JP3376823B2 - Scanning electron microscope and similar devices - Google Patents
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Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、走査型電子顕微鏡
及びその類似装置に係り、特に、画像を表示する画像表
示装置の上で、マウス等のポインティング装置の操作に
より、各種調整操作を行うようにした装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scanning electron microscope and a device similar to the scanning electron microscope, and more particularly, to various adjustment operations by operating a pointing device such as a mouse on an image display device for displaying an image. Related to the device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】走査型電子顕微鏡およびその類似装置で
は、電子ビームを試料上で最も細くするための焦点調
節，非点収差を補正する非点収差補正調節，画像のコン
トラスト，明るさなどの調節，倍率の設定、その他様々
な調節を行って、良好な画像を得ることができる。2. Description of the Related Art In a scanning electron microscope and similar apparatus, focus adjustment for making an electron beam the thinnest on a sample, astigmatism correction adjustment for correcting astigmatism, adjustment of image contrast, brightness, etc. A good image can be obtained by setting the magnification and various other adjustments.
【０００３】これらの調整は、スイッチ，回転式つまみ
などを用いて行うのが普通であった。しかし近年、例え
ば、文献「M．T．Postek and A.E.Vladar,Digital Imag
eingfor Scanning Electron Microscopy，SCANNIG，Ｖo
l.１８，１−７，１９９６,ｐｐ１−７」に記載されて
いるように、パーソナルコンピュータと組み合わせるこ
とが多くなってきている。その場合、装置の操作も、他
の一般的なコンピューターアプリケーションソフトと同
じく、グラフィカルユーザーインターフェース機能を利
用して、操作を行うようになってきている。These adjustments were usually made using a switch, a rotary knob or the like. However, in recent years, for example, in the document “MT Postek and AEVladar, Digital Imag.
eingfor Scanning Electron Microscopy, SCANNIG, Vo
l. 18, 1-7, 1996, pp 1-7 ", the combination with a personal computer has been increasing. In that case, the operation of the device has also come to be performed by using a graphical user interface function like other general computer application software.
【０００４】これは、マウスなどのポインティング装置
で、画面上に表示されている、ボタン，スライドバーな
どのツールを操作し、その操作を、電気的信号に変換し
て、装置を作動させるものである。This is a pointing device such as a mouse which operates a tool such as a button or a slide bar displayed on the screen and converts the operation into an electric signal to operate the device. is there.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】このような装置の場
合、焦点調節，画像の明るさ調節など、連続的な調節を
必要とする操作は、スライドバーに代表される、ポイン
ティング装置の移動量と方向をデータとして用いるもの
が一般的であり、もっとも使い易いものである。In the case of such a device, operations that require continuous adjustment such as focus adjustment and image brightness adjustment are performed by the amount of movement of the pointing device typified by a slide bar. The direction is generally used as data and is the easiest to use.
【０００６】ところで、本発明にかかわる種類の装置で
は、これらの操作によって、画像の焦点，明るさなどが
変化するのを観察しながら、各操作を交互にくり返し、
最良の状態に収聯させていく操作が必要であり、したが
って、オペレータは画像だけを見つめていればよいとい
う操作の方法が、最良である。By the way, in the apparatus of the type related to the present invention, each operation is alternately repeated while observing that the focus and brightness of the image are changed by these operations.
It is necessary to perform an operation of keeping the image in the best state, and therefore, the operation method in which the operator only has to look at the image is the best.
