JPH06341982A - 融液採取治具 - Google Patents
融液採取治具Info
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- JPH06341982A JPH06341982A JP5154301A JP15430193A JPH06341982A JP H06341982 A JPH06341982 A JP H06341982A JP 5154301 A JP5154301 A JP 5154301A JP 15430193 A JP15430193 A JP 15430193A JP H06341982 A JPH06341982 A JP H06341982A
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- melt
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 融液の固化により破損しても受け皿を必要と
しない融液採取治具を提供する。 【構成】 この融液採取治具は、石英るつぼ内のシリコ
ン融液を収容する収容部11と、この収容部11に連結
されるとともに、該収容部11を取り囲むように設けら
れた保持部13とを備え、上記シリコン融液を固化させ
たときの熱応力に対して上記収容部11は上記保持部1
3よりその機械的強度が弱い。このため、収容部11が
保持部13より早く破損する。この収容部11の破損に
よって、収容部11は保持部13に連結されなくなり、
落下する。収容部11の破損後、上記熱応力は保持部1
3に伝播しなくなる。保持部13を破損させることはな
い。この破損しない保持部13は収容部11を取り囲ん
でいるので、落下する収容部11を受け止めることがで
きる。
しない融液採取治具を提供する。 【構成】 この融液採取治具は、石英るつぼ内のシリコ
ン融液を収容する収容部11と、この収容部11に連結
されるとともに、該収容部11を取り囲むように設けら
れた保持部13とを備え、上記シリコン融液を固化させ
たときの熱応力に対して上記収容部11は上記保持部1
3よりその機械的強度が弱い。このため、収容部11が
保持部13より早く破損する。この収容部11の破損に
よって、収容部11は保持部13に連結されなくなり、
落下する。収容部11の破損後、上記熱応力は保持部1
3に伝播しなくなる。保持部13を破損させることはな
い。この破損しない保持部13は収容部11を取り囲ん
でいるので、落下する収容部11を受け止めることがで
きる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばCZ法(Czochr
alski crystal growth method)でシリコン単結晶棒を
引き上げた後、石英るつぼ中に残存するシリコン融液の
採取に用いられる融液採取治具に関するものである。
alski crystal growth method)でシリコン単結晶棒を
引き上げた後、石英るつぼ中に残存するシリコン融液の
採取に用いられる融液採取治具に関するものである。
【0002】
【従来の技術】CZ法によるシリコン単結晶棒の引き上
げは、石英るつぼ内のシリコン融液にシリコン単結晶の
種子結晶を浸し、この種子結晶を回転させながら徐々に
引き上げ、該種子結晶と同一方位の大口径のシリコン単
結晶棒を成長させるものである。このシリコン単結晶棒
の品質管理上、不純物元素がシリコン単結晶棒中にどの
程度の濃度で含まれているかを把握する必要がある。
げは、石英るつぼ内のシリコン融液にシリコン単結晶の
種子結晶を浸し、この種子結晶を回転させながら徐々に
引き上げ、該種子結晶と同一方位の大口径のシリコン単
結晶棒を成長させるものである。このシリコン単結晶棒
の品質管理上、不純物元素がシリコン単結晶棒中にどの
程度の濃度で含まれているかを把握する必要がある。
【0003】そこで、本出願人は、特願平3−9325
3号明細書において、以下の提案をした。すなわち、石
英るつぼ中のシリコン融液からシリコン単結晶棒を引き
上げた後、石英るつぼ中に残存するシリコン融液から高
純度の石英製採取治具を使用して試料を採集する。採集
後固化した試料を溶解して溶解液を得、この溶解液中の
不純物濃度を定量分析し、この定量分析された不純物濃
度からシリコン単結晶棒中の不純物濃度を算出する方法
である。この試料採取で使用する採取治具は、シリコン
融液の汚染防止のために高純度の石英により形成されて
いる。この治具は、図4に断面図で示すように、シリコ
ン融液を収容するための凹状の収容部41を有して形成
されている。
