JPH06308436A - 光外部変調器 - Google Patents
光外部変調器Info
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- JPH06308436A JPH06308436A JP5117695A JP11769593A JPH06308436A JP H06308436 A JPH06308436 A JP H06308436A JP 5117695 A JP5117695 A JP 5117695A JP 11769593 A JP11769593 A JP 11769593A JP H06308436 A JPH06308436 A JP H06308436A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- supporting substrate
- optical waveguide
- acoustic impedance
- external modulator
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 光の減衰が少なく、特性のばらつきを少なく
する。 【構成】 任意の音響インピーダンスを有する支持基板
１の一方の面に順次、下部電極２、圧電体３、上部電極
４が積層され、この上部電極４の上または支持基板１の
他方の面に光導波路５が配置され、下部電極２と上部電
極４の間に高周波信号を印加して圧電体３を駆動すると
光導波路５中を伝搬する光の偏波面が変調される光外部
変調器において、支持基板１の厚さ方向の途中に、支持
基板１の音響インピーダンスとほぼ同じ音響インピーダ
ンスの同光導波路２を設けた。 【効果】 圧電体３より発生した音波が支持基板１中を
伝搬して光導波路５に入射する過程で音響インピーダン
スの相違による反射減衰が生じないので、効率のよい光
外部変調器を得ることができる。
する。 【構成】 任意の音響インピーダンスを有する支持基板
１の一方の面に順次、下部電極２、圧電体３、上部電極
４が積層され、この上部電極４の上または支持基板１の
他方の面に光導波路５が配置され、下部電極２と上部電
極４の間に高周波信号を印加して圧電体３を駆動すると
光導波路５中を伝搬する光の偏波面が変調される光外部
変調器において、支持基板１の厚さ方向の途中に、支持
基板１の音響インピーダンスとほぼ同じ音響インピーダ
ンスの同光導波路２を設けた。 【効果】 圧電体３より発生した音波が支持基板１中を
伝搬して光導波路５に入射する過程で音響インピーダン
スの相違による反射減衰が生じないので、効率のよい光
外部変調器を得ることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光導波路中を伝搬する光
を光光導波路の外部から変調する光外部変調器に関する
ものである。
を光光導波路の外部から変調する光外部変調器に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】光通信等に使用される従来の光変調器
は、光源である半導体レーザ素子または発光ダイオード
等への印加電流を変化させてその出力を直接変調する直
接変調方式が一般的であったが、最近は光ファイバ中を
伝搬する直流光源からの光に外部から信号を印加し、間
接的に変調する光外部変調器が開発されている。
は、光源である半導体レーザ素子または発光ダイオード
等への印加電流を変化させてその出力を直接変調する直
接変調方式が一般的であったが、最近は光ファイバ中を
伝搬する直流光源からの光に外部から信号を印加し、間
接的に変調する光外部変調器が開発されている。
【０００３】このような光外部変調器の一例として、本
願発明者の内の一部の者は以前に音響光学効果を利用し
た図３のような光外部変調器を提案した。図３の光外部
変調器は厚さ１ｍｍ程度の石英ガラス基板１１の一方の
面に光ファイバ１２を配置し、同光ファイバ１とガラス
基板１５とを石英ガラス粉末の燒結体からなる接着剤１
３で接着して一体化し、ガラス基板１１の他方の面に図
３（ｂ）に示すように順次、下部電極１４、膜状の圧電
体１５、上部電極１６を積層してなる圧電素子部１７が
形成されてなる。
願発明者の内の一部の者は以前に音響光学効果を利用し
た図３のような光外部変調器を提案した。図３の光外部
変調器は厚さ１ｍｍ程度の石英ガラス基板１１の一方の
面に光ファイバ１２を配置し、同光ファイバ１とガラス
基板１５とを石英ガラス粉末の燒結体からなる接着剤１