【０００７】ところが、例えば、各調整機能毎に独立の
スライドバーをならべるような方法では、違う機能の調
整をするたびに、画像から目を離して、ポインティング
装置の表示マーク（マウスの場合、マウスアイコン）
を、そのスライドバーに合致させる操作が必要になり、
極めて操作性が悪いものになる。別の手法として、画像
表示領域の上でマウスを動かすことで、その移動量と方
向をデータとして用いる方法では、スライドバーの小さ
な有効領域にポインティング装置の表示マークを合わせ
にいく操作は不要になるが、機能を切り換えるために、
機能きりかえボタンの操作が必要になり、やはり、操作
性が悪いものになる。However, for example, in a method in which an independent slide bar is arranged for each adjustment function, each time the user adjusts a different function, he / she takes his / her eyes off the image and the display mark (in the case of a mouse, a mouse) icon)
To match the slide bar,
The operability is extremely poor. As another method, by moving the mouse over the image display area and using the movement amount and direction as data, the operation of aligning the display mark of the pointing device with the small effective area of the slide bar becomes unnecessary. However, in order to switch the function,
It is necessary to operate the function switching button, and again the operability becomes poor.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】この問題を解決し、画像
から目を離すことなく、かつ、必要なだけの種類の調整
操作を行うことができるように、画像が表示される領域
を２つ以上の必要な数に分割し、そのどの領域でポイン
ティング装置を操作したかによって、動作する調整機能
が決まるようにする。こうすれば、ポインティング装置
の表示マークを画像表示領域中に置いたままで、画像か
ら目を離すことなく、必要な操作がすべてできるので、
操作性のよい装置が実現できる。[Means for Solving the Problems] In order to solve this problem, two areas in which an image is displayed are provided so that the necessary types of adjustment operations can be performed without taking an eye off the image. The above-described necessary number of divisions is made, and the adjusting function to be operated is determined depending on which area in which the pointing device is operated. In this way, you can do all the necessary operations without leaving your eyes on the image, while keeping the display mark of the pointing device in the image display area.
A device with good operability can be realized.
【０００９】分割されている領域の境界を明示的に表示
するために、境界線を表示したり、ポインティング装置
の表示マークを、領域毎に変化させ、機能を連想しやす
いマークにすることで、いっそう使い易いものとするこ
とも可能である。In order to explicitly display the boundaries of the divided areas, a boundary line is displayed, or the display mark of the pointing device is changed for each area to make it easier to associate the function. It is possible to make it even easier to use.
【００１０】[0010]
【発明の実施の形態】図１に、本発明の第１の実施例を
走査型電子顕微鏡について示す。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention for a scanning electron microscope.
【００１１】走査型電子顕微鏡本体１は、電子源２，第
１の収束レンズ３，２組の非点収差補正コイル４，偏向
コイル５，第２の収束レンズ６，光電子増倍管を用いた
二次電子線検出器８、などで構成され、制御装置９、で
制御される。試料７から発生した二次電子線は、二次電
子線検出器８で検出され、増幅器１０で増幅され、制御
装置９の中の、画像処理装置１１で二次元画像データに
構成され、パーソナルコンピュータなどの計算機１２を
経由して、陰極線管モニタなどの画像表示器１５の表示
画面の中に設定した画像表示領域１６に表示される。The scanning electron microscope main body 1 uses an electron source 2, a first converging lens 3, two sets of astigmatism correction coils 4, a deflection coil 5, a second converging lens 6, and a photomultiplier tube. It is composed of a secondary electron beam detector 8 and the like, and is controlled by a controller 9. The secondary electron beam generated from the sample 7 is detected by the secondary electron beam detector 8, amplified by the amplifier 10, and is formed into two-dimensional image data by the image processing device 11 in the control device 9 and is formed by a personal computer. Is displayed in the image display area 16 set in the display screen of the image display 15 such as a cathode ray tube monitor.
【００１２】この画像領域１６は、分割線で示した５つ
の領域、第一の領域１７，第二の領域１８，第三の領域
１９，第四の領域２０，第五の領域２１、に分割されて
いる。この分割は、表示画面上の座標値にかかわる領域
の分割であって、表示されている画像は分割されない。The image area 16 is divided into five areas indicated by dividing lines, a first area 17, a second area 18, a third area 19, a fourth area 20, and a fifth area 21. Has been done. This division is division of an area related to coordinate values on the display screen, and the displayed image is not divided.
【００１３】計算機１２には、指示スイッチ１４を有す
るポインティング装置１３が接続され、ポインティング
装置１３の移動により、表示画面上に表示される位置表
示マーカ２２の位置を動かし、かつその位置の座標値を
取得することができる。A pointing device 13 having an instruction switch 14 is connected to the computer 12, and the movement of the pointing device 13 moves the position of the position display marker 22 displayed on the display screen, and the coordinate value of the position is displayed. Can be obtained.
【００１４】ポインティング装置１３の操作により以下
の処理を行う。The following processing is performed by operating the pointing device 13.
