JPH06251309A - Manufacture of magnetic head - Google Patents

Abstract

PURPOSE:To obtain excellent recording/reproducing characteristics by butting a pair of magnetic core halves in which a gap film of SiO2 is formed on magnetic gap forming surfaces, and fusion-bonding glasses each having a predetermined viscosity when they are connected with the glasses. CONSTITUTION:A pair of magnetic core halves 31, 32 formed with gap films 33 made of SiO2 on magnetic gap forming surfaces are butted, and bonded with fusion-bonding glasses 36, 37. In this case, the viscosity of the glass 37 is 5000-10000Pa.S, its back side is glass fusion-bonded, and the viscosity of the glass 36 is 5000-20000Pa.S, and its front side is glass fusion-bonded. Thus, erosion of the glass 36 to the film 33 of the front side is suppressed, and even if the width of a track is set to about 25mum, a magnetic head in which excellent recording/reproducing characteristics are obtained can be manufactured.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドの製造方法
に関し、特に磁気コア半体同士をガラス融着する際のガ
ラス融着方法の改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head, and more particularly to an improvement of a glass fusing method for fusing magnetic core halves together.

【０００２】[0002]

【従来の技術】ビデオテープレコーダ等の磁気記録再生
装置においては、情報信号のさらなる高密度記録化が望
まれている。これに対応して磁気ヘッドにおいても、ト
ラック密度の向上を目的としてトラック幅を２５μｍ程
度にまで狭小化するべく検討が進められている。2. Description of the Related Art In a magnetic recording / reproducing apparatus such as a video tape recorder, a higher density recording of information signals is desired. In response to this, also in magnetic heads, studies are underway to reduce the track width to about 25 μm for the purpose of improving the track density.

【０００３】ビデオテープレコーダ等に用いられる磁気
ヘッドの一例を図９に示す。FIG. 9 shows an example of a magnetic head used in a video tape recorder or the like.

【０００４】上記磁気ヘッドは、フェライト等の酸化物
磁性材料よりなる一対の磁気コア半体３１，３２が、Ｓ
ｉＯ₂ ギャップ膜３３を介して突き合わさることによっ
て閉磁路が構成され、この突合せ面間に磁気ギャップｇ
が形成されてなっている。上記磁気コア半体３１，３２
の突合せ面の中途部には、コイルを巻装させるための巻
線溝３４が形成されている。この巻線溝３４は、コイル
が巻回されるとともに磁気ギャップｇの磁気記録媒体摺
動面Ｓ側であるフロント側のデプスｄ_f を規制する。さ
らに、この磁気コア半体３１，３２には、突合せ面の両
端縁がそれぞれ切り欠かれ、磁気ギャップｇのトラック
幅Ｔ_w を規制するためのトラック幅規制溝３５，３６が
磁気ギャップｇの両端部に平面略三角状をなす溝として
形成されている。このトラック幅規制溝３５，３６には
磁気記録媒体との当たりを確保するために融着ガラス３
７が充填されている。In the above magnetic head, the pair of magnetic core halves 31 and 32 made of an oxide magnetic material such as ferrite are
A closed magnetic circuit is formed by abutting through the iO ₂ gap film 33, and a magnetic gap g is formed between the abutting surfaces.
Are formed. The magnetic core halves 31, 32
A winding groove 34 for winding the coil is formed in the middle of the butting surface. The winding groove 34 winds the coil and restricts the depth d _f of the magnetic gap g on the front side which is the sliding surface S of the magnetic recording medium. Further, the magnetic core halves 31 and 32 are notched at both edges of the abutting surfaces, and track width regulating grooves 35 and 36 for regulating the track width T _w of the magnetic gap g are provided at both ends of the magnetic gap g. The groove is formed as a groove having a substantially triangular shape in a plane. The fused glass 3 is provided in the track width regulating grooves 35 and 36 in order to ensure contact with the magnetic recording medium.
7 is filled.

【０００５】このような構成の磁気ヘッドを作製するに
は、酸化物磁性材料よりなる磁気コア半体ブロックの一
主面に、トラック幅規制溝と、該トラック幅規制溝と略
直交する方向で巻線溝，ガラス融着溝を形成する。ここ
で、巻線溝を境にガラス融着溝側が磁気ヘッドのバック
側となり、ガラス融着溝側とは逆側が磁気ヘッドのフロ
ント側となる。そして、各溝が形成された磁気コア半体
にギャップ膜を成膜した後、該磁気コア半体ブロック
と、同様にして各溝及びギャップ膜が形成された磁気コ
ア半体とを突合せガラス融着することで接合一体化す
る。In order to manufacture a magnetic head having such a structure, a track width regulating groove and a direction substantially orthogonal to the track width regulating groove are formed on one main surface of a magnetic core half block made of an oxide magnetic material. A winding groove and a glass fusing groove are formed. Here, the glass fusing groove side is the back side of the magnetic head with the winding groove as a boundary, and the side opposite to the glass fusing groove side is the front side of the magnetic head. Then, after forming a gap film on the magnetic core half body in which each groove is formed, the magnetic core half body block and the magnetic core half body in which each groove and gap film are formed in the same manner are subjected to butt glass melting. It is joined and integrated by wearing it.

