JPH06250092A - 物体の光学的検査のための装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】薄膜状の異種材料間のコントラストを強調する
光学的検査装置を提供することを目的とする。 【構成】本発明の光学的検査装置は、照明装置２内の偏
光子２０、撮像装置内の分析計２２、及び該装置のいず
れかにある位相補償板６６を含む偏光デバイスを備え
る。照明装置は、対物レンズの軸１８と平行であるが、
対物レンズの軸に関してある角度に傾けられている円錐
体状の光６２で被検物体１４を照らすように対物レンズ
の軸から側方に変位されている軸に沿って、光源からの
光を対物レンズ８へ方向付け、こうしてゼローだ円偏光
解析効果により照らされた被検物体のコントラストを強
調する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、物体を光学的に検査す
るための装置及び方法に関し、最大コントラストを得る
ことを目的とする。本発明は、特に、被検物体の異種材
料間すなわち層間のコントラストを強調するために、光
学顕微鏡に用いることができる前記光学的検査装置及び
方法に関する。したがって、本発明のかような適用に関
して以下に記述する。

【０００２】

【従来の技術】光学顕微鏡は公知であり、広く種々の分
野にて、小さな対象物及び表面の微詳細を観察するため
の機器に広く用いられている。特に、最終的に精密化さ
れた表面により特徴付けられる集積回路、マルチチップ
モジュール、フラットパネルディスプレイ等のエレクト
ロニクス製品の視覚検査のために有用である。

【０００３】光路に偏光子を用いる顕微鏡でのコントラ
スト強調技術が、いくつか公知となっている。したがっ
て、最も入手可能な市販の顕微鏡は、照明装置内に偏光
子を、また撮像装置内に分析計を備え付けているであろ
う。該偏光子は照明軸の周りを回転可能であり、ゆえに
偏光子軸の方向は約９０度の角度範囲内で連続的に変位
可能である。かような顕微鏡照明装置は、さらに位相補
償板、すなわち位相リターデイション板を含み、該補償
板は、ｓ−及びｐ−偏光素子の間に３６０度の位相シフ
トを導く。

【０００４】しかしながら、公知のコントラスト強調技
術では十分なコントラストを得ることができないので、
いくつかの重要な物体もしくはワークピースは、検査が
困難である。かような物体の一つとして、約１００nm厚
のインジウム−酸化スズ（ＩＴＯ）パターン層で被覆さ
れ、約８０nm厚のポリイミド（ＰＩ）フィルムで保護さ
れたガラス基板があり、これは液晶ディスプレイに用い
られる。これらの物体では、特にポリイミドフィルムの
欠如の可能性のある領域が検査されるべきである。しか
しながら、かような層で被覆された領域と被覆されてい
ない領域との間を十分に区別できる顕微鏡技術は知られ
ていない。

【０００５】検査が困難な別の例としては、マイクロエ
レクトロニクスデバイスの製作での一般的なステージで
ある５０μｍ未満の厚みの酸化珪素層で被覆されたシリ
コン基板がある。しかしながら、公知の顕微鏡技術で
は、酸化珪素層を検査するための十分なコントラストを
与えることはできない。

【０００６】

【解決しようとする課題】したがって、非常に薄い層す
なわちフィルムが含まれている際にも、物体の異種材料
間のコントラストを強調する光学的検査装置が、必要に
なっている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、対物レ
ンズを介して被検物体を照らすための光源を含む照明装
置と、被検物体からの光を受け取る撮像装置と、該照明
装置内の偏光子、該撮像装置内の分析計、及び該装置の
いずれかにある位相補償板を含む偏光デバイスとを備
え、該偏光デバイスがそれぞれの軸について回転可能で
ある、物体を光学的に検査するための装置であって、該
照明装置が、対物レンズの軸と平行であるが、対物レン
ズの軸に関してある角度に傾けられている円錐体状の光
で被検物体を照らすように対物レンズの軸から側方に変
位されている軸に沿って、光源から対物レンズへ光を方
向付けるための光を方向付ける手段を含み、こうしてゼ
ローだ円偏光解析効果(null-ellipsometric effect)に
より照らされた被検物体のコントラストを強調すること
を特徴とする前記光学的検査装置が提供される。

