JPH06258587A - 集光位置検出装置 - Google Patents
集光位置検出装置Info
- Publication number
- JPH06258587A JPH06258587A JP5072835A JP7283593A JPH06258587A JP H06258587 A JPH06258587 A JP H06258587A JP 5072835 A JP5072835 A JP 5072835A JP 7283593 A JP7283593 A JP 7283593A JP H06258587 A JPH06258587 A JP H06258587A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- condensing position
- optical path
- path difference
- detecting device
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/12—Scanning systems using multifaceted mirrors
- G02B26/127—Adaptive control of the scanning light beam, e.g. using the feedback from one or more detectors
- G02B26/128—Focus control
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 １個の光検出器を用い、しかも高精度に集光
位置を検出できる集光位置検出装置を提供すること。 【構成】 光源１１から出射されたレーザ光は、コリメ
ートレンズ１２により平行光に変換され、多面回転鏡１
６で反射される。反射光は、ｆθレンズ１７を経て感光
体１８の被走査面上に集光される。前記レーザ光の不使
用光束の一部は、１／４波長板２０および分離／光路差
発生器２１に入射する。該分離／光路差発生器２１は、
前記不使用光束の一部を複数の光束に分離し、かつ光路
差を発生させる。この結果、１個のＣＣＤアレイ１９に
は、集光位置の異なる複数の光束が入射する。本発明で
は、分離／光路差発生器２１として、回折格子、複屈折
板、偏光板などを使用することができる。
位置を検出できる集光位置検出装置を提供すること。 【構成】 光源１１から出射されたレーザ光は、コリメ
ートレンズ１２により平行光に変換され、多面回転鏡１
６で反射される。反射光は、ｆθレンズ１７を経て感光
体１８の被走査面上に集光される。前記レーザ光の不使
用光束の一部は、１／４波長板２０および分離／光路差
発生器２１に入射する。該分離／光路差発生器２１は、
前記不使用光束の一部を複数の光束に分離し、かつ光路
差を発生させる。この結果、１個のＣＣＤアレイ１９に
は、集光位置の異なる複数の光束が入射する。本発明で
は、分離／光路差発生器２１として、回折格子、複屈折
板、偏光板などを使用することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は集光位置検出装置に関
し、特に回転する偏向装置によって偏向された光束を被
走査面に集光する光走査装置の集光位置検出装置に関す
る。
し、特に回転する偏向装置によって偏向された光束を被
走査面に集光する光走査装置の集光位置検出装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、画像情報によって変調されたレー
ザ光を、回転多面鏡等により偏向し、感光体上に集光し
てスキャンすることにより、該感光体上に静電潜像を形
成するようにした光走査装置、例えばレーザプリンタ等
が多用されている。
ザ光を、回転多面鏡等により偏向し、感光体上に集光し
てスキャンすることにより、該感光体上に静電潜像を形
成するようにした光走査装置、例えばレーザプリンタ等
が多用されている。
【０００３】この光走査装置においては、前記レーザ光
の焦点が感光体上に正確に合わないと、品質のよい印字
が得られないため、該焦点合わせが重要である。従来か
ら、この焦点合わせに関する提案が種々なされている。
の焦点が感光体上に正確に合わないと、品質のよい印字
が得られないため、該焦点合わせが重要である。従来か
ら、この焦点合わせに関する提案が種々なされている。
【０００４】その一つに、特開平１−２３７６１４号公
報があり、該公報においては、感光体の被走査面の延長
上の前後に１個ずつ、スリットを具備した光検出器を設
け、該光検出器で検出した信号により、光束を前記被走
査面上に集光させるようにする技術が開示されている。
報があり、該公報においては、感光体の被走査面の延長
上の前後に１個ずつ、スリットを具備した光検出器を設
け、該光検出器で検出した信号により、光束を前記被走
査面上に集光させるようにする技術が開示されている。
【０００５】また、特開平４−１５５３０４号公報に
は、感光体の被走査面の延長上の前後にナイフエッジを
１個ずつ設け、該ナイフエッジで切断された光束を受光
