JPH065792B2 - 超伝導性光伝導基本物質Bi▲下2▼0▲下3▼系材料を用いた超伝導オプトエレクトロニクス装置 - Google Patents

超伝導性光伝導基本物質Bi▲下2▼0▲下3▼系材料を用いた超伝導オプトエレクトロニクス装置

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JPH065792B2
JPH065792B2 JP2205264A JP20526490A JPH065792B2 JP H065792 B2 JPH065792 B2 JP H065792B2 JP 2205264 A JP2205264 A JP 2205264A JP 20526490 A JP20526490 A JP 20526490A JP H065792 B2 JPH065792 B2 JP H065792B2
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、Bi系酸化物超伝導材料と、その臨界温度以
下の温度に対応して光伝導現象を示す超伝導性光伝導基
本物質Biとよりなる“超伝導オプトエレクトロ
ニクス装置”に関するものである。
(従来の技術) 超伝導材料の開発に伴い種々の超伝導材料が見い出され
ており、例えば、Ba−Pb−Bi−O系酸化物又はB
a−K−Bi−O系、Bi−Sr−Ca−Cu−O系酸
化物超伝導材料が見い出されている。しかしながら、現
在の超伝導材料の開発は、臨界温度を高めることが目的
とされ、光学的性質の解明、特にその利用がなされてい
ないのが現状である。この理由は、超伝導性と、光吸収
性並びに光伝導性等とは相反する物性であると考えられ
ており、BCS理論のギャップエネルギー以上の波数の
光を照射することにより超伝導体の安定性が破壊される
ものと考えられていたことによる。さらに、これまでに
開発された超伝導材料は主として金属やそれらの合金で
あり、光学的に有益な性質を有する超伝導性光伝導材料
は、いまだに判明していない。
しかしながら、最近の高温酸化物超伝導材料と、その臨
界温度以下の温度で特有な光学的性質を有する超伝導性
光伝導材料とを組み合せれば、超伝導配線などを背景に
持ちながら撮像素子は勿論のこと、電力損失のないスイ
ッチイング素子や光演算素子を実現でき、光論理演算や
空間並列型光演算が可能になり、低電力で作動する高速
演算装置を実現することができる。
(発明が解決しようとする課題) 上述したように、現在の超伝導材料の研究は臨界温度の
上昇を主目的としている。しかしながら、本発明者は、
超伝導材料に関する種々の実験及び解析の結果、三酸化
ビスマスBi,またはBi;M2+(M=
Sr,Ca,Cu)の形で安定化された単結晶がBa−
Pb−Bi−O系酸化物、Bi−Sr−Ca−Cu−O
系酸化物よりなる超伝導材料の臨界温度以下で対応して
光伝導性を生ずると云う予期し得ない顕著な効果を有す
ることを見い出した。すなわち、この酸化物は、常温で
は電気的絶縁性または半導体的性質を呈するが、この酸
化物と関連する酸化物超伝導材料の転移温度以下の温度
においては入射光量に応じたキャリャが発生し、その伝
導率が変化する光伝導性を有していることが判明した。
従って、例えば超伝導性光伝導状態にある三酸化ビスマ
スBi、又はBi;M2+(M=Sr,C
a,Cu)と、これと関連する超伝導状態にある酸化
物、たとえばBa−Pb−Bi−O系酸化物、Ba−K
−Bi−O又はBi−Sr−Ca−Cu−O系酸化物超
伝導体とを組み合せることにより電力損失のない有益な
超伝導オプトエレクトロニクス素子を構成することがで
きる。ここで、超伝導オプトエレクトロニクス素子と
は、超伝導性材料とその臨界温度以下の温度で光伝導性
を有する超伝導性光伝導基本物質とを組み合せたオプト
エレクトロニクス素子をいうものとする。
従って、本発明の目的は、超伝導体に関する従来技術と
その問題点を解決しようとするものでなく、本発明者が
新たに見い出した超伝導性光伝導基本物質、すなわち超
伝導領域につながる材料の特有の光学的性質を有効に利
用した超伝導オプトエレクトロニクス素子及び装置を提
供するものである。
なお、以下ではBiセラミックス及びBi
;M2+(M=Sr,Ca,Cu)単結晶を総称
して“超伝導性光伝導基本物質Bi系材料”と呼
び、それぞれBi、Bi;M2+あるいは
総合してBi系と表現する。
(問題点を解決するための手段) 本発明による臨界温度以下の温度条件下において超伝導
状態となる電極領域と、 これら電極領域の間に形成され、上記臨界温度以下の温
度条件下においてその温度と対応して光伝導性となる受
光領域と、 上記電極領域間に接続したバイアス源とを具え、 前記電極領域をBi系酸化物超伝導材料で構成し、 前記受光領域をBi系酸化物材料よりなる超伝導
性光伝導材料で構成し、 前記受光領域に入射する光量に応じて前記電極間電流が
制御されるように構成したことを特徴とする超伝導性光
伝導基本物質Bi系材料を用いた超伝導オプトエ
レクトロニクス装置。
本発明の他の目的とする所は前記受光領域をBi
セラミックスまたはBi;M2+(M=Sr,C
a,Cu)の形で安定化された単結晶で構成し、前記電
極領域を、一般式 Ca(X-x)Sr(x)Bi(Y-y)Cu(y)O(ここで、2≦
X≦3,3≦Y≦4, 1≦x≦2,0<y≦2,4≦z≦9)の組成の酸化物
超伝導性材料で構成した超伝導オプトエレクトロニクス
装置を提供するにある。
本発明の更に他の目的とする所は前記受光領域をBi
セラミックスまたはBi;M2+(M=S
r,Ca,Cu)の形で安定化された単結晶で構成し、
前記電極領域を、一般式 Ba−Pb(1−x)−Bi(x)−O ここで、0.20≦z≦0.35 の組成の超伝導材料で構成した超伝導オプトエレクトロ
ニクス装置を提供するにある。
本発明の他の目的とする所は前記超伝導オプトエレクト
ロニクス素子を2次元アレイ状に集積化した超伝導オプ
トエレクトロニクス装置を提供するにある。
ここで、超伝導性光伝導性材料とは、常温では絶縁体
で、かつ、同一材料系の酸化物超伝導材料の超伝導状態
