JPH0662786U - 同期リニアモータ - Google Patents
同期リニアモータInfo
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- JPH0662786U JPH0662786U JP673593U JP673593U JPH0662786U JP H0662786 U JPH0662786 U JP H0662786U JP 673593 U JP673593 U JP 673593U JP 673593 U JP673593 U JP 673593U JP H0662786 U JPH0662786 U JP H0662786U
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- winding
- linear motor
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- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本考案は、平滑電機子巻線と永久磁石界磁を有
する同期リニアモータの冷却構造に関し、界磁部および
巻線ホルダに熱が伝わらないようにし、熱変形を生じな
い同期リニアモータわ提供することを目的とする。 【構成】平板状の平滑電機子巻線1と可動子10の進行
方向に設けた溝31を有する巻線ホルダ3よりなる固定
子20に、平滑電機子巻線1と空隙を介し、複数の永久
磁石よりなる界磁磁極5を有する可動子10を対向させ
た同期リニアモータにおいて、強度メンバを兼ねる管内
を冷媒が通る角管状のジャケット2a,2bを弾性体・
薄板のブリッジ23で連結し、ジャケット2a,2b間
に平滑電機子巻線1の側面を挟み込み、ジャケット2
a,2bの底部21を巻線ホルダ3に設けた進行方向の
溝31に弾性を持たせて嵌合する。
する同期リニアモータの冷却構造に関し、界磁部および
巻線ホルダに熱が伝わらないようにし、熱変形を生じな
い同期リニアモータわ提供することを目的とする。 【構成】平板状の平滑電機子巻線1と可動子10の進行
方向に設けた溝31を有する巻線ホルダ3よりなる固定
子20に、平滑電機子巻線1と空隙を介し、複数の永久
磁石よりなる界磁磁極5を有する可動子10を対向させ
た同期リニアモータにおいて、強度メンバを兼ねる管内
を冷媒が通る角管状のジャケット2a,2bを弾性体・
薄板のブリッジ23で連結し、ジャケット2a,2b間
に平滑電機子巻線1の側面を挟み込み、ジャケット2
a,2bの底部21を巻線ホルダ3に設けた進行方向の
溝31に弾性を持たせて嵌合する。
Description
【001】
本考案は、平滑電機子巻線と永久磁石界磁を有する同期リニアモータの冷却構 造に関し、特に、半導体製造のステッパ駆動など、超精密・高推力な用途に適す る。
【002】
従来、非磁性材よりなる平板状の巻線固定枠両面に平滑電機子巻線(例えば、 実開平1−157579号公報)を貼付し、巻線固定枠の底部を、巻線ホルダを 介し、固定子台に固定した固定子と、平滑電機子巻線と空隙を介し、複数の永久 磁石よりなる界磁磁極を有する可動子を対向させた同期リニアモータがある(例 えば、実開平4−128085号公報、図3)。
【003】
上記の同期リニアモータはコギングがなく、電機子とマグネット間の磁気吸引 力がないので、超精密位置決め用途には好適なリニアモータである。この固定子 をベースに固定し、この可動子にスライダを装着すると半導体製造のステッパ用 の移動ーブルを構成できる。 ところが、従来の技術では、以下に述べるような問題点があった。 1) 発熱体である電機子巻線表面と界磁用永久磁石表面が、僅かな空隙を介し て対向しているため、空隙部の伝熱や輻射によりマグネット部を加熱し、ひい ては界磁部を通ってスライダ部に伝わり、スライダ部の熱膨張により変形が生 じ、超精密位置決めを必要とする用途には適さない。 2) 発熱体である電機子巻線の熱は、巻線枠固定枠を介し、巻線ホルダに伝わ り、ベースの温度を上げることになる。これは、固定子側の熱膨張により歪み を生じる。 3) 平滑電機子巻線を固定枠なしで固定子に用いようとすると、剛性が低いた め、進行方向の真直度が出ない。 そこで本考案は、前記電機子巻線の冷却行うと共に、界磁部または巻線ホルダ に熱が伝わらないようにするとともに、剛性の高い固定子を提供することを目的 とする。
【004】
上記課題を解決するため、平板状の平滑電機子巻線(1)と可動子(10)の 進行方向に設けた溝(31)を有する巻線ホルダ(3)よりなる固定子に、平滑 電機子巻線(1)と空隙を介し、複数の永久磁石よりなる界磁磁極(5)を有す る可動子(10)を対向させた同期リニアモータにおいて、 頂部を非磁性・弾性体の薄板のブリッジ(23)で連結した、強度メンバを兼 ねる管内を冷媒が通る、角管状のジャケット(2a,2b)で前記平滑電機子巻 線(1)を両側から挟み込み、ジャケット(2a,2b)の底部(21)を巻線 ホルダ(3)に設けた進行方向の溝(31)に弾性を持たせて嵌合する。
【005】
上記手段により、平滑電機子巻線の熱がジャケット内を通る冷媒により熱交換 され、平滑電機子巻線が直接冷却される、とともに界磁磁極への伝熱・輻射を低 減でき、可動子と固定子の温度上昇を小さくできる。また、比較的剛性の高いジ ャケットで剛性の低い平滑電機子巻線が真直に矯正される。
【006】
