JPH0650339A - Locking mechanism for direct acting air bearing - Google Patents
Locking mechanism for direct acting air bearingInfo
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- JPH0650339A JPH0650339A JP4092732A JP9273292A JPH0650339A JP H0650339 A JPH0650339 A JP H0650339A JP 4092732 A JP4092732 A JP 4092732A JP 9273292 A JP9273292 A JP 9273292A JP H0650339 A JPH0650339 A JP H0650339A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は直動式エアベアリングの
ロック機構に係り、特に予備回路付半導体デバイスの加
工装置に設けられた直動式エアベアリングに適用される
直動式エアベアリングのロック機構に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a direct acting air bearing locking mechanism, and more particularly to a direct acting air bearing lock applied to a direct acting air bearing provided in a processing device for a semiconductor device with a preliminary circuit. Regarding the mechanism.
【０００２】[0002]
【従来の技術】予備回路付半導体デバイスの加工装置
は、半導体ウエハ上に形成されたＬＳＩ、ＶＬＳＩ等の
欠陥回路を救済する為の予備回路を有する半導体デバイ
スにおいて、この半導体デバイス内の各回路部を接続す
るリンク部のうち欠陥回路を含む回路部を他の回路と接
続するリンク部の位置を割り出し、このリンク部をＹＡ
Ｇレーザ等のレーザ光で切断して前記欠陥回路を予備回
路に置換させるものである。2. Description of the Related Art A processing device for a semiconductor device with a preliminary circuit is a semiconductor device having a preliminary circuit for repairing a defective circuit such as LSI or VLSI formed on a semiconductor wafer. The position of the link part that connects the circuit part including the defective circuit to another circuit among the link parts that connect the
The defective circuit is replaced with a spare circuit by cutting with a laser beam such as a G laser.
【０００３】この種の加工装置としてメモリリペア装置
がある。メモリリペア装置には、直動式エアベアリング
が設けられており、この直動式エアベアリングによっ
て、レーザ光源から射出されたＹＡＧレーザ光を所定の
リンク部に照射させることができる。図３に従来の直動
式エアベアリング１０の実施例を示す。この直動式エア
ベアリング１０は、ガイドレール１２に沿ってＸスライ
ダ１４をＸ方向に移動させると共に、Ｙスライダ１６を
Ｘスライダ１４に対してＹ方向に移動させることによっ
て、Ｙスライダ１６に取り付けたレンズ１８を移動さ
せ、レーザ光源２０から射出したＹＡＧレーザ光２２を
全反射鏡２４、２６及び前記レンズ１８を介して半導体
ウエハ２８上の所定のリンク部に照射させることができ
る。There is a memory repair device as this type of processing device. The memory repair device is provided with a direct-acting air bearing, and this direct-acting air bearing can irradiate a predetermined link portion with YAG laser light emitted from a laser light source. FIG. 3 shows an embodiment of a conventional direct acting air bearing 10. The direct acting air bearing 10 is attached to the Y slider 16 by moving the X slider 14 in the X direction along the guide rail 12 and moving the Y slider 16 in the Y direction with respect to the X slider 14. By moving the lens 18, the YAG laser light 22 emitted from the laser light source 20 can be applied to a predetermined link portion on the semiconductor wafer 28 via the total reflection mirrors 24 and 26 and the lens 18.
【０００４】前記Ｘスライダ１４及びＹスライダ１６
は、図示しない位置決め制御装置で駆動制御されたＤＣ
サーボモータの駆動力によって移動量が各々制御されて
いる。尚、符号３０は、前記半導体ウエハ２８をその表
面上に吸着固定する吸着テーブルである。また、符号３
２、３２…は、ガイドレール１２とＸスライダ１４との
隙間に圧力エアを供給する圧力エア供給ホースであり、
この圧力エアによってＸスライダ１４がガイドレール１
２に対して非接触で支持される。The X slider 14 and the Y slider 16
Is DC controlled by a positioning control device (not shown).