３で接着して一体化し、ガラス基板１１の他方の面に図
３（ｂ）に示すように順次、下部電極１４、膜状の圧電
体１５、上部電極１６を積層してなる圧電素子部１７が
形成されてなる。
【０００４】そして、図３の光外部変調器２１は図４に
示したように偏光子２５と検光子２９との間に配置し、
同光外部変調器２１の圧電素子部１７の下部電極１４と
上部電極１６との間に駆動電源２７から高周波信号を印
加すると両者間の圧電体１５が駆動されて超音波が発生
し、その超音波が光ファイバ１２に導かれて部分的に屈
折率の変動をもたらし、これにより光ファイバ１２中を
伝搬される光の偏波面が印加信号に応じて変化する。そ
の光を検光子２９を介して受光することにより強度変調
光に変換されるようにしてある。なお、図４の２３はＬ
Ｄ光源、３１は検光子２９からの出力光を光−電気変換
するためのＯ／Ｅ変換器、３３はＯ／Ｅ変換された電気
信号を測定するスペクトラムアナライザ、３５はＯ／Ｅ
変換された電気信号を測定するオシロスコープである。
示したように偏光子２５と検光子２９との間に配置し、
同光外部変調器２１の圧電素子部１７の下部電極１４と
上部電極１６との間に駆動電源２７から高周波信号を印
加すると両者間の圧電体１５が駆動されて超音波が発生
し、その超音波が光ファイバ１２に導かれて部分的に屈
折率の変動をもたらし、これにより光ファイバ１２中を
伝搬される光の偏波面が印加信号に応じて変化する。そ
の光を検光子２９を介して受光することにより強度変調
光に変換されるようにしてある。なお、図４の２３はＬ
Ｄ光源、３１は検光子２９からの出力光を光−電気変換
するためのＯ／Ｅ変換器、３３はＯ／Ｅ変換された電気
信号を測定するスペクトラムアナライザ、３５はＯ／Ｅ
変換された電気信号を測定するオシロスコープである。
【０００５】この種の光外部変調器においては光ファイ
バ１２とガラス基板１１とを一体化する石英ガラス粉末
の燒結体からなる接着剤１３は、光ファイバ１２やガラ
ス基板１１と音響インピーダンスが等しいものが好まし
い。その理由は、異なる媒質の境界では、両者の音響イ
ンピーダンスによって界面における音波の反射状態が決
定され、音響インピーダンスが異なると伝搬する過程で
音波の損失が生じてしまうからである。
バ１２とガラス基板１１とを一体化する石英ガラス粉末
の燒結体からなる接着剤１３は、光ファイバ１２やガラ
ス基板１１と音響インピーダンスが等しいものが好まし
い。その理由は、異なる媒質の境界では、両者の音響イ
ンピーダンスによって界面における音波の反射状態が決
定され、音響インピーダンスが異なると伝搬する過程で
音波の損失が生じてしまうからである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のこ
の種の光外部変調器においては以下のような問題があっ
た。 ．実際には接着剤１３の音響インピーダンスは光ファ
イバ１２やガラス基板１１のそれと同一にはならないの
で、接着剤１３を使用しない場合（空気層の場合）より
は効果は高いものの、界面での反射により光の減衰が生
じていた。 ．光ファイバ１２はその外周の一部が長手方向にわた
りガラス基板１１に密着しており、その周囲を接着剤１
３が覆っていることが望ましいが、塗布過程で光ファイ
バ１２とガラス基板１１との間にギャップが生じて接着
剤１３が回り込むことがあり、特性がばらつく原因とな
っていた。
の種の光外部変調器においては以下のような問題があっ
た。 ．実際には接着剤１３の音響インピーダンスは光ファ
イバ１２やガラス基板１１のそれと同一にはならないの
で、接着剤１３を使用しない場合（空気層の場合）より
は効果は高いものの、界面での反射により光の減衰が生
じていた。 ．光ファイバ１２はその外周の一部が長手方向にわた
りガラス基板１１に密着しており、その周囲を接着剤１
３が覆っていることが望ましいが、塗布過程で光ファイ
バ１２とガラス基板１１との間にギャップが生じて接着
剤１３が回り込むことがあり、特性がばらつく原因とな
っていた。
【０００７】本発明の目的は上記のような課題を解決
し、光の減衰が少なく、特性のばらつきが少ない光外部
変調器を提供することにある。
し、光の減衰が少なく、特性のばらつきが少ない光外部
変調器を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の光外部変調器は
図１に示すように任意の音響インピーダンスを有する支
持基板１の一方の面に順次、下部電極２、圧電体３、上