素子で受け、該受光素子から出力された検出信号を微分
することにより集光位置のずれを検出し、光束が前記被
走査面上に集光するように調整する技術が開示されてい
る。
は、感光体の被走査面の延長上の前後にナイフエッジを
１個ずつ設け、該ナイフエッジで切断された光束を受光
素子で受け、該受光素子から出力された検出信号を微分
することにより集光位置のずれを検出し、光束が前記被
走査面上に集光するように調整する技術が開示されてい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た第１の先行技術においては、光検出器が２個必要であ
り、かつ入射する光束よりも小さな幅のスリットを用い
る必要があり、ごみの付着などにより誤動作しやすいと
いう問題があった。また、光検出器を感光体から外れた
位置であって、その被走査面の延長線上に２個設置しな
ければならず、大きなスペースを必要とする問題があっ
た。
た第１の先行技術においては、光検出器が２個必要であ
り、かつ入射する光束よりも小さな幅のスリットを用い
る必要があり、ごみの付着などにより誤動作しやすいと
いう問題があった。また、光検出器を感光体から外れた
位置であって、その被走査面の延長線上に２個設置しな
ければならず、大きなスペースを必要とする問題があっ
た。
【０００７】また、第２の先行技術は、１個の受光素子
を用いたものであるが、検出信号を微分した信号、すな
わち検出信号の立上がりと立ち下がりで集光位置のずれ
方向を検知することとなり、光検出器の特性のばらつき
等により、高精度の集光位置調整ができないという問題
があった。
を用いたものであるが、検出信号を微分した信号、すな
わち検出信号の立上がりと立ち下がりで集光位置のずれ
方向を検知することとなり、光検出器の特性のばらつき
等により、高精度の集光位置調整ができないという問題
があった。
【０００８】本発明の目的は、前記した従来技術の問題
点を除去し、１個の光検出器を用い、しかも高精度に集
光位置を検出できる集光位置検出装置を提供することに
ある。また、光検出器を設置するのに大きなスペースを
取らない集光位置検出装置を提供することにある。
点を除去し、１個の光検出器を用い、しかも高精度に集
光位置を検出できる集光位置検出装置を提供することに
ある。また、光検出器を設置するのに大きなスペースを
取らない集光位置検出装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、被走査面の上を走査するレーザ光束の集
光位置を検出する集光位置検出装置において、走査する
レーザ光束の不使用部の一部を非走査方向に複数に分離
するレーザ光束分離手段と、分離された複数のレーザ光
束に光路差を発生させる光路差形成手段と、前記分離さ
れた複数のレーザ光束の径を測定するビーム径測定手段
とを具備した点に特徴がある。
に、本発明は、被走査面の上を走査するレーザ光束の集
光位置を検出する集光位置検出装置において、走査する
レーザ光束の不使用部の一部を非走査方向に複数に分離
するレーザ光束分離手段と、分離された複数のレーザ光
束に光路差を発生させる光路差形成手段と、前記分離さ
れた複数のレーザ光束の径を測定するビーム径測定手段
とを具備した点に特徴がある。
【００１０】
【作用】本発明によれば、被走査面の上を走査するレー
ザ光束を非走査方向に複数に分離し、かつ１個の光検出
器を用いて、各々のビーム径を測定することができる。
このため、光検出器の特性のばらつきによる問題がなく
なり、集光位置のずれ量、ずれ方向およびビーム径を、
精度良くかつビーム走査幅を大幅に増加させずに検出す
ることができる。
ザ光束を非走査方向に複数に分離し、かつ１個の光検出
器を用いて、各々のビーム径を測定することができる。
このため、光検出器の特性のばらつきによる問題がなく
なり、集光位置のずれ量、ずれ方向およびビーム径を、
精度良くかつビーム走査幅を大幅に増加させずに検出す
ることができる。
【００１１】
【実施例】以下に、図面を参照して、本発明を詳細に説
明する。図１は、本発明を適用された光走査装置の全体
を示す構成図であり、１１はレーザ光を出射する光源、
１２は該光源１１から出射されたレーザ光を平行光に変
換するコリメートレンズ、１３はＰＺＴ（ピエゾ素
子）、１４はレンズ、１５は半導体レーザ駆動回路であ
る。
明する。図１は、本発明を適用された光走査装置の全体
を示す構成図であり、１１はレーザ光を出射する光源、
１２は該光源１１から出射されたレーザ光を平行光に変
換するコリメートレンズ、１３はＰＺＴ（ピエゾ素
子）、１４はレンズ、１５は半導体レーザ駆動回路であ
る。
【００１２】また、１６は前記コリメートレンズ１２に
よって平行光に変換されたレーザ光束１１ａを偏向する
回転多面鏡、１７はｆθレンズ、１８は感光体、１９は
レーザ光束１１ａを受光し、ビーム径検出信号を出力す
るＣＣＤアレイ、２０はレーザ光束１１ａを直線偏光か
ら円偏光に変換する１／４波長板、２１は、本発明の要
部である、レーザ光束１１ａを非走査方向に分離し、光
路差を発生する分離／光路差発生器である。
