JPH06310072A - Scanning electron microscope - Google Patents
Scanning electron microscopeInfo
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- JPH06310072A JPH06310072A JP9735993A JP9735993A JPH06310072A JP H06310072 A JPH06310072 A JP H06310072A JP 9735993 A JP9735993 A JP 9735993A JP 9735993 A JP9735993 A JP 9735993A JP H06310072 A JPH06310072 A JP H06310072A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、走査形電子顕微鏡（以
下ＳＥＭと記す）に係り、特に、試料上の観察視野を選
択するのにマウス等のポインティングデバイスを用いた
ものに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scanning electron microscope (hereinafter referred to as SEM), and more particularly to a scanning electron microscope using a pointing device such as a mouse for selecting an observation visual field on a sample.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ＳＥＭは、細く収束した電子ビームを試
料上で二次元走査し、試料から発生する二次電子などの
信号を検出，増幅し、この信号を輝度変調信号として、
陰極線管などの上に拡大された試料像を表示するもので
ある。試料上の観察したい位置を選択するには、試料を
付けた試料台を機械的に細かく移動する試料移動機構に
より、画像を観察しながらこの移動機構を操作し、観察
視野を選択する。2. Description of the Related Art An SEM two-dimensionally scans a finely focused electron beam on a sample, detects and amplifies signals such as secondary electrons generated from the sample, and uses this signal as a brightness modulation signal.
The enlarged sample image is displayed on a cathode ray tube or the like. In order to select a position to be observed on the sample, a sample moving mechanism that mechanically finely moves the sample stage with the sample is operated while operating the moving mechanism to select an observation field of view.
【０００３】また、前記した移動機構のほかに電子線の
通路に設けた偏向系により試料に照射する電子線の位置
を電気的に移動して観察画像の視野移動を行う方法もあ
る。特に高倍率では、電気的視野移動は機械的な移動機
構よりも、移動範囲は少ないがスムーズな視野移動が行
えるため有効である。反対に試料移動機構は移動範囲が
多くとれるため中低倍率で有効である。In addition to the above-mentioned moving mechanism, there is also a method of electrically moving the position of the electron beam irradiating the sample with a deflection system provided in the electron beam passage to move the field of view of the observed image. Particularly at a high magnification, the electric field of view movement is smaller than the mechanical movement mechanism, but is effective because a smooth visual field movement can be performed. On the other hand, the sample moving mechanism is effective at medium and low magnifications because it has a large moving range.
【０００４】視野選択を効率よく行うために前記した移
動機構にモータを取り付け座標制御したり、さらに、マ
イクロコンピュータを組み込み移動機構と電気的視野移
動を組み合わせて座標制御することもある。In order to efficiently select a visual field, a motor may be attached to the above-mentioned moving mechanism for coordinate control, or a coordinate system may be combined with a moving mechanism and an electric visual field movement to control the coordinate.
【０００５】近年では、パーソナルコンピュータの普及
に伴い、マウス等のポインティングデバイスをＳＥＭに
組み込み、操作性を向上させたものが増えている。In recent years, with the spread of personal computers, an increasing number of SEMs have been incorporated with pointing devices such as mice to improve operability.
【０００６】特に、ポインティングデバイスによるＳＥ
Ｍの操作の割り当てとして、前記観察視野の選択移動は
最も重要な操作として位置づけられている。In particular, SE using a pointing device
As the M operation assignment, the selective movement of the observation field of view is positioned as the most important operation.
【０００７】ところで、画像上にポイントを表示して観
察視野を選択するひとつの方法として、特開昭54−7807
5 号公報に記述されているものがある。それは、図４の
ように画像上に移動中心を選択するためのマークを表示
し、このマークを観察したい位置に移動させ、移動をス
タートするための信号をスイッチ等により入力すること
により試料上のその点が表示モニタ上の中心に移動する
よう制御するものである。By the way, as one method for displaying a point on an image and selecting an observation visual field, Japanese Patent Laid-Open No. 54-7807 has been proposed.
Some are described in Japanese Patent No. 5. As shown in FIG. 4, a mark for selecting the center of movement is displayed on the image, the mark is moved to a position to be observed, and a signal for starting the movement is input by a switch or the like. The point is controlled so as to move to the center on the display monitor.