部電極４が積層され、この上部電極４の上または支持基
板１の他方の面に光導波路５が配置され、前記下部電極
２と上部電極４の間に高周波信号を印加して前記圧電体
３を駆動することにより、光導波路５中を伝搬する光の
偏波面を変調するようにした光外部変調器において、前
記支持基板１の厚さ方向の途中に、同支持基板１の音響
インピーダンスとほぼ同じ音響インピーダンスを有する
同光導波路５を設けてなるものである。
図１に示すように任意の音響インピーダンスを有する支
持基板１の一方の面に順次、下部電極２、圧電体３、上
部電極４が積層され、この上部電極４の上または支持基
板１の他方の面に光導波路５が配置され、前記下部電極
２と上部電極４の間に高周波信号を印加して前記圧電体
３を駆動することにより、光導波路５中を伝搬する光の
偏波面を変調するようにした光外部変調器において、前
記支持基板１の厚さ方向の途中に、同支持基板１の音響
インピーダンスとほぼ同じ音響インピーダンスを有する
同光導波路５を設けてなるものである。
【０００９】
【作用】本発明の光外部変調器では任意の音響インピー
ダンスを有する支持基板１の厚さ方向の途中に、同支持
基板１の音響インピーダンスとほぼ同じ音響インピーダ
ンスを有する同光導波路５が設けられ、同支持基板１の
一方の面に順次、下部電極２、圧電体３、上部電極４が
積層されてなるので、支持基板１と光導波路５は音響的
に完全に一体化される。このため圧電体３より発生した
音波は支持基板１中を伝搬して光導波路５に入射する過
程で、音響インピーダンスの相違に基づく反射減衰が生
じない。従って効率のよい光外部変調器を得ることがで
きる。
ダンスを有する支持基板１の厚さ方向の途中に、同支持
基板１の音響インピーダンスとほぼ同じ音響インピーダ
ンスを有する同光導波路５が設けられ、同支持基板１の
一方の面に順次、下部電極２、圧電体３、上部電極４が
積層されてなるので、支持基板１と光導波路５は音響的
に完全に一体化される。このため圧電体３より発生した
音波は支持基板１中を伝搬して光導波路５に入射する過
程で、音響インピーダンスの相違に基づく反射減衰が生
じない。従って効率のよい光外部変調器を得ることがで
きる。
【００１０】
【実施例１】図１に本発明の光外部変調器の第１の実施
例を示す。図１の光外部変調器は任意の音響インピーダ
ンスを有する支持基板１の厚さ方向の途中に光導波路５
を支持基板１と一体化して設け、同支持基板１の一方の
面に順次、下部電極２、圧電体３、上部電極４を積層し
て圧電部６を形成してある。更に、下部電極２、上部電
極４には圧電体３を駆動する信号を供給するためのリー
ド７、８を取付けてある。前記導波路５とその周囲の支
持基板１は同一物質で形成され、両者の音響インピーダ
ンスも等しい。
例を示す。図１の光外部変調器は任意の音響インピーダ
ンスを有する支持基板１の厚さ方向の途中に光導波路５
を支持基板１と一体化して設け、同支持基板１の一方の
面に順次、下部電極２、圧電体３、上部電極４を積層し
て圧電部６を形成してある。更に、下部電極２、上部電
極４には圧電体３を駆動する信号を供給するためのリー
ド７、８を取付けてある。前記導波路５とその周囲の支
持基板１は同一物質で形成され、両者の音響インピーダ
ンスも等しい。
【００１１】前記の光外部変調器は具体的には次の様に
して製作される。先ず、厚さ方向の途中に光導波路５が
設けられた支持基板１は例えば以下のようにして得る。
厚さ０．５ｍｍのシリコン基板１ｂの上に火炎堆積法に
より３０μｍの厚さにクラッド層を、更にその上に７μ
ｍの厚さのコア層を堆積させた後、同シリコン基板１ｂ
を１１００℃で焼成して前記クラッド層及びコア層を透
明ガラス化する。次に導波路５として使用するコア部以
外をドライエッチングにより除去し、その後に再び前記
と同様のクラッド層を厚さ３０μｍ堆積させて基板１ａ
とし、それをガラス化して得る。
して製作される。先ず、厚さ方向の途中に光導波路５が
設けられた支持基板１は例えば以下のようにして得る。
厚さ０．５ｍｍのシリコン基板１ｂの上に火炎堆積法に
より３０μｍの厚さにクラッド層を、更にその上に７μ
ｍの厚さのコア層を堆積させた後、同シリコン基板１ｂ
を１１００℃で焼成して前記クラッド層及びコア層を透
明ガラス化する。次に導波路５として使用するコア部以
外をドライエッチングにより除去し、その後に再び前記
と同様のクラッド層を厚さ３０μｍ堆積させて基板１ａ
とし、それをガラス化して得る。
【００１２】前記のようにして得られた支持基板１の一
方の面にアルミニウム（Ａｌ）を蒸着により設けて下部
