JPH0649872U - Balanced diaphragm type 3 port valve - Google Patents
Balanced diaphragm type 3 port valveInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 弁体に作用する流体圧がバランスしている、
ダイヤフラム形３ポート弁を提供する。
【構成】 圧力流体の供給ポートＰ、出力ポートＡ及び
排出ポートＲを有する弁ボディ１１の貫通孔１５に、弁
座１７ａ，１７ｂを有するリティナ１２とプレート１３
ａ，１３ｂとを取外し可能に取付け、上記弁座を開閉す
る弁体１８ａ，１８ｂを駆動するダイヤフラム２３ａ，
２３ｂをパイロット室２５ａ，２５ｂに設け、パイロッ
ト室におけるダイヤフラム受部２７ａ，２７ｂの受圧面
積を、ダイヤフラムに作用する流体圧の受圧面積とほぼ
等しくして、弁体に作用する流体圧をバランスさせる。
(57) [Summary] [Purpose] The fluid pressure acting on the valve body is balanced,
Provide a diaphragm type 3 port valve. [Structure] A retainer 12 having valve seats 17a and 17b and a plate 13 in a through hole 15 of a valve body 11 having a pressure fluid supply port P, an output port A and a discharge port R.
diaphragms 23a for driving the valve bodies 18a, 18b for opening and closing the valve seat, which are detachably attached to a and 13b,
23b is provided in the pilot chambers 25a and 25b, and the pressure receiving area of the diaphragm receiving portions 27a and 27b in the pilot chamber is made substantially equal to the pressure receiving area of the fluid pressure acting on the diaphragm to balance the fluid pressure acting on the valve body.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、バランス形ダイヤフラム式３ポート弁に関するものである。 The present invention relates to a balanced diaphragm 3-port valve.
【０００２】[0002]
図２は公知のダイヤフラム形３ポート弁を示し、このダイヤフラム式３ポート 弁１は、圧力流体の供給ポートＰ、出力ポートＡ及び排出ポートＲと、上記出力 ポートＡを供給ポートＰ及び排出ポートＲに連通させる流路中の供給弁座３ａ及 び排出弁座３ｂと、これらの弁座を開閉する供給弁体４ａ及び排出弁体４ｂと、 これらの弁体を駆動するためのダイヤフラム５ａ，５ｂによって区画されたパイ ロット室６ａ，６ｂと、パイロット室６ａに縮設された復帰ばね７とを備えてい る。 このダイヤフラム式３ポート弁１は、パイロットポートＰ１，Ｐ２からパイロ ット室６ａ，６ｂにパイロット流体を給排すると、供給弁体４ａと排出弁体４ｂ が供給弁座３ａと排出弁座３ｂを交互に開閉する。 FIG. 2 shows a known diaphragm type three-port valve. This diaphragm type three-port valve 1 includes a pressure fluid supply port P, an output port A and a discharge port R, and the above-mentioned output port A to a supply port P and a discharge port R. Supply valve seat 3a and discharge valve seat 3b in the flow path communicating with the valve body, supply valve body 4a and discharge valve body 4b for opening and closing these valve seats, and diaphragms 5a, 5b for driving these valve bodies. It is provided with pilot chambers 6a, 6b partitioned by and a return spring 7 compressed in the pilot chamber 6a. In this diaphragm type three-port valve 1, when the pilot fluid is discharged from the pilot ports P1 and P2 to the pilot chambers 6a and 6b, the supply valve body 4a and the discharge valve body 4b move the supply valve seat 3a and the discharge valve seat 3b. Open and close alternately.