【０００８】マークの位置の試料上における位置と現在
の視野中心の座標位置を比較演算し試料移動機構を駆動
することにより行う。This is performed by comparing and calculating the position of the mark on the sample and the coordinate position of the current center of the visual field, and driving the sample moving mechanism.
【０００９】[0009]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら前記した
公知の方法は選択した点が必ず画像の中心へ移動するよ
うになっており、この場合、スイッチを押して視野を移
動した後でないと移動後の観察画像がわからず、特に目
標とする観察物が同一視野に何点もある場合は、操作者
が望んだ画像の構図を得るために何度も視野移動を繰り
返さなければならず操作性が悪いという問題があった。However, in the known method described above, the selected point is always moved to the center of the image, and in this case, the observation after the movement is made only after the switch is pressed to move the visual field. If the user does not know the image and there are several target observation objects in the same field of view, the operability is poor because the operator must repeatedly move the field of view to obtain the desired image composition. There was a problem.
【００１０】また、視野を選択する操作の過程で、倍率
を頻繁に変える必要があるが、この場合、目標とする観
察点を一度表示モニタの中心に移動してから倍率を上げ
る操作を行わないと、倍率を上げていった時、目標物が
表示モニタの視野範囲から外れていってしまうという問
題があった。Further, it is necessary to frequently change the magnification in the process of selecting the field of view, but in this case, the magnification is not increased after the target observation point is once moved to the center of the display monitor. Then, when the magnification is increased, there is a problem that the target object goes out of the visual field range of the display monitor.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
には、表示モニタに＋マーク等のポイントを画像と重ね
て表示し、視野移動する場合はポイントの動きに追従し
て視観視野が移動するようにする。このポイントの位置
はポインティングデバイスを操作することによりモニタ
上を自由に移動できるようにする。そして画像の観察視
野を決定したところで視野移動を完了すればよい。In order to solve the above problems, points such as + marks are displayed on a display monitor so as to be superimposed on the image, and when the visual field is moved, the visual field of view is tracked by following the movement of the point. Try to move. The position of this point can be freely moved on the monitor by operating the pointing device. Then, the visual field movement may be completed when the observation visual field of the image is determined.
【００１２】また、倍率を変える場合は、観察したい位
置にポイントを移動し、倍率を変えるように操作したと
き、その点を基準に倍率が変化するようにすればよい。When the magnification is changed, the point may be moved to a position to be observed, and when the operation is performed to change the magnification, the magnification may be changed with the point as a reference.
【００１３】[0013]
【作用】視野移動をするときは、図１に示すように観察
移動する移動中心点にポインティングデバイスによりポ
イントを合わせる。ここでポインティングデバイスのス
イッチをクリックし、そのままポインティングデバイス
を操作してポイントを移動する。クリックした点を基準
に現在のポイントの位置までの変化量を試料上の距離に
換算し、その移動量を電気的視野移動または試料移動機
構の座標制御にリアルタイムに加算することにより、観
察視野はクリックした点を移動中心点としてポイントの
動きを追従して移動する。即ちポインティングデバイス
を図１(ａ)のように直線的に動かした場合は視野移動も
直線的に動き、また図１（ｂ）のように非直線的に動か
せばそのように追従して視野を移動することができる。
そして観察目標を表示モニタ上の適当な位置に配置し、
構図を決定したところでポインティングデバイスのスイ
ッチをはなし、視野移動を完了する。When the visual field is moved, the point is adjusted by the pointing device to the movement center point for observation movement as shown in FIG. Here, click the switch of the pointing device and operate the pointing device to move the point. By converting the amount of change to the position of the current point to the distance on the sample based on the clicked point and adding the amount of movement in real time to the coordinate control of the electrical field movement or sample movement mechanism, The clicked point is used as the movement center point to follow the movement of the point. That is, when the pointing device is moved linearly as shown in FIG. 1 (a), the visual field movement also moves linearly, and when it is moved non-linearly as shown in FIG. 1 (b), the visual field is tracked accordingly. You can move.
And place the observation target at an appropriate position on the display monitor,
When the composition is decided, the switch of the pointing device is released, and the visual field movement is completed.
