JPH06278073A - Vacuum pressure utilizing working device - Google Patents
Vacuum pressure utilizing working deviceInfo
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- JPH06278073A JPH06278073A JP7340393A JP7340393A JPH06278073A JP H06278073 A JPH06278073 A JP H06278073A JP 7340393 A JP7340393 A JP 7340393A JP 7340393 A JP7340393 A JP 7340393A JP H06278073 A JPH06278073 A JP H06278073A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、産業用ロボットのアー
ム先端部等に取付けられる真空圧利用作業装置に関する
ものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a vacuum pressure working device which is attached to an arm tip of an industrial robot.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ロボットのアーム先端部に取付けられる
作業ツール装置として、従来図３に示すものが知られて
いる。2. Description of the Related Art As a work tool device attached to the tip of an arm of a robot, the one shown in FIG. 3 is conventionally known.
【０００３】図３において、３５はロボットのアーム３
４の先端部に設けられたツール取付軸、３６はツール取
付軸３５に固定された作業ツールユニットであり、作業
ツールユニット３６は圧縮空気の供給を受けて作動する
チャック３６ａと、真空圧を伝達されて作動する吸着ノ
ズル３６ｂとを備えている。In FIG. 3, reference numeral 35 denotes a robot arm 3
4 is a tool mounting shaft provided at the tip of 4, and a working tool unit 36 is fixed to the tool mounting shaft 35. The working tool unit 36 transmits a vacuum pressure to a chuck 36a that operates by receiving supply of compressed air. And a suction nozzle 36b which is operated by being operated.
【０００４】ロボットのアーム３４には、ブラケット３
３を介して、外部から与えられる圧縮空気をオンオフ制
御する電磁弁３１と、外部から与えられる圧縮空気を真
空圧に変換する真空発生器３２等が取付けられている。The arm 3 of the robot has a bracket 3
An electromagnetic valve 31 for controlling on / off of compressed air given from the outside via a 3 and a vacuum generator 32 for converting the compressed air given from the outside into a vacuum pressure are attached.
【０００５】前記電磁弁３１からの圧縮空気は前記チャ
ック３６ａを駆動する作業ツールユニット３６内のエア
シリンダに送られ、真空発生器３２で発生した真空圧は
前記吸着ノズル３６ｂに伝達されるが、このために電磁
弁３１及び真空発生器３２と作業ツールユニット３６と
の間には夫々可撓性配管３７ａ、３７ｂが配設されてい
る。The compressed air from the solenoid valve 31 is sent to an air cylinder in the work tool unit 36 that drives the chuck 36a, and the vacuum pressure generated by the vacuum generator 32 is transmitted to the suction nozzle 36b. For this purpose, flexible pipes 37a and 37b are provided between the solenoid valve 31, the vacuum generator 32 and the work tool unit 36, respectively.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】上記従来例によると、
作業ツールの種類の相違等によって、必要な電磁弁３１
の数、真空発生器３２の数、空気通路等の形状や数など
が異なるので、作業ツールの種類等に対応してその配置
箇所の設計を行い、かつ取付作業を行なわなければなら
ないという問題があった。According to the above conventional example,
Depending on the type of work tool, etc., the required solenoid valve 31
, The number of vacuum generators 32, the shape and number of air passages, etc. are different. Therefore, there is a problem that the location of the arrangement must be designed in accordance with the type of work tool and the installation work must be performed. there were.
【０００７】又電磁弁３１及び真空発生器３２と作業ツ
ールユニット３６との間には相当の距離があり、可撓性
配管３７ａ、３７ｂがかなりの長さのものとなり、圧縮
空気や真空圧による動作の信頼性低下を招くという問題
があった。Further, there is a considerable distance between the solenoid valve 31 and the vacuum generator 32 and the work tool unit 36, and the flexible pipes 37a and 37b have a considerable length, which is caused by compressed air or vacuum pressure. There is a problem that the reliability of the operation is lowered.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するために、ツール取付軸に積層状態に着脱可能に取
付けられる電磁弁ユニット、真空ユニット及び作業ツー
ルユニットを備え、電磁弁ユニットは偏平六面体形状の
電磁弁ブロックとその側面に取付けられた電磁弁を有
し、電磁弁ブロックは外部から供給された圧縮空気を前
記電磁弁に供給する空気通路を備え、電磁弁は電磁弁ブ
ロックから供給された圧縮空気を外部に排出する際のオ
ンオフ制御を行うものである一方、真空ユニットは偏平
六面体形状の真空ブロックとその側面に取付けられた真
空発生器を有し、真空発生器は前記電磁弁から配管を介
して供給された圧縮空気に基いて真空圧を発生するもの
であり、真空ブロックは真空発生器から供給された真空
圧を外部に伝える真空圧通路を備え、作業ツールユニッ
トは前記真空ブロックの真空圧通路から配管を介して伝
えられる真空圧によって動作する真空動作ツールを備え
ていることを特徴とする。In order to solve the above problems, the present invention comprises a solenoid valve unit, a vacuum unit and a work tool unit detachably attached to a tool attachment shaft in a laminated state. It has a flat hexahedron-shaped solenoid valve block and a solenoid valve attached to its side surface, the solenoid valve block has an air passage for supplying compressed air supplied from the outside to the solenoid valve, and the solenoid valve is provided from the solenoid valve block. On-off control is performed when the supplied compressed air is discharged to the outside.On the other hand, the vacuum unit has a flat hexahedral vacuum block and a vacuum generator attached to the side surface of the vacuum block. A vacuum pressure is generated based on the compressed air supplied from the valve through the piping.The vacuum block is a true unit that transmits the vacuum pressure supplied from the vacuum generator to the outside. Comprising a pressure passage, the working tool unit is characterized in that it comprises a vacuum operation tool operated by vacuum pressure delivered through a pipe from the vacuum pressure passage of the vacuum block.
【０００９】なお、電磁弁ブロック、真空ブロック及び
作業ツールユニットを、これらの積層面において凹凸嵌
合し、正確な位置合わせができるように構成すると好適
である。It is preferable that the solenoid valve block, the vacuum block, and the work tool unit are configured so that they are fitted in a concavo-convex manner on their laminated surfaces so that they can be accurately aligned.
【００１０】[0010]
【作用】本発明によると、電磁弁ブロックの４側面を利
用し、必要な個数の電磁弁を取付けて電磁弁ユニットと
することができ、又真空ブロックの４側面を利用して必
要な個数の真空発生器等を取付けて真空ユニットとする
ことができる。そしてこれらユニット及び作業ツールユ
ニットを積層状態にしてツール取付軸に取付けることに
より、真空圧利用作業装置を構成することができる。こ
の際作業ツールユニットを構成する作業ツールの種類や
数に対して、電磁弁や真空発生器の個数を選択すること
で簡単に応じることができ、場合によっては複数の電磁
弁ユニットや真空ユニットを積層することで対応するこ
とができる。According to the present invention, four sides of the solenoid valve block can be used to mount the required number of solenoid valves to form a solenoid valve unit, and four sides of the vacuum block can be used to mount the required number of solenoid valves. A vacuum generator can be attached to form a vacuum unit. Then, the vacuum pressure working device can be configured by stacking these units and the working tool unit and mounting them on the tool mounting shaft. At this time, it is possible to easily respond to the type and number of work tools that make up the work tool unit by selecting the number of solenoid valves and vacuum generators. It can be dealt with by stacking.
【００１１】又電磁弁ユニット、真空ユニット及び作業
ツールユニットの３者は積層状態で近接位置に配されて
いるので、これらを接続する配管は短いものでよいた
め、圧縮空気や真空圧による動作の信頼性向上を図るこ
とができる。Further, since the solenoid valve unit, the vacuum unit and the work tool unit are arranged in close proximity to each other in a laminated state, the pipes connecting them may be short, so that operation by compressed air or vacuum pressure can be performed. The reliability can be improved.
【００１２】[0012]
【実施例】図１及び図２に示す実施例は、ロボットアー
ム１４の先端に２つの作業ツール、すなわちエア駆動式
のチャック１６ａと真空吸着式の吸着ノズル１６ｂとを
備えたものである。1 and 2, the robot arm 14 is provided with two working tools at the tip thereof, that is, an air-driven chuck 16a and a vacuum suction type suction nozzle 16b.