への転移温度に対応して光伝導性を生ずる材料を意味す
る。換言すれば、同一材料系の超伝導現象と共役な関係
にある光伝導現象、すなわち超伝導共役性光伝導現象を
発生する材料を意味する。
(作用) 本発明者は、各種超伝導材料についてその超伝導性並び
に光学的性質について実験解析を行なった結果、種々の
超伝導材料においては、その転移温度以下の温度におい
て超伝導性と並行して光伝導性を呈することを見い出し
た。すなわち、例えばBa−Pb−Bi−O系酸化物及
びBi−Sr−Ca−Cu−O系酸化物いおいては、そ
の転移温度以下においてBa,Pb,Bi,Sr,C
a,Cuの含有量に応じて超伝導性材料となることが知
られている。一方、上記のような光伝導性も発見されて
いる。さらに最近、本発明者は三酸化ビスマスBi
,またはBi;M2+(M=Sr,Ca,C
u)単結晶において、同様な、しかしより基本的な現象
を発見した。
第1図(a),(b)、第2図(a)(b)は(a)Biよりなる
酸化物セラミックス及び(b)Bi;M2+(M=
Sr,Ca,Cu)単結晶が超伝導性光伝導性を示す典
型的な実験結果である。第1図(a),(b)は本発明者が基
本物質と考えるBi系材料の光伝導応答の温度依
存性を示す。第2図(a)はT=77KにおけるBi
ラミックス、(b)はBi;M2+(M=Sr,C
a,Cu)単結晶の光伝導応答の波長依存性を示す。本
発明者は、Bi系材料よりなる酸化物について種
々の実験及びその解析を行なった結果、励起光波長λ=
460〜750nm及びT≦180Kの温度領域の条件において超
伝導性光伝導を示すことを見出した。すなわちBi
、系酸化物においては上記の波長λ及び温度Tの範囲
においては超伝導性光伝導を示し、前記超伝導体(Ba
−Pb−Bi−O系又はBi−Sr−Ca−Cu−O系
酸化物)の転移温度以下の温度Tにおいて光伝導を示す
ことを新規に知見した。
第1図(a)及び(b)は基本物質であるBi系材料に
おけるQ(λ,T)の温度依存性を示し、第2図(a),
(b)は同様に波長依存性を示す。
基本物質であるBi系の光吸収、及びそれによる
光伝導はこれまであまり知られていないが、上記の如き
波長依存性を示し、620nmより短波長側に移行するに従
って光応答性が徐々に増大するが、575nm以下では急激
に増大する。しかし、一方620nmより長波長側ではほぼ
小さい光応答性を特定の波長以下で示すに過ぎない。い
ずれにしても、これらの励起光による光伝導度Q(λ,
T)がまたある特定の温度TPS以下で成長し、しかも
その温度がBi系の酸化物超伝導材料での超伝導
転移温度TSCと対応していることが発見された。そこ
で、このように超伝導転移温度と対応した温度以下の温
度で光伝導性を有する材料と、転移温度以下の温度で超
伝導性を有する材料とを結合すれば、臨界温度以下の温
度において超伝導性と光伝導性を併有する有用な超伝導
オプトエレクトロニクス素子を実現することができる。
従って、受光領域を超伝導性光伝導材料で構成し、電極
領域を超伝導材料で構成すれば、電極間において受光領
域に入射する光量に応じた出力電流を取り出すことがで
き、これにより電力損失のない高速応答できる光スイッ
チング素子、光検出器、光増幅素子等の“超伝導オプト
エレクトロニクス素子”及び“超伝導オプトエレクトロ
ニクス装置”を実現することができる。
(実施例) 三酸化ビスマスBi系は古典的にはn,p型半導
体の1つである。そこで、本発明の基礎であるその光伝
導現象の実施例から述べる。この物質の光学的及び格子
振動的視点からの諸性質もあまり調べられてはいない。
したがって、この物質の真性半導体としての電気伝導機
構、特に室温より以下の低温領域における光伝導機構
も、殆んど解明されて来ていない。
(1)Biセラミックス及びBi;M2+
結晶における伝導電子や正孔のホール(Hall)易動度につ
いては、これまでも殆んど実験が行われて来ていなの
で、格子振動による散乱や、格子欠陥の影響なども調べ
られていない。純粋の三酸化ビスマスの低温安定相は、
単斜晶系α相(monoclinic)であるが、(第3図(a)参
照)、高温相の立方晶系δ相(face-centered cubi
c)、準安定相である正方晶系β相(tetragonal)、体
心立方晶系γ相(body-centered cubic)も種々の添加
物により室温まで安定化することができる。
ここでの基本物質Bi系の1つは、Bi
2+(M=Sr,Ca,Cu)単結晶で表わされ、M
2+で安定化された三方晶系(rhomeohedral)単結晶の
もので、BiTe,BiIに類似している(第3
図(b)〜(d)参照)この物質は、超伝導物質Bi−Sr−
Ca−Cu−O系に密接に関係しているが、低温におけ
るこれらの物質の高抵抗性つまり絶縁体的性格のため
に、それらの物性は殆んど調べられていない。
第8図(a)はBi;M2+(♯S213)と通常
の光伝導体AgClとの光応答性とを比較した特性図で
ある。
第8図(b)はBaPb(1−x)Bi(S5
4)(x=1)の光応答の温度依存性を示す特性図であ
る。
第8図(c)は同BaPb(1−x)Biにおい
てx=0.5,x=0.4の光応答の温度依存性を示す特性図
である。
第8図(c)及び(d)はCa(2−x)Sr(x)BiCu
におけるx=0及びx=1における光応答Q
(λ,T)と暗抵抗R(mΩ)とのそれぞれの温度依存
性の特性図である。
本発明者は独自の研究を行い、4.2K〜77K、さらには
4.2〜300Kに及ぶ温度領域でのBi系材料のう
ち、特にBi;M2+を用いてこの系の伝導電子
帯、価電子帯に光励起によってつくられた伝導電子、正
孔による光伝導度Q(λ,T)及び磁気抵抗易動度の測
定結果を得た。(第4図参照)これらの解析をLOフォ
ノン散乱による担体−格子相互作用の理論にもとづいて
行い、Bi系における伝導電子や正孔の真性的散
乱機構を4.2K〜100Kに及ぶ広い温度領域で初めて明ら
かにした。
三酸化ビスマスBi;M2+単結晶M(Sr−C
a−Cu)は次の方法で作製した。高純度の原料Bi
を少量のSrCO,CaCO,CuOとともに
