JPH06317854A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
- Publication number
- JPH06317854A JPH06317854A JP12182093A JP12182093A JPH06317854A JP H06317854 A JPH06317854 A JP H06317854A JP 12182093 A JP12182093 A JP 12182093A JP 12182093 A JP12182093 A JP 12182093A JP H06317854 A JPH06317854 A JP H06317854A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- work
- exposure
- liquid crystal
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Projection-Type Copiers In General (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 露光原稿を簡単に構築することができる露光
装置を提供することを目的とする。 【構成】 パソコン２によって制御される液晶パネル１
と、ミラー７を介して液晶パネル１に光を照射する光源
と、液晶パネル１の透過光をワーク１１に照射せしめる
ミラー８とレンズ９及びフィルタ１０を設ける。
装置を提供することを目的とする。 【構成】 パソコン２によって制御される液晶パネル１
と、ミラー７を介して液晶パネル１に光を照射する光源
と、液晶パネル１の透過光をワーク１１に照射せしめる
ミラー８とレンズ９及びフィルタ１０を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＬＣＤ基盤，ＰＣＢ基
盤，ＩＣウエハー等へ回路パターン，コードパターン，
文字、符号等を造形する場合の露光装置や、焼付装置，
写植機，印刷装置などの露光装置として使用される露光
装置に関するものである。
盤，ＩＣウエハー等へ回路パターン，コードパターン，
文字、符号等を造形する場合の露光装置や、焼付装置，
写植機，印刷装置などの露光装置として使用される露光
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年ＩＣウエハー，ＬＣＤ基盤等の高密
度化が進み、スペース有効利用の問題が重要視されてき
ており、それに伴いそこに使用されている管理コードも
一層の小型化が要求されてきている。従来管理コードと
して使用されていた英数字文字も限界に達しており、２
次元コードのようなスペース効率の良いコードが要望さ
れている。
度化が進み、スペース有効利用の問題が重要視されてき
ており、それに伴いそこに使用されている管理コードも
一層の小型化が要求されてきている。従来管理コードと
して使用されていた英数字文字も限界に達しており、２
次元コードのようなスペース効率の良いコードが要望さ
れている。
【０００３】ところが、２次元コードのような組み合わ
せの多いパターンを一品一様で露光する方法がなかっ
た。
せの多いパターンを一品一様で露光する方法がなかっ
た。
【０００４】即ち、従来の可変情報を露光する方法は、
あらかじめいくつかのマスクパターン（英数字等）を用
意しておき、それを一回ずつ移動させて露光し、ワーク
に焼付ける方法を採っていた。
あらかじめいくつかのマスクパターン（英数字等）を用
意しておき、それを一回ずつ移動させて露光し、ワーク
に焼付ける方法を採っていた。
【０００５】しかし、この方法だと用意しておくパター
ンの種類及びマーク時間に問題があり、２次元コードの
ような大量のパターン数が必要なコードは実現不可能で
あった。
ンの種類及びマーク時間に問題があり、２次元コードの
ような大量のパターン数が必要なコードは実現不可能で
あった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、複雑
な露光原稿をその場で自由に構築でき、さらに一度にマ
ーキングできる露光装置を提供することを課題とするも
のである。
な露光原稿をその場で自由に構築でき、さらに一度にマ
ーキングできる露光装置を提供することを課題とするも
のである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するためになされたもので、コンピュータと、このコ
ンピュータによって制御される液晶パネルと、この液晶
パネルに光を投射しその透過光により液晶パネルに表示
されるパターンをワークに撮影するための光源から構成
したものである。
決するためになされたもので、コンピュータと、このコ
ンピュータによって制御される液晶パネルと、この液晶
パネルに光を投射しその透過光により液晶パネルに表示
されるパターンをワークに撮影するための光源から構成
したものである。
【０００８】液晶パネルにはコンピュータのデイスプレ
イと同様の任意パターンをキーボードを操作することに
よって得られるので、複雑なパターンの露光原稿を簡単
に得ることができ、一度の露光で複雑なパターンをワー
クにマーキングすることができる。
イと同様の任意パターンをキーボードを操作することに
よって得られるので、複雑なパターンの露光原稿を簡単
に得ることができ、一度の露光で複雑なパターンをワー
クにマーキングすることができる。
【０００９】
【実施例】図１は本発明の実施例のブロック図で、１は
パーソナルコンピュータ（以下パソコンという）２によ
って制御される裏板のない光透過型の液晶パネル、３は
キーボード、４はパソコン１のディスプレイ、５は２次
元コードパターン信号に変換する２次元コード変換器、
６は光源、７及び８はミラー、９はレンズ、１０はフィ
ルタ、１１はＸ−Ｙテーブル１２上に置いたワーク（例
えばＬＣＤ基盤やＰＣＢ基盤のフォトレジスト，ＩＣウ
エハー）である。
パーソナルコンピュータ（以下パソコンという）２によ
って制御される裏板のない光透過型の液晶パネル、３は
キーボード、４はパソコン１のディスプレイ、５は２次
元コードパターン信号に変換する２次元コード変換器、
６は光源、７及び８はミラー、９はレンズ、１０はフィ
ルタ、１１はＸ−Ｙテーブル１２上に置いたワーク（例
えばＬＣＤ基盤やＰＣＢ基盤のフォトレジスト，ＩＣウ
エハー）である。
【００１０】次にその使用法について説明すると、キボ
ード３を操作してディスプレイ４の画面に希望するパタ
ーンを表示させる。まずこの場合ディスプレイ４に表示
されたパターンと同じものが、液晶パネル１に表示され
る。また、２次元コードパターンを表示させる場合は、
パソコン２の出力信号を２次元コード変換器５を通して
ディスプレイ４の画面と液晶パネル１に表示させる。
ード３を操作してディスプレイ４の画面に希望するパタ
ーンを表示させる。まずこの場合ディスプレイ４に表示
されたパターンと同じものが、液晶パネル１に表示され
る。また、２次元コードパターンを表示させる場合は、
パソコン２の出力信号を２次元コード変換器５を通して
ディスプレイ４の画面と液晶パネル１に表示させる。
【００１１】次いで光源６を点灯させ、光をミラー７を
介して液晶パネル１に照射させ、その透過光によりミラ
ー８，レンズ９及びフィルタ１０を介して液晶パネル１
に表示されているパターン、つまり露光原稿をワーク１
１にマーキングする。レンズ９はワーク１１に所望のサ
イズの光の像が結ばれるような倍率に設定しておき、ま
たＸ−Ｙテーブル１２はマーキングしたい位置にワーク
１１があるように調整しておき、複雑のパターンをマー
キングする場合は、光源６の点滅とＸ−Ｙテーブル１２
の移動を交互に行う。
介して液晶パネル１に照射させ、その透過光によりミラ
ー８，レンズ９及びフィルタ１０を介して液晶パネル１
に表示されているパターン、つまり露光原稿をワーク１
１にマーキングする。レンズ９はワーク１１に所望のサ
イズの光の像が結ばれるような倍率に設定しておき、ま
たＸ−Ｙテーブル１２はマーキングしたい位置にワーク
１１があるように調整しておき、複雑のパターンをマー
キングする場合は、光源６の点滅とＸ−Ｙテーブル１２
の移動を交互に行う。
【００１２】光源の種類は、ワーク１１（フォトレジス
ト）の特性に応じて最適なものを選択し、またフィルタ
ー１０を選んで最適波長の光を露光に用いるようにす
る。
ト）の特性に応じて最適なものを選択し、またフィルタ
ー１０を選んで最適波長の光を露光に用いるようにす
る。
【００１３】以上説明した液晶パネル１を用いた露光装
置は、印刷装置，写植機，焼付装置の露光装置として有
用であることは説明するまでもないところであるので、
こゝではそれらの具体的実施例は省略する。
置は、印刷装置，写植機，焼付装置の露光装置として有
用であることは説明するまでもないところであるので、
こゝではそれらの具体的実施例は省略する。
【００１４】
【発明の効果】本発明によれば、キーボード３を操作す
ることにより、任意のパターンの露光原稿を自由に構築
することができるので、従来、不可能視されていた２次
元コード等の複雑なパターンの露光、焼付、印刷等を工
業化することが可能となった。
ることにより、任意のパターンの露光原稿を自由に構築
することができるので、従来、不可能視されていた２次
元コード等の複雑なパターンの露光、焼付、印刷等を工
業化することが可能となった。
【図１】本発明の実施例のブロック図である。
１ 液晶パネル ２ パソコン ３ キーボード ４ ディスプレイ ５ ２次元コード変換器 ６ 光源 ７，８ ミラー ９ レンズ １０ フィルタ １１ ワーク １２ Ｘ−Ｙテーブル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ４１Ｊ 2/44 Ｇ０２Ｆ 1/13 9017−2Ｋ Ｇ０３Ｆ 1/00 Ｚ 7369−2Ｈ 7/20 7316−2Ｈ ５２１ 7316−2Ｈ Ｈ０１Ｌ 21/027 // Ｇ０３Ｇ 15/04 １１６
Claims (4)
- 【請求項１】 コンピュータと、このコンピュータによ
って制御される液晶パネルと、この液晶パネルに光を投
射し透過光により液晶パネルに表示されるパターンをワ
ークに投影するための光源を具備したことを特徴とする
露光装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の露光装置を具備したこと
を特徴とする印刷装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の露光装置を具備したこと
を特徴とする写植機。 - 【請求項４】 請求項１記載の露光装置を具備したこと
を特徴とする焼付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12182093A JPH06317854A (ja) | 1993-04-14 | 1993-04-14 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12182093A JPH06317854A (ja) | 1993-04-14 | 1993-04-14 | 露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06317854A true JPH06317854A (ja) | 1994-11-15 |
Family
ID=14820746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12182093A Pending JPH06317854A (ja) | 1993-04-14 | 1993-04-14 | 露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06317854A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6116534B2 (ja) * | 1982-11-30 | 1986-05-01 | Mitsui Zosen Kk |
-
1993
- 1993-04-14 JP JP12182093A patent/JPH06317854A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6116534B2 (ja) * | 1982-11-30 | 1986-05-01 | Mitsui Zosen Kk |
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