【０００８】上述のゼローだ円偏光解析効果は、１９９
０年１１月２７日付け出願のわれわれのイスラエル特許
出願第９６４８３号により詳細に記載されており、参照
により本願に取り込まれている。簡単に言えば、この効
果は、上記３つの偏光デバイスのうち２つが選択的にそ
れぞれの軸について回転し、第３のデバイスが静止して
いる際に生じる。ある位置にて、反射された光が材料の
うち一つに関して「消光された」状態になるであろう。
こうして被検物体の２つ（または以上）の材料間のコン
トラストが最大となる。

【０００９】本発明は、ゼローだ円偏光解析効果を活用
し、顕微鏡でのコントラストを強調する。前述のよう
に、対物レンズの軸に平行であるが、対物レンズの軸に
関してある角度に傾けられている円錐体状の光でワーク
ピースを照らすように、対物レンズの軸から側方に変位
されている軸に沿って、顕微鏡の対物レンズに光を方向
付けることにより、コントラストは強調される。

【００１０】

【実施例】以下、添付図面を参照しながら本発明を詳細
に説明するが、これらに限定されるものではない。

【００１１】最初に図１を参照すれば、ライカウェツラ
ー(Leica Wetzlar)により作られたエルゴラックス(Ergo
lux)等の標準入射光顕微鏡の光学装置が概略的に示され
ている。この顕微鏡は、光源、ケラー照明２、ビームス
プリッター６及び対物レンズ８を備える照明装置を含
む。ここで、ケラー照明２は、可変性開口絞り４を含有
する。明視野照明の間、ケラー照明２は照明軸１２に沿
って、光ビーム１０を与える。該光ビームは、開口絞り
４を通過し、次いでビームスプリッター６により反射さ
れ、最終的に対物レンズ８により焦点決めされ、被検物
体の検査表面１４を照らす。

【００１２】同じ対物レンズ８が表面１４から反射され
た光を集光し、撮像ビーム１６を撮像軸１８に沿って形
成する。撮像ビームは、ビームスプリッター６を通過
し、線Ａ−Ａ上の双眼管ＭＳ等の観察装置に向けられ
る。

【００１３】先に示されたように、かような公知の顕微
鏡は、光路に偏光子を用いることにより、コントラスト
を強調させる。したがって、最も入手可能な市販の顕微
鏡は、照明２に偏光子２０が備え付けられ、また撮像装
置に分析計２２が備え付けられているであろう。加え
て、偏光子２０を照明軸１２の周りに回転させてもよ
く、その偏光軸の方向は約９０度の範囲内で連続的に可
変である。かような顕微鏡照明は、追加的に位相リター
デイション板等の位相補償板２４を含有してもよく、該
リターデイション板はｓ−及びｐ−偏向成分間に３６０
度の位相シフトをもたらす。

【００１４】しかしながら、先に示したように、かよう
な慣用の顕微鏡検査装置では、非常に薄い層で被覆され
た領域と、被覆されていない領域との間の十分な相違が
わからなかった。本発明では、ゼローだ円偏光解析効果
を活用することによりコントラストを強調するために、
慣用の顕微鏡検査装置を改良する。

【００１５】ゼローだ円偏光解析効果は、上述のわれわ
れのイスラエル特許出願第９６４８３号にてより詳細に
記載されており、添付図面の図２に概略的に示されてい
る。図２に示すように、線Ｂ−Ｂの後方に配置されてい
る照明は、照明軸３４に沿って、光ビーム３２を与え
る。光ビームは、ワークピース３８より上にある集光レ
ンズ３６により焦点決めされる。対物レンズ４０は、撮
像軸４４に沿って、撮像ビーム４２を投影する。ワーク
ピース表面に対する垂線４６と照明軸３４との間の入射
角φは、例えば基板がガラス板の場合には５０度である
基板のブルースター角よりもわずかに小さいことが好ま
しい。反射角が入射角に等しいことは明かである。

