JPH0647940A - サーマルヘッド - Google Patents
サーマルヘッドInfo
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- JPH0647940A JPH0647940A JP20211692A JP20211692A JPH0647940A JP H0647940 A JPH0647940 A JP H0647940A JP 20211692 A JP20211692 A JP 20211692A JP 20211692 A JP20211692 A JP 20211692A JP H0647940 A JPH0647940 A JP H0647940A
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- layer
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Abstract
(57)【要約】
【目的】保護層が発熱抵抗体や一対の導電層の表面より
剥離するのを皆無とし、印字品質の高い所定の印字を長
期間にわたり得ることができるサーマルヘッドを提供す
る。 【構成】支持基板１の上面に発熱抵抗体３および一対の
導電層４を被着させるとともに、該発熱抵抗体３および
一対の導電層４の表面に保護層５をスパッタリング法に
より被着させて成るサーマルヘッドにおいて、該保護層
５を、ビッカース硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2 以上の無
機材料から成る下層５ａとビッカース硬度が８００〜１
０００ｋｇ／ｍｍ2 の無機材料から成る上層５ｂの少な
くとも２つの層で形成する。
剥離するのを皆無とし、印字品質の高い所定の印字を長
期間にわたり得ることができるサーマルヘッドを提供す
る。 【構成】支持基板１の上面に発熱抵抗体３および一対の
導電層４を被着させるとともに、該発熱抵抗体３および
一対の導電層４の表面に保護層５をスパッタリング法に
より被着させて成るサーマルヘッドにおいて、該保護層
５を、ビッカース硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2 以上の無
機材料から成る下層５ａとビッカース硬度が８００〜１
０００ｋｇ／ｍｍ2 の無機材料から成る上層５ｂの少な
くとも２つの層で形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワードプロセッサやフ
ァクシミリ等のプリンタ機構に組み込まれるサーマルヘ
ッドに関するものである。
ァクシミリ等のプリンタ機構に組み込まれるサーマルヘ
ッドに関するものである。
【０００２】
【従来技術】従来、ワードプロセッサ等のプリンタ機構
に組み込まれるサーマルヘッドは、図２に示す如く、ア
ルミナセラミックス等から成る支持基板１１の上面にガ
ラス等から成る蓄熱層１２を被着させるとともに、該蓄
熱層１２上に窒化タンタル等から成る発熱抵抗体１３
と、アルミニウム等から成る一対の導電層１４と、窒化
珪素等から成る保護層１５とを順次被着させた構造を有
しており、前記一対の導電層１４間に所定の電力を印加
し、発熱抵抗体１３をその発熱領域Ａ’において印字に
必要な所定の温度にジュール発熱させるとともに、該発
熱した熱を感熱紙１６等に伝導させ、感熱紙１６等に印
字画像を形成することによってサーマルヘッドとして機
能する。
に組み込まれるサーマルヘッドは、図２に示す如く、ア
ルミナセラミックス等から成る支持基板１１の上面にガ
ラス等から成る蓄熱層１２を被着させるとともに、該蓄
熱層１２上に窒化タンタル等から成る発熱抵抗体１３
と、アルミニウム等から成る一対の導電層１４と、窒化
珪素等から成る保護層１５とを順次被着させた構造を有
しており、前記一対の導電層１４間に所定の電力を印加
し、発熱抵抗体１３をその発熱領域Ａ’において印字に
必要な所定の温度にジュール発熱させるとともに、該発
熱した熱を感熱紙１６等に伝導させ、感熱紙１６等に印
字画像を形成することによってサーマルヘッドとして機
能する。
【０００３】尚、前記保護層１５は、大気中の水分等の
