JPH0636364A - 記録再生装置 - Google Patents
記録再生装置Info
- Publication number
- JPH0636364A JPH0636364A JP19183692A JP19183692A JPH0636364A JP H0636364 A JPH0636364 A JP H0636364A JP 19183692 A JP19183692 A JP 19183692A JP 19183692 A JP19183692 A JP 19183692A JP H0636364 A JPH0636364 A JP H0636364A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- recording
- recording medium
- light
- reproducing apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ０．１μｍ角以下の微小な面積に信号を記録
できる超高密度記録再生装置を提供する。 【構成】 支持基体４に挟着したカンチレバー１の先端
部に探針２が設けられ、カンチレバー１および探針２の
外周部は金属膜５で覆われ、支持基体４側からレンズ８
を介してレーザー導入部７にレーザー光が導入され、先
端部６から読みだしまたは書き込みができる。
できる超高密度記録再生装置を提供する。 【構成】 支持基体４に挟着したカンチレバー１の先端
部に探針２が設けられ、カンチレバー１および探針２の
外周部は金属膜５で覆われ、支持基体４側からレンズ８
を介してレーザー導入部７にレーザー光が導入され、先
端部６から読みだしまたは書き込みができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は記録再生装置に関し、走
査トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦ
Ｍ）および光ＳＴＭ（ＰＳＴＭ）の原理を巧みに応用し
た、記録密度のきわめて大きな記録再生装置にかかるも
のである。
査トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）、原子間力顕微鏡（ＡＦ
Ｍ）および光ＳＴＭ（ＰＳＴＭ）の原理を巧みに応用し
た、記録密度のきわめて大きな記録再生装置にかかるも
のである。
【０００２】
【従来の技術】大容量記録再生装置としては、磁気ディ
スクや光ディスクが広く用いられている。これらの中で
最も高密度記録が可能な光ディスクにおいても、ビット
当りの面積は用いる光の波長により制限され、１μｍ角
程度である。
スクや光ディスクが広く用いられている。これらの中で
最も高密度記録が可能な光ディスクにおいても、ビット
当りの面積は用いる光の波長により制限され、１μｍ角
程度である。
【０００３】1980年代初めに、固体表面を原子オーダー
で観察できる装置として走査型トンネル顕微鏡（以後Ｓ
ＴＭと呼ぶ）が開発された。先端を鋭く尖らせた探針を
約１ｎｍの距離まで試料表面に近づけ、探針と試料の間
に適当な電圧を印加するとトンネル電流が流れる。この
トンネル電流の大きさは探針と試料の距離に依存するの
で、トンネル電流が一定になるように探針を上下動させ
ながら、探針を横方向に走査すれば、探針の上下動から
試料表面のナノメータースケールの凹凸を知ることがで
きる。また、探針に表面観察時より大きなパルス電圧を
印可することにより、試料表面に原子スケールから数百
ｎｍスケールの加工ができることも知られている。
で観察できる装置として走査型トンネル顕微鏡（以後Ｓ
ＴＭと呼ぶ）が開発された。先端を鋭く尖らせた探針を
約１ｎｍの距離まで試料表面に近づけ、探針と試料の間
に適当な電圧を印加するとトンネル電流が流れる。この
トンネル電流の大きさは探針と試料の距離に依存するの
で、トンネル電流が一定になるように探針を上下動させ
ながら、探針を横方向に走査すれば、探針の上下動から
試料表面のナノメータースケールの凹凸を知ることがで
きる。また、探針に表面観察時より大きなパルス電圧を
印可することにより、試料表面に原子スケールから数百
ｎｍスケールの加工ができることも知られている。
【０００４】このようなＳＴＭの探針としては、タング
ステンや白金イリジウムなどの金属細線の先端を、電解
研磨あるいは機械研磨して曲率半径を０．１μｍ以下に
したものが用いられている。
ステンや白金イリジウムなどの金属細線の先端を、電解
研磨あるいは機械研磨して曲率半径を０．１μｍ以下に
したものが用いられている。
【０００５】さらに近年、ＳＴＭは単にトンネル電流を
検出して表面の凹凸を観測したり、微細な加工をする手
段としてだけでなく、探針と試料表面の微小領域との相
互作用を利用した他の手段への応用展開がなされてきて
いる。
検出して表面の凹凸を観測したり、微細な加工をする手
