JPH06346095A - フッ素系洗浄溶剤組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 ＣＦ₃ ＣＨ（ＯＨ）ＣＦ₃ ，ＣＦ₃ ＣＨ（Ｏ
Ｈ）ＣＦ₂ ＣＦ₃ ，（ＣＦ₃ ）₃ ＣＯＨ及び（ＣＦ₃ ）
₂ （ＣＨ₃ ）ＣＯＨから選ばれるフッ素化アルコールの
少なくとも１種と、ＨＣＦＣ−２２５ｃａ及びＨＣＦＣ
−２２５ｃｂの少なくとも１種とを含むフッ素系洗浄溶
剤組成物である。 【効果】 本発明の洗浄溶剤組成物は、不燃性かつ低沸
点のフッ素化アルコールを使用するので、ＨＣＦＣ−２
２５ｃａ及び／又はＨＣＦＣ−２２５ｃｂと混合した場
合、組成の経時変化が小さく、安全でかつ安定な組成物
となるとともに、フラックスや油等の溶解除去性に優れ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は洗浄溶剤として優れた特
性を有するフッ素系洗浄溶剤組成物に関する。更に詳し
くは、半導体製造時に使用されるフラックス類の洗浄あ
るいは機械油の洗浄用に使用される溶剤組成物に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、洗浄溶剤としては、１，１，２−
トリクロロ−１，２，２−トリフルオロエタン（ＣＦＣ
−１１３）などのクロロフルオロエタン系化合物が広く
使用されている。これらの溶剤は、不燃性であり、さら
に、プラスチックなどの高分子材料を侵さず、油脂、グ
リース、ワックスなどを溶解するという選択的溶解性を
有するなどの性能を有している。

【０００３】しかしながら、これらのクロロフルオロエ
タン系化合物が大気中に放出された場合に、成層圏のオ
ゾン層を破壊し、その結果、地球上の生態系に悪影響を
及ぼすことが指摘され、これらの化合物は使用規制が実
施されることとなった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ＣＦＣ−１１３のよう
に分子内の水素が全て塩素およびフッ素で置換されたク
ロロフルオロエタン系化合物に替えて、分子内に水素原
子を残し対流圏での分解を可能とし、その結果大気中で
の寿命を短くする事によりオゾン層破壊及び地球温暖化
に与える影響を低減する方策が検討されている。

【０００５】例えば、１，１−ジクロロ−２，２，３，
３，３−ペンタフルオロプロパン（ＨＣＦＣ−２２５ｃ
ａ）及び１，３−ジクロロ−１，２，２，３，３−ペン
タフルオロプロパン（ＨＣＦＣ−２２５ｃｂ）などのヒ
ドロハロゲノプロパン類、及びその性能向上のため、こ
れに数種類のフッ素化アルコール（２，２，２−トリフ
ルオロエタノール、２，２，３，３−テトラフルオロプ
ロパノール、２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロ
パノール）を混合した溶剤組成物等が提案されている
（特開平３−１７０３４号公報等）。

【０００６】しかしながら、これらフッ素化アルコール
は、単独では可燃性であったり、また、いずれも基剤と
なるＨＣＦＣ−２２５ｃａ及びＨＣＦＣ−２２５ｃｂと
の沸点差が大きいために再利用時の組成変化が大きい等
の問題点を有しており、未だ高性能な代替フロン溶剤の
探索が検討されている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の如
き現状を鑑み研究を重ねた結果、個々の沸点、表面張力
等の物性値が従来の２，２，２−トリフルオロエタノー
ル、２，２，３，３−テトラフルオロプロパノール、及
び２，２，３，３，３−ペンタフルオロプロパノールよ
りも優れているフッ素化アルコールと、ハロゲン化炭化
水素としてＨＣＦＣ−２２５ｃａ（沸点：５１．１℃）
及び／又はＨＣＦＣ−２２５ｃｂ（沸点：５６．１℃）
を混合することにより、溶剤としての性能が高く、かつ
地球環境への影響が小さい溶剤となることを見いだし本
発明を完成するに至った。

【０００８】すなわち、本発明は、１，１，１，３，
３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール、１，
１，１，３，３，４，４，４−オクタフルオロブタン−
２−オール、２−トリフルオロメチル−１，１，１，
３，３，３−ヘキサフルオロプロパン−２−オール、及
び２−トリフルオロメチル−１，１，１−トリフルオロ
プロパン−２−オールから選ばれるフッ素化アルコール
の少なくとも１種と、ＨＣＦＣ−２２５ｃａ及びＨＣＦ
Ｃ−２２５ｃｂの少なくとも１種とを含むフッ素系洗浄
溶剤組成物に関するものである。

【０００９】本発明で使用されるフッ素化アルコール
は、１，１，１，３，３，３−ヘキサフルオロプロパン
−２−オール［ＣＦ₃ ＣＨ（ＯＨ）ＣＦ₃ ］、１，１，
１，３，３，４，４，４−オクタフルオロブタン−２−
オール［ＣＦ₃ ＣＨ（ＯＨ）ＣＦ₂ ＣＦ₃ ］、２−トリ
フルオロメチル−１，１，１，３，３，３−ヘキサフル
オロプロパン−２−オール［（ＣＦ₃ ）₃ ＣＯＨ］、２
−トリフルオロメチル−１，１，１−トリフルオロプロ
パン−２−オール［（ＣＦ₃ ）₂ （ＣＨ₃ ）ＣＯＨ］で
あり、これらは単独でもあるいは２種類以上の混合物と
しても使用できる。

【００１０】本発明で用いるフッ素化アルコールの代表
的な物性値を表１に示す。比較のため、従来のアルコー
ルの対応する物性値を表１に示すが、いずれも本発明の
フッ素化アルコールのほうが優れておりハロゲン化炭化
水素と混合した場合に、ハロゲン化炭化水素のもつ低沸
点、低表面張力の利点を損なうことなく溶剤としての性
能を高めることができる。

【００１１】

【表１】

【００１２】本発明で使用されるハロゲン化炭化水素Ｈ
ＣＦＣ−２２５ｃａ及びＨＣＦＣ−２２５ｃｂは、それ
ぞれ単独で使用しても、あるいは混合して使用してもよ
い。これら２種の混合物として使用する場合の混合比
は、製造法に由来する経済性により決定されるが、好ま
しくはＨＣＦＣ−２２５ｃａが４０〜６０重量％、ＨＣ
ＦＣ−２２５ｃｂが４０〜６０重量％である。

【００１３】本発明で用いられるフッ素系洗浄溶剤組成
物のハロゲン化炭化水素ＨＣＦＣ−２２５ｃａ及びＨＣ
ＦＣ−２２５ｃｂとフッ素化アルコールの混合比は、Ｈ
ＣＦＣ−２２５ｃａ及びＨＣＦＣ−２２５ｃｂの単独若
しくはこれらの混合物が６０〜９９重量％、及びフッ素
化アルコール１〜４０重量％であり、特に好ましくは、
ＨＣＦＣ−２２５ｃａ及びＨＣＦＣ−２２５ｃｂの単独
若しくはこれらの混合物が７５〜９５重量％、及びフッ
素化アルコール５〜２５重量％である。

【００１４】本発明の組成物の具体的な用途としては、
フラックス、グリース、油、ワックス、インキ等の除去
剤、塗料用溶剤、抽出剤、ガラス、セラミックス、プラ
スチック、ゴム、金属製各種物品、特にＩＣ部品、電気
機器、精密機械、光学レンズ等の洗浄剤等を挙げること
ができる。洗浄方法としては、手拭き、浸漬、スプレ
ー、揺動、超音波洗浄、蒸気洗浄等を採用すればよい。

