JPH0639774Y2 - 排ガス浄化装置 - Google Patents
排ガス浄化装置Info
- Publication number
- JPH0639774Y2 JPH0639774Y2 JP4476793U JP4476793U JPH0639774Y2 JP H0639774 Y2 JPH0639774 Y2 JP H0639774Y2 JP 4476793 U JP4476793 U JP 4476793U JP 4476793 U JP4476793 U JP 4476793U JP H0639774 Y2 JPH0639774 Y2 JP H0639774Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust gas
- gas
- liquid
- cleaning liquid
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Treating Waste Gases (AREA)
- Separation Of Particles Using Liquids (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は微細なミストやヒュー
ムを有害成分として含有する排ガスを浄化する排ガス浄
化装置に関する。
ムを有害成分として含有する排ガスを浄化する排ガス浄
化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近の金属や半導体の表面処理工程で
は、塩酸、硫酸、硝酸などの酸洗浄液を使用して高温浴
下で表面処理することが多く、この排ガス系統では反応
生成ガスの他に前記酸性ガスの蒸気が絶えず排ガス中に
同伴して排出されているのが現状である。
は、塩酸、硫酸、硝酸などの酸洗浄液を使用して高温浴
下で表面処理することが多く、この排ガス系統では反応
生成ガスの他に前記酸性ガスの蒸気が絶えず排ガス中に
同伴して排出されているのが現状である。
【０００３】これらの排ガスは、従来より、比較的簡易
な充填塔や多孔塔などの湿式洗浄塔で大部分は処理され
ている。
な充填塔や多孔塔などの湿式洗浄塔で大部分は処理され
ている。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】ところが上記する湿式
洗浄塔による処理では、処理塔内の湿分と酸性ガスとが
会合して生成するエアロゾル状の微細なミストは排出側
のミストセパレータでも捕集することができず、煙突で
白煙霧化して視界を妨げたり、周辺地域にたれこめたり
して公害上から問題がある。
洗浄塔による処理では、処理塔内の湿分と酸性ガスとが
会合して生成するエアロゾル状の微細なミストは排出側
のミストセパレータでも捕集することができず、煙突で
白煙霧化して視界を妨げたり、周辺地域にたれこめたり
して公害上から問題がある。
【０００５】この白煙霧化したエアロゾルを除去するた
めには、湿式洗浄装置の後段に高性能のフィルターや電
気集塵機などの高性能な除塵機能を持つ装置を付加的に
設置するほか解決手段はなく、これらは新たに大きな設
置スペースを必要とし、処理設備のイニシャルコストお
よびランニングコストなどの経費が高くつき、既設の排
気設備の改良は勿論のこと、新規排気設備の公害防止上
の対策としては容易に実施し得ないものである。
めには、湿式洗浄装置の後段に高性能のフィルターや電
気集塵機などの高性能な除塵機能を持つ装置を付加的に
設置するほか解決手段はなく、これらは新たに大きな設
置スペースを必要とし、処理設備のイニシャルコストお
よびランニングコストなどの経費が高くつき、既設の排
気設備の改良は勿論のこと、新規排気設備の公害防止上
の対策としては容易に実施し得ないものである。
【０００６】また、微細な粉塵を含有するガスを処理す
る湿式集塵機としては送風機の回転翼に直接、液をスプ
レーするものも従来からあるが、前記の白煙霧化する排
ガスに対しての浄化効果は不充分であり、浄化効果が充
分な程度にまで排ガス処理をしようとすれば他の湿式洗
浄法ないしは電気集塵機の付加が必要であった。
