JPH06328323A - 電子部品装着機および移動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子部品の把持状態の撮像および識別を正確
に行うことができる電子部品装着機を提供する。 【構成】 可動ミラー移動機構４０は、電子部品装着機
の電子部品装着機構１に設けられ、電子部品装着機構１
による電子部品の把持状態が、可動ミラー３などを介し
てカメラで撮像および識別される。可動ミラー移動機構
４０は、電子部品装着機構の向きＸ１の移動が停止した
ときに、可動ミラー３、ボールネジシャフト４４および
ボールネジ４２の向きＸ１の慣性力がベルト４８ｂに働
き、質量体５２の向きＸ１の慣性力がベルト４８ｂに働
き、プーリ４６ａ，４５ｂは回転せず、可動ミラー３が
ボールネジ４２に沿って移動することを有効に抑制する
ことができ、その結果、電子部品の把持状態を正確に撮
像して識別し、修正することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば、プリント板
の所定位置に電子部品を装着する電子部品装着機などの
移動部を有する移動装置に関するものであり、特に、吸
収ノズル等に把持された電子部品の吸着状態を正確に撮
像し検証する電子部品装着機などの移動部を有する移動
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント板の自動組立において、ＩＣデ
バイス、微小なコンデンサ、抵抗器等の電子部品をプリ
ント板の所定の位置に装着（載置）するために電子部品
装着機が用いられている。電子部品装着機は、たとえ
ば、電子部品置場に置かれた電子部品を吸着し、その電
子部品を装着すべきプリント板の所定位置まで移動し、
その所定位置に電子部品を置くように構成される。プリ
ント板の所定位置に電子部品を正確に装着するにはプリ
ント板の正確な位置を識別し、さらに、電子部品を方向
をも含めて正確に所定位置に装着するには電子部品の吸
着状態を識別しなければならない。後者の吸着状態の識
別については、たとえば、ＩＣデバイスについて例示す
ると、吸着位置ずれまたは角度ずれがあるとプリント板
の穴にＩＣデバイスのピンが正しく挿入されないから、
カメラ等を用いて吸着状態を撮像し、この撮像結果を用
いてＩＣデバイスの吸着位置または角度調整を行ってか
らプリント板に装着する。

【０００３】図６（Ａ）は従来の従来の電子部品装着機
の全体の斜視図であり、図６（Ｂ）は図６（Ａ）の部分
拡大断面図である。図６（Ａ）において、電子部品装着
機は、Ｘ軸移動機構２４とＹ軸移動機構２０、２２から
なる。Ｘ軸移動機構２４には電子部品装着機構７１が装
着され、Ｘ軸移動機構２４のＸ軸方向に移動される。Ｘ
軸移動機構２４は、Ｙ軸移動機構２０、２２に沿ってＹ
軸方向に移動され、この移動に伴い電子部品装着機構７
１もＹ軸方向に移動される。

【０００４】この電子部品装着機では、電子部品置場２
６に載置されたＩＣデバイスなどの電子部品をプリント
基板２８に装着する際に、先ず、電子部品装着機構７１
がＸ軸移動機構２４およびＹ軸移動機構２０、２２によ
って電子部品置場２６まで移動される。このとき、ボー
ルネジ７４に固定されボールネジ７４の移動に応じて移
動する可動ミラー３は、図６（Ｂ）に示すように、サー
ボモータ７３によって駆動されるボールネジシャフト７
２の回転に応じて、内部が中空で真空吸着装置（図示せ
ず）に接続された回転部７１ｃおよび電子部品８２と接
触しない位置まで、固定ミラー２から遠ざかる水平Ｈ方
向に移動されている。そして、回転部８０が回転してそ
の先端が電子部品置場２６に載置された電子部品８２の
位置まで下降し、電子部品８２が回転部８０の先端に設
けられた吸着ノズルで真空吸着される。電子部品８２が
吸着されると、電子部品装着機構７１がＸ軸移動機構２
４およびＹ軸移動機構２０、２２によってプリント基板
２８の上方の所定位置まで移動される。電子部品装着機
構７１がプリント基板２８の上方の位置まで移動される
間に、回転部７１が上昇して吸着ノズルで吸着された電
子部品８２が所定の位置まで上昇する。