3号明細書において、以下の提案をした。すなわち、石
英るつぼ中のシリコン融液からシリコン単結晶棒を引き
上げた後、石英るつぼ中に残存するシリコン融液から高
純度の石英製採取治具を使用して試料を採集する。採集
後固化した試料を溶解して溶解液を得、この溶解液中の
不純物濃度を定量分析し、この定量分析された不純物濃
度からシリコン単結晶棒中の不純物濃度を算出する方法
である。この試料採取で使用する採取治具は、シリコン
融液の汚染防止のために高純度の石英により形成されて
いる。この治具は、図4に断面図で示すように、シリコ
ン融液を収容するための凹状の収容部41を有して形成
されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記採
取治具は採取したシリコン融液が固化するとき、シリコ
ン融液との熱膨張係数差に起因して生じる熱応力によっ
て破損しやすい。したがって、この破損した採取治具を
受け取めるための受け皿が必要となるという課題があっ
た。
取治具は採取したシリコン融液が固化するとき、シリコ
ン融液との熱膨張係数差に起因して生じる熱応力によっ
て破損しやすい。したがって、この破損した採取治具を
受け取めるための受け皿が必要となるという課題があっ
た。
【0005】
【発明の目的】そこで、本発明は、融液の固化により破
損しても受け皿等を必要としない融液採取治具を提供す
ることを、その目的としている。
損しても受け皿等を必要としない融液採取治具を提供す
ることを、その目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明に係る融液採取治
具は、融液を収容する収容部と、この収容部に連結され
るとともに、該収容部を取り囲むように設けられた保持
部とを備え、上記融液を固化させたときの熱応力に対し
て上記収容部は上記保持部より弱いものである。
具は、融液を収容する収容部と、この収容部に連結され
るとともに、該収容部を取り囲むように設けられた保持
部とを備え、上記融液を固化させたときの熱応力に対し
て上記収容部は上記保持部より弱いものである。
【0007】
【作用】本発明に係る融液採取治具にあっては、融液の
採取前、収容部は保持部に連結されている。すなわち、
この連結箇所を介して収容部は保持部に支持されてい
る。そして、この採取治具の収容部に融液を収容する。
この収容された融液が固化すると、その熱応力が収容部
から保持部に伝播する。この熱応力に対して、収容部は
保持部よりその機械的強度が弱いので、収容部が保持部
より早く破損する。この収容部の破損によって、収容部
は保持部に連結されなくなり、落下する。収容部の破損
後、上記熱応力は保持部に伝播しなくなる。このため、
保持部を破損させることはない。この破損しない保持部
は収容部を取り囲んでいるので、落下する収容部を受け
止めることができる。このため、この融液採取治具全体
として四散することなく、その収容部をその保持部が余
さず捕収する。したがって、融液の固化により採取治具
の一部が破損しても受け皿を必要としない。
採取前、収容部は保持部に連結されている。すなわち、
この連結箇所を介して収容部は保持部に支持されてい
る。そして、この採取治具の収容部に融液を収容する。
この収容された融液が固化すると、その熱応力が収容部
から保持部に伝播する。この熱応力に対して、収容部は
保持部よりその機械的強度が弱いので、収容部が保持部
より早く破損する。この収容部の破損によって、収容部
は保持部に連結されなくなり、落下する。収容部の破損
後、上記熱応力は保持部に伝播しなくなる。このため、
保持部を破損させることはない。この破損しない保持部
は収容部を取り囲んでいるので、落下する収容部を受け
止めることができる。このため、この融液採取治具全体
として四散することなく、その収容部をその保持部が余
さず捕収する。したがって、融液の固化により採取治具
の一部が破損しても受け皿を必要としない。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。
【0009】図1は本発明の第1実施例に係る結晶融液
の採取治具を示す断面図である。この採取治具10は、
シリコン単結晶引上装置の石英るつぼ内のシリコン融液
の採取に使用されるものである。採取治具10は、収容
部11と連結部12と保持部13とを備えている。この
採取治具10はシリコン融液を汚染しないような高純度
の石英により形成されている。例えば、表1に示す程度
の金属を含む石英を用いて採取治具10を形成した場
合、結晶引上後の残融液を採取治具10が汚染すること
はない。これは、短時間のうちに採取治具10中の融液
が固化するためである。
の採取治具を示す断面図である。この採取治具10は、
シリコン単結晶引上装置の石英るつぼ内のシリコン融液
の採取に使用されるものである。採取治具10は、収容
部11と連結部12と保持部13とを備えている。この
採取治具10はシリコン融液を汚染しないような高純度
の石英により形成されている。例えば、表1に示す程度
の金属を含む石英を用いて採取治具10を形成した場
合、結晶引上後の残融液を採取治具10が汚染すること
はない。これは、短時間のうちに採取治具10中の融液
が固化するためである。
【0010】
【表1】
【0011】この採取治具10の収容部11は上記シリ
コン融液を収容可能なものである。その連結部12は、
この収容部11を保持部13に連結するとともに、上記
シリコン融液が固化するとき保持部13より早く破損す
るものである。その保持部13は、連結部12の破損の
際、収容部11を受け止めるものである。
コン融液を収容可能なものである。その連結部12は、
この収容部11を保持部13に連結するとともに、上記
シリコン融液が固化するとき保持部13より早く破損す
るものである。その保持部13は、連結部12の破損の
際、収容部11を受け止めるものである。
【0012】詳しくは、収容部11は、小円筒11A
と、この小円筒11Aと同心円状に設けられ小円筒11
Aよりその直径が大きい大円筒11Cと、この大円筒1
1Cの底面および小円筒11Aの底面にそれぞれ結合さ
れた円環11Bと、で構成されている。これらの小円筒
11A、円環11Bおよび大円筒11Cに囲まれて所定
の容積を有する凹み11Dが形成され、この凹み11D
には、シリコン融液が注入される。なお、上記小円筒1
1A、円環11Bおよび大円筒11Cの肉厚はすべて等
しく形成している。但し、このように収容部11の各部
分の肉厚が等しいことは本願発明の必須構成要件ではな
い。
と、この小円筒11Aと同心円状に設けられ小円筒11
Aよりその直径が大きい大円筒11Cと、この大円筒1
1Cの底面および小円筒11Aの底面にそれぞれ結合さ
れた円環11Bと、で構成されている。これらの小円筒
11A、円環11Bおよび大円筒11Cに囲まれて所定
の容積を有する凹み11Dが形成され、この凹み11D
には、シリコン融液が注入される。なお、上記小円筒1
1A、円環11Bおよび大円筒11Cの肉厚はすべて等
しく形成している。但し、このように収容部11の各部
分の肉厚が等しいことは本願発明の必須構成要件ではな
い。
【0013】さらに、収容部11の大円筒11Cの外面
の上部には、円環板状の連結部12の内周縁が結合され
ている。この連結部12の肉厚は上記収容部11の各部
材のそれより薄いものである。なお、この連結部12の
表面に傷、切り欠き等を形成しておいてもよい。また、
連結部12の外周縁には、保持部13の大円筒13Aの
内の上部が結合されている。
の上部には、円環板状の連結部12の内周縁が結合され
ている。この連結部12の肉厚は上記収容部11の各部
材のそれより薄いものである。なお、この連結部12の
表面に傷、切り欠き等を形成しておいてもよい。また、
連結部12の外周縁には、保持部13の大円筒13Aの
内の上部が結合されている。
【0014】この保持部13は、大円筒13Aと、この
大円筒13Aの下面に結合された円板13Bと、上記収
容部11の小円筒11A内において、この円板13Bの
上面に結合された石英棒13Cとを備えている。なお、
13Dは円板13、大円筒13Aにより構成される凹み
である。保持部13は収容部11を取り囲んで形成され
ている。保持部13の各部材の厚さは上記収容部11の
各部材とすべて同じ肉厚である。すなわち、連結部12
より保持部13の各部材は厚いものである。したがっ
て、シリコン融液を固化させたとき発生する熱応力に対
して連結部12は保持部13よりその機械的強度が弱い
ものである。この結果、連結部12は保持部13より先
に破損する構成である。このように、この実施例にあっ
ては、収容部11および連結部12は、本願発明に係る
融液の収容部を構成するものであり、これらの収容部1
1および連結部12は保持部13により取り囲まれる構
成である。そして、上記連結部12の機械的強度が保持
部13のそれよりも弱く形成してある点については、上
述したようにその肉厚を薄くするのみでなく、その材質
を変更することにより連結部12の機械的強度を弱くす
るようにしてもよいことはもちろんである。
大円筒13Aの下面に結合された円板13Bと、上記収
容部11の小円筒11A内において、この円板13Bの
上面に結合された石英棒13Cとを備えている。なお、