る湿式集塵機としては送風機の回転翼に直接、液をスプ
レーするものも従来からあるが、前記の白煙霧化する排
ガスに対しての浄化効果は不充分であり、浄化効果が充
分な程度にまで排ガス処理をしようとすれば他の湿式洗
浄法ないしは電気集塵機の付加が必要であった。
【０００７】この考案は上述の点に鑑み考案されたもの
であって、除去困難なエアロゾル状の白煙霧化を形成す
る酸性ガスを含有する排ガスの処理手段について鋭意研
究した結果、従来の湿式洗浄法のみでは不可能とされて
いた前記排ガスを高能率に処理可能とした排ガス浄化装
置を提供することを目的とする。
であって、除去困難なエアロゾル状の白煙霧化を形成す
る酸性ガスを含有する排ガスの処理手段について鋭意研
究した結果、従来の湿式洗浄法のみでは不可能とされて
いた前記排ガスを高能率に処理可能とした排ガス浄化装
置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めのこの考案の要旨とするところは、排ガスの吸込口と
吐出口を有する渦巻き筒体内に遠心回転羽根車を具備し
たものにおいて、吸込口前段に洗浄液ノズルを配設する
とともに、排ガスと洗浄液ノズルより噴霧された液を強
制的に通過接触させる多数の小孔を全面に有する多孔円
板を配設したことを特徴とする排ガス浄化装置にある。
めのこの考案の要旨とするところは、排ガスの吸込口と
吐出口を有する渦巻き筒体内に遠心回転羽根車を具備し
たものにおいて、吸込口前段に洗浄液ノズルを配設する
とともに、排ガスと洗浄液ノズルより噴霧された液を強
制的に通過接触させる多数の小孔を全面に有する多孔円
板を配設したことを特徴とする排ガス浄化装置にある。
【０００９】
【作用】排ガスを吸込口の前段で洗浄液ノズルより噴霧
された液と接触させ、この気液混流物を多孔円板に全面
散布させて強制的に通過させ、吸込口から渦巻き筒体内
に装備された遠心回転羽根車に吸引させて混合撹拌し、
排ガス中の有害成分を吸収および凝集分離除去し、吐出
口より清浄ガスを排出させる。
された液と接触させ、この気液混流物を多孔円板に全面
散布させて強制的に通過させ、吸込口から渦巻き筒体内
に装備された遠心回転羽根車に吸引させて混合撹拌し、
排ガス中の有害成分を吸収および凝集分離除去し、吐出
口より清浄ガスを排出させる。
【００１０】
【実施例】以下、この考案の実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【００１１】図１はこの考案の排ガス浄化装置の構成図
である。
である。
【００１２】この考案の排ガス浄化装置は、排ガス吸込
口１、排ガス吐出口２を有する渦巻き筒体３、および前
記渦巻き筒体３内に回転可能に配設された遠心回転羽根
車４、前記排ガス吸込口１の前段に配設された洗浄液ノ
ズル５、全面に多数の小孔６を有する多孔円板７よりな
る。
口１、排ガス吐出口２を有する渦巻き筒体３、および前
記渦巻き筒体３内に回転可能に配設された遠心回転羽根
車４、前記排ガス吸込口１の前段に配設された洗浄液ノ
ズル５、全面に多数の小孔６を有する多孔円板７よりな
る。
【００１３】洗浄液ノズル５は多孔円板７に対向して該
円板７の全面に液が噴霧されるように少なくとも１つ以
上設けられる。この洗浄液ノズル５からの洗浄液の噴霧
方法としては、微細な洗浄液を作りだす手段であればど
のような手段でも差支えなく、洗浄液のみを噴霧する一
流体ノズル、圧縮空気と洗浄液を混合して出す二流体ノ
ズル、超音波微粒子ノズルなどを用いることができる。
円板７の全面に液が噴霧されるように少なくとも１つ以
上設けられる。この洗浄液ノズル５からの洗浄液の噴霧
方法としては、微細な洗浄液を作りだす手段であればど
のような手段でも差支えなく、洗浄液のみを噴霧する一
流体ノズル、圧縮空気と洗浄液を混合して出す二流体ノ
ズル、超音波微粒子ノズルなどを用いることができる。
【００１４】多孔円板７は吸込口１内に設けられるが、
ガスの通過風速が最も速くなる最小絞り部分に設けるこ
とが気液接触効果を高めるうえから望ましい。小孔６の
形状は丸孔、楕円孔、矩形孔、長矩形孔などを用いるこ
とができるが、目詰まり防止、低圧力損失の面からする
と丸孔のものが好ましく、流路抵抗を少なくするため、
テーパあるいはベルマウス状の孔を用いることもでき
る。そして、小孔６の配置は円板７全面に気液が均等に
分散するように均等な間隔に配置されることが望まし
い。
ガスの通過風速が最も速くなる最小絞り部分に設けるこ
とが気液接触効果を高めるうえから望ましい。小孔６の
形状は丸孔、楕円孔、矩形孔、長矩形孔などを用いるこ
とができるが、目詰まり防止、低圧力損失の面からする
と丸孔のものが好ましく、流路抵抗を少なくするため、
テーパあるいはベルマウス状の孔を用いることもでき
る。そして、小孔６の配置は円板７全面に気液が均等に
分散するように均等な間隔に配置されることが望まし
い。
【００１５】例えば、小孔を通過するガス流速は３０m
／sec 以上が好ましい。小孔６の最小寸法は０．１〜３
０mm、開口比５〜５０％のものが使用可能であるが、静
圧損失や気液接触効果を考慮した場合、０．５〜２０m
m、開口比１０〜４０％のものが好ましい。
／sec 以上が好ましい。小孔６の最小寸法は０．１〜３
０mm、開口比５〜５０％のものが使用可能であるが、静
圧損失や気液接触効果を考慮した場合、０．５〜２０m
m、開口比１０〜４０％のものが好ましい。
【００１６】また、多孔円板２の構成材としてはプラス
チック、金属、セラミック、ガラス等の耐蝕材料が利用
できる。また、板材を加工したものの他にプラスチッ
ク、金属、セラミック、ガラス等の小粒径物質を焼結積
層した多孔質材料や連続気泡の空隙を有する多孔質材料
を用いることができる。流路抵抗が少なく、気液接触材
料としては、プラスチックを真球状のパール重合粒体を
積層したものを用いれば好適である。さらに、他の板材
としては前記プラスチック、金属、セラミック、ガラス
等の繊維を網状に平面状に構成したものや多層に重ねた
り、立体的に編み、比較的均等な空隙をもつ材料を用い
ることができる。
チック、金属、セラミック、ガラス等の耐蝕材料が利用
できる。また、板材を加工したものの他にプラスチッ
ク、金属、セラミック、ガラス等の小粒径物質を焼結積
層した多孔質材料や連続気泡の空隙を有する多孔質材料
を用いることができる。流路抵抗が少なく、気液接触材
料としては、プラスチックを真球状のパール重合粒体を
積層したものを用いれば好適である。さらに、他の板材
としては前記プラスチック、金属、セラミック、ガラス
等の繊維を網状に平面状に構成したものや多層に重ねた
り、立体的に編み、比較的均等な空隙をもつ材料を用い
ることができる。
【００１７】遠心回転羽根車４は具体的には図示しない
が、主板、副板および羽根から構成され、羽根車中心か
らガスを吸い込み、遠心方向に吐き出す周知構成のもの
で、翼形状としては放射状に伸びる径向き羽根、後向き
羽根、前向き羽根等を用いることができるが、特にガス
中に付着性の粉体や不純物が同伴する場合には羽根付着
時のアンバランスを防止するために径向き羽根が望まし
い。
が、主板、副板および羽根から構成され、羽根車中心か
らガスを吸い込み、遠心方向に吐き出す周知構成のもの
で、翼形状としては放射状に伸びる径向き羽根、後向き
羽根、前向き羽根等を用いることができるが、特にガス
中に付着性の粉体や不純物が同伴する場合には羽根付着
時のアンバランスを防止するために径向き羽根が望まし
い。
【００１８】渦巻き筒体３は水平あるいは垂直いずれの
方向でもかまわないが、気液の分離を容易にするため
に、渦巻き筒体３を垂直配置にして液流が停滞しないよ
うに吐出口２を横向きまたは下向きにするのが望まし
い。
方向でもかまわないが、気液の分離を容易にするため
に、渦巻き筒体３を垂直配置にして液流が停滞しないよ
うに吐出口２を横向きまたは下向きにするのが望まし
い。
【００１９】上記構成において、酸性ガスを含有する排
ガスは、渦巻き筒体３の吸込口１前段において洗浄液ノ
ズル５より噴霧された液と並流して気液接触を行いなが
ら多孔円板７に対して全面散布され、該円板７の小孔６
を強制的に通過することにより混合して微細な液滴に再
分散されてガス吸収と白煙の凝集が行われ、引き続いて
この気液混流物は吸込口１から渦巻き筒体３に吸い込ま
れる。渦巻き筒体３内では遠心回転羽根車４が高速で回