よって平行光に変換されたレーザ光束１１ａを偏向する
回転多面鏡、１７はｆθレンズ、１８は感光体、１９は
レーザ光束１１ａを受光し、ビーム径検出信号を出力す
るＣＣＤアレイ、２０はレーザ光束１１ａを直線偏光か
ら円偏光に変換する１／４波長板、２１は、本発明の要
部である、レーザ光束１１ａを非走査方向に分離し、光
路差を発生する分離／光路差発生器である。
【００１３】さらに、２２はＣＣＤ駆動回路、２３は前
記ＣＣＤアレイに入射するレーザ光束の径を求め、ルッ
クアップテーブル２４を参照して感光体上の被走査面
（像面）のレーザ光束の径を求める演算回路、２４は前
記ＣＣＤアレイ上のレーザ光束の径と前記感光体上の被
走査面（像面）の径との関係を示すルックアップテーブ
ル、２５は制御信号を出力する制御回路、２６はＰＺＴ
駆動回路である。
記ＣＣＤアレイに入射するレーザ光束の径を求め、ルッ
クアップテーブル２４を参照して感光体上の被走査面
（像面）のレーザ光束の径を求める演算回路、２４は前
記ＣＣＤアレイ上のレーザ光束の径と前記感光体上の被
走査面（像面）の径との関係を示すルックアップテーブ
ル、２５は制御信号を出力する制御回路、２６はＰＺＴ
駆動回路である。
【００１４】図２は、図１の分離／光路差発生器２１と
ＣＣＤアレイ１９を右側から見た側面図を示す。この図
から、分離／光路差発生器２１によって分離され光路差
を付けられたレーザ光束は、その走査線上から離れた非
走査方向の位置Ａで、ＣＣＤアレイ１９に入射すること
がわかる。
ＣＣＤアレイ１９を右側から見た側面図を示す。この図
から、分離／光路差発生器２１によって分離され光路差
を付けられたレーザ光束は、その走査線上から離れた非
走査方向の位置Ａで、ＣＣＤアレイ１９に入射すること
がわかる。
【００１５】次に、前記分離／光路差発生器２１とＣＣ
Ｄアレイ１９との一具体例を、図３を参照して説明す
る。
Ｄアレイ１９との一具体例を、図３を参照して説明す
る。
【００１６】図３(a) において、３１はレーザ光束を回
折するグレーティング（回折格子）、３２は光路差発生
器、３３は遮光板である。前記１／４波長板２０を通過
したレーザ光束１１ａはグレーティング３１により、光
束１１ａ1 と１１ａ2 とに分離される。分離された光束
１１ａ1 は光路差発生器３２（例えば、ガラス）の平板
部を通り、一方光束１１ａ2 は光路差発生器３２のレン
ズ部で収束され、ＣＣＤアレイ１９に入射する。
折するグレーティング（回折格子）、３２は光路差発生
器、３３は遮光板である。前記１／４波長板２０を通過
したレーザ光束１１ａはグレーティング３１により、光
束１１ａ1 と１１ａ2 とに分離される。分離された光束
１１ａ1 は光路差発生器３２（例えば、ガラス）の平板
部を通り、一方光束１１ａ2 は光路差発生器３２のレン
ズ部で収束され、ＣＣＤアレイ１９に入射する。
【００１７】これによって、ＣＣＤアレイ１９には、分
離されかつ集光位置を前後にずらされた２つの光束１１
ａ1 と１１ａ2 とが入射することになる。
離されかつ集光位置を前後にずらされた２つの光束１１
ａ1 と１１ａ2 とが入射することになる。
【００１８】図３(b) は変形例を示す。この変形例は、
光束１１ａ1 をガラス３４に入射させ、光束１１ａ2 は
空気中を通して光路差をつけたものであり、他は同図
(a) と同じであるので、説明を省略する。
光束１１ａ1 をガラス３４に入射させ、光束１１ａ2 は
空気中を通して光路差をつけたものであり、他は同図
(a) と同じであるので、説明を省略する。
【００１９】図４は、前記ＣＣＤアレイ１９に２つの光
束１１ａ1 と１１ａ2 とが入射した時の出力波形を示
す。焦点ずれが大きくて、径の大きな光束１１ａ1 が入
射した時には、出力波形の波高値は小さく、焦点ずれが
小さくて、径の小さな光束１１ａ2 が入射した時には、
出力波形の波高値は大きくなる。
束１１ａ1 と１１ａ2 とが入射した時の出力波形を示
す。焦点ずれが大きくて、径の大きな光束１１ａ1 が入
射した時には、出力波形の波高値は小さく、焦点ずれが
小さくて、径の小さな光束１１ａ2 が入射した時には、
出力波形の波高値は大きくなる。
【００２０】本実施例によれば、１個のＣＣＤアレイを
使用しており、集光位置のずれ量、ずれ方向およびビー
ム径を、精度良くかつビーム走査幅を大幅に増加させず
に検出できるという効果がある。また、安価な回折格子
とガラスを用いて、構成することができる。
使用しており、集光位置のずれ量、ずれ方向およびビー
ム径を、精度良くかつビーム走査幅を大幅に増加させず
に検出できるという効果がある。また、安価な回折格子
とガラスを用いて、構成することができる。
【００２１】次に、本発明の第２実施例を、図５を参照
して説明する。この実施例は、ＣＣＤアレイ１９を、図
１とは垂直方向に配置したものであり、４１は複屈折
材、４２は偏光材、４３は反射面である。
して説明する。この実施例は、ＣＣＤアレイ１９を、図
１とは垂直方向に配置したものであり、４１は複屈折
材、４２は偏光材、４３は反射面である。
【００２２】周知のように、複屈折材４１はレーザ光束
