JPH06301956A - Magnetic recording medium - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain a magnetic recording medium having large coercive force and perpendicular anisotropy field with good productivity. CONSTITUTION:After at least an undercoating layer mainly composed of Cr and having 10-30nm thickness is formed on a substrate, a magnetic thin film mainly composed of Co and Pd and containing Pd by 15-40atm.% or containing also Ni and 15-40atm.% of Ni and Pd is formed as a recording layer.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体特に垂直
記録を行うハードディスクに適用して好適な合金系磁性
層を有する磁気記録媒体に係わる。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium, and more particularly to a magnetic recording medium having an alloy magnetic layer suitable for application to a hard disk for perpendicular recording.

【０００２】[0002]

【従来の技術】従来より、垂直磁気記録媒体として、Ｃ
ｏ−Ｃｒ系合金薄膜を記録層に有するものが研究され、
具体的には、Ｃｏ−Ｃｒ，Ｃｏ−Ｃｒ−ＴａやＣｏ−Ｎ
ｉ−Ｃｒ等の合金薄膜よりなる磁気記録媒体において、
磁気特性の向上を図るために様々な検討がなされてい
る。2. Description of the Related Art Conventionally, C has been used as a perpendicular magnetic recording medium.
Those having an o-Cr alloy thin film in the recording layer have been studied,
Specifically, Co-Cr, Co-Cr-Ta and Co-N
In a magnetic recording medium made of an alloy thin film such as i-Cr,
Various studies have been made to improve the magnetic characteristics.

【０００３】しかし、上記Ｃｏ−Ｃｒ系合金薄膜を記録
層に用いた磁気記録媒体においては、飽和磁化を大きく
すると垂直磁化膜を実現することが困難となってしま
う。さらに、これらの薄膜を成膜するに際しかなりの高
温を必要とするので基板に対するダメージや基板加熱時
間による生産性の低下といったような問題が生じてい
る。However, in a magnetic recording medium using the Co--Cr alloy thin film as a recording layer, if the saturation magnetization is increased, it becomes difficult to realize a perpendicular magnetization film. Furthermore, since a considerably high temperature is required for forming these thin films, there are problems such as damage to the substrate and a decrease in productivity due to the substrate heating time.

【０００４】そこで、これらの問題を解決可能な材料と
して、Ｃｏ−Ｐｔ系合金薄膜が注目されている。このＣ
ｏ−Ｐｔ系合金材料は、垂直記録を行う磁気記録媒体特
に例えばハードディスクの材料として、各方面で研究開
発が行われている。このＣｏ−Ｐｔ系の薄膜媒体におい
ては低温成膜（無基板加熱）が可能であること、大きな
出力が得られること等の利点がある。Therefore, Co-Pt based alloy thin films have been attracting attention as a material capable of solving these problems. This C
The o-Pt alloy material has been researched and developed in various fields as a magnetic recording medium for perpendicular recording, particularly as a material for a hard disk, for example. This Co-Pt-based thin film medium has advantages such as low-temperature film formation (no substrate heating) and a large output.

【０００５】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記Ｃ
ｏ−Ｐｔ系合金材料を基板材質の上に直接成膜すると垂
直異方性が劣化したり、特性が不安定であったりという
欠点がある。このため、下地層としてＰｔ膜を形成する
方法が多く用いられているが、Ｐｔ膜を下地層に使用す
ると磁気記録媒体のコストが大きく上昇してしまう。However, the above-mentioned C
If an o-Pt-based alloy material is directly formed on the substrate material, there are drawbacks such as deterioration in vertical anisotropy and unstable characteristics. Therefore, although a method of forming a Pt film as the underlayer is often used, using the Pt film as the underlayer significantly increases the cost of the magnetic recording medium.

【０００６】そこで本発明は、かかる実情に鑑みて提案
されたものであり、コストを抑えつつも、大きな垂直異
方性、大きな飽和磁化、及び高い保磁力を有する磁気記
録媒体を提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in view of such circumstances, and it is an object of the present invention to provide a magnetic recording medium having a large perpendicular anisotropy, a large saturation magnetization, and a high coercive force while suppressing the cost. To aim.