以下に、本考案の実施例を第1〜4図に示して説明する。 3相分の要素コイル(U,V,W)を電気的に120°位相ずらして所定のピ ッチで、折曲げ成形した帯状の平滑電機子巻線1(図2参照)の両側面は、内部 を冷媒通路22とする非磁性体よりなる比較的薄い角管状のジャケット2a,2 b間に挟み込んである。ここで、ジャケット2a,2bの設置間隔は、平滑電機 子巻線1の厚さより僅かに狭くしてある。この結果剛性の低い平滑電機子巻線1 の真直度が矯正される。 角管状のジャケット2a、2bの頂部は、図3に示すように、非磁性・弾性体 の薄板よりなるブリッジ23で溶接等により連結してあり、角管状のジャケット 2a、2bの底部は、平滑電機子巻線1をジャケット2a、2b間に平滑電機子 巻線1を挟み込んだ状態で、若干開き勝手にしてある。 熱伝導率の小さい材質よりなる巻線ホルダ3の中央部には、可動子10の進行 方向に、ジャケット2a、2b間に平滑電機子巻線1を挟み込んだときの寸法よ り若干狭い幅の溝31を可動子10の進行方向に設けてある。 巻線ホルダ3の中央部に設けた溝31内に、平滑電機子巻線1を挟み込んだ角 管状のジャケット2a、2bの底部を弾性を持たせて嵌合してある。 ジャケット2a、2bの可動子10の進行方向の一端面には、図4に示すよう に、鏡板4、4で液密に封鎖されており、鏡板4、4にはU字形の連絡管41を 設け、連絡管41の中央部には冷媒の供給管42aを設けてある。他端面にも、 鏡板4、4と連絡管41を設け排出管42bを設けてある。 平滑電機子巻線1、ジャケット2a、2b、ブリッジ23、巻線ホルダ3、鏡 板4、連絡管41、供給管42aと排出管42bで固定子20を構成する。 ジャケット2a、2bの両側面には、空隙を介し、複数の永久磁石5a,5b ,・・・を、可動子10の進行方向に隣り合う磁極の極性を交互に入替わるよう に、対面するもの同士も異極性となるように構成した界磁磁極5、5に対向させ てある。 界磁磁極5、5は、従来と同様に、強磁性体よりなる界磁ヨーク6、6に固定 してある。界磁ヨーク6、6の頂部は、非磁性体の軽量な材質よりなるプレート 61で連結してある。 界磁磁極5、界磁ヨーク6とプレート61で可動子10を構成する。 なお、実施例では可動子10に界磁磁極5、5を設けたムービング・マグネッ ト形としたが、実施例の可動子10と固定子20の構成を逆にしたムービング・ コイル形としてもよい、この場合、冷媒の供給管42aおよび排出管42bへの 冷媒の供給・排出はフレクシブルな管を接続すればよい。 図5に第2の実施例を示す。 この例は、実施例のジャケット2a、2bを別々に構成し、この間に平滑電機 子巻線1を挟み込み、平滑電機子巻線1側面とジャケット2a、2bの合わせ面 頂部に隙間がある状態で、巻線ホルダ3の中央部に設けた溝31内に、平滑電機 子巻線1とジャケット2a、2bを嵌合したのち、ジャケット2a、2bの側面 に押圧を掛けた状態で、平滑電機子巻線1とジャケット2a、2bの巾より若干 狭い2面巾のクリップ24により、平滑電機子巻線1側面とジャケット2a、2 bの合わせ面頂部を外側から与圧をもって保持するようにしてある。 図6に第3の実施例を示す。この例は、固定子20を平行して2列設け巻線ホ ルダ3の巾を実施例の約倍とし、溝31を2列にしてある。なお、実施例のプレ ート61を、巾がプート61の約1.5倍の中央脚部を低くしたE形のプレート 62に替え、この中央脚部に界磁磁極5の永久磁石5a,5b,・・・と同様な 界磁磁極51を挿入してある。 図7に第4の実施例を示す。この例は、第3の実施例の中央部に設けた界磁磁 極51を強磁性体のバックヨーク52に置き換えてある。 第3および第4の実施例のように構成することにより、コンパクトで高推力の 同期リニアモータを安価に実現できる。
【007】
以上述べたように、本考案によれば、以下に示す効果がある。 1.空隙部がジャケットにより冷却されるので、界磁磁極への熱の伝導・輻射が なくなり、可動子の変形が生じない。 2.電機子巻線の冷却をジャケットの側面により、ほぼ直接行うので、冷却を効 果的に行うことが出来る。 3.ジャケットの中に冷媒を通す構造なので、冷媒には電気絶縁性のものである 必要はなく、安価な冷却装置を実現できる。 4.比較的剛性の高いジャケットで電機子巻線が矯正されるので、固定子の真直 度が保てる。 5.過冷却の場合でも、ジャケットが巻線ホルダの溝内に弾性を持って保持され るので、平滑電機子巻線の固定が確実になる。
【図1】本考案の実施例を示す断面図
【図2】本考案の実施例に用いる電機子巻線の平面図
【図3】本考案の実施例に用いるジャケットの断面図
【図4】本考案の実施例に用いる固定子の斜視図
【図5】本考案の第2の実施例を示す断面図
【図6】本考案の第3の実施例を示す断面図
【図7】本考案の第4の実施例を示す断面図
1 平滑電機子巻線 2a、2b ジャケット 22 冷媒通路 23 ブリッジ 24 クリップ 3、32 巻線ホルダ 31 溝 4 鏡板 41 連絡管 42a 供給管 42b 排出管 5、51 界磁磁極 52 バックヨーク 5a,5b・・ 永久磁石 6 界磁ヨーク 61、62 プレート 10 可動子 20 固定子
Claims (4)
- 【請求項1】 平板状の平滑電機子巻線(1)と可動子
(10)の進行方向に設けた溝を有する巻線ホルダより
なる固定子に、前記平滑電機子巻線(1)とプレート
(61)で連結した界磁ヨーク(6,6)と複数の永久
磁石よりなる界磁磁極(5)を有する可動子(10)
を、空隙を介し、対向させた同期リニアモータにおい
て、 前記平滑電機子巻線(1)の側面を両側から挟み込む角
管状のジャケット(2a,2b)、このジャケット(2
a,2b)の頂部を連結する弾性体・薄板のブリッジ
(23)とジャケット(2a,2b)の底部(21)を
弾性を持たせて嵌合する溝(31)を有する巻線ホルダ
(3)を備えたことを特徴とする同期リニアモータ。 - 【請求項2】 前記ジャケット(2a,2b)の頂部を
連結する弾性体・薄板のブリッジ(23)をクリップ
(24)に替えた請求項1記載の同期リニアモータ。 - 【請求項3】 請求項1または2に記載の平板状の平滑