The amount of movement is controlled by the driving force of the servo motor. Reference numeral 30 is a suction table for suction-fixing the semiconductor wafer 28 on its surface. Also, reference numeral 3
Reference numerals 2, 32, ... Are pressure air supply hoses for supplying pressure air to the gap between the guide rail 12 and the X slider 14.
This pressure air causes the X slider 14 to move the guide rail 1
2 is supported in a non-contact manner.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
直動式エアベアリング１０は、大きな変位に対しては比
較的高い剛性を有するが、微小な変位に対しては剛性が
低く外乱や空気の乱流に影響され易い。この為、１０ｎ
ｍ程度の位置決め時には、圧力エアの供給を停止してガ
イドレール１２にＸスライダ１４を接触させた状態で位
置決めを行ったり、或いは圧力エアの供給をバキューム
に切り換えたりしてＸスライダ１４をガイドレール１２
にロックさせなければならず、これらのロック方法では
位置決めに時間がかかるので、作業効率が低下するとい
う欠点がある。However, the conventional direct-acting air bearing 10 has a relatively high rigidity with respect to a large displacement, but has a low rigidity with respect to a minute displacement and has a disturbance or an air turbulence. It is easily affected by the flow. Therefore, 10n
At the time of positioning about m, positioning is performed with the supply of pressure air stopped and the X slider 14 in contact with the guide rail 12, or the supply of pressure air is switched to vacuum to move the X slider 14 to the guide rail. 12
Must be locked in place, and these locking methods take a long time for positioning, so that there is a drawback that work efficiency is reduced.
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、エアスライダ部材をガイドレール部材に対して
短時間で確実にロックすることができる直動式エアベア
リングのロック機構を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides a locking mechanism for a direct-acting air bearing capable of reliably locking an air slider member with respect to a guide rail member in a short time. With the goal.
【０００７】[0007]
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
する為に、ガイドレール部材と、該ガイドレール部材が
その中空部に挿通配置されると共に圧力エアをガイドレ
ール部材に向けて噴き出して該ガイドレール部材に対し
て非接触でスライド移動可能なエアスライダ部材と、か
ら成る直動式エアベアリングに於いて、前記エアスライ
ダ部材に配置されると共に、その先端部が前記ガイドレ
ール部材に所定の隙間を介し取り付けられた複数のピエ
ゾ素子と、前記エアスライダ部材の停止位置情報に基づ
いて前記複数のピエゾ素子に電圧を印加する制御手段
と、を備え、前記制御手段から前記複数のピエゾ素子に
電圧を印加してピエゾ素子を駆動させることにより、ピ
エゾ素子の各先端部で前記ガイドレール部材の上面部及
び下面部を押圧し、該押圧力でエアスライダ部材の移動
をロックすることを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a guide rail member, a guide rail member which is inserted through a hollow portion of the guide rail member, and blows pressure air toward the guide rail member. A direct-acting air bearing comprising an air slider member that is slidably movable in a non-contact manner with respect to the guide rail member. A plurality of piezo elements attached via a predetermined gap, and a control means for applying a voltage to the plurality of piezo elements based on stop position information of the air slider member, the plurality of piezo elements from the control means. By applying a voltage to the element to drive the piezo element, each tip of the piezo element presses the upper surface portion and the lower surface portion of the guide rail member, Characterized by locking the movement of the air slider member by the pressing force.
【０００８】[0008]
【作用】本発明によれば、エアスライダ部材のガイドレ
ール部材における停止位置で、制御手段からピエゾ素子
に電圧を印加してピエゾ素子を逆圧電効果によって駆動
させる。これにより、ピエゾ素子の各先端部が前記ガイ
ドレール部材の上面部及び下面部に押圧当接し、エアス
ライダ部材がピエゾ素子を介してガイドレール部材に固
定される。従って、エアスライダ部材をガイドレール部
材に対して短時間で確実にロックすることができる。According to the present invention, at the stop position of the guide rail member of the air slider member, a voltage is applied from the control means to the piezo element to drive the piezo element by the inverse piezoelectric effect. As a result, each tip of the piezo element presses and abuts on the upper surface and the lower surface of the guide rail member, and the air slider member is fixed to the guide rail member via the piezo element. Therefore, the air slider member can be reliably locked to the guide rail member in a short time.