【００１６】図２に示す装置は、さらに照明装置内に偏
光子４８を含有し、撮像装置内に分析計５０を含有す
る。さらに１／４波長板の形態にて、位相補償板５２を
含有する。この場合、位相補償板５２は、照明装置内に
あるが、撮像装置内にはない。偏光子４８及び分析計５
０は、それぞれの光学軸について回転可能である。した
がって偏光子４８及び分析計５０の回転により、ワーク
ピース上のある材料に対応するワークピースの一部から
反射される光ビームを消光することが可能で、一方、他
の材料からなるワークピースの他の領域は比較的明るい
まま残される。これがゼローだ円偏光解析効果であり、
この効果により、上述のわれわれの特許出願第９６４８
３号に記載されるように、コントラストを強調すること
ができる。

【００１７】上述のゼローだ円偏光解析技術は、ライン
センサーを用いる自動検査のために非常に有効である。
視覚観察（例えば顕微鏡）への使用は、対物レンズ４０
の像平面５４がある角度だけ、それぞれの撮像軸４４に
対して傾いているという事実により阻害される。ここ
で、ある角度とは、tanβ'＝Ｍ'tanβで示されるScheim
pflug関係式により計算される角度であり、例えばφ＝
５０°、Ｍ＝２０Ｘの場合には、傾斜角β'は８７．６
°となる。

【００１８】明らかに、かようなグレーズ角度(grazing
angle)にて、適度な視分野にわたり、質的に良好な像
を得ることは不可能である。例えば、エリアＣＣＤカメ
ラ(area CCD camera)のような慣用の撮像デバイスが用
いられるならば、光感応領域のほんの小さな部分だけが
焦点に位置決めされるであろう。マイクロエレクトロニ
クス製品の検査に用いられる高度な光学倍率にて、傾斜
角度β'は非常にすばやくグレーズ状態に到達する。

【００１９】図３は、本発明により構成された装置の一
形態を概略的に示している。ここで該装置は、ゼローだ
円偏光解析効果に基づいたコントラスト強調可能な光学
顕微鏡を備えている。図３の装置の理解を助けるため
に、図１に示された慣用の顕微鏡検査装置と同様の部品
は、同じ参照番号で示す。以下、慣用の顕微鏡検査装置
におけるゼローだ円偏光解析効果により強調されたコン
トラストを与えるための変更を主として記述することに
する。

【００２０】慣用の顕微鏡検査装置との相違点のうち、
一つの重要な相違点は、照明装置にある。該照明装置は
光源からの光を対物レンズ８へ方向付けるための光方向
つけ手段を含む。該方向付けは、対物レンズの軸１８に
平行であるが、対物レンズの軸１８に関してある角度に
傾斜している円錐状の光でワークピースを照らすよう
に、対物レンズ１８の軸から側方に変位されている軸に
沿って、光源からの光を対物レンズ８へ方向付けること
からなる。この目的のために、図３にて６０で指定され
た可変性開口絞りが、照明軸１２に関して中心からずれ
て定置されている。その結果、撮像光学軸１８に関して
傾斜された円錐状の光６２により、ワークピースは照ら
される。光学軸１８がワークピース表面に直交するの
で、反射像形成ビーム６４は該表面に関して同様に傾斜
される。したがって、この光学体系は、「だ円偏光解析
撮像」を実行し、ゼローだ円偏光解析効果によりコント
ラストを強調するために必要な状態を与える。

【００２１】このコントラスト強調技術は、非常に高い
開口数の対物レンズを必要とする。例えば、ガラス基板
のためには０．８の最小開口数が好ましく、一方シリコ
ン基板のためには０．９の最小開口数が好ましい。この
高い開口数により、円錐状の光の傾斜角度をそれぞれの
基板のブルースター角に到達させることができる。