Alルツボ内で、860℃で溶解した後除冷する。
作製された物質に黄色部分が試料の典型的なもので、そ
の大きさは5×5×10−2mm3である。Sr,Ca,
Cuのモル混入率は、それぞれ17.15%、5.50%、0.73
%であり、約20%のBiSrCaCuOを含
んでいると考えられる。
さて、たとえば300K以下の低温では、Biの電気
抵抗は非常に大きくなる。このような温度領域では、殆
んどの半導体での電流磁気効果の測定に広く利用されて
いる接触電極を用いた標準的方法では、信号雑音比(S
/N比)が小さく悪くなることや、電極の非オーム性な
どのために測定が著しく困難になる。そこでホール易動
度の測定には本発明者はイオン性結晶でのポーラロンの
運動問題についてかねてから発展させて来ていたブロッ
キング電極を用いてパルス光伝導測定技術をBi
;M2+について採用した。用いられた電極配置
は第5図(a)及び第5図(b)に示されている。
第4図は三酸化ビスマスBiの光吸収や光伝導ス
ペクトルを説明するためのエネルギー状態の模式図であ
る。吸収端は、励起子のIs帯への電子の直接遷移によ
るものである。(これらについては後に第19図でやや
詳しく述べる。) パルス光伝導測定での光源としては、第6図に示したよ
うにNレーザー励起により発振させることが出来るパ
ルス幅5nsecの色素レーザーが用いられλex≦750nmの
発振波長で用いられた。観測された磁場H内における光
伝導応答QxH=0及び磁気抵抗信号Qx(H≠0)レ
ーザ光に同期して測定した。その結果は、光励起で生成
した担体は伝導電子と正孔が共存することを示してい
る。光励起によってつくられた自由正孔の密度は10
−6〜10−8cm-3の桁の大きさである。温度Tは、標
準的なAu+0.7%クロメル熱電対を試料に固定させて
指示させた。低温における担体の易動度はかなり大きい
ので、担体の速度が物質の音速を越えたりしないよう
に、印加電場を設定するなど特別の注意を払った。磁場
は超伝導磁石を用いて印加した。また、空間電荷層の形
成の影響を除去する(depolarize)ためにさらに長波長
の光(λ800nm)をかさねて照射した。
第1図は、低電場E、弱磁場H内にあるBi系の
伝導電子及び正孔による光伝導信号QT,E,H)の温
度依存性を示す典型的な例である。ここで記号Qxは電
場Ex方向の光電流信号をあらわし、この場合時間的に
は積分されている。また、ここでは伝導電子も正孔もと
もに運動しうるが、両者の適切な立場での平均されたも
のを光生成担体と考えておく。このように仮定すると先
に述べたとおり、Qx(H)H≠0の測定から担体の易
動度の概略値を求めることができる。温度を減少させて
行くとQx(0)H=0)も出現し、増大するがQx
(H)H≠0の方は、よりゆるやかに増大する。高抵抗
物質でのパルス測定では、磁気抵抗易動度μは、電圧
ではなく電流の相対比をとおして から計算される。そこで、これは担体の易動度が急激に
増加することを示唆している。これらの結果をまとめ
て、磁気抵抗易動度μ(T)の温度依存性を示したの
が第7図である。最低温度における担体の易動度の最高
値はT=5.0Kで実に20,000cm2/V・secにも達する。
これらの易動度の温度依存性は、定性的には標準的理論
に比べることによって理解し得る。第1図に示されたよ
うに、30Kより以下では観測された易動度は殆んど温
度に依存しない。これは、この温度領域では中性不純物
散乱が支配的であることを示している。40K以上で
は、磁気抵抗易動度μが(1/T)に対して大体指数
関数的依存性をもつことが認められ、これは有極性LO
フォノン散乱tωLO=21.1meVが優勢になってきたこ
とを示唆している。ここでこの直線の勾配はかなりゆる
やかであり、比較的小さいエネルギーのLOフォノンが
関与していることが解る。
Bi系の群論的な解析にもとづく格子力学的考察
は、これからの問題であるがLOフォノン様式による散
乱と、中性不純物散乱、それに30K〜50K近くに温
度領域で有効な音響型LAフォノン様式による散乱を加
えて議論することが適切であろう。
以上を要約すれば、40K以上では、担体の散乱は、ソ
フト・モードLOフォノン、30〜50Kでは音響型L
Aフォノン、それに30K以下とは中性不純物の効果の
組み合さった結果で定められている。しかし、ここでそ
の端緒が見出される最も大きな特色は第1図でのパルス
光伝導度の明確な温度依存性の結果で、普通の光伝導現
象とは逆に、温度を下げていくと信号が成長して来る顕
著な光伝導現象で、これについては次にさらに研究した
結果を述べる。
(2)三酸化ヒスマスBi系の主として価電子帯−
伝導帯間遷移(帯間零移と略称することがある)、によ
る光伝導性については、これまでに殆んど実験的研究が
存在しない。
しかし、最近我々は低温でのBi;M2+価電子
帯に、基礎的収端すなわち価電子帯と伝導帯との間の禁
止帯幅Egよりも小さいエネルギー、つまりより長い波
長λの光励起でつくられた励起及びその分解によって生
成された伝導電子及び正孔による光伝導度Q(λ,T)
とそれらの磁気抵抗易動度μ(T)に対する新しい実
験結果を得た((1)の項参照)。
しかし、ここで最も注目すべきことは、Biでの
パルス光伝導度Q(λ,T)の温度依存性には、他のビ
スマス系合物たとえばBa−Pb−Bi−O系、Ba−
K−Bi−O系、Bi−Sr−Ca−Cu−O系の場合
と同様な驚くべき異常な挙動、すなわち温度を下げて行
くと普通減少し消滅して行く光伝導度Q(λ,T)が逆
に段階的に続けて現れて来るという現象である。これら
の現象は、LOフォノン雲や、他の価電子による電子雲
を伴った正孔ポーラロンや、伝導電子ポーラロンが帯間
遷移の光によって生成され、それらの“飛程(Schubwe
g)”つまり易動度μdと寿命τ(t)の積がある温度以下
では特別の理由で大きく延長されることによっている。
この飛程の異常な延長は伝導電子や正孔の新しい状態へ
の本質的な意味での凝縮が起っていることを啓示してい
る。しかも驚くべきことはこれらの光伝導信号Q(λ,
T)の出現温度や階段温度Tpsとその関連物質である
