JPH06306667A - アルカリ過マンガン酸塩溶液の電解再生装置 - Google Patents
アルカリ過マンガン酸塩溶液の電解再生装置Info
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- JPH06306667A JPH06306667A JP5112491A JP11249193A JPH06306667A JP H06306667 A JPH06306667 A JP H06306667A JP 5112491 A JP5112491 A JP 5112491A JP 11249193 A JP11249193 A JP 11249193A JP H06306667 A JPH06306667 A JP H06306667A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電気酸化によるマンガン酸塩から過マンガ
ン酸塩への電解再生を効率よく行ない、操作取扱いを著
しく簡便化する。 【構成】 アルカリ過マンガン酸塩溶液の流出入口１
２，１３を有する密閉タンク本体１内に棒状陰極２と陽
極３とからなる電極を溶液浸漬状態下に配備した電解再
生装置であって、前記棒状陰極１の周囲に網状陽極３を
筒形に対設すると共に、前記タンク本体１をポンプ４及
び開閉弁１４，１５のある液流入経路５と開閉弁１６の
ある液流出経路６との循環経路でデスミア処理槽７に連
結し、該液流入経路５にストレーナー８を配したこと
で、絶えず濃度の高いマンガン酸塩の含まれる液を電解
再生電極に多量に接触させることが出来るので再生効率
を上げることとなるし、液が強制循環されるので液量を
調節しなくてもよく、バルブ調整を頻繁に行う必要がな
く、取扱い容易であって、かつ電解再生タンクの中にス
ラッジが溜まりにくいし、容易に排除できて、性能を大
巾に高められる。
ン酸塩への電解再生を効率よく行ない、操作取扱いを著
しく簡便化する。 【構成】 アルカリ過マンガン酸塩溶液の流出入口１
２，１３を有する密閉タンク本体１内に棒状陰極２と陽
極３とからなる電極を溶液浸漬状態下に配備した電解再
生装置であって、前記棒状陰極１の周囲に網状陽極３を
筒形に対設すると共に、前記タンク本体１をポンプ４及
び開閉弁１４，１５のある液流入経路５と開閉弁１６の
ある液流出経路６との循環経路でデスミア処理槽７に連
結し、該液流入経路５にストレーナー８を配したこと
で、絶えず濃度の高いマンガン酸塩の含まれる液を電解
再生電極に多量に接触させることが出来るので再生効率
を上げることとなるし、液が強制循環されるので液量を
調節しなくてもよく、バルブ調整を頻繁に行う必要がな
く、取扱い容易であって、かつ電解再生タンクの中にス
ラッジが溜まりにくいし、容易に排除できて、性能を大
巾に高められる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、デスミア処理槽のアル
カリ過マンガン酸塩溶液中に発生したマンガン酸塩に対
して電気的に酸化して、過マンガン酸塩に再生処理する
ための装置に関するものである。
カリ過マンガン酸塩溶液中に発生したマンガン酸塩に対
して電気的に酸化して、過マンガン酸塩に再生処理する
ための装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、プリント基板の製造のための処
理工程で用いられる腐蝕溶液では、酸化剤として過マン
ガン酸塩を含むアルカリ性浴であるため腐蝕操作する
と、過マンガン酸塩が転化してマンガン酸塩の沈殿物が
分解副生物として蓄積され、腐蝕液の能力低下を来すこ
とが知れ、特に、プリント基板として多層配線回路板の
製造ではドリリングによる摩擦熱で、溶融した樹脂（ス
ミア）がホール内の内層回路断面に付着して接続障害を
生じる。そこでこのスミアを除去するためにアルカリ過
マンガン酸塩溶液を用いてスミアを除去するのである
が、プリント基板を処理することで、過マンガン酸塩が
マンガン酸塩へと変化してしまい、さらに反応がすすむ
と二酸化マンガンのスラッジとなってしまう。そこで、
この二酸化マンガンのスラッジを発生させないようマン
ガン酸塩の段階で過マンガン酸塩に再生するように、数
種の方法が見出されてきた。その方法としては再生剤
による方法（米国特許第４５９２８５２号）単筒電極
式電解再生装置（図７に示すように多孔筒対ａ内に中心
に陰極棒ｂとその周囲に陽極棒ｃとを備えたもの）をデ
スミア処理槽に直接入れるインタンク方式や非密閉型
オーバーフロータイプのアウトタンク方式などが知られ
ている。
理工程で用いられる腐蝕溶液では、酸化剤として過マン
