JPH0643099A - 固体発光分光分析装置 - Google Patents
固体発光分光分析装置Info
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- JPH0643099A JPH0643099A JP4218299A JP21829992A JPH0643099A JP H0643099 A JPH0643099 A JP H0643099A JP 4218299 A JP4218299 A JP 4218299A JP 21829992 A JP21829992 A JP 21829992A JP H0643099 A JPH0643099 A JP H0643099A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料固定装置による試料の固定作業が簡単
で、しかも高い分析精度が安定して得られる固体発光分
光分析装置を提供する。 【構成】 試料固定装置40は、試料38に当接させら
れる当接部材78が、予圧コイルスプリング82により
試料板34へ接近離隔する方向に付勢され、且つアーム
部材76の先端部に設けられた案内装置80により試料
板34から接近離隔する方向へ案内される。このため、
試料38には予圧コイルスプリング82により常に一定
の押圧力が付与され、従来のようなアーム22の面倒な
位置決め作業が不要となる。また、予圧コイルスプリン
グ82は予圧されていて試料32の高さのばらつきに拘
わらず充分な押圧力が得られるため、分析精度低下の原
因となる分析中の被固定試料38の移動が防止される。
で、しかも高い分析精度が安定して得られる固体発光分
光分析装置を提供する。 【構成】 試料固定装置40は、試料38に当接させら
れる当接部材78が、予圧コイルスプリング82により
試料板34へ接近離隔する方向に付勢され、且つアーム
部材76の先端部に設けられた案内装置80により試料
板34から接近離隔する方向へ案内される。このため、
試料38には予圧コイルスプリング82により常に一定
の押圧力が付与され、従来のようなアーム22の面倒な
位置決め作業が不要となる。また、予圧コイルスプリン
グ82は予圧されていて試料32の高さのばらつきに拘
わらず充分な押圧力が得られるため、分析精度低下の原
因となる分析中の被固定試料38の移動が防止される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、金属等の固体試料の組
成分析を行う固体発光分光分析装置に関するものであ
る。
成分析を行う固体発光分光分析装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】雰囲気ガスが充填される発光室と、その
発光室に連通する開口穴を有し且つ水平面に対して所定
角度傾斜させられた試料台と、試料を上記開口穴を密閉
した状態でその試料台上に固定する試料固定装置と、上
記発光室内の電極と試料との間の放電により発せられる
光線を分光する分光器とを備え、その分光器により分光
された輝線スペクトルに基づいて試料の組成を分析する
固体発光分光分析装置が知られている。このような固体
発光分光分析装置により、例えば鉄鋼材料片や各種固体
金属材料片の含有元素の定量分析が行われる。上記試料
台は、通常、水平に設けられた分光器に試料からの発光
光線を入射させるのに適当なように水平面に対して所定
角度傾斜して設置されているため、試料台上の試料は試
料固定装置により前記開口穴を密閉した状態で安定的に
固定されることが望まれる。
発光室に連通する開口穴を有し且つ水平面に対して所定
角度傾斜させられた試料台と、試料を上記開口穴を密閉
した状態でその試料台上に固定する試料固定装置と、上
記発光室内の電極と試料との間の放電により発せられる
光線を分光する分光器とを備え、その分光器により分光
された輝線スペクトルに基づいて試料の組成を分析する
固体発光分光分析装置が知られている。このような固体
発光分光分析装置により、例えば鉄鋼材料片や各種固体
金属材料片の含有元素の定量分析が行われる。上記試料
台は、通常、水平に設けられた分光器に試料からの発光
光線を入射させるのに適当なように水平面に対して所定
角度傾斜して設置されているため、試料台上の試料は試
料固定装置により前記開口穴を密閉した状態で安定的に
固定されることが望まれる。
【0003】図4に、試料固定装置の従来例を示す。1
0は、試料の発光光線を安定的に得るために不活性雰囲
気ガスが充填された発光室、12は、発光室10に連通
する開口穴14を有する試料台、16は発光室10内に
配設された電極である。試料固定装置17は、試料台1
2に立設された支柱18と、支柱18の径より若干大き
い径の穴20を有して支柱18がその穴20内に嵌め入
れられたアーム22と、支柱18と平行な軸まわりの回
動可能にアーム22に片持状に支持された板状ばね24