【００２２】開口絞り６０の直径もまた、装置の撮像特
性に影響を与える。小さな直径は、だ円偏光解析効果を
強調する傾向にあり、故にコントラストを改良する。し
かしながら、同時に、光レベルを減少させ、空間的コヒ
ーレンスを増長させるので、像の質に十分に影響を与え
る。したがって、可変性開口絞りが用いられ、特定の対
物レンズ及び被検ワークピースの型式に、絞り直径及び
照明軸からの中心の変位等のパラメータを変位させ、最
適化させることができる。

【００２３】図３の装置に含まれる慣用の顕微鏡検査装
置における別の変更は、位相補償板にあり、ここで、６
６で指定される位相補償板（時には位相リターデイショ
ン板と称することもある）は１／４波長（λ／４）板で
ある。最も実用的には「白色」光（広いスペクトルバン
ド）が用いられるので、この補償板は無色であることが
望ましい。つまり、ブロードなスペクトル範囲内にて、
いかなる波長にもほぼ同じ位相シフトを与えることが望
ましい。入手可能な位相補償板の例としては、メドウラ
ーク・オプティクス社(Meadowlark Optics Company)の
アクロマティック・クオーター・ウエーブ・リターダー
（色消し１／４波長リターダー）(Achromatic Quarter
Wave Retarder)を挙げることができ、該補償板は復屈折
性ポリマー材料の複数の層を用いている。

【００２４】位相補償板６６は、図３にて顕微鏡の照明
経路の内側に示されているけれども、特定の適用にてよ
り利便であるならば、対物レンズ８と分析計２２との間
で撮像経路内に定置されてもよい。

【００２５】３つの偏光成分（２０、２２、６６）のう
ち、少なくとも２つは、対応する光学軸（１２または１
８）について回転可能であるべきであり、入射角（図３
の平面）に関して、偏光軸の方向が十分に変位されるで
あろう。したがって、３つの可能な配置がある。（１）
好ましくは±４５°の方位角で、分析計が固定され、補
償板及び偏光子は回転可能である。（２）好ましくは±
４５°の方位角で、偏光子が固定され、分析計及び補償
板は回転可能である。（３）好ましくは±４５°の方位
角で、補償板が固定され、分析計及び偏光子は回転可能
である。

【００２６】これら全ての配置は、機能面からみれば等
価である。しかしながら、簡易さという点で（１）が好
ましい。なぜなら必要な回転機構が顕微鏡の照明モジュ
ールの内部に組み込み易いからである。かような変更を
加え易い市販の顕微鏡の例としては、ライカウェツラー
(Leica Wetzlar)により作られたエルゴラックス(Ergolu
x)が挙げられる。

【００２７】図３に示した装置は、以下のように操作さ
れる。

【００２８】１．初めに、オペレータが、明視野入射照
明モード（以下、ノーマルモードと称す）に、顕微鏡を
セットアップする。次いで、適当な対物レンズ及び観察
装置（例えば、双眼管、ＴＶモニタに連結されたビデオ
カメラ等）を選択する。

【００２９】２．次いで、オペレータは、回転可能な偏
光成分をその初期位置にセットし、すなわち、全ての３
成分は４５°の同じ方位角にあるようにセットする。こ
のセッティングは通常の顕微鏡観察に最も近いものであ
る。

【００３０】３．可変性コントラストモードへの顕微鏡
のセッティングは、（ａ）センター位置から開口絞りを
シフトさせ、（ｂ）一般の顕微鏡のための通常のセッテ
ィングよりも小さく直径を減少させることにより、なさ
れる。第１の反復として、開口絞りは完全開口の半径の
まん中当りにセンター合わせされてもよく、開口絞りの
直径は完全開口の直径の半分にまで減少させられ、次い
で、絞りはそのセンター位置から側方にシフトされる。
双眼鏡装置で操作される際には、一方のアイピースを取
り除き、アイピース管を通して直接見ることにより、こ
れらの絞りを視覚的にモニターしてもよい。

【００３１】４．次いで、偏光子２０及び位相補償板６
６は、互い違いに連続して回転し、特定の面の完全な
「消光」まで、像のコントラストを変化させる。

【００３２】５．数回の反復の後、得られたコントラス
トがまだ不十分である場合には、開口絞り６０をさらに
シフトさせ減少させることにより、コントラストはさら
に改良されるであろう。

【００３３】後半の操作は、図４から図６にさらに詳細
に示されている。

【００３４】図４は、典型的な従来の顕微鏡のセッティ
ングを示し、図３に示した装置の操作のノーマルモード
に該当する。この典型的なセッティングにおいて、円７
０は、開口絞り６０の平面に対物レンズ８の完全開口を
規定する。７３で指定される開口は、通常は直径が有効
口径７０の約２／３となるようにセットされる。両開口
とも同心円であり、図４に１８で示される顕微鏡の光学
軸の周りにセンター決めされており、該光学軸は、それ
ぞれ７１、７２で示される装置のＸ軸、Ｙ軸の交点であ
る。

【００３５】図５は、図３の可変性開口絞り６０の好ま
しい第１の反復を示す。７４で示された開口の直径は、
有効口径７０の約１／２に減少し、その中心は図５に軸
１８ａで示されるように、有効口径のほぼまん中に変位
されている。顕微鏡の光学軸（図４では１８）に関する
この変位が、図５では「Δ」で規定されている。

【００３６】図６は、図５に関して上述されたいくつか
の反復がまだ不十分である場合に、７５で示される開口
絞りがシフトされて減少された極限状態を示す。図６に
示された極限状態において、開口７５は非常に小さく且
つ変位されているので、その中心１８ｂは有効口径７０
の外部にある。この場合は、だ円偏光解析コントラスト
強調のために有用であるが、光強度及び空間解像度の観
点からは好ましくない。

【００３７】図７は、最小の設計変更を伴う標準光学顕
微鏡において、本発明のコントラスト強調技術が如何に
実行されるかを示す。図７に示されたのは、一般に８０
で示される位相補償板スライダーであり、ライカ・エル
ゴラックス(Leica Ergolux)顕微鏡に含まれているが、
本発明によるノーマルモードもしくは可変性コントラス
トモードに従って顕微鏡を操作可能とするよう変更され
ている。故に、スライダー８０は、２つの相互変更可能
な位置にて、顕微鏡照明装置（図１もしくは図３にて
２）内に定置されてもよい。該２つの相互変更可能な位
置とは、オペレータにより選択されるような、一方が操
作のノーマルモードであり、他方が操作の可変性コント
ラストモードである。

【００３８】この目的のために、スライダー８０が空の
有効口径８１を伴って形成され、操作のノーマルモード
の間、照明光学軸（図１及び図３にて１２）との整合位
置に定置される。

【００３９】スライダー８０は、第２の開口を伴って形
成され、該第２の開口は、位相補償板６６により占領さ
れる中空の回転可能シャフト８２を含む。操作の可変性
コントラストモードに装置を整えるために、スライダー
８０が移動され、位相補償板６６を照明光学軸１２に整
合させる。位相補償板６６は、手動により回転可能とさ
れるスライダーの一端にて、開口を貫通して突出するプ
ーリ車輪８３と、該プーリ車輪に中空のシャフト８２を
結合させるプーリベルト８４と、により回転させられて
もよい。

【００４０】

【発明の効果】ゆえに、上述の顕微鏡コントラスト強調
装置及び方法は、光学的検査の分野に新規で効果的な手
段を提供することが、見いだされるであろう。従来の標
準顕微鏡技術を越えるこの技術の主な利点は、以下の点
を含む。

【００４１】１．従来の顕微鏡技術では低いコントラス
トしか得られなかった状態で、ゼローだ円偏光解析効果
により、非常に高いコントラストが得られる。一般例
は、ガラス−ＩＴＯ−ＰＩもしくはシリコン−酸化珪素
基板を成分とするワークピースである。したがって、こ
の新規な技術は、標準顕微鏡による被検査ワークピース
の範囲を顕著に広げることができる。