ガン酸塩を含むアルカリ性浴であるため腐蝕操作する
と、過マンガン酸塩が転化してマンガン酸塩の沈殿物が
分解副生物として蓄積され、腐蝕液の能力低下を来すこ
とが知れ、特に、プリント基板として多層配線回路板の
製造ではドリリングによる摩擦熱で、溶融した樹脂（ス
ミア）がホール内の内層回路断面に付着して接続障害を
生じる。そこでこのスミアを除去するためにアルカリ過
マンガン酸塩溶液を用いてスミアを除去するのである
が、プリント基板を処理することで、過マンガン酸塩が
マンガン酸塩へと変化してしまい、さらに反応がすすむ
と二酸化マンガンのスラッジとなってしまう。そこで、
この二酸化マンガンのスラッジを発生させないようマン
ガン酸塩の段階で過マンガン酸塩に再生するように、数
種の方法が見出されてきた。その方法としては再生剤
による方法（米国特許第４５９２８５２号）単筒電極
式電解再生装置（図７に示すように多孔筒対ａ内に中心
に陰極棒ｂとその周囲に陽極棒ｃとを備えたもの）をデ
スミア処理槽に直接入れるインタンク方式や非密閉型
オーバーフロータイプのアウトタンク方式などが知られ
ている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の再生
剤による方法では同時にスラッジの発生も認められ、
また単筒電極式電解再生装置では電流に対する電解再
生効率が１０〜１５％と低いし、インタンク方式では液
の対流が自然対流となるため電解再生電極の回りではマ
ンガン酸塩から過マンガン酸塩に再生されていくが、電
極から遠い所は再生されにくいため液に濃度差が生じて
しまう欠点があるし、また、非密閉型オーバーフロータ
イプのアウトタンク方式では液があふれ出てしまうこ
とがあり、また、電解再生槽に流れる流量が少ないため
効率も悪いなど問題があった。本発明は、これら従来の
諸欠点を容易に排除しようとするもので、マンガン酸塩
から過マンガン酸塩への電解再生効率を著しく向上さ
せ、かつ取扱いもすこぶる容易である電解再生装置を提
供することを目的とするものである。
剤による方法では同時にスラッジの発生も認められ、
また単筒電極式電解再生装置では電流に対する電解再
生効率が１０〜１５％と低いし、インタンク方式では液
の対流が自然対流となるため電解再生電極の回りではマ
ンガン酸塩から過マンガン酸塩に再生されていくが、電
極から遠い所は再生されにくいため液に濃度差が生じて
しまう欠点があるし、また、非密閉型オーバーフロータ
イプのアウトタンク方式では液があふれ出てしまうこ
とがあり、また、電解再生槽に流れる流量が少ないため
効率も悪いなど問題があった。本発明は、これら従来の
諸欠点を容易に排除しようとするもので、マンガン酸塩
から過マンガン酸塩への電解再生効率を著しく向上さ
せ、かつ取扱いもすこぶる容易である電解再生装置を提
供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、アルカリ過マ
ンガン酸塩溶液の流出入口を有する密閉タンク本体内に
棒状陰極と陽極とからなる電極を溶液浸漬状態下に配備
した電解再生装置をポンプおよび開閉弁のある液流入経
路と液流出経路との循環経路でデスミア処理槽に連結
し、該液流入経路にストレーナーを配備したことを特徴
とするアルカリ過マンガン酸塩溶液の電解再生装置であ
る。
ンガン酸塩溶液の流出入口を有する密閉タンク本体内に
棒状陰極と陽極とからなる電極を溶液浸漬状態下に配備
した電解再生装置をポンプおよび開閉弁のある液流入経
路と液流出経路との循環経路でデスミア処理槽に連結
し、該液流入経路にストレーナーを配備したことを特徴
とするアルカリ過マンガン酸塩溶液の電解再生装置であ
る。
【０００５】
【作用】アルカリ過マンガン酸塩溶液中において、電気
酸化によって発生したマンガン酸塩を含む溶液を、陰極
と陽極とのある密閉タンク本体にポンプで強制循環させ
て、両極を浸漬状態下で電流を流す。即ち、液漏れがな
く、絶えず濃度の高いマンガン酸塩の含まれる液を電解
再生電極に多量に接触させることが出来るので再生効率
を上げることとなるし、液が強制循環されるので流量を
調節しなくてもよく、バルブ調整を頻繁に行う必要がな
く、取扱い容易であって、かつ電解再生タンクの中にス
ラッジが溜りにくいし、容易に排除できて性能を大巾に
高められる。
酸化によって発生したマンガン酸塩を含む溶液を、陰極
と陽極とのある密閉タンク本体にポンプで強制循環させ
て、両極を浸漬状態下で電流を流す。即ち、液漏れがな
く、絶えず濃度の高いマンガン酸塩の含まれる液を電解
再生電極に多量に接触させることが出来るので再生効率
を上げることとなるし、液が強制循環されるので流量を
調節しなくてもよく、バルブ調整を頻繁に行う必要がな
く、取扱い容易であって、かつ電解再生タンクの中にス
ラッジが溜りにくいし、容易に排除できて性能を大巾に
高められる。
【０００６】
【実施例】本発明の実施例を図１乃至図５の例で説明す
ると、アルカリ過マンガン酸塩溶液の流出入口１２，１
３を有する密閉タンク本体１内に棒状陰極２と陽極３と
からなる電極を溶液浸漬状態下に配備した電解再生装置
であって、前記棒状陰極１の周囲に網状陽極３を筒形に
対設すると共に、前記密閉タンク本体１をポンプ４及び
開閉弁１４，１５のある液流入経路５と開閉弁１６のあ
る液流出経路６との循環経路でデスミア処理槽７に連結
し、該液流入経路５にストレーナー８を配備してアルカ
リ過マンガン酸塩溶液における電解再生装置としてあ
る。
ると、アルカリ過マンガン酸塩溶液の流出入口１２，１
３を有する密閉タンク本体１内に棒状陰極２と陽極３と
からなる電極を溶液浸漬状態下に配備した電解再生装置
であって、前記棒状陰極１の周囲に網状陽極３を筒形に
対設すると共に、前記密閉タンク本体１をポンプ４及び
開閉弁１４，１５のある液流入経路５と開閉弁１６のあ
る液流出経路６との循環経路でデスミア処理槽７に連結
し、該液流入経路５にストレーナー８を配備してアルカ
リ過マンガン酸塩溶液における電解再生装置としてあ
る。
【０００７】前記タンク本体１としては、上部に着脱可
能の蓋体９を持った密閉タンクであって、底部にスラッ
ジ排出用のドレーン口１０を備え、ドレーンバルブ１１
のある配管に接続してある。
能の蓋体９を持った密閉タンクであって、底部にスラッ
ジ排出用のドレーン口１０を備え、ドレーンバルブ１１
のある配管に接続してある。
【０００８】前記電解再生用の密閉タンク本体１は、脚
体２０で設置できるようにし、前記陰極２及び陽極３の
接続ターミナル２２，２３を蓋体９に突設し、該ターミ
ナル２２，２３を接続コードで整流器２１に接続して電
流を流すようにしてある。
体２０で設置できるようにし、前記陰極２及び陽極３の
接続ターミナル２２，２３を蓋体９に突設し、該ターミ
ナル２２，２３を接続コードで整流器２１に接続して電
流を流すようにしてある。
【０００９】図６の例では、前記密閉タンク本体１をデ
スミア処理槽７外に設置したアウトタンク方式としたも
ので、該デスミア処理槽７にポンプ４の吸込口を設け
て、吐出側を開閉弁１５を介して密閉タンク本体１の流
入口１２に連結し、流出口１３に接続した液流出経路６
をデスミア処理槽７に開口した循環経路を構成し、ポン
プ４で多量の液の強制循環ができるようにして電解再生
を効率よく行えるようにしてある。
スミア処理槽７外に設置したアウトタンク方式としたも
ので、該デスミア処理槽７にポンプ４の吸込口を設け
て、吐出側を開閉弁１５を介して密閉タンク本体１の流
入口１２に連結し、流出口１３に接続した液流出経路６
をデスミア処理槽７に開口した循環経路を構成し、ポン
プ４で多量の液の強制循環ができるようにして電解再生
を効率よく行えるようにしてある。
【００１０】実施例では、アルカリ過マンガン酸塩溶液
中に発生したマンガン酸塩に対して使用するが、発生し
たマンガン酸塩を電気的に酸化し、過マンガン酸塩に再
生するのに、電極の材質は電気の通りやすいものとする
ことが配慮され、電極の構造は網状体を筒形にした陽極
３の真ん中に陰極２を通すようにし、陰極２と陽極３の
距離を近づけるようにするのがよい。なお、陽極３は、
網状体を筒形とした単筒形に限らずハニカム形または筒
形を並列接続したものでもよい。
中に発生したマンガン酸塩に対して使用するが、発生し
たマンガン酸塩を電気的に酸化し、過マンガン酸塩に再
生するのに、電極の材質は電気の通りやすいものとする
ことが配慮され、電極の構造は網状体を筒形にした陽極
３の真ん中に陰極２を通すようにし、陰極２と陽極３の
距離を近づけるようにするのがよい。なお、陽極３は、
網状体を筒形とした単筒形に限らずハニカム形または筒
形を並列接続したものでもよい。
【００１１】
【発明の効果】本発明は、アルカリ過マンガン酸塩溶液
の流出入口を有する密閉タンク本体内に棒状陰極と陽極
とからなる電極を溶液浸漬状態下に配備した電解再生装
置をポンプおよび開閉弁のある液流入経路と液流出経路
との循環経路でデスミア処理槽に連結し、該液流入経路
にストレーナーを配備したことにより、電解再生用の密
閉タンク本体内では、絶えず濃度の高いマンガン酸塩の
含まれる液を電解再生電極に多量に接触させることが出
来るので、再生効率を上げることとなるし、液が強制循
環されるので流量を調節しなくてもよく、バルブ調整を
頻繁に行う必要がなく、取扱い容易であって、かつ電解
再生タンクの中にスラッジが溜りにくいし、容易に排除
できて性能を大巾に高められるほか、液漏れの心配がな
く、安全に取扱え、作業性を著しく向上でき、二酸化マ
ンガンのスラッジを低減し、満足すべき性能をした処理
ができると共に、デスミア処理の連続的処理が容易にで
きるので、その生産性を大巾に向上できるし、低コスト
で非常に有利な再生装置とすることができる。
の流出入口を有する密閉タンク本体内に棒状陰極と陽極
とからなる電極を溶液浸漬状態下に配備した電解再生装
置をポンプおよび開閉弁のある液流入経路と液流出経路
との循環経路でデスミア処理槽に連結し、該液流入経路
にストレーナーを配備したことにより、電解再生用の密
閉タンク本体内では、絶えず濃度の高いマンガン酸塩の
含まれる液を電解再生電極に多量に接触させることが出
来るので、再生効率を上げることとなるし、液が強制循
環されるので流量を調節しなくてもよく、バルブ調整を
頻繁に行う必要がなく、取扱い容易であって、かつ電解
再生タンクの中にスラッジが溜りにくいし、容易に排除
できて性能を大巾に高められるほか、液漏れの心配がな
く、安全に取扱え、作業性を著しく向上でき、二酸化マ
ンガンのスラッジを低減し、満足すべき性能をした処理
ができると共に、デスミア処理の連続的処理が容易にで
きるので、その生産性を大巾に向上できるし、低コスト
で非常に有利な再生装置とすることができる。
【図１】本発明の実施例の系統説明図である。
【図２】図１の例の電解槽の一部切断側面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線における平面図である。
【図４】図２のＢ−Ｂ線における切断平面図である。
【図５】図３のＣ−Ｃ線における拡大切断側面図であ
る。
る。
【図６】本発明の他の実施例の系統説明図である。
【図７】従来例の単槽式電解再生装置の一部を切欠した
斜視図である。
斜視図である。
１ タンク本体 ２ 陰極 ３ 陽極 ４ ポンプ ５ 液流入経路 ６ 液流出経路 ７ デスミア処理槽 ８ ストレーナー ９ 蓋体 １０ ドレーン １１ ドレーンバルブ １２ 流入口 １３ 流出口 １４ 開閉弁 １５ 開閉弁 １６ 開閉弁
フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/46 Ｚ 6921−4Ｅ
Claims (3)
- 【請求項１】 アルカリ過マンガン酸塩溶液の流出入口
を有する密閉タンク本体内に棒状陰極と陽極とからなる
電極を溶液浸漬状態下に配備した電解再生装置をポンプ
および開閉弁のある液流入経路と液流出経路との循環経
路でデスミア処理槽に連結し、該液流入経路にストレー
ナーを配備したことを特徴とするアルカリ過マンガン酸
塩溶液の電解再生装置。 - 【請求項２】 前記タンク本体が、上部に着脱可能の蓋
体を持った密閉タンクであって、底部にスラッジ排出用
のドレーン口を備えた請求項１記載の電解再生装置。 - 【請求項３】 前記陽極が、網状体を筒形にした単筒
形，ハニカム形または筒形を並列接続したものであっ
て、前記棒状陰極の周囲に対設されている請求項１また
は２記載の電解再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5112491A JPH06306667A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | アルカリ過マンガン酸塩溶液の電解再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5112491A JPH06306667A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | アルカリ過マンガン酸塩溶液の電解再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06306667A true JPH06306667A (ja) | 1994-11-01 |
Family
ID=14587980
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5112491A Pending JPH06306667A (ja) | 1993-04-16 | 1993-04-16 | アルカリ過マンガン酸塩溶液の電解再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06306667A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120298505A1 (en) * | 2011-05-24 | 2012-11-29 | C. Uyemura & Co., Ltd. | Electrolytic regeneration unit and electrolytic regeneration apparatus using same |
