JPH0649921Y2 - Actuator - Google Patents
ActuatorInfo
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- JPH0649921Y2 JPH0649921Y2 JP1987124377U JP12437787U JPH0649921Y2 JP H0649921 Y2 JPH0649921 Y2 JP H0649921Y2 JP 1987124377 U JP1987124377 U JP 1987124377U JP 12437787 U JP12437787 U JP 12437787U JP H0649921 Y2 JPH0649921 Y2 JP H0649921Y2
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- rod
- retainer
- diaphragm
- hole
- elastic body
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はアクチュエータに関し、特に、ロッドの揺動
時、あるいは振動時に、ダイアフラムへの影響を阻止す
る構造をもつアクチュエータに関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial application] The present invention relates to an actuator, and more particularly to an actuator having a structure for preventing an influence on a diaphragm when a rod swings or when it vibrates.
従来、第４図、第５図に示すように、アクチュエータは
上部ケーシング18と下部ケーシング19がダイアフラム14
を挟持してかしめによって連結されていて、このダイア
フラム14によって上室20と下室21とが気密状態で隔絶さ
れている。Conventionally, as shown in FIG. 4 and FIG. 5, in the actuator, the upper casing 18 and the lower casing 19 have a diaphragm 14
The upper chamber 20 and the lower chamber 21 are airtightly separated from each other by the diaphragm 14 which is sandwiched and connected by caulking.
そして、ダイアフラム14とロッド12の結合は、リテーナ
13でダイアフラム14を挟持し、ロッド12をその中央部に
挿通させ、突出したロッド12の頭を潰すスピンかしめに
よって行なっていた。Then, the connection between the diaphragm 14 and the rod 12 is
The diaphragm 14 is sandwiched by 13 and the rod 12 is inserted through the center of the diaphragm 14, and the head of the protruding rod 12 is crushed by spin caulking.
上記のようなロッド12にあっては、アクチュエータ11の
上部に取付けられた孔17より圧力が印加・除去されるこ
とにより、ばね16に抗してロッド12は突出したり、また
は没入したりする作動を繰返すこととなる。In the rod 12 as described above, the pressure is applied / removed from the hole 17 attached to the upper portion of the actuator 11, so that the rod 12 is projected or retracted against the spring 16. Will be repeated.
しかし、これだとロッド12が出没して該ロッド12の他端
でリンクなどを操作する時、被作動部材の動きに合わせ
て動くことにより、この動きによって、前記ロッドが揺
動し、ダイアフラム14が緊張・弛緩することにより、前
記ダイアフラム14における歪が大きくなりダイアフラム
の耐久性を低下させる原因となるという問題点があっ
た。However, in this case, when the rod 12 appears and disappears and the link or the like is operated at the other end of the rod 12, it moves in accordance with the movement of the actuated member, and this movement causes the rod to swing and the diaphragm 14 There is a problem in that the strain of the diaphragm 14 becomes large due to the tension and the relaxation, which causes the durability of the diaphragm to be reduced.
また、高速運転時の前記ロッド12が中心線より外れる振
動が生じることにより、同じく前記ロッド12の上端部に
揺れを生じ、これにより、ダイアフラム14が緊張・弛緩
を繰返すことになり歪が発生し、ダイアフラム14の耐久
性を低下させるという問題点があった。Further, when the rod 12 is deviated from the center line during high-speed operation, vibration also occurs at the upper end of the rod 12, which causes the diaphragm 14 to repeat tension and relaxation, resulting in strain. However, there was a problem that the durability of the diaphragm 14 was reduced.
また、ロッドの軸線方向での微振動などによってもダイ
アフラムの耐久性を低下させる問題点があった。Further, there is a problem that the durability of the diaphragm is deteriorated even by a slight vibration in the axial direction of the rod.
さらに、かしめによる結合の場合、相手が弾性体からな
るダイアフラム14であるために、かしめ部15における潰
し量等の条件設定が難しく、不安定要素が多いという問
題点を有していた。Further, in the case of caulking, there is a problem in that it is difficult to set conditions such as the crushing amount in the caulking portion 15 because the other party is the diaphragm 14 made of an elastic body, and there are many unstable elements.