【０００９】また、ピエゾ素子をエアスライダ部材の移
動方向の両側にそれぞれ配置すると共に、エアスライダ
部材とガイドレール部材との上部隙間及び下部隙間を測
定可能なセンサを、エアスライダ部材の移動方向の両側
にそれぞれ配置する。そして、制御手段は、前記各セン
サからの上部隙間情報及び下部隙間情報とに基づいて、
エアスライダ部材のガイドレール部材に対する傾斜角度
を算出し、ピエゾ素子毎に印加する電圧量を制御して傾
斜角度を補正する。これにより、エアスライダ部材をガ
イドレール部材に対して平行状態でロックすることがで
きる。Further, the piezo elements are arranged on both sides in the moving direction of the air slider member, and a sensor capable of measuring the upper gap and the lower gap between the air slider member and the guide rail member is provided in the moving direction of the air slider member. Place on both sides. Then, the control means, based on the upper gap information and the lower gap information from each sensor,
The inclination angle of the air slider member with respect to the guide rail member is calculated, and the amount of voltage applied to each piezo element is controlled to correct the inclination angle. Thereby, the air slider member can be locked in parallel with the guide rail member.
【００１０】[0010]
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る直動式エ
アベアリングのロック機構の好ましい実施例について詳
説する。図１は本発明に係る直動式エアベアリングのロ
ック機構が適用されたメモリリペア装置の直動式エアベ
アリング４０が示され、図３に示した従来例中と同一若
しくは類似の部材については同一の符号を付して説明す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A preferred embodiment of a lock mechanism for a direct-acting air bearing according to the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows a direct-acting air bearing 40 of a memory repair device to which a lock mechanism of a direct-acting air bearing according to the present invention is applied, and the same or similar members as those in the conventional example shown in FIG. 3 are the same. Will be described with reference numerals.
【００１１】この直動式エアベアリング４０はガイドレ
ール１２、Ｘスライダ１４、及びＹスライダ１６から構
成される。前記Ｘスライダ１４は、その中空部１５に前
記ガイドレール１２が所定の隙間をもって挿通配置され
おり、圧力エア供給ホース３２、３２…からＸスライダ
１４とガイドレール１２との隙間１５ａ（図２）に供給
される圧力エアによってガイドレール１２に対し非接触
で支持されている。また、Ｘスライダ１４は、図示しな
い位置決め制御装置で駆動制御されたＤＣサーボモータ
の駆動力でガイドレール１２に沿ってＸ方向にスライド
移動でき、且つその移動量が制御される。The direct acting air bearing 40 comprises a guide rail 12, an X slider 14 and a Y slider 16. In the X slider 14, the guide rail 12 is inserted through a hollow portion 15 thereof with a predetermined gap, and the pressure air supply hoses 32, 32 ... From the gap 15a (FIG. 2) between the X slider 14 and the guide rail 12. It is supported in a non-contact manner with the guide rail 12 by the supplied pressure air. Further, the X slider 14 can be slid in the X direction along the guide rail 12 by the driving force of a DC servo motor that is drive-controlled by a positioning control device (not shown), and its movement amount is controlled.
【００１２】前記Ｙスライダ１６はＸスライダ１４の下
部に配置されると共に、Ｘスライダ１４と同様に位置決
め制御装置で駆動制御されたＤＣサーボモータの駆動力
でＸスライダ１４に対しＹ方向にスライド移動でき、且
つその移動量が制御される。これにより、レーザ光源２
０から射出したＹＡＧレーザ光２２を、Ｙスライダ１６
に取り付けた全反射鏡２４、２６及びレンズ１８を介し
て半導体ウエハ２８上の所定のリンク部に照射すること
ができる。The Y slider 16 is arranged below the X slider 14, and is slid in the Y direction with respect to the X slider 14 by the driving force of a DC servo motor which is driven and controlled by a positioning control device like the X slider 14. And the amount of movement is controlled. Thereby, the laser light source 2
YAG laser light 22 emitted from the Y slider 16
It is possible to irradiate a predetermined link portion on the semiconductor wafer 28 via the total reflection mirrors 24 and 26 and the lens 18 attached to the.