【０００７】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、上述の目的を
達成するために提案されたものである。本発明の磁気記
録媒体は、基板上に少なくとも、Ｃｒを主体とし膜厚１
０〜３０ｎｍである下地層と、ＣｏとＰｄを主体とする
磁性薄膜よりなる記録層とが形成されてなることを特徴
とするものである。The present invention has been proposed to achieve the above object. The magnetic recording medium of the present invention has, on the substrate, at least Cr as a main component and a film thickness of 1
It is characterized in that a base layer having a thickness of 0 to 30 nm and a recording layer made of a magnetic thin film mainly containing Co and Pd are formed.

【０００８】上記の下地層の厚みは、１０ｎｍより薄い
と保磁力を向上させる効果が低い。一方、３０ｎｍより
厚いと磁気記録媒体の垂直異方性が劣化するのみなら
ず、下地層の成膜に要する時間が長くなり生産性が低下
する。したがって、上記範囲内とすることが好ましい。If the thickness of the underlayer is less than 10 nm, the effect of improving the coercive force is low. On the other hand, if it is thicker than 30 nm, not only the perpendicular anisotropy of the magnetic recording medium is deteriorated, but also the time required for forming the underlayer is increased and the productivity is lowered. Therefore, it is preferably within the above range.

【０００９】また、上記磁気記録媒体において、記録層
をなす磁性薄膜には、Ｐｄが１５〜４０原子％含有され
ている、又は、Ｎｉが含有されＮｉとＰｄは合わせて１
５〜４０原子％含有されていることが好ましい。Ｐｄ或
いはＰｄとＮｉ合わせた含有量が４０原子％より高いと
十分な出力が得られなくなり、また、１５原子％に満た
ないと垂直磁化膜とならないため不適当である。In the above magnetic recording medium, the magnetic thin film forming the recording layer contains 15 to 40 atomic% of Pd, or contains Ni, and Ni and Pd are 1 in total.
It is preferably contained at 5 to 40 atomic%. If the content of Pd or Pd and Ni combined is higher than 40 atom%, a sufficient output cannot be obtained, and if it is less than 15 atom%, a perpendicular magnetization film is not formed, which is not suitable.

【００１０】[0010]

【作用】下地層としてＣｒを主体とした薄膜を１０〜３
０ｎｍの膜厚で設けた上に、Ｐｄが１５〜４０原子％含
有されている、又は、Ｎｉも含有されＮｉとＰｄが合わ
せて１５〜４０原子％含有されているＣｏ−Ｐｄ系磁性
薄膜を形成すると、保磁力が向上するとともに、垂直異
方性にも優れた磁気記録媒体となる。[Function] As a base layer, a thin film containing Cr as a main component is used in an amount of 10 to 3
A Co—Pd magnetic thin film containing Pd of 15 to 40 atomic% or Ni containing 15 to 40 atomic% of Ni and Pd in total is provided on the film with a thickness of 0 nm. When formed, the magnetic recording medium has improved coercive force and excellent vertical anisotropy.

【００１１】Ｃｒ下地層は１０〜３０ｎｍと薄くても良
好な磁気特性が保てるため、成膜時間が短くなり生産性
が上がる。また、高記録密度化を図るためにも有利であ
る。また、下地層を設けたことにより、基板と記録層と
の付着強度が増し、信頼性の高い磁気記録媒体となる。Even if the Cr underlayer is as thin as 10 to 30 nm, good magnetic characteristics can be maintained, so that the film formation time is shortened and the productivity is increased. Further, it is also advantageous for achieving a high recording density. Further, by providing the underlayer, the adhesion strength between the substrate and the recording layer is increased, and the magnetic recording medium is highly reliable.

【００１２】さらに、Ｐｔを用いずとも、Ｃｏ−Ｐｄ系
磁性薄膜を記録層とする磁気記録媒体において高保磁力
を確保できるため、低コスト化が図れる。Further, even if Pt is not used, a high coercive force can be secured in a magnetic recording medium having a Co--Pd magnetic thin film as a recording layer, so that the cost can be reduced.

【００１３】[0013]

【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて、実験結果に基づき説明する。EXAMPLES Specific examples to which the present invention is applied will be described below based on experimental results.