接触による酸化腐食や感熱紙１６等の摺動による摩耗か
ら発熱抵抗体１３や一対の導電層１４を保護する作用を
有している。
接触による酸化腐食や感熱紙１６等の摺動による摩耗か
ら発熱抵抗体１３や一対の導電層１４を保護する作用を
有している。
【０００４】また前記保護層１５は、通常、従来周知の
スパッタリング法等を採用することによって発熱抵抗体
１３や一対の導電層１４の表面に２〜１０μｍの厚みに
被着されている。
スパッタリング法等を採用することによって発熱抵抗体
１３や一対の導電層１４の表面に２〜１０μｍの厚みに
被着されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来のサーマルヘッドにおいては、発熱抵抗体１３や一対
の導電層１４の表面に保護層１５をスパッタリング法に
よって被着した際、支持基板１１上の発熱抵抗体１３と
一対の導電層１４との間には段差が存在することから、
該発熱抵抗体１３及び一対の導電層１４の表面に被着さ
れる保護層１５の発熱領域Ａ’周辺にも段差が形成され
てしまうこと、及び保護層１５が硬質の窒化珪素（ビッ
カース硬度が約１７００ｋｇ／ｍｍ2 ）で形成されてい
ること等から、このサーマルヘッドを用いて感熱紙１６
等に印字を行った場合、感熱紙１６等が保護層１５の段
差にあたって大きな応力を発生し、該応力によって保護
層１５が発熱抵抗体１３や一対の導電層１４より剥離し
てしまうという欠点を有していた。
来のサーマルヘッドにおいては、発熱抵抗体１３や一対
の導電層１４の表面に保護層１５をスパッタリング法に
よって被着した際、支持基板１１上の発熱抵抗体１３と
一対の導電層１４との間には段差が存在することから、
該発熱抵抗体１３及び一対の導電層１４の表面に被着さ
れる保護層１５の発熱領域Ａ’周辺にも段差が形成され
てしまうこと、及び保護層１５が硬質の窒化珪素（ビッ
カース硬度が約１７００ｋｇ／ｍｍ2 ）で形成されてい
ること等から、このサーマルヘッドを用いて感熱紙１６
等に印字を行った場合、感熱紙１６等が保護層１５の段
差にあたって大きな応力を発生し、該応力によって保護
層１５が発熱抵抗体１３や一対の導電層１４より剥離し
てしまうという欠点を有していた。
【０００６】
【発明の目的】本発明は、上記欠点に鑑み案出されたも
のであり、その目的は、保護層が発熱抵抗体や一対の導
電層の表面より剥離するのを皆無とし、印字品質の高い
所定の印字を長期間にわたり得ることができるサーマル
ヘッドを提供することにある。
のであり、その目的は、保護層が発熱抵抗体や一対の導
電層の表面より剥離するのを皆無とし、印字品質の高い
所定の印字を長期間にわたり得ることができるサーマル
ヘッドを提供することにある。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】本発明のサーマルヘッ
ドは、支持基板の上面に発熱抵抗体および一対の導電層
を被着させるとともに、該発熱抵抗体および一対の導電
層の表面に保護層をスパッタリング法により被着させて
成るサーマルヘッドにおいて、前記保護層は、ビッカー
ス硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2 以上の無機材料から成る
下層とビッカース硬度が８００〜１０００ｋｇ／ｍｍ2
の無機材料から成る上層の少なくとも２つの層を有して
いることを特徴とする。
ドは、支持基板の上面に発熱抵抗体および一対の導電層
を被着させるとともに、該発熱抵抗体および一対の導電
層の表面に保護層をスパッタリング法により被着させて
成るサーマルヘッドにおいて、前記保護層は、ビッカー
ス硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2 以上の無機材料から成る
下層とビッカース硬度が８００〜１０００ｋｇ／ｍｍ2
の無機材料から成る上層の少なくとも２つの層を有して
いることを特徴とする。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付した図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