【００４２】２．例えば、２つの異なる多層構造間等の
ワークピースの異種部分間のコントラストを広い範囲で
変化させることができる。典型的には、極限セッティン
グ間でコントラスト反転が観察される。すなわち、偏光
成分の一方のセッティングにて比較的暗く現れる領域
が、他方のセッティングにて比較的明るくなる。可変性
コントラスト特性は、視覚検査の分野における欠陥分類
のために、前述の技術を理想的に適当とする。故に、疑
わしき欠陥の原因が、隣接した公知の構造に関するコン
トラスト変化特性に従って、突き止められるであろう。
例えば、クリーンなシリコンであるべき領域内の小さな
未知のアイランド欠陥(small unknown island defect)
が、他の領域内の相応の酸化珪素層と同じ態様にて、コ
ントラストを変化させると仮定する。これは酸化珪素の
余分なスポットとして、欠陥を確認しやすくする。

【００４３】３．透明薄膜の厚みに対するゼローだ円偏
光解析コントラストの高感度性は、この顕微鏡による、
単層構造及び多層構造とも、厚みが不均一な異種層の検
査を可能とする。例えば、被検フィルムのあるポイント
の撮像が暗い（「消光された」）場合には、同じフィル
ム厚みを有する他のポイントもまた暗くなるであろう。
一方、同じ条件で、異なる厚みを有する領域は明るくな
るであろう。ゆえに、撮像のグレイレベルは、被検ポイ
ントと対照ポイントとの間の厚みの違いの関数であり、
不均一な厚みの検査に用いることができる。かような検
査の感度は、対物レンズの開口数、開口絞りの変位及び
大きさ（円錐状の照明光の入射角及び角度幅を共に決定
する）、並びに用いられる光のスペクトルバンド幅に依
存し、該感度は最適条件でのシングルナノメータ(singl
e nanometers)に到達するであろう。

【００４４】４．本発明は、標準光学顕微鏡（例えば図
１に示す従来の顕微鏡）上で、単に、位相補償板（図１
で２４）を図７に示されるスライダー板に交換し、上述
のように偏光子及び補償板を回転可能とし、開口（図３
で６０）の直径を減少可能とし、対物レンズの軸の側方
に開口を変位可能とする副次的な機構的変更をそれぞれ
加えることにより、容易に実行されるであろう。

【００４５】好ましいライカ・エルゴラックス(Leica E
rgolux)顕微鏡はすでに開口スライダーを備えているの
で、開口６０の変更は必要ではない。極限位置におい
て、明視野と暗視野との間の照明モードを変えるため
に、最初に設計されたスライダーもまた、可変性コント
ラストモードを効果的にするために、小量の増分で手動
的に移動されるであろう。しかしながら、本発明の実施
例は、手動にせよ機械的にせよ、開口の大きさ及び変位
を制御するためのより精密な機構を含むことが予想され
る。

【００４６】本発明は、好ましい実施態様に関して記載
されているが、主として例示の目的で成されたものであ
り、本発明の他の変更、改良及び適用が成されてもよい
ことを理解されたい。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、慣用（従来）の物体の光学的検査のた
めの顕微鏡装置を示す概略図である。

【図２】図２は、例えば、われわれの先願である１９９
０年１１月２７日付け出願のイスラエル特許出願第９６
４８３号に記載されたようなゼローだ円偏光解析効果を
示す概略図である。

【図３】図３は、ゼローだ円偏光解析効果によりコント
ラスト強調を得るために、本発明により構成された装置
の一形態を示す概略図である。

【図４】図４は、図３の装置の可変性開口絞りのノーマ
ルモードでの位置を示す。

【図５】図５は、図３の装置の可変性開口絞りの好まし
い位置を示す。

【図６】図６は、図３の装置の可変性開口絞りの極限状
態での位置を示す。

【図７】図７は、オペレーションのノーマルノードもし
くは可変性コントラストモードのいずれかを選択するた
めに、図３の装置に用いられるモード選択デバイスの一
形態を示す。