酸化物超伝導体の臨界温度TSCとは一致するか少なく
ともよく対応している。普通の物質ではQ(λ,T)は
温度を下げ行くと指数関数的に減少するのと比べて、こ
れはまったく逆の現象である。そこでこのような異常な
光伝導現象を“超伝導性光伝導度(Superconductive Pho
toconductivity)”と呼ぶことにする。
既に本発明者は、Ba−Pb−Bi−O系、Ca−Sr
−Bi−Cu−O系で、伝導電子や正孔を生成すること
に対して光励起によるドーピングがPb,Sr−ドーピ
ングと同等であるという考え方を確立している。したが
ってQ(λ,T)の実験結果を綜合してみると、波長選
択により注意深く光励起されたBi系の励起状態
での新規な“光伝導性”は、先にBa−Pb−Bi−O
系、Ca−Sr−Bi−Cu−O系で示されたように、
Bi系酸化物高温超伝導体の基底状態での“超伝導性”
と深い相関をもっていることを確認した。
簡単のために、これまでの所で得られている絶縁性Bi
単結晶および多結晶、ならびにCa−Sr−Bi
−Cu−O系セラミックス試料の異常なパルス光伝導度
Q(λ,T)の実験結果を、従来認められている光伝導
度(Normal Photoconductivity)を示すAgCl単結晶で
の典型的なデータ例とともに、新たに第8図(a)〜(e)に
一括して示す。驚くべきことには、AgClの場合を除
くこれらのすべての実験結果は温度を下げていくと、明
らかに超伝導性光伝導度Q(λ,T)の出現することを
示している。また第8図(d)は関連した超伝導性物質で
あるBi−Sr−O−Cu−O系の暗抵抗ρ(t)の温
度依存性を例示したものである。また、第2図(a)(T
=77K),(b)T=5.0K、第9図(a)(T=77K)E=3
20V/cm、第9図(b)E=2.2KV/cmには、光伝導度Q
(λ,T)の波長依存性が示されている。
これまでの結果から、絶縁体領域における光伝導信号Q
(λ,T)の段階温度Tpsと超伝導体領域でのρ
(T)での臨界温度TSCとの間には、第10図に示す
ように深い相関があることが確認された。
なお、ここでは純粋に凝縮系物理学の基本問題としての
議論の詳細は省略するが、いずれにしても、Bi系での
超伝導性光伝導と超伝導現象とは、互いに相補的なもの
でどちらがより本質的であるとは云えない。
以上の状況の下で、我々は“超伝導性光伝導度(Superco
nductive Photocorductivity)”を先に述べたように定
義する。すなわち、本来母体となる絶縁体の光伝導で、
関連した伝導性物質での超伝導転移温度と一致あるいは
少くとも対応した温度以下で出現し、いくつかの段階的
部分を示すような特異な温度依存性を示す光伝導現象
を”超伝導性光伝導”と呼ぶ。このような命名は自然な
ものと考えられるが、本発明者はBa−Pb−Bi−O
系、Ba−K−Bi−O系、Bi−Sr−Ca−Cu−
O系と同類の“超伝導性光伝導”現象をBi系で
も最初に発見したということが出来る。このような光励
起でのBi系での恐らく励起子を伴い、本質的に
凝縮した伝導電子や正孔系による新規な“超伝導性光伝
導現象”は、Ba−Pb−Bi−O系、Ba−K−Bi
−O系、Bi−Sr−Ca−Cu−O系のようないろい
ろなBi系酸化物超伝導体の基底状態での“高温超伝導”
現象と深い相関を持っていることは確かと考えられる。
(3)(1)に述べたように、第1図(b)で特に低温での三酸
化ビスマスBi;M2+結晶を波長λex540n
mで光学的に選択して励起した場合のパルス光伝導Q
(λ,T)と第7図で担体の磁気抵抗易動度μ(T)
の新しい観測結 を示した。そこで(2)に述べた状況に
対応させて、4.2K〜300Kという更に広い温度領域での
Bi;M2+結晶内での担体によるQ(λ,
T)、μ(T)のデータの詳細を、“超伝導性光伝
導”を解明するために再検討した。その結果、新しく本
質的に大切な情報を得た。光伝導に寄与する担体の密度
np(T)の詳細をしらべるために、これらのデータを解
析することにより、我々はBi系における光伝導
信号Q(λ,T)がその温度依存性でいくつかの階段状
変化をする温度“階段温度(Step Temperature)Tps”
と同様に担体密度np(T)にもいくつかの系列をなす
“下端温度(Clew Temperature),T”または渋滞温度
をもつことを初めて発見した。これらはともに励起光下
にあるBi系で自由な伝導電子と正孔が規則的に
凝縮して電荷移動型(Charge.transferCT型)励起子
をつくることによるもので高温超伝導の基底状態に密接
な相関をもつものである。
実験に際しては、Bi;M2+単結晶及び多結晶
が用いられ、その詳細を調べ直した。
互いに直交し、ともに弱い電場Ex及び磁場Hz内にあ
る絶縁性試料での正孔による光伝導信号の2成分Qx
(T,O)、Qx(T,H)、それに磁気抵抗易動度μ
(T)を測定するに際して、我々はポーラロンの運動
問題の研究でかねてから発展せて来ていたブロッキング
電極を用いたパルス光伝導測定技術を励起光波長λex
(あるいはただλ)で採用した。光励起担体の“飛程(S
chubweg)”が多結晶の粒塊内においてさえも、充分小さ
くなるように、電場Exは弱電場領域に設定された。光
伝導信号Q(λ,T,Ex,Hz)のEx依存性は線型
でありこれが上記の条件が成立していることを保証して
いる。これらの実験における本質的な問題点はこれまで
の研究で充分検討されていて、50nm〜1μmのサイ
ズのAgBr 微粒子結晶の場合についても確かめられ
ている。実施例(1),(2)と異なる新しい部分は、ここで
のQx(T,O)、Qx(T,H)、それにこれらから
得られたμ(T)のデータとを注意深く再検討するこ
とによって得られた担体密度np(T)の主として温度依
存性いついてのもので次の関係式 Qx(T)=σ(T)Ex=np(T)eμd(T)Ex (1) Qx(T,H)=σ(τ)Ex+δ(T,H)ExHz δ(T,H)=np(T)eμd(T)ExHz/C(2) に基づくものである。ここでσ,δは弱い外場の極限で
