JPH06300900A - 軟ｘ線顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 光学顕微鏡の対物レンズとして複数の異なる
倍率の対物レンズの中の任意の１つを選択可能にして観
察倍率を変更可能とし、低倍率広視野で試料観察部位の
探査およびピント合わせを行い、高倍率高分解能で実際
の観察を行う。 【構成】 試料７にコンデンサレンズ５を介して軟Ｘ線
を照射する軟Ｘ線光源であるパルスレーザ１と、試料の
軟Ｘ線による像を拡大する軟Ｘ線対物レンズとしてのシ
ュヴァルツシルド型対物レンズ９と、拡大された像を可
視光に変換するフォスファ１０と、可視光に変換された
像を再拡大する光学顕微鏡の対物レンズ１２と、再拡大
された像を検出する可視光感応性の撮像素子としてのイ
メージインテンシファイア１４を具えるＸ線顕微鏡に、
対物レンズ１２として複数の異なる倍率の対物レンズの
中から任意の１つを選択する対物レンズ選択機構を設け
た。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線顕微鏡、特に生体
観察や半導体検査等に好適な高解像度の軟Ｘ線顕微鏡装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】可視光を用いる通常の光学顕微鏡の分解
能はほぼ０．２μｍであるので、より高解像度を必要と
する観察の場合には電子顕微鏡を用いることになる。し
かし、電子顕微鏡により生体等を観察するためには、脱
水、固定等の前処理が必要となるとともに、観察を真空
中で行わなければならないという制約を受ける。そこ
で、軟Ｘ線領域の光を用いることにより高解像度および
空気中での観察を実現するようにした軟Ｘ線顕微鏡の開
発が進められるようになった。その中でも、特に生体観
察を目的とするものとして、「水の窓」と呼ばれる２３
〜４３Åの波長領域を用いる軟Ｘ線顕微鏡の開発が進め
られている。

【０００３】軟Ｘ線顕微鏡は、軟Ｘ線光源と、該軟Ｘ線
光源から放射された軟Ｘ線を試料上に集光するコンデン
サレンズと、試料から反射または透過した軟Ｘ線や蛍光
等を拡大して結像する対物レンズと、結像された像を検
出する検出器等から構成され、検出された像はＣＲＴ等
に表示される。軟Ｘ線領域においては、あらゆる物質の
屈折率は１に近い値となり、屈折や反射はほとんど起こ
らず、吸収も大きくなる。したがって、対物レンズとし
ては、全反射現象を用いた斜入射光学系や、多層膜を用
いた直入射反射光学系や、回折を用いたゾーンプレート
光学系が用いられる。

【０００４】一般的に、結像光学系においては、分解能
（解像力）δは、δ＝０．６１λ／ＮＡで与えられる
（ただし、λ；波長、ＮＡ；対物レンズの開口数）。こ
こで、使用する波長を４０Åとすると、斜入射光学系で
は、全反射角の関係からＮＡは最大０．０６程度と見積
もられるので、分解能δは上式から約４００Å、すなわ
ち０．０４μｍ程度となる。また、球面のみを用いた直
入射反射光学系では、幾何学的な収差量からＮＡは０．
２５程度が限界と考えられており、分解能は約１００
Å、すなわち０．０１μｍとなる。したがって、軟Ｘ線
顕微鏡の分解能は、０，０１〜０．０４μｍ程度になる
が、この分解能は、今後の技術改良によりさらに向上す
ることが期待できる。そして、使い易い大きさの軟Ｘ線
顕微鏡を考えた場合、対物レンズの倍率が１００倍程度
で、検出器の分解能が数μｍ以下であることが必要とな
る。

【０００５】一般に、軟Ｘ線の検出器としてはマイクロ
チャンネルプレート（ＭＣＰ）、ＣＣＤ等の固体撮像素
子を用いるが、その場合、各画素間の間隔は何れも１０
μｍ以上なので、分解能が不足する。したがって、何ら
かの手法で像を再拡大してからＭＣＰやＣＣＤで検出す
る方法が用られている。像の再拡大の方法としては、電
子光学的に像を拡大するイメージ型検出器を用いる方法
や、対物レンズによる拡大像をさらに拡大レンズによっ
て拡大する方法が提案されている。