のＥ（電界）ベクトルの方向に依存して屈折率ｎe 、ｎ
o が異なるから、１／４波長板２０で直線偏光から円偏
光に変換されたレーザ光束は複屈折材４１を通ると２つ
に分離され、偏光材４２に入射する。偏光材４２に入射
した光束１１ａ1 は、Ｅベクトルの方向に従って偏光材
４２の中に入り反射面４３で反射され、ＣＣＤアレイ１
９上に当たる。一方、光束１１ａ2 はそのＥベクトルの
方向に従って偏光材４２の表面で反射され、ＣＣＤアレ
イ１９上を照射する。
のＥ（電界）ベクトルの方向に依存して屈折率ｎe 、ｎ
o が異なるから、１／４波長板２０で直線偏光から円偏
光に変換されたレーザ光束は複屈折材４１を通ると２つ
に分離され、偏光材４２に入射する。偏光材４２に入射
した光束１１ａ1 は、Ｅベクトルの方向に従って偏光材
４２の中に入り反射面４３で反射され、ＣＣＤアレイ１
９上に当たる。一方、光束１１ａ2 はそのＥベクトルの
方向に従って偏光材４２の表面で反射され、ＣＣＤアレ
イ１９上を照射する。
【００２３】この結果、光束１１ａ1 と１１ａ2 とでは
光路差が生じ、ＣＣＤアレイ１９には、集光位置を前後
にずらされた２つの光束が入射することになる。
光路差が生じ、ＣＣＤアレイ１９には、集光位置を前後
にずらされた２つの光束が入射することになる。
【００２４】本実施例によれば、レーザ光束の偏光特性
を利用しかつ１個のＣＣＤアレイを使用して、集光位置
のずれ量、ずれ方向およびビーム径を、精度良くかつビ
ーム走査幅を大幅に増加させずに検出することができ
る。また、ＣＣＤアレイ１９を感光体の中心軸を含むビ
ーム走査面から離れた位置に設置できるので、装置の設
計が容易であり、小スペース化が図れるというメリット
もある。
を利用しかつ１個のＣＣＤアレイを使用して、集光位置
のずれ量、ずれ方向およびビーム径を、精度良くかつビ
ーム走査幅を大幅に増加させずに検出することができ
る。また、ＣＣＤアレイ１９を感光体の中心軸を含むビ
ーム走査面から離れた位置に設置できるので、装置の設
計が容易であり、小スペース化が図れるというメリット
もある。
【００２５】次に、本発明の第３実施例を、図６(a) 、
(b) を参照して説明する。同図(a)は、図１の分離／光
路差発生器２１として、複屈折材４４を用いたものであ
る。図示されているように、ｆθレンズ１７を通過した
レーザ光束１１ａは、複屈折材４４でそのＥベクトルに
応じて分離され、かつ光路差をつけられてＣＣＤアレイ
１９に入射する。
(b) を参照して説明する。同図(a)は、図１の分離／光
路差発生器２１として、複屈折材４４を用いたものであ
る。図示されているように、ｆθレンズ１７を通過した
レーザ光束１１ａは、複屈折材４４でそのＥベクトルに
応じて分離され、かつ光路差をつけられてＣＣＤアレイ
１９に入射する。
【００２６】また、同図(b) においては、ｆθレンズ１
７を通過したレーザ光束１１ａは、複屈折材のレンズ４
５で２つに分離され、光路差をつけられ、かつ収束され
てＣＣＤアレイ１９に入射する。
７を通過したレーザ光束１１ａは、複屈折材のレンズ４
５で２つに分離され、光路差をつけられ、かつ収束され
てＣＣＤアレイ１９に入射する。
【００２７】この実施例によれば、第２実施例に比べ
て、少ない部品点数で、集光位置のずれ量、ずれ方向お
よびビーム径を、精度良く検出することができる。ま
た、図６(b) の装置によれば、複屈折材のレンズ４５と
ＣＣＤアレイ１９との距離を短縮でき、小形化を図るこ
とができる。
て、少ない部品点数で、集光位置のずれ量、ずれ方向お
よびビーム径を、精度良く検出することができる。ま
た、図６(b) の装置によれば、複屈折材のレンズ４５と
ＣＣＤアレイ１９との距離を短縮でき、小形化を図るこ
とができる。
【００２８】次に、図１の演算回路２３と制御回路２５
の動作を、図７のフローチャートと、図８の波形図を参
照して説明する。ここに、図８は、図４と同様のＣＣＤ
アレイ１９の検出信号の波形図を示し、ＩApeak は一つ
目のビームＡのピーク値、ＩBpeak は二つ目のビームＢ
のピーク値を示す。また、ＩAth は一つ目のビームＡの
閾値、ＩBth は二つ目のビームＢの閾値を示し、該閾値
によって求められたＡ1 〜Ａ2 の幅が一つ目のビームの
径、Ｂ1 〜Ｂ2 の幅が二つ目のビームの径を示す。
の動作を、図７のフローチャートと、図８の波形図を参
照して説明する。ここに、図８は、図４と同様のＣＣＤ
アレイ１９の検出信号の波形図を示し、ＩApeak は一つ
目のビームＡのピーク値、ＩBpeak は二つ目のビームＢ
のピーク値を示す。また、ＩAth は一つ目のビームＡの
閾値、ＩBth は二つ目のビームＢの閾値を示し、該閾値
によって求められたＡ1 〜Ａ2 の幅が一つ目のビームの
径、Ｂ1 〜Ｂ2 の幅が二つ目のビームの径を示す。
【００２９】図７のステップＳ１では、ＣＣＤアレイ１
９から出力を取込み、ステップＳ２では一つ目のビーム
の極大値ＩApeak を求め、ステップＳ３では二つ目のビ
ームの極大値ＩBpeak を求める。次いで、ステップＳ４
では一つ目のビームの閾値ＩAth を図８に記されている