【００１４】操作の手段として、視野移動する間ポイン
ティングデバイスのスイッチはクリックしたままでもよ
いが、一度クリックしたら、次にクリックするまでポイ
ントの移動に追従するようにしてもよい。As a means of operation, the switch of the pointing device may be kept clicked during the movement of the visual field, but once clicked, the movement of the point may be followed until the next click.
【００１５】また、倍率を変えるとき、ポイントの位置
を基準に上げ下げするには次のようにする。Further, when changing the magnification, the following is done to raise or lower the point position with reference to it.
【００１６】まず図２のように画像の観察目標にポイン
ティングデバイスによりポイントをあわせる。First, as shown in FIG. 2, a point is aligned with an image observation target by a pointing device.
【００１７】次にポインティングデバイスのスイッチを
クリックすることにより、倍率を変える。Next, the magnification is changed by clicking the switch of the pointing device.
【００１８】そして、倍率を変えたときポイントの位置
の試料像が移動しないように、補正量を算出し視野移動
の座標制御に加算する。この補正量は次式で計算でき
る。Then, a correction amount is calculated and added to the coordinate control of the visual field movement so that the sample image at the position of the point does not move when the magnification is changed. This correction amount can be calculated by the following formula.
【００１９】補正量(Ｘ)＝表示モニタの中心からポイン
トまでのＸ寸法 (１／Ｍ１−１／Ｍ２) 補正量(Ｙ)＝表示モニタの中心からポイントまでのＹ寸
法 (１／Ｍ１−１／Ｍ２) Ｍ１：元の倍率 Ｍ２：変えた後の倍率 以上のようにすれば、図２のようにポイントの位置を基
準に倍率を上げ下げできる。Correction amount (X) = X dimension from center of display monitor to point (1 / M1-1 / M2) Correction amount (Y) = Y dimension from center of display monitor to point (1 / M1-1) / M2) M1: Original magnification M2: Magnification after changing If the above is done, the magnification can be raised or lowered based on the point position as shown in FIG.
【００２０】図２（ａ）はポイントの位置を基準に倍率
を上げた場合、図２（ｂ）はポイントの位置を基準に倍
率を下げた場合の図である。FIG. 2A is a diagram when the magnification is increased based on the point position, and FIG. 2B is a diagram when the magnification is decreased based on the point position.
【００２１】[0021]
【実施例】以下、本発明の実施例を図３により説明す
る。走査形電子顕顕微鏡は電子銃１より発生した電子線
２を収束レンズ３及び対物レンズ６により細く絞り試料
上に照射する。同時に走査回路１５と電流増幅器１２で
駆動される偏向コイル５により２次元的に走査し、試料
７より発生した二次電子等の像信号を増幅し輝度信号と
して像を形成するものである。EXAMPLE An example of the present invention will be described below with reference to FIG. In the scanning electron microscope, an electron beam 2 generated by an electron gun 1 is narrowed down by a converging lens 3 and an objective lens 6 and is irradiated onto a sample. At the same time, the deflection coil 5 driven by the scanning circuit 15 and the current amplifier 12 two-dimensionally scans and amplifies the image signal of secondary electrons generated from the sample 7 to form an image as a luminance signal.
【００２２】近年のＳＥＭは像信号をＡ／Ｄコンバータ
２０によりディジタル信号に変換し、フレームメモリ２
１に取り込んだ後、テレビジョン信号に変換して表示モ
ニタ２２に画像表示するものが一般的となっている。In the recent SEM, the image signal is converted into a digital signal by the A / D converter 20, and the frame memory 2
It is general that the image is displayed on the display monitor 22 after being converted into a television signal after being captured into the image data of 1.
【００２３】また、電子光学系をはじめ以下説明する回
路の制御はマイクロコンピュータ２８により制御されて
おり、ＣＰＵバス２９を介し制御データが与えられてい
る。The control of the circuits described below including the electronic optical system is controlled by a microcomputer 28, and control data is given via a CPU bus 29.
【００２４】試料上に照射する電子線の位置を移動する
ためにはマイクロコンピュータ２８からの視野移動制御
データを視野移動制御回路１４により制御電圧として出
力し、これを電流に変換し、電気的視野移動コイル４に
流すことにより行う。In order to move the position of the electron beam irradiated on the sample, the visual field movement control data from the microcomputer 28 is output as a control voltage by the visual field movement control circuit 14, and this is converted into a current to obtain an electrical visual field. It is performed by flowing it to the moving coil 4.