【００１５】

【実施例】以下に実施例を挙げ、本発明をさらに具体的
に説明する。 ［実施例１〜４］ＨＣＦＣ−２２５ｃａ及びＨＣＦＣ−
２２５ｃｂの混合物、ＨＣＦＣ−２２５ｃａ／ｃｂ（重
量組成比ＨＣＦＣ−２２５ｃａ／ＨＣＦＣ−２２５ｃｂ
＝１／１）と、これにフッ素化アルコールを表２に示す
割合で混合した溶剤組成物を用いてフラックスの洗浄試
験を行った。

【００１６】プリント基板全面にフラックス（タムラＦ
−ＡＬ−４、タムラ製作所製）を塗布し、２００℃の電
気炉で２分間焼成後、本発明の組成物中に３分間浸漬し
た。比較例として、２，２，３，３，３−ペンタフルオ
ロプロパノール（比較例１）及びＣＦＣ−１１３の単独
（比較例２）を使用して同様の試験を行った。これらの
結果を表２に示す。

【００１７】

【表２】

【００１８】［実施例５〜８］本発明の組成物を用いて
機械油の洗浄試験を行った。ＳＵＳ−３０４のテストピ
ース（２５ｍｍ×３０ｍｍ×２ｍｍ厚）を機械油（ＣＱ
−３０ 日本石油（株）製）中に浸漬した後、本発明の
組成物中に３分間浸漬した。比較例として、２，２，
３，３，３−ペンタフルオロプロパノール（比較例３）
及びＣＦＣ−１１３の単独（比較例４）を使用して同様
の試験を行った。これらの結果を表３に示す。

【００１９】

【表３】

【００２０】

【発明の効果】本発明のフッ素系洗浄溶剤組成物は、従
来のアルコール類に較べて不燃性かつ低沸点のフッ素化
アルコールを使用するので、ＨＣＦＣ−２２５ｃａ及び
ＨＣＦＣ−２２５ｃｂと混合した場合、組成の経時変化
が小さく、安全でかつ安定な溶剤となるとともに、フラ
ックスや油等の溶解除去性に優れ、さらに従来のＣＦＣ
−１１３等と同様の使い方ができるため、従来技術の大
幅な変更を要しない等の利点がある。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ１１Ｄ 7:28 7:30） (71)出願人 000003300 東ソー株式会社 山口県新南陽市開成町4560番地 (71)出願人 000002200 セントラル硝子株式会社 山口県宇部市大字沖宇部5253番地 (74)上記４名の代理人 弁理士 内田 明 （外２名） (72)発明者 関屋 章 茨城県つくば市東１丁目１番 工業技術院 物質工学工業技術研究内 (72)発明者 高橋 満 東京都文京区本郷２−40−17本郷若井ビル 財団法人地球環境産業技術研究機構内 (72)発明者 後藤 嘉彦 東京都文京区本郷２−40−17本郷若井ビル 財団法人地球環境産業技術研究機構内 (72)発明者 須賀 淳雄 東京都文京区本郷２−40−17本郷若井ビル 財団法人地球環境産業技術研究機構内

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 １，１，１，３，３，３−ヘキサフルオ
   ロプロパン−２−オール、１，１，１，３，３，４，
   ４，４−オクタフルオロブタン−２−オール、２−トリ
   フルオロメチル−１，１，１，３，３，３−ヘキサフル
   オロプロパン−２−オール、及び２−トリフルオロメチ
   ル−１，１，１−トリフルオロプロパン−２−オールか
   ら選ばれるフッ素化アルコールの少なくとも１種と、
   １，１−ジクロロ−２，２，３，３，３−ペンタフルオ
   ロプロパン及び１，３−ジクロロ−１，２，２，３，３
   −ペンタフルオロプロパンの少なくとも１種とを含むフ
   ッ素系洗浄溶剤組成物。
2. 【請求項２】 フッ素化アルコール１〜４０重量％と
   １，１−ジクロロ−２，２，３，３，３−ペンタフルオ
   ロプロパン及び１，３−ジクロロ−１，２，２，３，３
   −ペンタフルオロプロパンの少なくとも１種６０〜９９
   重量％からなる請求項１に記載のフッ素系洗浄溶剤組成
   物。