【００１３】一方、Ｘスライダ１４には図１、図２に示
すように、棒状に形成された８本のピエゾ素子４２Ａ、
４２Ｂ、４２Ｃ、４２Ｄ、４２Ｅ、４２Ｆ、４２Ｇ、４
２Ｈ（但し、符号４２Ｇ、４２Ｈのピエゾ素子は図示せ
ず）が取り付けられる。前記ピエゾ素子４２Ａ乃至４２
Ｄは、Ｘスライダ１４の上面１４ａで且つＸスライダ１
４の移動方向の両側にそれぞれ配置される。また、ピエ
ゾ素子４２Ａ乃至４２Ｄの各先端部（図中下端部）は、
ピエゾ素子４２Ａ乃至４２Ｄが駆動した際に前記ガイド
レール１２の上面部１２ａに押圧当接可能な隙間をもっ
て配設されている。ピエゾ素子４２Ａ乃至４２Ｄは、ケ
ーブル４４Ａ乃至４４Ｄを介してコントローラ４５の電
源部（ドライバ）４５Ａにそれぞれ接続されている。On the other hand, as shown in FIGS. 1 and 2, the X slider 14 has eight rod-shaped piezo elements 42A,
42B, 42C, 42D, 42E, 42F, 42G, 4
2H (however, piezo elements 42G and 42H are not shown) are attached. The piezo elements 42A to 42
D is the upper surface 14a of the X slider 14 and the X slider 1
4 are arranged on both sides in the moving direction. Further, the respective tip portions (lower end portions in the drawing) of the piezo elements 42A to 42D are
When the piezo elements 42A to 42D are driven, the piezo elements 42A to 42D are arranged with a gap so that they can be pressed against the upper surface portion 12a of the guide rail 12. The piezo elements 42A to 42D are connected to a power supply unit (driver) 45A of the controller 45 via cables 44A to 44D, respectively.
【００１４】前記ピエゾ素子４２Ｅ乃至４２Ｈは、Ｘス
ライダ１４の下面１４ｂで且つ前記ピエゾ素子４２Ａ乃
至４２Ｄに対向した位置にそれぞれ配置される。また、
ピエゾ素子４２Ｅ乃至４２Ｈの各先端部（図中上端部）
は、ピエゾ素子４２Ｅ乃至４２Ｈが駆動した際に前記ガ
イドレール１２の下面部１２ｂに押圧当接可能な隙間を
もって配設されている。ピエゾ素子４２Ｅ乃至４２Ｈ
は、ケーブル４４Ｅ乃至４４Ｈ（但し、符号符号４４
Ｇ、４４Ｈのケーブルは図示せず）を介してコントロー
ラ４５のドライバ４５Ａにそれぞれ接続されている。The piezo elements 42E to 42H are arranged on the lower surface 14b of the X slider 14 and at positions facing the piezo elements 42A to 42D, respectively. Also,
Each tip of the piezo elements 42E to 42H (upper end in the figure)
Are arranged with a gap so that they can be pressed against the lower surface 12b of the guide rail 12 when the piezo elements 42E to 42H are driven. Piezo elements 42E to 42H
Are cables 44E to 44H (however, reference numeral 44
The G and 44H cables are respectively connected to the driver 45A of the controller 45 via (not shown).