は一定の値をもち横磁気抵抗は であたえられる。したがって光伝導に貢献する担体濃度
np(T)は np(T)≡Qx(T)/eμ(T)Ex (4) でその温度依存性を求めることが出来る。なおこれ以後
本発明は記号を簡略化しQx(T,H=0)Qx(T,
H≠0)をQx(0),Qx(H)と書くことにする。
第4図では、Bi系の価電子帯と伝導帯の模式的
なエネルギー状態図で励起光波長λexのいくつかの場合
の状況を定性的に示している。
さて、第11図のように、実際、(4)式を用いると、励起
光によって生成された担体の密度n(T)の相対値の温
度依存性を直ちに導き出すことが出来る。ただし、ここ
で相対比(μH/μd)の値は(3π/8)と1の間の
値でnp(T)の変化の幅に比べると殆んど一定と考えて
も差支えないものとする。このようにして求めた結果を
見ると、n(T)に認められる“下端温度(Clew Temper
ature),Tpcの1つながりの段階構造の系列は、確かに
ある物理的意味を示唆している様にも考えられる。そこ
で、以下に若干の考察を行なう。
まず第1に、励起光波長λex=620〜540nmで励起された
Bi;M2+結晶内に生成され、パルス光伝導や
磁気抵抗易動度などの実験に関与している担体が伝導帯
の伝導電子と価電子帯の自由正孔の調和をもつ集合であ
ることは、自ら明確である。
第2に、本発明者は、Q(λ,T)に“階段温度Tps”
及び励起光によって生成された担体密度np(T)に1つ
ながりの“下端温度Tpcまたは渋滞温度”が予想外に規
則正しく配列していることを始めて見出した。これらは
後に実験結果で示すようにいずれも自由な伝導電子と正
孔の実空間での凝縮によるものであろう。
驚くべきことは、これらのBi系結晶光伝導にお
ける階段温度Tpsや担体密度の下端温度Tpcまたは渋滞
温度がBi系酸化物高温超伝導体の臨界温度Tscと明確な
相関をもつことである。
結論としてBi系結晶内に励起光によって生成さ
れた担体による光伝導Q(λ,T)やそれらの易動度μ
(T)の温度依存性の実験結果を注意深くしらべるこ
とにより、λex=540nmで光励起されたBi系に
おいては温度を下げて行くとQ(T),μ(T)が急
激に増加するにもかかわらず光伝導信号Q(λ,T)に
いくつかの“階段温度Tps”が、或いははそれから求め
られる担体密度n(T)に1つながりの新しい“下端温
度Tec”または渋滞温度の系列が現れることを本発明者
は世界で最初に知見した。
Tps及びTpcの値の1つながりの新しい系列は、励起光
によって生成された自由な伝導電子や正孔が、電荷移動
型(CT型)励起子とともに全体としても運動しうる調
和した集団に実空間で凝縮してしまうものと考えられ、
“超伝導性光伝導”の視点から注目すべきものである。
実際これらがなんらかの意味で凝縮し始めていること
は、光吸収や光伝導スペクトルにおける黄色系励起子の
温度依存性の凍結についての結果から再認識される。
(4)磁気抵抗易動度μ(λ,T)のT=5.0Kにおける
波長依存性を光伝導応答スペクトルと対応させて第12図
に示した。
568nm付近での励起子吸収μ=2以下、n=3などに
対応するかの如きμの増減に伴う構造が認められる
が、それより短波長側では概して一定値をもつ。ただし
その値はμ12,000cm2/V・secとかなり大き
い。
(5)ところで、これらBi系の超伝導性光伝導の
結果を実際に用いる際には、適切な波長領域λと温度領
域Tを設定することが必要となる。温度領域について
は、素子を作製する際に併用する超伝導物質で同系統の
Bi系酸化物との関係を考えると、動作温度にはT=4.2
〜110Kに設定することが望ましく、一方用いる励起光
の波長としては、吸収係数を考えると、実用的な波長領
域としてはλ=470〜600nmをとることが望ましい。そこ
で例として、以下ではλex=540〜570nmとし、T=4.2
〜77Kにおいてパルス光伝導信号Q(λ,T)の励起光
強度Iex依存性をQx/Iexの形でしらべた。その結果
が第13〜15図である。これらの結果から容易に判るよう
に、Q(λ,T)=n(λ,T)eμd(T)Eは、T
=5.0Kではμ(T)(その値はμdと同程度と考え
てよい)がIexにより急激に減小することを反映して、
Iexに対しては著しい非線型性を示す(第13図(a)ま
た(b)はそれらの対数目盛でのプロットを示す)。この
機構の内容を示唆しているのが第14図である。ここに示
すように、担体の数nはIexに殆ど比例している(プロ
ットa)。プロット(b)は(n/Iex)を示す。またそ
れらの変化分Δn(プロットc)そのものがIexに依存
しているが、Δn∝Iex2の関係があるためその原因は
中性不純物濃度を上まわる帯間励起子の生成に基づく散
乱機構によるものであることが解る。そこで実用上、よ
り高い操作温度を目指してT=77KでのIex−依存性に
ついて検討した。第15図に示すようにT=77Kでも(Q
x/Iex)は急激に減少する。しかし、後に述べる超伝
導オプトエレクトロニクス素子の材料としてBi
系を用いるには、Bi−Sr−Ca−Cu−O系と組合
わせてT=77Kの窒素温度近傍で用いることが最適であ
ることが理解出来る。
そこで次に、電極領域の材料として、Bi−Sr−Ca
−Cu−O系酸化物を例にとり説明する。第8図(b)〜
(d)はCa−Sr−Bi−Cu−O系酸化物の超伝導性
光伝導及び超伝導性の実験結果である。第8図(c)はC
(2−x)Sr(x)BiCa(x=0)の光
応答の温度依存性を示し、第8図(d)はCa(2−x)
Sr(x)BiCa(x=1)の暗抵抗率の温度
依存性を示している。
一般式Ca(X-x)Sr(x)Bi(Y-y)Cu(y)Oで表わさ
れるBi−Sr−Ca−Cu−O系酸化物においては、
たとえばX=2,Y=3,y=2としてSrの含有量x
及び酸素の含有量zに応じて超伝導性から光伝導性に移
行し、1≦x≦2,6≦z≦7の範囲において超伝導性を
呈し、0≦x<1,7.0=zの範囲においてその転移温
度以下の温度で光伝導性を呈することを見出した。第8
図(c)及び(d)に示すように、Ca(2−x)Sr(x)B
