JPH0651103A - 反射防止性合成樹脂光学部品とその製造方法 - Google Patents
反射防止性合成樹脂光学部品とその製造方法Info
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- JPH0651103A JPH0651103A JP4202725A JP20272592A JPH0651103A JP H0651103 A JPH0651103 A JP H0651103A JP 4202725 A JP4202725 A JP 4202725A JP 20272592 A JP20272592 A JP 20272592A JP H0651103 A JPH0651103 A JP H0651103A
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- Japan
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- synthetic resin
- layer
- resin optical
- vapor deposition
- optical component
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 干渉縞の発生が少なく分光反射率特性に優
れ、かつ、耐衝撃性にも優れた反射防止膜を有する眼鏡
等の合成樹脂製光学部品を効率よく形成する。 【構成】 眼鏡レンズ等の合成樹脂性光学部品基板１の
表面上に、少なくともＰｒおよびＡｌ含有の酸化物膜の
第１層２を酸素を導入した反応性真空蒸着あるいは酸素
イオンを使用したイオンアシスト蒸着等の真空蒸着によ
り形成し、その上に順次、たとえばＡｌ2 Ｏ3 の第２層
３、ＺｒＯ2 の第３層４、ＴｉＯ2 の第４層５、ＳｉＯ
2 の第５層６等を真空蒸着で形成して多層反射防止膜を
配設する。
れ、かつ、耐衝撃性にも優れた反射防止膜を有する眼鏡
等の合成樹脂製光学部品を効率よく形成する。 【構成】 眼鏡レンズ等の合成樹脂性光学部品基板１の
表面上に、少なくともＰｒおよびＡｌ含有の酸化物膜の
第１層２を酸素を導入した反応性真空蒸着あるいは酸素
イオンを使用したイオンアシスト蒸着等の真空蒸着によ
り形成し、その上に順次、たとえばＡｌ2 Ｏ3 の第２層
３、ＺｒＯ2 の第３層４、ＴｉＯ2 の第４層５、ＳｉＯ
2 の第５層６等を真空蒸着で形成して多層反射防止膜を
配設する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、合成樹脂製光学部品
の反射防止膜とその形成方法に関するものである。さら
に詳しくは、この発明は、眼鏡レンズ、カメラ、光通
信、光情報処理、双眼鏡等に用いられる干渉縞の発生の
ない高品質で、耐衝撃性にも優れた光学部品の反射防止
膜とその形成方法に関するものである。
の反射防止膜とその形成方法に関するものである。さら
に詳しくは、この発明は、眼鏡レンズ、カメラ、光通
信、光情報処理、双眼鏡等に用いられる干渉縞の発生の
ない高品質で、耐衝撃性にも優れた光学部品の反射防止
膜とその形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、眼鏡レンズ等の光学部品で
は、レンズ表面での反射を低減させるために、レンズ表
面への反射防止膜の被覆が行われている。また、プラス
チックレンズの場合には、機械的特性を向上させるため
に、通常は、有機系のハードコートを付着させた後に真
空蒸着法により反射防止膜を被覆するのが主流となって
いる。また、最近ではこのハードコートの屈折率をプラ
スチックレンズの屈折率に近づけることにより、このハ
ードコートの配設によって生じる干渉縞による分光特性
上の低下を解決しようと試みられている。しかしなが
ら、プラスチックレンズの屈折率近い高屈折率を持つハ
ードコートを配設するには、その素材自体として使用で
きる物質が限られてきており、また、一方、このハード
コートにより、耐衝撃性が低下してしまう傾向もある。
は、レンズ表面での反射を低減させるために、レンズ表
面への反射防止膜の被覆が行われている。また、プラス
チックレンズの場合には、機械的特性を向上させるため
に、通常は、有機系のハードコートを付着させた後に真
空蒸着法により反射防止膜を被覆するのが主流となって
