JPH0640031B2 - Heat flow sensor and manufacturing method thereof - Google Patents
Heat flow sensor and manufacturing method thereofInfo
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- JPH0640031B2 JPH0640031B2 JP60236775A JP23677585A JPH0640031B2 JP H0640031 B2 JPH0640031 B2 JP H0640031B2 JP 60236775 A JP60236775 A JP 60236775A JP 23677585 A JP23677585 A JP 23677585A JP H0640031 B2 JPH0640031 B2 JP H0640031B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 或る物体の表面から放散する熱量や、或る物質中を貫流
する熱流量を単位時間、単位面積当たりで計測する必要
が近年断熱材の研究、熱機器の研究に生じて来た。本発
明はこのための計測器即ち熱流計の要素である熱流計セ
ンサーに係る。熱流計センサーは一般に熱電対である冷
温接点を用いるがこれを多数直列に接続して群として用
いる。TECHNICAL FIELD In recent years, it has been necessary to measure the amount of heat radiated from the surface of a certain object or the heat flow rate through a certain substance per unit time per unit area. It came to the study of thermal equipment. The present invention relates to a heat flow sensor, which is a component of a measuring instrument or heat flow meter for this purpose. The heat flow meter sensor generally uses cold and hot junctions, which are thermocouples, but many of them are connected in series and used as a group.
従来の技術 熱流計センサーに対する条件として、センサー自体が測
定系を乱さないような低熱抵抗体であることと、僅かな
温度差を検出することのできる高感度性があること及び
センサーが被測定面全体にわたり多数の均質の冷温接点
が分布して成ることを挙げることができる。2. Description of the Related Art As a condition for a heat flow meter sensor, the sensor itself is a low thermal resistance that does not disturb the measurement system, it has high sensitivity that can detect a slight temperature difference, and the sensor has a surface to be measured. It can be mentioned that a large number of homogeneous hot and cold junctions are distributed throughout.
しかし、従来の熱流計センサーの中、低温用センサーは
従来から高感度のものが得られているが高温にまで使用
できるタイプのものにあっては、その製作法およびセン
サー用材料の性質から、センサー自体の熱抵抗が一般に
大きくなり勝ちであり熱抵抗を小さくすると十分な感度
が得られず、他に精度の良い増幅器を必要としていた。However, among the conventional heat flow meter sensors, low temperature sensors have been obtained with high sensitivity from the past, but in the type that can be used up to high temperature, due to the manufacturing method and the properties of the sensor material, Generally, the thermal resistance of the sensor itself tends to increase, and if the thermal resistance is decreased, sufficient sensitivity cannot be obtained, and another accurate amplifier is required.
又低温用・高温用センサー共接点の配列が従来型にあっ
ては線状に並んでおり、被測定面に接点が一様に分布す
るものがなかった。この線状分布を面分布に改善する方
策としてパターン印刷による多接点配列も考えられて来
たが、従来の厚膜印刷技術は専ら層の上に層を積ねる技
術であり、この技術を直ちに熱流計用の接点の製法に適
用すると接点が面と面との重なり合いで形成され、この
間に熱抵抗並びに電気容量を生じ熱流計としての回路、
設計が複雑となるおそれがある。In the conventional type, the low-temperature and high-temperature sensor co-contacts are arranged linearly, and there was no contact evenly distributed on the surface to be measured. As a measure to improve this linear distribution to a surface distribution, multi-contact arrangement by pattern printing has been considered, but the conventional thick film printing technology is a technology of stacking layers on top of another layer. When applied to the manufacturing method of a contact for a heat flow meter, the contact is formed by the overlap of the surfaces, the thermal resistance and the electric capacity are generated between them, and the circuit as a heat flow meter,
The design may be complicated.
熱電対接点を電気絶縁性で熱抵抗性の基板の両面に行列
状に形成し、これら接点を、基板に形成した複数の貫通
孔を通して互いに直列に接続するようにした熱流計セン
サーが、特開昭54-95282号公報、特開昭56-72321号公
報、特開昭57-48625号公報、特開昭58-118924 号公報等
に開示されている。これら公報に記載された構造は、セ
ンサーエレメントを面状に配列することができる点で優
れた特徴を備えるものである。A heat flow meter sensor in which thermocouple contacts are formed in a matrix on both surfaces of an electrically insulating and heat resistant substrate and these contacts are connected in series with each other through a plurality of through holes formed in the substrate is disclosed. It is disclosed in JP-A-54-95282, JP-A-56-72321, JP-A-57-48625 and JP-A-58-118924. The structures described in these publications have excellent characteristics in that the sensor elements can be arranged in a plane.