【００１５】また、Ｘスライダ１４には４本の静電容量
センサ４６Ａ、４６Ｂ、４６Ｃ、４６Ｄ（但し、符号４
６Ｄの静電容量センサは図示せず）が取り付けられる。
前記静電容量センサ４６Ａ、４６Ｂは、Ｘスライダ１４
の上面１４ａで且つＸスライダ１４の移動方向の両側に
それぞれ配置されており、Ｘスライダ１４とガイドレー
ル１２との上部隙間を測定し、その情報をケーブル４８
Ａ、４８Ｂを介してコントローラ４５に出力することが
できる。Further, the X slider 14 has four capacitance sensors 46A, 46B, 46C, 46D (however, reference numeral 4).
A 6D capacitance sensor (not shown) is attached.
The capacitance sensors 46A and 46B are the X slider 14
Are arranged on the upper surface 14a of the X slider 14 and on both sides in the moving direction of the X slider 14, and the upper gap between the X slider 14 and the guide rail 12 is measured, and the information is measured by the cable 48.
It can be output to the controller 45 via A and 48B.
【００１６】前記静電容量センサ４６Ｃ、４６Ｄは、Ｘ
スライダ１４の下面１４ｂで且つ前記静電容量センサ４
６Ａ、４６Ｂに対向した位置にそれぞれ配置されてお
り、Ｘスライダ１４とガイドレール１２との下部隙間を
測定し、その情報をケーブル４８Ｃ、４８Ｄ（但し、符
号４８Ｄのケーブルは図示せず）を介して前記コントロ
ーラ４５に出力することができる。The capacitance sensors 46C and 46D have X
The lower surface 14b of the slider 14 and the capacitance sensor 4
6A and 46B, which are respectively arranged opposite to each other, measure the lower clearance between the X slider 14 and the guide rail 12, and the information is transmitted via cables 48C and 48D (however, the cable of reference numeral 48D is not shown). Output to the controller 45.
【００１７】尚、前記コントローラ４５には、ガイドレ
ール１２におけるＸスライダ１４の停止位置情報が予め
入力されている。次に、前記の如く構成された直動式エ
アベアリング４０を用いてＸスライダ１４をガイドレー
ル１２にロックする作用について説明する。先ず、Ｘス
ライダ１４がガイドレール１２における停止位置で停止
した時に、コントローラ４５のドライバ４５Ａからケー
ブル４４Ａ乃至４４Ｈを介してピエゾ素子４２Ａ乃至４
２Ｈに電圧を印加する。電圧が印加されるとピエゾ素子
４２Ａ乃至４２Ｈは、逆圧電効果によって駆動し、ピエ
ゾ素子４２Ａ乃至４２Ｈの各先端部が前記ガイドレール
１２の上面部１２ａ及び下面部１２ｂに押圧当接する。
これにより、ピエゾ素子４２Ａ乃至４２Ｈの前記押圧力
でＸスライダ１４をガイドレール１２に固定することが
できる。The stop position information of the X slider 14 on the guide rail 12 is previously input to the controller 45. Next, the operation of locking the X slider 14 on the guide rail 12 using the direct acting air bearing 40 configured as described above will be described. First, when the X slider 14 is stopped at the stop position on the guide rail 12, the piezo elements 42A to 4A from the driver 45A of the controller 45 via the cables 44A to 44H.
A voltage is applied to 2H. When a voltage is applied, the piezo elements 42A to 42H are driven by the inverse piezoelectric effect, and the tips of the piezo elements 42A to 42H are pressed against the upper surface portion 12a and the lower surface portion 12b of the guide rail 12.
As a result, the X slider 14 can be fixed to the guide rail 12 by the pressing force of the piezo elements 42A to 42H.
