JPH065293B2 - エネルギー分散型ｘ線検出器冷却用液化ガス貯蔵容器での液化ガス蒸発防止装置及びその制御方法 - Google Patents

エネルギー分散型ｘ線検出器冷却用液化ガス貯蔵容器での液化ガス蒸発防止装置及びその制御方法

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JPH065293B2
JPH065293B2 JP3039291A JP3929191A JPH065293B2 JP H065293 B2 JPH065293 B2 JP H065293B2 JP 3039291 A JP3039291 A JP 3039291A JP 3929191 A JP3929191 A JP 3929191A JP H065293 B2 JPH065293 B2 JP H065293B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡に元素分析
機能を持たせるためのエネルギー分散型Ｘ線検出器(Ｅ
ＤＳ検出器)を液化ガスで冷却するために使用される低
温発生装置での液化ガス蒸発防止装置に関する。
【０００２】
【従来技術】一般に、ＥＤＳ検出器ではその測定精度を
高めるために、ＥＤＳ検出器を液体窒素で冷却するよう
にしているが、従来では液体窒素を貯蔵している貯蔵容
器の底壁からコールドフィンガーを連出し、このコール
ドフィンガーにＥＤＳ検出器を装着し、液体窒素を利用
してＥＤＳ検出器を超低温状態に維持するようにしてい
る。そしてこの場合ＥＤＳ検出器は、一度冷却するとそ
の冷却温度を維持しておかなければならないという制約
がある。
【０００３】ところで、ＥＤＳ検出器を冷却するために
使用する液体窒素は蒸発により容器外に飛散することに
なるから、長時間にわたって冷却温度を一定範囲内に維
持するには、この飛散した窒素ガス分を補わなければな
らず、そのためにオペレータは頻繁に液体窒素を液化ガ
ス容器に補給しなければならなかった。
【０００４】ところが、ＥＤＳ検出器を使用する電子顕
微鏡では、ＥＤＳ検出器冷却用の液化ガス貯蔵容器を配
設する床面高さがその照射軸の関係から規制されること
になる。つまり、液化ガス貯蔵容器の上部に開口してい
る液化ガス補給口は床面から例えば１.５mという高い位
置に開口することになる。この結果、デュワー瓶等の補
給容器を用いて液体窒素貯蔵容器に液体窒素を補給する
作業が面倒になるという問題があった。
【０００５】そこで本出願人の一部のものは、液化ガス
貯蔵容器に極低温冷凍機を付設することにより、気化ガ
スを凝縮するようにして液化ガス貯蔵容器内での液体窒
素の液量を一定に保持して、補給作業を省力化できる液
化ガス蒸発防止装置を先に提案した(特開平２−２７９
９７７号)。
【０００６】この従来のものは、ＥＤＳ検出器に接続す
るコールドフィンガーを液化ガス貯蔵容器の容器壁から
連出し、液化ガス貯蔵容器の上部開口部に極低温冷凍機
のコールドヘッドを配置するとともに、液化ガス貯蔵容
器内の温度に基づき極低温冷凍機を運転制御するように
構成し、コールドヘッドに発生する寒冷温度で液化ガス
貯蔵容器内の蒸気を凝縮液化させるように構成してあっ
た。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前述の従来
例のものでは、コールドヘッドを架台に水平１軸リニア
ガイド機構を介して支持し、このコールドヘッドに液化
ガス貯蔵容器を吊持していたことから、コールドヘッド
はＥＤＳ検出器の１軸方向でのリトラクトに追従するこ
とはできたが、ＥＤＳ検出器側の２次元方向の振動が伝
達されると、コールドヘッドはその２次元移動に対して
は追従することができず、コールドフインガー導出部
や、コールドヘッドの支持部に負荷をかけるという問題
があった。
【０００８】また、従来例のものでは、極低温冷凍機の
運転を液化ガス貯蔵容器内の温度状態に基づき自動運転
するように構成し、マニアル操作で自動運転の停止及び
自動運転への復帰を行うように構成してあったが、この
マニアル操作をリモート操作することはできなかった。
このため、電子顕微鏡での作業時にオペレータは作業デ
スクから離れて極低温冷凍機の自動運転を中止する操作
を行わなければならないという不便さもあった。
【０００９】さらに、電子顕微鏡等での作業中にはわず
かの振動があっても正確な映像を鮮明にディスプレーで
きないことから、振動を発生させることは極力抑制して