電極２を形成し、その上に圧電体３として酸化亜鉛（Ｚ
ｎＯ）を５μｍ程度スパッタリングにより形成し、更に
その上にアルミニウム（Ａｌ）を蒸着により形成して上
部電極４を得る。これら下部電極２と上部電極４に導電
性ペースト等を用いてリード７、８を接続する。
方の面にアルミニウム（Ａｌ）を蒸着により設けて下部
電極２を形成し、その上に圧電体３として酸化亜鉛（Ｚ
ｎＯ）を５μｍ程度スパッタリングにより形成し、更に
その上にアルミニウム（Ａｌ）を蒸着により形成して上
部電極４を得る。これら下部電極２と上部電極４に導電
性ペースト等を用いてリード７、８を接続する。
【００１３】前記したリード７、８の間に例えば４００
ＭＨZ の正弦波を印加すると、圧電体３より発生した超
音波が基板１ａを伝搬して導波路５に入射する。このと
き、基板１ａと導波路５は同じ音響インピーダンスを有
するため両者の界面における音波の反射は全く見られ
ず、極めて効率よく変調を行うことができる。
ＭＨZ の正弦波を印加すると、圧電体３より発生した超
音波が基板１ａを伝搬して導波路５に入射する。このと
き、基板１ａと導波路５は同じ音響インピーダンスを有
するため両者の界面における音波の反射は全く見られ
ず、極めて効率よく変調を行うことができる。
【００１４】
【実施例２】図２に本発明の光外部変調器の第２の実施
例を示す。図２に示すものは石英製の支持基板１の厚さ
方向の途中に導波路５として光ファイバを一体化させた
ものである。
例を示す。図２に示すものは石英製の支持基板１の厚さ
方向の途中に導波路５として光ファイバを一体化させた
ものである。
【００１５】図２の光外部変調器は以下のようにして形
成することができる。石英ガラスの粉末を型に入れて固
めた後、その上に被覆を除去したファイバを配置し、更
にその上に石英ガラスの粉末を積層し、高圧をかけたま
ま１３００℃以上に焼成して支持基板１の厚さ方向の途
中にファイバを設けらる。
成することができる。石英ガラスの粉末を型に入れて固
めた後、その上に被覆を除去したファイバを配置し、更
にその上に石英ガラスの粉末を積層し、高圧をかけたま
ま１３００℃以上に焼成して支持基板１の厚さ方向の途
中にファイバを設けらる。
【００１６】次に、実施例１で説明した手順と同様の手
順で支持基板１に、下部電極２、圧電体３、上部電極４
を積層して圧電部６を形成する。そして、これら下部電
極２と上部電極４に導電性ペースト等を用いてリード
７、８を接続する。この実施例においても極めて効率良
く変調を行うことができる。
順で支持基板１に、下部電極２、圧電体３、上部電極４
を積層して圧電部６を形成する。そして、これら下部電
極２と上部電極４に導電性ペースト等を用いてリード
７、８を接続する。この実施例においても極めて効率良
く変調を行うことができる。
【００１７】実施例１、２のいずれの実施例において
も、支持基板１のうち圧電部６の反対側の面に音波の吸
収部を設けておくと、より一層、効果が高まる。
も、支持基板１のうち圧電部６の反対側の面に音波の吸
収部を設けておくと、より一層、効果が高まる。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明の光外部変調
器では、圧電体３より発生した音波が支持基板１中を伝
搬して光導波路５に入射する過程で音響インピーダンス
の相違による反射減衰が生じないので、効率のよい光外
部変調器を得ることができる。
器では、圧電体３より発生した音波が支持基板１中を伝
搬して光導波路５に入射する過程で音響インピーダンス
の相違による反射減衰が生じないので、効率のよい光外
部変調器を得ることができる。
【図１】本発明の光外部変調器の一実施例を示す斜視
図。
図。
【図２】本発明の他の実施例を示す斜視図。
【図３】（ａ）は従来の光外部変調器の一例を示す断面
図、（ｂ）は同光外部変調器の圧電部６の詳細説明。
図、（ｂ）は同光外部変調器の圧電部６の詳細説明。
【図４】従来の光外部変調器を組込んだ光変調システム
の説明図。
の説明図。
１ 支持基板 ２ 下部電極 ３ 圧電体 ４ 上部電極 ５ 光導波路
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年４月２６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は光導波路中を伝搬する光
を光導波路の外部から変調する光外部変調器に関するも
のである。
を光導波路の外部から変調する光外部変調器に関するも