いる。また、最近ではこのハードコートの屈折率をプラ
スチックレンズの屈折率に近づけることにより、このハ
ードコートの配設によって生じる干渉縞による分光特性
上の低下を解決しようと試みられている。しかしなが
ら、プラスチックレンズの屈折率近い高屈折率を持つハ
ードコートを配設するには、その素材自体として使用で
きる物質が限られてきており、また、一方、このハード
コートにより、耐衝撃性が低下してしまう傾向もある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように従来の技術
では、ハードコートとプラスチックとの屈折率の違いや
ハードコートの膜厚等のために干渉縞の発生が避けられ
ず、眼鏡等における光学特性（分光特性）やファッショ
ン性等が非常に悪くなるという欠点があった。さらに、
ハードコートによる耐衝撃性等が低下する等の問題もあ
る。しかもまた、プラスチックレンズの素材の屈折率が
高くなるにつれ、このような高い屈折率に対応すること
のできる反射防止や耐衝撃性等の機械的特性の向上のた
めの被覆層を簡便に構成することも重要な課題になって
いた。
では、ハードコートとプラスチックとの屈折率の違いや
ハードコートの膜厚等のために干渉縞の発生が避けられ
ず、眼鏡等における光学特性（分光特性）やファッショ
ン性等が非常に悪くなるという欠点があった。さらに、
ハードコートによる耐衝撃性等が低下する等の問題もあ
る。しかもまた、プラスチックレンズの素材の屈折率が
高くなるにつれ、このような高い屈折率に対応すること
のできる反射防止や耐衝撃性等の機械的特性の向上のた
めの被覆層を簡便に構成することも重要な課題になって
いた。
【０００４】この発明は、上記の通りの事情に鑑みてな
されたものであって、従来技術の欠点を解消し、干渉縞
の発生を抑え、かつ耐衝撃性等の機械的特性の向上を図
ることのできる新しい表面被覆構造を有する高品質の、
反射防止性の眼鏡レンズその他の合成樹脂光学部品とそ
の製造方法を提供することを目的としている。
されたものであって、従来技術の欠点を解消し、干渉縞
の発生を抑え、かつ耐衝撃性等の機械的特性の向上を図
ることのできる新しい表面被覆構造を有する高品質の、
反射防止性の眼鏡レンズその他の合成樹脂光学部品とそ
の製造方法を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、上記の課題
を解決するものとして、合成樹脂製光学部品基板とその
表面に直接設けられた少なくともＰｒおよびＡｌ含有の
酸化物膜、およびさらにその上に形成された無機物反射
防止膜からなることを特徴とする反射防止性光学部品を
提供する。
を解決するものとして、合成樹脂製光学部品基板とその
表面に直接設けられた少なくともＰｒおよびＡｌ含有の
酸化物膜、およびさらにその上に形成された無機物反射
防止膜からなることを特徴とする反射防止性光学部品を
提供する。
【０００６】また、この発明は、そのための製造方法と
して、合成樹脂製光学部品基板の表面に、前記の酸化物
膜の硬化層の形成を真空蒸着で行い、さらにその上に単
層あるいは多層の無機物反射防止膜を真空蒸着で形成す
ることを特徴とする方法を提供する。基板としての合成
樹脂製光学部品基板については、特にその種類に限定は
なく、ウレタン系、アクリル系、ポリカーボネート系等
の従来公知のものをはじめとして各種のものが使用でき
る。その屈折率についても任意であるが、たとえば１．
６〜１．７程度の高屈折率範囲にあるものが好ましいも
のの一つとして例示される。
して、合成樹脂製光学部品基板の表面に、前記の酸化物
膜の硬化層の形成を真空蒸着で行い、さらにその上に単
層あるいは多層の無機物反射防止膜を真空蒸着で形成す
ることを特徴とする方法を提供する。基板としての合成
樹脂製光学部品基板については、特にその種類に限定は
なく、ウレタン系、アクリル系、ポリカーボネート系等
の従来公知のものをはじめとして各種のものが使用でき
る。その屈折率についても任意であるが、たとえば１．
６〜１．７程度の高屈折率範囲にあるものが好ましいも
のの一つとして例示される。
【０００７】この基板表面に直接に配設するＰｒおよび
Ａｌ含有の酸化物膜は、酸化物の状態のＰｒおよびＡｌ
を少なくとも含有するものであって、その結合、複合化
等の状態については特に限定的に考えられる必要はな
い。たとえばＰｒ2 Ｏ3 ，Ａｌ 2 Ｏ3 の混合、その複合