【０００６】上記電子光学的に像を拡大する方法は、図
２に示すようにして行う。すなわち、電子銃４０から放
出される電子をコンデンサ電子レンズ４１によってター
ゲット４２上に収束し、特性Ｘ線（軟Ｘ線顕微鏡の場合
は、発生するＸ線の中から軟Ｘ線を用いる）を発生させ
て試料４３に照射する。試料４３を透過したＸ線をウォ
ルタ型対物レンズ４４によってＣａＩ等の光電変換面４
５上に拡大投影して、光電変換面４５でＸ線を一旦電子
に変換する。その電子を電子レンズ４６によって電子光
学的に再拡大し、電子による拡大像をＭＣＰ４７上に結
像させる。ＭＣＰ４７によって増幅した像を蛍光面４８
によって可視光に変換し、ＣＣＤカメラ４９によって検
出する。なお、以上の系はチェンバ５０によって真空に
保たれている。

【０００７】また、上記軟Ｘ線のままで拡大像をさらに
拡大する方法は、図３に示すようにして行う。すなわ
ち、軟Ｘ線を照射された試料５１を斜入射型対物レンズ
（この例ではウォルタ型を用いる）５２によって拡大し
て最初の像５３を得て、その最初の像５３をさらに斜入
射型全反射鏡（この例ではウォルタ型を用いる）５４に
よって再拡大する。そして、再拡大された軟Ｘ線による
像５５をＭＣＰまたはＣＣＤ５６によって検出する。

【０００８】ところで、上述の電子光学的に像を拡大す
る方法は、装置が複雑化し、電子レンズによる収差が問
題になる上に、光電変換面で変換されずに透過した軟Ｘ
線が直接検出器に入射して画像に悪影響を与える問題が
ある。また、上述の軟Ｘ線のままで拡大像をさらに拡大
する方法は、軟Ｘ線のままで拡大するため、光量損失が
大きくなる上に、装置の大型化を招く問題がある。

【０００９】このような問題点に鑑み、特開平３−２０
００９９号公報に記載の顕微鏡が提案されている。この
公報記載の従来例によれば、フォスファ（phospher；軟
Ｘ線を可視光に変換する蛍光体、燐光体等の部材）によ
って軟Ｘ線を紫外線を含む可視光に変換した後に、通常
の光学顕微鏡の対物レンズによって拡大してからＭＣＰ
やＣＣＤによって画像検出する構成とすることにより、
１０μｍ程度の分解能を有する軟Ｘ線検出器を使用し得
るようにして、０．０１μｍの分解能を実現する顕微鏡
としている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】軟Ｘ線のエネルギーは
高いので、軟Ｘ線を試料に長時間照射すると試料に与え
るダメージが大きくなり、好ましくない。しかし、上記
従来例では、例えば０．０１μｍの分解能となる高解像
度を得るためには総合倍率で２０００倍以上になるまで
拡大する必要があるので視野が極端に狭くなることか
ら、短時間で所望の部位を探査することが困難になり、
限られた試料の許容軟Ｘ線被曝時間内では試料の見たい
部位を探査することが困難になる。また、ピント合わせ
に要する時間もできる限り短くする必要があるので、正
確なピント合わせを実現することも困難になる。したが
って、所望の部位を探査し、正確にピントを合わせるた
めには長時間の軟Ｘ線照射が避けられず、その長時間の
軟Ｘ線照射により試料にダメージを与えることが避けら
れなくなる。

【００１１】また、軟Ｘ線対物レンズには多数の制約条
件があり、任意の倍率に設計するのが難しいので、軟Ｘ
線対物レンズの倍率を変更することにより軟Ｘ線顕微鏡
の倍率を所望に応じて変更し得るようにすることは困難
である。したがって、従来の軟Ｘ線顕微鏡は、一般に、
固定倍率の軟Ｘ線顕微鏡として構成されることになるの
で、低倍率広視野で試料の観察部位の探査を行い、高倍
率高分解能で実際の観察を行う、通常の可視光顕微鏡で
実施されている観察作業を行うことができなかった。

【００１２】

【課題を解決するための手段および作用】本発明は、試
料に軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線光源と、該試料の軟Ｘ線に
よる像を拡大する軟Ｘ線対物レンズと、拡大された像を
可視光に変換するフォスファと、可視光に変換された像
を再拡大する光学顕微鏡の対物レンズと、再拡大された
像を検出する可視光感応性の撮像素子とを具える軟Ｘ線
顕微鏡において、前記光学顕微鏡の対物レンズとして複
数の異なる倍率の対物レンズの中から任意の対物レンズ
を選択する対物レンズ選択機構を設けたから、観察倍率
が変更可能になり、低倍率広視野で試料の観察部位の探
査を行い、高倍率高分解能で実際の観察を行う、通常の
可視光顕微鏡で実施されている観察作業を行うことがで
きる。