【０００３】 しかしながら、上記ダイヤフラム式３ポート弁１は、パイロット室６ｂにパイ ロット流体が供給されて、供給弁体４ａが供給弁座３ａを開放している図示の状 態においては、ダイヤフラム５ａの流路側には供給流体の流体圧が作用し、パイ ロット室６ａ側には大気圧が作用しているために、ダイヤフラム５ａには、供給 流体の流体圧によって図における下向きの力が作用するので、その寿命が短いと いう問題がある。 また、ダイヤフラム５ａに供給流体の流体圧が作用しているために、パイロッ ト室６ａにパイロット流体を供給して、供給ポートＰと出力ポートＡ間の流路を 閉鎖するためには、ダイヤフラム５ａに作用する上記作用力に対抗する大きなパ イロット流体圧を作用させる必要がある。However, in the diaphragm 3 port valve 1 described above, the pilot fluid is supplied to the pilot chamber 6b and the supply valve body 4a opens the supply valve seat 3a. Since the fluid pressure of the supply fluid acts on the flow path side and the atmospheric pressure acts on the pilot chamber 6a side, a downward force in the figure acts on the diaphragm 5a due to the fluid pressure of the supply fluid. However, there is a problem that its life is short. Further, since the fluid pressure of the supply fluid acts on the diaphragm 5a, the pilot fluid is supplied to the pilot chamber 6a to close the flow path between the supply port P and the output port A. It is necessary to apply a large pilot fluid pressure that opposes the above acting force that acts on.
【０００４】[0004]
【考案が解決しようとする課題】 本考案が解決しようとする課題は、弁体に作用する流体圧がバランスしている ダイヤフラム形３ポート弁を提供することにある。The problem to be solved by the present invention is to provide a diaphragm type three-port valve in which the fluid pressure acting on the valve body is balanced.
【０００５】[0005]
上記課題を解決するため、本考案のバランス形ダイヤフラム式３ポート弁は、 圧力流体の供給ポート、出力ポート及び排出ポートと、上記出力ポートを供給ポ ート及び排出ポートに連通させる流路中の供給弁座及び排出弁座と、これらの弁 座を開閉する供給弁体及び排出弁体と、これらの弁体を駆動するための一対のダ イヤフラムで区画された一対のパイロット室と、上記パイロット室の一方に縮設 された復帰ばねとを備え、上記パイロット室に給排されるパイロット流体によっ て供給弁体と排出弁体が供給弁座と排出弁座を開閉するダイヤフラム式３ポート 弁において、上記一対のパイロット室におけるダイヤフラムとの対向面に、該ダ イヤフラムが当接するダイヤフラム受部を設け、これらのダイヤフラム受部の面 積を、上記ダイヤフラムにおける流体圧の受圧面積とはぼ等しくしたことを特徴 としている。 また、メンテナンスを容易にするため、上記バランス形ダイヤフラム式３ポー ト弁が、圧力流体の供給ポート、出力ポート及び排出ポートを有する弁ボディと 、該弁ボディに取外し可能に装着されたリテイナ及び一対のプレートとを備え、 上記リテイナが供給弁座と排出弁座を有し、パイロット室が、外周縁がリテイナ と各プレートとの間に挟持されたダイヤフラムによって区画されていることを特 徴としている。 In order to solve the above-mentioned problems, a balanced diaphragm three-port valve of the present invention comprises a pressure fluid supply port, an output port, and a discharge port, and a flow path for communicating the output port with the supply port and the discharge port. A supply valve seat and a discharge valve seat, a supply valve body and a discharge valve body that open and close these valve seats, a pair of pilot chambers partitioned by a pair of diaphragms for driving these valve bodies, and the pilot described above. A diaphragm-type three-port valve that has a return spring that is compressed in one of the chambers, and the supply valve body and the discharge valve body open and close the supply valve seat and the discharge valve seat by the pilot fluid supplied to and discharged from the pilot chamber. In the pair of pilot chambers, a diaphragm receiving portion with which the diaphragm comes into contact is provided on the surface facing the diaphragm, and the area of these diaphragm receiving portions is set to It is characterized in that equal crucible and the pressure receiving area of the fluid pressure in Fulham. Further, in order to facilitate maintenance, the above-mentioned balanced diaphragm type three-port valve includes a valve body having a pressure fluid supply port, an output port and a discharge port, a retainer detachably mounted on the valve body and a pair. Characterized in that the retainer has a supply valve seat and a discharge valve seat, and the pilot chamber has an outer peripheral edge defined by a diaphragm sandwiched between the retainer and each plate. .