本考案は上記のような問題点に鑑み、ロッドとリテーナ
との接触部を揺動可能とし、前記リテーナにダイアフラ
ムを取付けた構造とし、かつ、前記ロッドとリテーナの
接触部分にはゴム材等の弾性体を介在させることでロッ
ドの揺動時にも、揺動時にあっても、ダイアフラムが自
然状態を保てて、耐久性を向上させることのできるアク
チュエータを提供することを目的とする。In view of the above problems, the present invention has a structure in which a contact portion between a rod and a retainer can be swung, a diaphragm is attached to the retainer, and a rubber material or the like is attached to a contact portion between the rod and the retainer. It is an object of the present invention to provide an actuator in which an elastic body is interposed so that the diaphragm can maintain a natural state even when the rod is swung or swung, and durability is improved.
本考案は上記の問題点を解決するために、本体の内部に
ダイアフラムを設け、このダイアフラムを前記本体内部
に印加した圧力に応じて移動可能とするとともに、前記
ダイアフラムの移動に応じて前記本体から延出したロッ
ドを出没させるアクチュエータにおいて、前記ダイアフ
ラムは環状をなすとともに、その中央部を閉塞してリテ
ーナが一体に設けられ、このリテーナの中央部に孔が設
けられるとともに、この孔に臨む周縁部は折り曲げられ
て断面が湾曲状に形成され、この孔内に前記ロッドが弾
性体を介して気密状態を保持したまま揺動可能に取り付
けられており、前記ロッドの取り付け部は周囲に溝が設
けられ、この溝内に前記弾性体が位置した状態で前記孔
内に配設されている構成を有している。In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a diaphragm inside the main body, makes the diaphragm movable according to the pressure applied to the inside of the main body, and moves the diaphragm from the main body according to the movement of the diaphragm. In the actuator for retracting and extending the extended rod, the diaphragm has an annular shape, and a retainer is integrally provided by closing the central portion of the diaphragm, and a hole is provided in the central portion of the retainer and a peripheral portion facing the hole. Is bent to form a curved cross section, and the rod is swingably attached to the inside of the hole while keeping an airtight state through an elastic body, and a groove is provided around the attachment portion of the rod. The elastic body is disposed in the hole in a state where the elastic body is positioned in the groove.
本考案は前記の手段を採用したことにより、ロッドが揺
動又は振動した場合にも、ロッドがリテーナに対して摺
動することによって、ロッドの揺動又は振動が直接には
ダイアフラムに伝達されないこととなる。According to the present invention, by adopting the above-mentioned means, even if the rod oscillates or vibrates, the rod does not directly oscillate or vibrate due to the rod sliding on the retainer. Becomes
〔実施例〕 以下、図面を参照して本考案の実施例について説明す
る。Embodiments Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
第１図および第２図には本考案によるアクチュエータの
第１の実施例が示されていて、第１図は全体を示す概略
縦断面図、第２図は第１図の部分拡大図である。1 and 2 show a first embodiment of an actuator according to the present invention. FIG. 1 is a schematic vertical sectional view showing the whole, and FIG. 2 is a partially enlarged view of FIG. .
まず、アクチュエータ１は支持台８に支えられている下
部ケーシング9bと上部ケーシング9aとが、環状のダイア
フラム４の外周縁を挟持してかしめによって連結してい
る。First, in the actuator 1, a lower casing 9b and an upper casing 9a, which are supported by a support base 8, sandwich the outer peripheral edge of an annular diaphragm 4 and are connected by caulking.
前記ダイアフラム４の内周縁はリテーナ３の外周縁を包
含するように該リテーナ３と連結しているとともに、前
記リテーナ３の中央部には孔が設けられていて、その孔
を臨む周縁部は図中下方に折り曲げられて断面が湾曲状
に形成されている。The inner peripheral edge of the diaphragm 4 is connected to the retainer 3 so as to include the outer peripheral edge of the retainer 3, and a hole is formed in the center of the retainer 3, and the peripheral edge facing the hole is illustrated. It is bent inward and downward to form a curved cross section.