| CN109701315A (zh) * | 2019-01-22 | 2019-05-03 | 昆山广谦电子有限公司 | Pcb除胶渣工序高锰酸钾还原再生装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01127700A (ja) * | 1987-11-11 | 1989-05-19 | Shimano Ind Co Ltd | メッキ槽におけるメッキ液の再生装置 |
| JPH02267288A (ja) * | 1989-04-07 | 1990-11-01 | Fuji Electric Co Ltd | エッチング液再生装置 |
| JPH02301582A (ja) * | 1989-05-05 | 1990-12-13 | Morton Internatl Inc | 過マンガン酸塩浴の再生方法及び装置 |
| JPH04362183A (ja) * | 1991-06-07 | 1992-12-15 | Nippon Paint Co Ltd | アルミニウム表面洗浄浴の再生方法 |
-
1993
- 1993-04-16 JP JP5112491A patent/JPH06306667A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01127700A (ja) * | 1987-11-11 | 1989-05-19 | Shimano Ind Co Ltd | メッキ槽におけるメッキ液の再生装置 |
| JPH02267288A (ja) * | 1989-04-07 | 1990-11-01 | Fuji Electric Co Ltd | エッチング液再生装置 |
| JPH02301582A (ja) * | 1989-05-05 | 1990-12-13 | Morton Internatl Inc | 過マンガン酸塩浴の再生方法及び装置 |
| JPH04362183A (ja) * | 1991-06-07 | 1992-12-15 | Nippon Paint Co Ltd | アルミニウム表面洗浄浴の再生方法 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20120298505A1 (en) * | 2011-05-24 | 2012-11-29 | C. Uyemura & Co., Ltd. | Electrolytic regeneration unit and electrolytic regeneration apparatus using same |
| JP2012244103A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | C Uyemura & Co Ltd | 電解再生処理ユニット及びこれを備えた電解再生処理装置 |
| US8877020B2 (en) * | 2011-05-24 | 2014-11-04 | C. Uyemura & Co., Ltd. | Electrolytic regeneration unit and electrolytic regeneration apparatus using same |
| TWI464304B (zh) * | 2011-05-24 | 2014-12-11 | Uyemura C & Co Ltd | An electrolytic regeneration processing unit, and an electrolytic regeneration processing device having the same |
| KR101472425B1 (ko) * | 2011-05-24 | 2014-12-12 | 우에무라 고교 가부시키가이샤 | 전해 재생 처리 유닛 및 이것을 구비한 전해 재생 처리 장치 |
| CN109701315A (zh) * | 2019-01-22 | 2019-05-03 | 昆山广谦电子有限公司 | Pcb除胶渣工序高锰酸钾还原再生装置 |
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