式から求め、ステップＳ５では二つ目のビームの閾値Ｉ
Bth を求める。
９から出力を取込み、ステップＳ２では一つ目のビーム
の極大値ＩApeak を求め、ステップＳ３では二つ目のビ
ームの極大値ＩBpeak を求める。次いで、ステップＳ４
では一つ目のビームの閾値ＩAth を図８に記されている
式から求め、ステップＳ５では二つ目のビームの閾値Ｉ
Bth を求める。
【００３０】ステップＳ６では、ＣＣＤ出力波形と閾値
ＩAth とから前記Ａ1 〜Ａ2 を求め、一つ目のビームの
径φA を求める。ステップＳ７では、前記と同様に、二
つ目のビームの径φB を求める。
ＩAth とから前記Ａ1 〜Ａ2 を求め、一つ目のビームの
径φA を求める。ステップＳ７では、前記と同様に、二
つ目のビームの径φB を求める。
【００３１】ステップＳ８では、前記ルックアップテー
ブル２４を用いて、感光体１８の被走査面上のビーム径
φPRを求める。ステップＳ９では、該ビーム径φPRは許
容範囲にあるか否かの判断がなされ、否定の場合には、
ステップＳ１０に進む。ステップＳ１０では、ルックア
ップテーブル２４を用いて、φA 、φB 、およびφPR
と、目標ビーム径とから、コリメートレンズ１２又は光
源１１の移動方向と移動量を求める。次に、ステップＳ
１１において、ＰＺＴ駆動回路２６を動作させ、ＰＺＴ
（ピエゾ素子）１３を駆動する。
ブル２４を用いて、感光体１８の被走査面上のビーム径
φPRを求める。ステップＳ９では、該ビーム径φPRは許
容範囲にあるか否かの判断がなされ、否定の場合には、
ステップＳ１０に進む。ステップＳ１０では、ルックア
ップテーブル２４を用いて、φA 、φB 、およびφPR
と、目標ビーム径とから、コリメートレンズ１２又は光
源１１の移動方向と移動量を求める。次に、ステップＳ
１１において、ＰＺＴ駆動回路２６を動作させ、ＰＺＴ
（ピエゾ素子）１３を駆動する。
【００３２】以上の焦点ずれの調整により、ステップＳ
９が肯定になると、レーザ光束の焦点が感光体１８の被
走査面上に合ったことになるので、焦点ずれの補正動作
を終了する。
９が肯定になると、レーザ光束の焦点が感光体１８の被
走査面上に合ったことになるので、焦点ずれの補正動作
を終了する。
【００３３】なお、前記の実施例では、被走査面上を走
査するレーザ光束を非走査方向に二つに分離するもので
あったが、本発明はこれに限定されず、三つ以上であっ
てもよい。
査するレーザ光束を非走査方向に二つに分離するもので
あったが、本発明はこれに限定されず、三つ以上であっ
てもよい。
【００３４】
【発明の効果】請求項１の発明によれば、被走査面上を
走査するレーザ光束を非走査方向に複数に分離し、かつ
１個の光検出器を用いて各々のビーム径を測定すること
ができる。このため、光検出器の特性のばらつきによる
問題がなくなり、集光位置のずれ量、ずれ方向およびビ
ーム径を、精度良くかつビーム走査幅を大幅に増加させ
ずに検出することができる。また、本発明の集光位置検
出装置をレーザ走査装置に組み込むと、被走査面上のビ
ーム径を任意の大きさに設定することができ、レーザ走
査装置の機差をなくし、変動のないビーム径を得ること
ができる。
走査するレーザ光束を非走査方向に複数に分離し、かつ
１個の光検出器を用いて各々のビーム径を測定すること
ができる。このため、光検出器の特性のばらつきによる
問題がなくなり、集光位置のずれ量、ずれ方向およびビ
ーム径を、精度良くかつビーム走査幅を大幅に増加させ
ずに検出することができる。また、本発明の集光位置検
出装置をレーザ走査装置に組み込むと、被走査面上のビ
ーム径を任意の大きさに設定することができ、レーザ走
査装置の機差をなくし、変動のないビーム径を得ること
ができる。
【００３５】さらに、書き込み密度切換えを行なうレー
ザ走査装置に組込めば、指定された書き込み密度に合致
するビーム径を設定することが可能である。
ザ走査装置に組込めば、指定された書き込み密度に合致
するビーム径を設定することが可能である。
【００３６】請求項２の発明によれば、安価な回折格子
を用いて、レーザ光束分離手段を構成することができ
る。
を用いて、レーザ光束分離手段を構成することができ
る。
【００３７】請求項３の発明によれば、レーザ光の偏光
特性を利用して、レーザ光束分離手段と、光路差形成手
段とを構成しているため、ビーム径測定手段を感光体の
中心軸を含むビーム走査面から離れた位置に設置するこ
とができる。したがって、装置の設計が容易となる。ま
た、小形化できる。
特性を利用して、レーザ光束分離手段と、光路差形成手
段とを構成しているため、ビーム径測定手段を感光体の
中心軸を含むビーム走査面から離れた位置に設置するこ
とができる。したがって、装置の設計が容易となる。ま
た、小形化できる。
【００３８】請求項４の発明によれば、少ない構成部品
で、集光位置検出装置を作成することができる。
で、集光位置検出装置を作成することができる。
【図１】 本発明が適用される光走査装置の全体を示す
構成図である。
構成図である。
【図２】 図１の分離／光路差発生器とＣＣＤアレイの
右側面図である。
右側面図である。