と、板状ばね24の先端部に固設されてその板状ばね2
4の弾性変形に応じた押圧力で試料26を押圧する押圧
部材28とから構成されている。このような試料固定装
置17では、板状ばね24が弾性変形させられて試料2
6が試料台12上に開口穴14を密閉する状態で固定さ
れる。図4はこの状態を示している。この時、アーム2
2は、板状ばね24の弾性復帰力により案内穴20の内
周面と支柱18の外周面との間に生じる摩擦力によって
支柱18の任意の高さ位置に固定される。
0は、試料の発光光線を安定的に得るために不活性雰囲
気ガスが充填された発光室、12は、発光室10に連通
する開口穴14を有する試料台、16は発光室10内に
配設された電極である。試料固定装置17は、試料台1
2に立設された支柱18と、支柱18の径より若干大き
い径の穴20を有して支柱18がその穴20内に嵌め入
れられたアーム22と、支柱18と平行な軸まわりの回
動可能にアーム22に片持状に支持された板状ばね24
と、板状ばね24の先端部に固設されてその板状ばね2
4の弾性変形に応じた押圧力で試料26を押圧する押圧
部材28とから構成されている。このような試料固定装
置17では、板状ばね24が弾性変形させられて試料2
6が試料台12上に開口穴14を密閉する状態で固定さ
れる。図4はこの状態を示している。この時、アーム2
2は、板状ばね24の弾性復帰力により案内穴20の内
周面と支柱18の外周面との間に生じる摩擦力によって
支柱18の任意の高さ位置に固定される。
【0004】
【発明が解決すべき課題】しかし、上記従来の試料固定
装置17では、板状ばね24が弾性変形させられること
により試料26に押圧力が付与されるようになっていた
ため、押圧部材28が試料26に当接した状態から更に
アーム22が適当寸法だけ押し下げられることにより、
上記押圧力が決定されていた。このため、作業者は、適
切な押圧力が発生するように試料26の高さに応じてア
ーム22を押し下げねばならず、そのアーム22の位置
決め作業が面倒であった。
装置17では、板状ばね24が弾性変形させられること
により試料26に押圧力が付与されるようになっていた
ため、押圧部材28が試料26に当接した状態から更に
アーム22が適当寸法だけ押し下げられることにより、
上記押圧力が決定されていた。このため、作業者は、適
切な押圧力が発生するように試料26の高さに応じてア
ーム22を押し下げねばならず、そのアーム22の位置
決め作業が面倒であった。
【0005】また、上記アーム22の位置決め操作は熟
練を要し、作業者の勘に頼って行われるため、操作毎に
板状ばね24の弾性変形量にばらつきが生じ、試料26
にこれを安定的に固定するのに充分な押圧力が付与され
ない場合があった。このような場合には、分析中に試料
26が僅かに移動したり、或いはその試料26の移動に
より開口穴14と試料26との間の隙間から発光室10
内に空気が入り込んだりすることに起因して、輝線スペ
クトルが不安定となる不都合が生じる。このため、従来
の固体発光分光分析装置では、試料の分析精度が充分得
られない場合があった。
練を要し、作業者の勘に頼って行われるため、操作毎に
板状ばね24の弾性変形量にばらつきが生じ、試料26
にこれを安定的に固定するのに充分な押圧力が付与され
ない場合があった。このような場合には、分析中に試料
26が僅かに移動したり、或いはその試料26の移動に
より開口穴14と試料26との間の隙間から発光室10
内に空気が入り込んだりすることに起因して、輝線スペ
クトルが不安定となる不都合が生じる。このため、従来
の固体発光分光分析装置では、試料の分析精度が充分得
られない場合があった。
【0006】本発明は以上の事情を背景として為された
ものであり、その目的とするところは、試料固定装置に
よる試料の固定作業が簡単で、しかも高い分析精度が安
定して得られる固体発光分光分析装置を提供することに
ある。
ものであり、その目的とするところは、試料固定装置に
よる試料の固定作業が簡単で、しかも高い分析精度が安
定して得られる固体発光分光分析装置を提供することに
ある。
【0007】
【課題を解決するための手段】斯かる目的を達成するた
めの、本発明の要旨とすることろは、雰囲気ガスが充填
される発光室と、その発光室に連通する開口穴を有し且
つ水平面に対して所定角度傾斜させられた試料台と、試
料を上記開口穴を密閉した状態でその試料台上に固定す
る試料固定装置と、上記発光室内の電極と試料との間の
放電により発せられる光線を分光する分光器とを備え、
その分光器により分光された輝線スペクトルに基づいて
試料の組成を分析する固体発光分光分析装置において、
前記試料固定装置が、(a) 前記試料台に立設された支柱
と、(b) その支柱により支柱の軸心まわりの回動自在に
支持され、且つその軸心と直交する方向に突き出すアー
ム部材と、(c) そのアーム部材の先端部に設けられ、前