Cu系においてx=0においてはその臨界温
度以下の温度において光伝導性をx=1においては超伝
導性を呈していることが明確に確認されている。Ba−
Pb−Bi−O系についてこれらと類似の状況をまとめ
た結果が第10図であり、広い意味での相関を示してい
る。
これらの結果により、Ca(2−x)Sr(x)Bi
系の伝導材料において0≦x<1の場合は超伝
導性光伝導材料を構成し、1≦x≦2の範囲において超
伝導性材料を構成することになる。したがって電極領域
の材料としては後者を用いることができる。
しかし、このような転移温度以下の温度で光伝導性を有
する材料として、ここでは特にそれらの基本物質である
Bi系材料と、転移温度以下の温度で超伝導性を
有する材料、たとえばCa(X-x)Sr(x)Bi(Y-y)Cu
(y)Oとを結合すれば、臨界温度以下の温度において
超伝導性と光伝導性を併有する有用な超伝導オプトエレ
クトロニクス装置を実現することができる。従って、受
光領域を超伝導材料で構成し、電極領域を超伝導性材料
で構成すれば、電極間において受光領域に入射する光量
に応じた出力電流を取り出すことができ、これにより電
力損失のない高速応答できる光スイッチング素子、光検
出器、光増幅素子等の“超伝導オプトエレクトロニクス
装置”を実現することができる。
さて第16図は本発明による超伝導オプトエレクトロニ
クス素子の一例の構成を示す線図的断面図である。
第16図において、31は基板、32はゲート領域、3
3はソース領域、34はドレイン領域、35は絶縁体
層、36は透明なネサガラス、37は励起光を示す。V
gは電源を示す。
本例では、超伝導フォトトランジスタ(Vg≠0)とし
て利用する例について説明する。
SrTiOまたはMgOより成る基板31を用い、こ
の基板31上に光伝導性ゲート領域32を形成する。ゲ
ート領域32は、幅0.2μm〜1.0mmで厚さ1〜10μm
の光伝導性Bi層で構成する。このBi
はCaSrBiCuより成る超伝導材料の
臨界温度以下の温度で460〜620nmの励起光波長域で特有
な光伝導性をそなえている。ゲート領域32の両側にソ
ース領域33及びドレイン領域34を形成する。これら
ソース領域33及びドレイン領域34を、臨界温度90
Kで超伝導性を示すCaSrBiCu又は
CaSrBiCuいわゆるBiSr
Cu材料で構成する。さらに、ゲート領域3
2、ソース領域33及びドレイン領域34上に光学的に
透明で電気的絶縁性を有する厚さ1μmのSiO層5
を形成し、この上に透明なネサガラス層36を形成す
る。ネサガラス上の電極とソース領域33との間にバイ
アス源Vgを接続すると共にソース領域33とドレイン
領域34との間にバイアス源Vsp及び出力抵抗Rを接続
する。
なお、Ca(2−x)Sr(x)BiCuの組成
をx=0→1に連続的に変化させて光伝導性領域2から
超伝導性領域3,4を構成することも可能であるが、こ
こでは領域2には、より光応答Q(λ,T)が著しく大
きい超伝導性基本物質Bi系を用いるのが特色で
ある。
上述した構成の超伝導オプトエレクトロニクス素子をB
i−Sr−Ca−Cu−O系超伝導性光伝導材料層の臨
界温度80Kまたは110K以下の温度に冷却し、励起波
長域の光を照射すると、入射光量に応じたキャリアがゲ
ート領域2に生成される。生成されたキャリアはソース
ドレイン間バイアスVspによって加速され電流となり出
力抵抗Rに出力電圧が発生する。なお、光生成キャリア
は照射光量及びバイアス源Vgに応じて生成密度が定ま
り、それに比例して1次光電流をあたえるQ(λ,T)
及び、ひいては2次光電流すら定まるから、目的に応じ
てVgを適切に設定することができる。このように構成
すれば、入射光量に応じた出力特性を得ることができ、
従って超伝導光スイッチング素子を実現することができ
る。特にソース領域及びドレイン領域を超伝導材料で構
成しているので、動作時の発熱を伴なわない本質的な超
伝導オプトエレクトロニクス素子を実現することができ
る。
第17図は、第16図に示す超伝導オプトエレクトロニ
クス素子をアレイ状に集積化した例を示す線図である。
本発明による超伝導オプトエレクトロニクス素子を1次
元又は2次元アレイ状に高密度に集積化すれば、素子間
の適切な超伝導配線をも背景にしながら動作時の発熱作
用を最小に抑制した撮像素子を実現できると共に、空間
的に並列演算を行なう光コンピュータの信号検出などの
主要部分を実現することができる。また用いる光源の波
長選択による多重チャネル化の可能性も考えられる。
第18図は本発明による超伝導オプトエレクトロニクス
素子を用いて、空間並列光コンピュータにおける投影相
関光学系での光演算を行なう例を示す線図である。アレ
イ状光源40から複数の光信号を並列してマスクパター
ン41に向けて投射する。マスクパターン41には演算
処理内容に応じた符号化像情報がマスク状に形成されて
おり、マスクパターン41を通過した複数の光ビームは
スクリーン42を経て複合マスク受光素子アレイ43の
対応する各素子にそれぞれ並列に入射する。各受素子に
はマスクスクリーンによって変調された符号化信号が形
成されるので、各受素子からの光電出力信号から演算結
果が求められる。受素子アレイ43の各素子を本発明に
よる超伝導オプトエレクトロニクス素子で構成すれば、
動作時の発熱を最小に抑制した状態で並列光演算を行な
うことができる。
なお、上述した実施例では、3端子素子を例にして説明
したが、2端子素子としてい利用することもできる。す
なわち、Vg=0で生成されたキャリアは超伝導性光伝
導による超伝導近接効果を有しているから、この超伝導
オプトエレクトロニクス素子は光の照射に基く超伝導ジ
ョセフソン接合素子としても作用させ得ることも予測さ
れる。この2端子素子は、“超伝導性光伝導制御ジョセ
フソン接合素子”として位置付けることができる。この
場合には、ゲート幅と入射光量とを適切に選択する必要
がある。
そこで先に述べたいくつかの実施例をとおして考察する
と、適切な励起光の下では三酸化ビスマスBi
材料のセラミックス結晶はBi系酸化物を基礎とした高温