【０００６】[0006]
排出弁体側のパイロット室にパイロット流体を供給すると、供給弁体が供給弁 座を開放して排出弁体が排出弁座を閉鎖するので、供給ポートの圧力流体が出力 ポートから流出する。また、供給弁体側のパイロット室にパイロット流体を供給 して排出弁体側のパイロット室の流体を排出すると、供給弁体が供給弁座を閉鎖 して排出弁体が排出弁座を開放するので、出力ポートの流体が排出ポートから外 部に排出される。 この場合、各ダイヤフラムがパイロット室のダイヤフラム受部に当接すること によって、ダイヤフラムに大きな力が作用しないので、その寿命を長くすること ができる。 また、ダイヤフラム受部の面積をダイヤフラムにおける供給流体圧の受圧面積 にほぼ等しくしたことによって、弁体に作用する流体圧がバランスするので、パ イロット室に供給するパイロット流体圧を小さくすることができる。 When the pilot fluid is supplied to the pilot chamber on the discharge valve side, the supply valve body opens the supply valve seat and the discharge valve body closes the discharge valve seat, so that the pressure fluid in the supply port flows out from the output port. When the pilot fluid is supplied to the pilot chamber on the supply valve body side and the fluid in the pilot chamber on the discharge valve body side is discharged, the supply valve body closes the supply valve seat and the discharge valve body opens the discharge valve seat. The fluid in the output port is discharged outside from the discharge port. In this case, since each diaphragm comes into contact with the diaphragm receiving portion of the pilot chamber, a large force does not act on the diaphragm, so that the life of the diaphragm can be extended. Also, by making the area of the diaphragm receiving part almost equal to the receiving area of the supplied fluid pressure in the diaphragm, the fluid pressure acting on the valve body is balanced, so the pilot fluid pressure supplied to the pilot chamber can be reduced. .
【０００７】[0007]
図１は本考案の実施例を示し、このダイヤフラム式３ポート弁１０は、弁ボデ ィ１１と、該弁ボディ１１に取り外し可能に組み付けられたリテイナ１２及びプ レート１３ａ，１３ｂとを備えている。 上記弁ボディ１１は、中心に向いて開口する圧力流体の供給ポートＰ、出力ポ ートＡ、排出ポートＲ、及びパイロットポートＰ１，Ｐ２を有し、これらのポー トの開設方向と直交する方向に中間部分が縮径された貫通孔１５が形成されてい る。上記リテイナ１２は、貫通孔１５の縮径部に気密にかつ取り外し可能に装着 されており、プレート１３ａは、取付けボルト１６，・・によって貫通孔１５の 一方に取付けられ、プレート１３ｂは貫通孔１５の他方に螺着されている。 FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. A diaphragm type three-port valve 10 comprises a valve body 11 and a retainer 12 and plates 13a and 13b which are detachably attached to the valve body 11. . The valve body 11 has a pressure fluid supply port P opening toward the center, an output port A, a discharge port R, and pilot ports P1 and P2, and a direction orthogonal to the opening direction of these ports. A through hole 15 is formed in which the diameter of the intermediate portion is reduced. The retainer 12 is hermetically and detachably mounted on the reduced diameter portion of the through hole 15, the plate 13a is attached to one of the through holes 15 by the mounting bolts 16, ... Is screwed to the other side.
【０００８】 リティナ１２は、出力ポートＡを供給ポートＰと排出ポートＲに連通させる流 路中の供給弁座１７ａと排出弁座１７ｂを備え、これらの弁座１７ａ，１７ｂを 開閉する供給弁体１８ａと排出弁体１８ｂは、ピストン１９ａ，１９ｂ、後記す るダイヤフラム２３ａ，２３ｂ、該弁体１８ａ，１８ｂ、及びリング２０ａ，２ ０ｂの中心部分を通る連結ねじ２１ａ，２１ｂの先端を、リング２０ａ，２０ｂ 間に設けたロッド２２に螺着させることによって、一体移動可能に連結されてお り、これらの弁体を駆動するための供給側のダイヤフラム２３ａと排出側のダイ ヤフラム２３ｂは、外周縁がリティナ１２とプレート１３ａ，１３ｂの間に、内 周縁がピストン１９ａ，１９ｂと弁体１８ａ，１８ｂの間に、それぞれ気密に挟 持されている。The retainer 12 is provided with a supply valve seat 17a and a discharge valve seat 17b in a flow path for connecting the output port A to the supply port P and the discharge port R, and a supply valve body for opening and closing these valve seats 17a and 17b. 18a and the discharge valve body 18b include pistons 19a, 19b, diaphragms 23a, 23b, which will be described later, valve bodies 18a, 18b, and connecting screws 21a, 21b passing through the central portions of the rings 20a, 20b. , 20b are screwed onto a rod 22 and are integrally movable, and the supply-side diaphragm 23a and the discharge-side diaphragm 23b for driving these valve bodies have outer peripheral edges. Between the retainer 12 and the plates 13a, 13b, and the inner peripheral edge between the pistons 19a, 19b and the valve bodies 18a, 18b in an airtight manner. Has been done.