記試料に当接させられる当接部材を前記試料台に接近離
隔する方向に案内する案内手段と、(d) 前記当接部材を
前記試料台へ接近する方向へ付勢する予圧付勢手段と
を、備えたことにある。
めの、本発明の要旨とすることろは、雰囲気ガスが充填
される発光室と、その発光室に連通する開口穴を有し且
つ水平面に対して所定角度傾斜させられた試料台と、試
料を上記開口穴を密閉した状態でその試料台上に固定す
る試料固定装置と、上記発光室内の電極と試料との間の
放電により発せられる光線を分光する分光器とを備え、
その分光器により分光された輝線スペクトルに基づいて
試料の組成を分析する固体発光分光分析装置において、
前記試料固定装置が、(a) 前記試料台に立設された支柱
と、(b) その支柱により支柱の軸心まわりの回動自在に
支持され、且つその軸心と直交する方向に突き出すアー
ム部材と、(c) そのアーム部材の先端部に設けられ、前
記試料に当接させられる当接部材を前記試料台に接近離
隔する方向に案内する案内手段と、(d) 前記当接部材を
前記試料台へ接近する方向へ付勢する予圧付勢手段と
を、備えたことにある。
【0008】
【作用】このようにすれば、試料固定装置は、試料に当
接させられる当接部材が、試料台に立設された支柱と直
交する方向に突き出すアーム部材の先端部に設けられた
案内手段により試料台から接近離隔する方向へ案内され
るように構成され、且つ予圧付勢手段により試料台へ接
近する方向に付勢される。
接させられる当接部材が、試料台に立設された支柱と直
交する方向に突き出すアーム部材の先端部に設けられた
案内手段により試料台から接近離隔する方向へ案内され
るように構成され、且つ予圧付勢手段により試料台へ接
近する方向に付勢される。
【0009】
【発明の効果】このため、試料を試料台上に固定する際
には、単に予圧付勢手段の付勢力に抗して当接部材を試
料台から離隔する方向に移動させ、且つ試料を試料台上
に載置した状態でその当接部材を離すことにより、試料
にはその高さに応じた一定の押圧力が常に付与される。
従って、本発明の固体発光分光分析装置によれば、従来
の試料固定装置におけるアームの面倒な位置決め作業が
不要となって試料の固定作業が簡単となる。また、当接
部材は予圧付勢手段により付勢されており、試料の高さ
のばらつきに拘わらず充分な押圧力が発生させられるた
め、作業者の熟練度や試料高さのばらつきに拘わらず試
料が常に安定的に固定される。このため、分析中に試料
が移動することが解消され、試料の高い分析精度が安定
して得られる。
には、単に予圧付勢手段の付勢力に抗して当接部材を試
料台から離隔する方向に移動させ、且つ試料を試料台上
に載置した状態でその当接部材を離すことにより、試料
にはその高さに応じた一定の押圧力が常に付与される。
従って、本発明の固体発光分光分析装置によれば、従来
の試料固定装置におけるアームの面倒な位置決め作業が
不要となって試料の固定作業が簡単となる。また、当接
部材は予圧付勢手段により付勢されており、試料の高さ
のばらつきに拘わらず充分な押圧力が発生させられるた
め、作業者の熟練度や試料高さのばらつきに拘わらず試
料が常に安定的に固定される。このため、分析中に試料
が移動することが解消され、試料の高い分析精度が安定
して得られる。
【0010】ここで、前記予圧付勢手段は、好適には、
予圧コイルスプリング、或いは所定の流体圧が付与され
る圧力室と、その圧力室の流体圧に基づいて前記当接部
材に推力を伝えるピストンとを有している。
予圧コイルスプリング、或いは所定の流体圧が付与され
る圧力室と、その圧力室の流体圧に基づいて前記当接部
材に推力を伝えるピストンとを有している。
【0011】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。
細に説明する。
【0012】図1は、本発明の固体発光分光分析装置の
一構成例を示すブロック線図である。本固体発光分光分
析装置は、たとえば鉄鋼材料片の含有元素の定量分析の
ために用いられる。図1において、30は、アルゴンガ
スが空気と置換されて充填される暗室である。暗室30
の上面には、水平面に対して所定角度傾斜させられた傾
斜部32が設けられており、この傾斜部32上に試料載
置板34が固設されている。試料載置板34には、暗室
30に連通する開口穴36が形成されており、試料38
が試料載置板34上に開口穴36を密閉した状態で試料
固定装置40によって安定して固定されるようになって
いる。上記試料載置板34はたとえばステンレス鋼や銅
合金などの導体材から構成されており、後者はメッキが
施されることにより耐久性が高められている。また、試
料38は、たとえば高さ寸法が約10乃至20mmの鉄鋼
材料片であって、開口穴36を密閉する側の被分析面4
2が粒度100番乃至200番の砥石にて表面粗さが5
μ乃至10μとなるように研磨されている。
一構成例を示すブロック線図である。本固体発光分光分