【００１３】前記チャック１６ａは、電磁弁ユニット１
から配管２１を介して与えられる圧縮空気によって作動
するように構成されている。電磁弁ユニット１は図１及
び図２に示すように、偏平六面体形状の電磁弁ブロック
２と、その側面に取付けられた電磁弁５、５とで構成さ
れている。電磁弁ブロック２は、その上面中央にボス部
１２を、その下面中央に嵌合用凸部２２を夫々有すると
共に、その４つの側面の夫々に左右１対の接続口２３、
２３、…を有している。合計８個の接続口２３、２３…
は、電磁弁ブロック２内に形成された空気通路２４によ
って互いに連通せしめられる。The chuck 16a is a solenoid valve unit 1
Is operated by the compressed air supplied from the pipe 21 through the pipe 21. As shown in FIGS. 1 and 2, the solenoid valve unit 1 includes a flat hexahedral solenoid valve block 2 and solenoid valves 5 and 5 attached to the side surfaces thereof. The solenoid valve block 2 has a boss portion 12 at the center of the upper surface thereof and a fitting convex portion 22 at the center of the lower surface thereof, and has a pair of left and right connection ports 23 on each of its four side surfaces.
23, ... A total of eight connection ports 23, 23 ...
Are communicated with each other by an air passage 24 formed in the solenoid valve block 2.
【００１４】電磁弁ブロック２の４つの側面、Ｗ、Ｘ、
Ｙ、Ｚ面の内、Ｗ面には圧縮空気接続管５４が接続さ
れ、Ｘ面及びＹ面には夫々電磁弁５が取付けられてい
る。Ｗ面の２つの接続口２３、２３の内一方は前記圧縮
空気接続管５４が接続され、他方は閉塞されている。Ｘ
面及びＹ面の夫々の接続口２３、２３は、対応する電磁
弁５の空気通路４、４に接続されている。Ｚ面の２つの
接続口２３、２３は閉塞されている。図示する例では２
つの電磁弁５、５が電磁弁ブロック２のＸ面及びＹ面に
取付けられているが、図１に仮想線で示すように４つの
側面全てに、電磁弁５を取付けることが可能である。The four sides of the solenoid valve block 2, W, X,
Of the Y and Z planes, the compressed air connection pipe 54 is connected to the W plane, and the solenoid valves 5 are attached to the X plane and the Y plane, respectively. The compressed air connection pipe 54 is connected to one of the two connection ports 23 on the W surface, and the other is closed. X
The connection ports 23, 23 of the surface and the Y surface are connected to the air passages 4, 4 of the corresponding solenoid valve 5, respectively. The two connection ports 23, 23 on the Z plane are closed. 2 in the illustrated example
Although the one solenoid valve 5 is attached to the X surface and the Y surface of the solenoid valve block 2, it is possible to attach the solenoid valve 5 to all four side surfaces as shown by phantom lines in FIG.
【００１５】電磁弁５は１対の空気通路４、４を有し、
内蔵するバルブ体によってこれら空気通路４、４がＯＮ
−ＯＦＦ制御される。Ｘ面の電磁弁５の一方の空気通路
４は配管２５によって後記真空発生器８に接続され、他
方の空気通路４は閉塞されている。Ｙ面の電磁弁５の１
対の空気通路４、４は１対の配管２１、２１によって後
記作業ツールユニット２７に接続されている。The solenoid valve 5 has a pair of air passages 4, 4.
These air passages 4 and 4 are turned on by the built-in valve body.
-OFF controlled. One air passage 4 of the solenoid valve 5 on the X surface is connected to a vacuum generator 8 described later by a pipe 25, and the other air passage 4 is closed. 1 of Y-side solenoid valve 5
The paired air passages 4 and 4 are connected to a work tool unit 27 described later by a pair of pipes 21 and 21.
【００１６】前記吸着ノズル１６ｂは、真空ユニット６
から配管２８を介して与えられる真空圧により、吸着動
作を行う。真空ユニット６は図１及び図２に示すよう
に、偏平六面体形状の真空ブロック７と、その側面に取
付けられた真空発生器８及び真空スイッチ９とで構成さ
れている。真空ブロック７は、その上面中央に前記嵌合
用凸部２２に嵌合する嵌合用凹部８８を有すると共に、
下面中央に嵌合用凸部２９を有している。又その４つの
側面、すなわちｗ、ｘ、ｙ、ｚ面には接続口１１ａ、１
１ｂ…を有している。ｗ面及びｙ面には、夫々左右一対
の接続口１１ａ、１１ｂが、ｘ面及びｚ面には中央に１
個の接続口１１ａ、１１ｂが形成されている。これら接
続口の内ｗ面のｘ面側の接続口１１ａ、ｘ面の接続口１
１ａ及びｙ面のＸ面側の接続口１１ａは互いに真空ブロ
ック７内に形成した真空圧通路３０ａを介して連通して
おり、又ｗ面のｚ面側の接続口１１ｂ、ｚ面の接続口１
１ｂ及びｙ面のｚ面側の接続口１１ｂは互いに真空ブロ
ック７内に形成した真空圧通路（図示省略）を介して連
通している。The suction nozzle 16b is the vacuum unit 6
The suction operation is performed by the vacuum pressure applied from the above through the pipe 28. As shown in FIGS. 1 and 2, the vacuum unit 6 is composed of a flat hexahedral vacuum block 7, a vacuum generator 8 and a vacuum switch 9 attached to the side surface thereof. The vacuum block 7 has a fitting concave portion 88 that fits in the fitting convex portion 22 at the center of the upper surface thereof, and
A fitting convex portion 29 is provided in the center of the lower surface. Further, the connection ports 11a, 1 are provided on the four side surfaces thereof, that is, the w, x, y, and z surfaces.
1b ... A pair of left and right connection ports 11a and 11b are provided on the w-plane and the y-plane, respectively, and one is provided at the center of the x-plane and the z-plane.
Individual connection ports 11a and 11b are formed. Connection port 11a on the x surface side of the inner w surface of these connection ports, connection port 1 on the x surface
The 1a and y-side X-side connection ports 11a communicate with each other via a vacuum pressure passage 30a formed in the vacuum block 7, and the w-side z-side connection port 11b and the z-side connection port 11a. 1
1b and the z-side connection port 11b of the y-plane communicate with each other through a vacuum pressure passage (not shown) formed in the vacuum block 7.
【００１７】真空ブロック７のｘ面には、圧縮空気を流
入させることによって真空圧を発生させることができる
真空発生器８が取付けられている。この真空発生器８
は、圧縮空気流入口１０を有し、前記配管２５を介して
圧縮空気を受入れ、これに基き真空圧を発生し、真空ブ
ロック７内の真空圧通路３０ａ、ｙ面の接続口１１ａ及
び配管２８を介し、前記吸着ノズル１６ｂに真空圧を及
ぼすように構成されている。A vacuum generator 8 capable of generating a vacuum pressure by injecting compressed air is attached to the x-plane of the vacuum block 7. This vacuum generator 8
Has a compressed air inflow port 10, receives compressed air through the pipe 25, and generates a vacuum pressure based on the compressed air, and a vacuum pressure passage 30a in the vacuum block 7, a connection port 11a on the y surface and a pipe 28. The vacuum pressure is applied to the suction nozzle 16b via the.
【００１８】真空ブロック７のｗ面には、そのｘ面側の
接続口１１ａに接続するように真空スイッチ９が取付け
られている。この真空スイッチ９は真空圧を測定するも
のである。A vacuum switch 9 is attached to the w surface of the vacuum block 7 so as to be connected to the connection port 11a on the x surface side. The vacuum switch 9 measures the vacuum pressure.
【００１９】真空ブロック７の残りの接続口１１ｂは閉
塞されている。なお、図１に仮想線で示すように、更に
１対の真空発生器８及び真空スイッチ９を真空ブロック
７に取付けることが可能である。The remaining connection port 11b of the vacuum block 7 is closed. As shown by the phantom line in FIG. 1, a pair of vacuum generator 8 and vacuum switch 9 can be further attached to the vacuum block 7.