いるのであるが、従来のものでは、測定作業中に液化ガ
ス貯蔵容器中の温度が所定の温度に達すると、冷凍機が
自動運転されることがあった。この結果、測定作業に大
きな影響を及ぼすという問題があった。
【００１０】本発明は、このような点に着目してなされ
たもので、長期に亘って液化ガスの補給作業を省略で
き、しかも、オペレータが安心して測定作業に従事する
ことのできる液化ガス貯蔵容器での液化ガス蒸発防止装
置及びその制御方法を提供することを目的とするもので
ある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明装置は、極低温冷凍機のコールドヘッドを水平
２軸リニアガイド機構を介して架台に支持し、液化ガス
貯蔵容器内での上限液位と下限液位とを液面計で検出可
能に構成するとともに、液化ガス貯蔵容器内の温度を温
度測定具で検出可能に構成し、この温度測定具で検出し
た液化ガス貯蔵容器内の温度信号を冷凍機運転制御装置
に入力可能に構成して極低温冷凍機を温度測定具での温
度検出作動に基づき自動運転制御するように構成したこ
とを特徴としている。
【００１２】また、本発明方法は、極低温冷凍機のコー
ルドヘッドを液化ガス貯蔵容器内の温度に基づき自動運
転制御可能に構成するとともに、このコールドヘッドを
自動運転解除状態に切換可能に構成し、自動運転制御状
態では液化ガス貯蔵容器内の温度が設定温度以上に上昇
することにより極低温冷凍機を自動運転するように構成
し、自動運転解除状態では、液化ガス貯蔵容器内の温度
が前記設定温度よりも高い所定温度に達することによ
り、強制的に自動運転制御状態に切換可能に構成すると
ともに、自動運転開始設定温度よりも高く、かつ前記強
制自動運転切換設定温度よりも低い温度で強制自動運転
予告警報を発するように構成し、自動運転制御状態と自
動運転解除状態との切換操作及び強制自動運転予告警報
をリセット装置の操作でリセット可能に構成し、このリ
セット操作を遠隔操作できるように構成したことを特徴
としている。
【００１３】
【作用】本発明装置では、極低温冷凍機のコールドヘッ
ドを水平２軸リニアガイド機構を介して架台に支持し、
液化ガス貯蔵容器内での上限液位と下限液位とを液面計
で検出可能に構成するとともに、液化ガス貯蔵容器内の
温度を温度測定具で検出可能に構成し、この温度測定具
で検出した液化ガス貯蔵容器内の温度信号を冷凍機運転
制御装置に入力可能に構成して極低温冷凍機を温度測定
具での温度検出作動に基づき自動運転制御するように構
成しているので、コールドヘッドはその２次元移動に対
して自由に追従することができ、コールドフインガー導
出部や、コールドヘッドの支持部に負荷をかけることは
ない。
【００１４】また本発明方法では、極低温冷凍機のコー
ルドヘッドを液化ガス貯蔵容器内の温度に基づき自動運
転制御可能に構成するとともに、このコールドヘッドを
自動運転解除状態に切換可能に構成し、自動運転制御状
態では液化ガス貯蔵容器内の温度が設定温度以上に上昇
することにより極低温冷凍機を自動運転するように構成
し、自動運転解除状態では、液化ガス貯蔵容器内の温度
が前記設定温度よりも高い所定温度に達することによ
り、強制的に自動運転制御状態に切換可能に構成すると
ともに、自動運転開始設定温度よりも高く、かつ前記強
制自動運転切換設定温度よりも低い温度で強制自動運転
予告警報を発するように構成し、自動運転制御状態と自
動運転解除状態との切換操作及び強制自動運転予告警報
をリセット装置の操作でリセット可能に構成し、このリ
セット操作を遠隔操作できるように構成しているので、
電子顕微鏡での作業時にオペレータは作業デスクから離
れることなく極低温冷凍機の自動運転制御状態と自動運
転解除状態との切換操作を行える。
【００１５】また本発明では、極低温冷凍機の自動運転
を解除した状態における電子顕微鏡等での作業中に液化
ガス貯蔵容器中の温度が強制自動運転開始設定温度に達
する前に、強制自動運転の予告警報を発動させるから、
不意に冷凍機が作動して測定中に振動を発生させること
を容易に抑制することができる。
【００１６】
【実施例】図面は本発明の実施例を示し、図１は本発明
に係る冷凍機運転制御フロー図、図２は本発明に係る液
化ガス蒸発防止装置の概略構成図、図３は液化ガス蒸発
防止装置の側面図、図４は液化ガス貯蔵容器の支持構造
を示す要部拡大図、図５はコールドヘッド支持構造を示
す取り出し図である。
【００１７】この液化ガス蒸発防止装置(１)は、走査型
