreating the consumable anode, and a plasma power source in which the anode is connected to the anode and the cathode is connected to the consumable cathode and the rotating disk. Powder manufacturing equipment.
さを検出するスカル厚測定センサーと、このスカル量測
定センサーからの出力信号が規定値を越えた場合に前記
消耗陽極進退機構を作動させ前記消耗陽極を後退させて
回転ディスクへの通電量を増加させる制御機構とをさら
に具備することを特徴とする請求項１記載の粉末製造装
置。2. A skull thickness measuring sensor for detecting the thickness of a skull attached to the rotating disk, and operating the consumable anode advancing / retreating mechanism when an output signal from the skull amount measuring sensor exceeds a specified value. The powder manufacturing apparatus according to claim 1, further comprising: a control mechanism that retracts the consumable anode to increase the amount of electricity supplied to the rotating disk.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21940392A JP3178100B2 (en) | 1992-08-18 | 1992-08-18 | Powder production equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| RU2742125C1 (en) * | 2020-02-19 | 2021-02-02 | Акционерное общество "Высокотехнологический научно-исследовательский институт неорганических материалов имени академика А.А. Бочвара" | Device for production of metal powders by centrifugal spraying method |
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1992
- 1992-08-18 JP JP21940392A patent/JP3178100B2/en not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| CN110802236A (en) * | 2019-11-21 | 2020-02-18 | 西安赛隆金属材料有限责任公司 | Device and method for preparing fine-grain-size metal powder through local melting of particles |
| KR20220109424A (en) | 2019-12-27 | 2022-08-04 | 니찌아스 카부시키카이샤 | Inorganic fiber, inorganic fiber product, method for manufacturing inorganic fiber product, composition for manufacturing inorganic fiber and method for manufacturing inorganic fiber |
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