JPH0656805U - Regulator with slow leak - Google Patents

Regulator with slow leak

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Publication number
JPH0656805U
JPH0656805U JP280493U JP280493U JPH0656805U JP H0656805 U JPH0656805 U JP H0656805U JP 280493 U JP280493 U JP 280493U JP 280493 U JP280493 U JP 280493U JP H0656805 U JPH0656805 U JP H0656805U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure chamber
space
diaphragm
primary
regulator
Prior art date
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Pending
Application number
JP280493U
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Japanese (ja)
Inventor
浩太郎 中村
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Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
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Publication date
Application filed by Horiba Ltd filed Critical Horiba Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 残留ガスの混入のないレギュレータを提供す
る。 【構成】 一次圧室2から二次圧室3への流通を調整す
るための調整弁4を一次圧室2に設ける一方、その調整
弁4と連動するダイヤフラム11を二次圧室3の外側に設
け、その室壁12と前記ダイヤフラム11との間に形成され
るスペース13を、スローリーク20を介して大気と連通さ
せるとともに、前記室壁12には、前記二次圧室3から前
記スペース13に向けての流通のみを許容する逆止弁17を
設けている。
(57) [Summary] [Purpose] To provide a regulator that does not contain residual gas. [Structure] The primary pressure chamber 2 is provided with a regulating valve 4 for regulating the flow from the primary pressure chamber 2 to the secondary pressure chamber 3, while a diaphragm 11 interlocking with the regulating valve 4 is provided outside the secondary pressure chamber 3. A space 13 formed between the chamber wall 12 and the diaphragm 11 is communicated with the atmosphere through a slow leak 20, and the chamber wall 12 has a space from the secondary pressure chamber 3 to the space. A check valve 17 which allows only the flow toward 13 is provided.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は一次側流路と二次側流路とに接続されるスローリーク付レギュレータ に関する。 The present invention relates to a regulator with a slow leak connected to a primary side flow passage and a secondary side flow passage.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

一次側流路から二次側流路への流量の調整は、従来、図2に示すようなレギュ レータ1によっておこなわれていた。そのレギュレータ1の一次側流路と接続さ れる一次圧室2には、その一次圧室2から、二次側流路と接続される二次圧室3 への流通を調整するための調整弁4が設けられ、その一次圧室2と二次圧室3と を画成する隔壁5に開設された弁口6を開閉する弁体7がスプリング8によって 閉方向に付勢して設けられている。 The regulation of the flow rate from the primary side flow passage to the secondary side flow passage has been conventionally performed by a regulator 1 as shown in FIG. The primary pressure chamber 2 connected to the primary side flow passage of the regulator 1 has a regulating valve for adjusting the flow from the primary pressure chamber 2 to the secondary pressure chamber 3 connected to the secondary side flow passage. 4 is provided, and a valve body 7 for opening and closing a valve opening 6 opened in a partition wall 5 that defines the primary pressure chamber 2 and the secondary pressure chamber 3 is provided by a spring 8 for urging in a closing direction. There is.

【0003】 一方、二次圧室3の外壁にはスプリング10で付勢されるダイヤフラム11が設け られ、そのダイヤフラム11と二次圧室3の室壁12との間のスペース13が、その室 壁12に開設された小孔14を介して二次圧室3と連通している。そして、そのダイ ヤフラム11が、その室壁12に摺動自在に貫挿された連接棒15を介して弁体7と接 続され、自由状態ではスプリング10の付勢力で弁口6が開かれている。On the other hand, a diaphragm 11 urged by a spring 10 is provided on the outer wall of the secondary pressure chamber 3, and a space 13 between the diaphragm 11 and the chamber wall 12 of the secondary pressure chamber 3 is It communicates with the secondary pressure chamber 3 through a small hole 14 formed in the wall 12. Then, the diaphragm 11 is connected to the valve body 7 via a connecting rod 15 slidably inserted in the chamber wall 12, and in the free state, the valve opening 6 is opened by the urging force of the spring 10. ing.

【0004】 このような構成により、一次側の圧力が設定圧に達するまでは弁口6が開かれ ており、一次側から二次側へガスが流通し、例えば、二次側の圧力が一次側より も高くなるとスプリング10の弾発力に抗してダイヤフラム11が上凸状に変形し、 連接棒15を介して弁体7を引き上げ弁口6を閉じる。With such a configuration, the valve opening 6 is opened until the pressure on the primary side reaches the set pressure, and gas flows from the primary side to the secondary side. For example, the pressure on the secondary side is When it is higher than the side, the diaphragm 11 is deformed in an upward convex shape against the elastic force of the spring 10, and the valve body 7 is pulled up via the connecting rod 15 to close the valve opening 6.