析装置は、たとえば鉄鋼材料片の含有元素の定量分析の
ために用いられる。図1において、30は、アルゴンガ
スが空気と置換されて充填される暗室である。暗室30
の上面には、水平面に対して所定角度傾斜させられた傾
斜部32が設けられており、この傾斜部32上に試料載
置板34が固設されている。試料載置板34には、暗室
30に連通する開口穴36が形成されており、試料38
が試料載置板34上に開口穴36を密閉した状態で試料
固定装置40によって安定して固定されるようになって
いる。上記試料載置板34はたとえばステンレス鋼や銅
合金などの導体材から構成されており、後者はメッキが
施されることにより耐久性が高められている。また、試
料38は、たとえば高さ寸法が約10乃至20mmの鉄鋼
材料片であって、開口穴36を密閉する側の被分析面4
2が粒度100番乃至200番の砥石にて表面粗さが5
μ乃至10μとなるように研磨されている。
【0013】前記暗室30内には、例えばタングステ
ン、銀などにより構成された棒状電極44が挿入されて
おり、その先端が試料38の被分析面42と僅かな隙間
を隔てて対向するように開口穴36近傍に位置させられ
ている。棒状電極44には発光装置46が接続されてお
り、発光装置46から棒状電極44および試料38の間
に高電圧が加えられると、棒状電極44および試料38
の間で放電が行われる。なお、暗室30、試料載置板3
4および試料固定装置40は、作業者の安全のために図
示しない外壁で囲まれた分析箱内に配設されて外部と電
気絶縁されている。
ン、銀などにより構成された棒状電極44が挿入されて
おり、その先端が試料38の被分析面42と僅かな隙間
を隔てて対向するように開口穴36近傍に位置させられ
ている。棒状電極44には発光装置46が接続されてお
り、発光装置46から棒状電極44および試料38の間
に高電圧が加えられると、棒状電極44および試料38
の間で放電が行われる。なお、暗室30、試料載置板3
4および試料固定装置40は、作業者の安全のために図
示しない外壁で囲まれた分析箱内に配設されて外部と電
気絶縁されている。
【0014】放電により暗室30内で発せられた光線
は、分光器48により輝線スペクトルに分光され且つ検
出される。すなわち、上記光線は、分光器48に設けら
れた集光レンズ50、入射スリット52、回折格子54
を順次通過させられることにより試料38の含有元素に
対応する波長の複数本の輝線スペクトルに分光された
後、複数の出射スリット56をそれぞれ通過させられて
複数の光電子倍増管58によりそれぞれ検出される。な
お、図1において、暗室30および試料固定装置40
は、分光器48に対して約90°展開された状態で構成
されている。
は、分光器48により輝線スペクトルに分光され且つ検
出される。すなわち、上記光線は、分光器48に設けら
れた集光レンズ50、入射スリット52、回折格子54
を順次通過させられることにより試料38の含有元素に
対応する波長の複数本の輝線スペクトルに分光された
後、複数の出射スリット56をそれぞれ通過させられて
複数の光電子倍増管58によりそれぞれ検出される。な
お、図1において、暗室30および試料固定装置40
は、分光器48に対して約90°展開された状態で構成
されている。
【0015】光電子倍増管58は各輝線スペクトルを検
出して、これらを表す信号を、所定時間毎に入力信号の
積分値を出力する複数の積分器60へそれぞれ供給す
る。マイクロコンピュータ62は、予め記憶されたプロ
グラムに従ってA/D変換器64を介して入力された積
分信号をそれぞれ処理することにより、各輝線スペクト
ルの波長に対応する元素の含有量を測定し、その含有量
を表す信号をインターフェース66を介してCRT68
およびプリンタ70に供給することにより、CRT68
および紙面上に分析結果を表示させる。また、マイクロ
コンピュータ62は、積分器制御信号および発光装置制
御信号をインターフェース66を介して積分器60およ
び発光装置46にそれぞれ供給することにより、積分器
60および発光装置46の作動を制御する。更に、マイ
クロコンピュータ62には、分光器48内に設けられた
温度センサ72から分光器48内の温度を表す信号がA
/D変換器64を介して供給されている。
出して、これらを表す信号を、所定時間毎に入力信号の
積分値を出力する複数の積分器60へそれぞれ供給す
る。マイクロコンピュータ62は、予め記憶されたプロ
グラムに従ってA/D変換器64を介して入力された積
分信号をそれぞれ処理することにより、各輝線スペクト
ルの波長に対応する元素の含有量を測定し、その含有量
を表す信号をインターフェース66を介してCRT68
およびプリンタ70に供給することにより、CRT68
および紙面上に分析結果を表示させる。また、マイクロ
コンピュータ62は、積分器制御信号および発光装置制
御信号をインターフェース66を介して積分器60およ