【０００６】ここで、磁気コア半体ブロックを接合一体
化するためのガラス融着は以下のようにして行う。Here, glass fusion for joining and unifying the magnetic core half blocks is performed as follows.

【０００７】すなわち、突き合わされた一対の磁気コア
半体ブロックを治具に取付け、突合せ方向に所定の加圧
力が加わるようにする。そして、フロント側が下側とな
るように治具調整して巻線溝，ガラス融着溝にそれぞれ
融着ガラス棒を挿入し、該融着ガラスが低粘度になるま
で加熱する。巻線溝内で低粘度となった融着ガラスはフ
ロント側のトラック幅規制溝に流れ込み、該フロント側
のトラック幅規制溝内に充填される。一方、ガラス融着
溝内で低粘度となった融着ガラスはバック側のトラック
幅規制溝に流れ込み、該バック側のトラック幅規制溝内
に充填される。これにより磁気コア半体ブロック同士が
ガラス融着されて接合一体化され磁気コアブロックとな
る。That is, a pair of butted magnetic core half blocks are attached to a jig so that a predetermined pressing force is applied in the butting direction. Then, the jig is adjusted so that the front side is the lower side, and the fused glass rods are inserted into the winding groove and the glass fused groove, respectively, and the fused glass is heated until it has a low viscosity. The fused glass having a low viscosity in the winding groove flows into the track width regulating groove on the front side and is filled in the track width regulating groove on the front side. On the other hand, the fused glass having a low viscosity inside the glass fusing groove flows into the track width regulating groove on the back side and is filled in the track width regulating groove on the back side. As a result, the magnetic core half blocks are fused with each other by glass fusion to form a magnetic core block.

【０００８】磁気ヘッドは、このようにして接合一体化
された磁気コアブロックのフロント側の一端面を円筒研
磨することで磁気記録媒体摺動面を形成し、さらにヘッ
ドチップ毎にスライシング加工することで完成する。In the magnetic head, one end surface on the front side of the magnetic core block thus joined and integrated is cylindrically polished to form a sliding surface of the magnetic recording medium, and further, slicing is performed for each head chip. Is completed.

【０００９】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
にして磁気コア半体ブロックの接合を行うに際して融着
温度があまり高過ぎて融着ガラスの粘度が低くなってい
ると、図１０に示すように融着ガラスがトラック幅規制
溝３５，３６内を流れる間にギャップ部ｇ端部にも容易
に侵入し、ＳｉＯ₂ ギャップ膜３３を浸食する。By the way, FIG. 10 shows that when the magnetic core half blocks are joined as described above, the fusing temperature is too high and the viscosity of the fusing glass is low. As described above, while the fused glass flows in the track width regulating grooves 35 and 36, it easily penetrates into the end portions of the gap portion g and erodes the SiO ₂ gap film 33.

【００１０】すると、ギャップ部ｇでは磁気コア半体ブ
ロックを構成するフェライトが、加圧されることによっ
て内部に生じる応力と相まってギャップ膜３３を浸食す
る融着ガラスに拡散する。ギャップ膜３３を浸食する融
着ガラスにフェライト成分が拡散すると、ギャップ部ｇ
のうちフェライト成分が拡散した部分では磁気コア半体
同士の間に磁気的結合が生じる。このようにギャップ部
ｇに磁気的結合が生じた磁気ヘッドでは、ギャップ部ｇ
で発生する漏れ磁束が少なくなり記録再生特性が劣化す
る。Then, in the gap part g, the ferrite forming the magnetic core half block is diffused into the fused glass that corrodes the gap film 33 together with the stress generated inside by the pressurization. When the ferrite component diffuses into the fused glass that corrodes the gap film 33, the gap portion g
In the part where the ferrite component is diffused, magnetic coupling occurs between the magnetic core halves. In the magnetic head in which the magnetic coupling is generated in the gap portion g in this way, the gap portion g
The leakage magnetic flux generated at 1 is reduced and the recording / reproducing characteristics deteriorate.