【００１５】（１）指示スイッチ１４が押されていない
間、ポインティング装置１３の指示する位置は定期的に
読み取られ、分割された領域のどこにあるかが計算され
るとともに、その位置に位置表示マーカ２２が表示され
る。(1) While the pointing switch 14 is not pressed, the position pointed by the pointing device 13 is periodically read to calculate where in the divided area the position indicating marker is located at that position. 22 is displayed.
【００１６】（２）指示スイッチ１４が押されたら、そ
の時の位置表示マーカ２２の位置から、分割された領域
のどこにあるかが計算され、領域１では焦点調節、領域
２では非点収差補正、領域３ではもう一つの非点収差補
正、領域４では画像の明るさ調節、領域５では画像のコ
ントラスト調節、の各機能が起動される。(2) When the instruction switch 14 is pressed, the position of the divided marker is calculated from the position of the position display marker 22 at that time, the focus adjustment is performed in the area 1, the astigmatism correction is performed in the area 2, In the area 3, another astigmatism correction, in the area 4, the image brightness adjustment, and in the area 5, the image contrast adjustment functions are activated.
【００１７】（３）指示スイッチ１４を押したままポイ
ンティング装置１３を移動させると、位置表示マーカ２
２の位置の相対変化量が定期的に計算され、これは制御
装置９に伝達されて、必要な処理が行われる。焦点調節
が起動されている場合には、制御装置９は、位置の相対
変化量が正の値であれば、第２の収束レンズ６の励磁電
流を増加し、負の値であれば、減少させる。これによ
り、焦点調節が行われる。同様に、非点収差補正が起動
されている場合には、位置表示マーカ２２の位置の相対
変化量が正の値であれば、非点収差補正コイル４の電流
を増加し、負の値であれば、減少させる。これにより、
非点収差補正が行われる。画像の明るさ調節が起動され
ている場合には、位置表示マーカ２２の位置の相対変化
量が正の値であれば、増幅器１０の直流バイアス電圧を
増加し、負の値であれば、減少させる。画像のコントラ
スト調節が起動されている場合には、位置表示マーカ２
２の位置の相対変化量が正の値であれば、二次電子線検
出器８の光電子増倍管のバイアス電圧を増加して利得を
増加させ、負の値であれば、減少させる。(3) If the pointing device 13 is moved while the instruction switch 14 is being pressed, the position display marker 2
The relative change amount of the position 2 is calculated at regular intervals, and this is transmitted to the control device 9 to perform necessary processing. When the focus adjustment is activated, the control device 9 increases the exciting current of the second converging lens 6 if the relative change amount of the position is a positive value, and decreases it if the relative change amount is a negative value. Let As a result, focus adjustment is performed. Similarly, when the astigmatism correction is activated and the relative change amount of the position of the position display marker 22 is a positive value, the current of the astigmatism correction coil 4 is increased to a negative value. If there is, reduce it. This allows
Astigmatism correction is performed. When the image brightness adjustment is activated, the DC bias voltage of the amplifier 10 is increased if the relative change amount of the position of the position display marker 22 is a positive value, and is decreased if it is a negative value. Let When the image contrast adjustment is activated, the position display marker 2
If the relative change amount of the position 2 is a positive value, the bias voltage of the photomultiplier tube of the secondary electron beam detector 8 is increased to increase the gain, and if it is a negative value, it is decreased.
【００１８】指示スイッチ１４を押したままポインティ
ング装置１３を移動したときの、可能な移動範囲の取り
方としては、分割された領域の範囲内に限定することも
できるが、いったん移動を開始したら、その領域をはみ
出しても、起動されている機能が継続するようにする方
が、操作しやすいものとなる。When the pointing device 13 is moved while pressing the instruction switch 14, the possible movement range can be limited to the range of the divided areas, but once the movement is started, once the movement is started, It is easier to operate if the activated function continues even if it extends out of the area.
【００１９】（４）指示スイッチ１４が開放されたら、
起動されている各調節機能を、終了させる。(4) When the instruction switch 14 is opened,
Terminate each activated adjustment function.
【００２０】このようにして、指示スイッチ１４を押す
位置を変えるだけで、全く同じ操作で、必要な各種の調
整を行うことができる。この間、オペレータは画像から
目を離す必要が全くなく、極めて容易、かつ迅速な操作
が可能になる。In this way, various necessary adjustments can be made by exactly the same operation, only by changing the position where the instruction switch 14 is pushed. During this time, the operator does not need to take his eyes off the image, which enables extremely easy and quick operation.
【００２１】ここでは、５つの調整機能を例にあげた
が、ほかに、倍率設定，試料を搭載している試料移動機
構の移動，電子光学系の軸調整など、必要な調整に使用
することができる。Here, five adjustment functions are taken as an example, but in addition, it should be used for necessary adjustments such as magnification setting, movement of the sample moving mechanism mounting the sample, and axis adjustment of the electron optical system. You can
【００２２】図２は、本発明の別の実施例を示すもので
ある。ここでは、走査型電子顕微鏡本体１と制御装置９
は図１とまったく同じであり、図示を省略してある。本
実施例では、画像表示領域１６の分割を、第一の領域１
７，第二の領域１８，第三の領域１９、の３つとし、２
つの指示スイッチ１４ａ，１４ｂを有するポインティン
グ装置１３を使用する。FIG. 2 shows another embodiment of the present invention. Here, the scanning electron microscope main body 1 and the control device 9
Is exactly the same as FIG. 1 and is not shown. In this embodiment, the image display area 16 is divided into the first area 1
7, the second area 18, and the third area 19, and 2
A pointing device 13 having two indicating switches 14a and 14b is used.
【００２３】ポインティング装置１３の操作により以下
の処理を行う。The following processing is performed by operating the pointing device 13.
【００２４】（１）指示スイッチ１４ａ，１４ｂがどち
らもが押されていない間、ポインティング装置１３の指
示する位置は定期的に読み取られ、分割された領域のど
こにあるかが計算されるとともに、その位置に位置表示
マーカ２２が表示される。(1) While neither of the instruction switches 14a and 14b is pressed, the position indicated by the pointing device 13 is periodically read to calculate where the divided area is, and The position display marker 22 is displayed at the position.
【００２５】（２）指示スイッチ１４ａ、または１４ｂ
が押されたら、その時の位置表示マーカ２２の位置か
ら、分割された領域のどこにあるかが計算され、指示ス
イッチ１４ａ、または１４ｂのどちらが押されているか
に対応して、領域１では粗い焦点調節，細かい焦点調
節、領域２では非点収差補正、もう一つの非点収差補
正、領域３では画像の明るさ調節，コントラスト調節、
の各機能が起動される。(2) Indicator switch 14a or 14b
When is pressed, the position in the divided area is calculated from the position of the position display marker 22 at that time, and rough focus adjustment is performed in the area 1 in accordance with which of the instruction switches 14a and 14b is pressed. , Fine focus adjustment, astigmatism correction in area 2, another astigmatism correction, image brightness adjustment, contrast adjustment in area 3,
Each function of is activated.
【００２６】（３）指示スイッチ１４ａ、または１４ｂ
を押したままポインティング装置１３を移動させると、
位置表示マーカ２２の位置の相対変化量が定期的に計算
され、これは制御装置９に伝達されて、第１の実施例に
記載したと同様、必要な処理が行われる。(3) Indicator switch 14a or 14b
If you move the pointing device 13 while pressing,
The relative change amount of the position of the position display marker 22 is periodically calculated, and this is transmitted to the control device 9 to perform the necessary processing as described in the first embodiment.
【００２７】（４）指示スイッチ１４ａ，１４ｂが開放
されたら、起動されている各調節機能を、終了させる。(4) When the instruction switches 14a and 14b are opened, each activated adjustment function is terminated.
【００２８】以上の説明では、位置表示マーカ２２の形
状にはふれていないが、これを、分割された領域のどこ
にあるかで変えるようにすれば、いっそうわかりやす
く、操作性のよいものになる。図３は、第２の実施例に
おいて、領域毎に位置表示マーカ２２の形状を変える場
合の形状の例を示したものである。機能を直感的に連想
させる形状がのぞましい。In the above description, the shape of the position display marker 22 is not touched, but if it is changed depending on where in the divided area, it becomes easier to understand and the operability is improved. . FIG. 3 shows an example of the shape when the shape of the position display marker 22 is changed for each area in the second embodiment. The shape that intuitively associates the function is desirable.
【００２９】また、マーカーの形状を変えるのでなく、
分割された領域のそれぞれに、文字または記号で、それ
ぞれの領域の機能を表示することもできる。Further, instead of changing the shape of the marker,
It is also possible to display the function of each area by characters or symbols in each of the divided areas.
【００３０】分割された領域の境界は、境界線を表示す
ることで、明確になる。しかし、画像を観察する上で
は、余分なものであるから、境界線の表示，非表示は、
選択できるようにすることが望ましい。The boundaries of the divided areas are made clear by displaying the boundaries. However, it is redundant in observing the image, so displaying and hiding the border is
It is desirable to be able to choose.
【００３１】図４は、本発明の第３の実施例を示すもの
で、画像表示領域１６の周囲に、スライドバーを配置し
たものである。スライドバーは、図５に示すように、長
方形の領域に、ボタン２８と２９，スライダ３０を配置
し、ポインティング装置のマーカーをスライダー３０の
上に置いて、指示スイッチを押し、そのままポインティ
ング装置を左右に動かすことにより、ポインティング装
置の相対移動量を検出して、所定の処理を行うもので、
グラフィカルユーザーインターフェースでは一般的に使
用されているものである。FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention in which a slide bar is arranged around the image display area 16. As shown in FIG. 5, the slide bar has buttons 28 and 29 and a slider 30 arranged in a rectangular area, a marker of the pointing device is placed on the slider 30, and an instruction switch is pressed to move the pointing device to the left or right. To detect the relative amount of movement of the pointing device and perform a predetermined process.
It is commonly used in graphical user interfaces.
【００３２】図４において、例えば第１の領域１７の上
でポインティング装置１３の指示スイッチが押された
ら、ポインティング装置１３のマーカー２２を強制的に
スライドバー２３のスライダー３０の位置へ移動し、そ
の後ポインティング装置１３が左右に移動されたら、そ
の相対移動量を検出して、所定の処理を行う。第２の領
域１８の上では、スライダー２４を使う。その後の処理
は前記と同様である。In FIG. 4, for example, when the pointing switch of the pointing device 13 is pressed on the first area 17, the marker 22 of the pointing device 13 is forcibly moved to the position of the slider 30 of the slide bar 23, and then, When the pointing device 13 is moved left and right, the relative movement amount is detected and a predetermined process is performed. Above the second area 18, a slider 24 is used. The subsequent processing is the same as above.
【００３３】スライドバーは、操作に使用するととも
に、可能な処理の範囲と、現在そのうちのどの値にある
かの表示としても機能する。通常のスライドバーの使用
法では、まず、ポインティング装置のマーカーをスライ
ダーの位置に合わせてやらなければならないので、この
ように画像領域の周辺に配置したとしても、やはり画像
からいったん離れなければならないが、本方法によれ
ば、十分広い面積を持つ領域上で操作ができるので、前
述の第１，第２の実施例と同じく、画像から目を離すこ
となく、必要なすべての調整を行うことができ、かつ、
表示機能としてのスライドバーの機能をも利用すること
ができる。The slide bar is used not only for operation but also as a display of a range of possible processing and which value is currently in the range. In normal use of the slide bar, the marker of the pointing device must first be aligned with the position of the slider, so even if it is placed around the image area like this, it must still be separated from the image. According to this method, since an operation can be performed on a region having a sufficiently large area, all necessary adjustments can be performed without taking an eye off the image, as in the first and second embodiments described above. Yes, and
The function of the slide bar as a display function can also be used.
【００３４】以上の実施例では、分割された各領域に割
り当てられた機能は、いつでも作動するようにしたが、
ある機能を選択的に作動禁止することができるようにす
ることも、有効である。例えば、焦点調節や画像の明る
さ調整は、操作そのものが簡単であり、他の領域の機能
と間違って操作してもすぐにやり直せるが、非点収差補
正は、初心者には比較的困難なものであり、いったん調
整したら、不用意に変化させたくないものである。その
ような場合には、いったん調整が終わったら、第２の領
域での作動を禁止（操作をしても作動しないように）で
きるようにしておけば、不用意に変化させてしまうこと
を防ぐことができる。In the above embodiment, the function assigned to each divided area is always activated.