【００１４】実験１ 下地層としてＣｒ膜を様々な膜厚に成膜した後、Ｃｏ₇₀
−Ｐｄ₃₀（数字は各元素の含有率を原子％で示したもの
である。）磁性薄膜を記録層として形成し、磁気記録媒
体を作成した。 Experiment 1 After depositing a Cr film to various thicknesses as an underlayer, Co ₇₀
-Pd ₃₀ (The numbers show the content of each element in atomic%.) A magnetic thin film was formed as a recording layer to prepare a magnetic recording medium.

【００１５】これらの磁気記録媒体について保磁力Ｈｃ
と垂直異方性磁界Ｈｋを測定し、下地層の膜厚に対して
プロットしたものを図１に示す。なお、○でプロットさ
れた曲線は保磁力Ｈｃを示し、□でプロットされた曲線
は垂直異方性磁界Ｈｋを示している。For these magnetic recording media, the coercive force Hc
The perpendicular anisotropy magnetic field Hk was measured and plotted against the film thickness of the underlayer in FIG. The curve plotted with ◯ shows the coercive force Hc, and the curve plotted with □ shows the perpendicular anisotropic magnetic field Hk.

【００１６】図１より、Ｃｒ下地層を設けると保磁力Ｈ
ｃが著しく向上することがわかる。一方、垂直異方性磁
界Ｈｋは、このＣｒ下地層の膜厚増加にともなって減少
する傾向にあるが、Ｃｒ下地層膜厚３０ｎｍ以下の範囲
ではその減少率が小さいことがわかる。上記垂直異方性
磁界Ｈｋが反磁界（９．４ｋＯｅ）より小さくなってし
まうと垂直磁化膜は得られないが、Ｃｒ下地層を膜厚１
０〜３０ｎｍの範囲で設けると、垂直異方性磁界Ｈｋを
維持しつつ、保磁力Ｈｃが向上した磁気記録媒体とする
ことができる。From FIG. 1, when the Cr underlayer is provided, the coercive force H
It can be seen that c is significantly improved. On the other hand, the perpendicular anisotropy magnetic field Hk tends to decrease with an increase in the film thickness of the Cr underlayer, but it can be seen that the decrease rate is small in the range of the Cr underlayer film thickness of 30 nm or less. When the perpendicular anisotropy magnetic field Hk becomes smaller than the demagnetizing field (9.4 kOe), a perpendicular magnetization film cannot be obtained, but the Cr underlayer is formed to a film thickness of 1
When provided in the range of 0 to 30 nm, a magnetic recording medium having an improved coercive force Hc while maintaining the perpendicular anisotropic magnetic field Hk can be obtained.

【００１７】従来、Ｃｏ−Ｃｒ膜の下地層としてＴｉ膜
を設ける場合やＣｏ−Ｐｔ膜の下地層としてＰｔ膜を設
ける場合、これら下地層の膜厚が１００ｎｍ以上必要で
あったことと比較すると、上記Ｃｒ下地層の膜厚は１０
〜３０ｎｍと非常に薄いものであることがわかる。これ
によって、下地層の成膜時間が短縮されるので生産性が
向上する。Conventionally, when a Ti film is provided as an underlayer of a Co—Cr film or when a Pt film is provided as an underlayer of a Co—Pt film, the thickness of these underlayers needs to be 100 nm or more. The thickness of the Cr underlayer is 10
It can be seen that the thickness is very thin, about 30 nm. As a result, the time for forming the underlayer is shortened, and the productivity is improved.

【００１８】実験２ Experiment 2

【００１９】上述の実験１よりＣｒ下地層の膜厚範囲が
定められたので、本実験ではＣｒ下地層膜厚を２０ｎｍ
として形成し、磁性薄膜を種々に変化させて磁気記録媒
体を作成した。Since the thickness range of the Cr underlayer was determined from the above Experiment 1, the Cr underlayer thickness was set to 20 nm in this experiment.
Then, the magnetic thin film was variously changed to prepare a magnetic recording medium.