酸化物、さらにはより低酸化状態のＰｒおよびＡｌ等の
存在として考慮される。ＰｒおよびＡｌ、酸素以外の元
素の存在についても、不可避的不純物の存在はもとよ
り、この発明の作用効果を損なわない限り適宜に考慮さ
れる。
Ａｌ含有の酸化物膜は、酸化物の状態のＰｒおよびＡｌ
を少なくとも含有するものであって、その結合、複合化
等の状態については特に限定的に考えられる必要はな
い。たとえばＰｒ2 Ｏ3 ，Ａｌ 2 Ｏ3 の混合、その複合
酸化物、さらにはより低酸化状態のＰｒおよびＡｌ等の
存在として考慮される。ＰｒおよびＡｌ、酸素以外の元
素の存在についても、不可避的不純物の存在はもとよ
り、この発明の作用効果を損なわない限り適宜に考慮さ
れる。
【０００８】以上の酸化物膜の屈折率も任意であって、
前記基板と略同一にすることも好ましい態様である。こ
の屈折率は、上記酸化物の酸化状態、より具体的には、
前記真空蒸着における酸素圧の制御等によって設定する
ことができる。すなわち、この方法においては、Ｐｒお
よびＡｌ含有の酸化物膜の硬化層形成の真空蒸着を酸素
を導入した反応性真空蒸着あるいは酸素イオンを使用し
たイオンアシスト蒸着による。
前記基板と略同一にすることも好ましい態様である。こ
の屈折率は、上記酸化物の酸化状態、より具体的には、
前記真空蒸着における酸素圧の制御等によって設定する
ことができる。すなわち、この方法においては、Ｐｒお
よびＡｌ含有の酸化物膜の硬化層形成の真空蒸着を酸素
を導入した反応性真空蒸着あるいは酸素イオンを使用し
たイオンアシスト蒸着による。
【０００９】
【作用】この発明では、合成樹脂から成る光学部品の表
面上に直接、反応性真空蒸着法およびイオンアシスト蒸
着法などの薄膜形成技術を用いて、少なくともＰｒおよ
びＡｌを含有する酸化物膜を第１層として形成した後、
単層あるいは多層の反射防止膜をこの第１層の上にそれ
ぞれ真空蒸着で形成して配置するため、従来の有機系の
ハードコートのような面倒な複数の異なる表面処理工程
を必要とすることなく、全工程を真空蒸着で実施するこ
とができる。その結果製造工程の省力化が可能となる。
さらに、従来のハードコートに必要とされている長時間
にわたる熱硬化工程が不要なため、工程時間の大幅な短
縮化が期待できる。また、この発明により形成した多層
反射防止膜は各波長においてリップル（波打ち）がな
く、分光反射率特性に優れ、さらに、この発明により形
成したＰｒおよびＡｌ含有の酸化物膜の第１層は従来の
ハードコートに比して耐衝撃性も優れたものとなる。
面上に直接、反応性真空蒸着法およびイオンアシスト蒸
着法などの薄膜形成技術を用いて、少なくともＰｒおよ
びＡｌを含有する酸化物膜を第１層として形成した後、
単層あるいは多層の反射防止膜をこの第１層の上にそれ
ぞれ真空蒸着で形成して配置するため、従来の有機系の
ハードコートのような面倒な複数の異なる表面処理工程
を必要とすることなく、全工程を真空蒸着で実施するこ
とができる。その結果製造工程の省力化が可能となる。
さらに、従来のハードコートに必要とされている長時間
にわたる熱硬化工程が不要なため、工程時間の大幅な短
縮化が期待できる。また、この発明により形成した多層
反射防止膜は各波長においてリップル（波打ち）がな
く、分光反射率特性に優れ、さらに、この発明により形
成したＰｒおよびＡｌ含有の酸化物膜の第１層は従来の
ハードコートに比して耐衝撃性も優れたものとなる。
【００１０】以下、実施例を示し、さらに詳しくこの発
明について説明する。
明について説明する。
【００１１】
【実施例】実施例１ 図１はこの発明による無機混合物膜からなる硬化層及び
多層反射防止膜を形成したときの構成図である。たとえ
ば、この図１に例示したように、ウレタン系合成樹脂レ
ンズ（１）を洗浄後、真空蒸着装置の中にセットして、
真空室を１×１０-5Ｔｏｒｒまで排気した後、酸素ガス
を１×１０-4Ｔｏｒｒになるまで真空室へ導入して、電
子ビーム蒸発源によりＰｒ2 Ｏ3 とＡｌ2 Ｏ3 の化合物
を蒸発させて、膜厚１．７５λ（λ＝５１０ｎｍ）をウ
レタン系合成樹脂レンズ（１）上に被覆して第１の酸化
物膜からなる硬化層（２）を形成する。次に、Ａｌ2 Ｏ
3を０．２５λ（λ＝５１０ｎｍ）の膜厚に形成して第
２層（３）とする。続いて、ＺｒＯ2 を０．２５λ（λ
＝５１０ｎｍ）の膜厚に形成して第３層（４）とし、次