【0005】 二次側の圧力が下がれば、ダイヤフラム11が元のフラットな形状に戻り弁体7 が押し下げられて再び弁口6が開かれ、一次側から二次側へガスが流通する。こ のようにして、一次側から二次側への流通が調整される。When the pressure on the secondary side decreases, the diaphragm 11 returns to its original flat shape, the valve body 7 is pushed down, the valve opening 6 is opened again, and gas flows from the primary side to the secondary side. In this way, the distribution from the primary side to the secondary side is adjusted.

【0006】[0006]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

ところで、二次側の圧力が高くなってダイヤフラム11が上凸状に変形するとス ペース13の容積が増えるため、小孔14から二次側のガスがスペース13内に導入さ れる。このガスは、二次側の圧力が低くなってダイヤフラム11が元のフラットな 形状に戻っても完全にはスペース13から排出し尽くされず、その何割かはスペー ス13内に残留する。 By the way, when the pressure on the secondary side increases and the diaphragm 11 deforms in an upward convex shape, the volume of the space 13 increases, so that the gas on the secondary side is introduced from the small holes 14 into the space 13. This gas is not completely exhausted from the space 13 even if the pressure on the secondary side becomes low and the diaphragm 11 returns to its original flat shape, and some of the gas remains in the space 13.

【0007】 そのため、その次ぎに一次側から異種のガスを供給した場合、その残留ガスが 二次側で混入してしまうことがあり、このような不具合の解消が望まれていた。Therefore, when a different kind of gas is supplied from the primary side next, the residual gas may be mixed in on the secondary side, and it has been desired to eliminate such a problem.

【0008】 本考案はこのような実情に鑑みてなされ、残留ガスの混入がないレギュレータ を提供することを課題としている。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a regulator in which residual gas is not mixed.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案は、上述の課題を解決するための手段を以下のように構成している。 すなわち、一次側流路に接続される一次圧室から、二次側流路に接続される二 次圧室への流通を調整するためのスローリーク付レギュレータにあって、前記一 次圧室には、その一次圧室から前記二次圧室への流通を調整するための調整弁が 設けられる一方、その調整弁と連動するダイヤフラムが、前記二次圧室の外側に 設けられ、その室壁と前記ダイヤフラムとの間に形成されるスペースが、スロー リークを介して大気と連通されるとともに、前記室壁には、前記二次圧室から前 記スペースに向けての流通のみを許容する逆止弁を設けてあることを特徴として いる。 The present invention has means for solving the above-mentioned problems as follows. That is, in a regulator with a slow leak for adjusting the flow from the primary pressure chamber connected to the primary side flow passage to the secondary pressure chamber connected to the secondary side flow passage, Is provided with a regulating valve for regulating the flow from the primary pressure chamber to the secondary pressure chamber, while a diaphragm interlocking with the regulating valve is provided outside the secondary pressure chamber and its chamber wall is provided. The space formed between the diaphragm and the diaphragm is communicated with the atmosphere through a slow leak, and the chamber wall has a reverse structure that allows only the flow from the secondary pressure chamber to the space. The feature is that a stop valve is provided.

【0010】[0010]

【作用】[Action]

二次側の圧力が高くなってダイヤフラムが変形すると、調整弁が閉じて一次側 から二次側へのガスの流通が停止し、かつ逆止弁が開かれてスペース内に二次側 のガスが導入される。このスペース内のガスは、二次側の圧力が低くなってダイ ヤフラムが元のフラットな形状に戻る際には、逆止弁が閉じるためもっぱらスロ ーリークから大気に放出される。よって、たとえスペース内に残留ガスが存在し ていても、その残留ガスは再び二次側に戻ることがなく、従って、一次側から異 なるガスを供給しても、そのガスに残留ガスが混入することはない。 When the pressure on the secondary side increases and the diaphragm deforms, the regulating valve closes, the flow of gas from the primary side to the secondary side stops, and the check valve opens to open the gas on the secondary side in the space. Will be introduced. The gas in this space is released exclusively from the slow leak to the atmosphere as the check valve closes when the pressure on the secondary side decreases and the diaphragm returns to its original flat shape. Therefore, even if the residual gas exists in the space, the residual gas does not return to the secondary side again, and therefore, even if a different gas is supplied from the primary side, the residual gas is mixed in the gas. There is nothing to do.