【００２０】先ず、上述のようにＣｒ下地層膜厚を２０
ｎｍ厚で形成した後、磁性薄膜として、Ｃｏ₇₀−Ｐ
ｄ₃₀，Ｃｏ₇₅−Ｐｄ₂₅，Ｃｏ₈₀−Ｐｄ₂₀，Ｃｏ₇₀−Ｎｉ
₁₅−Ｐｄ ₁₅なるものを基板加熱なしで形成（低温成膜）
し、実施例１〜４の磁気記録媒体を作成した。また、比
較のためにＣｏ₇₅−Ｐｔ₂₅磁性薄膜を形成した磁気記録
媒体（比較例１）も同様に作成した。これらの磁気記録
媒体について、保磁力Ｈｃと垂直異方性磁界Ｈｋをそれ
ぞれ測定し、この結果を表１に示す。First, the thickness of the Cr underlayer is set to 20 as described above.
nm thickness, and then Co₇₀-P
d₃₀, Co₇₅-Pd_{twenty five}, Co₈₀-Pd₂₀, Co₇₀-Ni
₁₅-Pd ₁₅To be formed without heating the substrate (low temperature film formation)
Then, the magnetic recording media of Examples 1 to 4 were created. Also, the ratio
Co for comparison₇₅-Pt_{twenty five}Magnetic recording with magnetic thin film
A medium (Comparative Example 1) was similarly prepared. These magnetic recordings
For the medium, the coercive force Hc and the perpendicular anisotropy magnetic field Hk
Each measurement was performed, and the results are shown in Table 1.

【００２１】[0021]

【表１】 [Table 1]

【００２２】実施例１〜４の磁気記録媒体はいずれも大
きな垂直異方性磁界を有しながら、高い保磁力を有して
おり、垂直磁気記録媒体として適用可能なものとなって
いる。また、比較例１のＣｏ₇₅−Ｐｔ₂₅磁性薄膜が形成
された磁気記録媒体と磁気特性を比較しても決して劣っ
ていないことがわかる。したがって、Ｐｔを磁性薄膜に
も下地層にも用いずに、優れた特性を有する磁気記録媒
体とすることができ、コストを大幅に低減することがで
きる。Each of the magnetic recording media of Examples 1 to 4 has a high perpendicular anisotropy magnetic field and a high coercive force, and is applicable as a perpendicular magnetic recording medium. It is also found that the magnetic characteristics are not inferior when compared with the magnetic recording medium having the Co ₇₅ -Pt ₂₅ magnetic thin film of Comparative Example 1. Therefore, it is possible to obtain a magnetic recording medium having excellent characteristics without using Pt for the magnetic thin film and the underlayer, and it is possible to significantly reduce the cost.

【００２３】次に、上述のＣｏ−Ｐｄ，Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ
ｄ磁性薄膜の組成をそれぞれ変化させて磁気記録媒体を
作成し、垂直異方性磁界Ｈｋ及び反磁界４πＭｓを測定
した。なお、下地層には２０ｎｍ厚のＣｒ膜を用いた。Next, the above-mentioned Co-Pd, Co-Ni-P
A magnetic recording medium was prepared by changing the composition of each d magnetic thin film, and the perpendicular anisotropic magnetic field Hk and the demagnetizing field 4πMs were measured. A Cr film having a thickness of 20 nm was used as the underlayer.

【００２４】図２は、Ｃｏ−Ｐｄ磁性薄膜が形成された
磁気記録媒体について、磁性薄膜中のＰｄ含有率に対し
て、垂直異方性磁界Ｈｋ及び反磁界４πＭｓの値をプロ
ットしたものである。図２中、横軸は「Ｃｏ−Ｐｄ磁性
薄膜におけるＰｄ含有率」を原子％で示しており、○で
プロットされた曲線は上記Ｐｄ含有率に対する垂直異方
性磁界Ｈｋの値を示し、□でプロットされた略直線は反
磁界４πＭｓの値を示している。FIG. 2 is a plot of the perpendicular anisotropy magnetic field Hk and the demagnetizing field 4πMs with respect to the Pd content in the magnetic thin film of the magnetic recording medium on which the Co-Pd magnetic thin film is formed. . In FIG. 2, the abscissa represents the “Pd content in the Co—Pd magnetic thin film” in atomic%, and the curve plotted with ◯ represents the value of the perpendicular anisotropy magnetic field Hk with respect to the Pd content. The substantially straight line plotted with indicates the value of the demagnetizing field of 4πMs.