一方、ロッド２の上端部は大径の拡大部2aに形成されて
いて、その側面の中央部には周方向に沿って前記リテー
ナ３の孔の周縁部の曲率よりも小さい曲率の溝2bが設け
られ、この溝2b内に前記リテーナ３の孔の周縁部の曲率
よりも小さく、溝2bの曲率よりも大きい曲率の環状の弾
性体５が嵌合され、このように溝2b内に弾性体５を装着
した状態でロッド２が前記リテーナ３の孔内に装着され
ている。On the other hand, the upper end portion of the rod 2 is formed into a large-diameter enlarged portion 2a, and a groove 2b having a curvature smaller than the curvature of the peripheral portion of the hole of the retainer 3 along the circumferential direction is formed in the central portion of the side surface thereof. An annular elastic body 5 having a curvature smaller than the curvature of the peripheral portion of the hole of the retainer 3 and larger than the curvature of the groove 2b is fitted in the groove 2b. The rod 2 is mounted in the hole of the retainer 3 in a state where the rod 5 is mounted.
この場合、前記弾性体５の外周面には前記リテーナ３の
湾曲部が相対的に摺動可能に装着され、これにより前記
ロッド２が前記リテーナ３に対して相対的に揺動可能と
なっているとともに、前記ロッド２と前記リテーナ３と
の間に前記弾性体５が介在することで、ダイアフラム４
とリテーナ３の上面側に形成される上室10aと下面側に
形成される下室10bとが完全な気密状態で隔絶されるよ
うになっている。In this case, the curved portion of the retainer 3 is slidably attached to the outer peripheral surface of the elastic body 5, so that the rod 2 can swing relative to the retainer 3. In addition, the elastic body 5 is interposed between the rod 2 and the retainer 3 so that the diaphragm 4
The upper chamber 10a formed on the upper surface side of the retainer 3 and the lower chamber 10b formed on the lower surface side of the retainer 3 are separated in a completely airtight state.
また、下室10bにおいては、リテーナ３の下面と、下部
ケーシング9bとの間にばね７が設けられている。Further, in the lower chamber 10b, a spring 7 is provided between the lower surface of the retainer 3 and the lower casing 9b.
さらに、上室10aの上部中央には孔６が設けられ、下室1
0bを形成する下部ケーシング9b底部中央には大孔9cが穿
たれるとともに、下部ケーシング9bを支持する支持台８
にも前記大孔9cと同径の孔が設けられ、それらの中央を
ロッド２が延出するようになっている。Further, a hole 6 is provided in the upper center of the upper chamber 10a, and the lower chamber 1
A large hole 9c is formed in the center of the bottom of the lower casing 9b forming 0b, and a support base 8 for supporting the lower casing 9b is formed.
Also, a hole having the same diameter as the large hole 9c is provided, and the rod 2 extends in the center thereof.
上記のような構成のアクチュエータ１に孔６から圧力が
印加された場合、正圧の場合、気密性の保たれたリテー
ナ３とダイアフラム４で隔絶された前記アクチュエータ
１の上室10aには前記リテーナ３やダイアフラム４を下
方へ付勢部材であるばね７に抗してロッド２を下方へ押
す力が作用する。したがって、ロッド２は印加された圧
力の状態に応じて下方へ突出する。When a pressure is applied from the hole 6 to the actuator 1 having the above-described structure, in the case of positive pressure, the retainer 3 is kept in the upper chamber 10a of the actuator 1 which is separated by the retainer 3 and the diaphragm 4 which are kept airtight. A force that pushes the rod 2 downward against the spring 7 that is a biasing member acts on the rod 3 and the diaphragm 4 downward. Therefore, the rod 2 projects downward depending on the state of the applied pressure.
また、上室10aへの孔６からの圧力の印加が除去された
時、ロッド２およびリテーナ３、さらにはダイアフラム
４がばね７の付勢力に応じて元の状態に復帰し、ロッド
２の動きとしては没入することとなる。When the pressure applied from the hole 6 to the upper chamber 10a is removed, the rod 2 and the retainer 3, and further the diaphragm 4 return to their original state according to the biasing force of the spring 7, and the movement of the rod 2 moves. As a result, it becomes immersive.