【００２０】前記チャック１６ａ及び吸着ノズル１６ｂ
は作業ツール基体１６に組込まれて、作業ツールユニッ
ト２７が構成されている。作業ツール基体１６はその上
端に取付フランジ部６１を有し、その上面中央に真空ブ
ロック７の嵌合用凸部２９に嵌合する嵌合用凹部６２を
備えている。又作業ツール基体１６は、その内部にエア
シリンダを備え、チャック１６ａの開閉動作を行うよう
に構成されているが、このために前記配管２１に接続さ
れる圧縮空気流入口６５を備えている。更に作業ツール
基体１６は、その内部に前記配管２８に接続する真空圧
流入口６６を備え、吸着ノズル１６ｂに真空圧が作用す
るように構成されている。The chuck 16a and the suction nozzle 16b
Is incorporated in the work tool base 16 to form a work tool unit 27. The work tool base body 16 has a mounting flange portion 61 at its upper end, and a fitting concave portion 62 for fitting with the fitting convex portion 29 of the vacuum block 7 at the center of the upper surface thereof. The work tool base body 16 is provided with an air cylinder therein to open and close the chuck 16a. For this purpose, the work tool base body 16 is provided with a compressed air inlet 65 connected to the pipe 21. Further, the work tool base 16 is provided with a vacuum pressure inlet 66 connected to the pipe 28 therein, and is configured so that a vacuum pressure acts on the suction nozzle 16b.
【００２１】前記電磁弁ブロック２は、ロボットアーム
１４の先端のツール取付軸１５に前記ボス部１２を嵌装
して、ネジ３を用いて取付けられる。電磁弁ブロック２
の下面には真空ブロック７が重ね合わされて配置され、
更に真空ブロック７の下面には作業ツール基体１６の取
付フランジ部６１が重ね合わされて配置されている。The solenoid valve block 2 is mounted by using a screw 3 by fitting the boss portion 12 on a tool mounting shaft 15 at the tip of the robot arm 14. Solenoid valve block 2
The vacuum block 7 is arranged on the lower surface of the
Further, a mounting flange portion 61 of the work tool base 16 is arranged on the lower surface of the vacuum block 7 so as to be overlapped with each other.
【００２２】前記嵌合用凸部２２と嵌合用凹部８８、及
び前記嵌合用凸部２９と嵌合用凹部６２とは嵌合状態と
なり（これらの凸部と凹部は同寸法に形成され、互換性
がある。）、前記ツール取付軸１５とボス部１２との嵌
合と相まって、電磁弁ブロック２、真空ブロック７及び
作業ツール基体１６の中心線がツール取付軸１５の中心
線と一致している。The fitting convex portion 22 and the fitting concave portion 88, and the fitting convex portion 29 and the fitting concave portion 62 are in a fitted state (the convex portion and the concave portion are formed to have the same size, and the compatibility is improved). The center line of the solenoid valve block 2, the vacuum block 7, and the work tool base 16 coincides with the center line of the tool mounting shaft 15 together with the fitting of the tool mounting shaft 15 and the boss portion 12.
【００２３】電磁弁ブロック２の下面には複数のネジ孔
７６が、真空ブロック７及び取付フランジ部６１の夫々
には前記ネジ孔７６と同心のボルト挿通孔７７、７８が
設けられており、これらのネジ孔７６及びボルト挿通孔
７７、７８を利用し、かつボルト７９を用いて真空ブロ
ック７７及び作業ツール基体１６を電磁弁ブロック２に
固定している。A plurality of screw holes 76 are provided on the lower surface of the solenoid valve block 2, and bolt insertion holes 77 and 78 concentric with the screw holes 76 are provided in the vacuum block 7 and the mounting flange portion 61, respectively. The vacuum block 77 and the work tool base body 16 are fixed to the solenoid valve block 2 by using the screw holes 76 and the bolt insertion holes 77, 78 and bolts 79.
【００２４】上記実施例では、電磁弁ユニット１と真空
ユニット６が夫々１つの場合を示しているが、これらの
両方又は一方を複数にして、積層状態にツール取付軸１
５に取付けることができる。In the above embodiment, the solenoid valve unit 1 and the vacuum unit 6 are respectively provided in a single case, but both or one of them is provided in a plural number and the tool mounting shaft 1 is laminated.
Can be attached to 5.