【００２５】図２より、ここに示されている組成範囲の
磁性薄膜においては、すべてＨｋ＞４πＭｓなる関係が
成立しており垂直磁化膜となっている。しかし、４πＭ
ｓの値はＰｄ含有率減少にともなって一次関数的に増加
し、Ｈｋの値はＰｄ含有率の低い側ではＰｄ含有率減少
にともなって減少する傾向があるため、Ｐｄ含有率が１
５原子％未満の磁性薄膜においては、Ｈｋ＜４πＭｓと
なって垂直磁化膜となり得ないものがでてくることが予
想される。また、Ｐｄ含有率が４０原子％を超えると飽
和磁化Ｍｓが小さくなりすぎて十分な再生出力を得るこ
とができなくなる。したがって、Ｃｏ−Ｐｄ磁性薄膜に
おけるＰｄ含有率は、１５〜４０原子％とすることが好
ましいことがわかる。As shown in FIG. 2, in the magnetic thin film having the composition range shown here, the relationship of Hk> 4πMs is established and the film is a perpendicular magnetization film. However, 4πM
The value of s increases linearly with the decrease of the Pd content, and the value of Hk tends to decrease with the decrease of the Pd content on the low Pd content side.
In a magnetic thin film of less than 5 atomic%, it is expected that Hk <4πMs will be obtained and that a perpendicularly magnetized film cannot be obtained. On the other hand, if the Pd content exceeds 40 atomic%, the saturation magnetization Ms becomes too small and a sufficient reproduction output cannot be obtained. Therefore, it is understood that the Pd content in the Co-Pd magnetic thin film is preferably 15 to 40 atom%.

【００２６】図３は、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｄ磁性薄膜が形成
された磁気記録媒体について、垂直異方性磁界Ｈｋ及び
反磁界４πＭｓの値を、磁性薄膜中のＮｉとＰｄを合わ
せた含有率に対してプロットしたものである。Ｃｏ−Ｎ
ｉ−Ｐｄ磁性薄膜中、ＮｉとＰｄの含有率は等しく、こ
れらを合わせた含有率を図２中、横軸に「Ｐｄ−Ｎｉ含
有率」として原子％で示している。また、○でプロット
された曲線は上記Ｐｄ−Ｎｉ含有率に対する垂直異方性
磁界Ｈｋの値を示し、□でプロットされた略直線は反磁
界４πＭｓの値を示している。FIG. 3 shows the values of the perpendicular anisotropy magnetic field Hk and the demagnetizing field 4πMs of the magnetic recording medium on which the Co—Ni—Pd magnetic thin film is formed as the total content of Ni and Pd in the magnetic thin film. It is plotted against. Co-N
In the i-Pd magnetic thin film, the contents of Ni and Pd are equal, and the combined contents are shown in FIG. 2 on the horizontal axis as "Pd-Ni contents" in atomic%. The curve plotted with ◯ shows the value of the perpendicular anisotropy magnetic field Hk with respect to the Pd-Ni content, and the substantially straight line plotted with □ shows the value of the demagnetizing field 4πMs.

【００２７】図３より、Ｐｄ−Ｎｉ含有率が１５原子％
以上の磁性薄膜においてはＨｋ＞４πＭｓなる関係が成
立しており、垂直磁化膜となっていることがわかる。一
方、Ｐｄ−Ｎｉ含有率が１５原子％未満の磁性薄膜にお
いては、Ｈｋ＜４πＭｓとなって垂直磁化膜となり得な
い。また、Ｐｄ含有率が４０原子％を超えた磁性薄膜に
おいては飽和磁化Ｍｓが小さくなりすぎて十分な再生出
力を得られなくなる。したがって、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｄ磁
性薄膜におけるＰｄ−Ｎｉ含有率は１５〜４０原子％と
することが好ましい。From FIG. 3, the Pd-Ni content is 15 atomic%.
In the above magnetic thin film, the relationship of Hk> 4πMs is established, and it can be seen that the film is a perpendicular magnetization film. On the other hand, in a magnetic thin film having a Pd-Ni content of less than 15 atomic%, Hk <4πMs is set and a perpendicular magnetization film cannot be obtained. Further, in a magnetic thin film having a Pd content of more than 40 atomic%, the saturation magnetization Ms becomes too small, and a sufficient reproduction output cannot be obtained. Therefore, the Pd-Ni content in the Co-Ni-Pd magnetic thin film is preferably 15 to 40 atom%.