び発光装置46にそれぞれ供給することにより、積分器
60および発光装置46の作動を制御する。更に、マイ
クロコンピュータ62には、分光器48内に設けられた
温度センサ72から分光器48内の温度を表す信号がA
/D変換器64を介して供給されている。
【0016】図2は、前記試料固定装置40の要部を詳
細に示す図であって、一部を切り欠いた正面図である。
試料固定装置40は、試料載置板34に立設された支柱
74と、支柱74の軸心と直交する方向に突き出した状
態で支柱74に設けられたアーム部材76と、試料38
に当接させられる当接部材78と、当接部材78が先端
部に固定された管状部材79と、アーム部材76の先端
部に設けられて当接部材78を管状部材79とともに試
料載置板34に接近離隔する方向に案内する案内装置8
0と、当接部材78を試料載置板34へ接近する方向へ
付勢する予圧コイルスプリング82とから構成されてい
る。
細に示す図であって、一部を切り欠いた正面図である。
試料固定装置40は、試料載置板34に立設された支柱
74と、支柱74の軸心と直交する方向に突き出した状
態で支柱74に設けられたアーム部材76と、試料38
に当接させられる当接部材78と、当接部材78が先端
部に固定された管状部材79と、アーム部材76の先端
部に設けられて当接部材78を管状部材79とともに試
料載置板34に接近離隔する方向に案内する案内装置8
0と、当接部材78を試料載置板34へ接近する方向へ
付勢する予圧コイルスプリング82とから構成されてい
る。
【0017】支柱74は、両端部に形成された第1雌ね
じ穴84および第2雌ねじ穴86を有し、試料載置板3
4の穴88を貫通したビス90のねじ部91が第1雌ね
じ穴84と螺合されることにより試料載置板34に固定
されている。一方、アーム部材76は、大径穴92およ
び小径穴94から成る段付き穴が形成された円筒状の軸
心部96と、この一端から直線状に延びる平板状部であ
って、先端部に穴98が形成されたアーム部100とか
ら構成されている。そして、大径穴92および小径穴9
4内にビス102の頭部103および胴部104がそれ
ぞれ嵌め入れられるとともに、ビス102のねじ部10
5が前記第2雌ねじ穴86と螺合されている。これによ
り、アーム部材76は、支柱74によって支柱74の軸
心まわりの回動自在且つ軸方向の相対移動不能に支持さ
れている。アーム部100の穴98にはビス106がね
じ部108が突出した状態で嵌め入れられており、案内
装置80がこのビス106を介してアーム部100に支
持されている。
じ穴84および第2雌ねじ穴86を有し、試料載置板3
4の穴88を貫通したビス90のねじ部91が第1雌ね
じ穴84と螺合されることにより試料載置板34に固定
されている。一方、アーム部材76は、大径穴92およ
び小径穴94から成る段付き穴が形成された円筒状の軸
心部96と、この一端から直線状に延びる平板状部であ
って、先端部に穴98が形成されたアーム部100とか
ら構成されている。そして、大径穴92および小径穴9
4内にビス102の頭部103および胴部104がそれ
ぞれ嵌め入れられるとともに、ビス102のねじ部10
5が前記第2雌ねじ穴86と螺合されている。これによ
り、アーム部材76は、支柱74によって支柱74の軸
心まわりの回動自在且つ軸方向の相対移動不能に支持さ
れている。アーム部100の穴98にはビス106がね
じ部108が突出した状態で嵌め入れられており、案内
装置80がこのビス106を介してアーム部100に支
持されている。
【0018】案内装置80は本発明の案内手段に対応す
るものであって、貫通穴109を有する円筒状の案内部
材110と、円板状のつまみ部112およびそのつまみ
部112より小径の円筒部114から成る操作部材11
6と、操作部材116を案内部材110に対して所定以
上の相対移動を阻止するストッパピン118とから構成
されている。案内部材110は、アーム部100側の端
部に形成された雌ねじ穴120と、軸方向に平行な方向
に延びる長穴122とを有し、雌ねじ穴120が前記ビ
ス106のねじ部108と螺合されることによりアーム
部材76に螺着されている。操作部材116には、案内
部材110よりやや大径の嵌合穴124と、嵌合穴12
4の一端に形成された雌ねじ穴126と、前記ストッパ
ピン118が圧入により固定されるために円筒部114
の厚み方向に貫通するピン穴128とが形成されてい
る。嵌合穴124および雌ねじ穴126内には、案内部
材110が軸方向の相対移動可能に嵌め入れられ、且つ
雌ねじ穴126には、管状部材79が螺着されている。
るものであって、貫通穴109を有する円筒状の案内部
材110と、円板状のつまみ部112およびそのつまみ
部112より小径の円筒部114から成る操作部材11
6と、操作部材116を案内部材110に対して所定以
上の相対移動を阻止するストッパピン118とから構成
