JPH065963A - 周波数２倍化固体レーザ - Google Patents
周波数２倍化固体レーザInfo
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- JPH065963A JPH065963A JP5028856A JP2885693A JPH065963A JP H065963 A JPH065963 A JP H065963A JP 5028856 A JP5028856 A JP 5028856A JP 2885693 A JP2885693 A JP 2885693A JP H065963 A JPH065963 A JP H065963A
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/106—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling devices placed within the cavity
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
-
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- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/094—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
- H01S3/0941—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な製造で高い効率が達成されかつ連続及
びパルス駆動のために同様に適する周波数２倍化固体レ
ーザを提供する。 【構成】 該レーザは、共振器（２，３，５）が、透明
な平板上に形成された第３の共振器ミラー（５）により
折り曲げられており、周波数ダブラー結晶（４）をポン
ピング光源（２１，２２）のビームが透過しないよう
に、周波数ダブラー結晶（４）及びレーザロッド（１）
が折り曲げられた共振器（２，３，５）の２つの異なっ
たアーム内にあり、かつ周波数ダブラー結晶（４）を有
する共振器（２，３，５）のアーム内にフォーカシグレ
ンズ（６）が配置されていることよりなる。
びパルス駆動のために同様に適する周波数２倍化固体レ
ーザを提供する。 【構成】 該レーザは、共振器（２，３，５）が、透明
な平板上に形成された第３の共振器ミラー（５）により
折り曲げられており、周波数ダブラー結晶（４）をポン
ピング光源（２１，２２）のビームが透過しないよう
に、周波数ダブラー結晶（４）及びレーザロッド（１）
が折り曲げられた共振器（２，３，５）の２つの異なっ
たアーム内にあり、かつ周波数ダブラー結晶（４）を有
する共振器（２，３，５）のアーム内にフォーカシグレ
ンズ（６）が配置されていることよりなる。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レーザロッドと、第
１、第２及び第３共振器ミラーと、周波数ダブラー結晶
と、ビームが２つの対向した共振器ミラーを透過してレ
ーザロッドに向けられた、それぞれ少なくとも１つのレ
ーザダイオードを有する少なくとも１つのポンピング光
源とから構成された、折り曲げられた共振器及び２つの
端部を持つレーザダイオードを有するポンプを有する周
波数２倍化固体レーザに関する。
１、第２及び第３共振器ミラーと、周波数ダブラー結晶
と、ビームが２つの対向した共振器ミラーを透過してレ
ーザロッドに向けられた、それぞれ少なくとも１つのレ
ーザダイオードを有する少なくとも１つのポンピング光
源とから構成された、折り曲げられた共振器及び２つの
端部を持つレーザダイオードを有するポンプを有する周
波数２倍化固体レーザに関する。
【０００２】
【従来の技術】前記形式の固体レーザは、米国特許第４
９５１２９４号明細書から公知である。この固体レーザ
は特にモードロックを有するパルス化された駆動のため
に構成されている。周波数ダブラー結晶は、レーザロッ
ドに直接隣接しているか、又は該レーザロッドと結合さ
れている。この場合には、レーザロッド、周波数ダブラ
ー結晶及び２つの湾曲した共振器ミラーは、３つの波長
（ポンピングビーム、レーザ基本波長及び調波）ために
同時に最適に反射もしくは反射防止被覆されねばならな