【図３】 本発明の第１実施例の説明図である。
【図４】 ＣＣＤアレイの出力波形の説明図である。
【図５】 本発明の第２実施例の説明図である。
【図６】 本発明の第３実施例の説明図である。
【図７】 図１の演算回路と制御回路の動作を説明する
フローチャートである。
フローチャートである。
【図８】 ビーム幅を求める説明図である。
１１…光源、１２…コリメートレンズ、１３…ＰＺＴ
（ピエゾ素子）、１８…感光体、１９…ＣＣＤアレイ、
２０…１／４波長板、２１…分離／光路差発生器、３１
…回折格子、３２…光路差発生器、４１、４４…複屈折
材、４２…偏光材、４３…反射面、４５…複屈折材のレ
ンズ。
（ピエゾ素子）、１８…感光体、１９…ＣＣＤアレイ、
２０…１／４波長板、２１…分離／光路差発生器、３１
…回折格子、３２…光路差発生器、４１、４４…複屈折
材、４２…偏光材、４３…反射面、４５…複屈折材のレ
ンズ。
Claims (4)
- 【請求項１】 被走査面の上を走査するレーザ光束の集
光位置を検出する集光位置検出装置において、 走査するレーザ光束の不使用部の一部を非走査方向に複
数に分離するレーザ光束分離手段と、 分離された複数のレーザ光束に光路差を発生させる光路
差形成手段と、 前記分離された複数のレーザ光束の径を測定するビーム
径測定手段とを具備したことを特徴とする集光位置検出
装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の集光位置検出装置におい
て、 前記レーザ光束分離手段は回折格子からなり、 前記光路差形成手段が空気とは異なる屈折率を有する透
明の材料からなり、 前記ビーム径測定手段がＣＣＤアレイであることを特徴
とする集光位置検出装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の集光位置検出装置におい
て、 前記レーザ光束分離手段は複屈折材からなり、 前記光路差形成手段が偏光材からなることを特徴とする
集光位置検出装置。 - 【請求項４】 請求項１記載の集光位置検出装置におい
て、 前記レーザ光束分離手段と光路差形成手段が偏光材から
なることを特徴とする集光位置検出装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5072835A JPH06258587A (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | 集光位置検出装置 |
| US08/207,093 US5418638A (en) | 1993-03-09 | 1994-03-08 | Apparatus for detecting light focus position |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5072835A JPH06258587A (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | 集光位置検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06258587A true JPH06258587A (ja) | 1994-09-16 |
Family
ID=13500872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5072835A Pending JPH06258587A (ja) | 1993-03-09 | 1993-03-09 | 集光位置検出装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5418638A (ja) |
| JP (1) | JPH06258587A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008020290A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Fuji Xerox Co Ltd | ビーム径測定装置および焦点調整装置 |
| KR20130014686A (ko) * | 2010-04-01 | 2013-02-08 | 트룸프 레이저 마킹 시스템스 아게 | 레이저 방사선의 주파수 변환을 위한 장치 및 방법 |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| ES2134289T3 (es) * | 1994-05-06 | 1999-10-01 | Schablonentechnik Kufstein Ag | Dispositivo optico de lectura. |
| JPH1090623A (ja) * | 1995-08-22 | 1998-04-10 | Minolta Co Ltd | レーザビーム走査光学装置 |
| US5969346A (en) * | 1995-08-22 | 1999-10-19 | Minolta Co., Ltd. | Laser beam scanning optical apparatus |