されている。案内部材110は、アーム部100側の端
部に形成された雌ねじ穴120と、軸方向に平行な方向
に延びる長穴122とを有し、雌ねじ穴120が前記ビ
ス106のねじ部108と螺合されることによりアーム
部材76に螺着されている。操作部材116には、案内
部材110よりやや大径の嵌合穴124と、嵌合穴12
4の一端に形成された雌ねじ穴126と、前記ストッパ
ピン118が圧入により固定されるために円筒部114
の厚み方向に貫通するピン穴128とが形成されてい
る。嵌合穴124および雌ねじ穴126内には、案内部
材110が軸方向の相対移動可能に嵌め入れられ、且つ
雌ねじ穴126には、管状部材79が螺着されている。
【0019】管状部材79は、案内部材110の外径よ
り若干大きい径の円筒穴130を備え、前記雌ねじ穴1
26と螺合される雄ねじ部132と、当接部材78の雄
ねじ部136と螺合される雌ねじ穴134がそれぞれ形
成されている。そして、円筒穴130内であって、前記
案内部材110の先端部と雄ねじ部136の先端部との
間には予圧コイルスプリング82が介挿されている。こ
れにより、当接部材78は、操作部材116および管状
部材79と共に案内部材110に対して軸まわりの相対
回転が阻止され、且つ長穴122の軸方向寸法により規
定される範囲で軸方向の移動が許容されるとともに、予
圧コイルスプリング82により試料載置板34に接近す
る方向へ常時付勢されている。
り若干大きい径の円筒穴130を備え、前記雌ねじ穴1
26と螺合される雄ねじ部132と、当接部材78の雄
ねじ部136と螺合される雌ねじ穴134がそれぞれ形
成されている。そして、円筒穴130内であって、前記
案内部材110の先端部と雄ねじ部136の先端部との
間には予圧コイルスプリング82が介挿されている。こ
れにより、当接部材78は、操作部材116および管状
部材79と共に案内部材110に対して軸まわりの相対
回転が阻止され、且つ長穴122の軸方向寸法により規
定される範囲で軸方向の移動が許容されるとともに、予
圧コイルスプリング82により試料載置板34に接近す
る方向へ常時付勢されている。
【0020】予圧コイルスプリング82は予圧付勢手段
に対応するものであって、このばね定数は、試料38の
材質或いは重量に適した値が適宜選択され、その予荷重
は試料38の厚み寸法のばらつきに拘わらず試料38が
試料載置板34上に安定的に固定されるように予め決定
される。また、当接部材78が開口穴36と係合させら
れて開口穴36が塞がれるようになっており、これによ
り暗室30内のアルゴンガスの漏洩が防止される。この
時、ストッパピン118は、長穴122内の最下端位置
よりアーム部100に所定寸法接近した位置に位置させ
られる。図2はこの状態を示している。また、支柱7
4、アーム部材76、当接部材78、管状部材79、案
内部材110および操作部材116は、例えば銅合金な
どの導電性の高い材料から構成されており、メッキが施
されることにより耐久性が高められている。
に対応するものであって、このばね定数は、試料38の
材質或いは重量に適した値が適宜選択され、その予荷重
は試料38の厚み寸法のばらつきに拘わらず試料38が
試料載置板34上に安定的に固定されるように予め決定
される。また、当接部材78が開口穴36と係合させら
れて開口穴36が塞がれるようになっており、これによ
り暗室30内のアルゴンガスの漏洩が防止される。この
時、ストッパピン118は、長穴122内の最下端位置
よりアーム部100に所定寸法接近した位置に位置させ
られる。図2はこの状態を示している。また、支柱7
4、アーム部材76、当接部材78、管状部材79、案
内部材110および操作部材116は、例えば銅合金な
どの導電性の高い材料から構成されており、メッキが施
されることにより耐久性が高められている。
【0021】以上のように構成された試料固定装置40
により試料38を試料載置板34上に固定する際には、
予圧コイルスプリング82の付勢力に抗して操作部材1
16を上方に移動操作することより、当接部材78を試
料載置板34から試料38の高さ寸法以上に離隔させ
る。この時、必要に応じてつまみ部112の支柱74の
軸心まわりの位置を変更する。そして、この状態を維持
しつつ試料38を試料載置板34上の開口穴36を密閉
する位置に載置した後、操作部材116を下方に下ろし
て当接部材78を試料38に当接させる。
により試料38を試料載置板34上に固定する際には、
予圧コイルスプリング82の付勢力に抗して操作部材1
16を上方に移動操作することより、当接部材78を試
料載置板34から試料38の高さ寸法以上に離隔させ
る。この時、必要に応じてつまみ部112の支柱74の
軸心まわりの位置を変更する。そして、この状態を維持
しつつ試料38を試料載置板34上の開口穴36を密閉
する位置に載置した後、操作部材116を下方に下ろし
て当接部材78を試料38に当接させる。