しかし、これら公知のセンサーは、いずれもメッキ技術
により製造されるものであり、基板には、接続のための
貫通孔を形成する必要がある。したがって、製造に面倒
な工程が要求されるほか、得られるセンサーにも制約が
ある。すなわち、メッキ法で形成されるセンサーは、使
用温度がメッキ層の性質が変わらない範囲に制限され
る、という不便がある。具体的には、メッキ層が変質し
ない温度は約100 ℃までであるため、使用範囲が制限さ
れる。However, all of these known sensors are manufactured by a plating technique, and it is necessary to form a through hole for connection in the substrate. Therefore, a complicated process is required for manufacturing, and a sensor to be obtained is also limited. That is, the sensor formed by the plating method has an inconvenience that the operating temperature is limited to a range in which the properties of the plating layer do not change. Specifically, since the temperature at which the plating layer does not deteriorate is up to about 100 ° C, the range of use is limited.
本発明が解決しようとする問題点 本発明によるセンサーは多数の均質な熱電対接点が小面
積内に一様に分布され、これら接点の直列接続も簡単に
出来、全体として熱抵抗が小さく、且つ高温下でも高感
度である上記した従来の欠点を一挙に解消した熱流計セ
ンサーを提起することにある。Problems to be Solved by the Invention In the sensor according to the present invention, a large number of homogeneous thermocouple contacts are uniformly distributed in a small area, the contacts can be easily connected in series, and the thermal resistance is small as a whole. An object of the present invention is to propose a heat flow meter sensor that can solve the above-mentioned conventional drawbacks that are highly sensitive even at high temperatures.
問題点を解決するための手段 本発明に於ては熱流計センサーを構成するに厚膜印刷法
の原理を利用する。すなわち、本発明による熱流計セン
サーの製法は、電気絶縁性の印刷基板上に、熱電対を形
成する２種類の金属ペーストが互いの一端部で熱電対接
点を構成するように互いに接続されてなる金属ペースト
線を複数組、互いに間隔をもって印刷形成する第１工程
と、各金属ペースト線の２種類の金属ペーストの他端部
の領域を残して印刷基板上に電気絶縁性と熱抵抗性とを
有するペーストを金属ペースト線の上に重ねて印刷して
電気絶縁性と熱抵抗性を有する印刷層を形成する第２工
程と、第１工程で形成された各金属ペースト線の２種類
の金属ペーストのそれぞれの他端部に対応する位置に同
種の金属ペーストが印刷されて、第１工程で印刷された
金属ペースト線に接続されるように、第１工程における
２種類の金属ペーストと同種の金属ペーストを印刷する
第３工程と、からなる。この第３工程における金属ペー
ストの印刷では、第１工程で印刷された金属ペースト線
のうち、隣接する金属ペースト線に接続される異なる種
類の金属ペーストが互いに接続されて熱電対接点を形成
するとともに、隣接する熱電対が互いに直列接続される
ように印刷を行う。Means for Solving the Problems In the present invention, the principle of the thick film printing method is used to construct a heat flow meter sensor. That is, the method for manufacturing the heat flow sensor according to the present invention is such that two kinds of metal pastes forming a thermocouple are connected to each other on an electrically insulating printed board so as to form a thermocouple contact at one end of each other. A first step of printing and forming a plurality of sets of metal paste lines at intervals, and an electrical insulating property and a heat resistance property on a printed board leaving a region of the other end of the two kinds of metal paste of each metal paste line. Two kinds of metal pastes, that is, a second step of forming a printed layer having electrical insulation and heat resistance by superposing and printing the paste having the paste on the metal paste wire, and each metal paste wire formed in the first step The same kind of metal paste is printed at a position corresponding to the other end of each of the two so as to be connected to the metal paste line printed in the first step, so that the same kind of metal as the two kinds of metal paste in the first step Bae A third step of printing a list, consisting of. In the printing of the metal paste in the third step, among the metal paste lines printed in the first step, different kinds of metal pastes connected to adjacent metal paste lines are connected to each other to form thermocouple contacts. , Printing is performed so that adjacent thermocouples are connected in series with each other.
この各印刷工程における印刷にはグリーンシートのペー
ストを用い、その後に焼成を行うことが好ましい。It is preferable that a green sheet paste is used for printing in each printing step and then firing is performed.
作 用 以上の様な構成及び形成法を採用することにより、均質
の熱電対接点が小面積内に多数形成され、これら接点が
容易に直列接続され、高感度な熱流計センサーが提供出
来る。又この印刷による接点形成法は多層階にして接点
数を所要数まで容易に増加出来感度の増大が容易であ
る。Operation By adopting the above-mentioned configuration and forming method, a large number of homogeneous thermocouple contacts can be formed in a small area, and these contacts can be easily connected in series to provide a highly sensitive heat flow meter sensor. In addition, this contact forming method by printing can easily increase the number of contacts to a required number by forming a multi-layered floor and increase the sensitivity.
まして接点は共通面上に印刷により形成された層と層と
の突き合った境界端縁で形成され、面と面との重なり合
いでないから電気容量は実質上存在せず理想的な熱電対
接点として働く。Furthermore, the contact is formed by the boundary edges where the layers are formed by printing on the common surface and the layers face each other.Since there is no overlap between the surfaces, there is practically no electric capacity and it is an ideal thermocouple contact. work.
実施例 次に図面について本発明実施例を説明する。第１図は本
発明センサーの要部の斜視図であり、電気絶縁性で、且
つ熱抵抗性のシート１の多数のスルーホール２の中隣接
するスルーホール例えば２１と２２との間を２つの異種
の金属薄層ＡとＢの印刷薄層で結び、この異種金属薄層
相互の突き合った境界接続点５を熱電対接点とし、これ
ら接点を上記シート１の表裏両面に５及び５′として配
置し、これら接点５、５′を上記スルーホール２１、２
２を通じて直列接続し、この直列接続体の両端に引出し
端子パッドＰを設けたものである。Embodiment Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of an essential part of the sensor of the present invention, showing a large number of through holes 2 of an electrically insulating and heat resistant sheet 1 between adjacent through holes, for example, between 2 1 and 2 2. Two thin metal layers A and B of different kinds of metal are connected by a printing thin layer, and the boundary connecting points 5 of the different kinds of thin metal layers facing each other are used as thermocouple contacts, and these contacts 5 and 5 are formed on both sides of the sheet 1. ′, And these contacts 5, 5 ′ are connected to the through holes 2 1 , 2
2 is connected in series, and lead-out terminal pads P are provided at both ends of this series-connected body.
第１図センサー要部を製作する方法について以下説明す
る。FIG. 1 A method of manufacturing the sensor main part will be described below.
製法1)第２図Ａ、Ｂ、Ｃは本発明方法による手順を示し
たものであり各図共表面を示す図である。Manufacturing method 1) FIGS. 2A, 2B and 2C show the procedure according to the method of the present invention, and are drawings showing the surface.
印刷基板１１としてアルミナ、ベリリア、ＳｉＣ，ガラ
スなどの他に金属ホウロウ、アルマイト処理Alの基板を
用いることも可能である。但し、本方法ではセンサー要
部の印刷基板として作用するものである。In addition to alumina, beryllia, SiC, glass, etc., it is also possible to use a metal enamel, anodized Al substrate as the printed substrate 11. However, in this method, it acts as a printed substrate of the main part of the sensor.
第２図(A)において、基板１１の表面の斜線で示すパタ
ーン部分３を金属ペーストＡでスクリーン印刷する。次
に、金属ペーストＢを第２図(A)の黒塗りに示すパター
ン部分４にスクリーン印刷する。この場合、先に印刷し
たパターン部分３の金属Ａと境界がぴったりと接するよ
うに突き合わせ印刷して接点５を作る。In FIG. 2 (A), the pattern portion 3 indicated by diagonal lines on the surface of the substrate 11 is screen-printed with the metal paste A. Next, the metal paste B is screen-printed on the pattern portion 4 shown in black in FIG. 2 (A). In this case, the contact 5 is formed by butt-printing so that the border of the metal A of the previously printed pattern portion 3 is in close contact.
次に第２図(A)の各パターン部分３、４両端における２
−１、３−１で示す直径１００〜１５０μｍの円と、引
出端子パッドＰ、Ｐを残し、前面に厚さ約１００〜２０
０μｍで電気絶縁性で且つ熱抵抗体である絶縁体ペース
ト１を印刷する。この結果を第２図(B)に示す。Next, each pattern portion 3 in FIG.
-1, 3-1, a circle having a diameter of 100 to 150 μm, and the lead-out terminal pads P, P are left, and a thickness of about 100 to 20 is provided on the front surface.
The insulating paste 1 which is 0 μm and is electrically insulating and is a thermal resistor is printed. The results are shown in FIG. 2 (B).
この絶縁体ペーストとして実施例においては、積層用結
晶化ガラスを用いたが、その他のガラス系またはセラミ
ックス系ペーストの使用も可能である。また、この絶縁
体ペーストによる電気絶縁兼熱抵抗層１の厚さ、材質を
選択することにより、熱流計センサーとしての感度、応
答速度を変えることができる。Although crystallized glass for lamination was used as the insulating paste in the examples, other glass-based or ceramic-based pastes can also be used. Further, by selecting the thickness and material of the electric insulation / heat resistance layer 1 made of this insulator paste, the sensitivity and response speed as a heat flow meter sensor can be changed.
さらに、層１の上に、夫々異種の金属ペーストＡ、Ｂで
第２図(C)に示すパターンを順番に印刷する。この順番
は金属ペーストＡ、Ｂのどちらを先にする事も可能であ
るが、金属ペーストＡ、Ｂの相互の境界はぴったりと一
致して接合５を形成する様に印刷する。このときの印刷
では層１上に設けられている金属ペーストＡ、Ｂの円２
−１、３−１も夫々同種の金属ペーストで塗りつぶされ
る。このため、層１の両面の金属パターンは、層に残さ
れた円孔即ち層１を貫通する様に残されたスルーホール
２を通して導通が得られ、全体で一本の直列回路が形成
される。本方法においては、層１の両面金属ペースト
Ａ、Ｂによるパターンの導通をとるための孔は機械加工
によるスルーホールでなく、印刷で形成されるため、孔
の直径を小さくすることができ、パターンの微細化が可
能で集積度を上げる事ができる。Further, the patterns shown in FIG. 2 (C) are sequentially printed on the layer 1 by using different kinds of metal pastes A and B, respectively. In this order, either of the metal pastes A and B can be performed first, but printing is performed so that the boundaries of the metal pastes A and B are exactly coincident with each other to form the joint 5. In the printing at this time, the circles 2 of the metal pastes A and B provided on the layer 1
-1, 3-1 are also filled with the same kind of metal paste. Therefore, the metal patterns on both surfaces of the layer 1 are electrically connected through the circular holes left in the layer, that is, the through holes 2 left so as to penetrate the layer 1, and a series circuit is formed as a whole. . In this method, since the holes for conducting the pattern by the double-sided metal pastes A and B of the layer 1 are formed by printing, not through holes by machining, it is possible to reduce the diameter of the holes. Can be miniaturized and the degree of integration can be increased.
次に第３図に示すように、この上にパターン保護のため
のオーバーコート６を施すことにセンサーが完成される
が、本方法を用いれば、このオーバーコートの上にさら
に本製法工程を繰返し何段にも構成することができ、よ
り大きな感度の熱流計センサーを得ることもできる。第
４図は二段積みにした場合のセンサー要部の断面であ
る。この場合は端子パッドＰ部分を残し最外層の保護膜
６″を印刷し終わったら、全体を製法1)と同様に約９０
０〜９５０℃で焼成して、各層が強固に接合された熱流
計センサーとなる。Next, as shown in FIG. 3, the sensor is completed by applying an overcoat 6 for pattern protection on this, and if this method is used, the steps of this manufacturing method are further repeated on this overcoat. It can be configured in multiple stages, and a heat flow sensor with greater sensitivity can be obtained. FIG. 4 is a cross section of the main part of the sensor when stacked in two layers. In this case, after printing the outermost protective film 6 ″ leaving the terminal pad P portion, the whole is about 90% as in the manufacturing method 1).