【０００９】 上記ダイヤフラム２３ａ，２３ｂとプレート１３ａ，１３ｂ間の供給側パイロ ット室２５ａ及び排出側パイロット室２５ｂは、プレート１３ａ，１３ｂに開設 したパイロット通路２６ａ，２６ｂによってパイロットポートＰ１，Ｐ２に連通 し、プレート１３ａ，１３ｂのダイヤフラム側の面に形成したダイヤフラム受部 ２７ａ，２７ｂは、弁座１７ａ，１７ｂの開口径とほぼ等しい中心孔を有し、こ れによってダイヤフラム側の面積が、ダイヤフラム２３ａ，２３ｂの圧力流体の 受圧面積にほぼ等しくされており、パイロット室２５ｂに復帰ばね２８が縮設さ れている。 なお、上記実施例は、流体が接触する各部の表面形状を、流体が滞留する隅部 がない円滑なものとしている。 図１中の符号３０は、取付ねじ３１，・・によってプレート１３ｂに取付けら れたスナップブリッジである。The supply side pilot chamber 25a and the discharge side pilot chamber 25b between the diaphragms 23a and 23b and the plates 13a and 13b communicate with the pilot ports P1 and P2 by the pilot passages 26a and 26b formed in the plates 13a and 13b. However, the diaphragm receiving portions 27a, 27b formed on the diaphragm-side surfaces of the plates 13a, 13b have a central hole having a diameter substantially equal to the opening diameter of the valve seats 17a, 17b, whereby the area on the diaphragm side is reduced by the diaphragm 23a. , 23b are substantially equal to the pressure receiving areas of the pressure fluid, and the return spring 28 is contracted in the pilot chamber 25b. In the above embodiment, the surface shape of each portion with which the fluid comes into contact is smooth without the corners where the fluid stays. Reference numeral 30 in FIG. 1 is a snap bridge mounted on the plate 13b by mounting screws 31, ....
【００１０】 上記実施例は、ピストン１９ａ，１９ｂ、ダイヤフラム２３ａ，２３ｂ、弁体 １８ａ，１８ｂ及びリング２０ａ，２０ｂの中心部分に通した連結ねじ２１ａ， ２１ｂの先端を、リング間のロッド２２に螺合することによってリテイナ１２に 組み付けられ、これらの部材を組み付けたリテイナ１２を貫通孔１５の縮径部に 気密に挿入し、ダイヤフラム２３ａ，２３ｂの外周縁をリテイナ１２と弁ボディ １１に取付けたプレート１３ａ，１３ｂとで挟持することによって、３ポート弁 １０が組み立てられる。 したがって、弁体１８ａ，１８ｂ、ダイヤフラム２３ａ，２３ｂ等が組み付け られたリテイナ１２及びプレート１３ａ，１３ｂは、弁ボディ１１の各ポートに 接続した配管（図示省略）を取外さないで弁ボディ１１から分離できるので、そ のメンテナンスが容易である。In the above embodiment, the tips of the connecting screws 21a and 21b passed through the central portions of the pistons 19a and 19b, the diaphragms 23a and 23b, the valve bodies 18a and 18b, and the rings 20a and 20b are screwed onto the rod 22 between the rings. A plate which is assembled to the retainer 12 by fitting, and the retainer 12 assembled with these members is airtightly inserted into the reduced diameter portion of the through hole 15, and the outer peripheral edges of the diaphragms 23a and 23b are attached to the retainer 12 and the valve body 11. The 3-port valve 10 is assembled by sandwiching it with 13a and 13b. Therefore, the retainer 12 having the valve bodies 18a and 18b, the diaphragms 23a and 23b, etc., and the plates 13a and 13b separated from the valve body 11 without removing the pipes (not shown) connected to the respective ports of the valve body 11. Because it can be done, its maintenance is easy.