超伝導体のすべての系に対して、一貫した基本物質の役
目を果していることは明確で、これは本発明者が世界で
最初に知見したものである。
したがってこれらの絶縁体Bi系材料をBi系高温
超伝導体と組合わせてオプトエレクトロニクス素子を作
製すれば、各々の階段温度Tpsあるいは下端温度Tpcま
たは渋滞温度と臨界温度Tscの整合性から、それらの温
度以下できわめて調和のとれた、本質的な意味での"超伝
導オプトエレクトロニクス素子及び超伝導オプトエレクトロニクス装置"を創作
することが可能となるのである。これらはまったく革新
的な最先端科学技術分野である。"超伝導オプトエレクトロニクス"と
いう新分野の開拓をもたらすものである。
さらに、上述した実施例では、Bi-Sr-Ca-Cu-O系材料を用
いることを考えたがBa-Pb-Bi-O系や、Ba-K-Bi-O系材料の
ような別の超伝導性材料系を用いることもできる。例え
ば、ゲ-ト領域をBi2O3系の材料で構成し、電極領域を超伝導
性を有するBa-Pb-Bi-O系材料で構成すれば、同様な効果
を有する超伝導光伝導オプトエレクトロニクス素子を実現すること
ができる。
なお、先にも述べたBa-Pb-Bi-O系、Ba-K-Bi-O系、Bi-Sr-Ca
-Cu-O系の超伝導性光伝導現象は、ここでの基本物質Bi2O
3系と深い関係があり、以下の機構に基づくものと考えら
れる。第1図(b)及び第9図(a),(b)及び(c)に示した光伝
導のスペクトル応答Q(λ,T)はBa−Pb−Bi−
O系又はBi−Sr−Ca−Cu−O系の試料の内部
に、原子的な意味でBi系と類似する領域が存在
していることを暗示している。Bi系による光吸
収並びに光伝導性は、実験的にも励起子理論によてもあ
まり詳しく解明されてはいない。Wannier型励起子、ま
たは陽イオン殻間での電荷移動型励起子の典型的な例で
あると思われる。ここでの光伝導度Q(λ,T)におけ
る微細構造の位置はBi系そのものの基礎吸収端
付近の構造(第1図)とよく一致している。Bi
系ではいくつかの際立った恐らく励起子によるものであ
ろうと考えられる微細構造を認めることが出来る。また
たとえばBiと類似してCa−Sr−Bi−Cu
−O系の光伝導応答スペクトルのλ≒580nm近傍にBi
の黄色系列励起子のn=2状態に対応するものと
考えられる構造が認められる。そこで、Ca−Sr−B
i−Cu−O系の物質の内部には無視することのできな
い、少なくとも有限の比率でのBiに類似する相
が存在する。そして、そこではそれぞれの結晶構造に若
干の相異をもつものの、光によって励起された伝導電子
と正孔が確かに動きまわれる状態にある(第20図(a)
(b)及び(c)参照)。
第20図(a)〜(c)いおいて、44はBi(6p)伝導
帯、45は帯間遷移励起、46はBi(6s)−O(2
p)混成価電子帯を示す。
標準的なタイプのBi結晶内の伝導電子と正孔
は、やや“小さいポーラロン”を形成していると考えら
れている。また、BiやCa−Sr−Bi−Cu
−O系絶縁体的試料においては、“光伝導度Q(λ,
T)の出現”が、“超伝導度の出現”と明確に関係して
いて、あたかも超伝導性が光伝導性の現象のうらに潜在
しているかのように見える。そこでポーラロンの効果に
ついていえば、それがLOフォノンとの相互作用にもと
づく“大きなポーラロン”であろうと、或いはヤーンテ
ラー効果による“小さなポーラロン”であろうと、また
は両者に基ずく中間結合の領域のものであろうと、ある
いはまた“電子分極によるポーラロン効果”であろうと
少なくとも潜在的には、“ポーラロン効果”は重要なも
のである。それらポーラロン効果は、コヒーレントに混
成した形での素励起としての複合した効果をもっている
と思われる。ここで電子分極によるポーラロンに特別の
注意を払う必要があり、それは別名“電子雲ポーラロ
ン”または“励起子ポーラロン”とも呼ばれているもの
である。ここでの実験結果を見ると、ポーラロンや励起
子の間に密接な関係があることが認められる。
第20図(a)に示すように、これらのポーラロンや励起
子は、どれも酸素の(2p)とBiの(6s)の混成価
電子状態から後に(2P)(6S)あるいは(2
P)(6S)の配置で“正孔”(白丸印)を残し
て、LOフォノンとも相互作用をしながら主としてBi
の(6P)伝導帯44への帯間遷移によって(6P)の伝
導電子とがつくり出されたものである。しかし、Ca
(2−x)Sr(x)BiCu系のポーラロンは
光学的励起でも、CaをSrで置換するいわば化学的圧
力効果でもつくり出すことができる(第20図(b)及び
(c)参照)この場合x=1で超伝導体に移行している。
Bi(6S)とO(2P)の混成帯内の正孔は帯間また
は帯内いずれの遷移によっても多体系の基底状態からつ
くり出すことができるから、電子間の相関効果は勿論き
わめて重要である。特にBi3+とBi5+の間の動的
な価電子揺動にも一層注意を払わなければならない。そ
れゆえ、高臨界温度をもつ超伝導機構に対しては、その
大小を問わずポーラロンの集合、特に励起子と密接に関
係した集合の潜在的役割を考える理由は充分存在する。
ポーラロンと励起子の集合はバイポーラロン、ポーラロ
ン励起子の集合、および/または最もありそうなのは動
的な電子−フォノン相互作用と同様に動的な電子相関に
基づく、“励起子媒介のバイポーラロン”であると考え
られる。第9図(a),(b)及び(c)に示すように、Ca−S
r−Bi−Cu−O系での光伝導応答Q(λ,T)は第
2図(a),(b)に示すBi系の光吸収応答のスペク
トルに極めて類似している。したがって、既に述べたと
おりここでの素励起の研究は尨大なキャリァー密度の差
にもかかわらず、超伝導基底状態の性質を啓示している
と考えられる。さらに、第20図(a)及び(b)の素励起状
態(絶縁体)においても、第20図(c)の基底状態(超
伝導体)におけるジョセフソン効果と同様な現象の出現
が予測できる。本発明者の知識の及ぶ限りでは、これら
が高臨界温度をもち反磁性を確かに示すことが知られて
いるBi−Sr−Ca−Cu−O系の超伝導性に登場す
るポーラロンと励起子による機構の最初明確な実験的証