電子顕微鏡でのＥＤＳ検出器(６)を支持するコールドフ
ィンガー(７)をその底壁(５)から連出している液化ガス
貯蔵容器(４)と、この液化ガス貯蔵容器(４)の上側に配
置された極低温冷凍機(11)のコールドヘッド(12)とで構
成してある。液化ガス貯蔵容器(４)は断熱容器で形成さ
れていて、内部に液体窒素等の冷媒用液化ガスが貯蔵し
てある。
【００１８】極低温冷凍機(11)はコールドヘッド(12)と
圧縮機ユニット(13)とで構成してあり、コールドヘッド
(12)は床面(２)から立設した架台(３)の上端部に、液化
ガス貯蔵容器(４)の上端開口部(10)に対応する状態で支
持してあり、圧縮機ユニット(13)は床面(２)に防振支持
されている。そして、圧縮機ユニット(13)とコールドヘ
ッド(12)とは２本のフレキシブルチューブ(14)で連通連
結してあり、圧縮機ユニット(13)で圧縮したヘリウム等
のガス冷媒をコールドヘッド(12)内で断熱膨張させるこ
とにより寒冷温度を得るようにしてある。
【００１９】コールドヘッド(12)のコールドエンド(15)
は前記液化ガス貯蔵容器(４)内にその上端開口部(10)か
ら突入させてあり、液化ガス貯蔵容器(４)内で気化した
冷媒用液化ガスをコールドエンド(15)部分に発生する寒
冷で凝縮させて再液化するように構成してある。
【００２０】また、極低温冷凍機(11)の運転に伴う振動
が液化ガス貯蔵容器(４)に伝達しないようにコールドヘ
ッド(12)と液化ガス貯蔵容器(４)との間に防振支持装置
としてのベローズ(16)が配置してある。また、コールド
ヘッド(12)がＥＤＳ検出器のリトラクトに追随移動でき
るように、コールドヘッド(12)は架台(３)に水平２軸リ
ニアガイド機構(８)を介して前後左右方向に水平移動可
能に支持してある。
【００２１】この極低温冷凍機(11)は液化ガス貯蔵容器
(４)内の温度に基づいて自動運転されるように構成して
ある。即ち、液化ガス貯蔵容器(４)内の雰囲気温度や液
温を熱電対や蒸気圧温度計等の温度測定装置(17)で検出
し、この温度測定装置(17)で検出した検出温度に基づく
検出温度信号を温度指示計(18)を介して極低温冷凍機(1
1)の運転制御装置(19)に入力し、この運転制御装置(19)
からの出力信号で圧縮機ユニット(13)の運転を制御する
ように構成してある。つまり、液化ガス貯蔵容器(４)で
の容器内温度が所定の高温値になると極低温冷凍機(11)
の運転を開始し、所定の低温値になると運転を停止する
ように制御する。
【００２２】なお、この運転制御の基準値は、液化ガス
貯蔵容器内に貯溜する液化ガスが液体窒素の場合、例え
ば高温基準値を７１Ｋに、低温基準値を７０Ｋにそれぞ
れ設定する。この場合の高温設定温度は、ＥＤＳ検出器
での作業時には僅かの振動も嫌うため、その作業時には
極低温冷凍機(11)の自動運転機能を停止して極低温冷凍
機(11)の無運転状態で検出作業を行うことから、極低温
冷凍機(11)の無運転状態で、液体窒素が１気圧状態での
沸点温度である７７．３４Ｋに達するまでに約８時間以
上かかる温度である７１Ｋとしている。
【００２３】また、液化ガス貯蔵容器(４)への液体窒素
補給時期を告知するために、上限液位と下限液位を検出
する２点式の液面計(20)が液化ガス貯蔵容器(４)内に突
入配置してある。液面計(20)で上限液位と下限液位とを
検出することにより、液体窒素補給時期を知ることがで
きるうえ、コールドヘッド(12)を取り外すことなく液体
窒素の補給行うことができることになる。
【００２４】図中符号(21)は液化ガス貯蔵容器(４)内で
のガス圧力が所定圧力以上に昇圧することを防止する安
全弁、(22)は液化ガス貯蔵容器(４)内の圧力を表示する
圧力計、(23)は液化ガス貯蔵容器(４)内に冷媒ガスを気
体状態で補給するためのガス導入路、(24)はこのガス導
入路(23)に介装したガス供給制御弁である。また、運転
制御装置(19)及び液化ガスの補給作業は図示を省略した
電子顕微鏡の操作デスクから遠隔操作可能に構成してあ
る。
【００２５】次に、液化ガス貯蔵容器(４)に装着した極
低温冷凍機(11)の運転制御手順を図１に示すフローチャ
ートを参照しながら説明する。メインスイッチを投入す
ることにより、運転制御装置(19)、液面計(20)、温度指
示計(18)が作動状態となり、液化ガス貯蔵容器(４)内で
の液体窒素の液面が下限液位よりも下がっていることを
液面計(20)が検知すると、液位警告灯が点灯する。