にＴｉＯ2 を０．２５λ（λ＝５１０ｎｍ）の膜厚に形
成して第４層（５）とし、さらに次に、ＳｉＯ2 を０．
２５λ（λ＝５１０ｎｍ）の膜厚に形成して第５層
（６）とし、多層反射防止膜とする。
多層反射防止膜を形成したときの構成図である。たとえ
ば、この図１に例示したように、ウレタン系合成樹脂レ
ンズ（１）を洗浄後、真空蒸着装置の中にセットして、
真空室を１×１０-5Ｔｏｒｒまで排気した後、酸素ガス
を１×１０-4Ｔｏｒｒになるまで真空室へ導入して、電
子ビーム蒸発源によりＰｒ2 Ｏ3 とＡｌ2 Ｏ3 の化合物
を蒸発させて、膜厚１．７５λ（λ＝５１０ｎｍ）をウ
レタン系合成樹脂レンズ（１）上に被覆して第１の酸化
物膜からなる硬化層（２）を形成する。次に、Ａｌ2 Ｏ
3を０．２５λ（λ＝５１０ｎｍ）の膜厚に形成して第
２層（３）とする。続いて、ＺｒＯ2 を０．２５λ（λ
＝５１０ｎｍ）の膜厚に形成して第３層（４）とし、次
にＴｉＯ2 を０．２５λ（λ＝５１０ｎｍ）の膜厚に形
成して第４層（５）とし、さらに次に、ＳｉＯ2 を０．
２５λ（λ＝５１０ｎｍ）の膜厚に形成して第５層
（６）とし、多層反射防止膜とする。
【００１２】このように形成した実施例としての反射防
止膜の分光反射率特性を図示したものが図２の曲線ａで
ある。この図２において、横軸は波長を示し、縦軸は反
射率を示す。また、比較例として、図１のウレタン系合
成樹脂レンズ（１）に有機系ハードコートを被覆して第
１の硬化層（２）を形成し、これを前記実施例と同様に
真空室へ入れて排気した後、酸素ガスを１×１０-4Ｔｏ
ｒｒになるまで真空室へ導入して、順次、前記実施例と
同様の処理をして同一の膜構成である第２層（３）〜第
５層（６）を形成して多層反射防止膜を形成する。その
分光反射率特性を比較例として図示したものが図２の曲
線ｂである。
止膜の分光反射率特性を図示したものが図２の曲線ａで
ある。この図２において、横軸は波長を示し、縦軸は反
射率を示す。また、比較例として、図１のウレタン系合
成樹脂レンズ（１）に有機系ハードコートを被覆して第
１の硬化層（２）を形成し、これを前記実施例と同様に
真空室へ入れて排気した後、酸素ガスを１×１０-4Ｔｏ
ｒｒになるまで真空室へ導入して、順次、前記実施例と
同様の処理をして同一の膜構成である第２層（３）〜第
５層（６）を形成して多層反射防止膜を形成する。その
分光反射率特性を比較例として図示したものが図２の曲
線ｂである。
【００１３】図２より明らかなように、比較例の曲線ｂ
の場合には、波長によりリップルが生じているが、この
発明の実施例の曲線ａの場合には各波長におけるリップ
ルは生じていないことが分かる。また、これらの多層反
射防止膜の各々の光学的膜厚と膜の屈折率を示したもの
が表１および表２である。すなわち、表１はこの発明の
実施例の特性を示し、表２は比較例の特性を示す。この
発明におけるＰｒ2 Ｏ3 とＡｌ2 Ｏ3 の酸化物膜の屈折
率は十分に高く、合成樹脂光学部品基板の屈折率と異な
ることなく、従来の有機系ハードコートに比して優れて
いることが分かる。
の場合には、波長によりリップルが生じているが、この
発明の実施例の曲線ａの場合には各波長におけるリップ
ルは生じていないことが分かる。また、これらの多層反
射防止膜の各々の光学的膜厚と膜の屈折率を示したもの
が表１および表２である。すなわち、表１はこの発明の
実施例の特性を示し、表２は比較例の特性を示す。この
発明におけるＰｒ2 Ｏ3 とＡｌ2 Ｏ3 の酸化物膜の屈折
率は十分に高く、合成樹脂光学部品基板の屈折率と異な
ることなく、従来の有機系ハードコートに比して優れて
いることが分かる。
【００１４】
【表１】
【００１５】
【表２】
【００１６】次に、この発明の前記実施例と比較例につ
いて、それぞれ試料を３個ずつ用意して耐衝撃性試験
（鋼球落下試験）を行い、各々の結果を表３に示した。
なお、この耐衝撃性試験については米国のＦＤＡ規格に
準じて行った。表３の結果から明らかなようにこの発明
の実施例のものはレンズを鋼球が貫通して破壊されるも
のはなかったが、比較例のものは全て鋼球が貫通して破
壊された。
いて、それぞれ試料を３個ずつ用意して耐衝撃性試験
（鋼球落下試験）を行い、各々の結果を表３に示した。
なお、この耐衝撃性試験については米国のＦＤＡ規格に
準じて行った。表３の結果から明らかなようにこの発明
の実施例のものはレンズを鋼球が貫通して破壊されるも