上記のような動作を繰返す内に、ロッド２の下端におけ
るリンク（図示せず）等の動きと共にロッド２の下端が
揺動するとき、ロッド２の上端拡大部2aにおける溝2bに
設けられた弾性体５の存在により、リテーナ３の中央部
の孔の周縁部の湾曲部が弾性体５の外周面上を相対的に
摺動してリテーナ３を水平状態に保ち、ダイアフラム４
の影響を阻止することができる。When the lower end of the rod 2 swings with the movement of a link (not shown) or the like at the lower end of the rod 2 while repeating the above operation, the elasticity provided in the groove 2b in the upper end enlarged portion 2a of the rod 2 Due to the presence of the body 5, the curved portion of the peripheral portion of the hole in the center of the retainer 3 relatively slides on the outer peripheral surface of the elastic body 5 to keep the retainer 3 in a horizontal state, and the diaphragm 4
The effect of can be prevented.
また、ロッド２が水平方向にずれながらの大きな揺動に
よる揺れの時も同様にして、リテーナ３の水平状態を保
ち、ダイアフラム４への影響を阻止することができる。Further, even when the rod 2 is shaken by a large swing while being displaced in the horizontal direction, the retainer 3 can be kept in the horizontal state and the influence on the diaphragm 4 can be prevented in the same manner.
さらに、ロッド２の軸線方向での小さな振動にあって
も、弾性体５がその振動を吸収し、リテーナ３さらには
ダイアフラム４への影響を阻止することができる。Further, even if there is a small vibration in the axial direction of the rod 2, the elastic body 5 absorbs the vibration, and it is possible to prevent the retainer 3 and the diaphragm 4 from being affected.
なお、前記の説明においては前記弾性体５をロッド２の
溝2b内に嵌合したが、リテーナ３の湾曲部側に設けても
よいものである。Although the elastic body 5 is fitted in the groove 2b of the rod 2 in the above description, it may be provided on the curved portion side of the retainer 3.
第３図には、本考案によるアクチュエータの第２の実施
例の部分拡大図が示されていて、この実施例に示すアク
チュエータは、弾性体５の外周面に全周に渡って環状の
突起5aを設けたものであって、その他の構成は前記第１
の実施例に示すものと同様の構成を有しているので、前
記第１の実施例と同様の部分には同一の番号を付してそ
の構成の詳細な説明は省略するものとする。そして、こ
の実施例においても、前記第１の実施例に示すものと同
様の作用、効果を示し、ロッド２の下端におけるリンク
（図示せず）等の動きと共にロッド２の下端が揺動する
とき、ロッド２の上端拡大部2aにおける溝2bに設けられ
た弾性体５の存在により、リテーナ３の中央部の孔の周
縁部の湾曲部が弾性体５の外周面上を相対的に摺動して
リテーナ３を水平状態に保ち、ダイアフラム４の影響を
阻止することができる。また、ロッド２が水平方向にず
れながらの大きな振動による揺れの時も同様に、リテー
ナ３の水平状態を保ち、ダイアフラム４への影響を阻止
することができる。さらに、ロッド２の軸線方向への小
さな振動にあっても、弾性体５がその振動を吸収し、リ
テーナ３さらにはダイアフラム４への影響を阻止するこ
とができる。そして、この弾性体５の外周面には全周に
渡って突起5aが設けられているので、その突起5aの存在
によりリテーナ３の孔の周縁部の湾曲部の摺動範囲を制
限することができる。なお、この実施例においても、弾
性体５をロッド２の溝2b内に嵌合せずに、リテーナ３の
湾曲部側に設けてもよいものである。FIG. 3 shows a partially enlarged view of a second embodiment of the actuator according to the present invention. The actuator shown in this embodiment has an annular projection 5a on the outer peripheral surface of the elastic body 5 over the entire circumference. Is provided, and the other configurations are the same as those in the first embodiment.