【０００９】図１は本発明のサーマルヘッドの一実施例
を示す断面図であり、１は支持基板、２は蓄熱層、３は
発熱抵抗体、４は一対の導電層、５は保護層であり、支
持基板１上に蓄熱層２、発熱抵抗体３、導電層４及び保
護層５が順次被着されている。
を示す断面図であり、１は支持基板、２は蓄熱層、３は
発熱抵抗体、４は一対の導電層、５は保護層であり、支
持基板１上に蓄熱層２、発熱抵抗体３、導電層４及び保
護層５が順次被着されている。
【００１０】前記支持基板１はアルミナセラミックス等
の電気絶縁性材料から成り、上面に発熱抵抗体３等を支
持するとともに、サーマルヘッドの温度を感熱紙６等に
良好な印字画像を形成するに必要な温度に制御する作用
を為す。
の電気絶縁性材料から成り、上面に発熱抵抗体３等を支
持するとともに、サーマルヘッドの温度を感熱紙６等に
良好な印字画像を形成するに必要な温度に制御する作用
を為す。
【００１１】前記支持基板１は、例えばアルミナセラミ
ックスから成る場合、アルミナ、シリカ、マグネシア等
のセラミックス原料粉末に適当な有機溶剤を添加混合し
て泥漿状と成すとともにこれを従来周知のドクターブレ
ード法やカレンダーロール法等を採用することによって
セラミックグリーンシートを形成し、しかる後、前記セ
ラミックグリーンシートを所定形状に打ち抜き加工する
とともに高温（約１６００℃）で焼成することによって
製作される。
ックスから成る場合、アルミナ、シリカ、マグネシア等
のセラミックス原料粉末に適当な有機溶剤を添加混合し
て泥漿状と成すとともにこれを従来周知のドクターブレ
ード法やカレンダーロール法等を採用することによって
セラミックグリーンシートを形成し、しかる後、前記セ
ラミックグリーンシートを所定形状に打ち抜き加工する
とともに高温（約１６００℃）で焼成することによって
製作される。
【００１２】また前記支持基板１の上面には、ガラス等
から成る蓄熱層２が約８０μｍの厚みに被着されてお
り、該蓄熱層２は発熱抵抗体３の発する熱を適当な温度
となるように蓄積し、サーマルヘッドの熱応答特性を良
好に保つ作用を為す。
から成る蓄熱層２が約８０μｍの厚みに被着されてお
り、該蓄熱層２は発熱抵抗体３の発する熱を適当な温度
となるように蓄積し、サーマルヘッドの熱応答特性を良
好に保つ作用を為す。
【００１３】前記蓄熱層２は、ガラス粉末に適当な有機
溶剤を添加混合して得たガラスペーストを支持基板１の
上面に従来周知のスクリーン印刷法等を採用することに
よって塗布し、しかる後、これを高温（約１２００℃）
で焼き付けることによって支持基板１上に被着される。
溶剤を添加混合して得たガラスペーストを支持基板１の
上面に従来周知のスクリーン印刷法等を採用することに
よって塗布し、しかる後、これを高温（約１２００℃）
で焼き付けることによって支持基板１上に被着される。
【００１４】前記蓄熱層２の上面には発熱抵抗体３が被
着されており、更に発熱抵抗体３上には間に一定の間隔
をもった一対の導電層４が被着されている。
着されており、更に発熱抵抗体３上には間に一定の間隔
をもった一対の導電層４が被着されている。
【００１５】前記発熱抵抗体３は例えば窒化タンタル等
から成り、それ自体が所定の電気抵抗率を有しているた
め、一対の導電層４を介して電力が印加されると発熱領
域Ａにおいてジュール発熱を起こし、印字画像を形成す
るに必要な温度、例えば２５０〜４００℃の温度に発熱
する。
から成り、それ自体が所定の電気抵抗率を有しているた
め、一対の導電層４を介して電力が印加されると発熱領
域Ａにおいてジュール発熱を起こし、印字画像を形成す
るに必要な温度、例えば２５０〜４００℃の温度に発熱
する。
【００１６】また前記発熱抵抗体３上に被着されている
一対の導電層４はアルミニウム等の金属から成り、該導
電層４は発熱抵抗体３にジュール発熱を起こさせるため
に必要な所定の電力を印加する作用を為す。
一対の導電層４はアルミニウム等の金属から成り、該導
電層４は発熱抵抗体３にジュール発熱を起こさせるため
に必要な所定の電力を印加する作用を為す。
【００１７】尚、前記蓄熱層２上に被着される発熱抵抗
体３及び一対の導電層４は、従来周知のスパッタリング
法等を採用することにより蓄熱層２上に所定の厚みをも
って被着され、更にフォトリソグラフィー技術を採用す
ることによって所定パターンに加工される。
体３及び一対の導電層４は、従来周知のスパッタリング
法等を採用することにより蓄熱層２上に所定の厚みをも
って被着され、更にフォトリソグラフィー技術を採用す
ることによって所定パターンに加工される。
【００１８】前記発熱抵抗体３及び一対の導電層４はま
たその表面に保護層５が被着されており、該保護層５は
下層５ａと上層５ｂの少なくとも２つの層で形成されて
いる。
たその表面に保護層５が被着されており、該保護層５は
下層５ａと上層５ｂの少なくとも２つの層で形成されて
いる。
【００１９】前記下層５ａは窒化珪素やサイアロン等の
ビッカース硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2 以上の硬質の無
機材料から成り、従来周知のスパッタリング法を採用す
ることによって発熱抵抗体３や一対の導電層４の表面に
約３μｍの厚みをもって被着される。
ビッカース硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2 以上の硬質の無
機材料から成り、従来周知のスパッタリング法を採用す
ることによって発熱抵抗体３や一対の導電層４の表面に
約３μｍの厚みをもって被着される。
【００２０】また前記保護層５の下層５ａは、その硬度
がビッカース硬度で１２００ｋｇ／ｍｍ2 以上と硬質で
あることから、強固な膜により形成され、発熱抵抗体３
等を大気中の水分等の接触による酸化腐食や感熱紙等の
摺動による摩耗から有効に保護する。
がビッカース硬度で１２００ｋｇ／ｍｍ2 以上と硬質で
あることから、強固な膜により形成され、発熱抵抗体３
等を大気中の水分等の接触による酸化腐食や感熱紙等の
摺動による摩耗から有効に保護する。
【００２１】尚、前記下層５ａは、それを形成する無機
材料のビッカース硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2 よりも小
さくなると、発熱抵抗体３や一対の導電層４を長期間に
わたって大気中の水分等の接触による酸化腐食や感熱紙
等の摺動による摩耗より保護することが困難となる。従
って、下層５ａはそのビッカース硬度が１２００ｋｇ／
ｍｍ2 以上の無機材料に特定される。
材料のビッカース硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2 よりも小
さくなると、発熱抵抗体３や一対の導電層４を長期間に
わたって大気中の水分等の接触による酸化腐食や感熱紙
等の摺動による摩耗より保護することが困難となる。従
って、下層５ａはそのビッカース硬度が１２００ｋｇ／
ｍｍ2 以上の無機材料に特定される。
【００２２】特に前記下層５ａはそのビッカース硬度が
１５００ｋｇ／ｍｍ2 よりも大きな無機材料で形成して
おくと、保護層５で発熱抵抗体３や一対の導電層４を極
めて長期にわたり確実に保護することができる。従っ
て、発熱抵抗体３や一対の導電層４を大気中に含まれる
水分の接触による酸化腐食や感熱紙等の摺動による摩耗
より保護するにはビッカース強度が１５００ｋｇ／ｍｍ
2 よりも大きな無機材料で形成しておくことが好まし
い。
１５００ｋｇ／ｍｍ2 よりも大きな無機材料で形成して
おくと、保護層５で発熱抵抗体３や一対の導電層４を極
めて長期にわたり確実に保護することができる。従っ
て、発熱抵抗体３や一対の導電層４を大気中に含まれる
水分の接触による酸化腐食や感熱紙等の摺動による摩耗
より保護するにはビッカース強度が１５００ｋｇ／ｍｍ
2 よりも大きな無機材料で形成しておくことが好まし
い。
【００２３】また前記下層５ａ上には上層５ｂが被着さ
れており、該上層５ｂはビッカース硬度が８００乃至１
０００ｋｇ／ｍｍ2 の無機材料、具体的には酸化珪素等
で形成されている。
れており、該上層５ｂはビッカース硬度が８００乃至１
０００ｋｇ／ｍｍ2 の無機材料、具体的には酸化珪素等
で形成されている。
【００２４】前記ビッカース硬度が８００乃至１０００
ｋｇ／ｍｍ2 の無機材料から成る上層５ｂは、それ自体
が軟質であることから、感熱紙等に印字を行う際、感熱
紙６等が保護層５の段差にあたって応力を発生したとし
ても該応力は上層５ｂを摩耗させることによって吸収緩
和され、その結果、前記応力によって保護層５が発熱抵
抗体３や一対の導電層４から剥離することは無くなる。
ｋｇ／ｍｍ2 の無機材料から成る上層５ｂは、それ自体
が軟質であることから、感熱紙等に印字を行う際、感熱
紙６等が保護層５の段差にあたって応力を発生したとし
ても該応力は上層５ｂを摩耗させることによって吸収緩
和され、その結果、前記応力によって保護層５が発熱抵
抗体３や一対の導電層４から剥離することは無くなる。
【００２５】尚、前記上層５ｂは、それを形成する無機
材料のビッカース硬度が８００ｋｇ／ｍｍ2 よりも小さ
くなると、感熱紙６等に印字を行なう際、保護層５が感
熱紙６等の摺動によって極めて容易に摩耗され、サーマ
ルヘッドの寿命を短くしてしまい、またビッカース硬度
が１０００ｋｇ／ｍｍ2 よりも大きくなると、感熱紙６
等に印字を行った際、感熱紙６等が上層５ｂの発熱領域
Ａの段差にあたって大きな応力を発生し、該応力によっ
て保護層５が発熱抵抗体３や一対の導電層４の表面より
剥離してしまう。従って、保護層５の上層５ｂは、それ
を形成する無機材料のビッカース硬度を８００〜１００
０ｋｇ／ｍｍ2 の範囲と成しておく必要がある。
材料のビッカース硬度が８００ｋｇ／ｍｍ2 よりも小さ
くなると、感熱紙６等に印字を行なう際、保護層５が感
熱紙６等の摺動によって極めて容易に摩耗され、サーマ
ルヘッドの寿命を短くしてしまい、またビッカース硬度
が１０００ｋｇ／ｍｍ2 よりも大きくなると、感熱紙６
等に印字を行った際、感熱紙６等が上層５ｂの発熱領域
Ａの段差にあたって大きな応力を発生し、該応力によっ
て保護層５が発熱抵抗体３や一対の導電層４の表面より
剥離してしまう。従って、保護層５の上層５ｂは、それ
を形成する無機材料のビッカース硬度を８００〜１００
０ｋｇ／ｍｍ2 の範囲と成しておく必要がある。
【００２６】また前記上層５ａは、例えば酸化珪素等
を、従来周知のスパッタリング法を採用することによっ
て下層５ｂの上面に約２μｍの厚みに被着される。
を、従来周知のスパッタリング法を採用することによっ
て下層５ｂの上面に約２μｍの厚みに被着される。
【００２７】前記下層５ａと上層５ｂとから成る保護層
５はまた、その発熱領域Ａ周辺に形成される段差の角部
を削り取り、半径６ｍｍ程度の円弧状のなだらかな窪み
としておけば、感熱紙６等が保護層５にあたっても大き
な応力が発生することは皆無となるとともに、保護層５
の発熱領域Ａに感熱紙６等を良好に密着させ、発熱抵抗
体３の発する熱を感熱紙６等に効率良く伝導させて感熱
紙６等に鮮明な印字画像を形成することが可能となる。
従って、前記保護層５はその発熱領域Ａ周辺に形成され
る段差の角部を半径６ｍｍ程度の円弧状となるように削
り取っておくことが好ましい。
５はまた、その発熱領域Ａ周辺に形成される段差の角部
を削り取り、半径６ｍｍ程度の円弧状のなだらかな窪み
としておけば、感熱紙６等が保護層５にあたっても大き
な応力が発生することは皆無となるとともに、保護層５
の発熱領域Ａに感熱紙６等を良好に密着させ、発熱抵抗
体３の発する熱を感熱紙６等に効率良く伝導させて感熱
紙６等に鮮明な印字画像を形成することが可能となる。
従って、前記保護層５はその発熱領域Ａ周辺に形成され
る段差の角部を半径６ｍｍ程度の円弧状となるように削
り取っておくことが好ましい。
【００２８】かくして上述したサーマルヘッドは、外部
電気信号に対応させて一対の導電層４間に所定の電力を
印加し、発熱抵抗体３をその発熱領域Ａにおいて所定の
温度にジュール発熱させるとともに該発熱した熱を感熱
紙６等に伝導させ、感熱紙６等に印字画像を形成するこ
とによってサーマルヘッドとして機能する。
電気信号に対応させて一対の導電層４間に所定の電力を
印加し、発熱抵抗体３をその発熱領域Ａにおいて所定の
温度にジュール発熱させるとともに該発熱した熱を感熱
紙６等に伝導させ、感熱紙６等に印字画像を形成するこ
とによってサーマルヘッドとして機能する。
【００２９】尚、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種
々の変更、改良等が可能であり、例えば、上記実施例に
おいて、下層５ａと上層５ｂとの間に、硬質の無機材料
（ビッカース硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2 以上）と軟質
の無機材料（ビッカース硬度が８００〜１０００ｋｇ／
ｍｍ2 ）との混合材料から成る所定ビッカース硬度の中
間層や、或いは該混合材料の組成比を変化させることに
よってそのビッカース硬度を下層５ａ側から上層５ｂ側
に向かって順次小さくなるように成した中間層を介在さ
せておいても構わない。この場合、前記中間層は下層５
ａ及び上層５ｂのいずれの層とも馴染みが良好であるた
め、下層５ａと上層５ｂとが馴染みの悪い無機材料同士
の組み合わせであっても、両者を強固に接着接合させて
おくことが可能となる。従って、保護層５の上層５ｂと
下層５ａの間に、硬質の無機材料（ビッカース硬度が１
２００ｋｇ／ｍｍ2 以上）と軟質の無機材料（ビッカー
ス硬度が８００〜１０００ｋｇ／ｍｍ2 ）の混合材料か
ら成る所定ビッカース硬度の中間層や、或いは該混合材
料の組成比を変化させることによってそのビッカース硬
度を下層５ａ側から上層５ｂ側に向かって順次小さくな
るように成した中間層を介在させておくことが好まし
い。
ではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種
々の変更、改良等が可能であり、例えば、上記実施例に
おいて、下層５ａと上層５ｂとの間に、硬質の無機材料
（ビッカース硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2 以上）と軟質
の無機材料（ビッカース硬度が８００〜１０００ｋｇ／
ｍｍ2 ）との混合材料から成る所定ビッカース硬度の中
間層や、或いは該混合材料の組成比を変化させることに
よってそのビッカース硬度を下層５ａ側から上層５ｂ側
に向かって順次小さくなるように成した中間層を介在さ
せておいても構わない。この場合、前記中間層は下層５
ａ及び上層５ｂのいずれの層とも馴染みが良好であるた
め、下層５ａと上層５ｂとが馴染みの悪い無機材料同士
の組み合わせであっても、両者を強固に接着接合させて
おくことが可能となる。従って、保護層５の上層５ｂと
下層５ａの間に、硬質の無機材料（ビッカース硬度が１
２００ｋｇ／ｍｍ2 以上）と軟質の無機材料（ビッカー
ス硬度が８００〜１０００ｋｇ／ｍｍ2 ）の混合材料か
ら成る所定ビッカース硬度の中間層や、或いは該混合材
料の組成比を変化させることによってそのビッカース硬
度を下層５ａ側から上層５ｂ側に向かって順次小さくな
るように成した中間層を介在させておくことが好まし
い。
【００３０】
【発明の効果】本発明のサーマルヘッドによれば、保護
層をビッカース硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2 以上の硬質
の無機材料から成る下層と、ビッカース硬度が８００〜
１０００ｋｇ／ｍｍ2 の軟質の無機材料から成る上層の
少なくとも２つの層で形成したことから、印字時、感熱
紙等が保護層の発熱領域周辺に形成される段差にあたっ
たとしても、大きな応力が発生することは無く、その結
果、保護層を発熱抵抗体や一対の導電層に強固に被着さ
せ、該保護層によって発熱抵抗体や一対の導電層を長期
にわたり保護することが可能となる。
層をビッカース硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2 以上の硬質
の無機材料から成る下層と、ビッカース硬度が８００〜
１０００ｋｇ／ｍｍ2 の軟質の無機材料から成る上層の
少なくとも２つの層で形成したことから、印字時、感熱
紙等が保護層の発熱領域周辺に形成される段差にあたっ
たとしても、大きな応力が発生することは無く、その結
果、保護層を発熱抵抗体や一対の導電層に強固に被着さ
せ、該保護層によって発熱抵抗体や一対の導電層を長期
にわたり保護することが可能となる。
【００３１】従って、本発明のサーマルヘッドによれ
ば、発熱抵抗体が発する熱を常に一定とし、品質の高い
印字を長期にわたって得ることができる。
ば、発熱抵抗体が発する熱を常に一定とし、品質の高い