【００２５】また、試料７が取付けられた試料台９を移
動するのは試料移動機構１０により行う。今回はＸ軸及
びＹ軸についてのみ記すこととした。試料移動機構１０
を座標制御するにはこの試料移動機構１０にパルスモー
タ１６を取り付け、パルスモータ用電源１７に送られる
パルスの数をパルスカウンタ１８によりカウントし、こ
れを読み取りながらパルス発生回路１９をマイクロコン
ピュータ２８により制御することにより行う。本実施例
ではパルスモータを採用したが直流モータと座標位置を
読み取るためのエンコーダを組み合わせ制御してもよ
い。The sample moving mechanism 10 moves the sample table 9 to which the sample 7 is attached. This time, only the X and Y axes will be described. Sample moving mechanism 10
For coordinate control of the sample, a pulse motor 16 is attached to the sample moving mechanism 10, the number of pulses sent to the pulse motor power source 17 is counted by a pulse counter 18, and the pulse generator circuit 19 is read by the microcomputer 28 while reading the number. This is done by controlling. Although the pulse motor is used in this embodiment, a DC motor and an encoder for reading the coordinate position may be combined and controlled.
【００２６】ポインティングバデイス２６はポインティ
ングデバイス読み取り回路２７を介し、ポイントの移動
制御量及びクリックするためのスイッチ信号を読み取
る。The pointing device 26 reads the point movement control amount and the switch signal for clicking through the pointing device reading circuit 27.
【００２７】表示モニタ上のポイントは、マイクロコン
ピュータ２８により表示位置の制御を行いながら、ポイ
ント表示回路２５より出力された表示信号を加算器２３
により画像信号と信号加算することにより、＋マークを
画像と重ね合わせ表示する。本実施例ではポインティン
グバデイス２６を視野移動の他に倍率変更等の多機能に
切り換えて使うためポインティングデバイス２６の機能
切り換えを行わなければならない。For the points on the display monitor, the display signal output from the point display circuit 25 is added by the adder 23 while the display position is controlled by the microcomputer 28.
The + mark is superimposed and displayed on the image by adding the image signal and the signal. In the present embodiment, the function of the pointing device 26 must be switched because the pointing device 26 is used by switching to a multifunctional function such as magnification change in addition to the movement of the visual field.
【００２８】ポインティングデバイスの機能切り換え
は、表示モニタ上に機能を表示したシェルと呼ばれる機
能を表す枠を表示し、これにポイントを合わせクリック
することによりマイクロコンピュータが機能を切り換え
る。今回は表示モニタ上のシェルの表示位置を固定して
使うこととし、シェル表示回路２４によりこれを表示す
る。To switch the function of the pointing device, a frame showing a function called a shell that displays the function is displayed on the display monitor, and the microcomputer switches the function by pointing and clicking the frame. This time, the display position of the shell on the display monitor is fixed and used, and this is displayed by the shell display circuit 24.
【００２９】ポインティングデバイスの機能を視野移動
に切り換えた後、表示モニタ上に表示されたポイントを
視野移動するときの移動中心点にポインティングデバイ
ス２６により移動する。After the function of the pointing device is switched to the visual field movement, the point displayed on the display monitor is moved by the pointing device 26 to the movement center point when the visual field is moved.
【００３０】その後、ポインティングバデイス２６のス
イッチを押すことにより移動中心点の位置を登録する。
視野移動するためにポイントをポインティングデバイス
２６により移動したとき、最初に登録されたポイントの
座標位置と現在の位置の差をＸ軸，Ｙ軸それぞれについ
て算出し、この値を前記した視野移動手段に加算する。After that, the position of the movement center point is registered by pushing the switch of the pointing body 26.
When a point is moved by the pointing device 26 to move the visual field, the difference between the coordinate position of the point initially registered and the current position is calculated for each of the X axis and the Y axis, and this value is stored in the visual field moving means. to add.