【0011】[0011]

【実施例】【Example】

以下に本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。 図1は本考案のスローリーク付レギュレータ1の断面図で、符号2は一次側流 路(図示省略)と接続される一次圧室、3は二次側流路(図示省略)と接続され る二次圧室、4は一次圧室2から二次圧室3へのガスの流通を調整するための調 整弁で、一次圧室2と二次圧室3とを画成する隔壁5に開設された弁口6を開閉 する弁体7が一次圧室2の外側の室壁9との間に介装されたスプリング8によっ て閉方向に付勢されるように構成されている。 Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view of a regulator 1 with a slow leak according to the present invention. Reference numeral 2 is a primary pressure chamber connected to a primary side flow path (not shown), and 3 is connected to a secondary side flow path (not shown). The secondary pressure chambers 4 are regulating valves for regulating the flow of gas from the primary pressure chamber 2 to the secondary pressure chamber 3, and are provided on the partition wall 5 that defines the primary pressure chamber 2 and the secondary pressure chamber 3. The valve body 7 for opening and closing the opened valve port 6 is configured to be biased in the closing direction by a spring 8 interposed between the valve body 7 and the outer chamber wall 9 of the primary pressure chamber 2.

【0012】 11は二次圧室3の外側に設けられるダイヤフラムで、二次圧室3の室壁12との 間にスペース13を画成し、かつハウジング16との間に介装されたスプリング10に よってその中央部が下方に付勢されており、その中央部が連接棒15を介して弁体 7と接続されている。その連接棒15は室壁12に開設された開孔にブッシュを介し てシールが施された状態で摺動自在に貫挿されており、自由状態ではスプリング 10の付勢によって弁口6が開かれた状態となっている。Reference numeral 11 denotes a diaphragm provided outside the secondary pressure chamber 3, which defines a space 13 between the secondary pressure chamber 3 and a chamber wall 12 and is interposed between the spring 16 and the housing 16. The central portion is biased downward by 10 and the central portion is connected to the valve body 7 via the connecting rod 15. The connecting rod 15 is slidably inserted in an opening formed in the chamber wall 12 in a sealed state via a bush. In the free state, the valve opening 6 is opened by the biasing force of the spring 10. It is in a broken state.

【0013】 17は二次圧室3からスペース13へ向けての流通のみを許容する逆止弁で、その 弁体18がダイヤフラム11との間に介装されたスプリング19によって室壁12に開設 された小孔14を閉塞する方向に付勢されている。20はスペース13と大気とを連通 するスローリークでキャピラリよりなり、ハウジング16に貫通して設けられてい る。Reference numeral 17 is a check valve which allows only the flow from the secondary pressure chamber 3 to the space 13, and its valve body 18 is opened on the chamber wall 12 by a spring 19 interposed between the valve body 18 and the diaphragm 11. It is urged in the direction to close the small hole 14 formed. Reference numeral 20 is a slow leak that connects the space 13 and the atmosphere, and is composed of a capillary, and is provided so as to penetrate the housing 16.

【0014】 このような構成により、前に一次側から供給したガスがスペース13に残留して いても、その残留ガスが、後から供給した異なるガスに混入するような不具合を 解消することができる。With such a configuration, even if the gas previously supplied from the primary side remains in the space 13, it is possible to solve the problem that the residual gas is mixed with different gas supplied later. .

【0015】 詳しく説明すると、一次側の圧力が設定圧に達するまでは弁口6が開かれてお り、一次側から二次側へガスが流通する。そして、例えば、二次側の圧力が一次 側よりも高くなった場合に、ダイヤフラム11が上凸状に変形すると、逆止弁17が 開かれてスペース13内に二次側のガスが導入される。このガスは、二次側の圧力 が低くなってダイヤフラム11が元のフラットな形状に戻る際には、逆止弁17が閉 じられるためもっぱらスローリーク20から大気に放出される。よって、たとえス ペース13内に残留ガス存在していても、その残留ガスは再び二次側に戻ることが なく、従って、一次側から異なるガスを供給しても、そのガスに残留ガスが混入 することはない。More specifically, the valve port 6 is open until the pressure on the primary side reaches the set pressure, and gas flows from the primary side to the secondary side. Then, for example, when the pressure on the secondary side becomes higher than that on the primary side and the diaphragm 11 deforms upward, the check valve 17 is opened and the gas on the secondary side is introduced into the space 13. It When the pressure on the secondary side becomes low and the diaphragm 11 returns to its original flat shape, this gas is exclusively released from the slow leak 20 to the atmosphere because the check valve 17 is closed. Therefore, even if the residual gas exists in the space 13, the residual gas does not return to the secondary side again.Therefore, even if a different gas is supplied from the primary side, the residual gas is mixed with the residual gas. There is nothing to do.