【００１１】特に、トラック幅を２５μｍ程度に狭小化
した場合には、ギャップ部ｇ近傍において磁気コア半体
に生じる応力が大なるものとなる。したがって、ギャッ
プ膜を浸食する融着ガラスへのフェライト成分の拡散が
促進され、磁気的結合はさらに大きなものとなる。トラ
ック幅が狭いことに加えてこのようにギャップ部ｇに大
きな磁気的結合が生じるとギャップ部ｇで発生する漏れ
磁束は極めて小さいものとなり、記録再生特性の劣化は
深刻なものとなる。In particular, when the track width is narrowed to about 25 μm, the stress generated in the magnetic core half in the vicinity of the gap portion g becomes large. Therefore, the diffusion of the ferrite component into the fused glass that corrodes the gap film is promoted, and the magnetic coupling is further increased. When a large magnetic coupling occurs in the gap portion g in addition to the narrow track width, the leakage magnetic flux generated in the gap portion g becomes extremely small, and the deterioration of the recording / reproducing characteristics becomes serious.

【００１２】一方、磁気コア半体ブロックの接合を行う
に際して融着温度が低く、融着ガラスの粘度が高くなっ
ていると、粘度の高い融着ガラスは流動性が低いので、
特に溝の長さが長くなされるバック側のトラック幅規制
溝への充填が不完全になる。これにより、接合強度が不
十分となって、例えば抗折強度が３０〜３５ｇ・ｆと、
機械的強度が弱くチップ割れ等が多発する歩留りの低い
製品しか得られないといった不都合が生じる。On the other hand, if the fusion temperature is low and the viscosity of the fusion glass is high at the time of joining the magnetic core half blocks, the fusion glass with high viscosity has low fluidity,
In particular, the back side track width regulation groove in which the length of the groove is lengthened is not completely filled. As a result, the joint strength becomes insufficient, and the bending strength is, for example, 30 to 35 g · f.
The disadvantage is that only a product with low mechanical strength and frequent chip cracks and the like is obtained with a low yield.

【００１３】このように、これまでのガラス融着方法で
は、融着ガラスによるギャップ膜の浸食が発生して記録
再生特性が劣化する，あるいはバック側のトラック幅規
制溝に十分に融着ガラスが充填されず、機械的強度が不
足するといったいずれかの不都合が発生し、特に記録再
生特性の劣化はトラック幅を狭小化する程促進すること
から、高密度記録に対応した磁気ヘッドを製造するのは
困難である。As described above, in the conventional glass fusing methods, the gap film is eroded by the fusing glass to deteriorate the recording / reproducing characteristics, or the fusing glass is sufficiently filled in the track width regulation groove on the back side. Any inconvenience such as lack of filling and insufficient mechanical strength occurs, and particularly deterioration of recording / reproducing characteristics accelerates as the track width becomes narrower. Therefore, it is necessary to manufacture a magnetic head compatible with high-density recording. It is difficult.

【００１４】そこで、本発明はかかる従来の実情に鑑み
て提案されたものであり、融着ガラスによるギャップ膜
の浸食を抑えることができ、良好な記録再生特性が得ら
れるとともに十分な機械的強度が確保できる磁気ヘッド
の製造方法を提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in view of the above-mentioned conventional circumstances, and it is possible to suppress the erosion of the gap film by the fused glass, obtain good recording and reproducing characteristics, and obtain sufficient mechanical strength. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a magnetic head that can secure the above.

【００１５】[0015]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明の磁気ヘッドの製造方法は、磁気ギャップ
形成面にＳｉＯ₂ よりなるギャップ膜が形成された一対
の磁気コア半体同士を突合せ、これら一対の磁気コア半
体同士を融着ガラスで接合するに当たり、融着ガラスの
粘度を５０００〜１００００Ｐａ・ｓとしてバック側を
ガラス融着し、融着ガラスの粘度を５００００〜２００
０００Ｐａ・ｓとしてフロント側をガラス融着すること
を特徴とするものである。In order to achieve the above object, a method of manufacturing a magnetic head according to the present invention comprises a pair of magnetic core halves having a gap film made of SiO ₂ formed on a magnetic gap forming surface. Butt and join the pair of magnetic core halves to each other with a fused glass, the fused glass has a viscosity of 5000 to 10000 Pa · s, and the back side is glass fused, and the fused glass has a viscosity of 50,000 to 200.
The front side is glass-melted at 000 Pa · s.

【００１６】また、磁気コア半体のトラック幅規制溝に
よって規制される磁気ギャップのトラック幅が２５μｍ
以下であることを特徴とするものである。The track width of the magnetic gap regulated by the track width regulation groove of the magnetic core half is 25 μm.
It is characterized by the following.

【００１７】[0017]

【作用】本発明では、一対の磁気コア半体同士をトラッ
ク幅規制溝内に融着ガラスを充填することで接合するに
当たり、融着ガラスの粘度を５０００〜１００００Ｐａ
・ｓとしてバック側のトラック幅規制溝内に融着ガラス
を充填し、融着ガラスの粘度を５００００〜２００００
０Ｐａ・ａとしてフロント側のトラック幅規制溝内に融
着ガラスを充填する。According to the present invention, when the pair of magnetic core halves are joined by filling the track width regulating groove with the fused glass, the viscosity of the fused glass is 5000 to 10000 Pa.
・ As s, a fused glass is filled in the track width regulation groove on the back side, and the viscosity of the fused glass is 50,000 to 20,000.
The fused glass is filled in the track width regulation groove on the front side at 0 Pa · a.