電機子巻線(1)、ジャケット(2a,2b)とブリッ
ジ(23)を2組平行に配置し、請求項1または2記載
の溝(31)を2本平行させて設けた巻線ホルダ(3
2)と、界磁ヨーク(6,6)を連結する断面・中央脚
部を低くしたE形のプレート(62)とプレート(6
2)の中央脚部に永久磁石よりなる界磁磁極(51)を
備えたことを特徴とする同期リニアモータ。 - 【請求項4】 前記界磁磁極(51)をバックヨーク
(52)に替えた請求項3記載の同期リニアモータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP673593U JP2585817Y2 (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 同期リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP673593U JP2585817Y2 (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 同期リニアモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0662786U true JPH0662786U (ja) | 1994-09-02 |
JP2585817Y2 JP2585817Y2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=11646489
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP673593U Expired - Fee Related JP2585817Y2 (ja) | 1993-01-29 | 1993-01-29 | 同期リニアモータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2585817Y2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1997010641A1 (fr) * | 1995-09-12 | 1997-03-20 | Fanuc Ltd | Dispositif d'alimentation du type a entrainement par moteur lineaire |
WO2006006401A1 (ja) * | 2004-07-12 | 2006-01-19 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | リニアモータ及びこのリニアモータを用いたステージ装置 |
KR100826823B1 (ko) * | 2004-07-12 | 2008-05-02 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 리니어 모터 및 이 리니어 모터를 이용한 스테이지장치 |
JP2010016935A (ja) * | 2008-07-01 | 2010-01-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | リニアモータ |
JP2015023768A (ja) * | 2013-07-23 | 2015-02-02 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 |
CN111371280A (zh) * | 2018-12-25 | 2020-07-03 | 日立环球生活方案株式会社 | 直线电动机、电磁悬架和洗衣机 |
-
1993
- 1993-01-29 JP JP673593U patent/JP2585817Y2/ja not_active Expired - Fee Related
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WO2006006401A1 (ja) * | 2004-07-12 | 2006-01-19 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | リニアモータ及びこのリニアモータを用いたステージ装置 |
JP2006033910A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | リニアモータ及びこのリニアモータを用いたステージ装置 |
KR100826823B1 (ko) * | 2004-07-12 | 2008-05-02 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 리니어 모터 및 이 리니어 모터를 이용한 스테이지장치 |
JP2010016935A (ja) * | 2008-07-01 | 2010-01-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | リニアモータ |
JP2015023768A (ja) * | 2013-07-23 | 2015-02-02 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法 |
CN111371280A (zh) * | 2018-12-25 | 2020-07-03 | 日立环球生活方案株式会社 | 直线电动机、电磁悬架和洗衣机 |
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---|---|
JP2585817Y2 (ja) | 1998-11-25 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |