JPH0647486B2 - レンズの心出し保持方法 - Google Patents
レンズの心出し保持方法Info
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- JPH0647486B2 JPH0647486B2 JP20545886A JP20545886A JPH0647486B2 JP H0647486 B2 JPH0647486 B2 JP H0647486B2 JP 20545886 A JP20545886 A JP 20545886A JP 20545886 A JP20545886 A JP 20545886A JP H0647486 B2 JPH0647486 B2 JP H0647486B2
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Description
【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、レンズを鏡枠(保持枠)に心出しをした状態
で固定保持するためのレンズの心出し保持方法に関す
る。
で固定保持するためのレンズの心出し保持方法に関す
る。
[従来の技術] レンズを鏡枠に心出しをした状態で固定保持させる方法
としては、ねじリングやカシメにより機械力学的に固定
保持させる手段が知られている。即ち、かかる方法は、
鏡枠におけるレンズ収納部の内径寸法をレンズの外形寸
法よりも0.02mm〜0.2mm程度大径に形設しておき、この
レンズ収納部内に外形寸法で0〜0.1mm程度の小さな範
囲内で心取り研削加工されたレンズを収納し、しかる後
に、レンズ収納部内周面のねじ部と螺合するねじリング
を介してレンズを固定保持させるか、もしくはカシメ手
段にてレンズを固定保持させるものである。
としては、ねじリングやカシメにより機械力学的に固定
保持させる手段が知られている。即ち、かかる方法は、
鏡枠におけるレンズ収納部の内径寸法をレンズの外形寸
法よりも0.02mm〜0.2mm程度大径に形設しておき、この
レンズ収納部内に外形寸法で0〜0.1mm程度の小さな範
囲内で心取り研削加工されたレンズを収納し、しかる後
に、レンズ収納部内周面のねじ部と螺合するねじリング
を介してレンズを固定保持させるか、もしくはカシメ手
段にてレンズを固定保持させるものである。
しかしながら、上記レンズの固定保持方法においては、
機械力学的にレンズを鏡枠に固定保持させる手段である
ためにレンズの保持力が強制的な固定力となり、この固
定力のためにレンズに光学歪が発生し、光学特性が著し
く劣化するという問題点があった。又、ねじリングを介
してレンズを固定保持させる方法においては、ねじリン
グを回動操作(螺入操作)する際にレンズが摩擦力によ
り動いてしまうので、高精度に心出しをした状態で固定
保持するのは不可能である。又、カシメ手段にてレンズ
を固定保持させる方法においても、既知のごとく高精度
に心出しをした状態でレンズを固定保持させるのは不可
能に近い。
機械力学的にレンズを鏡枠に固定保持させる手段である
ためにレンズの保持力が強制的な固定力となり、この固
定力のためにレンズに光学歪が発生し、光学特性が著し
く劣化するという問題点があった。又、ねじリングを介
してレンズを固定保持させる方法においては、ねじリン
グを回動操作(螺入操作)する際にレンズが摩擦力によ
り動いてしまうので、高精度に心出しをした状態で固定
保持するのは不可能である。又、カシメ手段にてレンズ
を固定保持させる方法においても、既知のごとく高精度
に心出しをした状態でレンズを固定保持させるのは不可
能に近い。
そこで、高精度の心出し調整が要求される光学系におい
ては、心出し調整をした後に接着剤を介してレンズを鏡
枠に固定保持させる方法が採用されている。即ち、この
方法は、第6図a,bにて示すごとく、まず被保持体で
あるレンズ1を鏡枠2におけるレンズ収納部3内に収納
し、次に、レンズ保持部4にて支持されているレンズ1
の心出し調整を行ない、そして最後にレンズ1外周部と
鏡枠2との間に接着剤5を充填,固化(硬化)させるこ
とにより、レンズ1を鏡枠2に心出しをした状態で固定
保持させるものである。接着剤5の充填方法は、第6図
aにて示すごとくレンズ1の外周面全体にわたって充填
する方法と、レンズ1の外周面を複数等配した位置に充
填する方法とが採られている。又、接着剤5の種類とし
ては、紫外線硬化型の接着剤が多く使用されている。そ
の理由は、紫外線硬化型の接着剤5を用いることによ
り、レンズ1心出し調整後のレンズ1の鏡枠2に対する
固定保持に要する時間を短縮化し、接着剤5の硬化時間
内におけるレンズ1の位置ずれ(心ずれ)を防止するた
めである。又、第6図a,bと同様の技術は、実開昭5
9−161108号公報に開示されている。
ては、心出し調整をした後に接着剤を介してレンズを鏡
枠に固定保持させる方法が採用されている。即ち、この
方法は、第6図a,bにて示すごとく、まず被保持体で
あるレンズ1を鏡枠2におけるレンズ収納部3内に収納
し、次に、レンズ保持部4にて支持されているレンズ1
の心出し調整を行ない、そして最後にレンズ1外周部と
鏡枠2との間に接着剤5を充填,固化(硬化)させるこ
とにより、レンズ1を鏡枠2に心出しをした状態で固定
保持させるものである。接着剤5の充填方法は、第6図
aにて示すごとくレンズ1の外周面全体にわたって充填
する方法と、レンズ1の外周面を複数等配した位置に充
填する方法とが採られている。又、接着剤5の種類とし
ては、紫外線硬化型の接着剤が多く使用されている。そ
の理由は、紫外線硬化型の接着剤5を用いることによ
り、レンズ1心出し調整後のレンズ1の鏡枠2に対する
固定保持に要する時間を短縮化し、接着剤5の硬化時間
内におけるレンズ1の位置ずれ(心ずれ)を防止するた
めである。又、第6図a,bと同様の技術は、実開昭5
9−161108号公報に開示されている。
[発明が解決しようとする問題点] 第6図a,bにて示す従来技術(実開昭59−1611
08号公報の従来技術も同様である)においては、接着
剤5を介してレンズ1を鏡枠2に固定保持しているの
で、レンズ1の固定時にレンズ1に光学歪が生ずること
がない。又、レンズ1の心出し調整をした後に接着剤5
にて固定保持する方法であるので、心出しをした状態で
レンズ1を鏡枠2に固定保持し得るものである。
08号公報の従来技術も同様である)においては、接着
剤5を介してレンズ1を鏡枠2に固定保持しているの
で、レンズ1の固定時にレンズ1に光学歪が生ずること
がない。又、レンズ1の心出し調整をした後に接着剤5
にて固定保持する方法であるので、心出しをした状態で
レンズ1を鏡枠2に固定保持し得るものである。
しかしながら、上記従来技術においては、次のような問
題点があった。即ち、レンズ1と鏡枠2との間に充填さ
れた接着剤5は、固化時に体積比で4〜10%未満の固
化収縮を生ずることが知られており、この接着剤5の固
化収縮のために、いかに高精度に心出し調整をしておい
てもレンズ1の偏心(心ずれ)が生じてしまうという極
めて重大な問題点があった。又、レンズ1と鏡枠2との
間に充填される接着剤5を全体的に均一に充填するのは
極めて困難であり、この接着剤5の充填量のバラツキか
ら固化時の収縮量に差が生じ、この収縮量の差のために
レンズ1の偏心は避けがたいものとなっていた。この問
題点は、鏡枠2におけるレンズ保持部4と当接する側の
面1aの曲率半径Rが小さければ小さいほど顕著なもの
となるものであり、以下、その理由を第7図a,bを用
いて説明する。
題点があった。即ち、レンズ1と鏡枠2との間に充填さ
れた接着剤5は、固化時に体積比で4〜10%未満の固
化収縮を生ずることが知られており、この接着剤5の固
化収縮のために、いかに高精度に心出し調整をしておい
てもレンズ1の偏心(心ずれ)が生じてしまうという極
めて重大な問題点があった。又、レンズ1と鏡枠2との
間に充填される接着剤5を全体的に均一に充填するのは
極めて困難であり、この接着剤5の充填量のバラツキか
ら固化時の収縮量に差が生じ、この収縮量の差のために
レンズ1の偏心は避けがたいものとなっていた。この問
題点は、鏡枠2におけるレンズ保持部4と当接する側の
面1aの曲率半径Rが小さければ小さいほど顕著なもの
となるものであり、以下、その理由を第7図a,bを用
いて説明する。
第7図aは、レンズ保持部4と当接する側の面1aの曲
率半径Rが小さいレンズ1を固定保持する状態を示す断
面図であり、第7図bは、同曲率半径Rが大きいレンズ
1を固定保持する状態を示す断面図である。想像線にて
示すのは、接着剤5の固化収縮によりレンズ1が偏心
(心ずれ)を生じた状態を示すものである。図におい
て、接着剤5の固化収縮によるレンズ1の偏心量(心ず
れ量)をε(rad),接着剤5の固化収縮によるレン
ズ1の傾き量(クリアランス)をe,レンズ1における
レンズ保持部4との当接面1a側の曲率半径をRとする
と、レンズ1の偏心量εは、 なる式で求められることが証明されている。即ち、レン
ズ1は、接着剤5の固化収縮により上式で求められる偏
心量εだけ心ずれを生じ、この心ずれのために、レンズ
保持部4との当接面1aが球心Oを中心として矢印6方
向にずれを生ずるのである。この状態を偏心量検査器の
光源Pで追ってみると、レンズ保持部4との当接面1a
側からの光源Pの反射像は動かないが、当接面1aと反
対側のレンズ面1bからの光源Pの反射像は、偏心量ε
に対応して偏心した位置P1となることが確認できる。
このことから、又、前記 の式から、第7図aにて示すようにレンズ保持部4との
当接面1aの曲率半径Rが小さければ小さいほど、偏心
量εの値は大きくなり、又、第7図bにて示すようにレ
ンズ保持部4との当接面1aの曲率半径Rが大きければ
大き程、偏心量εの値は小さくなることが理解できる。
従って、特にレンズ1におけるレンズ保持部4との当接
側のレンズ面1aの曲率半径Rが小さいレンズにおい
て、レンズ1の光学心が接着剤5の固化収縮により偏心
(心ずれ)するという問題点があったのである。実測に
よれば、平均でε=40″〜1′という数値が確認され
ている。これでは、一般光学系には適用できても、例え
ば特開昭61−69132号公報に開示されているIC
等製造用の露光装置における光学系のごとき高精度光学
系(高精度が必要とされる理由については、LSIハン
ドブック−社団法人 電子通信学会1984年発行−の
第426頁〜第427頁に開示されている)には適用す
ることができない。
率半径Rが小さいレンズ1を固定保持する状態を示す断
面図であり、第7図bは、同曲率半径Rが大きいレンズ
1を固定保持する状態を示す断面図である。想像線にて
示すのは、接着剤5の固化収縮によりレンズ1が偏心
(心ずれ)を生じた状態を示すものである。図におい
て、接着剤5の固化収縮によるレンズ1の偏心量(心ず
れ量)をε(rad),接着剤5の固化収縮によるレン
ズ1の傾き量(クリアランス)をe,レンズ1における
レンズ保持部4との当接面1a側の曲率半径をRとする
と、レンズ1の偏心量εは、 なる式で求められることが証明されている。即ち、レン
ズ1は、接着剤5の固化収縮により上式で求められる偏
心量εだけ心ずれを生じ、この心ずれのために、レンズ
保持部4との当接面1aが球心Oを中心として矢印6方
向にずれを生ずるのである。この状態を偏心量検査器の
光源Pで追ってみると、レンズ保持部4との当接面1a
側からの光源Pの反射像は動かないが、当接面1aと反
対側のレンズ面1bからの光源Pの反射像は、偏心量ε
に対応して偏心した位置P1となることが確認できる。
このことから、又、前記 の式から、第7図aにて示すようにレンズ保持部4との
当接面1aの曲率半径Rが小さければ小さいほど、偏心
量εの値は大きくなり、又、第7図bにて示すようにレ
ンズ保持部4との当接面1aの曲率半径Rが大きければ
大き程、偏心量εの値は小さくなることが理解できる。
従って、特にレンズ1におけるレンズ保持部4との当接
側のレンズ面1aの曲率半径Rが小さいレンズにおい
て、レンズ1の光学心が接着剤5の固化収縮により偏心
(心ずれ)するという問題点があったのである。実測に
よれば、平均でε=40″〜1′という数値が確認され
ている。これでは、一般光学系には適用できても、例え
ば特開昭61−69132号公報に開示されているIC
等製造用の露光装置における光学系のごとき高精度光学
系(高精度が必要とされる理由については、LSIハン
ドブック−社団法人 電子通信学会1984年発行−の
第426頁〜第427頁に開示されている)には適用す
ることができない。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたもの
であって、レンズを鏡枠(保持枠)に固定保持させた際
のレンズの偏心量(心ずれ量)を極めて小さくして高精
度光学系にも適用できるようにしたレンズの心出し保持
方法を提供することを目的とする。
であって、レンズを鏡枠(保持枠)に固定保持させた際
のレンズの偏心量(心ずれ量)を極めて小さくして高精
度光学系にも適用できるようにしたレンズの心出し保持
方法を提供することを目的とする。
[問題点を解決するための手段及び作用] 本発明は、レンズ保持枠におけるレンズ保持面に第1の
接着剤を塗布もしくは充填した後に、レンズ保持枠に収
納されたレンズの心出しを行なう工程と、前記第1の接
着剤を固化させてレンズを保持枠に仮固定保持する工程
と、レンズにおける前記仮固定保持面と反対側の面付近
のレンズ外周面とレンズ保持枠との間に第2の接着剤を
充填する工程と、前記第2の接着剤を固化させてレンズ
を保持枠に本固定する工程とよりなるレンズの心出し保
持方法を提供することにより、偏心量の極めて小さい高
精度の光学系を提供できるものである。
接着剤を塗布もしくは充填した後に、レンズ保持枠に収
納されたレンズの心出しを行なう工程と、前記第1の接
着剤を固化させてレンズを保持枠に仮固定保持する工程
と、レンズにおける前記仮固定保持面と反対側の面付近
のレンズ外周面とレンズ保持枠との間に第2の接着剤を
充填する工程と、前記第2の接着剤を固化させてレンズ
を保持枠に本固定する工程とよりなるレンズの心出し保
持方法を提供することにより、偏心量の極めて小さい高
精度の光学系を提供できるものである。
[実施例] 以下、図面を用いて本発明の1実施例について詳細に説
明する。
明する。
第1図〜第4図は、本発明に係るレンズの心出し保持方
法の1実施例の作業工程図を示すものであり、以下、第
1図〜第4図を用いて本実施例の作業工程について説明
する。なお、第1図〜第4図にて示す各構成は、第6
図、第7図にて示したものと同様であるので、第6図,
第7図にて示した構成と同一の構成部には同一符号を付
して説明する。
法の1実施例の作業工程図を示すものであり、以下、第
1図〜第4図を用いて本実施例の作業工程について説明
する。なお、第1図〜第4図にて示す各構成は、第6
図、第7図にて示したものと同様であるので、第6図,
第7図にて示した構成と同一の構成部には同一符号を付
して説明する。
(第1工程) まず、第1図a,bにて示すごとく、鏡枠2におけるレ
ンズ保持部4のレンズ保持面4aに紫外線硬化型接着剤
10を適量塗布する。接着剤10の塗布は、レンズ保持
面4a全周に行ってもよく、又、レンズ保持面4aを複
数等分した位置に塗布してもよい。レンズ保持面4aの
形状は、第1図a,bにて示すごとく当接するレンズ面
1aに対して接線となるように形設するのが望ましい
が、この形状に限定されるものではなく、例えば第1図
c,d,eで示すような形状に形設してもよい。即ち、
第1図cにて示すのは、レンズ保持面4aの一部を段部
4bを介して一段低く形設し、段部4bの先端部4cに
てレンズ1を保持するとともに、段差部の空隙部に紫外
線硬化型接着剤10を塗布(充填)し得るように形設し
たものである。又、第1図dにて示すのは、レンズ保持
面4aの中央部に断面半円状(半円状に限定されない)
の突起部4dを突出形成し、この突起部4dの先端部に
てレンズ1を保持するとともに、突起部4dとレンズ保
持面4aとの間の空隙部に紫外線硬化型接着剤10を塗
布(充填)しうるように形設したものである。又、第1
図eで示すのは、レンズ保持面4aに適宜深さの凹部4
eを形設し、凹部4eの両側の壁面上端部4fにてレン
ズ1を保持するとともに、凹部4e内に紫外線硬化型接
着剤10を塗布(充填)しうるように形設したものであ
る。
ンズ保持部4のレンズ保持面4aに紫外線硬化型接着剤
10を適量塗布する。接着剤10の塗布は、レンズ保持
面4a全周に行ってもよく、又、レンズ保持面4aを複
数等分した位置に塗布してもよい。レンズ保持面4aの
形状は、第1図a,bにて示すごとく当接するレンズ面
1aに対して接線となるように形設するのが望ましい
が、この形状に限定されるものではなく、例えば第1図
c,d,eで示すような形状に形設してもよい。即ち、
第1図cにて示すのは、レンズ保持面4aの一部を段部
4bを介して一段低く形設し、段部4bの先端部4cに
てレンズ1を保持するとともに、段差部の空隙部に紫外
線硬化型接着剤10を塗布(充填)し得るように形設し
たものである。又、第1図dにて示すのは、レンズ保持
面4aの中央部に断面半円状(半円状に限定されない)
の突起部4dを突出形成し、この突起部4dの先端部に
てレンズ1を保持するとともに、突起部4dとレンズ保
持面4aとの間の空隙部に紫外線硬化型接着剤10を塗
布(充填)しうるように形設したものである。又、第1
図eで示すのは、レンズ保持面4aに適宜深さの凹部4
eを形設し、凹部4eの両側の壁面上端部4fにてレン
ズ1を保持するとともに、凹部4e内に紫外線硬化型接
着剤10を塗布(充填)しうるように形設したものであ
る。
レンズ保持部4のレンズ保持面4aに紫外線硬化型接着
剤10を塗布した後に、被保持体であるレンズ1をレン
ズ収納部3内に挿入し、レンズ1をレンズ保持部4にて
保持させる。
剤10を塗布した後に、被保持体であるレンズ1をレン
ズ収納部3内に挿入し、レンズ1をレンズ保持部4にて
保持させる。
次に、第5図にて示すごとき偏心量測定装置11を用い
てレンズ1の偏心量(心ずれ量)ε(第7図a,b参
照)が最小になるようにレンズ1の心出し調整を行な
う。この偏心量測定装置11によれば、以下に示すごと
く極めて微小な偏心量も高精度に求めることができ、従
って、高精度光学系に要求される許容偏心量3″〜6″
の範囲内にて心出し調整を得るものである。
てレンズ1の偏心量(心ずれ量)ε(第7図a,b参
照)が最小になるようにレンズ1の心出し調整を行な
う。この偏心量測定装置11によれば、以下に示すごと
く極めて微小な偏心量も高精度に求めることができ、従
って、高精度光学系に要求される許容偏心量3″〜6″
の範囲内にて心出し調整を得るものである。
レンズ1の心出し調整するための偏心量測定装置11に
ついて第5図を用いて説明する。図において12で示す
のはレーザ光源で、このレーザ光源12からの光はコリ
メータレンズ13を介して平行光となり、この平行光は
ビームスプリッタ14を透過し、第1の集光レンズ系1
5によりその焦点位置に集光されるようになっている。
ここで、被検レンズ1に偏心がなく、その反射球面の曲
率中心を第1の集光レンズ系15の焦点位置に一致させ
ると、被検レンズ1の反射球面による反射光は再び焦点
位置に集光することになる。そして、光軸に対して被検
レンズ1が偏心していると、焦点位置上で近似的に光軸
から偏心量の2倍だけずれた位置に集光することにな
る。被検レンズ1の反射球面からの反射光は、再び第1
の集光レンズ系15を通り、ビームスプリッタ14の半
透過面で反射して第2の集光レンズ系16により集光さ
れて点像になり、さらに、拡大レンズ系17によりこの
点像が拡大されて光位置検出素子18上に結像されるよ
うに設定してある。この光位置検出素子18は、集光し
た点像のX,Yの2方向の重心位置をこれとリニアな
X,Yの電圧に変換するものであり、光位置検出素子1
8からのX,Y電圧は、増幅器19にて増幅され、増幅
器19にて増幅されたX,Y出力はA/D変換器20を
介してデジタル出力に変換されてコンピュータ21に入
力されるようになっている。
ついて第5図を用いて説明する。図において12で示す
のはレーザ光源で、このレーザ光源12からの光はコリ
メータレンズ13を介して平行光となり、この平行光は
ビームスプリッタ14を透過し、第1の集光レンズ系1
5によりその焦点位置に集光されるようになっている。
ここで、被検レンズ1に偏心がなく、その反射球面の曲
率中心を第1の集光レンズ系15の焦点位置に一致させ
ると、被検レンズ1の反射球面による反射光は再び焦点
位置に集光することになる。そして、光軸に対して被検
レンズ1が偏心していると、焦点位置上で近似的に光軸
から偏心量の2倍だけずれた位置に集光することにな
る。被検レンズ1の反射球面からの反射光は、再び第1
の集光レンズ系15を通り、ビームスプリッタ14の半
透過面で反射して第2の集光レンズ系16により集光さ
れて点像になり、さらに、拡大レンズ系17によりこの
点像が拡大されて光位置検出素子18上に結像されるよ
うに設定してある。この光位置検出素子18は、集光し
た点像のX,Yの2方向の重心位置をこれとリニアな
X,Yの電圧に変換するものであり、光位置検出素子1
8からのX,Y電圧は、増幅器19にて増幅され、増幅
器19にて増幅されたX,Y出力はA/D変換器20を
介してデジタル出力に変換されてコンピュータ21に入
力されるようになっている。
従って、第5図にて示す状態で鏡枠2を基準として被検
レンズ1を回転させると、被検レンズ1が鏡枠2に対し
て偏心している場合には、光位置検出素子18上に集光
した点像は円を描く。従って、光位置検出素子18の
X,Y出力は点像が円を描くことにより変化し、コンピ
ュータ21によりその円の面積を計算し、次いで円の半
径を計算することにより被検レンズ1の偏心量を求める
ことができる。このコンピュータ21における偏心量の
計算方法の原理を説明する。コンピュータ21のデジタ
ル入力のうち、X入力を横軸にY入力を縦軸にとると、
偏心状態にある被検レンズ1を回転させると円を描くこ
とになり、この円の半径をr,偏心した被検レンズ1の
偏心量をεとして、拡大レンズ系17,光位置検出素子
18,増幅器19及びA/D変換器20の総合的な倍率
をmとすると、r=m・ε,ε=r/mとなる。従っ
て、倍率mを知り、半径rを求めれば偏心量εが算出で
きることとなる。
レンズ1を回転させると、被検レンズ1が鏡枠2に対し
て偏心している場合には、光位置検出素子18上に集光
した点像は円を描く。従って、光位置検出素子18の
X,Y出力は点像が円を描くことにより変化し、コンピ
ュータ21によりその円の面積を計算し、次いで円の半
径を計算することにより被検レンズ1の偏心量を求める
ことができる。このコンピュータ21における偏心量の
計算方法の原理を説明する。コンピュータ21のデジタ
ル入力のうち、X入力を横軸にY入力を縦軸にとると、
偏心状態にある被検レンズ1を回転させると円を描くこ
とになり、この円の半径をr,偏心した被検レンズ1の
偏心量をεとして、拡大レンズ系17,光位置検出素子
18,増幅器19及びA/D変換器20の総合的な倍率
をmとすると、r=m・ε,ε=r/mとなる。従っ
て、倍率mを知り、半径rを求めれば偏心量εが算出で
きることとなる。
ここで、時刻tnに(Xn,Yn)のデジタル入力があ
り、時刻tn+1に(Xn+1,Yn+1)のデジタル入力があ
ったとする。そして、Sn+1=Sn+Yn+1(Xn+1,Y
n+1):(但し、nは整数)とすると、Xn+1が増加して
いるときにはSn+1は増加し、Xn+1が減少しているとき
にはSn+1は減少する。これにより、被検レンズ1が1
回転するとSn+1はX,Y入力が描く円の面積を示すこ
とにより、これにより半径rが求められる。
り、時刻tn+1に(Xn+1,Yn+1)のデジタル入力があ
ったとする。そして、Sn+1=Sn+Yn+1(Xn+1,Y
n+1):(但し、nは整数)とすると、Xn+1が増加して
いるときにはSn+1は増加し、Xn+1が減少しているとき
にはSn+1は減少する。これにより、被検レンズ1が1
回転するとSn+1はX,Y入力が描く円の面積を示すこ
とにより、これにより半径rが求められる。
以上のことから、コンピュータ21に入力されるX,Y
の入力により被検レンズ1の偏心量を計算することがで
きるものであり、特に、微小な偏心量を数値化して高精
度に求めることができるのである。
の入力により被検レンズ1の偏心量を計算することがで
きるものであり、特に、微小な偏心量を数値化して高精
度に求めることができるのである。
(第2工程) 偏心量測定装置11にて高精度に心出しされたレンズ1
に対して、第2図にて示すごとく紫外線発生装置(図示
省略)内で紫外線22を照射し、レンズ保持部4のレン
ズ保持面4aに塗布された接着剤10を固化(硬化)さ
せる。紫外線22は、大容量照射を行ない、短時間で接
着剤10の固化を完了させるのが望ましい。この接着剤
10の固化により、レンズ1は鏡枠2に仮保持される。
に対して、第2図にて示すごとく紫外線発生装置(図示
省略)内で紫外線22を照射し、レンズ保持部4のレン
ズ保持面4aに塗布された接着剤10を固化(硬化)さ
せる。紫外線22は、大容量照射を行ない、短時間で接
着剤10の固化を完了させるのが望ましい。この接着剤
10の固化により、レンズ1は鏡枠2に仮保持される。
(第3工程) 第2工程にて仮保持されているレンズ1のレンズ面1a
側と反対側のレンズ面付近の外周面部と鏡枠2における
レンズ収納部3内周面との間に、第3図にて示すごとく
紫外線硬化型接着剤23を充填する。この紫外線硬化型
接着剤23の充填手段は、第1工程の場合と同様にレン
ズ1の全周に充填してもよく、又はレンズ1の周回り複
数等配した位置に点滴してもよい。
側と反対側のレンズ面付近の外周面部と鏡枠2における
レンズ収納部3内周面との間に、第3図にて示すごとく
紫外線硬化型接着剤23を充填する。この紫外線硬化型
接着剤23の充填手段は、第1工程の場合と同様にレン
ズ1の全周に充填してもよく、又はレンズ1の周回り複
数等配した位置に点滴してもよい。
(第4図工程) そして、最後に、第3工程にてレンズ1外周面と鏡枠2
との間に充填もしくは点滴した紫外線硬化型接着剤23
に、第4図にて示すごとく紫外線発生装置(図示省略)
内で紫外線24を照射し、接着剤23を固化させる。紫
外線24は、第2工程の場合と同様に大容量照射を行な
い、短時間で接着剤23の固化を完了させるのが望まし
い。
との間に充填もしくは点滴した紫外線硬化型接着剤23
に、第4図にて示すごとく紫外線発生装置(図示省略)
内で紫外線24を照射し、接着剤23を固化させる。紫
外線24は、第2工程の場合と同様に大容量照射を行な
い、短時間で接着剤23の固化を完了させるのが望まし
い。
接着剤23の固化により、レンズ1は高精度に心出しを
された状態を維持して鏡枠2に確実に固定保持される。
特に、本実施例においては、第1,第2工程においてレ
ンズ1を鏡枠2のレンズ保持部4に接着剤10を介して
仮固定しているので、接着剤23の固化収縮時にレンズ
1が動くことがなく、レンズ1は高精度に心出しされた
状態を維持して固定保持されるのである。出願人は、同
一のレンズ1に対して、第7図aにて示す従来の固定保
持方法と本実施例に係る固定保持方法とのレンズ1の偏
心量についてそれぞれ実験(測定)してみた。その結果
によれば、第7図aにて示す従来技術の場合の偏心量ε
を1とすれば、本実施例の場合の偏心量は0〜1/12
になることが実測された。従って、本実施例の方法によ
れば、極めて偏心量の小さい高精度のレンズの心出し保
持が安定的に可能となり、高精度の光学系にも適用でき
るものである。その結果、光学系の品質の向上,組付け
品の信頼性の向上が図れるものである。又、本実施例の
方法によれば、極めてバラツキの少ない安定した保持強
度にてレンズ1を保持できる利点がある。さらに、本実
施例の方法においては、接着剤10,23を固化させた
状態で高精度のレンズの心出し保持が可能となるので、
従来の心出し保持工数に比して1/7以下の工数とな
り、工数の大幅削減を図ることができるものである。
された状態を維持して鏡枠2に確実に固定保持される。
特に、本実施例においては、第1,第2工程においてレ
ンズ1を鏡枠2のレンズ保持部4に接着剤10を介して
仮固定しているので、接着剤23の固化収縮時にレンズ
1が動くことがなく、レンズ1は高精度に心出しされた
状態を維持して固定保持されるのである。出願人は、同
一のレンズ1に対して、第7図aにて示す従来の固定保
持方法と本実施例に係る固定保持方法とのレンズ1の偏
心量についてそれぞれ実験(測定)してみた。その結果
によれば、第7図aにて示す従来技術の場合の偏心量ε
を1とすれば、本実施例の場合の偏心量は0〜1/12
になることが実測された。従って、本実施例の方法によ
れば、極めて偏心量の小さい高精度のレンズの心出し保
持が安定的に可能となり、高精度の光学系にも適用でき
るものである。その結果、光学系の品質の向上,組付け
品の信頼性の向上が図れるものである。又、本実施例の
方法によれば、極めてバラツキの少ない安定した保持強
度にてレンズ1を保持できる利点がある。さらに、本実
施例の方法においては、接着剤10,23を固化させた
状態で高精度のレンズの心出し保持が可能となるので、
従来の心出し保持工数に比して1/7以下の工数とな
り、工数の大幅削減を図ることができるものである。
なお、上記実施例においては、凸レンズの心出し保持方
法について説明したが、凹レンズに対しても適用できる
のは勿論である。
法について説明したが、凹レンズに対しても適用できる
のは勿論である。
[発明の効果] 以上のように、本発明によれば、偏心量の極めて小さい
高精度のレンズの心出し保持が可能となり、しかも安定
した心出し保持精度が得られるので、高精度光学系のレ
ンズの心出し保持方法として最適のものである。
高精度のレンズの心出し保持が可能となり、しかも安定
した心出し保持精度が得られるので、高精度光学系のレ
ンズの心出し保持方法として最適のものである。
第1図aは、本発明に係る方法の実施例の第1工程を示
す説明図、 第1図bは、第1図aの要部の拡大図、 第1図c,第1図d及び第1図eは、第1図bにて示す
構成の他の実施例を示す説明図, 第2図,第3図及び第4図は、それぞれ本発明に係る方
法の実施例の第2工程、第3工程及び第4工程を示す説
明図、 第5図は、第1図にて示す第1工程にて用いるレンズの
偏心量測定装置を示す説明図、 第6図a,b、第7図a,bは、従来技術を示す説明図
である。 1…レンズ 2…鏡枠(保持枠) 3…レンズ収納部 4…レンズ保持部 10,23…接着剤 22,24…紫外線
す説明図、 第1図bは、第1図aの要部の拡大図、 第1図c,第1図d及び第1図eは、第1図bにて示す
構成の他の実施例を示す説明図, 第2図,第3図及び第4図は、それぞれ本発明に係る方
法の実施例の第2工程、第3工程及び第4工程を示す説
明図、 第5図は、第1図にて示す第1工程にて用いるレンズの
偏心量測定装置を示す説明図、 第6図a,b、第7図a,bは、従来技術を示す説明図
である。 1…レンズ 2…鏡枠(保持枠) 3…レンズ収納部 4…レンズ保持部 10,23…接着剤 22,24…紫外線
Claims (1)
- 【請求項1】レンズ保持枠におけるレンズ保持面に第1
の接着剤を塗布もしくは充填した後に、レンズ保持枠に
収納されたレンズの心出しを行なう工程と、 前記第1の接着剤を固化させてレンズを保持枠に仮固定
保持する工程と、 レンズにおける前記仮固定保持面と反対側の面付近のレ
ンズ外周面とレンズ保持枠との間に第2の接着剤を充填
する工程と、 前記第2の接着剤を固化させてレンズを保持枠に本固定
する工程と、 よりなるレンズの心出し保持方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20545886A JPH0647486B2 (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | レンズの心出し保持方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20545886A JPH0647486B2 (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | レンズの心出し保持方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6364945A JPS6364945A (ja) | 1988-03-23 |
JPH0647486B2 true JPH0647486B2 (ja) | 1994-06-22 |
Family
ID=16507211
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20545886A Expired - Fee Related JPH0647486B2 (ja) | 1986-09-01 | 1986-09-01 | レンズの心出し保持方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0647486B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2569338Y2 (ja) * | 1989-06-13 | 1998-04-22 | 昭和電線電纜株式会社 | 免震アイソレータ |
WO2013011970A1 (ja) * | 2011-07-15 | 2013-01-24 | 電気化学工業株式会社 | 透光性硬質基板積層体の製造方法及び透光性硬質基板貼り合わせ装置 |
JP5938707B2 (ja) * | 2011-09-28 | 2016-06-22 | 伯東株式会社 | 光学素子保持装置への光学素子の接着方法及びこの方法に用いる光学素子保持装置及びこの光学素子を備えた露光装置 |
-
1986
- 1986-09-01 JP JP20545886A patent/JPH0647486B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6364945A (ja) | 1988-03-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |