JPH06320432A - 真空ピンセット - Google Patents
真空ピンセットInfo
- Publication number
- JPH06320432A JPH06320432A JP10856393A JP10856393A JPH06320432A JP H06320432 A JPH06320432 A JP H06320432A JP 10856393 A JP10856393 A JP 10856393A JP 10856393 A JP10856393 A JP 10856393A JP H06320432 A JPH06320432 A JP H06320432A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum tweezers
- opening
- wafer
- suction
- tweezers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】 ウエハにダストを付着さすことなく、取扱
い、保管などが簡便な真空ピンセットを得ること。 【構成】 この真空ピンセット1は吸着部2、吸着操作
保持部3及び圧縮排気操作部4とから構成され、圧縮排
気操作部4を握り潰してその中の空気を外部へ排気し、
その状態でウエハSに接近させ、前記吸着操作装置9の
開閉杆21を押圧して前記吸着部2の開口5から空気を
一気に流入させることにより、そこの生じた負圧によ
り、図4に示したように、吸着部2でウエハSを吸着で
きるようにしている。 【効果】 吸着しようとするウエハに対してダストを吹
き付けることがなく、しかも持ち運び易く、保管も簡単
にできる。
い、保管などが簡便な真空ピンセットを得ること。 【構成】 この真空ピンセット1は吸着部2、吸着操作
保持部3及び圧縮排気操作部4とから構成され、圧縮排
気操作部4を握り潰してその中の空気を外部へ排気し、
その状態でウエハSに接近させ、前記吸着操作装置9の
開閉杆21を押圧して前記吸着部2の開口5から空気を
一気に流入させることにより、そこの生じた負圧によ
り、図4に示したように、吸着部2でウエハSを吸着で
きるようにしている。 【効果】 吸着しようとするウエハに対してダストを吹
き付けることがなく、しかも持ち運び易く、保管も簡単
にできる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、偏平体、例えば、半
導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」」と記す)の製造プ
ロセスでウエハの保持に使用する真空ピンセットに関す
るものである。
導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」」と記す)の製造プ
ロセスでウエハの保持に使用する真空ピンセットに関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】現在、半導体ウエハ製造プロセスで使用
されている真空ピンセットはカールしたナイロン製チュ
ーブで建屋に設置されたバキュームターミナルに接続さ
れている。
されている真空ピンセットはカールしたナイロン製チュ
ーブで建屋に設置されたバキュームターミナルに接続さ
れている。
【0003】そのためバキュームターミナルが無い所で
は、そのような真空ピンセットを使用することができ
ず、またバキュームターミナルが近くにあっても高所な
どチューブが届かない所では使用できない。更にまた、
チューブがあるため、そのチューブが邪魔になったり、
作業者が脚で引っ掛けてウエハを破損するなどの事故が
現に見受けられた。
は、そのような真空ピンセットを使用することができ
ず、またバキュームターミナルが近くにあっても高所な
どチューブが届かない所では使用できない。更にまた、
チューブがあるため、そのチューブが邪魔になったり、
作業者が脚で引っ掛けてウエハを破損するなどの事故が
現に見受けられた。
【0004】チューブ付きの真空ピンセットにはこのよ
うな不都合があるために、このチューブを無くした真空
ピンセットの一構成が特開平4−146083の公開公
報に開示されている。その構成を図7に断面図と一部平
面図とで示した。
うな不都合があるために、このチューブを無くした真空
ピンセットの一構成が特開平4−146083の公開公
報に開示されている。その構成を図7に断面図と一部平
面図とで示した。
【0005】図7において、符号51は吸着部で吸着面
51Aとストッパー51Bを備え、ウエハの裏面を吸着
できるように構成されており、符号52は吸引ゴムから
なる吸着操作部で、中央部にリブ53を用けて「ヒョウ
タン」型にし、復帰力を持たせ、手で圧縮できるように
構成されている。符号54は吸着部51と吸着操作部5
2とをつなぐホルダーである。
51Aとストッパー51Bを備え、ウエハの裏面を吸着
できるように構成されており、符号52は吸引ゴムから
なる吸着操作部で、中央部にリブ53を用けて「ヒョウ
タン」型にし、復帰力を持たせ、手で圧縮できるように
構成されている。符号54は吸着部51と吸着操作部5
2とをつなぐホルダーである。
【0006】このような構成で、図7Aの状態におい
て、吸着操作部52を握り、縮小させると、吸着操作部
52とホルダー54内部の空気が排出される。その後、
この状態で吸着部51をウエハの裏面に付け、吸着操作
部52の握りを緩めると、吸引ゴムの復帰力により内部
が負圧になり、ウエハは吸着部51に吸着されることに
なる。ウエハの吸着解除は、再度、吸着操作部51を握
り、その内圧を正圧にすることによって行っている。
て、吸着操作部52を握り、縮小させると、吸着操作部
52とホルダー54内部の空気が排出される。その後、
この状態で吸着部51をウエハの裏面に付け、吸着操作
部52の握りを緩めると、吸引ゴムの復帰力により内部
が負圧になり、ウエハは吸着部51に吸着されることに
なる。ウエハの吸着解除は、再度、吸着操作部51を握
り、その内圧を正圧にすることによって行っている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】以上記した構成によ
り、現用のチューブ付き真空ピンセットの前記欠点を除
去することができるが、致命的な欠点はウエハが最も嫌
うダストを排出することである。即ち、ウエハを吸着す
るために、吸着部51をウエハに近づけ、吸着操作保持
部52を握り、圧縮させた時、前記内部の空気が吸着部
51から排出するため、この排出空気がウエハに掛か
り、その空気に含まれたダストをウエハの表面に付着さ
せることになる。このダストの発生は前記吸着操作保持
部などの構成材料が使用中に劣化して発生するものであ
る。この発明はこのような問題点を解決することを課題
とするものである。
り、現用のチューブ付き真空ピンセットの前記欠点を除
去することができるが、致命的な欠点はウエハが最も嫌
うダストを排出することである。即ち、ウエハを吸着す
るために、吸着部51をウエハに近づけ、吸着操作保持
部52を握り、圧縮させた時、前記内部の空気が吸着部
51から排出するため、この排出空気がウエハに掛か
り、その空気に含まれたダストをウエハの表面に付着さ
せることになる。このダストの発生は前記吸着操作保持
部などの構成材料が使用中に劣化して発生するものであ
る。この発明はこのような問題点を解決することを課題
とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】それ故、この発明の真空
ピンセットは、ウエハのような偏平体を吸着するための
開口が開けられ、内部にその開口に連通した通気孔が形
成された吸着部と、前記通気孔に連通した通気孔が形成
され、この通気孔を開閉できる吸着操作装置を備えた吸
着操作保持部と、この吸着操作保持部の前記吸着部と異
なる端部に連結され、前記後者の通気孔に連通して常時
外方に膨出しようとする力が働き、一部分に外開きの逆
止弁が設けられている空気室で形成された圧縮排気操作
部とから構成し、前記課題を解決した。
ピンセットは、ウエハのような偏平体を吸着するための
開口が開けられ、内部にその開口に連通した通気孔が形
成された吸着部と、前記通気孔に連通した通気孔が形成
され、この通気孔を開閉できる吸着操作装置を備えた吸
着操作保持部と、この吸着操作保持部の前記吸着部と異
なる端部に連結され、前記後者の通気孔に連通して常時
外方に膨出しようとする力が働き、一部分に外開きの逆
止弁が設けられている空気室で形成された圧縮排気操作
部とから構成し、前記課題を解決した。
【0009】
【作用】従って、前記圧縮排気操作部を圧縮しても、そ
の内部の空気は前記吸着部の方へは排出されず、この圧
縮排気操作部の一部に形成された逆止弁が開放して、こ
の逆止弁から排出されるので、ウエハにダストを付着さ
せることがない。
の内部の空気は前記吸着部の方へは排出されず、この圧
縮排気操作部の一部に形成された逆止弁が開放して、こ
の逆止弁から排出されるので、ウエハにダストを付着さ
せることがない。
【0010】
【実施例】次に、この発明の真空ピンセットの実施例を
図1乃至図6を用いて説明する。図1はこの発明の第1
の実施例である真空ピンセットの外観斜視図であり、図
2は図1に示した真空ピンセットの部分断面図であっ
て、同図Aは図1のAーA線上における断面図、同図B
は同図Aの矢印で示した逆止弁の拡大断面図、同図Cは
図1のBーB線上における断面図であり、図3は図1の
真空ピンセットの使用方法の説明図であって、同図Aは
第1段階を説明するための断面図、同図Bは第2段階を
説明するための外観斜視図、同図Cは第3段階を説明す
るための断面図であり、図4はこの発明の真空ピンセッ
トの持ち方を説明するための外観斜視図であり、図5は
この発明の第2の実施例である真空ピンセットの外観斜
視図であり、そして図6この発明の第3の実施例である
真空ピンセットの外観斜視図である。
図1乃至図6を用いて説明する。図1はこの発明の第1
の実施例である真空ピンセットの外観斜視図であり、図
2は図1に示した真空ピンセットの部分断面図であっ
て、同図Aは図1のAーA線上における断面図、同図B
は同図Aの矢印で示した逆止弁の拡大断面図、同図Cは
図1のBーB線上における断面図であり、図3は図1の
真空ピンセットの使用方法の説明図であって、同図Aは
第1段階を説明するための断面図、同図Bは第2段階を
説明するための外観斜視図、同図Cは第3段階を説明す
るための断面図であり、図4はこの発明の真空ピンセッ
トの持ち方を説明するための外観斜視図であり、図5は
この発明の第2の実施例である真空ピンセットの外観斜
視図であり、そして図6この発明の第3の実施例である
真空ピンセットの外観斜視図である。
【0011】先ず、この発明の第1の実施例の真空ピン
セットを説明する。図1において、符号1は全体として
真空ピンセットを指す。この真空ピンセット1は吸着部
2、吸着操作保持部3及び圧縮排気操作部4とから構成
されている。
セットを説明する。図1において、符号1は全体として
真空ピンセットを指す。この真空ピンセット1は吸着部
2、吸着操作保持部3及び圧縮排気操作部4とから構成
されている。
【0012】前記吸着部2はウエハのような偏平体を吸
着するための開口5が開けられ、内部にその開口に連通
した通気孔6(図3A、C)が形成されいる。また、前
記吸着操作保持部3はこの通気孔6に連通した通気孔7
(図3A、C)が内部に形成されたパイプ8からなり、
この通気孔7を開閉できる吸着操作装置9が設けられて
いる。
着するための開口5が開けられ、内部にその開口に連通
した通気孔6(図3A、C)が形成されいる。また、前
記吸着操作保持部3はこの通気孔6に連通した通気孔7
(図3A、C)が内部に形成されたパイプ8からなり、
この通気孔7を開閉できる吸着操作装置9が設けられて
いる。
【0013】そして、前記圧縮排気操作部4はこの吸着
操作保持部3の前記吸着部2と異なる端部に連結されて
おり、そして前記通気孔7と連通していて、図2Aに示
したように、常時外方に膨出しようとする力が働き、一
部分に外開きの逆止弁10が設けられている空気室11
に形成されている。この圧縮排気操作部4はゴムなどで
構成するとよい。
操作保持部3の前記吸着部2と異なる端部に連結されて
おり、そして前記通気孔7と連通していて、図2Aに示
したように、常時外方に膨出しようとする力が働き、一
部分に外開きの逆止弁10が設けられている空気室11
に形成されている。この圧縮排気操作部4はゴムなどで
構成するとよい。
【0014】前記逆止弁10は圧縮排気操作部4の吸着
操作保持部3と連結している側とは正反対の側に設けら
れていて、図2Bに示したように、この逆止弁10は、
吸着操作保持部3の一部表面に形成された開口12を取
り囲んで固定され、その開口12とほぼ同一口径の開口
13が開けられた保護枠14と、その内部に在って、前
記保護枠14の内部底面の一側縁でヒンジ15で支持さ
れ、矢印の一方向に開くような構造で前記開口12を開
閉する開閉弁16とで構成されている。
操作保持部3と連結している側とは正反対の側に設けら
れていて、図2Bに示したように、この逆止弁10は、
吸着操作保持部3の一部表面に形成された開口12を取
り囲んで固定され、その開口12とほぼ同一口径の開口
13が開けられた保護枠14と、その内部に在って、前
記保護枠14の内部底面の一側縁でヒンジ15で支持さ
れ、矢印の一方向に開くような構造で前記開口12を開
閉する開閉弁16とで構成されている。
【0015】また、前記吸着操作装置9は、パイプ8の
直径方向に貫通した、相対する貫通孔17、18と、こ
れらの貫通孔17、18に跨がって摺動、嵌合し、パイ
プ8の通気孔7を閉じることができる閉鎖栓19とその
通気孔7を開放できる開放孔20とで構成された開閉杆
21と、この開閉杆21の閉鎖栓19が常時パイプ8の
通気孔7を閉鎖状態にしておくように、この開閉杆21
をパイプ8の表面から持ち上げる状態に押圧するコイル
状のバネ22とから構成されている。
直径方向に貫通した、相対する貫通孔17、18と、こ
れらの貫通孔17、18に跨がって摺動、嵌合し、パイ
プ8の通気孔7を閉じることができる閉鎖栓19とその
通気孔7を開放できる開放孔20とで構成された開閉杆
21と、この開閉杆21の閉鎖栓19が常時パイプ8の
通気孔7を閉鎖状態にしておくように、この開閉杆21
をパイプ8の表面から持ち上げる状態に押圧するコイル
状のバネ22とから構成されている。
【0016】次に、このような構成の真空ピンセット1
の使用方法を図3及び図4を用いて説明する。先ず、図
3Aに示したように、真空ピンセット1の圧縮排気操作
部4を握り潰す。そうすると、空気室11内の空気に押
されて逆止弁10の開閉弁16が外方に開き、空気を矢
印のように外部へ排気することができる。
の使用方法を図3及び図4を用いて説明する。先ず、図
3Aに示したように、真空ピンセット1の圧縮排気操作
部4を握り潰す。そうすると、空気室11内の空気に押
されて逆止弁10の開閉弁16が外方に開き、空気を矢
印のように外部へ排気することができる。
【0017】その圧縮排気操作部4が押し潰された状態
の真空ピンセット1を図3Bに示した。この状態で圧縮
排気操作部4を押し潰した手を放しても、前記パイプ8
の通気孔7は、常時、前記開閉杆21の閉鎖栓19で閉
鎖された状態になっているので、前記吸着部2の開口5
から空気が流入し、圧縮排気操作部4をもとの状態に膨
らませることはない。
の真空ピンセット1を図3Bに示した。この状態で圧縮
排気操作部4を押し潰した手を放しても、前記パイプ8
の通気孔7は、常時、前記開閉杆21の閉鎖栓19で閉
鎖された状態になっているので、前記吸着部2の開口5
から空気が流入し、圧縮排気操作部4をもとの状態に膨
らませることはない。
【0018】また、前記逆止弁10の開口12、13か
ら空気が流入しようとするが、開閉弁16が開口12を
瞬時に封鎖するので、この逆止弁10から空気室11に
空気が流入することもない。
ら空気が流入しようとするが、開閉弁16が開口12を
瞬時に封鎖するので、この逆止弁10から空気室11に
空気が流入することもない。
【0019】従って、図3Bの状態の真空ピンセット1
を、そのパイプ8を握ってウエハSの裏面に接近させ、
前記吸着操作装置9の開閉杆21をバネ22に抗して押
圧すると、その開閉杆21は、図3Cに示した点線の位
置まで下がり、従って、閉鎖栓19及び開放孔20が下
がり、丁度開放孔20が通気孔7と合致し、この通気孔
7を開放する状態になり、図3Cに示したように、前記
吸着部2の開口5から矢印の方向に空気が一気に流入す
る。従って、開口5で負圧が生じ、この負圧により、図
4に示したように、吸着部2でウエハSを、その裏面で
吸着することができる。
を、そのパイプ8を握ってウエハSの裏面に接近させ、
前記吸着操作装置9の開閉杆21をバネ22に抗して押
圧すると、その開閉杆21は、図3Cに示した点線の位
置まで下がり、従って、閉鎖栓19及び開放孔20が下
がり、丁度開放孔20が通気孔7と合致し、この通気孔
7を開放する状態になり、図3Cに示したように、前記
吸着部2の開口5から矢印の方向に空気が一気に流入す
る。従って、開口5で負圧が生じ、この負圧により、図
4に示したように、吸着部2でウエハSを、その裏面で
吸着することができる。
【0020】次に、図5に第2の実施例の真空ピンセッ
ト1Aを示した。この真空ピンセット1Aが第1の実施
例の真空ピンセット1と異なる点は、前記圧縮排気操作
部4を蛇腹で構成した点だけである。他の部分は同一の
構成、機能でできているので、その説明は省略する。
ト1Aを示した。この真空ピンセット1Aが第1の実施
例の真空ピンセット1と異なる点は、前記圧縮排気操作
部4を蛇腹で構成した点だけである。他の部分は同一の
構成、機能でできているので、その説明は省略する。
【0021】また、図6に第3の実施例の真空ピンセッ
ト1Bを示した。この真空ピンセット1Bは図5に示し
た真空ピンセット1Aの変形で、前記吸着操作保持部3
と前記圧縮排気操作部4とを離し、50cm程度のホー
ス23で接続するようにした構成のものである。
ト1Bを示した。この真空ピンセット1Bは図5に示し
た真空ピンセット1Aの変形で、前記吸着操作保持部3
と前記圧縮排気操作部4とを離し、50cm程度のホー
ス23で接続するようにした構成のものである。
【0022】このような構成を採ることにより、例え
ば、右手で吸着操作保持部3を持ち、左手で圧縮排気操
作部4を持って、この真空ピンセット1Bを操作するよ
うにしたものである。この構成の真空ピンセット1Bは
操作がし易く、能率的に作業を行うことができる。ま
た、発塵源でもある圧縮排気操作部4を吸着しようとす
るウエハから少しでも遠ざけることができるので、どち
らかといえば実用的である。
ば、右手で吸着操作保持部3を持ち、左手で圧縮排気操
作部4を持って、この真空ピンセット1Bを操作するよ
うにしたものである。この構成の真空ピンセット1Bは
操作がし易く、能率的に作業を行うことができる。ま
た、発塵源でもある圧縮排気操作部4を吸着しようとす
るウエハから少しでも遠ざけることができるので、どち
らかといえば実用的である。
【0023】
【発明の効果】以上、説明したように、この発明の真空
ピンセットは、吸着しようとする偏平体に対してダスト
を吹き付けることがなく、ウエハのようなダストを極度
に嫌う偏平体を吸着するのに好適であり、しかも持ち運
び易く、保管も簡単にできる。また、図4に示したよう
に、作業者はこの真空ピンセットを吸着操作保持部でペ
ンホルダー形式で握ることができるので、多数枚のウエ
ハを収容したキャリアからウエハを一枚一枚取り出す場
合に、そのキャリアどの位置にあっても、シェイクハン
ド形式で握って操作するよりも、比較的容易にウエハを
吸着、取り出したり、或いはその逆に収納したりするこ
とができる。言うまでもなく、バキュームターミナルが
無い所でも使用することができ、そして高い場所や狭い
場所などでウエハを取る必要がある場合でも使用するこ
とができる。
ピンセットは、吸着しようとする偏平体に対してダスト
を吹き付けることがなく、ウエハのようなダストを極度
に嫌う偏平体を吸着するのに好適であり、しかも持ち運
び易く、保管も簡単にできる。また、図4に示したよう
に、作業者はこの真空ピンセットを吸着操作保持部でペ
ンホルダー形式で握ることができるので、多数枚のウエ
ハを収容したキャリアからウエハを一枚一枚取り出す場
合に、そのキャリアどの位置にあっても、シェイクハン
ド形式で握って操作するよりも、比較的容易にウエハを
吸着、取り出したり、或いはその逆に収納したりするこ
とができる。言うまでもなく、バキュームターミナルが
無い所でも使用することができ、そして高い場所や狭い
場所などでウエハを取る必要がある場合でも使用するこ
とができる。
【図1】 この発明の第1の実施例である真空ピンセッ
トの外観斜視図である。
トの外観斜視図である。
【図2】 図1に示した真空ピンセットの部分断面図で
あって、同図Aは図1のAーA線上における断面図、同
図Bは同図Aの矢印で示した逆止弁の拡大断面図、同図
Cは図1のBーB線上における断面図である。
あって、同図Aは図1のAーA線上における断面図、同
図Bは同図Aの矢印で示した逆止弁の拡大断面図、同図
Cは図1のBーB線上における断面図である。
【図3】 図1の真空ピンセットの使用方法の説明図で
あって、同図Aは第1段階を説明するための断面図、同
図Bは第2段階を説明するための外観斜視図、同図Cは
第3段階を説明するための断面図である。
あって、同図Aは第1段階を説明するための断面図、同
図Bは第2段階を説明するための外観斜視図、同図Cは
第3段階を説明するための断面図である。
【図4】 この発明の真空ピンセットの持ち方を説明す
るための外観斜視図である。
るための外観斜視図である。
【図5】 この発明の第2の実施例である真空ピンセッ
トの外観斜視図である。
トの外観斜視図である。
【図6】 この発明の第3の実施例である真空ピンセッ
トの外観斜視図である。
トの外観斜視図である。
【図7】 従来技術の真空ピンセットを示していて、同
図Aはその断面図であり、同図Bはこの真空ピンセット
の先端部の平面図である。
図Aはその断面図であり、同図Bはこの真空ピンセット
の先端部の平面図である。
1 この発明の第1の実施例の真空ピンセット 1A この発明の第2の実施例の真空ピンセット 1B この発明の第3の実施例の真空ピンセット 2 吸着部 3 吸着操作保持部 4 圧縮排気操作部 5 開口 6 通気孔 7 通気孔 8 パイプ 9 吸着操作装置 10 逆止弁 11 空気室 12 開口 13 開口 14 保護枠 15 ヒンジ 16 開閉弁 17 貫通孔 18 貫通孔 19 閉鎖栓 20 開放孔 21 開閉杆 22 バネ 23 ホース
Claims (2)
- 【請求項1】 偏平体を吸着するための開口が開けら
れ、内部にその開口に連通した通気孔が形成された吸着
部と、前記通気孔に連通した通気孔が形成され、この通
気孔を開閉できる吸着操作装置を備えた吸着操作保持部
と、この吸着操作保持部の前記吸着部と異なる端部に連
結され、前記後者の通気孔に連通して常時外方に膨出し
ようとする力が働き、一部分に外開きの逆止弁が設けら
れている空気室で形成された圧縮排気操作部とから構成
された真空ピンセット。 - 【請求項2】 前記吸着操作保持部と前記圧縮排気操作
部とをホースで連結したことを特徴とする請求項1に記
載の真空ピンセット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10856393A JPH06320432A (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | 真空ピンセット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10856393A JPH06320432A (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | 真空ピンセット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06320432A true JPH06320432A (ja) | 1994-11-22 |
Family
ID=14488005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10856393A Pending JPH06320432A (ja) | 1993-05-10 | 1993-05-10 | 真空ピンセット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06320432A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5580112A (en) * | 1995-05-10 | 1996-12-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Vacuum pencil having a short tip with an abutment means |
JP2011122701A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Autonetworks Technologies Ltd | 電子制御ユニット、この電子制御ユニットを備えた自動変速機の製造方法、及びこの製造方法に用いられるコネクタ固定用治具 |
-
1993
- 1993-05-10 JP JP10856393A patent/JPH06320432A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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