【００１８】粘度が５０００〜１００００Ｐａ・ｓと低
粘度な融着ガラスは比較的高い流動性を示す。したがっ
て、バック側のトラック幅規制溝内に円滑に流れ込んで
該トラック幅規制溝内にむらなく充填され、これにより
磁気コア半体同士が十分な接合強度で接合される。A fused glass having a low viscosity of 5000-10000 Pa · s exhibits relatively high fluidity. Therefore, it smoothly flows into the track width regulating groove on the back side and is evenly filled in the track width regulating groove, whereby the magnetic core halves are joined together with sufficient joining strength.

【００１９】また、粘度が５００００〜２０００００Ｐ
ａ・ｓと高粘度な融着ガラスは比較的低い流動性を示
し、ギャップ部のような狭小な隙間には流れ込み難い。
したがって、巻線溝よりフロント側のトラック幅規制溝
内に充填する際の融着ガラスの粘度を５００００〜２０
００００Ｐａ・ｓとすると、漏れ磁束の発生に寄与する
フロント側のギャップ膜の融着ガラスによる浸食が抑え
られる。これにより、フロント側のギャップ膜を浸食す
る融着ガラスにフェライトが拡散することによって生じ
る漏れ磁束の減少が抑制され、記録再生特性の劣化が防
止される。Further, the viscosity is 50,000 to 200,000 P.
The fused glass having a high viscosity of a · s exhibits relatively low fluidity, and is difficult to flow into a narrow gap such as a gap.
Therefore, the viscosity of the fused glass at the time of filling the track width regulation groove on the front side of the winding groove should be 50000 to 20
When the pressure is set to 0000 Pa · s, the erosion of the front side gap film, which contributes to the generation of the leakage magnetic flux, by the fused glass is suppressed. As a result, the reduction of leakage flux caused by the diffusion of ferrite into the fused glass that erodes the front gap film is suppressed, and the deterioration of the recording / reproducing characteristics is prevented.

【００２０】[0020]

【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて、図面を参照しながら説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments to which the present invention is applied will be described below with reference to the drawings.

【００２１】磁気ヘッドを作製するには、Ｍｎ−Ｚｎ系
フェライト又はＮｉ−Ｚｎ系フェライト等の酸化物軟磁
性材料よりなる長方形状の磁気コア半体ブロックを用意
し、突合せ面となる面に逆スパッタ法にてエッチング処
理を施し、表面粗さを小さくしておく。なお、本実施例
で用いた磁気コア半体ブロックの寸法は、長さ３０．０
ｍｍ、幅２．９ｍｍである。In order to fabricate a magnetic head, a rectangular magnetic core half block made of an oxide soft magnetic material such as Mn-Zn ferrite or Ni-Zn ferrite is prepared, and the opposite surface is the opposite surface. Etching is performed by the sputtering method to reduce the surface roughness. The size of the magnetic core half block used in this example is 30.0 in length.
mm and the width is 2.9 mm.

【００２２】ついで、図１に示すようにこの磁気コア半
体ブロック１の一主面に、幅方向に沿ってギャップ部ｇ
のトラック幅を規制するトラック幅規制溝２を断面略台
形状に形成する。このときトラック幅規制溝２は、側面
が他側面に対して８〜４５°の角度をなし、深さが２０
０〜３００μｍ程度となるように形成する。Then, as shown in FIG. 1, a gap portion g is formed on one main surface of the magnetic core half block 1 along the width direction.
The track width restricting groove 2 for restricting the track width is formed in a substantially trapezoidal cross section. At this time, the side surface of the track width regulating groove 2 forms an angle of 8 to 45 ° with respect to the other side surface, and the depth is 20.
It is formed to have a thickness of about 0 to 300 μm.

【００２３】このようにしてトラック幅規制溝２を形成
した後、該主面を、表面粗度Ｒａが２０〜１００Å程度
となるように研磨加工する。そして、図２に示すよう
に、各トラック幅規制溝２に対して直交する方向に巻線
溝３を形成し、さらに該巻線溝３に対して平行となるよ
うにガラス融着溝４を形成する。このとき上記巻線溝３
を境にガラス融着溝４側が磁気ヘッドのバック側とな
り、ガラス融着溝４とは逆側が磁気ヘッドのフロント側
となる。すなわち、上記巻線溝３は、ギャップ部ｇのフ
ロント側のデプスｄ_F を規制し、上記ガラス融着溝はそ
のフロント側の壁面によってギャップ部ｇのバック側の
デプスｄ_B を規制する。After the track width regulating groove 2 is formed in this manner, the main surface is polished so that the surface roughness Ra is about 20 to 100Å. Then, as shown in FIG. 2, a winding groove 3 is formed in a direction orthogonal to each track width regulating groove 2, and a glass fusing groove 4 is further formed so as to be parallel to the winding groove 3. Form. At this time, the winding groove 3
At the boundary, the glass fusing groove 4 side is the back side of the magnetic head, and the side opposite to the glass fusing groove 4 is the front side of the magnetic head. That is, the winding groove 3 regulates the depth d _F on the front side of the gap portion g, and the glass fusing groove regulates the depth d _B on the back side of the gap portion g by the wall surface on the front side.