13Dは円板13、大円筒13Aにより構成される凹み
である。保持部13は収容部11を取り囲んで形成され
ている。保持部13の各部材の厚さは上記収容部11の
各部材とすべて同じ肉厚である。すなわち、連結部12
より保持部13の各部材は厚いものである。したがっ
て、シリコン融液を固化させたとき発生する熱応力に対
して連結部12は保持部13よりその機械的強度が弱い
ものである。この結果、連結部12は保持部13より先
に破損する構成である。このように、この実施例にあっ
ては、収容部11および連結部12は、本願発明に係る
融液の収容部を構成するものであり、これらの収容部1
1および連結部12は保持部13により取り囲まれる構
成である。そして、上記連結部12の機械的強度が保持
部13のそれよりも弱く形成してある点については、上
述したようにその肉厚を薄くするのみでなく、その材質
を変更することにより連結部12の機械的強度を弱くす
るようにしてもよいことはもちろんである。
【0015】この保持部13の石英棒13Cを、シリコ
ン単結晶引上装置を構成するシード取付治具に固定し
て、採取治具10はシリコン融液を採取することが可能
となる。以下、シリコン単結晶引上装置に適用した採取
治具10の使用方法を説明する。
ン単結晶引上装置を構成するシード取付治具に固定し
て、採取治具10はシリコン融液を採取することが可能
となる。以下、シリコン単結晶引上装置に適用した採取
治具10の使用方法を説明する。
【0016】まず、シリコン単結晶引上装置を構成する
石英るつぼに所定量のシリコン融液を保持させる。この
シリコン融液からシリコン単結晶棒を引き上げる。その
後、シリコン単結晶棒の成長を終了し、シリコン単結晶
棒を冷却ゾーンに移動する。
石英るつぼに所定量のシリコン融液を保持させる。この
シリコン融液からシリコン単結晶棒を引き上げる。その
後、シリコン単結晶棒の成長を終了し、シリコン単結晶
棒を冷却ゾーンに移動する。
【0017】次に、シリコン単結晶棒を取り外したシー
ド取付治具に採取治具10の保持部13の石英棒13C
を取り付ける。このシード取付治具を石英るつぼ内のシ
リコン融液に向かって降下させる。採取治具10の収容
部11で必要量のシリコン融液残さをすくい取る。さら
に、このシリコン融液をすくい取った採取治具10を、
石英るつぼの上方に移動させる。
ド取付治具に採取治具10の保持部13の石英棒13C
を取り付ける。このシード取付治具を石英るつぼ内のシ
リコン融液に向かって降下させる。採取治具10の収容
部11で必要量のシリコン融液残さをすくい取る。さら
に、このシリコン融液をすくい取った採取治具10を、
石英るつぼの上方に移動させる。
【0018】上昇後、採取治具10の収容部11はシリ
コン融液残さと共に自然冷却する。そして、採取治具1
0とシリコン融液残さとの熱膨張係数差に起因して熱応
力が発生し、この熱応力が連結部12を介して保持部1
3に伝播する。しかしながら、連結部12は保持部13
より上記熱応力に対して弱いので、保持部13が破損す
る前に連結部12が破損する。このため、収容部11は
落下する。連結部12が破損した後、熱応力は保持部1
3に伝播しなくなる。このため、保持部13は破損しな
い。落下した収容部11は保持部13の大円筒13Aと
円板13Bとで囲まれた凹み13Dに受け止められる。
すなわち、破損した連結部12および収容部11と試料
(すくい取ったシリコン融液残さが固化したもの)は保
持部13の凹み13D上に四散するのみで、余さず捕収
される。
コン融液残さと共に自然冷却する。そして、採取治具1
0とシリコン融液残さとの熱膨張係数差に起因して熱応
力が発生し、この熱応力が連結部12を介して保持部1
3に伝播する。しかしながら、連結部12は保持部13
より上記熱応力に対して弱いので、保持部13が破損す
る前に連結部12が破損する。このため、収容部11は
落下する。連結部12が破損した後、熱応力は保持部1
3に伝播しなくなる。このため、保持部13は破損しな
い。落下した収容部11は保持部13の大円筒13Aと
円板13Bとで囲まれた凹み13Dに受け止められる。
すなわち、破損した連結部12および収容部11と試料
(すくい取ったシリコン融液残さが固化したもの)は保
持部13の凹み13D上に四散するのみで、余さず捕収
される。
【0019】次いで、採取治具10はシリコン単結晶引
上装置から取り出される。この採取治具10はテフロン
ビーカー内に回収される。試料には収容部11を構成し
ていた石英が付着しているので、テフロンビーカーに弗
酸を注入して石英を完全に溶解して除去する。残った試