【００２５】[0025]
【発明の効果】本発明によれば、作業ツールの種類や数
が異なる各場合に対応した設計及び組付け作業が簡単容
易にできると共に、圧縮空気や真空圧による動作の信頼
性の高い真空圧利用作業装置を提供することができる。According to the present invention, it is possible to easily and easily carry out the design and assembling work corresponding to the cases where the type and number of work tools are different, and the vacuum pressure is highly reliable for operation by compressed air or vacuum pressure. A utilization work device can be provided.
【図１】本発明の実施例の要部を示す分解斜視図。FIG. 1 is an exploded perspective view showing a main part of an embodiment of the present invention.
【図２】本発明の実施例を示す正面図。FIG. 2 is a front view showing an embodiment of the present invention.
【図３】従来例を示す正面図。FIG. 3 is a front view showing a conventional example.
【符号の簡単な説明】 １ 電磁弁ユニット ２ 電磁弁ブロック ５ 電磁弁 ６ 真空ユニット ７ 真空ブロック ８ 真空発生器 １５ ツール取付軸 １６ｂ 真空動作ツール ２４ 空気通路 ２５ 配管 ２７ 作業ツールユニット ２８ 配管 ３０ａ 真空圧通路[Short description of reference numerals] 1 solenoid valve unit 2 solenoid valve block 5 solenoid valve 6 vacuum unit 7 vacuum block 8 vacuum generator 15 tool mounting shaft 16b vacuum operation tool 24 air passage 25 pipe 27 work tool unit 28 pipe 30a vacuum pressure aisle
Claims (2)
付けられる電磁弁ユニット、真空ユニット及び作業ツー
ルユニットを備え、電磁弁ユニットは偏平六面体形状の
電磁弁ブロックとその側面に取付けられた電磁弁を有
し、電磁弁ブロックは外部から供給された圧縮空気を前
記電磁弁に供給する空気通路を備え、電磁弁は電磁弁ブ
ロックから供給された圧縮空気を外部に排出する際のオ
ンオフ制御を行うものである一方、真空ユニットは偏平
六面体形状の真空ブロックとその側面に取付けられた真
空発生器を有し、真空発生器は前記電磁弁から配管を介
して供給された圧縮空気に基いて真空圧を発生するもの
であり、真空ブロックは真空発生器から供給された真空
圧を外部に伝える真空圧通路を備え、作業ツールユニッ
トは前記真空ブロックの真空圧通路から配管を介して伝
えられる真空圧によって動作する真空動作ツールを備え
ていることを特徴とする真空圧利用作業装置。1. A solenoid valve unit removably mounted in a stacked state on a tool mounting shaft, a vacuum unit and a work tool unit, the solenoid valve unit being a flat hexahedral solenoid valve block and a solenoid valve mounted on its side surface. The solenoid valve block has an air passage for supplying compressed air supplied from the outside to the solenoid valve, and the solenoid valve performs on / off control when discharging the compressed air supplied from the solenoid valve block to the outside. On the other hand, the vacuum unit has a flat hexahedron-shaped vacuum block and a vacuum generator attached to the side surface thereof, and the vacuum generator is a vacuum pressure generator based on compressed air supplied from the solenoid valve through a pipe. The vacuum block is provided with a vacuum pressure passage for transmitting the vacuum pressure supplied from the vacuum generator to the outside, and the work tool unit is the vacuum block. The vacuum pressure working device is equipped with a vacuum operation tool which operates by the vacuum pressure transmitted from the vacuum pressure passage through the pipe.
ツールユニットは、これらの積層面において凹凸嵌合さ
れている請求項１記載の真空圧利用作業装置。2. The vacuum pressure working device according to claim 1, wherein the solenoid valve block, the vacuum block and the work tool unit are fitted in a concavo-convex manner on their laminated surfaces.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7340393A JPH06278073A (en) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | Vacuum pressure utilizing working device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7340393A JPH06278073A (en) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | Vacuum pressure utilizing working device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06278073A true JPH06278073A (en) | 1994-10-04 |
Family
ID=13517201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7340393A Withdrawn JPH06278073A (en) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | Vacuum pressure utilizing working device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06278073A (en) |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP7340393A patent/JPH06278073A/en not_active Withdrawn
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| A761 | Written withdrawal of application |
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