【００２４】このようにして、トラック幅規制溝２，巻
線溝３，ガラス融着溝４が形成された磁気コア半体ブロ
ック１と、同様にして各溝が形成された磁気コア半体ブ
ロック５とを、少なくともいずれか一方の溝形成面に逆
スパッタ法によるエッチング処理を施した後、ギャップ
膜を介して突合せ、ガラス融着によって接合一体化す
る。In this way, the magnetic core half block 1 in which the track width regulating groove 2, the winding groove 3, and the glass fusing groove 4 are formed, and the magnetic core half block in which each groove is similarly formed 5 and 5 are subjected to etching treatment by a reverse sputtering method on at least one of the groove formation surfaces, but they are butted with each other through a gap film and bonded and integrated by glass fusion.

【００２５】ガラス融着を行うには、突き合わされた一
対の磁気コア半体ブロック１，５を治具に取付け、突合
せ方向に所定の圧力が加わるようにする。そして、フロ
ント側が下側となるように治具調整して巻線溝３，ガラ
ス融着溝４にそれぞれ融着ガラス棒を挿入し、該融着ガ
ラスが溶融するまで加熱する。巻線溝内で粘度が低くな
った融着ガラスはフロント側のトラック幅規制溝に流れ
込み、該フロント側のトラック幅規制溝内に充填され
る。一方、ガラス融着溝内で粘度が低くなった融着ガラ
スはバック側のトラック幅規制溝に流れ込み、該バック
側のトラック幅規制溝内に充填される。これにより磁気
コア半体ブロック同士は接合一体化され磁気コアブロッ
クとなる。To perform glass fusion, a pair of butted magnetic core half blocks 1 and 5 are attached to a jig so that a predetermined pressure is applied in the butting direction. Then, the jig is adjusted so that the front side is on the lower side, and fused glass rods are inserted into the winding groove 3 and the glass fused groove 4, respectively, and heated until the fused glass is melted. The fused glass whose viscosity has decreased in the winding groove flows into the track width regulating groove on the front side and is filled in the track width regulating groove on the front side. On the other hand, the fused glass whose viscosity has decreased in the glass fusing groove flows into the track width regulating groove on the back side and is filled in the track width regulating groove on the back side. As a result, the magnetic core half blocks are joined and integrated to form a magnetic core block.

【００２６】このようにしてガラス融着するに際して、
本発明においては、図３に示すように、先ず、ガラス融
着溝４にのみ第１の融着ガラス棒を挿入する。そして該
第１の融着ガラス棒を加熱溶融して粘度を５０００〜１
００００Ｐａ・ｓとする。粘度が５０００〜１００００
Ｐａ・ｓと低粘度な融着ガラス７は比較的高い流動性を
示す。したがって、バック側のトラック幅規制溝２内に
円滑に流れ込んで該トラック幅規制溝２内にむらなく充
填される。When the glass is fused in this way,
In the present invention, as shown in FIG. 3, first, the first fused glass rod is inserted only in the glass fused groove 4. Then, the first fused glass rod is heated and melted to have a viscosity of 5,000 to 1
0000 Pa · s. Viscosity is 5000-10000
The fused glass 7, which has a low viscosity of Pa · s and a low viscosity, exhibits relatively high fluidity. Therefore, it smoothly flows into the track width regulation groove 2 on the back side and is uniformly filled in the track width regulation groove 2.