【００１３】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき詳細に
説明する。図１は本発明の軟Ｘ線顕微鏡の第１実施例の
構成を示す図である。この実施例は、軟Ｘ線光源として
レーザプラズマ光源を用い、コンデンサレンズとして回
転楕円鏡を用い、対物レンズとして多層膜を用いた直入
射反射鏡から成るシュヴァルツシルド型を用いている。

【００１４】図１において、軟Ｘ線像を観察する際に
は、軟Ｘ線光源としての高出力のパルスレーザ１から放
射されるレーザ光は集光レンズ２によって真空容器３内
に設けられたターゲット４上に集光される。真空容器３
にはレーザ光を容器内に導入する図示しない窓が設けら
れている。ターゲット４は、テープ状の薄膜ターゲット
として構成され、パルスレーザ１の１ショット毎に前記
テープを微小距離移動させる。図示しないテープの移動
機構は、例えば録音用のコンパクトカセットと同様な機
構になっている。

【００１５】集光されたレーザ光によってターゲット４
上に高温、高密度のプラズマが生じて軟Ｘ線が発生す
る。ここで、高出力のパルスレーザ１としては、例えば
Ｎｄ：ＹＡＧレーザで出力１Ｊ／ｐｕｌｓｅ、繰返し周
波数１０Ｈｚのものを用いる。発生した軟Ｘ線は、全反
射を利用した回転楕円鏡のコンデンサレンズ５によって
試料室６内の試料７上に照射される。試料室６は、試料
７の水分を保つために試料を真空に対し隔離する構造に
なっている。したがって、試料室６には窓８が設けられ
ており、窓８を通して試料７を観察できるようになって
いる。窓８は、軟Ｘ線を透過するとともに大気圧に耐え
得るように，直径２００μｍ、厚さ０．１２μｍのＳｉ
₃ Ｎ₄ 薄膜で構成されている。なお、材料をポリイミド
等にしてもよい。

【００１６】試料７を透過した軟Ｘ線はシュヴァルツシ
ルド型対物レンズ９に入射する。シュヴァルツシルド型
対物レンズ９は、この例では倍率１００倍、ＮＡ＝０．
２５であり、したがって分解能は０，０１μｍである。
このシュヴァルツシルド型対物レンズ９により１００倍
に拡大された軟Ｘ線による試料７の像は、フォスファ１
０によって可視光に変換される。フォスファ１０として
は、１μｍ程度の分解能を有するものが必要であり、Ｇ
ｄ₂ Ｏ₂ Ｓ：Ｔｂ 、 Ｇｄ₂ Ｏ₂ Ｓ：Ｅｕ 、 Ｌａ
₂ Ｏ₂ Ｓ：Ｔｂ 、 Ｌａ₂ Ｏ₂ Ｓ：Ｅｕ 、 ＢａＭ
ｇ₂ Ａｌ₁₆Ｏ₂₇：Ｅｕ 、 ＣｅＭｇＡｌ₁₁Ｏ₁₉：Ｔｂ
、 Ｙ₂ Ｏ₆ Ｅｕ等のＹ 、 Ｌａ 、 Ｃｅ 、
Ｅｕ 、 Ｔｂ、 Ｔｍ 、 Ｙｂ系の材料や、Ｃａ₁₀
（ＰＯ₄ ）₆ （Ｆ，Ｃｌ）₂ ：Ｓｂ，Ｍｎ 、 Ｃａｗ
Ｏ₄ 、 ＣｓＩ：Ｎａ等を用いる。これらの材料は、
０．１７ｍｍ厚のカバーガラス１１上に塗布されてい
る。

【００１７】可視光に変換された像は、光学顕微鏡の対
物レンズ１２で再拡大される。対物レンズ１２として
は、複数（通常３個）の倍率の異なる対物レンズを用
い、それら対物レンズはレボルバ１３に装着されてい
る。本例においては少なくとも低倍率および高倍率の２
個の対物レンズが必要である。

【００１８】このレボルバ１３は、真空容器３の外部か
ら図示しない回転機構によって回転させることができ、
このレボルバ１３の回転により複数の異なる倍率の対物
レンズの中から任意の対物レンズを選択することができ
る。その際、レボルバ１３および図示しない回転機構は
対物レンズ選択機構として機能する。なお、対物レンズ
選択機構を単純なスライド機構によって構成してもよ
い。

【００１９】上記２回の拡大により任意（所望）の倍率
に拡大された像は、真空容器３の図示しない窓を経て、
可視光に対し感応性を有する撮像素子であるイメージイ
ンテンシファイア１４内に設けられたＭＣＰ１５上の光
電変換面１６に結像する。基本的には、パルスレーザ１
の１パルスにつき１画像を検出するものとするが、ショ
ット雑音等を軽減するために積算平均化処理等を行うこ
ともある。有効径１０ｍｍのＭＣＰ１５を用いたときそ
の分解能が約４０μｍであるとすると、可視光用の対物
レンズ１２として４０倍の対物レンズを選択した場合、
その４０００分の１の０．０１μｍを解像することがで
き、高解像度が得られる。一方、可視光用の対物レンズ
１２として４倍の対物レンズを選択した場合、総合倍率
は４００倍となるので、試料７上での視野は２５μｍと
なり、広視野が得られる。

【００２０】ＭＣＰ１５は、可視光に対し感応性を有す
る光電変換面１６および蛍光面１７に挟まれており、こ
の部分で光量増幅がなされる。蛍光面１７はレンズ１８
を介してＣＣＤ１９によって撮像され、この撮像により
最終的な画像が得られ、図示しないＣＲＴ等で観察され
る。なお、十分な光量を有する場合は、イメージインテ
ンシファイア１４の代わりにＣＣＤ等の撮像素子によっ
て再拡大された像を直接検出することもできる。また、
レーザの散乱光が強い場合には、レーザ光の特定の波長
をカットするフィルタ２０を出し入れ可能に設けること
により、ノイズの少ない像を得ることができる。

【００２１】以下、この実施例における、可視光による
試料観察について説明する。

【００２２】可視光を反射するミラー２１はターゲット
４からコンデンサレンズ５へ至る光路内の２１ａで示す
位置に移動し、可視光光源２２からの可視光をレンズ２
３を用いてコンデンサレンズ５に導入する。この可視光
の導入のため、真空容器３には図示しない導入用の窓を
設ける。また、真空容器３の外部には、ミラー２１の移
動を容器外部から行うための図示しない移動機構を設け
る。

【００２３】シュヴァルツシルド型対物レンズ９から対
物レンズ１２へ至る光路内のフォスファ１０は１０ａで
示す位置まで移動させて光路から除外する。それと同時
に、カバーガラス１１による光路長変化を補正するガラ
ス板２４をフォスファ１０が存在していた位置に移動す
る。このガラス板２４としては、通常、カバーガラス１
１と同一材料、同一板厚のものを用いる。なお、このガ
ラス板２４は、フォスファ１０が薄膜のままで用いるも
のである場合には省略することができる。また、真空容
器３の外部には、ガラス板２４の移動を容器外部から行
うための図示しない移動機構を設ける。可視光を照射さ
れた試料７のシュヴァルツシルド型対物レンズ９による
像は、ガラス板２４上に結像し、対物レンズ１２によっ
て再拡大された後に、イメージインテンシファイア１４
によって撮像されるので、試料の観察部位を探すことが
可能になる。

【００２４】次に、この実施例における、一連の試料観
察動作について説明する。

【００２５】試料７を試料室６とともに軟Ｘ線顕微鏡に
セットし、真空容器３内の空気を図示しない排気装置に
よって排気し、真空容器３内を真空にする。このとき、
高真空度を必要とするＭＣＰ１５は真空容器３と独立し
ているので、真空容器３内の真空度は軟Ｘ線を透過する
程度であれば十分であり高真空度を必要としないので、
排気作業を短時間で行えるという利点がある。次に、ミ
ラー２１を光路中に移動し、可視光光源２２より試料７
に可視光を照射する。その後、フォスファ１０をガラス
板２４に入れ替えてイメージインテンシファイア１４に
よって可視光による像を観察する。その際、像が明る過
ぎる場合には、入射する可視光の明るさを調整するフィ
ルタ２０として光路中に出し入れ可能に設けたアッテネ
ータを用いて、イメージインテンシファイア１４に必要
以上の光が入射しないようにすることは言うまでもな
い。