【００２６】そして、極低温冷凍機(11)の運転スイッチ
を操作する(ステップＳ１)。すると、温度測定装置(17)
で検出した液化ガス貯蔵容器(４)内の雰囲気温度７１Ｋ
以上であるか否かを判断し(ステップＳ２)、雰囲気温度
が７１Ｋ以上であると判断した場合には極低温冷凍機(1
1)を作動させ(ステップＳ３)、極低温冷凍機(11)が正常
に作動しているか否かを判断し(ステップＳ４)、極低温
冷凍機(11)が正常に作動している場合には液化ガス貯蔵
容器(４)内の雰囲気温度が７０Ｋになるまで極低温冷凍
機(11)を運転し(ステップＳ５)、液化ガス貯蔵容器(４)
内の雰囲気温度が７０Ｋになると、極低温冷凍機(11)の
運転を停止し(ステップＳ６)、ステップＳ２に戻る。そ
して、ステップＳ４において極低温冷凍機(11)が正常に
作動していないと判断した場合には、冷凍機運転異常表
示を行う(ステップＳ７)。
【００２７】そして、電子顕微鏡を使用する場合は、液
化ガス貯蔵容器(４)内の雰囲気温度が７１Ｋ以下の状態
に保持されている状態で、自動運転解除スイッチを操作
して、自動運転解除モードにして待機する(ステップＳ
８)。これにより、電子顕微鏡の操作時には液化ガス貯
蔵容器(４)内の雰囲気温度が７１Ｋ以上に上昇しても極
低温冷凍機(11)が運転されることがなくなり、極低温冷
凍機の運転に伴う振動影響を受けることなく電子顕微鏡
での測定作業を行うことができる。そして、液化ガス貯
蔵容器(４)内の雰囲気温度が７６.５Ｋに達すると(ステ
ップＳ９)、ブザーによる強制運転予告警報を発する(ス
テップＳ１０)とともに、強制運転予告灯を点灯する(ス
テップＳ１１)。オペレータが警報解除操作を行うと(ス
テップＳ１２)、強制運転予告警報が停止する(ステップ
Ｓ１３)。その後、液化ガス貯蔵容器(４)内の雰囲気温
度が７７Ｋに達すると、待機状態を脱して(ステップＳ
１４)、強制運転予告灯を消灯する(ステップＳ１５)と
ともに、前記自動運転制御モードのステップＳ３に入
り、極低温冷凍機(11)を運転して液化ガス貯蔵容器(４)
内の雰囲気温度を７０Ｋ〜７１Ｋの間に維持する。
【００２８】なお、液化ガス貯蔵容器(４)内の雰囲気温
度が７６.５Ｋに達するまでに電子顕微鏡での測定作業
が終了すると、リセットスイッチを操作することによ
り、待機状態を強制的に終了して(ステップＳ１６)、極
低温冷凍機(11)を運転し、液化ガス貯蔵容器(４)内の雰
囲気温度を７０Ｋ〜７１Ｋの間に維持しておくことがで
きる。
【００２９】なお上記実施例では、防振支持装置として
ベローズ(16)を使用しているが、コールドヘッド(12)を
カウンターバランス方式で防振支持したり、防振ゴム等
の緩衝材をコールドヘッド(12)と液化ガス貯蔵槽(４)と
の間に嵌挿して防振支持するようにしてもよい。
【００３０】
【発明の効果】本発明装置では、極低温冷凍機のコール
ドヘッドを水平２軸リニアガイド機構を介して架台に支
持し、液化ガス貯蔵容器内での上限液位と下限液位とを
液面計で検出可能に構成するとともに、液化ガス貯蔵容
器内の温度を温度測定具で検出可能に構成し、この温度
測定具で検出した液化ガス貯蔵容器内の温度信号を冷凍
機運転制御装置に入力可能に構成して極低温冷凍機を温
度測定具での温度検出作動に基づき自動運転制御するよ
うに構成し手いるので、コールドフインガー導出部や、
コールドヘッドの支持部に負荷をかけることはなく、コ
ールドヘッドはその２次元移動に対して自由に追従する
ことができる。
【００３１】また本発明方法では、極低温冷凍機のコー
ルドヘッドを液化ガス貯蔵容器内の温度に基づき自動運
転制御可能に構成するとともに、このコールドヘッドを
自動運転解除状態に切換可能に構成し、自動運転制御状
態では液化ガス貯蔵容器内の温度が設定温度以上に上昇
することにより極低温冷凍機を自動運転するように構成
し、自動運転解除状態では、液化ガス貯蔵容器内の温度
が前記設定温度よりも高い所定温度に達することによ
り、強制的に自動運転制御状態に切換可能に構成すると
ともに、自動運転開始設定温度よりも高く、かつ前記強
制自動運転切換設定温度よりも低い温度で強制自動運転
予告警報を発するように構成し、自動運転制御状態と自
動運転解除状態との切換操作及び強制自動運転予告警報
をリセット装置の操作でリセット可能に構成し、このリ
セット操作を遠隔操作できるように構成しているので、
電子顕微鏡での作業時にオペレータは作業デスクから離
れることなく極低温冷凍機の自動運転制御状態と自動運