い。特に湾曲したミラーにおいては、高い製造費用でな
お著しい光損失を回避することができない妥協が可能で
あるにすぎない。
９５１２９４号明細書から公知である。この固体レーザ
は特にモードロックを有するパルス化された駆動のため
に構成されている。周波数ダブラー結晶は、レーザロッ
ドに直接隣接しているか、又は該レーザロッドと結合さ
れている。この場合には、レーザロッド、周波数ダブラ
ー結晶及び２つの湾曲した共振器ミラーは、３つの波長
（ポンピングビーム、レーザ基本波長及び調波）ために
同時に最適に反射もしくは反射防止被覆されねばならな
い。特に湾曲したミラーにおいては、高い製造費用でな
お著しい光損失を回避することができない妥協が可能で
あるにすぎない。
【０００３】米国特許第４７１０９４０号明細書、特に
第２ａ図から、周波数２倍化しない両端部からレーザダ
イオードによってポンピングされる固体レーザが公知で
ある。第３のミラーは、レーザビームの出力結合ために
だけに利用される。
第２ａ図から、周波数２倍化しない両端部からレーザダ
イオードによってポンピングされる固体レーザが公知で
ある。第３のミラーは、レーザビームの出力結合ために
だけに利用される。
【０００４】米国特許第４８７２１７７号明細書から、
１つの端部だけからレーザダイオードによってポンピン
グされる、折り曲げられた共振器を有する周波数２倍化
固体レーザが公知である。
１つの端部だけからレーザダイオードによってポンピン
グされる、折り曲げられた共振器を有する周波数２倍化
固体レーザが公知である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、簡単
な製造で高い効率が達成されかつ連続及びパルス駆動の
ために同様に適する冒頭に記載した形式の固体レーザを
提供することであった。
な製造で高い効率が達成されかつ連続及びパルス駆動の
ために同様に適する冒頭に記載した形式の固体レーザを
提供することであった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題は、請求項１記
載の特徴を備えた冒頭に記載の形式の固体レーザによっ
て解決された。レーザロッドと周波数ダブラー結晶が折
り曲げられた共振器の２つのアームに分配された新規の
構成により、共振器内で偏向させる第３の共振器ミラー
のみが３つの波長の光に接する、それに相応して鏡面化
もしくは反射防止加工が困難であり、他の全ての構成素
子、特に周波数ダブラー結晶はなお２つの波長に接する
にすぎない、このことは制御するのが極め簡単であり、
かつ機能的に必要最低限である。第３の共振器ミラーは
フォーカシングレンズを採用することにより平面鏡とし
て構成することができるので、鏡面化及び反射防止加工
層による光路の発散は著しく減少せしめられ、ひいては
該被覆層の効果は明らかに高められる。
載の特徴を備えた冒頭に記載の形式の固体レーザによっ
て解決された。レーザロッドと周波数ダブラー結晶が折
り曲げられた共振器の２つのアームに分配された新規の
構成により、共振器内で偏向させる第３の共振器ミラー
のみが３つの波長の光に接する、それに相応して鏡面化
もしくは反射防止加工が困難であり、他の全ての構成素
子、特に周波数ダブラー結晶はなお２つの波長に接する
にすぎない、このことは制御するのが極め簡単であり、
かつ機能的に必要最低限である。第３の共振器ミラーは
フォーカシングレンズを採用することにより平面鏡とし
て構成することができるので、鏡面化及び反射防止加工
層による光路の発散は著しく減少せしめられ、ひいては
該被覆層の効果は明らかに高められる。
【０００７】有利には、第１及び第２のポンピング光源
は、それぞれ２つのレーザダイオードを有し、該レーザ
ダイオードのビームは偏光するビームスプリッタにより
重ね合わされる。このポンピング効率を２倍化するため
の公知かつ比較的簡単な手段は、別のステップで両側で
のポンピングによる本発明の別の２倍化手段を適用する
前に利用するのが有利である。
は、それぞれ２つのレーザダイオードを有し、該レーザ
ダイオードのビームは偏光するビームスプリッタにより
重ね合わされる。このポンピング効率を２倍化するため
の公知かつ比較的簡単な手段は、別のステップで両側で
のポンピングによる本発明の別の２倍化手段を適用する
前に利用するのが有利である。
【０００８】第３の共振器ミラーを形成する面平行板
は、レーザロッドの第２の波長のビームのための高度の
鏡面化の他に、有利には両側でポンピング光源の第１の
波長及び周波数ダブラー結晶の第３の波長のための反射
防止層を支持する。これらの層は、第３の共振器ミラー
がレーザビームの軸を偏向させる特定の角度に関して構
成されている。該偏向角度は有利には１０〜６０°であ
り、この場合並置される構成部材のために十分なスペー
スが残りかつ装置もコンパクトになる。
は、レーザロッドの第２の波長のビームのための高度の
鏡面化の他に、有利には両側でポンピング光源の第１の
波長及び周波数ダブラー結晶の第３の波長のための反射
防止層を支持する。これらの層は、第３の共振器ミラー
がレーザビームの軸を偏向させる特定の角度に関して構
成されている。該偏向角度は有利には１０〜６０°であ
り、この場合並置される構成部材のために十分なスペー
スが残りかつ装置もコンパクトになる。
【０００９】請求項５記載に基づき、本発明によるレー
ザでは、レーザロッドと周波数ダブラー結晶の間に適当
な可動光学素子を配置することにより、第２の、２倍化
されていないレーザロッドのレーザビームを出力結合し
かつ利用することが可能である。
ザでは、レーザロッドと周波数ダブラー結晶の間に適当
な可動光学素子を配置することにより、第２の、２倍化
されていないレーザロッドのレーザビームを出力結合し
かつ利用することが可能である。
【００１０】
【実施例】次に図示の実施例につき本発明を詳細に説明
する。
する。
【００１１】レーザロッド１は、図１の実施例では、直
径４ｍｍ及び長さ１０ｍｍの１．１ａｔ．％Ｎｄドーピ
ングを有するＮａ−ＹＡＧ結晶（Fabrikat Allied Opto
lase）である。該レーザロッドの背面は、レーザロッド
１の第２の波長λ2＝１０６４ｎｍに対する反射率Ｒ＝
９９．９％を有する共振器ミラー２として被覆されてい
る。前面は、λ2に対して残留反射率Ｒ＝０．０１％で
反射防止加工されている。両側は、更に以下に説明する
ポンピング光源２１，２２の第１の波長λ1＝８０８ｎ
ｍのビームに対して、残留反射率０．１％を有するよう
に反射防止加工されている。
径４ｍｍ及び長さ１０ｍｍの１．１ａｔ．％Ｎｄドーピ
ングを有するＮａ−ＹＡＧ結晶（Fabrikat Allied Opto
lase）である。該レーザロッドの背面は、レーザロッド
１の第２の波長λ2＝１０６４ｎｍに対する反射率Ｒ＝
９９．９％を有する共振器ミラー２として被覆されてい
る。前面は、λ2に対して残留反射率Ｒ＝０．０１％で
反射防止加工されている。両側は、更に以下に説明する
ポンピング光源２１，２２の第１の波長λ1＝８０８ｎ
ｍのビームに対して、残留反射率０．１％を有するよう
に反射防止加工されている。
【００１２】第２の共振器ミラー３は、半径６０ｍｍを
有する球凹面鏡で、かつλ2及び周波数ダブラー結晶４
の第３の波長λ3＝５３２ｎｍに対してそれぞれ反射率
Ｒ＝９９．５％を有するように鏡面化されている。
有する球凹面鏡で、かつλ2及び周波数ダブラー結晶４
の第３の波長λ3＝５３２ｎｍに対してそれぞれ反射率
Ｒ＝９９．５％を有するように鏡面化されている。
【００１３】ｆ＝２９ｍｍを有するレンズ６、及び両側
のλ2及びλ3の対する反射防止加工（Ｒ＜０．０３％）
と共働して、第２の共振器ミラー３の凹面状の形は第２
の波長λ2のビームを、寸法２．２×２．２×４．６ｍ
ｍ3、及びλ2とλ3に対する両側の反射防止加工（Ｒ＜
０．０３％）を有するＫＴＰからなる周波数ダブラー結
晶４にフォーカシングするので、高い効率で周波数変換
が行われる。
のλ2及びλ3の対する反射防止加工（Ｒ＜０．０３％）
と共働して、第２の共振器ミラー３の凹面状の形は第２
の波長λ2のビームを、寸法２．２×２．２×４．６ｍ
ｍ3、及びλ2とλ3に対する両側の反射防止加工（Ｒ＜
０．０３％）を有するＫＴＰからなる周波数ダブラー結
晶４にフォーカシングするので、高い効率で周波数変換
が行われる。
【００１４】λ2の関してゼロ次で構成されたλ／４板
７は同様に両側がλ2及びλ3の対して反射防止被覆され
(Ｒ＜０.１％）かつ２つの互いに直角に配向された共振
器モードの選択に役立つ。出力の変動は抑制されかつ簡
単な効率向上が達成される。
７は同様に両側がλ2及びλ3の対して反射防止被覆され
(Ｒ＜０.１％）かつ２つの互いに直角に配向された共振
器モードの選択に役立つ。出力の変動は抑制されかつ簡
単な効率向上が達成される。
【００１５】第３の共振器ミラー５にはレーザロッド１
のビームは２５°の入射角度で到達するので、該共振器
の軸線は該ビームに対して５０°偏向せしめられる。
のビームは２５°の入射角度で到達するので、該共振器
の軸線は該ビームに対して５０°偏向せしめられる。
【００１６】この角度位置のために、第３の共振器ミラ
ー５を形成する面平行のガラス板は、λ2のためにレー
ザロッド１に面した側がＲ＝９９．５％を有するように
鏡面化されている。
ー５を形成する面平行のガラス板は、λ2のためにレー
ザロッド１に面した側がＲ＝９９．５％を有するように
鏡面化されている。
【００１７】２倍化された波長λ3のためには、ガラス
板は共振器側がＲ≦４％及び背面側がＲ＝０．０３％を
有するように反射防止加工されているので、可視レーザ
ビームが周波数ダブラー結晶４から第３の共振器ミラー
５によって出力結合される。
板は共振器側がＲ≦４％及び背面側がＲ＝０．０３％を
有するように反射防止加工されているので、可視レーザ
ビームが周波数ダブラー結晶４から第３の共振器ミラー
５によって出力結合される。
【００１８】本発明によれば、第３の共振器ミラー５に
よってまた第２のポンピング光源２２のポンピングビー
ムもレーザロッド１の末端側に向けられる。このため
に、第３の共振器ミラー５はλ1に対して、詳細には背
面側でＲ＝０．３３％及び共振器側でＲ≦４％を有する
ように反射防止加工されている。
よってまた第２のポンピング光源２２のポンピングビー
ムもレーザロッド１の末端側に向けられる。このため
に、第３の共振器ミラー５はλ1に対して、詳細には背
面側でＲ＝０．３３％及び共振器側でＲ≦４％を有する
ように反射防止加工されている。
【００１９】第３の共振器５は共振器側で３つの異なっ
た機能（即ち、λ2に対する高い反射性、λ1及びλ3に
対する反射防止）を提供しなければならないので、該残
留反射率（Ｒ）の値は、この場合には全く適当でない。
た機能（即ち、λ2に対する高い反射性、λ1及びλ3に
対する反射防止）を提供しなければならないので、該残
留反射率（Ｒ）の値は、この場合には全く適当でない。
【００２０】共振器長さはレーザロッド１を有するアー
ムで約２４ｍｍ、周波数ダブラー結晶を有するアームで
約９８ｍｍである。
ムで約２４ｍｍ、周波数ダブラー結晶を有するアームで
約９８ｍｍである。
【００２１】２つのポンピング光源２１，２２は、それ
ぞれ軸線方向でレーザロッド１の両端部に対向するよう
に配置されている。これらのポンピング光源は両者とも
完全に同じく構成されかつ波長λ1＝８０８ｎｍを有す
る出力３Ｗの、それぞれ１つの第１（２１１，２２１）
及び第２（２１２，２２２）のレーザダイオード（Type
Spektra Diode Labs SDL 2482 PL）を有する。公知形
式の必要な電流供給、冷却及び調節装置については、こ
こには説明しない。
ぞれ軸線方向でレーザロッド１の両端部に対向するよう
に配置されている。これらのポンピング光源は両者とも
完全に同じく構成されかつ波長λ1＝８０８ｎｍを有す
る出力３Ｗの、それぞれ１つの第１（２１１，２２１）
及び第２（２１２，２２２）のレーザダイオード（Type
Spektra Diode Labs SDL 2482 PL）を有する。公知形
式の必要な電流供給、冷却及び調節装置については、こ
こには説明しない。
【００２２】それぞれのレーザダイオード２１１，２１
２，２２１，２２２には、コリメータ装置２１３，２１
４，２２３，２２４が配属されている。これらはλ1で
透過率８７．３％を有するように反射防止被覆された、
ｆ＝６．５ｍｍ，ＮＡ＝０．５を有する４枚構成レンズ
である。空隙を有するダブルプレートとして構成されか
つＲ＜０．２５％を有するように反射防止被覆されたそ
れぞれ１つのλ／２板２１５，２２５は、偏光するビー
ムスプリッタ２１８，２２８を直線的に透過するレーザ
ダイオード２１１，２２１の光路内に配置されている。
２，２２１，２２２には、コリメータ装置２１３，２１
４，２２３，２２４が配属されている。これらはλ1で
透過率８７．３％を有するように反射防止被覆された、
ｆ＝６．５ｍｍ，ＮＡ＝０．５を有する４枚構成レンズ
である。空隙を有するダブルプレートとして構成されか
つＲ＜０．２５％を有するように反射防止被覆されたそ
れぞれ１つのλ／２板２１５，２２５は、偏光するビー
ムスプリッタ２１８，２２８を直線的に透過するレーザ
ダイオード２１１，２２１の光路内に配置されている。
【００２３】その際重ね合わされた、平行なかつ線形に
偏光されたポンピングビームは、レーザダイオード２１
１，２１２，２２１，２２２の特性により細長い長方形
の横断面を有し、これはｆ＝７６．２ｍｍ及びＲ＜０．
５％を有する反射防止被膜を有するそれぞれ１つの円柱
レンズ、及びｆ＝３０ｍｍ及びＲ＜１％を有するそれぞ
れ１つのアクロマートによりレーザロッド１のモード体
積に合わせられた部分にフォーカシングされる。
偏光されたポンピングビームは、レーザダイオード２１
１，２１２，２２１，２２２の特性により細長い長方形
の横断面を有し、これはｆ＝７６．２ｍｍ及びＲ＜０．
５％を有する反射防止被膜を有するそれぞれ１つの円柱
レンズ、及びｆ＝３０ｍｍ及びＲ＜１％を有するそれぞ
れ１つのアクロマートによりレーザロッド１のモード体
積に合わせられた部分にフォーカシングされる。
【００２４】偏向及び出力結合ミラー５の後方には、出
力光路内に更にλ3に対してＲ＜１％を有する反射防止
被膜を有するフィルタ（ＢＧ４０）が配置されており、
該フィルタは出力ビームにおいて波長λ1及びλ2で妨害
成分を抑制する。この４つのレーザダイオード２１１，
２１２，２２１，２２２のビーム出力総計１２Ｗを有す
る実施例では、カプラー光学系内での損失後に約１０．
５Ｗが、λ2で５Ｗ以上を放射するレーザロッド１に達
する。周波数２倍化後に、λ3＝５３２ｎｍで１．５Ｗ
の出力が達成される。
力光路内に更にλ3に対してＲ＜１％を有する反射防止
被膜を有するフィルタ（ＢＧ４０）が配置されており、
該フィルタは出力ビームにおいて波長λ1及びλ2で妨害
成分を抑制する。この４つのレーザダイオード２１１，
２１２，２２１，２２２のビーム出力総計１２Ｗを有す
る実施例では、カプラー光学系内での損失後に約１０．
５Ｗが、λ2で５Ｗ以上を放射するレーザロッド１に達
する。周波数２倍化後に、λ3＝５３２ｎｍで１．５Ｗ
の出力が達成される。
【００２５】図２は、選択的に２つの異なった波長λ2
及びλ3のために利用することができる、図１に基づく
レーザに対する変形を示す。同じ部分には同じ参照数字
が付けられている、図１におけると同じ構造で、レーザ
ロッド１と周波数ダブラー結晶４との間に、軸３１０を
中心に旋回可能であり、従って選択的にレーザの光路内
に投入又は該光路から外すことができる光学素子３１が
設けられている。
及びλ3のために利用することができる、図１に基づく
レーザに対する変形を示す。同じ部分には同じ参照数字
が付けられている、図１におけると同じ構造で、レーザ
ロッド１と周波数ダブラー結晶４との間に、軸３１０を
中心に旋回可能であり、従って選択的にレーザの光路内
に投入又は該光路から外すことができる光学素子３１が
設けられている。
【００２６】該光学素子３１は、レーザロッド１に面し
た側が適当な半径を有しかつ適当な鏡面化が行われた凹
面状の共振器ミラー３１１として形成されている。該ミ
ラー３１１は傾斜した、研磨されかつ反射防止被覆され
た背面３１２を有する透明な支持体上に施されているの
で、ミラー３１１を透過するビームは、光学素子３１が
レーザの光路内に投入されていると、レーザ装置から側
面に出力結合される。レンズ３１３及び場合により別の
光学素子は、ビーム形成及び偏向のために利用される。
た側が適当な半径を有しかつ適当な鏡面化が行われた凹
面状の共振器ミラー３１１として形成されている。該ミ
ラー３１１は傾斜した、研磨されかつ反射防止被覆され
た背面３１２を有する透明な支持体上に施されているの
で、ミラー３１１を透過するビームは、光学素子３１が
レーザの光路内に投入されていると、レーザ装置から側
面に出力結合される。レンズ３１３及び場合により別の
光学素子は、ビーム形成及び偏向のために利用される。
【００２７】従って、本発明によるレーザは、米国特許
第４９３３９４５号明細書に記載の発明と類似して、選
択的にレーザロッド１の第２の波長λ2でも又は周波数
ダブラー結晶４の第３の波長λ3でも出力に利用するこ
とができる。
第４９３３９４５号明細書に記載の発明と類似して、選
択的にレーザロッド１の第２の波長λ2でも又は周波数
ダブラー結晶４の第３の波長λ3でも出力に利用するこ
とができる。
【００２８】本発明によるレーザは、連続駆動でもまた
パルス駆動でも可能である。
パルス駆動でも可能である。
