JPH0639575A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
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- JPH0639575A JPH0639575A JP4197053A JP19705392A JPH0639575A JP H0639575 A JPH0639575 A JP H0639575A JP 4197053 A JP4197053 A JP 4197053A JP 19705392 A JP19705392 A JP 19705392A JP H0639575 A JPH0639575 A JP H0639575A
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- Japan
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- laser light
- laser
- workpiece
- laser beam
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 カライドスコープを用いたレーザ加工装置に
おいて、被加工物を如何なる方向へ移動させても均一に
加熱可能で、良好な加工品質を得る。 【構成】 カライドスコープ１１を内蔵した筒体９は、
レーザ光７の光軸を中心に駆動モータ１７によって回転
運動が可能である。被加工物２１はＸＹテーブル４上に
配置され、レーザ光７により照射される。駆動モータ制
御装置６は、ＮＣ制御装置５の制御内容をモニタするこ
とによりＸＹテーブル４の移動方向（角度）を検知し、
筒体９を回転させるために駆動モータ１７を駆動する。
以上の構成により、カライドスコープ１１によって形成
される矩形状のレーザ光７の任意の一辺が、被加工物２
１の移動方向に垂直または平行となるように、常にカラ
イドスコープ１１を駆動制御する。
おいて、被加工物を如何なる方向へ移動させても均一に
加熱可能で、良好な加工品質を得る。 【構成】 カライドスコープ１１を内蔵した筒体９は、
レーザ光７の光軸を中心に駆動モータ１７によって回転
運動が可能である。被加工物２１はＸＹテーブル４上に
配置され、レーザ光７により照射される。駆動モータ制
御装置６は、ＮＣ制御装置５の制御内容をモニタするこ
とによりＸＹテーブル４の移動方向（角度）を検知し、
筒体９を回転させるために駆動モータ１７を駆動する。
以上の構成により、カライドスコープ１１によって形成
される矩形状のレーザ光７の任意の一辺が、被加工物２
１の移動方向に垂直または平行となるように、常にカラ
イドスコープ１１を駆動制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はレーザ加工装置に関し、
さらに詳細にはレーザ発振器から出射されるレーザ光の
強度分布をカライドスコープによって均一にした後、被
加工物に照射することにより、被加工物を加工するレー
ザ加工装置に関するものである。
さらに詳細にはレーザ発振器から出射されるレーザ光の
強度分布をカライドスコープによって均一にした後、被
加工物に照射することにより、被加工物を加工するレー
ザ加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のレーザ加工装置は、被加
工物に対して焼入れなどの熱処理を施すために用いられ
ている。このような装置の一例を図６を参照して説明す
る。
工物に対して焼入れなどの熱処理を施すために用いられ
ている。このような装置の一例を図６を参照して説明す
る。
【０００３】レーザ発振器５１から出力されたレーザ光
５２は、反射鏡５３によって方向転換され、入射レンズ
５４によって集光した後、カライドスコープ５５に入射
する。カライドスコープ５５は、４枚の平面反射鏡５６
を四角柱形状に構成したものであり、その四角柱の内面
が反射鏡となるような構造であり、レーザ光５２は、カ
ライドスコープ５５内を多重反射することで強度分布が
均一化され、矩形状となる。カライドスコープ５５から
出射したレーザ光５２は、結像レンズ５７によって所定
の寸法で被加工物５８上に照射される。
５２は、反射鏡５３によって方向転換され、入射レンズ
５４によって集光した後、カライドスコープ５５に入射
する。カライドスコープ５５は、４枚の平面反射鏡５６
を四角柱形状に構成したものであり、その四角柱の内面