【００３１】移動量を加算する移動の手段は前記した電
気的視野移動及び試料移動機構の一方または両方のいず
れでもよいが電気的視野移動はその移動量が数十ミクロ
ンと少ないため電気的視野移動の移動範囲を越えた場合
は試料移動機構１０により移動しなければならない。The moving means for adding the moving amount may be either one or both of the electric field moving mechanism and the sample moving mechanism described above. However, since the moving amount of the electric field moving is as small as several tens of microns, the electric field moving is moved. If the moving range is exceeded, it must be moved by the sample moving mechanism 10.
【００３２】ポインティングデバイス２６のスイッチは
視野移動する間押し続けるようにしてもよいが、移動中
心を選択しそこで一回クリックしたら、それ以降もう一
度クリックするまでポイントの移動に追従するようにし
てもよい。The switch of the pointing device 26 may be held down while moving the visual field, or the center of movement may be selected and clicked once, and the movement of the point may be followed until it is clicked again. .
【００３３】以上のような視野移動制御を行えばポイン
トの移動に追従して視野移動することができる。By performing the visual field movement control as described above, the visual field can be moved in accordance with the movement of the point.
【００３４】さらに、倍率を変える場合を説明する。Further, the case of changing the magnification will be described.
【００３５】倍率を変えるには、まずポインティングバ
デイス２６の機能を倍率の上げ下げに切り換えなければ
ならない。視野移動と同様に倍率機能のシェルを選択，
クリックしポインティングデバイス２６の機能を倍率の
上げ下げに切り換える。In order to change the magnification, first, the function of the pointing body 26 must be switched to increase or decrease the magnification. Select the shell of the magnification function as well as the field of view movement,
Click to switch the function of the pointing device 26 to increase or decrease the magnification.
【００３６】その後、表示モニタ上のポイントをポイン
ティングデバイス２６により倍率を上げ下げする基準位
置に移動する。マイクロコンピュータ２８はポイントの
位置の試料上における座標位置を算出する。After that, the point on the display monitor is moved by the pointing device 26 to the reference position where the magnification is raised or lowered. The microcomputer 28 calculates the coordinate position of the point position on the sample.
【００３７】ここで倍率を変えるためにポインティング
バデイス２６のスイッチをクリックする。Here, the switch of the pointing body 26 is clicked to change the magnification.
【００３８】マイクロコンピュータ２８は倍率を変える
と同時に、ポイントの位置の試料像が倍率を変える前と
倍率を変えた後で移動しないように補正量を算出し、こ
れを視野移動手段に加算する。倍率を変えるごとに以上
のような制御を行えば、ポイントの位置を基準に倍率を
上げ下げすることができる。At the same time when the magnification is changed, the microcomputer 28 calculates a correction amount so that the sample image at the point position does not move before and after the magnification is changed, and adds it to the visual field moving means. If the above control is performed each time the magnification is changed, the magnification can be increased or decreased based on the position of the point.
【００３９】[0039]
【発明の効果】本発明によれば、ポインティングデバイ
スを備えたＳＥＭにおいて、モニタ上のポイントに追従
して視野移動ができるので観察画像の構図をリアルタイ
ムに行え、視野移動操作を何度も繰り返し行わなくても
よいという効果がある。According to the present invention, in an SEM equipped with a pointing device, the field of view can be moved by following a point on the monitor, so that the composition of the observation image can be real-timed, and the field-of-view moving operation can be repeated many times. There is an effect that it may not be necessary.
【００４０】また、倍率を変える場合は表示ポイントの
位置を基準に倍率を上げ下げできるので、観察目標が表
示範囲から外れてしまわないで効率のよい視野選択操作
ができるという効果がある。Further, when the magnification is changed, the magnification can be raised or lowered with the position of the display point as a reference, so that there is an effect that an efficient visual field selection operation can be performed without the observation target being out of the display range.
【図１】本発明による視野移動の方法を説明するための
図である。FIG. 1 is a diagram for explaining a method of moving a visual field according to the present invention.
【図２】本発明による倍率を変える方法を説明するため
の図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a method of changing a magnification according to the present invention.
【図３】電気的視野移動と、Ｘ軸Ｙ軸の試料移動手段を
もつＳＥＭにおける本発明の実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an embodiment of the present invention in an SEM having an electric field of view movement and an X-axis and Y-axis sample moving means.
【図４】画像上にポイントを表示し、視野移動する方法
の公知例の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a known example of a method of displaying points on an image and moving a visual field.
１…電子銃、２…電子線、３…収束レンズ、４…電気的
視野移動コイル、５…偏向コイル、６…対物レンズ、７
…試料、８…二次電子検出器、９…試料台、１０…試料
移動機構、１１…増幅器、１２…電流増幅器、１３…電
子光学系制御回路、１４…視野移動制御回路、１５…走
査回路、１６…パルスモータ、１７…パルスモータ用電
源、１８…パルスカウンタ、１９…パルス発生回路、２
０…Ａ／Ｄコンバータ、２１…フレームメモリ、２２…
表示モニタ、２３…加算器、２４…シェル表示回路、２
５…ポイント表示回路、２６…ポインティングデバイ
ス、２７…ポインティングデバイス読み取り回路、２８
…マイクロコンピュータ、２９…ＣＰＵバス。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electron gun, 2 ... Electron beam, 3 ... Convergence lens, 4 ... Electrical field moving coil, 5 ... Deflection coil, 6 ... Objective lens, 7
... Sample, 8 ... Secondary electron detector, 9 ... Sample stage, 10 ... Sample moving mechanism, 11 ... Amplifier, 12 ... Current amplifier, 13 ... Electron optical system control circuit, 14 ... Field-of-view movement control circuit, 15 ... Scanning circuit , 16 ... Pulse motor, 17 ... Pulse motor power supply, 18 ... Pulse counter, 19 ... Pulse generation circuit, 2
0 ... A / D converter, 21 ... Frame memory, 22 ...
Display monitor, 23 ... Adder, 24 ... Shell display circuit, 2
5 ... Point display circuit, 26 ... Pointing device, 27 ... Pointing device reading circuit, 28
… Microcomputer, 29… CPU bus.
Claims (6)
照射する電子線の位置を変え観察視野を移動する電気的
視野移動機能と試料の位置を移動する移動機構の一方ま
たは両方と、画像表示モニタ上の画像と重ねて矢印や＋
マーク等のポイントを表示する機能と、そのポイントを
任意の位置に移動しながら、その点をピックするための
スイッチ部をもつポインティングデバイスとを備えた走
査形電子顕微鏡において、画像上の任意の点をピックし
ながらそのポイントを移動したとき、ピックされた試料
上の位置を前記した電気的視野移動及び試料移動機構を
座標制御することにより、ポイントの動きに追従して視
野移動するように制御したことを特徴とする走査形電子
顕微鏡。1. One or both of an electric visual field moving function for moving the observation visual field and a moving mechanism for moving the position of the sample by changing the position of the electron beam irradiated on the sample by a deflection system provided in the electron beam passage. Arrows and + on the image display monitor
In a scanning electron microscope equipped with a function for displaying points such as marks and a pointing device having a switch unit for picking the point while moving the point to any position, any point on the image When the point is moved while picking up, the position on the picked sample is controlled so that the visual field moves following the movement of the point by coordinate-controlling the electric visual field movement and the sample movement mechanism described above. A scanning electron microscope characterized in that
度ピックしたとき、次にもう一度ピックするまで最初に
ピックした試料上の位置が画像上のポイントの動きに追
従するよう制御したことを特徴とする走査形電子顕微
鏡。2. The method according to claim 1, wherein when an arbitrary point on the image is picked once, the position on the first picked sample follows the movement of the point on the image until it is picked again. Scanning electron microscope characterized by.
スのスイッチの一回目のピックで画像上のポイントの位
置にポイントの表示とは区別した＋等のマークを表示
し、このマークが示す画像上の位置が二回目にピックし
たときのポイントの位置へ移動するよう前記した電気的
視野移動及び試料移動機構を座標制御をしたことを特徴
とする走査形電子顕微鏡。3. The first pick of the switch of the pointing device according to claim 1, wherein a mark such as +, which is different from the point display, is displayed at the position of the point on the image, and the position on the image indicated by this mark is displayed. The scanning electron microscope is characterized in that the electric field moving and sample moving mechanisms described above are coordinate-controlled so as to move to the position of the point when the second pick is made.