【0022】上述のように、本実施例の固体発光分光分
析装置によれば、試料38を試料載置板34上に固定す
る際には、単に操作部材116を予圧コイルスプリング
82の付勢力に抗して移動させ、且つ試料38を試料載
置板34上に載置してからその操作部材116を離せば
よく、これにより、試料38には予圧コイルスプリング
82により常に一定の押圧力が付与される。従って、本
実施例の固体発光分光分析装置によれば、図4に示され
る従来の試料固定装置17におけるアーム22の面倒な
位置決め作業が不要となって試料の固定作業が簡単とな
る。
析装置によれば、試料38を試料載置板34上に固定す
る際には、単に操作部材116を予圧コイルスプリング
82の付勢力に抗して移動させ、且つ試料38を試料載
置板34上に載置してからその操作部材116を離せば
よく、これにより、試料38には予圧コイルスプリング
82により常に一定の押圧力が付与される。従って、本
実施例の固体発光分光分析装置によれば、図4に示され
る従来の試料固定装置17におけるアーム22の面倒な
位置決め作業が不要となって試料の固定作業が簡単とな
る。
【0023】また、予圧コイルスプリング82は予め予
圧されており、試料38の高さのばらつきに拘わらず充
分な押圧力が発生させられるため、作業者の熟練度や試
料高さのばらつきに拘わらず試料38が常に安定的に固
定される。このため、分析中に試料38が移動すること
が解消され、試料38の高い分析精度が安定して得られ
る。
圧されており、試料38の高さのばらつきに拘わらず充
分な押圧力が発生させられるため、作業者の熟練度や試
料高さのばらつきに拘わらず試料38が常に安定的に固
定される。このため、分析中に試料38が移動すること
が解消され、試料38の高い分析精度が安定して得られ
る。
【0024】図3に、本実施例の装置と従来の固体発光
分光分析装置とにおける鉄鋼材料片の定量分析の分析精
度を比較して示す。従来の固体発光分光分析装置は、本
実施例の試料固定装置40に替えて、図4に示される試
料固定装置17が適用されている点のみが本装置と異な
る。図3において、分析精度は定量分析値のばらつきの
分布の標準偏差σにより表されている。この標準偏差σ
は、従来および本実施例の分析装置によるそれぞれ10
回ずつの元素含有量測定から得られた測定値に基づいて
それぞれ算出されたものである。この結果から明らかな
ように、本実施例の固体発光分光分析装置によれば、従
来の分析装置に比較してばらつきが小さく、高い分析精
度が得られる。
分光分析装置とにおける鉄鋼材料片の定量分析の分析精
度を比較して示す。従来の固体発光分光分析装置は、本
実施例の試料固定装置40に替えて、図4に示される試
料固定装置17が適用されている点のみが本装置と異な
る。図3において、分析精度は定量分析値のばらつきの
分布の標準偏差σにより表されている。この標準偏差σ
は、従来および本実施例の分析装置によるそれぞれ10
回ずつの元素含有量測定から得られた測定値に基づいて
それぞれ算出されたものである。この結果から明らかな
ように、本実施例の固体発光分光分析装置によれば、従
来の分析装置に比較してばらつきが小さく、高い分析精
度が得られる。
【0025】以上、本発明の一実施例を図面に基づいて
詳細に説明したが、本発明は他の態様においても適用さ
れる。
詳細に説明したが、本発明は他の態様においても適用さ
れる。
【0026】たとえば、前述の実施例では、予圧付勢手
段は予圧コイルスプリング82を有するものであった
が、これに替えて、所定の流体圧が付与される圧力室
と、その圧力室の流体圧に基づいて前記当接部材に推力
を伝えるピストンとを有するものでもよい。このように
しても、試料の高さのばらつきに拘わらず上記所定の流
体圧に応じた充分な押圧力が発生させられるため、前述
の実施例と同様の効果が得られる。
段は予圧コイルスプリング82を有するものであった
が、これに替えて、所定の流体圧が付与される圧力室
と、その圧力室の流体圧に基づいて前記当接部材に推力
を伝えるピストンとを有するものでもよい。このように
しても、試料の高さのばらつきに拘わらず上記所定の流
体圧に応じた充分な押圧力が発生させられるため、前述
の実施例と同様の効果が得られる。
【0027】その他、一々例示しないが、本発明は当業
者の知識に基づいて種々の変更、改良を加えた態様で実
施することができる。
者の知識に基づいて種々の変更、改良を加えた態様で実
施することができる。
【図1】本発明の一実施例である固体発光分光分析装置
の構成を示すブロック線図である。
の構成を示すブロック線図である。
【図2】図1の要部を示す図であって、試料固定装置の
一部を切り欠いた正面図である。
一部を切り欠いた正面図である。
【図3】図4の試料固定装置が適用された従来の固体発
光分光分析装置と、図1の固体発光分光分析装置とによ
る鉄鋼材料片の定量分析精度を比較して示す図表であ
る。