料を水洗乾燥した後に、試料の重量を秤量し、試料全量
を所定量の硝弗酸で溶解する。この溶解液中の微量金属
不純物の濃度をICP−MS等の分析法で定量分析して
不純物濃度を決定する。この決定した不純物濃度を利用
して、シリコン単結晶棒のトップ部の不純物濃度が定量
化されるものである。
上装置から取り出される。この採取治具10はテフロン
ビーカー内に回収される。試料には収容部11を構成し
ていた石英が付着しているので、テフロンビーカーに弗
酸を注入して石英を完全に溶解して除去する。残った試
料を水洗乾燥した後に、試料の重量を秤量し、試料全量
を所定量の硝弗酸で溶解する。この溶解液中の微量金属
不純物の濃度をICP−MS等の分析法で定量分析して
不純物濃度を決定する。この決定した不純物濃度を利用
して、シリコン単結晶棒のトップ部の不純物濃度が定量
化されるものである。
【0020】したがって、採取治具10全体が破損する
ことがないので、従来必要であった破損した治具および
試料の回収用受け皿が不必要である。このため、シリコ
ン単結晶引上装置を構成するチャンバにおいて、上記受
け皿用取出口の改造が不要になる。
ことがないので、従来必要であった破損した治具および
試料の回収用受け皿が不必要である。このため、シリコ
ン単結晶引上装置を構成するチャンバにおいて、上記受
け皿用取出口の改造が不要になる。
【0021】また、残湯分析では、固化による不純物の
偏析のため、固化した残湯の全量を分析する必要があ
る。このため、従来分析は1回しか行うことができず、
ばらつき等を調べることができなかった。ところが、シ
ード取付治具の先端に上記採取治具を複数個設けること
により、同時に2以上のサンプルを容易に採取すること
ができる。これにより分析データの信頼性を高めること
ができる。
偏析のため、固化した残湯の全量を分析する必要があ
る。このため、従来分析は1回しか行うことができず、
ばらつき等を調べることができなかった。ところが、シ
ード取付治具の先端に上記採取治具を複数個設けること
により、同時に2以上のサンプルを容易に採取すること
ができる。これにより分析データの信頼性を高めること
ができる。
【0022】なお、連結部12より収容部11を早く破
損させる構成にしてもよい。例えば、連結部12および
保持部13より収容部11の肉厚を薄くする。
損させる構成にしてもよい。例えば、連結部12および
保持部13より収容部11の肉厚を薄くする。
【0023】また、融液の採取治具10による試料の回
収は、シリコン単結晶棒の引き上げ前に行ってもよい。
この結果、シリコン単結晶棒の引き上げ前後のシリコン
融液の分析を行うことが出来る。この分析により、チャ
ンバの汚染チェックが可能になる。さらに、引上中、ど
の時点で、どこから不純物がシリコン融液に混入してき
たかを推定することも可能である。また、シリコン単結
晶棒を引上後、採取治具10で試料を採取して、その
後、再度シリコン単結晶棒を成長させることも可能であ
る。
収は、シリコン単結晶棒の引き上げ前に行ってもよい。
この結果、シリコン単結晶棒の引き上げ前後のシリコン
融液の分析を行うことが出来る。この分析により、チャ
ンバの汚染チェックが可能になる。さらに、引上中、ど
の時点で、どこから不純物がシリコン融液に混入してき
たかを推定することも可能である。また、シリコン単結
晶棒を引上後、採取治具10で試料を採取して、その
後、再度シリコン単結晶棒を成長させることも可能であ
る。
【0024】次に、融液の採取治具の第2実施例を図2
を参照して説明する。この採取治具20も収容部21
と、連結部22と、保持部23と、を備える。これらの
収容部21、連結部22、保持部23も第1実施例と同
じ高純度石英製で一体構造に形成されている。この収容
部21は、立設され図中左側面に円形の孔21Eを形成
した孔付円筒21Aと、この孔付円筒21Aの図中、上
部および下部にそれぞれ結合した天板21B,底板21
Cと、を有している。天板21Bの中央部には、小孔2
1Dが鉛直方向に沿って形成されている。この小孔21
Dは、収容部21にシリコン融液を収容する際のガス抜
きのために設けられている。孔付円筒21Aには、横設
された円筒状の連結部22の右面が結合している。すな
わち、孔付円筒21Aの孔21Eと連結部22の内径と
は同じであり、孔21Eに、連結部22の空洞が連通す
るものである。
を参照して説明する。この採取治具20も収容部21
と、連結部22と、保持部23と、を備える。これらの
収容部21、連結部22、保持部23も第1実施例と同
じ高純度石英製で一体構造に形成されている。この収容
部21は、立設され図中左側面に円形の孔21Eを形成