転しているので、前記の気液の混流物はきわめて激しい
遠心回転力を与えられながら円周方向に流れて混合撹拌
が行われるため、有害ガス成分の吸収および白煙霧体の
凝集成長が行われ、前記有害成分を収集した液成分は渦
巻き室内でガス成分との質量差により分離されて吐出口
２からは清浄なガス成分だけが排出され、液成分は液流
となり排出される
ガスは、渦巻き筒体３の吸込口１前段において洗浄液ノ
ズル５より噴霧された液と並流して気液接触を行いなが
ら多孔円板７に対して全面散布され、該円板７の小孔６
を強制的に通過することにより混合して微細な液滴に再
分散されてガス吸収と白煙の凝集が行われ、引き続いて
この気液混流物は吸込口１から渦巻き筒体３に吸い込ま
れる。渦巻き筒体３内では遠心回転羽根車４が高速で回
転しているので、前記の気液の混流物はきわめて激しい
遠心回転力を与えられながら円周方向に流れて混合撹拌
が行われるため、有害ガス成分の吸収および白煙霧体の
凝集成長が行われ、前記有害成分を収集した液成分は渦
巻き室内でガス成分との質量差により分離されて吐出口
２からは清浄なガス成分だけが排出され、液成分は液流
となり排出される
【００２０】
【考案の効果】上記構成からなるこの考案によれば、次
のような効果を奏する。
のような効果を奏する。
【００２１】（１） 従来の湿式洗浄装置では完全に除
去不可能であった白煙霧化する酸性成分を含む排ガスを
高い除去効率で除き、煙突で白煙を目立たなくすること
ができるので、高価な電気集塵機付加する必要がなく公
害防止対策費も少なくて済みきわめて経済効果も大き
い。
去不可能であった白煙霧化する酸性成分を含む排ガスを
高い除去効率で除き、煙突で白煙を目立たなくすること
ができるので、高価な電気集塵機付加する必要がなく公
害防止対策費も少なくて済みきわめて経済効果も大き
い。
【００２２】また、遠心回転羽根車直前の多孔円板はマ
ルチベンチュリーに似た気液の激しい混流による気液の
均等な分散を行う効果を有しているで、装置の大小に関
わらず、安定した性能を確保することできる。また、遠
心回転羽根車は液によって常時、洗浄されているので、
ガス中に粘着性の粉塵があってもこれを洗い流し、粉体
付着によるアンバランスも防止でき、保守管理も容易で
ある。
ルチベンチュリーに似た気液の激しい混流による気液の
均等な分散を行う効果を有しているで、装置の大小に関
わらず、安定した性能を確保することできる。また、遠
心回転羽根車は液によって常時、洗浄されているので、
ガス中に粘着性の粉塵があってもこれを洗い流し、粉体
付着によるアンバランスも防止でき、保守管理も容易で
ある。
【００２３】さらに、この考案の装置は単独で用いる以
外に入口濃度が異常に高い場合には前処理用として湿式
洗浄塔を設けることができ、後続には筒体内で分離しき
れない液滴をとるエリミネータを設置することにより、
より排ガス浄化効果を高めることができる。
外に入口濃度が異常に高い場合には前処理用として湿式
洗浄塔を設けることができ、後続には筒体内で分離しき
れない液滴をとるエリミネータを設置することにより、
より排ガス浄化効果を高めることができる。
【００２４】（２） 従来の充填塔その他の湿式洗浄装
置に比較して排ガス中の有害ガス成分を高能率に除去で
きるだけではなく、同伴するサブミクロンサイズのエア
ロゾル状の白煙霧体も有効に除去できる。また、硝酸、
塩酸、硫酸などの蒸気発生ガスの他、微粒子のエアロゾ
ルを生じ、通常、除去困難とされている過塩素酸の煮沸
時の発生ガスに対しても有効に働き、各種エアロゾルに
対しても清浄化効果を期待できる。さらに、排ガスに同
伴する粉塵に対しても除去効果は高く、従来の湿式洗浄
機ではほとんど素通りしていたサブミクロンサイズのシ
リカ、塩化アンモニウム、硝酸アンモニウムなどの固体
エアロゾルに対しても除去効果を有している。
置に比較して排ガス中の有害ガス成分を高能率に除去で
きるだけではなく、同伴するサブミクロンサイズのエア
ロゾル状の白煙霧体も有効に除去できる。また、硝酸、
塩酸、硫酸などの蒸気発生ガスの他、微粒子のエアロゾ
ルを生じ、通常、除去困難とされている過塩素酸の煮沸