光分光分析装置と、図1の固体発光分光分析装置とによ
る鉄鋼材料片の定量分析精度を比較して示す図表であ
る。
【図4】従来の固体発光分光分析装置に適用される試料
固定装置の正面図である。
固定装置の正面図である。
30 暗室(発光室) 34 試料載置板(試料台) 36 開口穴 40 試料固定装置 44 棒状電極(電極) 48 分光器 74 支柱 76 アーム部材 78 当接部材 80 案内装置(案内手段) 82 予圧コイルスプリング(予圧付勢手段)
Claims (3)
- 【請求項1】 雰囲気ガスが充填される発光室と、該発
光室に連通する開口穴を有し且つ水平面に対して所定角
度傾斜させられた試料台と、試料を該開口穴を密閉した
状態で該試料台上に固定する試料固定装置と、該発光室
内の電極と該試料との間の放電により発せられる光線を
分光する分光器とを備え、該分光器により分光された輝
線スペクトルに基づいて該試料の組成を分析する固体発
光分光分析装置において、 前記試料固定装置が、 前記試料台に立設された支柱と、 該支柱により該支柱の軸心まわりの回動自在に支持さ
れ、且つ該軸心と直交する方向に突き出すアーム部材
と、 該アーム部材の先端部に設けられ、前記試料に当接させ
られる当接部材を前記試料台に接近離隔する方向に案内
する案内手段と、 前記当接部材を前記試料台へ接近する方向へ付勢する予
圧付勢手段と、 を備えたことを特徴とする固体発光分光分析装置。 - 【請求項2】 前記予圧付勢手段が予圧コイルスプリン
グを有するものである請求項1の固体発光分光分析装
置。 - 【請求項3】 前記予圧付勢手段が、所定の流体圧が付
与される圧力室と、該圧力室の流体圧に基づいて前記当
接部材に推力を伝えるピストンとを有するものである請
求項1の固体発光分光分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4218299A JPH0643099A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 固体発光分光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4218299A JPH0643099A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 固体発光分光分析装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0643099A true JPH0643099A (ja) | 1994-02-18 |
Family
ID=16717664
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4218299A Pending JPH0643099A (ja) | 1992-07-24 | 1992-07-24 | 固体発光分光分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0643099A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6966957B2 (en) | 2003-04-09 | 2005-11-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Bonding method for a plurality of components, bonding method for container and lid member, and ultrasonic welding apparatus |
-
1992
- 1992-07-24 JP JP4218299A patent/JPH0643099A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6966957B2 (en) | 2003-04-09 | 2005-11-22 | Canon Kabushiki Kaisha | Bonding method for a plurality of components, bonding method for container and lid member, and ultrasonic welding apparatus |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040917 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040928 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041126 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060131 |