| JPH1039243A (ja) * | 1996-07-22 | 1998-02-13 | Minolta Co Ltd | レーザビーム走査光学装置 |
| JPH10274745A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Minolta Co Ltd | レーザビーム走査光学装置 |
| DE19726581C5 (de) * | 1997-06-23 | 2010-02-04 | Sick Ag | Verfahren zur Bestimmung der Fokuslage einer optoelektronischen Vorrichtung |
| US20020033988A1 (en) | 1998-03-19 | 2002-03-21 | Takashi Morita | Scanner having a light beam incident position adjusting device |
| JP2001203641A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Nec Corp | 空間光伝送装置 |
| EP1837696B1 (de) * | 2006-03-20 | 2016-10-12 | WaveLight GmbH | Optisches Abbildungssystem und Verfahren zum Steuern sowie Verwendung eines solchen |
| JP5030517B2 (ja) * | 2006-09-20 | 2012-09-19 | 株式会社リコー | 光走査装置および画像形成装置およびカラー画像形成装置 |
| DE102011007176B4 (de) | 2011-04-12 | 2015-06-25 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Vorrichtung zur Fokussierung eines Laserstrahls und Verfahren zum Überwachen einer Laserbearbeitung |
| JP2013156425A (ja) * | 2012-01-30 | 2013-08-15 | Canon Inc | 走査光学装置及びこれを備えたカラー画像形成装置 |
| CN113231734B (zh) * | 2021-04-23 | 2024-06-04 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 激光光路校准方法、装置、存储介质和激光切割机 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4311384A (en) * | 1975-08-04 | 1982-01-19 | Raytheon Company | Laser scanning system |
| US4326799A (en) * | 1975-08-06 | 1982-04-27 | Raytheon Company | Active-passive scanning system |
| US4742219A (en) * | 1981-09-17 | 1988-05-03 | Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha | Apparatus for detecting the focusing state and positional accuracy of a light beam directed onto an optical disk tracking guide in an optical read/write system |
| JPS61177645A (ja) * | 1985-01-31 | 1986-08-09 | Fujitsu Ltd | 焦点誤差制御装置 |
| DE3665372D1 (en) * | 1985-05-31 | 1989-10-05 | Siemens Ag | Optical system for guiding the read-out beam in a magneto-optical memory |
| KR900008380B1 (ko) * | 1986-07-01 | 1990-11-17 | 미쓰비시덴기 가부시기 가이샤 | 광학식 헤드장치 |
| US4943155A (en) * | 1987-12-22 | 1990-07-24 | Hughes Aircraft Company | Color projection system with a color correction wedge |
| JPH01237614A (ja) * | 1988-03-18 | 1989-09-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 集光位置検出装置 |
