JPH06298315A - 半導体製造装置における被処理物移載装置 - Google Patents
半導体製造装置における被処理物移載装置Info
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- JPH06298315A JPH06298315A JP11108593A JP11108593A JPH06298315A JP H06298315 A JPH06298315 A JP H06298315A JP 11108593 A JP11108593 A JP 11108593A JP 11108593 A JP11108593 A JP 11108593A JP H06298315 A JPH06298315 A JP H06298315A
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Abstract
収納棚が傾いていても、又、ボート或いはカセットが位
置ずれしていても、ボートへのウェハの載置位置又はカ
セットのウェハ収納位置を正確に検出し、高精度で自動
補正する。 【構成】 移載機5のチャック部4にセンサ6を取付
け、このセンサ6によりボート2及び/又はカセット収
納棚8或いはカセット3の正位置よりずれた量を検出
し、センサ6より得られる検出信号を入力してボート2
へのウェハ載置位置及び/又はカセット3のウェハ収納
位置を自動補正する制御手段を設ける。
Description
の半導体製造装置に係り、特に被処理物の移載における
支持手段の正位置及び/又は収納棚或いは被処理物収納
手段の正位置よりずれた量を検出し、被処理物載置位置
及び/又は被処理物収納位置を自動補正することができ
る半導体製造装置における被処理物移載装置に関する。
移載機5を手動操作してそのチャック部4によりカセッ
ト収納棚8のカセット3からウェハ1を取り出し、移載
機5のA点を中心にチャック部4をカセット3側からボ
ート2側に回転させ、チャック部4によりウェハ1をボ
ート2に挿入しセットする。以下、移載機5を搬送する
ウェハの枚数分のピッチずつ上動または下動し、上記と
同様にチャック部4によりカセット3内のウェハ1を順
次取り出し、回転してチャック部4によりボート2にウ
ェハ1を順次挿入しセットする。
4に保持されたウェハ1の位置は予め定められた位置で
あるが、図2に示すようにボート2が左,右方向に傾い
ている場合、図4に示すようボート2が前,後方向に傾
いている場合、又は図6に示すようにボート2が左,右
方向に位置ずれしている場合がある。
ト収納棚8のカセット3内より順次取出し又は収納する
時、図8に示すようにカセット収納棚8が左,右方向、
例えば右方向に傾いている場合、図10に示すようにカ
セット収納棚8が前,後方向、例えば後方向に傾いてい
る場合、あるいは図13に示すようにカセット収納棚8
内の各列毎の各段のカセット3のセンターl11〜l13,
l21〜l23が各列のセンターl1 ,l2 より左,右方向
に位置ずれしている場合がある。
に傾いている場合は、セットされるウェハ1とボート2
との隙間が上,下方部でバラツキができるため、ウェハ
の載置位置を手動で調整する必要がある。ボート2が
前,後方向に傾いている場合は、ウェハ1の挿入ストロ
ークが上,下方部で異なるため、チャック部4を手動操
作してウェハ1を挿入するストローク量を決定しなけれ
ばならない。又、ボート2が左,右方向に位置ずれして
いる場合は、ボート側に回転したチャック部4に保持さ
れたウェハ1の位置が定位置であるため、ウェハ1とボ
ート2の隙間d1 , d2 が左, 右部で均等になるように
目視で調整する必要がある。
ている場合は、図8に示すようにチャック部4にダイヤ
ルゲージ9を取付け、カセット収納棚8を左,右方向に
移動し、カセット収納棚8の左,右端部面にゲージ先端
を押し当てて目盛を読むことにより、例えばカセット収
納棚8内のカセット3の右方向の傾き量D3 を測定して
いる。カセット収納棚8が前,後方向に傾いている場合
は、図10に示すようにチャック部4にダイヤルゲージ
9を取付け、移載機5を上,下方向に移動し、カセット
収納棚8の上,下端部面にゲージ先端を押し当てて目盛
を読むことにより、例えばカセット収納棚8内のカセッ
ト3の後方向の傾き量D6 を測定している。更に、カセ
ット収納棚8内の各列毎の各段のカセット3のセンター
l11〜l13,l21〜l23が図13に示すように各列のセ
ンターl1 ,l2 より左,右方向に位置ずれしている場
合は、例えば第1列第1段〜第3段のカセット内のウェ
ハ111〜113をチャック部4でホールドして取り出し、
ボート2に載置すると、各棚段毎のウェハの位置ずれが
図14に示すようにボート2に載置されたウェハにその
まま生じ、ウェハ位置ずれを手動で補正する必要があ
る。いずれの従来例にあっても、ウェハ位置の調整に多
くの時間と熟練を必要とし、位置調整を迅速に行うこと
ができない等の課題がある。
を解決するため、被処理物1を載置する支持手段2及び