【００２８】以上の結果より、下地層としてＣｒ膜を１
０〜３０ｎｍ形成した上に、Ｃｏ−Ｐｄ磁性薄膜をＰｄ
含有率１５〜４０原子％として設ける、又は、Ｃｏ−Ｎ
ｉ−Ｐｄ磁性薄膜をＰｄ−Ｎｉ含有率１５〜４０原子％
として設けることにより、垂直異方性磁界Ｈｋ及び保磁
力Ｈｃの高い磁気記録媒体とすることができることがわ
かった。From the above results, the Cr film is used as the underlayer.
Co-Pd magnetic thin film is formed on the Pd film with a thickness of 0 to 30 nm.
Provided as a content rate of 15 to 40 atom%, or Co-N
The i-Pd magnetic thin film has a Pd-Ni content of 15 to 40 atom%.
It has been found that the magnetic recording medium having a high perpendicular anisotropy magnetic field Hk and a high coercive force Hc can be obtained by providing the above.

【００２９】上述の磁性薄膜の成膜は基板温度を常温と
して行っているが、良好な特性の磁気記録媒体が作成さ
れており、従来必要であった基板加熱（Ｃｏ−Ｃｒ膜形
成時には１５０℃の加熱）を必要としない。このため、
基板を加熱するための時間とエネルギーを節約でき生産
性の向上につながるとともに、従来耐熱性の問題から用
いることができなかった基板材料も使用可能となる。The above-mentioned magnetic thin film is formed at a substrate temperature of room temperature, but a magnetic recording medium having good characteristics has been prepared, and substrate heating (150 ° C. at the time of forming a Co--Cr film) has been conventionally required. Heating). For this reason,
The time and energy for heating the substrate can be saved, which leads to improvement in productivity, and the substrate material which could not be used due to the heat resistance problem can be used.

【００３０】また、Ｃｒ下地層が形成されていないと磁
気記録媒体の保磁力は磁性薄膜の種々の成膜条件によっ
て敏感に変化してしまい、例えば到達真空度が少し変化
しただけで保磁力が２倍以上変化してしまうが、Ｃｒ下
地層が設けられていると、到達真空度を５×１０^-5〜５
×１０^-4Ｐａにまで変化させても保磁力の変化は５％程
度に抑えられる。したがって、本発明の磁気記録媒体は
極めて再現性のよい有利な膜構成と言える。If the Cr underlayer is not formed, the coercive force of the magnetic recording medium changes sensitively depending on various film forming conditions of the magnetic thin film. For example, the coercive force is changed only by slightly changing the ultimate vacuum. If the Cr underlayer is provided, the ultimate vacuum is 5 × 10 ^{−5 to} 5 although it changes more than twice.
Even if the pressure is changed to × 10 ^-4 Pa, the change in coercive force can be suppressed to about 5%. Therefore, it can be said that the magnetic recording medium of the present invention has an advantageous film structure with extremely good reproducibility.

【００３１】なお、下地層として用いられたＣｒ膜は、
上述した構成で適用される以外に、高透磁率材料の薄膜
よりなる裏打ち層と磁性薄膜よりなる記録層を有する磁
気記録媒体において、Ｃｒを主体とする薄膜を上記裏打
ち層と記録層の間に設けたりすることも可能である。こ
れにより、上記裏打ち層と記録層間の相互作用を低下さ
せることなく、記録層の特性を向上させることができ
る。The Cr film used as the underlayer is
A magnetic recording medium having a backing layer made of a thin film of a high magnetic permeability material and a recording layer made of a magnetic thin film, in addition to being applied in the above-mentioned configuration, a thin film mainly containing Cr is provided between the backing layer and the recording layer. It is also possible to provide it. Thereby, the characteristics of the recording layer can be improved without lowering the interaction between the backing layer and the recording layer.