した孔付円筒21Aと、この孔付円筒21Aの図中、上
部および下部にそれぞれ結合した天板21B,底板21
Cと、を有している。天板21Bの中央部には、小孔2
1Dが鉛直方向に沿って形成されている。この小孔21
Dは、収容部21にシリコン融液を収容する際のガス抜
きのために設けられている。孔付円筒21Aには、横設
された円筒状の連結部22の右面が結合している。すな
わち、孔付円筒21Aの孔21Eと連結部22の内径と
は同じであり、孔21Eに、連結部22の空洞が連通す
るものである。
【0025】この連結部22の左面に保持部23の大円
筒23Aが結合している。この大円筒23Aに形成され
た孔23Bは連結部22の空洞に連通している。孔23
Bの内径も連結部22の内径と等しい。大円筒23Aの
上部および下部には、上板23C,下板23Dがそれぞ
れ結合している。この上板23Cにシード取付治具の取
付用石英棒23Fが結合している。なお、この上板23
Cには複数の小孔23Eが形成されている。これらの小
孔23Eも収容部21にシリコン融液を収容する際のガ
ス抜きのために、また、引上装置のチャンバ中との圧力
差を同一にするため、設けられている。
筒23Aが結合している。この大円筒23Aに形成され
た孔23Bは連結部22の空洞に連通している。孔23
Bの内径も連結部22の内径と等しい。大円筒23Aの
上部および下部には、上板23C,下板23Dがそれぞ
れ結合している。この上板23Cにシード取付治具の取
付用石英棒23Fが結合している。なお、この上板23
Cには複数の小孔23Eが形成されている。これらの小
孔23Eも収容部21にシリコン融液を収容する際のガ
ス抜きのために、また、引上装置のチャンバ中との圧力
差を同一にするため、設けられている。
【0026】この実施例の融液の採取治具20にあって
は、連結部22は保持部23の大円筒23Aの一側面の
みに結合しているが、第1実施例の連結部12は保持部
13の大円筒13Aの内面に沿って結合している。すな
わち、第2実施例では、保持部23の一側面のみで連結
部22および収容部21を保持している。このため、第
2実施例の連結部22は収容部21、連結部22および
保持部23の肉厚をそれぞれ同じにしても、収容部21
で固化時に生じた応力は保持部23を破壊しない。その
他の作用は第1実施例と同じである。なお、連結部22
の肉厚は、収容部21の各構成部材および保持部23の
各構成部材より薄いものでもよい。さらに、連結部22
の表面に傷をつけておいてもよい。
は、連結部22は保持部23の大円筒23Aの一側面の
みに結合しているが、第1実施例の連結部12は保持部
13の大円筒13Aの内面に沿って結合している。すな
わち、第2実施例では、保持部23の一側面のみで連結
部22および収容部21を保持している。このため、第
2実施例の連結部22は収容部21、連結部22および
保持部23の肉厚をそれぞれ同じにしても、収容部21
で固化時に生じた応力は保持部23を破壊しない。その
他の作用は第1実施例と同じである。なお、連結部22
の肉厚は、収容部21の各構成部材および保持部23の
各構成部材より薄いものでもよい。さらに、連結部22
の表面に傷をつけておいてもよい。
【0027】次いで、図3に示す第3実施例を説明す
る。この実施例に係る結晶融液の採取治具30は、収容
部31と、連結部32と、保持部33と、を備える。こ
れらの収容部31、連結部32、保持部33も第1実施
例と同じ高純度石英製で一体構造に形成されている。こ
の保持部33は、石英棒33Aと、この石英棒33Aに
結合した中空構造の円錐台33Bと、この円錐台33B
に鉛直方向に形成された孔33Cと、円錐台33Bに結
合した大円筒33Dと、この大円筒33Dに結合した円
板33Eと、で構成されている。上記孔33Cには円筒
状の連結部32が結合している。この連結部32に収容
部31が結合している。上記孔33Cは鉛直方向に開口
しているため、収容部31に収容した融液が採取治具3
0から漏れにくいものである。円錐台33Bには、複数
の小孔33Fが形成されている。この作用は、第2実施
例の小孔23Eと同じである。その他の作用は、第2実
施例と同じである。
る。この実施例に係る結晶融液の採取治具30は、収容
部31と、連結部32と、保持部33と、を備える。こ
れらの収容部31、連結部32、保持部33も第1実施
例と同じ高純度石英製で一体構造に形成されている。こ
の保持部33は、石英棒33Aと、この石英棒33Aに
結合した中空構造の円錐台33Bと、この円錐台33B
に鉛直方向に形成された孔33Cと、円錐台33Bに結
合した大円筒33Dと、この大円筒33Dに結合した円
板33Eと、で構成されている。上記孔33Cには円筒
状の連結部32が結合している。この連結部32に収容
部31が結合している。上記孔33Cは鉛直方向に開口
しているため、収容部31に収容した融液が採取治具3
0から漏れにくいものである。円錐台33Bには、複数
の小孔33Fが形成されている。この作用は、第2実施
例の小孔23Eと同じである。その他の作用は、第2実
施例と同じである。
【0028】
【効果】以上説明してきたように、本発明によれば、融
液の採取治具は、その融液の固化により破損しても受け
皿を必要としないものである。また上記実施例にあって
は、破損して散らばらないため、同時に複数個の試料を
得ることができる。
液の採取治具は、その融液の固化により破損しても受け
皿を必要としないものである。また上記実施例にあって
は、破損して散らばらないため、同時に複数個の試料を
得ることができる。
【図1】本発明の第1実施例に係る結晶融液の採取治具
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図2】本発明の第2実施例に係る結晶融液の採取治具
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図3】本発明の第3実施例に係る結晶融液の採取治具
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図4】従来例に係る結晶融液の採取治具を示す断面図
である。
である。
10 融液採取治具 11 収容部 13 保持部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 降屋 久 埼玉県大宮市北袋町一丁目297番地 三菱 マテリアル株式会社中央研究所内 (72)発明者 新行内 隆之 埼玉県大宮市北袋町一丁目297番地 三菱 マテリアル株式会社中央研究所内
Claims (1)
- 【請求項1】 融液を収容する収容部と、 この収容部に連結されるとともに、該収容部を取り囲む
ように設けられた保持部とを備え、 上記融液を固化させたときの熱応力に対して上記収容部
は上記保持部より弱いものであることを特徴とする融液
採取治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5154301A JPH06341982A (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 融液採取治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5154301A JPH06341982A (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 融液採取治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06341982A true JPH06341982A (ja) | 1994-12-13 |
Family
ID=15581141
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5154301A Pending JPH06341982A (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 融液採取治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06341982A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006266813A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 融液採取治具及びこの融液採取治具を用いたインゴット製造装置 |
-
1993
- 1993-05-31 JP JP5154301A patent/JPH06341982A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006266813A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Komatsu Electronic Metals Co Ltd | 融液採取治具及びこの融液採取治具を用いたインゴット製造装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20000411 |