【００２７】バック側をガラス融着した後、今度は図４
に示すように、巻線溝３内に第２の融着ガラス棒を挿入
する。そして、該第２の融着ガラスを加熱溶融して粘度
を５００００〜２０００００Ｐａ・ｓとする。粘度が５
００００〜２０００００Ｐａ・ｓと高粘度な融着ガラス
８は比較的低い流動性を示し、ギャップ部ｇのような狭
小な隙間には流れ込み難い。したがって、巻線溝よりフ
ロント側のトラック幅規制溝２内に充填する際の融着ガ
ラスの粘度を５００００〜２０００００Ｐａ・ｓとする
と、漏れ磁束の発生に寄与するフロント側のギャップ膜
６の融着ガラスによる浸食が抑えられる。これにより、
フロント側のギャップ膜６を浸食する融着ガラスにフェ
ライトが拡散することによって生じる漏れ磁束の減少が
抑制される。After fusing the back side with glass, this time with reference to FIG.
As shown in, the second fused glass rod is inserted into the winding groove 3. Then, the second fused glass is heated and melted to have a viscosity of 50,000 to 200,000 Pa · s. Viscosity 5
The fused glass 8 having a high viscosity of 20,000 to 200,000 Pa · s exhibits a relatively low fluidity and is difficult to flow into a narrow gap such as the gap part g. Therefore, when the viscosity of the fused glass when filling the track width regulation groove 2 on the front side of the winding groove is set to 50,000 to 200,000 Pa · s, the fusion of the front side gap film 6 that contributes to the generation of the leakage magnetic flux is performed. Erosion due to glass is suppressed. This allows
A reduction in leakage magnetic flux caused by diffusion of ferrite into the fused glass that erodes the front gap film 6 is suppressed.

【００２８】上記各トラック幅規制溝２に充填する際の
融着ガラス７，８の粘度は、例えば融着ガラス７，８を
溶融させる際の温度を制御することにより調整できる。The viscosity of the fused glass 7, 8 when filling the track width regulating grooves 2 can be adjusted, for example, by controlling the temperature at which the fused glass 7, 8 is melted.

【００２９】図５に、通常用いられている融着ガラスの
温度と粘度の関係を示す。FIG. 5 shows the relationship between the temperature and the viscosity of the fused glass that is usually used.

【００３０】図５から、融着ガラスの粘度は温度の上昇
に伴って低下し、温度が５１５〜５３５℃にまで上昇し
たときに粘度が５００００〜２０００００Ｐａ・ｓとな
り、さらに５５５〜５７０℃にまで上昇したときに粘度
が５０００〜１００００Ｐａ・ｓにまで低下する。した
がって、バック側のトラック幅規制溝内に充填する際の
融着ガラスの融着温度を５５５〜５７０℃，フロント側
のトラック幅規制溝内に充填する際の融着ガラスの融着
温度を５１５〜５３５℃とすることにより上記効果が得
られることとなる。From FIG. 5, the viscosity of the fused glass decreases with increasing temperature, and when the temperature rises to 515 to 535 ° C., the viscosity becomes 50,000 to 200,000 Pa · s, and further to 555 to 570 ° C. When it rises, the viscosity drops to 5000-10000 Pa · s. Accordingly, the fusing temperature of the fusing glass when filling the back side track width regulating groove is 555 to 570 ° C., and the fusing temperature of the fusing glass when filling the front side track width regulating groove is 515. By setting the temperature to ˜535 ° C., the above effect can be obtained.

【００３１】なお、フロント側のトラック幅規制溝２内
への融着ガラスの充填性，すなわちトラック幅規制溝２
への融着ガラスの落ち易さは巻線溝の形状によっても多
少異なる。したがって、フロント側のトラック幅規制溝
２内へ充填する際の融着ガラスの粘度は巻線溝の形状に
合わせて適正化すると好ましい。例えば、図４に示す両
方の磁気コア半体ブロック１，５に巻線溝３が形成され
ている両溝巻線溝型の場合には融着ガラス８の粘度は１
０００００〜２０００００Ｐａ・ｓ程度が適当であり、
片方の磁気コア半体ブロックにのみ巻線溝が形成されて
いる片溝巻線溝型の場合には融着ガラスの粘度は５００
００〜１０００００Ｐａ・ｓ程度が適当である。融着ガ
ラスの粘度を１０００００〜２０００００Ｐａ・ｓにす
るには融着温度を５１５〜５２５℃に、５００００〜１
０００００Ｐａ・ｓにするには融着温度を５２５〜５３
５℃程度にそれぞれ設定すれば良い。The filling property of the fused glass into the track width regulating groove 2 on the front side, that is, the track width regulating groove 2
The easiness of the fused glass falling on the glass varies somewhat depending on the shape of the winding groove. Therefore, it is preferable that the viscosity of the fused glass at the time of filling the front track width regulation groove 2 is optimized according to the shape of the winding groove. For example, in the case of the double groove winding groove type in which the winding grooves 3 are formed in both the magnetic core half blocks 1 and 5 shown in FIG. 4, the viscosity of the fused glass 8 is 1
A suitable range is about 00000-200000 Pa · s,
In the case of the single groove winding groove type in which the winding groove is formed only on one magnetic core half block, the viscosity of the fused glass is 500.
The suitable range is about 00 to 100,000 Pa · s. In order to set the viscosity of the fused glass to 100,000 to 200,000 Pa · s, the fusing temperature is set to 515 to 525 ° C. and 50,000 to 1
To achieve 00000 Pa · s, the fusion temperature should be 525-53
It may be set to about 5 ° C.