時の発生ガスに対しても有効に働き、各種エアロゾルに
対しても清浄化効果を期待できる。さらに、排ガスに同
伴する粉塵に対しても除去効果は高く、従来の湿式洗浄
機ではほとんど素通りしていたサブミクロンサイズのシ
リカ、塩化アンモニウム、硝酸アンモニウムなどの固体
エアロゾルに対しても除去効果を有している。
【００２５】（３） 半導体製造、金属酸洗、メッキな
どの工程のように各種有害ガスのほかに液体エアロゾル
や固定エアロゾルが同伴するケースが多い場合の排気洗
浄装置として従来の湿式洗浄機に比べ、浄化機能面で優
れており、高性能の電気集塵機の付加が不用であるの
で、経済的メリットも大きい。
どの工程のように各種有害ガスのほかに液体エアロゾル
や固定エアロゾルが同伴するケースが多い場合の排気洗
浄装置として従来の湿式洗浄機に比べ、浄化機能面で優
れており、高性能の電気集塵機の付加が不用であるの
で、経済的メリットも大きい。
【図１】 この考案の排ガス浄化装置の構成図である。
１…排ガス吸込口 ２…排ガス吐出口 ３…渦巻き筒体 ４…回転羽根車 ５…洗浄液ノズル ６…小孔 ７…多孔円板
Claims (1)
- 【請求項１】 排ガスの吸込口と吐出口を有する渦巻き
筒体内に遠心回転羽根車を具備したものにおいて、吸込
口前段に洗浄液ノズルを配設するとともに、排ガスと洗
浄液ノズルより噴霧された液を強制的に通過接触させる
多数の小孔を全面に有する多孔円板を配設したことを特
徴とする排ガス浄化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4476793U JPH0639774Y2 (ja) | 1993-08-17 | 1993-08-17 | 排ガス浄化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4476793U JPH0639774Y2 (ja) | 1993-08-17 | 1993-08-17 | 排ガス浄化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0624724U JPH0624724U (ja) | 1994-04-05 |
| JPH0639774Y2 true JPH0639774Y2 (ja) | 1994-10-19 |
Family
ID=12700576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4476793U Expired - Lifetime JPH0639774Y2 (ja) | 1993-08-17 | 1993-08-17 | 排ガス浄化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639774Y2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4782722B2 (ja) * | 2007-04-18 | 2011-09-28 | フルタ電機株式会社 | 高温蒸気、又は汚染蒸気の処理機 |
| JP5732204B2 (ja) * | 2010-06-02 | 2015-06-10 | 株式会社流機エンジニアリング | 脱臭装置及び脱臭方法 |
| US8795620B2 (en) * | 2011-02-15 | 2014-08-05 | Ati Properties, Inc. | Systems and methods for recovering nitric acid from pickling solutions |
| WO2023127144A1 (ja) * | 2021-12-28 | 2023-07-06 | カンケンテクノ株式会社 | 排ガス浄化装置 |
-
1993
- 1993-08-17 JP JP4476793U patent/JPH0639774Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0624724U (ja) | 1994-04-05 |
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