【００１８】従って、本実施例では、ピエゾ素子４２Ａ
乃至４２Ｈに電圧を印加するだけでＸスライダ１４をガ
イドレール１２に固定することができるので、Ｘスライ
ダ１４を短時間で確実にロックすることができる。ま
た、コントローラ４５は、前記静電容量センサ４６Ａ乃
至４６Ｄからの上部隙間情報及び下部隙間情報とに基づ
いて、Ｘスライダ１４のガイドレール１２に対する傾斜
角度を算出し、該傾斜角度をなくすようにピエゾ素子４
２Ａ乃至４２Ｈ毎に印加する電圧量を制御する。即ち、
ピエゾ素子４２Ａ乃至４２Ｈ毎の駆動量を変える。これ
により、Ｘスライダ１４をガイドレール１２に対して平
行状態でロックすることができる。Therefore, in this embodiment, the piezo element 42A
Since the X slider 14 can be fixed to the guide rail 12 only by applying a voltage to 42H to 42H, the X slider 14 can be reliably locked in a short time. Further, the controller 45 calculates the tilt angle of the X slider 14 with respect to the guide rail 12 based on the upper clearance information and the lower clearance information from the capacitance sensors 46A to 46D, and piezos so as to eliminate the tilt angle. Element 4
The amount of voltage applied is controlled every 2A to 42H. That is,
The drive amount for each of the piezo elements 42A to 42H is changed. As a result, the X slider 14 can be locked in parallel with the guide rail 12.
【００１９】尚、本実施例では、メモリリペア装置に適
用される直動式エアベアリングについて説明したが、メ
モリリペア装置に限らず他の機種に適用される直動式エ
アベアリングに適用しても良い。In this embodiment, the direct acting air bearing applied to the memory repair device has been described, but the present invention is not limited to the memory repair device and may be applied to the direct acting air bearing applied to other models. good.
【００２０】[0020]
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る直動式
エアベアリングのロック機構によれば、エアスライダ部
材のガイドレール部材における停止位置で、制御手段か
らピエゾ素子に電圧を印加してピエゾ素子を駆動させ、
ピエゾ素子の各先端部で前記ガイドレール部材の上面部
及び下面部を押圧し、この押圧力でエアスライダ部材を
ピエゾ素子を介してガイドレール部材に固定するように
したので、エアスライダ部材をガイドレール部材に対し
て短時間で確実にロックすることができる。As described above, according to the lock mechanism of the direct acting air bearing according to the present invention, the piezoelectric element is generated by applying a voltage from the control means to the piezoelectric element at the stop position of the guide rail member of the air slider member. Drive the element,
The top and bottom surfaces of the guide rail member are pressed by the respective tip portions of the piezo element, and this pressing force fixes the air slider member to the guide rail member via the piezo element. The rail member can be reliably locked in a short time.
【００２１】また、ピエゾ素子をエアスライダ部材の移
動方向の両側にそれぞれ配置すると共に、エアスライダ
部材とガイドレール部材との上部隙間及び下部隙間を測
定可能なセンサを、エアスライダ部材の移動方向の両側
にそれぞれ配置する。そして、制御手段は、前記各セン
サからの上部隙間情報及び下部隙間情報とに基づいて、
エアスライダ部材のガイドレール部材に対する傾斜角度
を算出し、該傾斜角度をなくすようにピエゾ素子毎に印
加する電圧量を制御するようにした。これにより、エア
スライダ部材をガイドレール部材に対して平行状態でロ
ックすることができる。Further, the piezo elements are arranged on both sides in the moving direction of the air slider member, and a sensor capable of measuring the upper gap and the lower gap between the air slider member and the guide rail member is provided in the moving direction of the air slider member. Place on both sides. Then, the control means, based on the upper gap information and the lower gap information from each sensor,
The inclination angle of the air slider member with respect to the guide rail member is calculated, and the amount of voltage applied to each piezo element is controlled so as to eliminate the inclination angle. Thereby, the air slider member can be locked in parallel with the guide rail member.
【図１】本発明に係る直動式エアベアリングのロック機
構が適用されたメモリリペア装置の直動式エアベアリン
グの実施例を示す斜視図FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of a direct acting air bearing of a memory repair device to which a lock mechanism of a direct acting air bearing according to the present invention is applied.
【図２】本発明に係る直動式エアベアリングのロック機
構の断面図FIG. 2 is a sectional view of a lock mechanism for a direct acting air bearing according to the present invention.
【図３】メモリリペア装置に適用された従来の直動式エ
アベアリングの実施例を示す斜視図FIG. 3 is a perspective view showing an example of a conventional direct-acting air bearing applied to a memory repair device.