のである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のこ
の種の光外部変調器においては以下のような問題があっ
た。 ．実際には接着剤１３の音響インピーダンスは光ファ
イバ１２やガラス基板１１のそれと同一にはならないの
で、接着剤１３を使用しない場合（空気層の場合）より
は効果は高いものの、界面での反射により音波の減衰が
生じていた。 ．光ファイバ１２はその外周の一部が長手方向にわた
りガラス基板１１に密着しており、その周囲を接着剤１
３が覆っていることが望ましいが、塗布過程で光ファイ
バ１２とガラス基板１１との間にギャップが生じて接着
剤１３が回り込むことがあり、特性がばらつく原因とな
っていた。
の種の光外部変調器においては以下のような問題があっ
た。 ．実際には接着剤１３の音響インピーダンスは光ファ
イバ１２やガラス基板１１のそれと同一にはならないの
で、接着剤１３を使用しない場合（空気層の場合）より
は効果は高いものの、界面での反射により音波の減衰が
生じていた。 ．光ファイバ１２はその外周の一部が長手方向にわた
りガラス基板１１に密着しており、その周囲を接着剤１
３が覆っていることが望ましいが、塗布過程で光ファイ
バ１２とガラス基板１１との間にギャップが生じて接着
剤１３が回り込むことがあり、特性がばらつく原因とな
っていた。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】本発明の目的は上記のような課題を解決
し、音波の減衰が少なく、特性のばらつきが少ない光外
部変調器を提供することにある。
し、音波の減衰が少なく、特性のばらつきが少ない光外
部変調器を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の光外部変調器は
図１に示すように任意の音響インピーダンスを有する支
持基板１の一方の面に順次、下部電極２、圧電体３、上
部電極４が積層され、この上部電極４の上または支持基
板１の他方の面に光導波路５が配置され、前記下部電極
２と上部電極４の間に高周波信号を印加して前記圧電体
３を駆動することにより、光導波路５中を伝搬する光の
偏波面を変調するようにした光外部変調器において、前
記支持基板１の厚さ方向の途中に、同支持基板１の音響
インピーダンスとほぼ同じ音響インピーダンスを有する
光導波路５を設けてなるものである。
図１に示すように任意の音響インピーダンスを有する支
持基板１の一方の面に順次、下部電極２、圧電体３、上
部電極４が積層され、この上部電極４の上または支持基
板１の他方の面に光導波路５が配置され、前記下部電極
２と上部電極４の間に高周波信号を印加して前記圧電体
３を駆動することにより、光導波路５中を伝搬する光の
偏波面を変調するようにした光外部変調器において、前
記支持基板１の厚さ方向の途中に、同支持基板１の音響
インピーダンスとほぼ同じ音響インピーダンスを有する
光導波路５を設けてなるものである。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【作用】本発明の光外部変調器では任意の音響インピー
ダンスを有する支持基板１の厚さ方向の途中に、同支持
基板１の音響インピーダンスとほぼ同じ音響インピーダ
ンスを有する光導波路５が設けられ、同支持基板１の一
方の面に順次、下部電極２、圧電体３、上部電極４が積
層されてなるので、支持基板１と光導波路５は音響的に
完全に一体化される。このため圧電体３より発生した音
波は支持基板１中を伝搬して光導波路５に入射する過程
で、音響インピーダンスの相違に基づく反射減衰が生じ
ない。従って効率のよい光外部変調器を得ることができ
る。
ダンスを有する支持基板１の厚さ方向の途中に、同支持
基板１の音響インピーダンスとほぼ同じ音響インピーダ
ンスを有する光導波路５が設けられ、同支持基板１の一
方の面に順次、下部電極２、圧電体３、上部電極４が積
層されてなるので、支持基板１と光導波路５は音響的に
完全に一体化される。このため圧電体３より発生した音
波は支持基板１中を伝搬して光導波路５に入射する過程
で、音響インピーダンスの相違に基づく反射減衰が生じ
ない。従って効率のよい光外部変調器を得ることができ
る。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１０】
【実施例１】図１に本発明の光外部変調器の第１の実施
例を示す。図１の光外部変調器は任意の音響インピーダ