【０００５】また、電子部品装着機構７１がプリント基
板２８の上方の位置まで移動される間に、可動ミラー３
は、サーボモータ７３の回転駆動によるボールネジシャ
フト７２の回転に応じて、固定ミラー２に近づく水平Ｈ
方向に移動し、固定ミラー２および可動ミラー３を介し
てカメラ１４、１５、１６によって電子部品８２の吸着
状態の像が撮像され、電子部品８２の吸着ノズルに対す
る吸着状態が検出される。そして、この検出結果に応じ
て回転部８０の角度調整を行って電子部品８２の吸着状
態を修正し、この修正された電子部品８２がプリント基
板２８の所定の位置に置かれる。

【０００６】この電子部品装着機では、電子部品装着機
構７１によって電子部品置場２６に置かれた電子部品を
吸着し、プリント基板２８の所定位置に載置するまでの
間に、カメラ１５、１６、１８が撮像した電子部品８２
の吸着状態の像に基づいて、吸着ノズルに吸着された電
子部品の吸着位置ずれまたは角度ずれを検出して調整す
ることができ、電子部品８２をプリント基板２８の所定
位置に正確に置くことができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の電子部品装着機では、電子部品の吸着ノズルに対する
吸着状態の撮像または検出を行っている最中に、Ｘ軸移
動機構２４による電子部品装着機構７１のＸ方向におけ
る向きＸ１の移動が停止し、Ｘ軸移動機構２４による向
きＸ１の移動により生じた可動ミラー３の向きＸ１の慣
性力によってボールネジシャフト７２が回転してしま
い、ボールネジ７４が向きＸ１に移動してしまう場合が
ある。これは、ボールネジ７４を介した可動ミラー３の
移動は、ボールネジシャフト７２を介してサーボモータ
７３を用いて行っており、サーボモータ７３が位置制御
させられている指令位置よりずれた位置に動かされると
はじめて、元の制御位置に戻るようにサーボモータ７３
に復元力が働く。そして実際にその復元力は、可動ミラ
ー３の慣性力によって可動ミラー３が位置ずれした後に
働くことになるからボールネジ７４を介した可動ミラー
３の微小な位置ずれは不可避である。

【０００８】カメラ１４、１５、１６が、可動ミラー３
および固定ミラー２を介して、電子部品８２を撮像し、
電子部品８２の吸着ノズルに対しての吸着状態を検出し
ている最中に、上述したようにボールネジ７４がボール
ネジシャフト７２に対して向きＸ１に移動してずれる
と、つまり、可動ミラー３が固定ミラー２に対して向き
Ｘ１に移動してずれると、カメラ１４、１５、１６は電
子部品８２の正確な画像を撮像することができず、電子
部品８２の吸着ノズルに対しての吸着状態を正確に検出
することができず、その結果、電子部品装着機は、電子
部品８２の吸着位置または吸着角度の調整を正確に行う
ことができず、電子部品８２をプリント板に正確に置く
ことができない場合がある。このような問題は、電子部
品装置機に限らず、電子部品装着機と同様な移動部を有
する装置においても、上記同様の問題が発生する。

【０００９】本発明は、上述した問題を解決し、電子部
品の把持状態の撮像、識別を正確に行うことができる電
子部品装着機、および、電子部品装着機と同様移動部を
有する移動装置を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電子部品装着機は、たとえば、第１の移動
部としての電子部品装着手段のベースに対する移動によ
って第２の移動部としてのミラーに生じる慣性力を、打
ち消す質量体を有する機構を用いることでミラーの移動
を有効に抑制する。

【００１１】本発明の電子部品装着機は、前記電子部品
装着手段に設けられた所定の質量を有する質量体と、前
記電子部品装着手段の前記移動後の停止時に前記可動ミ
ラーの移動方向に残る前記可動ミラーの慣性力を打ち消
すように前記質量体に慣性力を働かせる可動ミラー微動
抑制手段とを有することを特徴とする。

【００１２】また、本発明の電子部品装着機の前記可動
ミラー微動抑制手段は、特定的には、前記可動ミラーの
移動方向とほぼ同一の方向に一列に設けられた少なくと
も２つのプーリと、該プーリに張着され、該プーリの回
転に連動して走行するベルトとを有し、該ベルトに、前
記可動ミラーと前記質量体とが、前記プーリが回転した
ときにそれぞれ相対する方向に移動するように取り付け
られていることを特徴とする。

【００１３】また、本発明の電子部品装着機の前記電子
部品装着手段は、特定的には、ボールネジシャフトを回
転駆動させる駆動部と、前記ボールネジシャフトの回転
に応じて転動し、前記可動ミラーを移動させるボールネ
ジとを有することを特徴とする。

【００１４】また、本発明の電子部品装着機の前記質量
体は、特定的には、前記可動ミラーと前記ボールネジと
の質量の総和とほぼ同一の質量を有することを特徴とす
る。

【００１５】また、本発明の移動装置は、第１の移動部
と、該第１の移動部に設けられ所定の方向に移動する第
２の移動部と、前記第１の移動部に設けられ所定の質量
を有する質量体と、前記第１の移動部の移動が停止した
ときに、前記第２の移動部の移動方向に残る前記第２の
移動部の慣性力を打ち消すように前記質量体に慣性力を
働かせ、前記第２の移動部の移動を防止する手段とを有
する。

【００１６】

【作用】本発明の電子部品装着機によれば、電子部品装
着手段に設けられた把持手段によって電子部品が把持さ
れ、電子部品が置かれる位置まで電子部品装着手段が移
動され、この移動にともない可動ミラーおよび質量体も
移動し、可動ミラーおよび質量体には上記移動にともな
う慣性力が生じる。上記電子部品装着手段の移動の最中
に、電子部品の把持状態が撮像手段によって撮像される
が、この撮像中に、電子部品装着手段の移動に変化が生
じる場合がある。電子部品装着手段の移動に変化が生じ
ると、上記移動により可動ミラーに残る慣性力が、該可
動ミラーを前記把持手段および電子部品に対して移動さ
せる向きに働くことがある。このとき、可動ミラー微動
抑制手段によって、上記質量体に残る慣性力が上記可動
ミラーに残る慣性力に働き、前記可動ミラーに残る慣性
力が打ち消される。その結果、前記可動ミラーの上記移
動が抑制され、撮像手段は、該可動ミラーを介して電子
部品の吸着状態を正確に撮像し、該撮像結果に基づいて
把持位置ずれまたは角度ずれを正確に検出し修正するこ
とができ、その結果、電子部品を所定の位置に正確に置
くことができる。

【００１７】

【実施例】図１は、本発明の実施例の電子部品装着機の
全体の射視図である。図２は、図１の部分拡大図であ
る。図３は、図２の部分拡大断面図である。図１におい
て、本実施例の電子部品装着機は、Ｘ軸移動機構２４と
Ｙ軸移動機構２０、２２からなる。Ｘ軸移動機構２４に
は電子部品装着機構１が装着されており、Ｘ軸移動機構
２４によって電子部品装着機構１がＸ軸方向に移動され
る。Ｘ軸移動機構２４は、Ｙ軸移動機構２０、２２に沿
ってＹ軸方向に移動され、この移動に伴い電子部品装着
機構１もＹ軸方向に移動される。

【００１８】図２において、電子部品装着機構１には、
固定ミラー２、可動ミラー３、ハーフミラーブロック
８、回転昇降吸着機構７、撮像手段としてのカメラ１
４、１５および１６、可動ミラー移動機構４０が搭載さ
れている。ハーフミラーブロック８には図５（Ａ）に示
すように、ハーフミラー３０〜３２が配設されている。
これらのハーフミラー３０〜３２はその上部のカメラ１
４〜１６に固定ミラー２からの映像を透過させる。カメ
ラ１４〜１６は倍率が異なり、それぞれ吸着ノズル５に
吸着された電子部品の大きさに応じて吸着状態を画像認
識するのに適切な倍率に設定されている。

【００１９】図３において、回転昇降吸着機構７には、
その下部に中空で真空吸着装置（図示せず）に接続され
た回転部１１が取り付けられていて、回転昇降吸着機構
７によりこの回転部１１が回転および昇降する。回転昇
降吸着機構７の下部には、カメラ１４の光軸に対して対
向する位置に発光ボックス１０が固定して設けられ、こ
の回転部１１がこの発光ボックス１０を貫通している。
回転部１１には、発光ボックス１０の下方に位置する部
分に透光板６が、また透光板６の下方に位置する先端に
電子部品を把持する手段としての吸着ノズル５がそれぞ
れ固定して取り付けられている。

【００２０】発光ボックス１０は、発光手段としての光
源１０ａ、１０ｂが内設された容器である。光源１０
ａ、１０ｂとしては、たとえば、発光ダイオードが用い
られる。発光ボックス１０の底面１０ｄは遮光性の部材
で構成され、この底面１０ｄに形成された、たとえば、
円形状の開口部１０ｃから光源１０ａ、１０ｂの光が電
子部品４を含む領域にカメラ１４と対向する側からカメ
ラ１４の光軸に沿って平行に射出される。

【００２１】透光板６は、たとえば、その中心に回転部
１１を通す貫通口を有する円板形状を有し、透光性の、
たとえば、デルリン（商品名：アメリカ E.I． du Pont
deNemours & Co.Inc）として知られているポリアセタ
ール等の乳白色樹脂で構成される。この透光板６は、光
源１０ａ、１０ｂからの光の光強度を均一化して電子部
品４に照射させる。このように、光源１０ａ、１０ｂか
らの光を、光射出部６ｂを介して電子部品４を吸着した
吸着ノズル５の先端と対向する位置から電子部品４に均
一に照射させることで、電子部品４の像の背景の明るさ
を高めることができ、さらに、カメラ１４の撮像に電子
部品４ａの背景に存する物の不必要な像が映し出される
のを防止できる。この電子部品４ａの像は、図２に示す
ように、可動ミラー３および固定ミラー２で反射され、
反射された像がカメラ１４、１５、１６によって撮像さ
れる。

【００２２】可動ミラー３を水平Ｈ方向に移動させる可
動ミラー移動機構４０について詳細に説明する。図４
は、図２に示す電子部品装着機構のうち可動ミラー移動
機構４０に関する部分を拡大した図である。可動ミラー
移動機構４０は、可動ミラー３を図２および図４に示す
水平Ｈ方向に移動させる機構であり、従来技術としで説
明したような、Ｘ軸移動機構２４による電子部品装着機
構１のＸ方向の移動が停止したときに可動ミラー３が図
４に示すサーボモータ５０のロック力に反して移動する
ことを防止できる機構である。可動ミラー移動機構４０
は、取付部５４、ボールネジ４２、ボールネジシャフト
４４、プーリ４６ａ、４６ｂ、ベルト４８、サーボモー
タ５０および質量体５２で構成される。

【００２３】取付部５４は、可動ミラー３およびボール
ネジ４２に固定して取り付けられ、可動ミラー３をボー
ルネジ４２の転動に連動して移動させる。サーボモータ
５０は、ボールネジシャフト４４を回転駆動する。ボー
ルネジシャフト４４は、ボールネジ４２のボールを通過
させる溝がらせん状に形成され、サーボモータ５０によ
って駆動されて回転する。ボールネジ４２は、ボールネ
ジシャフト４４に形成された溝を通過するボールが内部
に設けられ、ボールネジシャフト４４の回転に応じて転
動し、水平Ｈ方向に移動する。

【００２４】プーリ４６ａ、４６ｂは、ボールネジシャ
フト４４に沿った位置に形成され、ベルト４８の走行に
連動して回転する。ベルト４８は、所定の張力を有して
プーリ４６ａ、４６ｂに取り付けられている。このベル
ト４８には、ボールネジ４２が固定して取り付けられ、
ボールネジ４２の移動に連動して走行する。また、ベル
ト４８には、上のベルト４８ａに質量体５２が固定さ
れ、下のベルト４８ｂにボールネジ４２が固定されてい
る。質量体５２は、可動ミラー３、取付部５４およびボ
ールネジ４２の質量の総和に相当する質量を有する。

【００２５】この可動ミラー移動機構４０は、図１に示
すＸ軸移動機構２４による電子部品装着機構１の向きＸ
１の移動が停止したときに以下のように働く。電子部品
装着機構１が向きＸ１に移動すると、この移動にともな
い可動ミラー３および可動ミラー移動機構４０の上述し
た構成要素も向きＸ１に移動し、これら構成要素には向
きＸ１の慣性力が生じる。電子部品装着機構１の向きＸ
１の移動が停止したとき、可動ミラー３および可動ミラ
ー移動機構４０の上述した構成要素には、上記移動にと
もなう向きＸ１の慣性力が残存している。質量体５２の
Ｘ１方向の慣性力はベルト４８ａに働き、可動ミラー
３、取付部５４およびボールネジ４２の慣性力のＸ１方
向の慣性力はベルト４８ｂに働き、その結果、プーリ４
６ａ、４６ｂを回転しない。

【００２６】すなわち、可動ミラー３、取付部５４、ボ
ールネジ４２および質量体５２は電子部品装着機構１と
連動するため同じ向きに同じ速度を有し、また、可動ミ
ラー３、取付部５４およびボールネジ４２の質量の総和
と質量体５２の質量とはほぼ同一であるため、質量体５
２の慣性力と可動ミラー３、取付部５４およびボールネ
ジ４２の慣性力とは向きＸ１に同じ大きさを有する。そ
の結果、ベルト４８ａ、４８ｂを介してプリー４６ａ、
４６ｂに加わる回転力がつりあって、プーリ４６ａ、４
６ｂは回転せず、可動ミラー移動機構４０の電子部品４
に対しての移動が有効に抑制される。そのため、電子部
品装着機構１の向きＸ１の移動が停止した時、可動ミラ
ー３は電子部品４に対して移動せず、電子部品４の撮像
が正確に行われる。電子部品装着機構１が向きＸ１とは
逆の向きに移動する場合にも、上述した可動ミラー移動
機構４０によって、可動ミラー３の電子部品２に対して
の移動が有効に抑制される。

【００２７】以下、図１〜４、図５（Ａ）〜（Ｃ）を参
照して、本実施例の電子部品装着機の動作を述べる。図
５（Ａ）〜（Ｃ）は電子部品４をプリント基板２８に装
着する例を示す。吸着ノズル５が電子部品４を装着する
場合、まず、Ｘ軸移動機構２４がＹ軸移動機構２０、２
２によってＹ軸方向に位置決めされ、次いで、電子部品
装着機構１がＸ軸移動機構２４によってＸ方向に位置決
めされる。これにより、電子部品装着機構１に搭載され
た吸着ノズル５が装着すべき電子部品が置かれている電
子部品置場２６のＸ、Ｙ方向に位置決めされる。Ｘ、Ｙ
方向に位置決めがされると、図５（Ａ）に示すように、
回転昇降吸着機構７によって回転部１１が下降し、回転
部１１の先端に取り付けられた吸着ノズル５が電子部品
置場２６の部品位置まで下降され、電子部品４を真空吸
着する。吸着ノズル５が電子部品４を吸着すると、吸着
ノズル５が電子部品装着機構１のＸ方向の移動、Ｘ軸移
動機構２４のＹ方向の移動によってプリント基板２８の
装着位置までの移動が開始する。

【００２８】電子部品４が吸着ノズル５に真空吸着され
ると、上記電子部品搬送の過程において、図５（Ｂ）に
示すように、回転昇降吸着機構７によって吸着ノズル５
が高さＨ１だけ上昇されつつ、可動ミラー移動機構４０
によって可動ミラー３が図示右方向に移動される。可動
ミラー３の移動は吸着された電子部品４に衝突しないよ
うに行われる。この吸着ノズル５の上昇は、吸着された
電子部品４をハーフミラー３０、カメラ１４を介して電
子部品４を認識することにより判断する。すなわち、電
子部品４を吸着した吸着ノズル５の上昇はカメラ１４で
認識されない状態から、認識される状態まで回転昇降吸
着機構７によってその上昇動作が行われる。この上昇位
置において、電子部品４の横方向の吸着状態の識別、す
なわち、水平Ｈ方向から見た電子部品４の吸着状態をカ
メラ１４からの画像データを基に図示しない画像処理部
によって識別が行われる。

【００２９】カメラ１４を介して電子部品４の吸着状態
が認識され 吸着ノズル５の上昇が停止すると、ハーフ
ミラー３０、カメラ１４によって電子部品４の正確な吸
着状態がカメラ１４によって識別される。この場合の部
品吸着状態の識別は、可動ミラー３、固定ミラー２、ハ
ーフミラー３０、カメラ１４の光学系によって行われ
る。

【００３０】光学系による識別は、図３および図５
（Ｂ）に示すように、発光ボックス１０に内設された光
源１０ａ、１０ｂからの光が発光ボックス１０の底面１
０ｄに形成された開口部１０ｃから射出され、透光板６
に入力する。そして、透光板６に入力した光は、透光板
６によって均一化され、カメラ１４が電子部品４を撮像
する側の対向する側からカメラ１４の光軸に沿って平行
に電子部品４に照射される。そして、可動ミラー３およ
び固定ミラー２を介して電子部品４の像をカメラ１４で
撮像し、このカメラ１４からの画像データを基に図示し
ない画像処理部によって識別を行うことで、電子部品４
の横方向の吸着状態の認識、すなわち、水平Ｈ方向から
見た電子部品４の吸着状態の識別が行われる。部品吸着
状態の識別が終了すると、可動ミラー３は可動ミラー移
動機構４０によって再び破線で示す元の位置まで後退さ
せられる。

【００３１】このように、吸着ノズル５の上昇、可動ミ
ラー３の移動、電子部品４の吸着状態の識別は、電子部
品４を吸着した吸着ノズル５が電子部品装着機構１のＸ
方向の移動、Ｘ軸移動機構２４のＹ方向の移動によって
プリント基板２８の装着位置まで移動される間に行われ
るが、上述したカメラ１４による電子部品４の撮像およ
び吸着状態の識別が行われている最中に、Ｘ軸移動機構
２４による電子部品装着機構１のＸ方向の移動が停止す
る場合がある。このとき、上述したように可動ミラー移
動機構４０によって、可動ミラー３、取付部５４および
ボールネジ４２の慣性力と、質量体５２の慣性力とがつ
りあい可動ミラー３の電子部品４に対しての移動が抑制
され、電子部品４の吸着状態が可動ミラー３および固定
ミラー２を介してカメラ１４によって正確に撮像し識別
され、吸着位置および吸着角度が適切に修正される。

【００３２】電子部品４を吸着した吸着ノズル５がプリ
ント基板２８の装着位置の上部まで下降させられると、
図５（Ｃ）に示すように、電子部品４がプリント基板２
８の装着位置に載置される。すなわち、吸着ノズル５が
回転昇降吸着機構７によって、電子部品４がプリント基
板２８の装着位置に当接するまで下降させられ、電子部
品４の吸着を解く。これにより、電子部品４がプリント
基板２８の所定位置に置かれる。このとき、上述したよ
うに、電子部品４の吸着ノズルへの吸着状態は、適切に
修正されているため、電子部品４はプリント基板２８の
所定位置に正確に置かれる。電子部品４がプリント基板
２８に置かれると、吸着ノズル５が回転昇降吸着機構７
によって上昇させられ、再び、電子部品装着機構１、Ｘ
軸移動機構２４を駆動して吸着ノズル５を電子部品置場
２６まで移動させる。

【００３３】前記動作を制御し部品吸着状態の識別を行
う画像処理部は、たとえば、マイクロコンピュータで実
現される。すなわち、Ｘ軸移動機構２４の位置制御、Ｙ
軸移動機構２０、２２の位置制御、回転昇降吸着機構７
の回転、昇降、吸着制御、可動ミラー移動機構４０の移
動制御、部品上昇位置検出、電子部品吸着状態の識別、
そして、必要に応じて行われる電子部品の回転位置調整
はマイクロコンピュータによって行われる。

【００３４】このように本発明の電子部品装着機では、
カメラ１４による電子部品４の吸着状態の撮像および識
別の最中に、Ｘ軸移動機構２４による電子部品装着機構
１のＸ方向の移動が停止した場合にも、可動ミラー移動
機構４０を用いることで、可動ミラー３に生じた慣性力
によって可動ミラー３が移動することを有効に抑制する
ことができ、カメラ１４による電子部品４の吸着状態の
撮像および識別を精度よく行うことできる。その結果、
電子部品４の吸着位置または角度調整を正確に行い、電
子部品４をプリント基板２８の所定の位置に正確に置く
ことができる。

【００３５】本発明は、上述した実施例に限定されな
い。特に、可動ミラー移動機構４０は、電子部品装着機
構１の移動によって可動ミラー３および質量体５２に対
して生じる慣性力を、それぞれ相対する方向に働かせる
ような構成を有するものであれば、上述した構成に限定
されない。また、上述した実施例では、可動ミラー３、
取付部５４およびボールネジ４２の質量の総和と、質量
体５２の質量とがほぼ同一の場合について説明したが、
ボールネジ４２とボールネジシャフト４４との間に生じ
る摩擦などを考慮し、可動ミラー３、取付部５４および
ボールネジ４２の質量の総和と、質量体５２の質量との
関係を調整するようにしてもよい。また、把持手段は、
上述した吸着ノズルに限定されず、真空吸着および磁気
吸着はもとより、把持等をも含む。

【００３６】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の電子部品
装着機および移動装置によれば、電子部品の吸着状態の
撮像および識別の最中に、電子部品装着手段のベースに
対しての移動に変化が生じた場合にも、ミラーの移動を
有効に抑制することができ、電子部品の把持状態を正確
に撮像および識別することができる。そのため、電子部
品の把持位置または角度の調整を正確に行い、電子部品
をプリント基板などに正確に載置することができ、電子
部品装着機および移動装置の信頼性および電子部品の載
置精度の向上を図ることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施例の電子部品装着機の実施例の全体構成
射視図である。

【図２】図１の電子部品装着機構の拡大射視図である。

【図３】図２の電子部品装着機構の部分拡大断面図であ
る。

【図４】図２の電子部品装着機構の部分拡大部である。

【図５】本実施例の電子部品装着機の動作形態を示す図
であり、（Ａ）は電子部品を吸着を開始するときの動作
形態であり、（Ｂ）は電子部品の吸着状態を撮像すると
きの動作形態であり、（Ｃ）は電子部品をプリント基板
に装着するときの動作形態である。

【図６】（Ａ）は従来の電子部品装着機の全体斜視図で
あり、（Ｂ）は（Ａ）の一部拡大斜視図である。

【符号の説明】

１、７１・・電子部品装着機構 ２・・固定ミラー ３・・可動ミラー ４、８２・・電子部品 ５・・吸着ノズル ６、・・透光板 ７・・回転昇降吸着機構 ８・・ハーフミラーブロック ９・・可動ミラー移動機構 １０・・発光ボックス １０ａ、１０ｂ・・光源 １１、８０・・回転部 １４、１５、１６、５６・・カメラ ２０、２２・・Ｙ軸移動機構 ２４・・Ｘ軸移動機構 ２６・・電子部品置場 ２８・・プリント基板 ３０、３１、３２・・ミラー ４０・・可動ミラー移動機構 ４２、７４・・ボールネジ ４４、７２・・ボールネジシャフト ４６ａ、４６ｂ・・プーリ ４８・・ベルト ５０、７３・・サーボモータ ５２・・質量体 ５４・・取付部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】移動可能な電子部品装着手段に設けられた
   把持手段で電子部品を把持し、前記電子部品装着手段を
   移動させる段階で、前記電子部品装着手段に設けられた
   前記把持手段に対して移動可能な可動ミラーを介して前
   記電子部品の把持状態の撮像を行う電子部品装着機にお
   いて、 前記電子部品装着手段に設けられた所定の質量を有する
   質量体と、 前記電子部品装着手段の前記移動後の停止時に前記可動
   ミラーの移動方向に残る前記可動ミラーの慣性力を打ち
   消すように前記質量体に慣性力を働かせる可動ミラー微
   動抑制手段とを有することを特徴とする電子部品装着
   機。
2. 【請求項２】前記可動ミラー微動抑制手段は、 前記可動ミラーの移動方向とほぼ同一の方向に一列に設
   けられた少なくとも２つのプーリと、 該プーリに張着され、該プーリの回転に連動して走行す
   るベルトとを有し、 該ベルトに、前記可動ミラーと前記質量体とが、前記プ
   ーリが回転したときにそれぞれ相対する方向に移動する
   ように取り付けられていることを特徴とする請求項１記
   載の電子部品装着機。
3. 【請求項３】前記電子部品装着手段は、 ボールネジシャフトを回転駆動させる駆動部と、 前記ボールネジシャフトの回転に応じて転動し、前記可
   動ミラーを移動させるボールネジとを有することを特徴
   とする請求項１または２記載の電子部品装着機。
4. 【請求項４】前記質量体は、前記可動ミラーと前記ボー
   ルネジとの質量の総和とほぼ同一の質量を有することを
   特徴とする請求項１〜３いずれか記載の電子部品装着
   機。
5. 【請求項５】第１の移動部と、 該第１の移動部に設けられ所定の方向に移動する第２の
   移動部と、 前記第１の移動部に設けられ所定の質量を有する質量体
   と、 前記第１の移動部の移動が停止したときに、前記第２の
   移動部の移動方向に残る前記第２の移動部の慣性力を打
   ち消すように前記質量体に慣性力を働かせ、前記第２の
   移動部の移動を防止する手段とを有する移動装置。