【００２６】次に、図示しない試料移動機構により、真
空容器外から試料室６ごと試料７を移動して所望の観察
部位を探査し、同時にピント合わせも行う。その際、上
述したレボルバ１３の回転により対物レンズ１２を低倍
率から順次高倍率に変更していくものとする。次に、タ
ーゲット４およびコンデンサレンズ５間の光路内に点線
で示すように位置しているミラー２１を実線で示す位置
に移動して光路から除外してから可視光の照射を中止
し、シュヴァルツシルド型対物レンズ９から対物レンズ
１２へ至る光路内にフォスファ１０を実線で示すように
移動して導入する。その後、パルスレーザ１を１ショッ
ト発振させて軟Ｘ線画像を得る。このとき、ノイズが多
い場合には積算処理を行う他、画像を図示しないメモリ
に記憶する等の各種画像処理を行っておくことは言うま
でもない。

【００２７】このようにして、レボルバー１３に装着し
た複数の倍率の異なる対物レンズの中から任意に選択さ
れた対物レンズ１２により、低倍率（広視野）から高倍
率（高分解能）までの所望の倍率で軟Ｘ線観察および可
視光観察を行うことができる。また、可視光で観察部位
の探査およびピント合わせをできるので、軟Ｘ線により
試料にダメージを与えずに高分解能で試料観察を行い得
る、簡単な構成の軟Ｘ線顕微鏡を提供することができ
る。

【００２８】また、試料７に可視光を照射する可視光光
源２２を設け、試料７の可視光による拡大像を軟Ｘ線用
のシュヴァルツシルド型対物レンズ９により得て、可視
光による観察ができるようにしたので、試料７の被曝を
軟Ｘ線観察時のみに制限することができる。さらに、軟
Ｘ線光源であるパルスレーザ１およびコンデンサレンズ
５間の光路に可視光反射ミラー２１を出し入れ可能に設
けて軟Ｘ線光路から可視光光路に切り換えるとともに、
可視光の像も結像する軟Ｘ線用対物レンズ９によって得
られた可視光の像を、軟Ｘ線を可視光に変換するフォス
ファ１０を光路から除外するようにしたので、軟Ｘ線観
察に用いる撮像素子であるイメージインテンシファイア
１４をそのまま用いて可視光観察を行うことができる。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、試
料に軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線光源と、該試料の軟Ｘ線に
よる像を拡大する軟Ｘ線対物レンズと、拡大された像を
可視光に変換するフォスファと、可視光に変換された像
を再拡大する光学顕微鏡の対物レンズと、再拡大された
像を検出する可視光感応性の撮像素子とを具える軟Ｘ線
顕微鏡において、前記光学顕微鏡の対物レンズとして複
数の異なる倍率の対物レンズの中から任意の対物レンズ
を選択する対物レンズ選択機構を設けたから、観察倍率
が変更可能になり、低倍率広視野で試料の観察部位の探
査を行い、高倍率高分解能で実際の観察を行う、通常の
可視光顕微鏡で実施されている観察作業を行うことがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の軟Ｘ線顕微鏡の第１実施例の構成を示
す図である。

【図２】従来技術を説明するための図である。

【図３】従来技術を説明するための図である。

【符号の説明】

１ パルスレーザ（軟Ｘ線光源） ２ 集光レンズ ３ 真空容器 ４ ターゲット ５ コンデンサレンズ ６ 試料室 ７ 試料 ９ シュヴァルツシルド型対物レンズ １０ フォスファ １２ 光学顕微鏡の対物レンズ １３ レボルバ １４ イメージインテンシファイア １５ ＭＣＰ １６ 光電変換面 １７ 蛍光面 １９ ＣＣＤ ２０ フィルタ ２１ ミラー ２２ 可視光光源 ２４ ガラス板

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【手続補正書】

【提出日】平成５年５月１１日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００６

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００６】上記電子光学的に像を拡大する方法の例
を、図２によって説明する。電子銃４０から放出される
電子をコンデンサ電子レンズ４１によってターゲット４
２上に収束し、特性Ｘ線（軟Ｘ線顕微鏡の場合は、発生
するＸ線の中から軟Ｘ線を用いる）を発生させて試料４
３に照射する。試料４３を透過したＸ線をウォルタ型対
物レンズ４４によってＣａＩ等の光電変換面４５上に拡
大投影して、光電変換面４５でＸ線を一旦電子に変換す
る。その電子を電子レンズ４６によって電子光学的に再
拡大し、電子による拡大像をＭＣＰ４７上に結像させ
る。ＭＣＰ４７によって増幅した像を蛍光面４８によっ
て可視光に変換し、ＣＣＤカメラ４９によって検出す
る。なお、以上の系はチェンバ５０によって真空に保た
れている。