| US5233188A (en) * | 1989-04-03 | 1993-08-03 | Hitachi, Ltd. | Laser beam scanning apparatus for scanning a laser beam obtained by composing a plurality of beams |
| JPH04155304A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-05-28 | Ricoh Co Ltd | 集光位置検出装置 |
-
1993
- 1993-03-09 JP JP5072835A patent/JPH06258587A/ja active Pending
-
1994
- 1994-03-08 US US08/207,093 patent/US5418638A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008020290A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Fuji Xerox Co Ltd | ビーム径測定装置および焦点調整装置 |
| KR20130014686A (ko) * | 2010-04-01 | 2013-02-08 | 트룸프 레이저 마킹 시스템스 아게 | 레이저 방사선의 주파수 변환을 위한 장치 및 방법 |
| JP2013524266A (ja) * | 2010-04-01 | 2013-06-17 | トルンプフ レーザー マーキング システムズ アクチエンゲゼルシャフト | レーザービームの周波数変換のための装置及び方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5418638A (en) | 1995-05-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7116412B2 (en) | Angle detection optical system, angle detection apparatus, optical signal switch system and information recording and reproduction system | |
| JPH06258587A (ja) | 集光位置検出装置 | |
| US5834766A (en) | Multi-beam scanning apparatus and multi-beam detection method for the same | |
| JP2006259098A (ja) | 光走査装置 | |
| JPH01264638A (ja) | 記録担体の光学読取装置 | |
| JP2004212209A (ja) | 角度検出装置、光信号スイッチシステムおよび情報記録再生システム | |
| US20020039221A1 (en) | Multi-beam exposure apparatus | |
| US6580495B2 (en) | Surveying instrument having a phase-difference detection type focus detecting device and a beam-splitting optical system | |
| EP0369986B1 (en) | Autofocus system | |
| JPH07333539A (ja) | 光ビーム走査装置 | |
| JP2002202468A (ja) | 走査光学装置 | |
| JP3308342B2 (ja) | 半導体レーザアレイ光源装置 | |
| GB2258116A (en) | Scanning optical system | |
| JP4173953B2 (ja) | 走査光学装置 | |
| US8054733B2 (en) | Optical pickup device | |
| JP3955072B2 (ja) | マルチビーム走査装置およびマルチビーム走査装置用のマルチビーム検出方法 | |
| JP3141597B2 (ja) | 光学走査装置 | |
| JP2002023086A (ja) | レーザ走査装置 | |
| KR20040039371A (ko) | 광학주사장치 | |
| JPH11118420A (ja) | 位置検出センサ用ビーム拡大光学系 | |
| JPH07209595A (ja) | 半導体レーザアレイ記録装置 | |
| JPH0717047Y2 (ja) | 光学測定器のオートフオーカス装置 | |
| JP2012079393A (ja) | 半導体レーザ装置、光ピックアップ装置および半導体レーザ装置の製造方法 | |
| JPS63224044A (ja) | 光学ヘツド | |
| JPH0921969A (ja) | マルチビーム検出装置 |