転解除状態との切換操作を行うことができ、オペレータ
の負担を軽減することができる。
【００３２】また本発明では、極低温冷凍機の自動運転
を解除した状態における電子顕微鏡等での作業中に液化
ガス貯蔵容器中の温度が強制自動運転開始設定温度に達
する前に、強制自動運転の予告警報を発動させるから、
不意に冷凍機が作動して測定中に振動を発生させること
を容易に抑制することができ、電子顕微鏡での測定精度
を高く維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】冷凍機運転制御フロー図である。
【図２】液化ガス蒸発防止装置の概略構成図である。
【図３】液化ガス蒸発防止装置の側面図である。
【図４】液化ガス貯蔵容器の支持構造を示す要部拡大図
である。
【図５】コールドヘッド支持構造を示す一部破断図であ
る。
【符号の説明】
３…架台、 ４…液化ガス貯
蔵容器、６…エネルギー分散型Ｘ線検出器、 ７…コ
ールドフィンガー、８…水平２軸リニアガイド機構、
10…液化ガス貯蔵容器の上部開口部、11…極低温冷
凍機、 12…極低温冷凍機のコールド
ヘッド、15…コールドエンド、 16…防
振具、17…温度測定具、 19…冷凍機運転制御装置、20
…液面計。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 足立 正人 滋賀県守山市勝部町1095番地 イワタニプ ランテック株式会社滋賀工場内 (72)発明者 平 正之 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子株式会社内 (72)発明者 渡辺 栄一 東京都昭島市武蔵野三丁目１番２号 日本 電子株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 液化ガス貯蔵容器(４)の容器壁からコー
    ルドフィンガー(７)を連出し、このコールドフィンガー
    (７)にエネルギー分散型Ｘ線検出器(６)を接続し、液化
    ガス貯蔵容器(４)の上部開口部(10)に極低温冷凍機(11)
    のコールドヘッド(12)を配置し、このコールドヘッド(1
    2)に防振具(16)を介して液化ガス貯蔵容器(４)を吊持
    し、コールドヘッド(12)のコールドエンド(15)を液化ガ
    ス貯蔵容器(４)内にその上端開口部(10)から突入し、こ
    のコールドエンド(15)に発生する寒冷温度で液化ガス貯
    蔵容器(４)内の蒸気を凝縮液化させるように構成したエ
    ネルギー分散型Ｘ線検出器冷却用液化ガス貯蔵容器での
    液化ガス蒸発防止装置において、極低温冷凍機(11)のコ
    ールドヘッド(12)を水平２軸リニアガイド機構(８)を介
    して架台(３)に支持し、液化ガス貯蔵容器(４)内での上
    限液位と下限液位とを液面計(20)で検出可能に構成する
    とともに、液化ガス貯蔵容器(４)内の温度を温度測定具
    (17)で検出可能に構成し、この温度測定具(17)で検出し
    た液化ガス貯蔵容器(４)内の温度信号を冷凍機運転制御
    装置(19)に入力可能に構成して極低温冷凍機(11)を温度
    測定具(17)での温度検出作動に基づき自動運転制御する
    ように構成したことを特徴とするエネルギー分散型Ｘ線
    検出器冷却用液化ガス貯蔵容器での液化ガス蒸発防止装
    置。
  2. 【請求項２】 液化ガス貯蔵容器(４)の容器壁からコー
    ルドフィンガー(７)を連出し、このコールドフィンガー
    (７)にエネルギー分散型Ｘ線検出器(６)を接続し、液化
    ガス貯蔵容器(４)の上部開口部(10)に極低温冷凍機(11)
    のコールドヘッド(12)を配置し、このコールドヘッド(1
    2)のコールドエンド(15)を液化ガス貯蔵容器(４)内にそ
    の上端開口部(10)から突入し、このコールドエンド(10)
    に発生する寒冷温度で液化ガス貯蔵容器(４)内の蒸気を
    凝縮液化させるように構成したエネルギー分散型Ｘ線検
    出器冷却用液化ガス貯蔵容器での液化ガス蒸発防止方法
    において、極低温冷凍機(11)のコールドヘッド(12)を液
    化ガス貯蔵容器(４)内の温度に基づき自動運転制御可能
    に構成するとともに、このコールドヘッド(12)を自動運
    転解除状態に切換可能に構成し、自動運転制御状態では
    液化ガス貯蔵容器(４)内の温度が設定温度以上に上昇す