のはなかったが、比較例のものは全て鋼球が貫通して破
壊された。
【００１７】
【表３】
【００１８】実施例２ 図１においてウレタン系合成樹脂レンズ（１）の上の第
１の硬化層（２）（Ｐｒ2 Ｏ3 とＡｌ2 Ｏ3 ）のみを酸
素ガスを１×１０-4Ｔｏｒｒの圧力の下でイオンアシス
ト蒸着する。イオンアシストの条件を表４に示した。次
いで形成した第１の硬化層（２）の上に、Ａｌ2 Ｏ3 層
の第２層（３）以降の膜の層を全て電子ビーム蒸着法に
より実施例１と同一条件により形成して多層反射防止膜
を形成する。
１の硬化層（２）（Ｐｒ2 Ｏ3 とＡｌ2 Ｏ3 ）のみを酸
素ガスを１×１０-4Ｔｏｒｒの圧力の下でイオンアシス
ト蒸着する。イオンアシストの条件を表４に示した。次
いで形成した第１の硬化層（２）の上に、Ａｌ2 Ｏ3 層
の第２層（３）以降の膜の層を全て電子ビーム蒸着法に
より実施例１と同一条件により形成して多層反射防止膜
を形成する。
【００１９】試料の各々を実施例１と同様に耐衝撃性試
験により評価し、その結果を表５に示した。この表５か
ら明らかなように、実施例１と同様にレンズを鋼球が通
過して破壊されるものはなかた。
験により評価し、その結果を表５に示した。この表５か
ら明らかなように、実施例１と同様にレンズを鋼球が通
過して破壊されるものはなかた。
【００２０】
【表４】
【００２１】
【表５】
【００２２】実施例３ 実施例１において、第１層としてのＰｒおよびＡｌ酸化
物膜の生成時に、酸素ガス圧力を変化させてこの酸化物
膜の屈折率を種々なものとした。すなわち、真空蒸着装
置の蒸着室のバックグランド圧力を１×１０-5Ｔｏｒｒ
とし、光学的膜厚をｎｄ＝λ／４とした。また、この時
の電子ビーム蒸着装置のパワーについては、エミッショ
ン電流を３００ｍＡに、加速電圧は７ｋＶとした。
物膜の生成時に、酸素ガス圧力を変化させてこの酸化物
膜の屈折率を種々なものとした。すなわち、真空蒸着装
置の蒸着室のバックグランド圧力を１×１０-5Ｔｏｒｒ
とし、光学的膜厚をｎｄ＝λ／４とした。また、この時
の電子ビーム蒸着装置のパワーについては、エミッショ
ン電流を３００ｍＡに、加速電圧は７ｋＶとした。
【００２３】屈折率と酸素ガス圧力との関係を示したも
のが図３である。両者には特有の相関性があることがわ
かる。実際、屈折率は、酸素ガス圧力を１×１０-4〜
２．５×１０-4に変化させた時に、１．７１６〜１．６
２５まで変化した。ただし、この場合の基板は全て無加
熱とした。
のが図３である。両者には特有の相関性があることがわ
かる。実際、屈折率は、酸素ガス圧力を１×１０-4〜
２．５×１０-4に変化させた時に、１．７１６〜１．６
２５まで変化した。ただし、この場合の基板は全て無加
熱とした。
【００２４】
【発明の効果】この発明による合成樹脂光学部品は、少
なくともＰｒおよびＡｌ含有の酸化物膜から成る第１層
の硬化層を真空蒸着により形成し、その上に順次、多層
あるいは単層の反射防止膜を真空蒸着により形成するの
で、全ての層が真空蒸着室内で表面処理により形成でき
るため、工程が簡略化され、且つ、加工時間が大幅に短
縮されるので、生産性が向上する。また、この発明の多
層反射防止膜の構成によれば、合成樹脂製光学部品基板
の表面に形成した第１層は酸化物膜からなる硬化層であ
るので、分光反射率特性にすぐれており、干渉縞を抑
え、かつ、耐衝撃性にも優れた実用的に有利な反射防止
性合成樹脂光学部品を得ることができる。
なくともＰｒおよびＡｌ含有の酸化物膜から成る第１層
の硬化層を真空蒸着により形成し、その上に順次、多層
あるいは単層の反射防止膜を真空蒸着により形成するの
で、全ての層が真空蒸着室内で表面処理により形成でき
るため、工程が簡略化され、且つ、加工時間が大幅に短
縮されるので、生産性が向上する。また、この発明の多
層反射防止膜の構成によれば、合成樹脂製光学部品基板
の表面に形成した第１層は酸化物膜からなる硬化層であ
るので、分光反射率特性にすぐれており、干渉縞を抑
え、かつ、耐衝撃性にも優れた実用的に有利な反射防止
性合成樹脂光学部品を得ることができる。
【図１】この発明による反射防止性光学部品を例示した
構成図である。
構成図である。
【図２】実施例および比較例としての多層反射防止膜の
分光反射率特性図である。
分光反射率特性図である。
【図３】この発明の実施例としての屈折率と真空蒸着時