【００３２】なお、上記下地層としては、Ｃｒ単元素膜
以外にも、Ｃｒ−Ｍｏ合金膜等の合金膜とすることが可
能である。The base layer may be an alloy film such as a Cr-Mo alloy film other than the Cr single element film.

【００３３】[0033]

【発明の効果】以上の説明からも明きらかなように、下
地層としてＣｒを主体とした薄膜を１０〜３０ｎｍの膜
厚で設けた上に、Ｃｏ−Ｐｄ磁性薄膜をＰｄ含有率１５
〜４０原子％として設ける、又は、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｄ磁
性薄膜をＰｄ−Ｎｉ含有率１５〜４０原子％として設け
ると、保磁力が向上するとともに、垂直異方性にも優れ
た磁気記録媒体とすることができる。As is apparent from the above description, a thin film mainly composed of Cr is provided as an underlayer with a film thickness of 10 to 30 nm, and a Co--Pd magnetic thin film has a Pd content of 15%.
To 40 atomic% or a Co-Ni-Pd magnetic thin film having a Pd-Ni content of 15 to 40 atomic% improves the coercive force and provides a magnetic recording medium excellent in perpendicular anisotropy. can do.

【００３４】Ｃｒ下地層は薄くても良好な磁気特性が保
てるので、成膜時間が短くなり生産性が上がるととも
に、高記録密度化を図るためにも有利である。また、下
地層を設けたことにより、基板と記録層との付着強度が
増すので、信頼性の高い磁気記録媒体が提供できる。さ
らに、本発明の磁気記録媒体においてはＰｔを用いてい
ないので低コスト化が図れる。Even if the Cr underlayer is thin, good magnetic properties can be maintained, so that it is advantageous for shortening the film forming time and improving the productivity, and also for increasing the recording density. Further, since the adhesion strength between the substrate and the recording layer is increased by providing the underlayer, a highly reliable magnetic recording medium can be provided. Further, since Pt is not used in the magnetic recording medium of the present invention, cost reduction can be achieved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】Ｃｏ−Ｐｄ磁性薄膜を設けた磁気記録媒体にお
いて、Ｃｒ下地層膜厚に対する保磁力及び垂直異方性磁
界の値を示す特性図である。FIG. 1 is a characteristic diagram showing the values of coercive force and perpendicular anisotropy magnetic field with respect to the thickness of a Cr underlayer in a magnetic recording medium provided with a Co—Pd magnetic thin film.

【図２】Ｃｏ−Ｐｄ磁性薄膜中のＰｄ含有率に対する、
垂直異方性磁界及び反磁界の値を示す特性図である。FIG. 2 shows Pd content in a Co—Pd magnetic thin film,
It is a characteristic view which shows the value of a perpendicular anisotropy magnetic field and a demagnetizing field.

【図３】Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｄ磁性薄膜中のＮｉ−Ｐｄ含有
率に対する、垂直異方性磁界及び反磁界の値を示す特性
図である。FIG. 3 is a characteristic diagram showing values of a perpendicular anisotropy magnetic field and a demagnetizing field with respect to a Ni—Pd content rate in a Co—Ni—Pd magnetic thin film.

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 基板上に少なくとも、Ｃｒを主体とし膜
厚１０〜３０ｎｍである下地層と、ＣｏとＰｄを主体と
する磁性薄膜よりなる記録層とが形成されてなることを
特徴とする磁気記録媒体。1. A magnetic layer comprising at least a base layer having Cr as a main component and a film thickness of 10 to 30 nm and a recording layer made of a magnetic thin film having Co and Pd as a main component, which are formed on a substrate. recoding media. 【請求項２】 記録層をなす磁性薄膜には、Ｐｄが１５
〜４０原子％含有されていることを特徴とする請求項１
記載の磁気記録媒体。2. The magnetic thin film forming the recording layer has Pd of 15
The content of -40 atom% is contained.
The magnetic recording medium described. 【請求項３】 記録層をなす磁性薄膜には、Ｎｉが含有
され、ＮｉとＰｄは合わせて１５〜４０原子％含有され
ていることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic thin film forming the recording layer contains Ni, and the total content of Ni and Pd is 15 to 40 atomic%.