印字を長期にわたって得ることができる。
【図１】本発明のサーマルヘッドの断面図である。
【図２】従来のサーマルヘッドの断面図である。
１・・・支持基板 ２・・・蓄熱層 ３・・・発熱抵抗体 ４・・・一対の導電層 ５・・・保護層 ５ａ・・・下層 ５ｂ・・・上層 ６・・・感熱紙 Ａ・・・発熱領域
Claims (1)
- 【請求項１】支持基板の上面に発熱抵抗体および一対の
導電層を被着させるとともに、該発熱抵抗体および一対
の導電層の表面に保護層をスパッタリング法により被着
させて成るサーマルヘッドにおいて、 前記保護層は、ビッカース硬度が１２００ｋｇ／ｍｍ2
以上の無機材料から成る下層とビッカース硬度が８００
〜１０００ｋｇ／ｍｍ2 の無機材料から成る上層の少な
くとも２つの層を有していることを特徴とするサーマル
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20211692A JPH0647940A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | サーマルヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20211692A JPH0647940A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | サーマルヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0647940A true JPH0647940A (ja) | 1994-02-22 |
Family
ID=16452230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20211692A Pending JPH0647940A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | サーマルヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0647940A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0737588A1 (en) * | 1994-10-31 | 1996-10-16 | Seiko Instruments Inc. | Thermal head and method of manufacturing same |
| JP2011201190A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
| WO2017170800A1 (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびサーマルプリンタ |
-
1992
- 1992-07-29 JP JP20211692A patent/JPH0647940A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0737588A1 (en) * | 1994-10-31 | 1996-10-16 | Seiko Instruments Inc. | Thermal head and method of manufacturing same |
| EP0737588A4 (en) * | 1994-10-31 | 1997-03-26 | Seiko Instr Inc | THERMAL HEAD AND MANUFACTURING METHOD |
| JP2011201190A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
| WO2017170800A1 (ja) * | 2016-03-29 | 2017-10-05 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッドおよびサーマルプリンタ |
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