It is fired at 0 to 950 ° C. to form a heat flow meter sensor in which each layer is firmly bonded.
以下に説明する製法2)及び製法3)の第４図に示す様にセ
ンサー要部を多層階にした所謂積層型のセンサーを製作
するに適した方法である。This is a method suitable for producing a so-called laminated type sensor in which the main parts of the sensor are multi-layered as shown in FIG. 4 of the production method 2) and the production method 3) described below.
製法2)本方法は製法1)による長所即ちスルーホールの機
械加工が不要で全工程が印刷技術のみで施行出来ると言
う長所を活かしつつより積層性のよい寸法形状も自由に
出来る多層センサーを製作しようとする方法であって、
厚膜印刷技術に於けるグリーンシートを用いた印刷積層
法を改良した方法である。Manufacturing method 2) This method manufactures a multi-layered sensor that has better stackability and can be freely dimensioned while taking advantage of the manufacturing method 1), that is, the mechanical processing of through holes is not required and the entire process can be performed only by printing technology. How to try,
This is an improved method of the printing lamination method using a green sheet in the thick film printing technology.
まず、電気絶縁性兼抵抗体層１として厚さ０．２〜０．
７mmの未焼成前のシート状アルミナ（以下、グリーンシ
ート）に、二種類の高融点金属ペーストＡ、Ｂを１０〜
３０μｍ位の厚さで印刷乾燥する。グリーンシートの両
面へ印刷及び接合のつなぎかたは製法2)と全く同様であ
るので省略する。この上に保護層６として絶縁体のアル
ミナペーストを１００〜２００μｍ位の厚さで印刷乾燥
する。この工程を必要な階層の数だけ繰り返す。First, a thickness of 0.2 to 0.
Two types of refractory metal pastes A and B are applied to 7 mm of unfired sheet-like alumina (hereinafter referred to as green sheet).
Print and dry to a thickness of about 30 μm. The procedure for printing and joining on both sides of the green sheet is exactly the same as in manufacturing method 2), and therefore is omitted. An insulating alumina paste as a protective layer 6 is printed and dried thereon with a thickness of about 100 to 200 μm. This process is repeated as many times as necessary.
最上保護層６″は端子パッド部を残し、アルミナ絶縁体
を印刷し、約１６００℃で還元雰囲気炉で焼成して形成
する。この方法により、作られた熱流計センサーは製法
1)と比べると使用できる金属ペーストが限定されるが、
耐熱性においては１０００℃付近での安定した使用が可
能である。The uppermost protective layer 6 ″ is formed by printing an alumina insulator, leaving the terminal pad portion, and firing it in a reducing atmosphere furnace at about 1600 ° C. By this method, the manufactured heat flow sensor is manufactured.
The metal paste that can be used is limited compared to 1),
In terms of heat resistance, stable use at around 1000 ° C is possible.
製法3)本方法は製法2)と同じくグリーンシートを用いる
が電気絶縁兼熱抵抗体として用いるグリーンシートに対
してのみ機械的穿孔工程が入り、できあがりのセンサー
の構成は製法2)によるものと同様になる。積層性はこれ
らのなかで最もよい。Manufacturing method 3) This method uses a green sheet as in manufacturing method 2), but a mechanical perforation process is performed only on the green sheet used as an electrical insulation and thermal resistor, and the finished sensor has the same structure as in manufacturing method 2). become. The stackability is the best among these.
まず、電気絶縁性で且つ熱抵抗性の層１として比較的薄
い（約０．２mm）グリーシートに、金型や炭酸ガスレー
ザーで定められたパターン通りのスルーホールを形成す
る。この場合の孔径は製法2)、3)とほぼ同じで１００〜
２５０μｍφ程にする事ができる。この上に、二種類の
高融点金属ペースＡ、Ｂを交互に印刷乾燥する。パター
ンとしては製法1)と同様なので省略する。このようにし
て、サーモパイルパターンを印刷したグリーンシートを
複数枚を間に保護層としてのグリーンシートを挟み、上
下層導通用のスルーホール７のみを残し重ね合わせる。First, a through hole having a pattern defined by a mold or a carbon dioxide laser is formed on a relatively thin (about 0.2 mm) green sheet as the electrically insulating and heat resistant layer 1. The hole diameter in this case is almost the same as in the manufacturing method 2) and 3),
It can be about 250 μmφ. Two kinds of refractory metal paces A and B are alternately printed and dried on this. The pattern is the same as the manufacturing method 1), and therefore will be omitted. In this way, a plurality of green sheets printed with the thermopile pattern are sandwiched between the green sheets as a protective layer, and only the through holes 7 for conducting the upper and lower layers are left and superposed.
この様にグリーンシートを全部重ね合わせ５０〜１５０
kg／cm2の圧力で加圧し８０〜１５０℃で予備加熱後、
製法2)と同様に約１６００℃の還元雰囲気炉で焼成す
る。In this way, all the green sheets are overlaid 50-150
After pressurizing at a pressure of kg / cm 2 and preheating at 80-150 ° C,
Similar to the manufacturing method 2), it is fired in a reducing atmosphere furnace at about 1600 ° C.
本発明の方法に使用される金属ペーストとしては、厚膜
熱電対として使用されるものを用い、金属ペーストＡと
して40％Pd・２０％Pt・１０％Au、金属ペーストＢとし
て５０％Au２０％Pdを用いた。製法3)、4)のペーストに
は、高融点のものを用いＡとしてPtペースト、Ｂとして
タングステンペーストを使用するのが良い。As the metal paste used in the method of the present invention, the one used as a thick film thermocouple is used, and the metal paste A is 40% Pd.20% Pt.10% Au and the metal paste B is 50% Au20% Pd. Was used. It is preferable to use a high melting point paste for the manufacturing methods 3) and 4), and use Pt paste as A and tungsten paste as B.
ここにおいて重要なことは、これらの金属ペーストは合
金の粉末を使用しなくとも、各成分比に純金属粉末を混
合することによって合金粉末と同等の性状をもたせるこ
とができることである。このことは、容易に必要な性質
のペーストが自由に得られることを意味する。また、端
子パッド部分には後でリード線とのろう付けが可能なよ
うにMo・Mn系がPt系のペーストを使用する。What is important here is that these metal pastes can have properties equivalent to alloy powders by mixing pure metal powders in respective component ratios without using alloy powders. This means that a paste with the required properties can easily be obtained freely. For the terminal pad, Mo / Mn-based Pt-based paste is used so that it can be brazed to the lead wire later.
効 果 以上のようによる本発明に熱流計センサーは、主とし
て、メッキや金属シートで作られてきたサーモパイル型
等の熱流計センサーと比べ、約800〜１６００℃の範囲
で強固に焼成され、金属成分は高融点電気絶縁膜で覆わ
れているため酸化の影響が少なく、低温域から高温域に
わたる使用が可能で、また、耐久性も有り経年変化も少
ない。Effect The heat flow meter sensor according to the present invention as described above is strongly baked at a temperature of about 800 to 1600 ° C., compared with a heat flow meter sensor of thermopile type or the like which is mainly made of plating or a metal sheet. Since it is covered with a high melting point electric insulation film, it is less affected by oxidation, can be used over a low temperature range to a high temperature range, and has durability and little secular change.
さらに、ここにおいて重要なことは、異種金属を細かい
ピッチで、且つ小面域に均等に接点が分布すように多数
つなぐことが、本発明において可能になった事である。
このことは、従来のサーモパイルパターンの製法と比べ
て高感度のものが容易に作れるようになったことを意味
する。Further, what is important here is that it is possible in the present invention to connect a large number of dissimilar metals with a fine pitch so that the contacts are evenly distributed in the small area.
This means that a high-sensitivity one can be easily manufactured as compared with the conventional thermopile pattern manufacturing method.
第１図は本発明の原理を示す熱流計センサーの要部の斜
視図、第２図は本発明の熱流計センサーの要部の製法の
実施例の工程を示す図、第３図は第２図に示す工程に依
り形成された熱流計センサー完成体の断面図、第４図は
第３図に示す熱流計センサー要部を多階層に積層した場
合を示す熱流計センサーの断面図である。 １……電気絶縁兼熱抵抗の板或いは層、 ２……スルーホール、 Ａ、Ｂ……金属ペースト、 ５……熱電対接点、６……保護層或いは膜、 １１……電気絶縁性支持板。FIG. 1 is a perspective view of a main part of a heat flow meter sensor showing the principle of the present invention, FIG. 2 is a view showing steps of an embodiment of a method of manufacturing the main part of the heat flow meter sensor of the present invention, and FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view of the completed heat flow meter sensor formed by the steps shown in FIG. 4, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the heat flow meter sensor showing a case where the main parts of the heat flow meter sensor shown in FIG. 3 are laminated in multiple layers. 1 ... Plate or layer of electrical insulation and thermal resistance, 2 ... Through hole, A, B ... Metal paste, 5 ... Thermocouple contact, 6 ... Protective layer or film, 11 ... Electrical insulating support plate .
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭54−95282（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−72321（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−48625（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−118924（ＪＰ，Ａ) ─────────────────────────────────────────────────── --Continued from the front page (56) Reference JP-A-54-95282 (JP, A) JP-A-56-72321 (JP, A) JP-A-57-48625 (JP, A) JP-A-58- 118924 (JP, A)
Claims (2)
する２種類の金属ペーストが互いの一端部で熱電対接点
を構成するように互いに接続されてなる金属ペースト線
を複数組、互いに間隔をもって印刷形成する第１工程
と、 各金属ペースト線の前記２種類の金属ペーストの他端部
の領域を残して前記印刷基板上に電気絶縁性と熱抵抗性
とを有するペーストを前記金属ペースト線の上に重ねて
印刷して電気絶縁性と熱抵抗性を有する印刷層を形成す
る第２工程と、 前記第１工程で形成された各金属ペースト線の前記２種
類の金属ペーストのそれぞれの前記他端部に対応する位
置に同種の金属ペーストが印刷されて、前記第１工程で
印刷された前記金属ペースト線に接続されるように、前
記第１工程における２種類の金属ペーストと同種の金属
ペーストを印刷する第３工程と、 からなり、 前記第３工程における金属ペーストの印刷では、前記第
１工程で印刷された金属ペースト線のうち、隣接する金
属ペースト線に接続される異なる種類の金属ペーストが
互いに接続されて熱電対接点を形成するとともに、隣接
する熱電対が互いに直列接続されるようにしたことを特
徴とする、熱流計センサーの製法。1. A plurality of sets of metal paste wires formed on an electrically insulating printed board, wherein two kinds of metal pastes forming a thermocouple are connected to each other so as to form a thermocouple contact at one end of each other. A first step of printing with a space between each other; and a paste having electrical insulation and heat resistance on the printed board, leaving a region of the other end of the two kinds of metal paste of each metal paste line. A second step of forming a printed layer having electric insulation and thermal resistance by superposing and printing on the paste line, and each of the two kinds of metal paste of each metal paste line formed in the first step The same kind of metal paste as the two kinds of metal paste in the first step is printed so that the same kind of metal paste is printed at a position corresponding to the other end portion of and is connected to the metal paste line printed in the first step. Money A third step of printing a paste, wherein, in the printing of the metal paste in the third step, different kinds of metal connected to adjacent metal paste lines among the metal paste lines printed in the first step A method for producing a heat flow meter sensor, characterized in that pastes are connected to each other to form thermocouple contacts, and adjacent thermocouples are connected to each other in series.
ンサーの製法において、前記第１工程、第２工程及び第
３工程における印刷はグリーンシートのペーストを用い
て行い、その後に焼成を行うことを特徴とする熱流計セ
ンサーの製法。2. A method for manufacturing a heat flow meter sensor according to claim 1, wherein printing in the first step, the second step and the third step is performed using a green sheet paste, and then firing is performed. A method for manufacturing a heat flow meter sensor, which is characterized by carrying out.
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| JP60236775A JPH0640031B2 (en) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | Heat flow sensor and manufacturing method thereof |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60236775A JPH0640031B2 (en) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | Heat flow sensor and manufacturing method thereof |
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ID=17005607
Family Applications (1)
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| JP60236775A Expired - Lifetime JPH0640031B2 (en) | 1985-10-23 | 1985-10-23 | Heat flow sensor and manufacturing method thereof |
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-
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| JPS6296831A (en) | 1987-05-06 |
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