が反射鏡となるような構造であり、レーザ光５２は、カ
ライドスコープ５５内を多重反射することで強度分布が
均一化され、矩形状となる。カライドスコープ５５から
出射したレーザ光５２は、結像レンズ５７によって所定
の寸法で被加工物５８上に照射される。
【０００４】被加工物５８は移動装置５９に配置されて
おり、レーザ光５２に対して相対移動が可能である。被
加工物５８の表面には、レーザ光５２の吸収率を高める
ための黒鉛系のレーザ光吸収剤６０が塗布されている。
レーザ光５２の照射によって焼入れ温度まで急加熱され
た被加工物５８は、その内部への熱伝導によって急速に
冷却され、焼入れ硬化層６１を形成する。
おり、レーザ光５２に対して相対移動が可能である。被
加工物５８の表面には、レーザ光５２の吸収率を高める
ための黒鉛系のレーザ光吸収剤６０が塗布されている。
レーザ光５２の照射によって焼入れ温度まで急加熱され
た被加工物５８は、その内部への熱伝導によって急速に
冷却され、焼入れ硬化層６１を形成する。
【０００５】焼入れ等の熱処理においては、このように
レーザ光５２の強度を均一化することが望ましく、カラ
イドスコープ５５による上記従来の方法は、他の方法に
比べて簡易な構成であり、被加工物５８の表面に集光す
るレーザ光５２の寸法の調整も比較的容易であるといっ
た利点を有する。
レーザ光５２の強度を均一化することが望ましく、カラ
イドスコープ５５による上記従来の方法は、他の方法に
比べて簡易な構成であり、被加工物５８の表面に集光す
るレーザ光５２の寸法の調整も比較的容易であるといっ
た利点を有する。
【０００６】このような構成のレーザ加工装置において
は、カライドスコープ５５がレーザ加工装置に固定され
ている。このため、例えば、図７に示すように矩形状で
照射されるレーザ光５２の任意の一辺に対し、平行また
は垂直方向に被加工物５８を相対移動する場合は、被加
工物５８が均一に加熱される。
は、カライドスコープ５５がレーザ加工装置に固定され
ている。このため、例えば、図７に示すように矩形状で
照射されるレーザ光５２の任意の一辺に対し、平行また
は垂直方向に被加工物５８を相対移動する場合は、被加
工物５８が均一に加熱される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図８に
示すように上記と異なる方向に被加工物５８を移動させ
る場合、下記のような問題が生じる。即ち、図７に示す
ようにレーザ光５２の任意の一辺に対し、平行または垂
直方向に被加工物５８を相対移動する場合は、矩形状の
レーザ光５２が通過する任意の２点、Ａ点及びＢ点での
レーザ光の照射時間は同一であるのに対し、図８に示す
ように、レーザ光５２の任意の一辺に対し、平行または
垂直方向以外の方向へ被加工物５８を相対移動する場合
は、矩形状のレーザ光５２が通過する任意の２点、Ａ点
及びＢ点でのレーザ光の照射時間は明らかに異なる。こ
のため被加工物５８の加熱は不均一となり、焼入れ硬化
層６１は不均一な状態で形成される。
示すように上記と異なる方向に被加工物５８を移動させ
る場合、下記のような問題が生じる。即ち、図７に示す
ようにレーザ光５２の任意の一辺に対し、平行または垂
直方向に被加工物５８を相対移動する場合は、矩形状の
レーザ光５２が通過する任意の２点、Ａ点及びＢ点での
レーザ光の照射時間は同一であるのに対し、図８に示す
ように、レーザ光５２の任意の一辺に対し、平行または
垂直方向以外の方向へ被加工物５８を相対移動する場合
は、矩形状のレーザ光５２が通過する任意の２点、Ａ点
及びＢ点でのレーザ光の照射時間は明らかに異なる。こ
のため被加工物５８の加熱は不均一となり、焼入れ硬化
層６１は不均一な状態で形成される。
【０００８】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、被加工物を如何なる方向へ移動
させても均一に加熱可能で、良好な加工品質を得ること
ができるレーザ加工装置を提供することを目的としてい
る。
になされたものであり、被加工物を如何なる方向へ移動
させても均一に加熱可能で、良好な加工品質を得ること
ができるレーザ加工装置を提供することを目的としてい
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明のレーザ加工装置は、レーザ発振器から出射さ
れるレーザ光の強度分布をカライドスコープによって均
一にした後、被加工物に照射することにより、被加工物
を加工するレーザ加工装置であって、前記被加工物を前
記レーザ光に対して相対移動可能に支持する移動手段
と、前記カライドスコープを前記レーザ光の光軸を中心
として装置本体に対し回転可能に支持する回転支持手段
と、前記回転支持手段を装置本体に対し回転させるため
の駆動手段と、前記移動手段による被加工物の相対移動
方向に基づいて前記駆動手段を制御する制御手段とを備
える。
に本発明のレーザ加工装置は、レーザ発振器から出射さ
れるレーザ光の強度分布をカライドスコープによって均
一にした後、被加工物に照射することにより、被加工物
を加工するレーザ加工装置であって、前記被加工物を前
記レーザ光に対して相対移動可能に支持する移動手段
と、前記カライドスコープを前記レーザ光の光軸を中心
として装置本体に対し回転可能に支持する回転支持手段
と、前記回転支持手段を装置本体に対し回転させるため
の駆動手段と、前記移動手段による被加工物の相対移動
方向に基づいて前記駆動手段を制御する制御手段とを備
える。
【００１０】
【作用】上記の構成を有する本発明のレーザ加工装置に
よれば、カライドスコープにより、レーザ光の強度分布
が均一化され、矩形状となって被加工物に照射される。
カライドスコープは、回転支持手段とその駆動手段によ
り、レーザ光の光軸を中心に、装置本体に対して回転運
動が可能である。制御手段は、被加工物を配置した移動
手段の動作に基づき、レーザ光に対する被加工物の移動
方向を認識し、その結果をもとに、カライドスコープに
よって形成される矩形状のレーザ光の任意の一辺が被加
工物の移動方向と平行または垂直となるように駆動手段
を駆動するものである。
よれば、カライドスコープにより、レーザ光の強度分布
が均一化され、矩形状となって被加工物に照射される。
カライドスコープは、回転支持手段とその駆動手段によ
り、レーザ光の光軸を中心に、装置本体に対して回転運
動が可能である。制御手段は、被加工物を配置した移動
手段の動作に基づき、レーザ光に対する被加工物の移動
方向を認識し、その結果をもとに、カライドスコープに
よって形成される矩形状のレーザ光の任意の一辺が被加
工物の移動方向と平行または垂直となるように駆動手段
を駆動するものである。
【００１１】
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００１２】最初に図１及び図２を参照して、本発明を
具体化したレーザ加工装置の概略を説明する。
具体化したレーザ加工装置の概略を説明する。
【００１３】本実施例のレーザ加工装置は、ＣＯ2レー
ザ発振器１、反射鏡２、加工ヘッド３、ＸＹテーブル
４、ＮＣ制御装置５及び駆動モータ制御装置６から構成
される。ＣＯ2レーザ発振器１から出力されるレーザ光
７は、波長が１０．６μｍ（マイクロ・メートル）であ
る。また、反射鏡２及び加工ヘッド３は、レーザ光７の
光軸上に配置されている。
ザ発振器１、反射鏡２、加工ヘッド３、ＸＹテーブル
４、ＮＣ制御装置５及び駆動モータ制御装置６から構成
される。ＣＯ2レーザ発振器１から出力されるレーザ光
７は、波長が１０．６μｍ（マイクロ・メートル）であ
る。また、反射鏡２及び加工ヘッド３は、レーザ光７の
光軸上に配置されている。
【００１４】加工ヘッド３内には、入射レンズ８、筒体
９、結像レンズ１０が配置されており、筒体９の内部に
はカライドスコープ１１が内蔵されている。カライドス
コープ１１は、４枚の平面反射鏡１２を四角柱形状とな
るように構成したものでありが対向し、その四角柱の内
面が反射鏡であるような構造である。
９、結像レンズ１０が配置されており、筒体９の内部に
はカライドスコープ１１が内蔵されている。カライドス
コープ１１は、４枚の平面反射鏡１２を四角柱形状とな
るように構成したものでありが対向し、その四角柱の内
面が反射鏡であるような構造である。
【００１５】カライドスコープ１１の回転支持手段とし
ての筒体９は、ベアリング１４及び保持部１５によって
加工ヘッド３に支持されている。なお、カライドスコー
プ１１の重心軸と筒体９の中心軸は、前記レーザ光７の
中心軸と一致するように配置されており、その中心軸を
中心として回転運動が可能である。
ての筒体９は、ベアリング１４及び保持部１５によって
加工ヘッド３に支持されている。なお、カライドスコー
プ１１の重心軸と筒体９の中心軸は、前記レーザ光７の
中心軸と一致するように配置されており、その中心軸を
中心として回転運動が可能である。
【００１６】さらに、加工ヘッド３には前記筒体９を回
転させる駆動手段としての駆動モータ１７が配置されて