/又は収納棚8或いは被処理物収納手段3の正位置より
ずれた量を検出し、被処理物載置位置及び/又は被処理
物収納位置を自動補正する制御手段を設けてなる。
理物1の支持手段2及び/又は収納棚8が左,右方向、
前,後方向に傾いていても、又、支持手段2或いは被処
理物収納手段3が左,右方向に位置ずれしていても人手
がかからず、熟練を要さず、被処理物1の載置位置及び
/又は被処理物1の収納位置を制御手段により正確に検
出し高精度で自動的に補正でき、位置調整時間を大幅に
短縮できることになる。
明用平面図である。その構成及び動作の説明は従来の技
術の項で概略説明したので省略する。図3(A),
(B)はそれぞれ本発明装置の第1実施例の構成とボー
トが左,右方向に傾いている場合の動作を説明するため
の平面図及び側面図である。本実施例は、図1に示した
装置において、ウェハ1を載置するボート2の正位置よ
りずれた量を検出するセンサ6をチャック部4に取付
け、このセンサ6によりボート2の正位置よりずれた量
を検出し、このセンサ6より得られる検出信号を入力し
てボート2へのウェハ1の載置位置を自動補正する制御
手段(図示せず)を設ける。
図2はボートが左方向に傾いている状態を示す簡略正面
図である。移載機5を中心点Aを中心に回転させ、チャ
ック部4に取付けたセンサ6を図3(A)に示すように
ボート側の所定位置に向かせ、移載機5を下動してボー
ト2の下部D位置で、ボート2の左右2位置B,Cを検
出する。又,移載機5を上動させ、ボート2の上部E位
置についても同様に左右2位置B,Cを検出する。これ
らの検出信号を制御手段に入力してボート2の左方向の
傾き量(D,E位置で検出したB,C位置の差)を算出
することができる。右方向に傾いている場合も同様であ
る。このように人手がかからず、左,右方向の傾き量を
正確に検出することができるので、ボート2へのウェハ
載置位置を高精度で自動的に補正することができ、位置
調整時間を大幅に短縮することができ、当然熟練も必要
としない。又、傾き量を基に機械組立精度の自己自動検
査も行なえるものである。
図4はボートが後方向に傾いている状態を示す正面図、
図5(A),(B)はそれぞれ本実施例においてボート
が前,後方向に傾いている場合の動作を説明するための
平面図及び側面図である。予めボート2に治具7をセッ
トし、移載機5を中心点Aを中心に回転させ、チャック
部4に取付けたセンサ6をボート側の所定位置に向か
せ、移載機5を下動して予めボート2に載せてある治具
7をボート2の下部D位置で検出する。又、移載機5を
上動させ、ボート2の上部E位置についても同様に検出
する。前方向に傾いている場合も同様である。これらの
検出信号を制御手段に入力してボート2の前,後方向の
傾き量(治具7とセンサ6間の距離をD,E点で測定し
た測定値の差)を算出することができる。このように人
手がかからず、前,後方向の傾き量を正確に検出するこ
とができるので、ボート2へのウェハ載置位置を高精度
で自動的に補正することができ、位置調整時間を大幅に
短縮することができ、当然熟練も必要としない。又、傾
き量を基に機械組立精度の自己自動検査も行なえるもの
である。
場合〉図6は本実施例においてボートが右方向に位置ず
れしている状態を示す平面図、図7は本実施例において
ボートが右方向に位置ずれしている場合の動作を説明す
るための平面図である。移載機5を中心点Aを中心に回
転させ、チャック部4に取付けたセンサ6をボート側の
所定位置に向かせ、ボート2の同一水平面内の位置B,
Cを検出し、これらの検出信号を制御手段に入力してボ
ート2の右方向の位置ずれをボートとウェハ間の右側で
の隙間d1 と右側での隙間d2 より算出することがで
き、かつセンターラインFを算出することができる。左
方向の位置ずれについても同様である。このように人手
がかからず、熟練を要さず、左,右方向の位置ずれを正
確に検出することができるので、ボート2へのウェハ載
置位置を高精度で自動的に補正することができ、位置調
整時間を大幅に短縮することができ、又、センターライ
ンFを求めることができるばかりでなく、ボート2の有
無検知も行うことができる。
の第2実施例の構成とカセット収納棚が左,右方向に傾
いている場合の動作を説明するための平面図及び側面図
である。本実施例の場合、センサ6はカセット収納棚8
又はカセット3の正位置よりずれた量を検出する機能も
兼ねており、かつ制御手段(図示せず)は検出信号を入
力してカセット収納棚8の位置、換言すればカセット3
の収納位置、延いてはウェハの収納位置を自動補正する
機能も兼ねている。
る場合〉移載機5を中心点Aを中心に回転させ、チャッ
ク部4に取付けたセンサ6を図9に示すように収納棚8
側の所定位置に向かせ、収納棚8を左,右方向に移動さ
せて収納棚8の左,右端部位置で、距離D1 ,D2 を検
出し、これらの検出信号を制御手段に入力して、例えば
その差D2 −D1 より右方向の傾き量D3 を算出するこ
とができる。左方向に傾いている場合も同様である。こ
のように人手がかからず、左,右方向の傾き量を正確に