【００１１】 図１は、排出側のパイロット室２５ｂに供給されたパイロット流体圧と復帰ば ね２８の付勢力とによって、供給弁体１８ａが供給弁座１７ａを開放して排出弁 体１８ｂが排出弁座１７ｂを閉鎖した状態を示し、ポートＰとＡ間の流路が連通 している。 パイロット室２５ｂのパイロット流体を排出して、パイロット室２５ａにパイ ロット流体を供給すると、供給弁体１８ａが供給弁座１７ａを閉鎖して排出弁体 １８ｂが排出弁座１７ｂを開放するので、ポートＡとＲ間の流路が連通する。 この場合、ダイヤフラム２３ａ，２３ｂは、ダイヤフラム受部２７ａ，２７ｂ に当接することにより、流体圧の作用力が殆ど作用しないので、その寿命を長く することができる。 また、ダイヤフラム受部２７ａ，２７ｂの面積を、ダイヤフラム２３ａ，２３ ｂにおける流体圧の受圧面積とほぼ等しくしたために、弁体１８ａと１８ｂに作 用する流体圧がほぼバランスしているので、パイロット室２５ａ，２５ｂに供給 するパイロット流体圧を低いものとすることができる。 なお、上記実施例は、供給ポートＰに代えて、該ポートを真空ポートとするこ とができる。In FIG. 1, the supply valve body 18a opens the supply valve seat 17a and the discharge valve body 18b is discharged by the pilot fluid pressure supplied to the discharge side pilot chamber 25b and the urging force of the return spring 28. The state where the valve seat 17b is closed is shown, and the flow path between the ports P and A is in communication. When the pilot fluid in the pilot chamber 25b is discharged and the pilot fluid is supplied to the pilot chamber 25a, the supply valve body 18a closes the supply valve seat 17a and the discharge valve body 18b opens the discharge valve seat 17b. The flow path between A and R communicates. In this case, since the diaphragms 23a and 23b are in contact with the diaphragm receiving portions 27a and 27b, the acting force of the fluid pressure hardly acts, so that the life of the diaphragms can be extended. Further, since the areas of the diaphragm receiving portions 27a and 27b are made substantially equal to the areas of the diaphragms 23a and 23b that receive the fluid pressure, the fluid pressures applied to the valve bodies 18a and 18b are substantially balanced, so that the pilot chamber The pilot fluid pressure supplied to 25a and 25b can be made low. In the above embodiment, the supply port P may be replaced with a vacuum port.
【００１２】[0012]
本考案のバランス形ダイヤフラム式３ポート弁は、ダイヤフラムがダイヤフラ ム受部に当接することによって、該ダイヤフラムに流体圧が殆ど作用しないので 、ダイヤフラムの寿命を長くすることができる。 また、弁体に作用する流体圧の作用力がほぼバランスしているので、低圧のパ イロット流体によって弁座を開閉することができる。 さらに、弁ボディに取外し可能に挿入したリテイナに弁座を形成するとともに 、これらの弁座を開閉する弁体を駆動するためのダイヤフラムの外周縁を、弁ボ ディとプレートとの間に挟持したことにより、弁体及びダイヤフラム等を配管が 接続された弁ボディと関係なく分離することができるので、これらのメンテナン スが容易である。 In the balanced diaphragm three-port valve of the present invention, since the diaphragm is brought into contact with the diaphragm receiving portion, the fluid pressure hardly acts on the diaphragm, so that the life of the diaphragm can be extended. Further, since the acting force of the fluid pressure acting on the valve body is almost balanced, the valve seat can be opened and closed by the low pressure pilot fluid. Further, the retainer removably inserted into the valve body is formed with valve seats, and the outer peripheral edge of the diaphragm for driving the valve bodies for opening and closing these valve seats is sandwiched between the valve body and the plate. As a result, the valve body, the diaphragm, and the like can be separated regardless of the valve body to which the pipe is connected, and therefore maintenance of these is easy.
【図１】実施例の縦断面図である。FIG. 1 is a vertical sectional view of an example.