Since it has the same structure as that of the first embodiment, the same parts as those of the first embodiment are designated by the same reference numerals, and the detailed description of the structure will be omitted. Also in this embodiment, the same action and effect as those shown in the first embodiment are exhibited, and when the lower end of the rod 2 swings with the movement of the link (not shown) at the lower end of the rod 2, etc. Due to the presence of the elastic body 5 provided in the groove 2b in the upper end enlarged portion 2a of the rod 2, the curved portion of the peripheral edge of the central hole of the retainer 3 slides relatively on the outer peripheral surface of the elastic body 5. Thus, the retainer 3 can be kept horizontal and the influence of the diaphragm 4 can be prevented. Further, even when the rod 2 is shaken due to a large vibration while being displaced in the horizontal direction, the retainer 3 can be kept in the horizontal state and the influence on the diaphragm 4 can be prevented. Furthermore, even if there is a small vibration of the rod 2 in the axial direction, the elastic body 5 absorbs the vibration, and it is possible to prevent the retainer 3 and the diaphragm 4 from being affected. Since the protrusion 5a is provided on the outer peripheral surface of the elastic body 5 over the entire circumference, the presence of the protrusion 5a can limit the sliding range of the curved portion of the peripheral portion of the hole of the retainer 3. it can. In this embodiment as well, the elastic body 5 may be provided on the curved portion side of the retainer 3 without being fitted in the groove 2b of the rod 2.
本考案は上記のように構成して、ロッドの取付け部の周
囲に溝を設けるとともに、この溝内に弾性体を位置した
状態でロッドをリテーナの中央部に設けた孔内に設け、
この場合、リテーナの孔を臨む周縁部は折り曲げられて
湾曲状に形成されているとともに、ロッドは弾性体を介
して気密状態を保持したままリテーナの孔内に揺動可能
に取付けられるようになっているので、リテーナを水平
状態に保ったままロッドはリテーナに対して相対的に揺
動可能となる。したがって、ロッドの動きに追従してリ
テーナが揺動したり振動したりするようなことがなくな
り、リテーナに連結するダイアフラムにロッドからの荷
重が直接作用することがなくなる。また、ロッドに小さ
な振動が生じたような場合には、ロッドの溝内の弾性体
によりその振動が吸収されることになるので、このよう
な場合にもダイアフラムに影響が及びことがなくなる。
したがって、ダイアフラムの耐久性を著しく高めること
ができることになる。さらに、リテーナにロッドを装着
するには、ロッドの溝内に弾性体を位置した状態でロッ
ドをリテーナの孔内に装着すれば足りるので、従来のよ
うにリテーナに対してロッドをかしめ付けるような煩雑
な作業が一切不要となり、組立て作業が容易となるとと
もに、一定の精度で組み立てられるので、品質を一定に
することもできることになる等のすぐれた効果を有する
ものである。The present invention is configured as described above, and the groove is provided around the mounting portion of the rod, and the rod is provided in the hole provided in the central portion of the retainer with the elastic body positioned in the groove.
In this case, the peripheral portion of the retainer that faces the hole is bent and formed into a curved shape, and the rod is swingably mounted in the retainer hole while maintaining the airtight state through the elastic body. Therefore, the rod can swing relative to the retainer while keeping the retainer horizontal. Therefore, the retainer does not oscillate or vibrate following the movement of the rod, and the load from the rod does not directly act on the diaphragm connected to the retainer. Further, when a small vibration is generated in the rod, the vibration is absorbed by the elastic body in the groove of the rod, so that the diaphragm is not affected even in such a case.
Therefore, the durability of the diaphragm can be remarkably enhanced. Further, to mount the rod on the retainer, it is sufficient to mount the rod in the hole of the retainer with the elastic body positioned in the groove of the rod. Since the complicated work is not required at all, the assembling work is easy, and the assembly can be performed with a certain accuracy, the quality can be made constant, which is an excellent effect.