It is also useful to be able to selectively disable certain functions. For example, focus adjustment and image brightness adjustment are easy to operate, and even if you make a mistake in operating a function in another area, you can start over immediately, but astigmatism correction is relatively difficult for beginners. And once adjusted, I don't want to change it carelessly. In such a case, once the adjustment is completed, if the operation in the second area can be prohibited (so that it does not operate even if operated), it prevents accidental changes. be able to.
【００３５】また、上記の各実施例では、分割された領
域には固定的に機能を割り振ったものとして記載した
が、複数の組み合わせをユーザーが選択できるようにす
ることも、有効である。Further, in each of the above-described embodiments, the functions are fixedly assigned to the divided areas, but it is also effective to allow the user to select a plurality of combinations.
【００３６】[0036]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、表
示されている画像の上でだけの、マウスなどのポインテ
ィング操作により、画像を観察しながら行わなければな
らない各種の調整をすべて行うことができ、操作性のよ
い、装置を実現できる。As described above, according to the present invention, all kinds of adjustments that must be performed while observing an image are performed by a pointing operation such as a mouse only on the displayed image. It is possible to realize a device with good operability.
【図１】本発明の第１の実施例を示す装置の構成図。FIG. 1 is a configuration diagram of an apparatus showing a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２の実施例を示す装置の構成図。FIG. 2 is a block diagram of an apparatus showing a second embodiment of the present invention.
【図３】ポインティング装置のマーカーの形状を分割さ
れた領域で変える場合のマーカー形状の例。FIG. 3 is an example of a marker shape when the shape of the marker of the pointing device is changed in divided areas.
【図４】本発明の第３の実施例を示す装置の構成図。FIG. 4 is a configuration diagram of an apparatus showing a third embodiment of the present invention.
【図５】スライドバーの説明図。FIG. 5 is an explanatory diagram of a slide bar.
１…走査型電子顕微鏡本体、２…電子源、３…第１の収
束レンズ、４…非点収差補正コイル、５…偏向コイル、
６…第２の収束レンズ、７…試料、８…二次電子線検出
器、９…制御装置、１０…増幅器、１１…画像処理装
置、１２…計算機、１３…ポインティング装置、１４，
１４ａ，１４ｂ…ポインティング装置の指示スイッチ、
１５…画像表示器、１６…画像表示領域、１７，１８，
１９，２０，２１…分割された領域、２２…位置表示マ
ーカー、２３，２４，２５，２６，２７…スライドバ
ー。1 ... Scanning electron microscope main body, 2 ... Electron source, 3 ... First converging lens, 4 ... Astigmatism correction coil, 5 ... Deflection coil,
6 ... Second converging lens, 7 ... Sample, 8 ... Secondary electron beam detector, 9 ... Control device, 10 ... Amplifier, 11 ... Image processing device, 12 ... Computer, 13 ... Pointing device, 14,
14a, 14b ... Pointing device instruction switch,
15 ... Image display device, 16 ... Image display area, 17, 18,
19, 20, 21 ... Divided area, 22 ... Position display marker, 23, 24, 25, 26, 27 ... Slide bar.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01J 37/22 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (58) Fields surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01J 37/22
Claims (9)
表面より発生する二次電子線その他の信号を検出して画
像を生成し、これを陰極線管等の画像表示装置上の画像
表示領域に表示する機能を備え、前記画像表示装置はマ
ウス等のポインティング装置を有し、前記画像表示領域
の中で該ポインティング装置を操作することにより、所
定の調整機能が作動するように構成され、かつ、前記画
像表示領域を２つ以上に分割し、分割されたそれぞれの
領域上で、該ポインティング装置を操作することによ
り、異なる調整機能が作動するようにしたことを特徴と
する、走査型電子顕微鏡および類似装置。1. An image is generated by irradiating and scanning a sample surface with a particle beam, detecting secondary electron beams and other signals generated from the sample surface to generate an image, and displaying the image on an image display device such as a cathode ray tube. The image display device has a function of displaying in a display area, and the image display device has a pointing device such as a mouse. By operating the pointing device in the image display region, a predetermined adjustment function is activated. Further, the image display area is divided into two or more, and different adjustment functions are operated by operating the pointing device on each of the divided areas, which is a scanning type. Electron microscope and similar equipment.
示スイッチを有し、同一領域で、指示スイッチの数だ
け、異なった調整機能が作動するようにした、前記請求
項１の走査型電子顕微鏡および類似装置。2. The scanning electron microscope according to claim 1, wherein the pointing device has two or more indicator switches, and different adjustment functions are activated by the number of indicator switches in the same area. And similar devices.
にした、前記請求項１の走査型電子顕微鏡および類似装
置。3. The scanning electron microscope and the similar apparatus according to claim 1, wherein the boundaries of the divided areas are displayed.
る、前記異なる調節機能の機能を、前記分割されたそれ
ぞれの領域中に、文字又は記号で表示するように構成し
た、前記請求項１の走査型電子顕微鏡および類似装置。4. The method according to claim 1, wherein the functions of the different adjustment functions operating on each of the divided areas are arranged to be displayed as characters or symbols in each of the divided areas. Scanning electron microscope and similar devices.
を、前記分割されたそれぞれの領域上で、異なった形状
のものとするように構成した、前記請求項１の走査型電
子顕微鏡および類似装置。5. The scanning electron microscope and the similar device according to claim 1, wherein the position indicating marks of the pointing device are formed in different shapes on the respective divided areas.
装置に付属する指示スイッチを操作した、前記分割され
た領域によって決定され、該指示スイッチを操作したま
ま該ポインティング装置を移動させたときは、前記分割
された領域の外でも、決定された機能が継続するように
構成した、前記請求項１の走査型電子顕微鏡および類似
装置。6. The actuating adjustment function is determined by the divided area in which an instruction switch attached to a pointing device is operated, and when the pointing device is moved while the instruction switch is operated, The scanning electron microscope and similar apparatus according to claim 1, wherein the determined function is continued outside the divided area.
整機能のそれぞれ、またはすべてを、選択的に作動禁止
することができるように構成した、前記請求項１の走査
型電子顕微鏡および類似装置。7. A scanning electron microscope and similar apparatus according to claim 1, wherein each or all of the different adjusting functions operating on the divided areas can be selectively disabled. .
整機能の種類は、選択可能であるように構成した、前記
請求項１の走査型電子顕微鏡および類似装置。8. A scanning electron microscope and similar apparatus according to claim 1, wherein different adjustment function types operating on the divided areas are configured to be selectable.
なる調整機能を行う、複数のスライドバーなどの調整手
段を配置し、前記ポインティング装置の指示スイッチの
操作により、操作された前記分割された領域に応じて、
その領域で作動する調整機能に対応する、前記スライド
バーなどの調整手段に、前記ポインティング装置の位置
表示マークを移動させ、以後は、前記ポインティング装
置の移動により、前記スライドバーなどの調整手段が作
動するように構成した、前記請求項１の走査型電子顕微
鏡および類似装置。9. A plurality of adjusting means such as a plurality of slide bars for performing the plurality of different adjusting functions are arranged around the image display area, and the divided operation is performed by operating an instruction switch of the pointing device. Depending on the area
The position indicating mark of the pointing device is moved to the adjusting means such as the slide bar corresponding to the adjusting function operating in that area, and thereafter, the adjusting means such as the slide bar is operated by the movement of the pointing device. The scanning electron microscope and the similar apparatus according to claim 1, which are configured to.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16895996A JP3376823B2 (en) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | Scanning electron microscope and similar devices |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1021864A JPH1021864A (en) | 1998-01-23 |
| JP3376823B2 true JP3376823B2 (en) | 2003-02-10 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16895996A Expired - Lifetime JP3376823B2 (en) | 1996-06-28 | 1996-06-28 | Scanning electron microscope and similar devices |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP3376823B2 (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005296156A (en) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Hitachi Medical Corp | Medical image display device |
-
1996
- 1996-06-28 JP JP16895996A patent/JP3376823B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
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|---|---|
| JPH1021864A (en) | 1998-01-23 |
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