【００３２】因みに、両溝巻線溝型の場合、片溝巻線溝
型の場合について、融着ガラスの融着温度とバック側の
トラック幅規制溝への融着ガラスの流れ長さの関係、融
着ガラスの融着温度とフロント側のギャップ膜への浸食
長さの関係を図６，図７にそれぞれ示す。これら図６，
図７から、融着ガラスの温度を制御することにより、バ
ック側のトラック幅規制溝内への融着ガラスの充填性，
フロント側のギャップ膜への融着ガラスの浸食が制御で
きることが示唆される。ここで、図６，図７の特性図の
測定に用いた磁気ヘッドは、バック側のデプスｄ_B が８
００μｍのものである。Incidentally, in the case of the double groove winding groove type and the case of the single groove winding groove type, the relationship between the fusing temperature of the fusing glass and the flow length of the fusing glass to the track width regulating groove on the back side. 6 and 7 show the relationship between the fusing temperature of the fusing glass and the erosion length of the front side gap film. These Figure 6,
From FIG. 7, by controlling the temperature of the fused glass, the filling property of the fused glass in the track width regulation groove on the back side,
It is suggested that the erosion of the fused glass on the front side gap film can be controlled. Here, the magnetic head used for the measurement of the characteristic diagrams of FIGS. 6 and 7 has a back side depth d _B of 8
The thickness is 00 μm.

【００３３】なお、本実施例では、両方の磁気コア半体
ブロック１，５に巻線溝３が形成された両溝巻線溝型の
例であるのでバック側のトラック幅規制溝２内に充填す
る際の融着ガラス７の温度を５６０℃，フロント側のト
ラック幅規制溝２内に充填する際の融着ガラス８の温度
を５３０℃に設定した。The present embodiment is an example of the double groove winding groove type in which the winding grooves 3 are formed in both the magnetic core half blocks 1 and 5, so that the track width regulating groove 2 on the back side is formed. The temperature of the fused glass 7 at the time of filling was set to 560 ° C., and the temperature of the fused glass 8 at the time of filling the inside of the track width regulating groove 2 on the front side was set to 530 ° C.

【００３４】このようにして、上記磁気コア半体ブロッ
ク１，５を接合一体化して図８に示す磁気コアブロック
９を作製した後、この磁気コアブロック９のフロント側
の一端面を円筒研磨して磁気記録媒体摺動面を形成し、
さらに図中ａ−ａ´，ｂ−ｂ´で示す位置で該磁気コア
ブロックを横切ってスライシング加工することで磁気ヘ
ッドが完成する。In this way, the magnetic core half blocks 1 and 5 are joined and integrated to form the magnetic core block 9 shown in FIG. 8, and one end surface of the magnetic core block 9 on the front side is cylindrically polished. To form the sliding surface of the magnetic recording medium,
Further, the magnetic head is completed by slicing across the magnetic core block at the positions indicated by aa 'and bb' in the figure.

【００３５】このようにして作製された磁気ヘッドは、
フロント側のギャップ部ｇにフェライト成分が拡散して
いないので、トラック幅を２５μｍ以下と狭小化した場
合でも良好な記録再生特性が得られ、例えば、融着ガラ
スの粘度を制御せずに作製された磁気ヘッドに比べて記
録，再生特性が１〜１．５ｄＢと大きく改善されてい
る。また、バック側のトラック幅規制溝に十分に融着ガ
ラスが充填され、磁気コア半体同志が十分な強度でガラ
ス接合されており、１００ｇ・ｆと優れた抗折強度を得
ることができる。The magnetic head thus manufactured is
Since the ferrite component is not diffused in the front side gap portion g, good recording / reproducing characteristics can be obtained even when the track width is narrowed to 25 μm or less. For example, it is manufactured without controlling the viscosity of the fused glass. The recording and reproducing characteristics are greatly improved to 1 to 1.5 dB as compared with the magnetic head. Further, the track width regulation groove on the back side is sufficiently filled with the fused glass, and the magnetic core halves are glass-bonded with sufficient strength, and it is possible to obtain an excellent bending strength of 100 g · f.

【００３６】[0036]