照射する電子線の位置を変え観察視野を移動する電気的
視野移動機能と試料の位置を移動する移動機構の一方ま
たは両方と、画像表示モニタ上の画像と重ねて矢印等の
ポイントを表示する機能と、そのポイントを任意の位置
に移動しながら、その点をピックするためのスイッチ部
を２個以上もつポインティングデバイスとを備えた走査
形電子顕微鏡において、画像上のポイントの表示位置を
基準として倍率を上げたり下げたりするよう制御したこ
とを特徴とする走査形電子顕微鏡。4. One or both of an electric visual field moving function for moving an observation visual field and a moving mechanism for moving the position of the sample by changing a position of an electron beam irradiated on the sample by a deflection system provided in the electron beam passage. Equipped with a function of displaying a point such as an arrow on the image on the image display monitor, and a pointing device having two or more switch parts for picking the point while moving the point to an arbitrary position. The scanning electron microscope is characterized in that the scanning electron microscope is controlled so that the magnification is increased or decreased based on the display position of a point on the image.
照射する電子線の位置を変え観察視野を移動する電気的
視野移動機能と試料の位置を移動する移動機構の一方ま
たは両方と、画像表示モニタ上の画像と重ねて矢印等の
ポイントを表示する機能と、そのポイントを任意の位置
に移動しながら、その点をピックするためのスイッチ部
を３個以上もつポインティングデバイスとを備えた走査
形電子顕微鏡において、請求項１の視野移動を操作する
スイッチと請求項４の倍率を変えるスイッチを別々のス
イッチで同時に行うようにしたことを特徴とした走査形
電子顕微鏡。5. One or both of an electric visual field moving function for moving the observation visual field by changing the position of the electron beam irradiated on the sample by a deflection system provided in the electron beam passage, and a moving mechanism for moving the position of the sample. Equipped with a function of displaying a point such as an arrow on the image displayed on the image display monitor and a pointing device having three or more switch parts for picking the point while moving the point to an arbitrary position. A scanning electron microscope, wherein the switch for operating the visual field movement according to claim 1 and the switch for changing the magnification according to claim 4 are simultaneously performed by separate switches.
照射する電子線の位置を変え観察視野を移動する電気的
視野移動機能と試料の位置を移動する移動機構の一方ま
たは両方と、画像表示モニタ上の画像と重ねて矢印等の
ポイントを表示する機能と、そのポイントを任意の位置
に移動しながら、その点をピックするためのスイッチ部
を２個以上もつポインティングデバイスとを備えた走査
形電子顕微鏡において、ポインティングデバイスのスイ
ッチの操作方法により請求項１の視野移動操作と、請求
項４の倍率操作を区別して行えるよう制御したことを特
徴とした走査形電子顕微鏡。6. One or both of an electric visual field moving function for moving an observation visual field by changing a position of an electron beam irradiated on a sample by a deflection system provided in an electron beam passage and a moving mechanism for moving a position of the sample. Equipped with a function of displaying a point such as an arrow on the image on the image display monitor, and a pointing device having two or more switch parts for picking the point while moving the point to an arbitrary position. A scanning electron microscope, wherein the scanning electron microscope is controlled so that the visual field moving operation according to claim 1 and the magnification operation according to claim 4 can be discriminated by a method of operating a switch of a pointing device.
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-
1993
- 1993-04-23 JP JP5097359A patent/JP2985568B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7214937B2 (en) | 2000-08-25 | 2007-05-08 | Hitachi, Ltd. | Electron microscope |
| JP2006196281A (en) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | Hitachi High-Technologies Corp | Scanning electron microscope and its photographing method |
| JP4611755B2 (en) * | 2005-01-13 | 2011-01-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Scanning electron microscope and imaging method thereof |
| US8405025B2 (en) | 2005-01-13 | 2013-03-26 | Hitachi High-Technologies Corporation | Scanning electron microscope and method for detecting an image using the same |
| JP2007114000A (en) * | 2005-10-19 | 2007-05-10 | Mitsutoyo Corp | Probe observation device, and surface property measuring instrument |
| JP4639135B2 (en) * | 2005-10-19 | 2011-02-23 | 株式会社ミツトヨ | Probe observation device, surface texture measurement device |
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