段としてだけでなく、探針と試料表面の微小領域との相
互作用を利用した他の手段への応用展開がなされてきて
いる。
【０００６】例えば、探針先端と試料表面との間に生じ
る微小な原子間力の大きさをカンチレバーのたわみとし
て検出することにより、試料表面の凹凸をｎｍスケール
で測定する原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）や、透明な試料を
外部光源で照射し、先端の尖った光ファイバーの探針で
トンネルした光子を検出することにより、試料表面のｎ
ｍスケールでの光学特性の変化を測定する光ＳＴＭ（Ｐ
ＳＴＭ）などが開発されている。このようなＳＴＭから
派生した装置は、走査型プローブ顕微鏡と呼ばれてい
る。
る微小な原子間力の大きさをカンチレバーのたわみとし
て検出することにより、試料表面の凹凸をｎｍスケール
で測定する原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）や、透明な試料を
外部光源で照射し、先端の尖った光ファイバーの探針で
トンネルした光子を検出することにより、試料表面のｎ
ｍスケールでの光学特性の変化を測定する光ＳＴＭ（Ｐ
ＳＴＭ）などが開発されている。このようなＳＴＭから
派生した装置は、走査型プローブ顕微鏡と呼ばれてい
る。
【０００７】ＳＴＭはきわめて微細な観察や試料への電
子の注入ができるため、ＡＦＭと組み合わせることによ
り、１ビットの記録面積が０．１μｍ角以下の大容量記
録再生装置としての応用も提案されている（J.Appl.Phy
s. 70(5) 2725, 1 September1991）。
子の注入ができるため、ＡＦＭと組み合わせることによ
り、１ビットの記録面積が０．１μｍ角以下の大容量記
録再生装置としての応用も提案されている（J.Appl.Phy
s. 70(5) 2725, 1 September1991）。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＳＴＭ
を大容量記録再生装置として応用した場合、読み取りや
書き込み速度、安定性、寿命などに課題があり、さらに
高密度化、大容量化のため、１ビット当りの記録面積の
さらなる縮小が望まれている。
を大容量記録再生装置として応用した場合、読み取りや
書き込み速度、安定性、寿命などに課題があり、さらに
高密度化、大容量化のため、１ビット当りの記録面積の
さらなる縮小が望まれている。
【０００９】本発明は、記録媒体の微小領域の光学特性
や電気光学特性を電気的、熱的あるいは光学的に変化さ
せ記録するものであり、１ビットの記録面積を０．１μ
ｍ角以下の、読みだし書き込み速度が早く、信頼性の高
い大容量記録再生装置を提供することを目的とする。
や電気光学特性を電気的、熱的あるいは光学的に変化さ
せ記録するものであり、１ビットの記録面積を０．１μ
ｍ角以下の、読みだし書き込み速度が早く、信頼性の高
い大容量記録再生装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、記録媒体の微
小領域からの光を検出する検出手段、または、該微小領
域に光を照射する照射手段の少なくとも何れかの手段
と、該記録媒体の微小領域の電位測定手段、または、該
記録媒体の微小領域の電圧印加手段の少なくとも何れか
の手段とを具備した探針を含む書き込み読みだし素子を
含む記録再生装置によって、従来の課題を克服した。
小領域からの光を検出する検出手段、または、該微小領
域に光を照射する照射手段の少なくとも何れかの手段
と、該記録媒体の微小領域の電位測定手段、または、該
記録媒体の微小領域の電圧印加手段の少なくとも何れか
の手段とを具備した探針を含む書き込み読みだし素子を
含む記録再生装置によって、従来の課題を克服した。
【００１１】
【作用】本発明では、光照射手段または検出手段の何れ
かの手段と、電位測定手段または電圧印加手段の何れか
の手段とを一体化した探針を用いるため、記録媒体とし
て光照射により電気的特性、あるいは光学的特性が変化
する材料、熱（電流）や電界印加により電気的特性、あ
るいは光学的特性が変化する材料、光を照射しながら電
界を印加することにより電気的特性、あるいは光学的特
性が変化する材料など、広範囲の材料から選択でき、読
みだし書き込み速度が早く、信頼性の高い大容量記録再
生装置を実現できる。
かの手段と、電位測定手段または電圧印加手段の何れか
の手段とを一体化した探針を用いるため、記録媒体とし
て光照射により電気的特性、あるいは光学的特性が変化
する材料、熱（電流）や電界印加により電気的特性、あ
るいは光学的特性が変化する材料、光を照射しながら電
界を印加することにより電気的特性、あるいは光学的特
性が変化する材料など、広範囲の材料から選択でき、読
みだし書き込み速度が早く、信頼性の高い大容量記録再
生装置を実現できる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を具体的に説明する。
【００１３】図１（ａ）および（ｂ）に、本発明の書き
込み読みだし素子の一実施例の構成図を示す。支持基体
４に挟着したカンチレバー１の先端部に探針２が設けら
れ、カンチレバー１および探針２の外周部には金属膜５
で覆われている。カンチレバー１および探針２はともに
光透過性物質で構成され、支持基体４側からレンズ８を
介してレーザー光がレーザー光導入部７に導入される。
探針２は、図１（ｂ）に示したように例えば透明接着剤
３でカンチレバー１に接着してもよい。
込み読みだし素子の一実施例の構成図を示す。支持基体
４に挟着したカンチレバー１の先端部に探針２が設けら
れ、カンチレバー１および探針２の外周部には金属膜５
で覆われている。カンチレバー１および探針２はともに
光透過性物質で構成され、支持基体４側からレンズ８を
介してレーザー光がレーザー光導入部７に導入される。
探針２は、図１（ｂ）に示したように例えば透明接着剤
３でカンチレバー１に接着してもよい。
【００１４】カンチレバー１としては、例えばフォトリ
ソプロセス等により作成した、厚さ１μｍ程度のＳｉＯ
2等の透明な材料が適用できる。また、カンチレバー１
の長さは、約２００μｍ程度の三角形状が好ましい。
ソプロセス等により作成した、厚さ１μｍ程度のＳｉＯ
2等の透明な材料が適用できる。また、カンチレバー１
の長さは、約２００μｍ程度の三角形状が好ましい。
【００１５】このカンチレバー１の先端部に探針２を設
置する。探針２としては、例えば長さ約２０μｍ程度の
酸化亜鉛の針状結晶等が適用できる。探針２をカンチレ
バー１に固定する手法としては、例えばエポキシ系等の
透明接着剤３を用いて接着固定する手法等が挙げられ
る。
置する。探針２としては、例えば長さ約２０μｍ程度の
酸化亜鉛の針状結晶等が適用できる。探針２をカンチレ
バー１に固定する手法としては、例えばエポキシ系等の
透明接着剤３を用いて接着固定する手法等が挙げられ
る。
【００１６】カンチレバー１の根元の部分は、金属製の
支持基体４により保持されている。この支持基体４を含
むカンチレバー１の全面を、例えばスパッタリング法に
より厚さ１００ｎｍ程度の金薄膜５で被覆し、透明導電
膜とすることができる。
支持基体４により保持されている。この支持基体４を含
むカンチレバー１の全面を、例えばスパッタリング法に
より厚さ１００ｎｍ程度の金薄膜５で被覆し、透明導電
膜とすることができる。
【００１７】その後探針２の先端部６と、カンチレバー
１の根元のレーザー光導入部７に被覆された金薄膜５と
を、例えば機械的研磨により除去し、書き込み読みだし
素子ができる。
１の根元のレーザー光導入部７に被覆された金薄膜５と
を、例えば機械的研磨により除去し、書き込み読みだし
素子ができる。
【００１８】図２に、この書き込み読みだし素子１０を
とりつけた、本発明の記録再生装置の概略図を示す。構
造は従来の光ディスクとほぼ同じであるが、とりわけ書
き込み読みだし素子が異なる。
とりつけた、本発明の記録再生装置の概略図を示す。構
造は従来の光ディスクとほぼ同じであるが、とりわけ書
き込み読みだし素子が異なる。
【００１９】記録媒体９には、例えばフッ化ビニリデン
・三フッ化エチレン共重合体からなる強誘電性高分子等
が適用できる。記録媒体９は、モーター１２で回転する
金属ディスク１１上に形成し、探針２は光てこ方式の原
子間力顕微鏡の原理を利用して、回転する記録媒体９に
一定の圧力で接触する。つまり、制御用レーザー光源１
３からのレーザー光をカンチレバーに照射し、その反射
光を２分割フォトダイオードからなる光検出器１４で受
光し、出力が一定になるように２次元微動装置１５を用
いて探針２を上下方向に動かすことによりフィードバッ
ク制御した。２次元微動装置１５は、トラッキング制御
のためにディスクの直径方向にも微動させることができ
る。書き込み読みだし素子１０の直径方向の粗い移動
は、リニアモータを用いたスライド機構１７で行った。
・三フッ化エチレン共重合体からなる強誘電性高分子等
が適用できる。記録媒体９は、モーター１２で回転する
金属ディスク１１上に形成し、探針２は光てこ方式の原
子間力顕微鏡の原理を利用して、回転する記録媒体９に
一定の圧力で接触する。つまり、制御用レーザー光源１
３からのレーザー光をカンチレバーに照射し、その反射
光を２分割フォトダイオードからなる光検出器１４で受
光し、出力が一定になるように２次元微動装置１５を用
いて探針２を上下方向に動かすことによりフィードバッ
ク制御した。２次元微動装置１５は、トラッキング制御
のためにディスクの直径方向にも微動させることができ
る。書き込み読みだし素子１０の直径方向の粗い移動
は、リニアモータを用いたスライド機構１７で行った。
【００２０】記録時は、接地電位とした金属ディスク１
１に対して、探針２に数Ｖから十数Ｖの電圧を印加しな
がら、レーザー光源１６からの光をカンチレバー１を通
して探針２に導き、探針の先端６から記録媒体９に照射
した。照射領域の直径は約１００ｎｍであった。記録媒
体９のレーザーが照射された部分は加熱され、上向きに
分極された。探針２に印加する電圧の極性を負にした場
合は分極方向は逆転した。
１に対して、探針２に数Ｖから十数Ｖの電圧を印加しな
がら、レーザー光源１６からの光をカンチレバー１を通
して探針２に導き、探針の先端６から記録媒体９に照射
した。照射領域の直径は約１００ｎｍであった。記録媒
体９のレーザーが照射された部分は加熱され、上向きに
分極された。探針２に印加する電圧の極性を負にした場
合は分極方向は逆転した。
【００２１】再生時は、チョプした弱いレーザー光を探
針先端６から記録媒体９に照射し、強誘電性高分子（記
録媒体９）の表面に誘起される電荷を、導電性の酸化亜
鉛の探針２の先端部６で電位として検出した。電位の極
性は分極方向により変化した。
針先端６から記録媒体９に照射し、強誘電性高分子（記
録媒体９）の表面に誘起される電荷を、導電性の酸化亜
鉛の探針２の先端部６で電位として検出した。電位の極
性は分極方向により変化した。
【００２２】以上の方法により、直径１００ｎｍ以下の
領域に１ビットの信号を記録、再生、消去することがで
きた。
領域に１ビットの信号を記録、再生、消去することがで
きた。
【００２３】なお、本発明の記録再生装置は、例えば１
秒程度でランダムアクセスできるため、長時間の映像情
報の記録再生装置として最適である。
秒程度でランダムアクセスできるため、長時間の映像情
報の記録再生装置として最適である。
【００２４】また、探針の形状をさらに先鋭化すること
により記録面積を、さらに減少させることができ、より
超高密度記録再生装置の実現も可能である。
により記録面積を、さらに減少させることができ、より
超高密度記録再生装置の実現も可能である。
【００２５】上記実施例では、信号の書き込みには、探
針の電圧印加機能、および光照射機能を用い、読みだし
には、探針の電位測定機能、および光照射機能を利用し
たが、用いる記録媒体の種類により、探針の各種機能を
選択的に利用することができる。例えば、熱により光透
過率が変化する記録媒体を用いた場合は、信号の書き込
みには、探針と記録媒体との間に流す電流によるジュー
ル熱を利用し、読みだしには、記録媒体の裏面あるいは
表面に外部光源により光を照射しておき、探針の光検出
機能を利用することも可能であった。
針の電圧印加機能、および光照射機能を用い、読みだし
には、探針の電位測定機能、および光照射機能を利用し
たが、用いる記録媒体の種類により、探針の各種機能を
選択的に利用することができる。例えば、熱により光透
過率が変化する記録媒体を用いた場合は、信号の書き込
みには、探針と記録媒体との間に流す電流によるジュー
ル熱を利用し、読みだしには、記録媒体の裏面あるいは
表面に外部光源により光を照射しておき、探針の光検出
機能を利用することも可能であった。
【００２６】つまり、本発明の装置では、書き込み読み
だし素子に用いられている探針が、微細な電極としての
機能（電位測定、電圧印加、電流を流すための電極）
と、光を照射・検出する機能を合わせ持っているため、
書き込み、あるいは読みだし時に、これらの機能の内１
つ、あるいは２つ以上を同時に利用することができ、記
録媒体として多くの種類の材料から選択して用いること
ができ、また動作の確実性、安定性を高めることが可能
となった。
だし素子に用いられている探針が、微細な電極としての
機能（電位測定、電圧印加、電流を流すための電極）
と、光を照射・検出する機能を合わせ持っているため、
書き込み、あるいは読みだし時に、これらの機能の内１
つ、あるいは２つ以上を同時に利用することができ、記
録媒体として多くの種類の材料から選択して用いること
ができ、また動作の確実性、安定性を高めることが可能
となった。
【００２７】探針としては、上記実施例では導電性の酸
化亜鉛（ＺｎＯ）の針状結晶を用いたが、他にセレン化
亜鉛（ＺｎＳｅ）、炭化珪素（ＳｉＣ）などの針状結晶
を用いることができた。また先端を尖らせたガラスファ
イバーの表面を酸化インジウム（Ｉｎ2Ｏ3）などの透明
導電性材料で被覆したものも用いることができた。
化亜鉛（ＺｎＯ）の針状結晶を用いたが、他にセレン化
亜鉛（ＺｎＳｅ）、炭化珪素（ＳｉＣ）などの針状結晶
を用いることができた。また先端を尖らせたガラスファ
イバーの表面を酸化インジウム（Ｉｎ2Ｏ3）などの透明
導電性材料で被覆したものも用いることができた。
【００２８】
【発明の効果】以上述べたように本発明は、記録媒体の
微小領域からの光を検出する検出手段、または、該微小
領域に光を照射する照射手段の少なくとも何れかの手段
と、該記録媒体の微小領域の電位測定手段、または、該
記録媒体の微小領域の電圧印加手段の少なくとも何れか
の手段とを具備した探針を含む書き込み読みだし素子を
含む記録再生装置であるため、１ビットあたり０．１μ
ｍ角以下の面積での記録が可能となり、安定、確実に動
作する超高密度記録再生装置が実現できる。
微小領域からの光を検出する検出手段、または、該微小
領域に光を照射する照射手段の少なくとも何れかの手段
と、該記録媒体の微小領域の電位測定手段、または、該
記録媒体の微小領域の電圧印加手段の少なくとも何れか
の手段とを具備した探針を含む書き込み読みだし素子を
含む記録再生装置であるため、１ビットあたり０．１μ
ｍ角以下の面積での記録が可能となり、安定、確実に動
作する超高密度記録再生装置が実現できる。
【００２９】この装置は１秒程度でランダムアクセスで
きるため、長時間の映像情報の記録再生装置として最適
である。
きるため、長時間の映像情報の記録再生装置として最適
である。
【００３０】探針の形状をさらに先鋭化することにより
記録面積を、さらに減少させることができ、より超高密
度記録再生装置の実現も可能である。
記録面積を、さらに減少させることができ、より超高密
度記録再生装置の実現も可能である。
【図１】（ａ）は本発明の記録再生装置に適用される書
き込み読みだし素子の一実施例の構成を示す概念平面図 （ｂ）は本発明の記録再生装置に適用される書き込み読
みだし素子の一実施例の構成を示す概念断面側面図
き込み読みだし素子の一実施例の構成を示す概念平面図 （ｂ）は本発明の記録再生装置に適用される書き込み読
みだし素子の一実施例の構成を示す概念断面側面図
【図２】本発明の一実施例における記録再生装置の概略
図
図
１ カンチレバー ２ 探針 ３ 透明接着剤 ４ 支持基体 ５ 金薄膜 ６ 先端部 ７ レーザー光導入部 ８ レンズ ９ 記録媒体 １０ 書き込み読みだし素子 １１ 金属ディスク １２ モーター １３ 制御用レーザー光源 １４ 光検出器 １５ ２次元微動装置 １６ レーザー光源 １７ スライド機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 横山 和夫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (7)
- 【請求項１】記録媒体の微小領域からの光を検出する検
出手段、または、該微小領域に光を照射する照射手段の
少なくとも何れかの手段と、該記録媒体の微小領域の電
位測定手段、または、該記録媒体の微小領域の電圧印加
手段の少なくとも何れかの手段とを具備した探針を含む
書き込み読みだし素子を含むことを特徴とする記録再生
装置。 - 【請求項２】記録媒体への書き込みが、探針と記録媒体
との間に流す電流、探針による電圧印加、または、探針
からの光照射の少なくとも何れかであることを特徴とす
る、請求項１に記載の記録再生装置。 - 【請求項３】記録媒体からの読みだしが、該記録媒体の
光学特性の変化の検出、または、該記録媒体の電気特性
の変化の検出の少なくとも何れかであることを特徴とす
る、請求項１に記載の記録再生装置。 - 【請求項４】記録媒体からの読みだしが、探針からの光
照射、および、該記録媒体の電気特性の変化の検出で行
うことを特徴とする、請求項１に記載の記録再生装置。 - 【請求項５】探針が、透光性物質であり、該探針の少な
くとも記録媒体に対向する先端部分を透光性で導電性の
物質で被覆したことを特徴とする、請求項１に記載の記
録再生装置。 - 【請求項６】探針が、透光性かつ導電性を有する針状結
晶からなることを特徴とする、請求項１または６何れか
に記載の記録再生装置。 - 【請求項７】針状結晶が酸化亜鉛、セレン化亜鉛、炭化
シリコンの何れかであることを特徴とする、請求項６に
記載の記録再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19183692A JPH0636364A (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 記録再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19183692A JPH0636364A (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 記録再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0636364A true JPH0636364A (ja) | 1994-02-10 |
Family
ID=16281330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19183692A Pending JPH0636364A (ja) | 1992-07-20 | 1992-07-20 | 記録再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0636364A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999041741A1 (fr) * | 1998-02-10 | 1999-08-19 | Seiko Instruments Inc. | Appareil d'enregistrement de donnees |
| KR20200027566A (ko) * | 2017-08-03 | 2020-03-12 | 브루커 나노, 아이엔씨. | 열적으로 안정한, 스캐닝 프로브 현미경을 위한 드리프트 내성 프로브 및 제조 방법 |
-
1992
- 1992-07-20 JP JP19183692A patent/JPH0636364A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999041741A1 (fr) * | 1998-02-10 | 1999-08-19 | Seiko Instruments Inc. | Appareil d'enregistrement de donnees |
| KR20200027566A (ko) * | 2017-08-03 | 2020-03-12 | 브루커 나노, 아이엔씨. | 열적으로 안정한, 스캐닝 프로브 현미경을 위한 드리프트 내성 프로브 및 제조 방법 |
| JP2020530113A (ja) * | 2017-08-03 | 2020-10-15 | ブルカー ナノ インコーポレイテッドＢｒｕｋｅｒ Ｎａｎｏ，Ｉｎｃ． | 走査型プローブ顕微鏡用の熱的に安定した耐ドリフト性のプローブ及び製造方法 |
| US11644480B2 (en) | 2017-08-03 | 2023-05-09 | Bruker Nano, Inc. | Thermally stable, drift resistant probe for a scanning probe microscope and method of manufacture |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2602608B2 (ja) | 光データ記憶装置 | |
| US5471064A (en) | Precision machining method, precision machining apparatus and data storage apparatus using the same | |
| JPS6180536A (ja) | 原子規模密度情報記緑および読出し装置並びに方法 | |
| US4826732A (en) | Recording medium | |
| JP4060150B2 (ja) | マイクロ集積型近接場光記録ヘッド及びこれを利用した光記録装置 | |
| US4878213A (en) | System for recording and readout of information at atomic scale densities and method therefor | |
| KR100438833B1 (ko) | 전하를 이용한 정보저장장치 | |
| IL103357A (en) | Increased-area optical Raman data storage system | |
| JPH0765428A (ja) | 熱磁気記録再生消去方法および装置 | |
| US5654131A (en) | Optical memory medium | |
| KR100537498B1 (ko) | 전자 방출을 이용한 고밀도 정보 저장 장치 및 이를이용한 정보의 쓰기, 읽기 및 소거 방법 | |
| JPH0636364A (ja) | 記録再生装置 | |
| JP3209295B2 (ja) | 記録再生装置 | |
| JP2753590B2 (ja) | 高密度メモリー装置 | |
| JP3388221B2 (ja) | 記録媒体およびこれを用いた記録再生装置 | |
| JP2001291258A (ja) | 近接場光ヘッド、近接場光ヘッドの作製方法ならびに光情報記録再生装置 | |
| JP4169466B2 (ja) | 記録再生方法及び記録再生装置 | |
| JPH09282723A (ja) | 情報記録装置、情報記録方法及び情報再生方法 | |
| JPH1139738A (ja) | 光磁気ディスク及びそれを用いた記憶装置 | |
| JP2932524B2 (ja) | 記憶装置および記録・書換・再生方法 | |
| JP3209305B2 (ja) | 記録再生装置 | |
| JP2920915B2 (ja) | 記憶再生装置 | |
| JP2962603B2 (ja) | 情報記録方法 | |
| JPH06259821A (ja) | 記録再生装置 | |
| JPH09326141A (ja) | 情報記録装置及び情報記録方法 |