第１図および第２図は本考案によるアクチュエータの第
１の実施例を示し、第１図は全体を示す概略縦断面図、
第２図は第１図の部分拡大図、第３図は本考案によるア
クチュエータの第２の実施例を示す部分拡大図、第４図
および第５図は従来のアクチュエータを示し、第４図は
全体を示す概略縦断面図、第５図は第４図の部分拡大図
である。 １、11……アクチュエータ ２、12……ロッド 2a……拡大部 2b……溝 ３、13……リテーナ ４、14……ダイアフラム ５……弾性体 5a……突起 ６、17……孔 ７、16……ばね ８……支持台 9a、18……上部ケーシング 9b、19……下部ケーシング 9c……大孔 10a、20……上室 10b、21……下室 15……かしめ部1 and 2 show a first embodiment of an actuator according to the present invention, and FIG. 1 is a schematic vertical sectional view showing the whole,
FIG. 2 is a partially enlarged view of FIG. 1, FIG. 3 is a partially enlarged view of a second embodiment of the actuator according to the present invention, FIGS. 4 and 5 show a conventional actuator, and FIG. FIG. 5 is a schematic longitudinal sectional view showing the whole, and FIG. 5 is a partially enlarged view of FIG. 1, 11 ...... Actuator 2, 12 ...... Rod 2a ...... Enlarged part 2b ...... Groove 3, 13 ...... Retainer 4, 14 ...... Diaphragm 5 ...... Elastic body 5a ...... Protrusion 6, 17 ...... Hole 7, 16 …… Spring 8 …… Supporting base 9a, 18 …… Upper casing 9b, 19 …… Lower casing 9c …… Large hole 10a, 20 …… Upper chamber 10b, 21 …… Lower chamber 15 …… Crimping part
Claims (1)
このダイアフラム（４）を前記本体内部に印加した圧力
に応じて移動可能とするとともに、前記ダイアフラム
（４）の移動に応じて前記本体から延出したロッド
（２）を出没させるアクチュエータにおいて、前記ダイ
アフラム（４）は環状をなすとともに、その中央部を閉
塞してリテーナ（３）が一体に設けられ、このリテーナ
（３）の中央部に孔が設けられるとともに、この孔に臨
む周縁部は折り曲げられて断面が湾曲状に形成され、こ
の孔内に前記ロッド（２）が弾性体（５）を介して気密
状態を保持したまま揺動可能に取り付けられており、前
記ロッド（２）の取付け部は周囲に溝（2b）が設けら
れ、この溝（2b）内に前記弾性体（５）が位置した状態
で前記孔内に配設されていることを特徴とするアクチュ
エータ。1. A diaphragm (4) is provided inside the main body,
An actuator that allows the diaphragm (4) to move in accordance with the pressure applied to the inside of the main body and causes the rod (2) extending from the main body to move in and out according to the movement of the diaphragm (4). (4) has an annular shape, and a retainer (3) is integrally provided by closing the central portion of the retainer (3), a hole is provided in the central portion of the retainer (3), and a peripheral portion facing the hole is bent. Has a curved cross section, and the rod (2) is swingably mounted in this hole via an elastic body (5) while maintaining an airtight state. The actuator is characterized in that a groove (2b) is provided on the periphery thereof, and the elastic body (5) is arranged in the hole with the elastic body (5) being positioned in the groove (2b).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987124377U JPH0649921Y2 (en) | 1987-08-14 | 1987-08-14 | Actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987124377U JPH0649921Y2 (en) | 1987-08-14 | 1987-08-14 | Actuator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6429508U JPS6429508U (en) | 1989-02-22 |
| JPH0649921Y2 true JPH0649921Y2 (en) | 1994-12-14 |
Family
ID=31374053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987124377U Expired - Lifetime JPH0649921Y2 (en) | 1987-08-14 | 1987-08-14 | Actuator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0649921Y2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013177369A1 (en) * | 2012-05-23 | 2013-11-28 | Array Holdings, Inc. | Improved diaphragm actuator |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6237140B2 (en) * | 2013-11-13 | 2017-11-29 | 株式会社Ihi | Diaphragm actuator and turbocharger |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5346489U (en) * | 1976-09-24 | 1978-04-20 |
-
1987
- 1987-08-14 JP JP1987124377U patent/JPH0649921Y2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013177369A1 (en) * | 2012-05-23 | 2013-11-28 | Array Holdings, Inc. | Improved diaphragm actuator |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6429508U (en) | 1989-02-22 |
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