の酸素ガス圧力との相関図である。
の酸素ガス圧力との相関図である。
１ ウレタン系合成樹脂レンズ ２ Ｐｒ2 Ｏ3 とＡｌ2 Ｏ3 含有の酸化物膜あるいは有
機系ハードコートの第１の硬化層 ３ Ａｌ2 Ｏ3 から成る第２層 ４ ＺｒＯ2 から成る第３層 ５ ＴｉＯ2 から成る第４層 ６ ＳｉＯ2 から成る第５層
機系ハードコートの第１の硬化層 ３ Ａｌ2 Ｏ3 から成る第２層 ４ ＺｒＯ2 から成る第３層 ５ ＴｉＯ2 から成る第４層 ６ ＳｉＯ2 から成る第５層
Claims (7)
- 【請求項１】 合成樹脂製光学部品基板と、その表面に
直接設けられた少なくともＰｒおよびＡｌ含有の酸化物
膜、およびさらにその上に形成された無機物反射防止膜
からなることを特徴とする反射防止性合成樹脂光学部
品。 - 【請求項２】 基板および酸化物膜の各々の屈折率が
１．０〜１．７である請求項１の合成樹脂光学部品。 - 【請求項３】 請求項１あるいは２の酸化物膜が酸素を
導入した反応性真空蒸着で形成された膜である合成樹脂
光学部品。 - 【請求項４】 請求項１あるいは請求項２の酸化物膜が
酸素イオンを使用したイオンアシスト蒸着で形成された
膜である合成樹脂光学部品。 - 【請求項５】 合成樹脂製光学部品基板の表面に直接少
なくともＰｒおよびＡｌ含有の酸化物膜を真空蒸着によ
り形成し、さらに、その上に無機物反射防止膜を真空蒸
着により形成することを特徴とする合成樹脂光学部品の
製造方法。 - 【請求項６】 請求項５の酸化物膜を形成する真空蒸着
が酸素を導入して行う反応性真空蒸着である合成樹脂光
学部品の製造方法。 - 【請求項７】 請求項５の酸化物膜を形成する真空蒸着
が酸素イオンを使用したイオンアシスト蒸着である合成
樹脂光学部品の製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4202725A JPH0651103A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | 反射防止性合成樹脂光学部品とその製造方法 |
| EP93305959A EP0581584A1 (en) | 1992-07-29 | 1993-07-28 | Antireflective plastic optical element and method for producing the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4202725A JPH0651103A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | 反射防止性合成樹脂光学部品とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0651103A true JPH0651103A (ja) | 1994-02-25 |
Family
ID=16462132
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4202725A Withdrawn JPH0651103A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | 反射防止性合成樹脂光学部品とその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0581584A1 (ja) |
| JP (1) | JPH0651103A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003255107A (ja) * | 2001-12-28 | 2003-09-10 | Hoya Corp | ハイブリッド薄膜、それを用いてなる反射防止膜、光学部材及びハイブリッド薄膜の防曇性能復元方法 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Also Published As
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|---|---|
| EP0581584A1 (en) | 1994-02-02 |
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