【００２９】もちろん、図示に実施例に対して本発明の
範囲内で十分な変更が可能である。該変更には、レーザ
ロッド１及び周波数ダブラー結晶４のために別の材料の
使用も含まれる。
範囲内で十分な変更が可能である。該変更には、レーザ
ロッド１及び周波数ダブラー結晶４のために別の材料の
使用も含まれる。
【図１】本発明による固体レーザの１実施例の略示構成
図である。
図である。
【図２】本発明による固体レーザの別の実施例の略示構
成図である。
成図である。
１ レーザロッド、 ２，３，５ 第１、第２及び第３
の共振器ミラー、 ４周波数ダブラー結晶、 ６ フォ
ーカシグレンズ、 ２１，２２ ポンピング光源、 ２
１１，２１２，２２１，２２２ レーザダイオード、
２１８，２２８ ビームスプリッタ、 λ1，λ2，λ3
第１、第２及び第３の波長、 ３１光学素子、 ３１
１ 凹面鏡
の共振器ミラー、 ４周波数ダブラー結晶、 ６ フォ
ーカシグレンズ、 ２１，２２ ポンピング光源、 ２
１１，２１２，２２１，２２２ レーザダイオード、
２１８，２２８ ビームスプリッタ、 λ1，λ2，λ3
第１、第２及び第３の波長、 ３１光学素子、 ３１
１ 凹面鏡
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ペーター グレーヴェ ドイツ連邦共和国 エシンゲン トイセン ベルクヴェーク 13
Claims (5)
- 【請求項１】レーザロッド（１）と、 第１（２）、第２（３）及び第３（５）共振器ミラー
と、 周波数ダブラー結晶（４）と、 ビームが２つの対向した共振器ミラー(２，５)を透過し
てレーザロッド(１)に向けられた、それぞれ少なくとも
１つのレーザダイオード（２１１，２１２，２２１，２
２２）を有する少なくとも１つのポンピング光源（２
１，２２）とから構成された、折り曲げられた共振器
（２，３，５）及び２つの端部を持つレーザダイオード
（２１１，２１２，２２１，２２２）を有するポンプを
有する周波数２倍化固体レーザにおいて、 共振器（２，３，５）が、透明な平板上に形成された第
３の共振器ミラー(５)により折り曲げられており、 周波数ダブラー結晶（４）をポンピング光源（２１，２
２）のビームが透過しないように、周波数ダブラー結晶
（４）及びレーザロッド（１）が折り曲げられた共振器
（２，３，５）の２つの異なったアーム内にあり、かつ
周波数ダブラー結晶（４）を有する共振器（２，３，
５）のアーム内にフォーカシグレンズ（６）が配置され
ていることを特徴とする、周波数２倍化固体レーザ。 - 【請求項２】 第１及び第２ポンピング光源（２１，２
２）がそれぞれ２つのレーザダイオード（２１１，２１
２；２２１，２２２）を有し、そのビームが偏光するビ
ームスプリッタ（２１８，２２８）によって重ね合わさ
れる、請求項１記載の周波数２倍化固体レーザ。 - 【請求項３】 ポンピング光源（２１，２２）の第１の
波長（λ1）、レーザロッド（１）の第２の波長（λ2）
及び周波数ダブラー結晶（４）の第３の波長（λ3）を
有し、前記第３の共振器ミラー（５）を支持する面平行
板が両側で前記第１及び第３の波長（λ1，λ3）に対し
て反射防止加工されておりかつ一方側で第２の波長（λ
2）に対して鏡面化されており、かつ固体レーザのその
他の光学素子（１，２，３，４）が最大でも２つの波長
に対してのみ反射防止加工または鏡面化されている、請
求項１又は２記載の周波数２倍化固体レーザ。 - 【請求項４】 第３の共振器ミラー（５）によって共振
器の光軸が１０〜６０°偏向されている、請求項１から
３までのいずれか１項記載の周波数２倍化固体レーザ。 - 【請求項５】 光学素子（３１）が選択的に固体レーザ
の光路から遠ざけられ又は該光路内に投入され得るよう
に、凹面鏡（３１１）を有する光学素子（３１）がレー
ザロッド（１）と周波数ダブラー結晶（４）の間に可動
に配置されており、かつ前記光学素子（３１）が投入さ
れた状態でレーザロッド（１）の波長λ2のビームを、
周波数２倍化せずに固体レーザから出力結合する（図
２）、請求項１から４までのいずれか１項記載の周波数
２倍化固体レーザ。
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|---|---|---|---|
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