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１６】試料７を透過した軟Ｘ線はシュヴァルツシ
ルド型対物レンズ９に入射する。シュヴァルツシルド型
対物レンズ９は、この例では倍率１００倍、ＮＡ＝０．
２５であり、したがって分解能は０，０１μｍである。
このシュヴァルツシルド型対物レンズ９により１００倍
に拡大された軟Ｘ線による試料７の像は、フォスファ１
０によって可視光に変換される。フォスファ１０として
は、１μｍ程度の分解能を有するものが必要であり、Ｇ
ｄ₂ Ｏ₂ Ｓ：Ｔｂ、Ｇｄ₂ Ｏ₂ Ｓ：Ｅｕ、Ｌａ₂ Ｏ₂
Ｓ：Ｔｂ、Ｌａ₂ Ｏ₂ Ｓ：Ｅｕ、ＢａＭｇ₂ Ａｌ
₁₆Ｏ₂₇：Ｅｕ、ＣｅＭｇＡｌ₁₁Ｏ₁₉：Ｔｂ、Ｙ₂ Ｏ₆ Ｅ
ｕ等のＹ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｅｕ、Ｔｂ、Ｔｍ、Ｙｂ系の材
料や、Ｃａ₁₀（ＰＯ₄ ）₆（Ｆ，Ｃｌ）₂ ：Ｓｂ，Ｍ
ｎ、ＣａＷＯ₄ 、ＣｓＩ：Ｎａ等を用いる。これらの材
料は、０．１７ｍｍ厚のカバーガラス１１上に塗布され
ている。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２３

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２３】シュヴァルツシルド型対物レンズ９から対
物レンズ１２へ至る光路内のフォスファ１０は１０ａで
示す位置まで移動させて光路から除外する。それと同時
に、カバーガラス１１による光路長変化を補正するガラ
ス板２４をフォスファ１０が存在していた位置に移動す
る。このガラス板２４としては、通常、カバーガラス１
１と同一材料、同一板厚のものを用いる。なお、このガ
ラス板２４は、フォスファ１０を薄膜のままで用いるも
のである場合には省略することができる。また、真空容
器３の外部には、ガラス板２４の移動を容器外部から行
うための図示しない移動機構を設ける。可視光を照射さ
れた試料７のシュヴァルツシルド型対物レンズ９による
像は、ガラス板２４上に結像し、対物レンズ１２によっ
て再拡大された後に、イメージインテンシファイア１４
によって撮像されるので、試料の観察部位を探すことが
可能になる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】符号の説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【符号の説明】 １ パルスレーザ ２ 集光レンズ ３ 真空容器 ４ ターゲット ５ コンデンサレンズ ６ 試料室 ７ 試料 ９ シュヴァルツシルド型対物レンズ １０ フォスファ １２ 光学顕微鏡の対物レンズ １３ レボルバ １４ イメージインテンシファイア １５ ＭＣＰ １６ 光電変換面 １７ 蛍光面 １９ ＣＣＤ ２０ フィルタ ２１ ミラー ２２ 可視光光源 ２４ ガラス板

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料に軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線光源と、
   該試料の軟Ｘ線による像を拡大する軟Ｘ線対物レンズ
   と、拡大された像を可視光に変換するフォスファと、可
   視光に変換された像を再拡大する光学顕微鏡の対物レン
   ズと、再拡大された像を検出する可視光感応性の撮像素
   子とを具える軟Ｘ線顕微鏡において、 前記光学顕微鏡の対物レンズとして複数の異なる倍率の
   対物レンズの中から任意の対物レンズを選択する対物レ
   ンズ選択機構を設けたことを特徴とする、軟Ｘ線顕微
   鏡。
2. 【請求項２】 前記試料に可視光を照射する可視光光源
   を設け、該試料の可視光による拡大像を前記軟Ｘ線対物
   レンズにより得ることにより、可視光による観察ができ
   るようにしたことを特徴とする、請求項１記載の軟Ｘ線
   顕微鏡。
3. 【請求項３】 前記軟Ｘ線光源およびコンデンサレンズ
   間の光路に可視光反射ミラーを出し入れ可能に設けて軟
   Ｘ線光路および可視光光路を切り換え可能にするととも
   に、前記フォスファを光路から除外する機構を設けたこ
   とを特徴とする、請求項１記載の軟Ｘ線顕微鏡。