    ることにより極低温冷凍機(11)を自動運転するように構
    成し、自動運転解除状態では、液化ガス貯蔵容器(４)内
    の温度が前記設定温度よりも高い所定温度に達すること
    により、強制的に自動運転制御状態に切換可能に構成す
    るとともに、自動運転開始設定温度よりも高く、かつ前
    記強制自動運転切換設定温度よりも低い温度で強制自動
    運転予告警報を発するように構成し、自動運転制御状態
    と自動運転解除状態との切換操作及び強制自動運転予告
    警報をリセット装置の操作でリセット可能に構成し、こ
    のリセット操作を遠隔操作可能に構成したことを特徴と
    するエネルギー分散型Ｘ線検出器冷却用液化ガス貯蔵容
    器での液化ガス蒸発防止方法。
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3112530B2 (ja) * 1991-12-09 2000-11-27 日本電子株式会社 エネルギー分散型ｘ線検出器の真空排気方法
GB9218357D0 (en) * 1992-08-28 1992-10-14 Oxford Instr Uk Ltd X-ray spectrometry detector
DE4302038C2 (de) * 1992-09-25 2001-08-16 Iwatani & Co Vorrichtung für die Herstellung von flüssigem Stickstoff
JP4692742B2 (ja) * 2005-06-24 2011-06-01 富士電機ホールディングス株式会社 試料分析装置
EP2567159B1 (en) * 2010-05-03 2016-12-28 Consejo Superior De Investigaciones Científicas (CSIC) Gas liquefaction system and method
FR2990267B1 (fr) * 2012-05-03 2018-04-06 Coldway Dispositif et procede de production continue de froid par voie thermochimique
WO2014087251A2 (en) * 2012-06-20 2014-06-12 Proyectos Y Generadores Libelula, S.A. De C.V. Systems and methods for distributed production liquefied natural gas
US11419656B2 (en) * 2014-04-04 2022-08-23 Cpsi Holdings Llc Thermal regulation catheter system
JP6642871B2 (ja) * 2016-03-11 2020-02-12 セイコー・イージーアンドジー株式会社 放射線検出器
US11306957B2 (en) * 2018-01-23 2022-04-19 The Tisdale Group, LLC Liquid nitrogen-based cooling system
WO2023242464A1 (en) * 2022-06-16 2023-12-21 Heikki Sipilä Oy An x-ray measurement system and a cooling method for cooling a ge x-ray detector
CN117490318A (zh) * 2023-12-29 2024-02-02 清华大学 高纯锗探测器的制冷***及方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0627617B2 (ja) * 1989-04-18 1994-04-13 岩谷産業株式会社 半導体センサー冷却用液体窒素の貯蔵槽での液体窒素蒸発防止装置
US5163297A (en) * 1991-01-15 1992-11-17 Iwatani International Corporation Device for preventing evaporation of liquefied gas in a liquefied gas reservoir

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