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の磁気ヘッドの製造方法においては、磁気ギャップ形
成面にＳｉＯ₂ よりなるギャップ膜が形成された一対の
磁気コア半体同士を突合せ、これら一対の磁気コア半体
同士を融着ガラスで接合するに当たり、融着ガラスの粘
度を５０００〜１００００Ｐａ・ｓとしてバック側をガ
ラス融着し、融着ガラスの粘度を５００００〜２０００
００Ｐａ・ｓとしてフロント側をガラス融着するので、
フロント側のギャップ膜への融着ガラスの浸食が抑えら
れ、例えばトラック幅を２５μｍ程度に設定した場合で
も良好な記録再生特性を発揮する磁気ヘッドが製造でき
る。しかも、製造された磁気ヘッドは、磁気コア半体同
志が十分な強度でガラス接合されており優れた機械的特
性を発揮する。As is clear from the above description, in the method of manufacturing a magnetic head of the present invention, a pair of magnetic core halves having a gap film made of SiO ₂ formed on the magnetic gap forming surface are butted to each other. When joining the pair of magnetic core halves to each other with the fused glass, the viscosity of the fused glass is set to 5000 to 10000 Pa · s, the back side is glass-fused, and the viscosity of the fused glass is set to 50,000 to 2000.
Since the front side is fused with glass at 00 Pa · s,
Corrosion of the fused glass to the front side gap film is suppressed, and a magnetic head can be manufactured which exhibits good recording and reproducing characteristics even when the track width is set to about 25 μm. Moreover, in the manufactured magnetic head, the magnetic core halves are glass-bonded with sufficient strength and exhibit excellent mechanical characteristics.

【００３７】したがって、本発明によれば、高密度記録
に好適な実用性の高い磁気ヘッドを得ることが可能とな
る。Therefore, according to the present invention, it is possible to obtain a highly practical magnetic head suitable for high density recording.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】磁気ヘッドの製造工程のうち、トラック幅規制
溝形成工程を示す概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing a track width regulating groove forming step in a magnetic head manufacturing step.

【図２】磁気ヘッドの製造工程のうち、巻線溝，ガラス
融着溝形成工程を示す概略斜視図である。FIG. 2 is a schematic perspective view showing a winding groove and glass fusing groove forming step in the manufacturing process of the magnetic head.

【図３】磁気ヘッドの製造工程のうち、バック側のガラ
ス融着工程を示す概略斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view showing a glass fusion-bonding process on the back side in the manufacturing process of the magnetic head.

【図４】磁気ヘッドの製造工程のうち、フロント側のガ
ラス融着工程を示す概略斜視図である。FIG. 4 is a schematic perspective view showing a glass-fusing step on the front side in the manufacturing process of the magnetic head.

【図５】融着ガラスの融着温度と粘度の関係を示す特性
図である。FIG. 5 is a characteristic diagram showing the relationship between the fusing temperature and the viscosity of fused glass.

【図６】融着ガラスの融着温度とバック側のトラック幅
規制溝への流れ長さの関係を示す特性図である。FIG. 6 is a characteristic diagram showing the relationship between the fusing temperature of the fusing glass and the flow length to the track width regulation groove on the back side.

【図７】融着ガラスの融着温度とギャップデプス膜の浸
食長さの関係を示す特性図である。FIG. 7 is a characteristic diagram showing the relationship between the fusing temperature of the fusing glass and the erosion length of the gap depth film.

【図８】磁気ヘッドの製造工程のうち磁気コアブロック
ブライミング工程を示す概略斜視図である。FIG. 8 is a schematic perspective view showing a magnetic core block blaming step in the manufacturing process of the magnetic head.

【図９】磁気ヘッドの一般的な構成を示す概略斜視図で
ある。FIG. 9 is a schematic perspective view showing a general configuration of a magnetic head.

【図１０】ギャップ膜に融着ガラスが浸食した状態を示
す模式図である。FIG. 10 is a schematic diagram showing a state in which a fused glass is eroded in a gap film.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１，５・・・磁気コア半体ブロック ２ ・・・トラック幅規制溝 ３ ・・・巻線溝 ４ ・・・ガラス融着溝 ６ ・・・ギャップ膜 ７，８・・・融着ガラス 1, 5 ... Magnetic core half block 2 ... Track width regulation groove 3 ... Winding groove 4 ... Glass fusion groove 6 ... Gap film 7, 8 ... Fused glass

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 磁気ギャップ形成面にＳｉＯ₂ よりなる
ギャップ膜が形成された一対の磁気コア半体同士を突合
せ、これら一対の磁気コア半体同士を融着ガラスで接合
するに当たり、 融着ガラスの粘度を５０００〜１００００Ｐａ・ｓとし
てバック側をガラス融着し、融着ガラスの粘度を５００
００〜２０００００Ｐａ・ｓとしてフロント側をガラス
融着することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。1. A fused glass, wherein a pair of magnetic core halves having a gap film made of SiO ₂ formed on the magnetic gap forming surface are abutted against each other and the pair of magnetic core halves are joined with a fused glass. The back side is glass-fused, and the viscosity of the fused glass is 500.
A method of manufacturing a magnetic head, characterized in that the front side is glass-melted at a pressure of 200 to 200,000 Pa · s. 【請求項２】 磁気コア半体のトラック幅規制溝によっ
て規制される磁気ギャップのトラック幅が２５μｍ以下
であることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製
造方法。2. The method of manufacturing a magnetic head according to claim 1, wherein the track width of the magnetic gap restricted by the track width restriction groove of the magnetic core half is 25 μm or less.