検出することができるので、収納棚8のカセット3内の
ウェハ収納位置を高精度で自動的に補正することがで
き、位置調整時間を大幅に短縮することができ、当然熟
練も必要としない。又、傾き量を基に機械組立精度の自
己自動検査も行なえるものである。
る場合〉図11(A),(B)はそれぞれカセット収納
棚が前,後方向に傾いている場合の動作を説明するため
の平面図及び側面図である。センサ6を図11に示すよ
うに収納棚8の所定位置に向かせ、移載機5を上,下方
向に移動させて収納棚8の上,下端部位置で、距離
D4 ,D5 を検出し、これらの検出信号を制御手段に入
力して例えばその差D5 −D4 より後方向の傾き量D6
を算出することができる。前方向に傾いている場合も同
様である。このように人手がかからず、前,後方向の傾
き量を正確に検出することができるので、収納棚8のカ
セット3内のウェハ収納位置を高精度で自動的に補正す
ることができ、位置調整時間を大幅に短縮することがで
き、当然熟練も必要としない。又、傾き量を基に機械組
立精度の自己自動検査も行なえるものである。
向に位置ずれしている場合〉図12は本発明装置の第2
実施例を、カセット収納棚内の各列毎の各段のカセット
が左,右方向に位置ずれしている場合に適用した構成例
を示す平面図である。ウェハ1を収納したカセット3又
は治具を載せたカセット収納棚8を左,右方向に移動さ
せ、各列毎に移載機5を上下方向に移動して例えば図1
3に示すように2列,3段の収納部にカセット又は治具
が収められている場合、各列センターl1 ,l2 毎の各
段のカセット又は治具の端面を検出し、これらの検出信
号を制御手段に入力してカセット収納棚8における各列
センターl1 ,l2 と、各列毎の各段のカセット又は治
具のセンター,即ちウェハ111〜113,121〜123のセ
ンターl11〜l13,l21〜l23を算出することができ
る。このように人手がかからず、各列、各段毎のカセッ
ト、ウェハの左,右方向の位置ずれを正確に検出するこ
とができるので、カセットのウェハ載置位置を高精度で
自動的に補正することができ、位置調整時間を大幅に短
縮することができ、当然熟練も必要としない。
1を載せる支持手段2及び/又は収納棚8或いは被処理
物収納手段3の正位置よりずれた量を検出し、被処理物
載置位置及び/又は被処理物収納位置を自動補正する制
御手段を設けてなるので、被処理物1の支持手段2及び
/又は収納棚8が左,右方向、前,後方向に傾いていて
も、又、支持手段2或いは被処理物収納手段3が左,右
方向に位置ずれしていても人手がかからず、熟練を要さ
ず、被処理物1の載置位置及び/又は被処理物1の収納
位置を制御手段により正確に検出し高精度で自動的に補
正でき、位置調整時間を大幅に短縮できる。
図である。
面図である。
施例の構成とボートが左,右方向に傾いている場合の動
作を説明するための平面図及び側面図である。
である。
ートが前,後方向に傾いている場合の動作を説明するた
めの平面図及び側面図である。
ている状態を示す平面図である。
ている場合の動作を説明するための平面図である。
納棚の右方向に傾いている状態を示す平面図及び側面図
である。
施例の構成とカセット収納棚が左,右方向に傾いている
場合の動作を説明するための平面図及び側面図である。
傾いている状態を示す側面図である。
前,後方向に傾いている場合の動作を説明するための平
面図及び側面図である。
の各列毎の各段のカセットが左,右方向に位置ずれして
いる場合に適用した構成例を示す平面図である。
ット又は治具が収められている場合の1例を示すカセッ
ト収納棚の正面図である。
〜第3段の収納部のカセットよりウェハをボートに載置
した状態の1例を示すボートの正面図である。
Claims (4)
- 【請求項1】 被処理物(1)を載せるための支持手段
(2)を反応管内に挿入する上下動機構と、被処理物
(1)を保持し、支持手段(2),被処理物収納手段
(3)の収納棚(8)に移動する被処理物載置部(4)
を備えた半導体製造装置における被処理物移載装置にお
いて、支持手段(2)の正位置よりずれた量を検出し、
被処理物載置位置を自動補正する制御手段を設けてなる
半導体製造装置における被処理物移載装置。 - 【請求項2】 支持手段(2)のずれ量を基に機械的組
立精度の自己自動検査を行う機能を制御手段に有せしめ
てなる請求項1の半導体製造装置における被処理物移載
装置。 - 【請求項3】 被処理物(1)を載せるための支持手段
(2)を反応管内に挿入する上下動機構と、被処理物
(1)を保持し、支持手段(2),被処理物収納手段
(3)の収納棚(8)に移動する被処理物載置部(4)
を備えた半導体製造装置における被処理物移載装置にお
いて、収納棚(8)又は被処理物収納手段(3)の正位
置よりずれた量を検出し、被処理物収納位置を自動補正
する制御手段を設けてなる半導体製造装置における被処
理物移載装置。 - 【請求項4】 被処理物(1)を載せるための支持手段
(2)を反応管内に挿入する上下動機構と、被処理物
(1)を保持し、支持手段(2),被処理物収納手段