【図２】公知の３ポート弁の縦断面図である。FIG. 2 is a vertical sectional view of a known 3-port valve.
１０ バランス形ダイヤフラム式３ポート弁 １１ 弁ボディ １２ リテイナ １３ａ，１３ｂ プレート １７ａ，１７ｂ 弁座 １８ａ，１８ｂ 弁体 ２３ａ，２３ｂ ダイヤフラム ２５ａ，２５ｂ パイロット室 ２７ａ，２７ｂ ダイヤフラム受部 ２８ 復帰ばね 10 Balanced diaphragm type 3 port valve 11 Valve body 12 Retainer 13a, 13b Plate 17a, 17b Valve seat 18a, 18b Valve body 23a, 23b Diaphragm 25a, 25b Pilot chamber 27a, 27b Diaphragm receiving part 28 Return spring
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 嶽 山 章 博 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Creator Akihiro Takeyama 4-2-2 Kinnodai, Taniwahara-mura, Tsukuba-gun, Ibaraki SMC Tsukuba Technology Center
Claims (2)
排出ポートと、上記出力ポートを供給ポート及び排出ポ
ートに連通させる流路中の供給弁座及び排出弁座と、こ
れらの弁座を開閉する供給弁体及び排出弁体と、これら
の弁体を駆動するための一対のダイヤフラムで区画され
た一対のパイロット室と、上記パイロット室の一方に縮
設された復帰ばねとを備え、上記パイロット室に給排さ
れるパイロット流体によって供給弁体と排出弁体が供給
弁座と排出弁座を開閉するダイヤフラム式３ポート弁に
おいて、 上記一対のパイロット室におけるダイヤフラムとの対向
面に、該ダイヤフラムが当接するダイヤフラム受部を設
け、 これらのダイヤフラム受部の面積を、上記ダイヤフラム
における流体圧の受圧面積とはぼ等しくした、 ことを特徴とするバランス形ダイヤフラム式３ポート
弁。1. A supply port, an output port, and a discharge port for a pressure fluid, a supply valve seat and a discharge valve seat in a flow path for communicating the output port with the supply port and the discharge port, and opening and closing these valve seats. A supply valve body and a discharge valve body, a pair of pilot chambers partitioned by a pair of diaphragms for driving these valve bodies, and a return spring compressed in one of the pilot chambers, and the pilot chamber In a diaphragm-type three-port valve in which a supply valve body and a discharge valve body open and close a supply valve seat and a discharge valve seat by a pilot fluid supplied to and discharged from the diaphragm, the diaphragm contacts the surfaces of the pair of pilot chambers facing the diaphragm. The diaphragm receiving portions in contact with each other are provided, and the areas of these diaphragm receiving portions are made substantially equal to the fluid pressure receiving area of the diaphragm. Balanced diaphragm type 3 port valve.
排出ポートを有する弁ボディと、該弁ボディに取外し可
能に装着されたリテイナ及び一対のプレートとを備え、 上記リテイナが供給弁座と排出弁座を有し、パイロット
室が、外周縁がリテイナと各プレートとの間に挟持され
たダイヤフラムによって区画されている、 ことを特徴とする請求項１に記載したバランス形ダイヤ
フラム式３ポート弁。2. A valve body having a pressure fluid supply port, an output port and a discharge port, and a retainer and a pair of plates detachably attached to the valve body, wherein the retainer is a supply valve seat and a discharge valve. The balance-type diaphragm type three-port valve according to claim 1, further comprising a seat, wherein the pilot chamber is defined by a diaphragm whose outer peripheral edge is sandwiched between the retainer and each plate.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9084392U JPH0649872U (en) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | Balanced diaphragm type 3 port valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9084392U JPH0649872U (en) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | Balanced diaphragm type 3 port valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0649872U true JPH0649872U (en) | 1994-07-08 |
Family
ID=14009871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9084392U Pending JPH0649872U (en) | 1992-12-11 | 1992-12-11 | Balanced diaphragm type 3 port valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0649872U (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2002540369A (en) * | 1999-03-25 | 2002-11-26 | フォッケ・ウント・コンパニー（ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー） | Flow media control device |
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-
1992
- 1992-12-11 JP JP9084392U patent/JPH0649872U/en active Pending
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