１２…ガイドレール １４…Ｘスライダ １６…Ｙスライダ １８…レンズ ２０…レーザ光源 ２２…ＹＡＧレーザ光 ２４、２６…全反射鏡 ４０…直動式エアベアリング ４２…ピエゾ素子 ４５…コントローラ ４６…静電容量センサ 12 ... Guide rail 14 ... X slider 16 ... Y slider 18 ... Lens 20 ... Laser light source 22 ... YAG laser light 24, 26 ... Total reflection mirror 40 ... Direct acting air bearing 42 ... Piezo element 45 ... Controller 46 ... Capacitance Sensor
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 41/09 Ｈ０１Ｓ 3/00 Ｂ 8934−4Ｍ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI technical display location H01L 41/09 H01S 3/00 B 8934-4M
Claims (2)
材がその中空部に挿通配置されると共に圧力エアをガイ
ドレール部材に向けて噴き出して該ガイドレール部材に
対して非接触でスライド移動可能なエアスライダ部材
と、から成る直動式エアベアリングに於いて、 前記エアスライダ部材に配置されると共に、その先端部
が前記ガイドレール部材に所定の隙間を介し取り付けら
れた複数のピエゾ素子と、 前記エアスライダ部材の停止位置情報に基づいて前記複
数のピエゾ素子に電圧を印加する制御手段と、 を備え、前記制御手段から前記複数のピエゾ素子に電圧
を印加してピエゾ素子を駆動させることにより、ピエゾ
素子の各先端部で前記ガイドレール部材の上面部及び下
面部を押圧し、該押圧力でエアスライダ部材の移動をロ
ックすることを特徴とする直動式エアベアリングのロッ
ク機構。1. A guide rail member, and air which is disposed through the hollow portion of the guide rail member and ejects pressure air toward the guide rail member so as to be slidable without contact with the guide rail member. In a direct-acting air bearing including a slider member, a plurality of piezo elements which are arranged on the air slider member and whose tip ends are attached to the guide rail member with a predetermined gap, Control means for applying a voltage to the plurality of piezo elements based on the stop position information of the slider member, and driving the piezo elements by applying a voltage from the control means to the plurality of piezo elements, The top and bottom surfaces of the guide rail member are pressed by the respective tip portions of the element, and the movement of the air slider member is locked by the pressing force. A direct-acting air bearing locking mechanism characterized by and.
の移動方向の両側にそれぞれ配置すると共に、エアスラ
イダ部材と前記ガイドレール部材との上部隙間及び下部
隙間を測定可能なセンサを、エアスライダ部材の移動方
向の両側にそれぞれ配置し、 前記制御手段は、前記各センサからの上部隙間情報及び
下部隙間情報とに基づいて、エアスライダ部材のガイド
レール部材に対する傾斜角度を算出し、該傾斜角度を補
正するようにピエゾ素子毎に印加する電圧量を制御する
ことを特徴とする請求項１記載の直動式エアベアリング
のロック機構。2. A sensor capable of measuring the upper clearance and the lower clearance between the air slider member and the guide rail member while arranging the piezo elements on both sides in the moving direction of the air slider member, respectively. The control means calculates the tilt angle of the air slider member with respect to the guide rail member based on the upper clearance information and the lower clearance information from the respective sensors, and corrects the tilt angle. 2. The lock mechanism for a direct acting air bearing according to claim 1, wherein the amount of voltage applied to each piezo element is controlled so as to do so.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP04092732A JP3082991B2 (en) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | Lock mechanism of direct acting air bearing |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP04092732A JP3082991B2 (en) | 1992-04-13 | 1992-04-13 | Lock mechanism of direct acting air bearing |
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| JPH0650339A true JPH0650339A (en) | 1994-02-22 |
| JP3082991B2 JP3082991B2 (en) | 2000-09-04 |
Family
ID=14062598
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3082991B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1992-04-13 JP JP04092732A patent/JP3082991B2/en not_active Expired - Fee Related
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