ンスを有する支持基板１の厚さ方向の途中に光導波路５
を支持基板１と一体化して設け、同支持基板１の一方の
面に順次、下部電極２、圧電体３、上部電極４を積層し
て圧電部６を形成してある。更に、下部電極２、上部電
極４には圧電体３を駆動する信号を供給するためのリー
ド７、８を取付けてある。前記光導波路５とその周囲の
支持基板１は同一物質で形成され、両者の音響インピー
ダンスも等しい。
例を示す。図１の光外部変調器は任意の音響インピーダ
ンスを有する支持基板１の厚さ方向の途中に光導波路５
を支持基板１と一体化して設け、同支持基板１の一方の
面に順次、下部電極２、圧電体３、上部電極４を積層し
て圧電部６を形成してある。更に、下部電極２、上部電
極４には圧電体３を駆動する信号を供給するためのリー
ド７、８を取付けてある。前記光導波路５とその周囲の
支持基板１は同一物質で形成され、両者の音響インピー
ダンスも等しい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１３】前記したリード７、８の間に例えば４００
ＭＨｚの正弦波を印加すると、圧電体３より発生した超
音波が基板１ａを伝搬して導波路５に入射する。このと
き、基板１ａと光導波路５は同じ音響インピーダンスを
有するため両者の界面における音波の反射は全く見られ
ず、極めて効率よく変調を行うことができる。
ＭＨｚの正弦波を印加すると、圧電体３より発生した超
音波が基板１ａを伝搬して導波路５に入射する。このと
き、基板１ａと光導波路５は同じ音響インピーダンスを
有するため両者の界面における音波の反射は全く見られ
ず、極めて効率よく変調を行うことができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】
【実施例２】図２に本発明の光外部変調器の第２の実施
例を示す。図２に示すものは石英製の支持基板１の厚さ
方向の途中に光導波路５として光ファイバを一体化させ
たものである。
例を示す。図２に示すものは石英製の支持基板１の厚さ
方向の途中に光導波路５として光ファイバを一体化させ
たものである。
フロントページの続き (72)発明者 西川 重昭 東京都千代田区丸の内２丁目６番１号 古 河電気工業株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 任意の音響インピーダンスを有する支持
基板１の一方の面に順次、下部電極２、圧電体３、上部
電極４が積層され、この上部電極４の上または支持基板
１の他方の面に光導波路５が配置され、前記下部電極２
と上部電極４の間に高周波信号を印加して前記圧電体３
を駆動することにより、光導波路５中を伝搬する光の偏
波面を変調するようにした光外部変調器において、前記
支持基板１の厚さ方向の途中に、同支持基板１の音響イ
ンピーダンスとほぼ同じ音響インピーダンスを有する同
光導波路５を設けてなることを特徴とする光外部変調
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5117695A JPH06308436A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | 光外部変調器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5117695A JPH06308436A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | 光外部変調器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06308436A true JPH06308436A (ja) | 1994-11-04 |
Family
ID=14718016
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5117695A Pending JPH06308436A (ja) | 1993-04-21 | 1993-04-21 | 光外部変調器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06308436A (ja) |
-
1993
- 1993-04-21 JP JP5117695A patent/JPH06308436A/ja active Pending
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