【0016】[0016]

【考案の効果】[Effect of device]

以上説明したように、本考案のスローリーク付レギュレータによれば、一次圧 室から二次圧室への流通を調整するための調整弁を一次圧室に設ける一方、その 調整弁と連動するダイヤフラムを二次圧室の外側に設け、その室壁と前記ダイヤ フラムとの間に形成されるスペースを、スローリークを介して大気と連通させる とともに、前記室壁には、前記二次圧室から前記スペースに向けての流通のみを 許容する逆止弁を設けてあるので、スペースに残留したガスは再び二次側に戻る ことなく、もっぱらスローリークを介して大気に放出される。よって、一次側か ら異なるガスを供給した場合にもそのガスに残留ガスが混入することがなくなる 。 As described above, according to the regulator with slow leak of the present invention, the regulator valve for regulating the flow from the primary pressure chamber to the secondary pressure chamber is provided in the primary pressure chamber, and the diaphragm that works with the regulator valve is provided. Is provided outside the secondary pressure chamber, and the space formed between the chamber wall and the diaphragm is communicated with the atmosphere through a slow leak. Since the check valve which allows only the flow toward the space is provided, the gas remaining in the space is released to the atmosphere mainly through the slow leak without returning to the secondary side again. Therefore, even if different gas is supplied from the primary side, the residual gas will not be mixed in the gas.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案のスローリーク付レギュレータの一実施
例を示す模式的断面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of a regulator with slow leak of the present invention.

【図2】従来のレギュレータの模式的断面図である。FIG. 2 is a schematic sectional view of a conventional regulator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2…一次圧室、3…二次圧室、4…調整弁、11…ダイヤ
フラム、12…室壁、13…スペース、17…逆止弁、20…ス
ローリーク。
2 ... Primary pressure chamber, 3 ... Secondary pressure chamber, 4 ... Regulator valve, 11 ... Diaphragm, 12 ... Chamber wall, 13 ... Space, 17 ... Check valve, 20 ... Slow leak.

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 一次側流路に接続される一次圧室から、
二次側流路に接続される二次圧室への流通を調整するた
めのスローリーク付レギュレータであって、前記一次圧
室には、その一次圧室から前記二次圧室への流通を調整
するための調整弁が設けられる一方、その調整弁と連動
するダイヤフラムが、前記二次圧室の外側に設けられ、
その室壁と前記ダイヤフラムとの間に形成されるスペー
スが、スローリークを介して大気と連通されるととも
に、前記室壁には、前記二次圧室から前記スペースに向
けての流通のみを許容する逆止弁を設けてあることを特
徴とするスローリーク付レギュレータ。
1. From a primary pressure chamber connected to the primary side flow path,
A regulator with a slow leak for adjusting the flow to the secondary pressure chamber connected to the secondary side flow path, wherein the primary pressure chamber has a flow from the primary pressure chamber to the secondary pressure chamber. While a regulating valve for adjusting is provided, a diaphragm interlocking with the adjusting valve is provided outside the secondary pressure chamber,
A space formed between the chamber wall and the diaphragm is communicated with the atmosphere through a slow leak, and the chamber wall allows only the flow from the secondary pressure chamber toward the space. A regulator with a slow leak characterized by being equipped with a check valve.
JP280493U 1993-01-09 1993-01-09 Regulator with slow leak Pending JPH0656805U (en)

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JP280493U JPH0656805U (en) 1993-01-09 1993-01-09 Regulator with slow leak

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JP280493U JPH0656805U (en) 1993-01-09 1993-01-09 Regulator with slow leak

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JPH0656805U true JPH0656805U (en) 1994-08-05

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JP280493U Pending JPH0656805U (en) 1993-01-09 1993-01-09 Regulator with slow leak

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JP (1) JPH0656805U (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015152338A1 (en) * 2014-04-04 2015-10-08 株式会社コスメック Pressure reducing valve

Cited By (1)

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