(3)の収納棚(8)に移動する被処理物載置部(4)
を備えた半導体製造装置における被処理物移載装置にお
いて、収納棚(8)又は被処理物収納手段(3)の正位
置よりずれた量を検出し、収納棚(8)又は被処理物収
納手段(3)のずれ量を基に機械的組立精度の自己自動
検査を行う機能を制御手段に有せしめてなる請求項3の
半導体製造装置における被処理物移載装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11108593A JP3623522B2 (ja) | 1993-04-13 | 1993-04-13 | 半導体製造装置における被処理物移載方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11108593A JP3623522B2 (ja) | 1993-04-13 | 1993-04-13 | 半導体製造装置における被処理物移載方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06298315A true JPH06298315A (ja) | 1994-10-25 |
JP3623522B2 JP3623522B2 (ja) | 2005-02-23 |
Family
ID=14552007
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11108593A Expired - Lifetime JP3623522B2 (ja) | 1993-04-13 | 1993-04-13 | 半導体製造装置における被処理物移載方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3623522B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001033624A1 (fr) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | Applied Materials Inc. | Appareil permettant d'eprouver un robot transportant des tranches |
US7751922B2 (en) | 2004-10-06 | 2010-07-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Semiconductor manufacturing apparatus and manufacturing of a semiconductor device |
JP2011023604A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Ebara Corp | 基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法 |
US11913116B2 (en) | 2018-03-26 | 2024-02-27 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
-
1993
- 1993-04-13 JP JP11108593A patent/JP3623522B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001033624A1 (fr) * | 1999-10-29 | 2001-05-10 | Applied Materials Inc. | Appareil permettant d'eprouver un robot transportant des tranches |
US6401554B1 (en) | 1999-10-29 | 2002-06-11 | Applied Materials, Inc. | Device for testing wafer-transporting robot |
US7751922B2 (en) | 2004-10-06 | 2010-07-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Semiconductor manufacturing apparatus and manufacturing of a semiconductor device |
JP2011023604A (ja) * | 2009-07-16 | 2011-02-03 | Ebara Corp | 基板搬送用ロボットのカセットに対する制御方法 |
US11913116B2 (en) | 2018-03-26 | 2024-02-27 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3623522B2 (ja) | 2005-02-23 |
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