【符号の説明】

２：ケラー照明 ４：可変性開口絞り ６：ビームスプリッター ８：対物レンズ １２：照明光学軸 １８：対物レンズ軸 ２０：偏光子 ２２：分析計 ２４：位相補償板 ３２：光ビーム ３４：照明軸 ３６：集光レンズ ３８：ワークピース ４０：対物レンズ ４２：撮像ビーム ４４：撮像軸 ４６：垂線 ４８：偏光子 ５０：分析計 ５２：位相補償板 ５４：像平面 ６０：可変性開口絞り ６２：円錘状の光 ６４：反射像形成ビーム ６６：位相補償板 ７０：有効口径 ７３：開口 ８０：位相補償板スライダー ８１：有効口径 ８２：回転可能シャフト

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対物レンズを介して被検物体を照らすた
   めの光源を含む照明装置と、 被検物体からの光を受け取る撮像装置と、 該照明装置内の偏光子、該撮像装置内の分析計、及び該
   装置のいずれかにある位相補償板を含む偏光デバイスと
   を備え、該偏光デバイスがそれぞれの軸について回転可
   能である、物体を光学的に検査するための装置であっ
   て、 該照明装置が、対物レンズの軸と平行であるが、対物レ
   ンズの軸に関してある角度に傾けられている円錐体状の
   光で被検物体を照らすように対物レンズの軸から側方に
   変位されている軸に沿って、光源から対物レンズへ光を
   方向付けるための光を方向付ける手段を含み、こうして
   ゼローだ円偏光解析効果(null-ellipsometric effect)
   により照らされた被検物体のコントラストを強調するこ
   とを特徴とする前記光学的検査装置。
2. 【請求項２】 前記光を方向付けるための手段が、対物
   レンズの前方に向かって前記照明装置内に可変性の絞り
   を備え、該絞りは対物レンズの軸に関して光の側方変位
   を変えるように調整可能であり、こうして前記ゼローだ
   円偏光解析効果により前記コントラストを強調すること
   を特徴とする請求項１の装置。
3. 【請求項３】 前記絞りが可変性の開口絞りであり、そ
   の直径もまた調整可能であることを特徴とする請求項２
   の装置。
4. 【請求項４】 前記照明装置が、前記対物レンズを介す
   る被検物体への前記可変性の開口絞りからの光を反射
   し、且つ前記対物レンズを介する前記撮像装置へ前記被
   検物体からの光を伝達するためのビームスプリッターを
   含有することを特徴とする請求項２もしくは３の装置。
5. 【請求項５】 前記位相補償板が、１／４波長板である
   ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項
   に記載の装置。
6. 【請求項６】 前記光源が、広いスペクトルバンドの光
   を発生させ、且つ前記位相補償板が無色であることを特
   徴とする請求項５の装置。
7. 【請求項７】 前記対物レンズが、少なくとも０．８の
   開口数を有することを特徴とする請求項１から請求項６
   のいずれか１項の装置。
8. 【請求項８】 前記位相補償板が、前記照明装置内で前
   記偏光子と前記対物レンズとの間にあることを特徴とす
   る請求項１から請求項７のいずれか１項の装置。
9. 【請求項９】 前記照明装置が、ノーマルモードもしく
   は可変性コントラストモードのいずれかを選択するため
   のモード選択デバイスを含有し、該ノーマルモードにお
   いて、前記位相補償板が照明装置の軸の外側に移動し、
   該可変性コントラストモードにおいて、前記位相補償板
   が照明装置の軸の内側に移動することを特徴とする請求
   項８の装置。
10. 【請求項１０】 前記選択デバイスが、第１の開口と前
    記位相補償板により塞がれる第２の開口とを有する摺動
    可能な板を含有し、該第１の開口が前記ノーマルモード
    において照明装置の軸の方に移動し、該第２の開口が前
    記可変性コントラストモードにおいて照明装置の軸の方
    に移動し、前記可変性コントラストモードにおいて、コ
    ントラストを変化させるために該位相補償板がその軸に
    ついて回転可能であることを特徴とする請求項９の装
    置。