拠である。
(発明の効果) 以上説明したように本発明によれば、電極領域をBi系酸
化物超伝導材料で構成し、受光領域を上記超伝導材料の
臨界温度と一致または対応して、しかも特に大きな光伝
導性を示す“超伝導性光伝導基本材料Bi系で構
成しているから、高感度で動作でき、しかも動作時のジ
ュール熱等の発熱作用を最小に抑制した本質的な意味で
の“超伝導オプトエレクトロニクス素子”たとえば“超
伝導性光伝導制御ジョセフソン接合素子”、超伝導フォ
トトランジスタ”などを実現することができる。また、
本発明による素子を2次元アレイ状に高密度に集積化し
た場合、電極部及びリード部等が完全反磁性を持つか
ら、これら相互間の電磁的相互作用や外部磁界による影
響を受けず、ノイズの発生伝達を有効に抑制することが
できる。従って、熱的及び電磁的に最良の条件下で動作
できる受光素子アレイを実現でき、例えば高速演算速度
を持つ空間並列光演算装置のような本質的にすぐれた
“超伝導オプトエレクトロニクス装置”の実現が可能で
ある。これらの効果は“超伝導オプトエレクトロニク
ス”という最先端の科学技術分野をさらに大きく拓くこ
とを可能にした点で工業大顕著な効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図(a),(b)はBiセラミックス及びBi
;M2+(M=Sr,Ca,Cu)単結晶の温度に対
する光伝導特性を示すグラフ、 第2図はBiの光応答特性の励起光波長依存性を
示すグラフ、 第2図(a),(b)はBiセラミックス及びBi
;M2+(M=Sr,Ca,Cu)単結晶の光伝導特
性の波長依存性を示すグラフ、 第3図はBi系のX線による結晶構造解析の結果
(a)Biセラミックス、(b),(c)Bi;M
2+粉末単結晶、(d)Bi結晶に類似していると
考えられるBiTeの結晶構造と結合様式、 第4図はBiの光吸収スペクトルを説明するため
のエネルギー状態の模式図、 第5図(a)及び(b)は光応答測定原理の構成を示す線図、 第6図は光応答測定装置の回路構成を示す回路図、 第7図はBiの磁気抵抗移動度を示す特性図、 第8図(a)〜(c)はBi;M2+単結晶、Ba−P
b−Bi−O系、Ca−Sr−Bi−Cu−O系セラミ
ックスの光応答特性を示す特性図、 第8図(d)はCa−Sr−Bi−Cu−O系セラミック
スの暗抵抗の温度依存性を示す特性図、 第9図(a)はBi;M2+結晶、第9図(b)は純粋
Bi結晶の光応答特性の波長依存性を示す特性
図、 第9図(c)はBa−Pb−Bi−O系、Ca−Sr−B
i−Cu−O系セラミックス光伝導応答の温度及び波長
依存性を示す特性図、 第10図はBa−Pb−Bi−O系セラミックスの超伝
導状態から光伝導状態への移行を示す模式図、 第11図はBi;M2+の担体密度と温度の関係
を示す特性図、 第12図はBi;M2+の光伝導応答特性及び磁
気抵抗易動度μmの広い励起光波長依存性を示す特性
図、 第13図(a)はBi;M2+の励起光強度Iexと
Qx/Iex及びμmとの関係を示す特性図、第13図
(b)はそれらを対数目盛で表わした特性図(ともにT=
5.0K)、 第14図はBi;M2+のIexとキャリヤ濃度及
びその減少分Δnとの関係を示す特性図、 第15図はBi;M2+の77KにおけるIexと
/Iexの関係を示す特性図、(a)線型目盛、(b)対数
目盛、 第16図は本発明による超伝導オプトエレクトロニクス
素子の一例の構成を示す線図的断面図、 第17図は本発明による超伝導オプトエレクトロニクス
装置の一例の構成を示す線図、 第18図は本発明による超伝導オプトエレクトロニクス
素子アレイを用いた空間並列演算装置の構成を示す線
図、 第19図はBi;M2+の光伝導応答の励起光波
長依存性Q(λ,T)を励起子模型で解析した模型図、 第20図(a)〜(c)はBi結晶及びCa−Sr−B
i−Cu−O系セラミックスのエネルギー(E)と状態
密度N(E)との関係を示す模式図である。 1…基板、2…ゲート領域 3…ソース領域、4…ドレイン領域 Vg…ゲートバイアス源 Vsp…ソース−ドレイン間バイアス源

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】臨界温度以下の温度条件下において超伝導
    状態となる電極領域と、 これら電極領域の間に形成され、上記臨界温度以下の温
    度条件下においてその温度と対応して光伝導性となる受
    光領域と、 上記電極領域間に接続したバイアス源とを具え、 前記電極領域をBi系酸化物超伝導材料で構成し、 前記受光領域をBi系酸化物材料よりなる超伝導
    性光伝導材料で構成し、 前記受光領域に入射する光量に応じて前記電極間電流が
    制御されるように構成したことを特徴とする超伝導性光
    伝導基本物質Bi系材料を用いた超伝導オプトエ
    レクトロニクス装置。
  2. 【請求項2】前記受光領域をBiセラミックスま
    たはBi;M2+(M=Sr,Ca,Cu)の形
    で安定化された単結晶で構成し、前記電極領域を、一般
    式Ca(X-x)Sr(x)Bi(Y-y)Cu(y)O(ここで、
    2≦X≦3,3≦Y≦4, 1≦x≦2,0<y≦2,4≦z≦9)の組成の酸化物
    超伝導性材料で構成した請求項1に記載の超伝導オプト
    エレクトロニクス装置。
  3. 【請求項3】前記受光領域をBiセラミックスま
    たはBi;M2+(M=Sr,Ca,Cu)の形
    で安定化された単結晶で構成し、前記電極領域を、一般
    式 Ba−Pb(1−x)−Bi(x)-Oz ここで、0.20z≦0.35 の組成の超伝導材料で構成した請求項1に記載の超伝導
    オプトエレクトロニクス装置。
  4. 【請求項4】請求項1から3までのいずれか1項に記載
    の超伝導オプトエレクトロニクス素子を2次元アレイ状
    に集積化したことを特徴とする超伝導オプトエレクトロ
    ニクス装置。
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