いる。この駆動モータ１７と筒体９とは、筒体９の外側
面のプーリ１８、駆動モータ１７の出力端のプーリ１９
及びタイミングベルト２０によって連結されている。
転させる駆動手段としての駆動モータ１７が配置されて
いる。この駆動モータ１７と筒体９とは、筒体９の外側
面のプーリ１８、駆動モータ１７の出力端のプーリ１９
及びタイミングベルト２０によって連結されている。
【００１７】加工ヘッド３の下方には移動手段である周
知のＸＹテーブル４が配置されており、該ＸＹテーブル
４上には被加工物２１が配置されている。なお、被加工
物２１は鉄系材料であり、その表面にはレーザ光７の吸
収率を高めるための黒鉛系のレーザ光吸収剤２２が塗布
されている。
知のＸＹテーブル４が配置されており、該ＸＹテーブル
４上には被加工物２１が配置されている。なお、被加工
物２１は鉄系材料であり、その表面にはレーザ光７の吸
収率を高めるための黒鉛系のレーザ光吸収剤２２が塗布
されている。
【００１８】ＸＹテーブル４は、図示しないＸ方向回転
軸及びＹ方向回転軸を含んで構成されており、周知のモ
ータ等からなるＮＣ制御装置５によりＸ方向回転軸及び
Ｙ方向回転軸を回転させることにより、所望の方向へ移
動させることが可能である。このようにして、レーザ光
７に対してＸＹテーブル４上の被加工物２１を相対移動
させることで被加工物２１に対する加工が完了する。ま
た、ＮＣ制御装置５と駆動モータ１７とは、制御手段で
ある駆動モータ制御装置６によって連結されている。
軸及びＹ方向回転軸を含んで構成されており、周知のモ
ータ等からなるＮＣ制御装置５によりＸ方向回転軸及び
Ｙ方向回転軸を回転させることにより、所望の方向へ移
動させることが可能である。このようにして、レーザ光
７に対してＸＹテーブル４上の被加工物２１を相対移動
させることで被加工物２１に対する加工が完了する。ま
た、ＮＣ制御装置５と駆動モータ１７とは、制御手段で
ある駆動モータ制御装置６によって連結されている。
【００１９】次に図３乃至図５を参照して、本発明のレ
ーザ加工装置を用いた焼入れ加工の状態を説明する。
ーザ加工装置を用いた焼入れ加工の状態を説明する。
【００２０】ＣＯ2レーザ発振器１から出射されたレー
ザ光７は、円形であり、その中心へ向かうほどレーザ光
強度が強くなるような強度分布を有している。該レーザ
光７は、その光軸上に配置された反射鏡２によって方向
転換された後、加工ヘッド３内の入射レンズ８に入射す
る。入射レンズ８で集光されたレーザ光７は、カライド
スコープ１１の入力端２３より入射し、平面反射鏡１２
により多重反射された後、出力端２４より出射される。
そして、結像レンズ１０により結像されて被加工物２１
の表面に照射される。この時、レーザ光７はカライドス
コープ１１の形状の影響により矩形状となり、またレー
ザ光７の強度分布も均一化される。なお、カライドスコ
ープ１１から出射するレーザ光７の寸法は、入射レンズ
８、カライドスコープ１１、結像レンズ１０の各部品の
特性及び各部品間の距離等で定まるものであり、予め所
望の寸法になるよう、調節しておくものである。
ザ光７は、円形であり、その中心へ向かうほどレーザ光
強度が強くなるような強度分布を有している。該レーザ
光７は、その光軸上に配置された反射鏡２によって方向
転換された後、加工ヘッド３内の入射レンズ８に入射す
る。入射レンズ８で集光されたレーザ光７は、カライド
スコープ１１の入力端２３より入射し、平面反射鏡１２
により多重反射された後、出力端２４より出射される。
そして、結像レンズ１０により結像されて被加工物２１
の表面に照射される。この時、レーザ光７はカライドス
コープ１１の形状の影響により矩形状となり、またレー
ザ光７の強度分布も均一化される。なお、カライドスコ
ープ１１から出射するレーザ光７の寸法は、入射レンズ
８、カライドスコープ１１、結像レンズ１０の各部品の
特性及び各部品間の距離等で定まるものであり、予め所
望の寸法になるよう、調節しておくものである。
【００２１】このレーザ光７が被加工物２１の表面に照
射されると、被加工物２１の表面は焼入れ温度まで急加
熱される。また、被加工物２１はＸＹテーブル４がＮＣ
制御装置５によって移動するのに伴って移動するので、
レーザ光７の照射を受けた部分は所定時間の経過後にレ
ーザ光７の照射を受けなくなる。そのため、加熱された
部分は、被加工物２１内部への熱伝導によって急速に冷
却され、焼入れ硬化層２５となる。以上の過程が継続す
ることで、所定のパターンの焼入れ加工が完了するもの
である。
射されると、被加工物２１の表面は焼入れ温度まで急加
熱される。また、被加工物２１はＸＹテーブル４がＮＣ
制御装置５によって移動するのに伴って移動するので、
レーザ光７の照射を受けた部分は所定時間の経過後にレ
ーザ光７の照射を受けなくなる。そのため、加熱された
部分は、被加工物２１内部への熱伝導によって急速に冷
却され、焼入れ硬化層２５となる。以上の過程が継続す
ることで、所定のパターンの焼入れ加工が完了するもの
である。
【００２２】この時、例えば図４に示すように、ＸＹテ
ーブル４がＸ方向のみに移動する場合、被加工物２１上
に形成されるレーザ光７の任意の一辺２６は、移動方向
に対して平行である。この結果、矩形状のレーザ光７が
通過する被加工物２１上の任意の２点、Ａ点及びＢ点で
のレーザ光の照射時間は同一であり、均一に加熱される
ため、この照射により得られる焼入れ硬化層２５は均一
である。
ーブル４がＸ方向のみに移動する場合、被加工物２１上
に形成されるレーザ光７の任意の一辺２６は、移動方向
に対して平行である。この結果、矩形状のレーザ光７が
通過する被加工物２１上の任意の２点、Ａ点及びＢ点で
のレーザ光の照射時間は同一であり、均一に加熱される
ため、この照射により得られる焼入れ硬化層２５は均一
である。
【００２３】次に、図５に示すように、図４に示す被加
工物２１の移動に対して＋４５度の角度でＸＹテーブル
４が移動する場合を考える。
工物２１の移動に対して＋４５度の角度でＸＹテーブル
４が移動する場合を考える。
【００２４】ＮＣ制御装置５により上記のようにＸＹテ
ーブル４を移動させた場合、駆動モータ制御装置６はＸ
Ｙテーブル４のＸ方向及びＹ方向の移動量からその移動
方向（角度）を検出し、その角度に基づいて駆動モータ
１７を駆動し、カライドスコープ１１をレーザ光７の光
軸を中心として＋４５度回転させる。この結果、被加工
物２１上に形成されるレーザ光７の任意の一辺２６は、
図５に示すように、移動方向に対して平行となる。この
結果、矩形状のレーザ光７が通過する被加工物２１上の
任意の２点、Ｃ点及びＤ点でのレーザ光７の照射時間は
同一となり、被加工物２１の表面は均一に加熱されるた
め、この照射により得られる焼入れ硬化層２５は均一と
なる。
ーブル４を移動させた場合、駆動モータ制御装置６はＸ
Ｙテーブル４のＸ方向及びＹ方向の移動量からその移動
方向（角度）を検出し、その角度に基づいて駆動モータ
１７を駆動し、カライドスコープ１１をレーザ光７の光
軸を中心として＋４５度回転させる。この結果、被加工
物２１上に形成されるレーザ光７の任意の一辺２６は、
図５に示すように、移動方向に対して平行となる。この
結果、矩形状のレーザ光７が通過する被加工物２１上の
任意の２点、Ｃ点及びＤ点でのレーザ光７の照射時間は
同一となり、被加工物２１の表面は均一に加熱されるた
め、この照射により得られる焼入れ硬化層２５は均一と
なる。
【００２５】以上に示すように、ＮＣ制御装置５により
ＸＹテーブル４を任意の方向へ移動するように制御して
も、常に駆動モータ制御装置６が駆動モータ１７を駆動
してカライドスコープ１１を回転させる。これにより、
被加工物２１上に形成されるレーザ光７の任意の一辺２
６は、ＸＹテーブル４の移動方向に対して常に平行とな
るように追従するので、被加工物２１を均一に加熱する
ことができ、その結果、均一な加工品質を得ることが可
能となる。
ＸＹテーブル４を任意の方向へ移動するように制御して
も、常に駆動モータ制御装置６が駆動モータ１７を駆動
してカライドスコープ１１を回転させる。これにより、
被加工物２１上に形成されるレーザ光７の任意の一辺２
６は、ＸＹテーブル４の移動方向に対して常に平行とな
るように追従するので、被加工物２１を均一に加熱する
ことができ、その結果、均一な加工品質を得ることが可
能となる。
【００２６】本発明は、以上詳述した実施例に限定され
ることなく、その主旨を逸脱しない範囲において種々の
変更を加えることができる。
ることなく、その主旨を逸脱しない範囲において種々の
変更を加えることができる。
【００２７】例えば、被加工物２１の移動手段として
は、レーザ光７が被加工物２１に対して相対的に移動す
ればよい。すなわち、固定された被加工物２１に対して
加工ヘッド３が移動するような構造でもよい。
は、レーザ光７が被加工物２１に対して相対的に移動す
ればよい。すなわち、固定された被加工物２１に対して
加工ヘッド３が移動するような構造でもよい。
【００２８】また、カライドスコープ１１の前後に配置
される入射レンズ８及び結像レンズは、同等の機能を有
する光学部品であればよい。さらに、これらの光学部品
がカライドスコープ１１に連結され、駆動モータ１７に
よって連動するように構成されていても、本発明の効果
には影響しない。
される入射レンズ８及び結像レンズは、同等の機能を有
する光学部品であればよい。さらに、これらの光学部品
がカライドスコープ１１に連結され、駆動モータ１７に
よって連動するように構成されていても、本発明の効果
には影響しない。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のレーザ加工装置によれば、被加工物を如何なる方
向へ移動させても、カライドスコープによって被加工物
上に結像されるレーザ光の形状を移動方向に常に追従さ
せることが可能である。この結果、被加工物を均一に加
熱することができ、均一な加工品質を得られるといった
産業上著しい効果を奏する。
発明のレーザ加工装置によれば、被加工物を如何なる方
向へ移動させても、カライドスコープによって被加工物
上に結像されるレーザ光の形状を移動方向に常に追従さ
せることが可能である。この結果、被加工物を均一に加
熱することができ、均一な加工品質を得られるといった
産業上著しい効果を奏する。
【図１】本発明を具体化したレーザ加工装置の概略を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】本実施例のレーザ加工装置の加工ヘッド周辺の
詳細を示す断面図である。
詳細を示す断面図である。
【図３】本実施例のレーザ加工装置を用いた焼入れ加工
の状態を示した概略図である。
の状態を示した概略図である。
【図４】本実施例のレーザ加工装置を用いた焼入れ加工
の状態を示した平面図である。
の状態を示した平面図である。
【図５】本実施例のレーザ加工装置を用いた焼入れ加工
の状態を示した平面図である。
の状態を示した平面図である。
【図６】従来のレーザ加工装置の概略を示す断面図であ
る。
る。
【図７】従来のレーザ加工装置を用いた焼入れ加工の状
態を示した平面図である。
態を示した平面図である。
【図８】従来のレーザ加工装置を用いた焼入れ加工の状
態を示した平面図である。
態を示した平面図である。
１ ＣＯ2レーザ発振器 ３ 加工ヘッド ４ ＸＹテーブル ５ ＮＣ制御装置 ６ 駆動モータ制御装置 ７ レーザ光 ９ 筒体 １１ カライドスコープ １７ 駆動モータ ２１ 被加工物
Claims (1)
- 【請求項１】 レーザ発振器から出射されるレーザ光の
強度分布をカライドスコープによって均一にした後、被
加工物に照射することにより、被加工物を加工するレー
ザ加工装置において、 前記被加工物を前記レーザ光に対して相対移動可能に支
持する移動手段と、 前記カライドスコープを前記レーザ光の光軸を中心とし
て装置本体に対し回転可能に支持する回転支持手段と、 前記回転支持手段を装置本体に対し回転させるための駆
動手段と、 前記移動手段による被加工物の相対移動方向に基づいて
前記駆動手段を制御する制御手段とを備えることを特徴
とするレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4197053A JPH0639575A (ja) | 1992-07-23 | 1992-07-23 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4197053A JPH0639575A (ja) | 1992-07-23 | 1992-07-23 | レーザ加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0639575A true JPH0639575A (ja) | 1994-02-15 |
Family
ID=16367934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4197053A Pending JPH0639575A (ja) | 1992-07-23 | 1992-07-23 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0639575A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6225015B1 (en) | 1998-06-04 | 2001-05-01 | Mitsubishi Paper Mills Ltd. | Oxytitanium phthalocyanine process for the production thereof and electrophotographic photoreceptor to which the oxytitanium phthalocyanine is applied |
| JP2006296892A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Shibuya Kogyo Co Ltd | レーザ光成形装置とそれを用いた治療装置 |
| US8465890B2 (en) | 2010-08-30 | 2013-06-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electrophotographic photoconductor and image forming apparatus including the same, and coating solution for undercoat layer formation in electrophotographic photoconductor |
| US8568946B2 (en) | 2009-03-19 | 2013-10-29 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electrophotographic photoreceptor and image formation device comprising same |
| US8709690B2 (en) | 2009-07-27 | 2014-04-29 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electrophotographic photoreceptor and image forming apparatus including the same |
-
1992
- 1992-07-23 JP JP4197053A patent/JPH0639575A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6225015B1 (en) | 1998-06-04 | 2001-05-01 | Mitsubishi Paper Mills Ltd. | Oxytitanium phthalocyanine process for the production thereof and electrophotographic photoreceptor to which the oxytitanium phthalocyanine is applied |
| JP2006296892A (ja) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Shibuya Kogyo Co Ltd | レーザ光成形装置とそれを用いた治療装置 |
| US8568946B2 (en) | 2009-03-19 | 2013-10-29 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electrophotographic photoreceptor and image formation device comprising same |
| US8709690B2 (en) | 2009-07-27 | 2014-04-29 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electrophotographic photoreceptor and image forming apparatus including the same |
| US8465890B2 (en) | 2010-08-30 | 2013-06-18 | Sharp Kabushiki Kaisha | Electrophotographic photoconductor and image forming apparatus including the same, and coating solution for undercoat layer formation in electrophotographic photoconductor |
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