JPH06246687A - Precision cutting jig - Google Patents
Precision cutting jigInfo
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- JPH06246687A JPH06246687A JP6108793A JP6108793A JPH06246687A JP H06246687 A JPH06246687 A JP H06246687A JP 6108793 A JP6108793 A JP 6108793A JP 6108793 A JP6108793 A JP 6108793A JP H06246687 A JPH06246687 A JP H06246687A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- cut
- cutting
- adhesive
- holding
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- Pending
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- Dicing (AREA)
- Details Of Cutting Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、板ガラス、ウエハー等
の精密切断に用いる治具に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a jig used for precision cutting of plate glass, wafers and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、板ガラス、ウエハー等を精密切断
するには、図３に示すように、複数の溝１を設けたテー
ブル（治具）２を用意し、このテーブル２上にろう等の
粘着剤３を用いて、板ガラス、ウエハー等の被切断材Ｗ
を接着し、薄肉の切断刃（ダイヤモンドカッタ）４を前
記溝１に沿って移動させて被切断材４をオーバーカット
するようにしていた。2. Description of the Related Art Conventionally, for precision cutting of plate glass, wafers, etc., as shown in FIG. A material W to be cut such as a plate glass and a wafer using the adhesive 3.
Was adhered, and the thin cutting blade (diamond cutter) 4 was moved along the groove 1 to overcut the material 4 to be cut.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の切断様式によれば、被切断材Ｗごとに粘着剤３を塗
布し、あるいは粘着剤３で汚れたテーブル２を清掃する
必要があるため、準備段階に時間がかかり、生産性を思
うように上げ得ないという問題があった。また、テーブ
ル２の溝１に沿って切断刃４を移動させる必要があるた
め、切断寸法が変わる場合にはその切断寸法に合った溝
を有するテーブルに段取り替しなければならず、切断寸
法が頻繁に変わる生産ラインでは、生産性の大幅な低下
が避けられないばかりか、切断コストの大幅な増大が避
けられないという問題があった。However, according to the above conventional cutting method, it is necessary to apply the adhesive 3 to each material W to be cut or to clean the table 2 soiled with the adhesive 3. There was a problem that it took a long time for the preparation stage and it was not possible to raise productivity as desired. Further, since it is necessary to move the cutting blade 4 along the groove 1 of the table 2, when the cutting size changes, it is necessary to perform a setup change to a table having a groove matching the cutting size, In a production line that changes frequently, there is a problem that not only a large decrease in productivity is inevitable, but also a large increase in cutting cost is inevitable.
【０００４】本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなさ
れたもので、被切断材ごとの粘着剤の塗布を不要にする
と共に粘着剤によるテーブルの汚染を防止し、なおかつ
テーブルの共用を可能とした精密切断用治具を提供する
ことを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems of the prior art. It eliminates the need to apply an adhesive agent for each material to be cut, prevents the table from being contaminated by the adhesive agent, and allows the table to be shared. The object is to provide a jig for precision cutting.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、一面に被切断材を保持するための粘着剤を
コーティングして成るプラスチック製シートと、該シー
トを吸引保持するテーブルとを備えた構成としたことを
特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention provides a plastic sheet having one surface coated with an adhesive for holding a material to be cut, and a table for holding the sheet by suction. It is characterized by having a configuration provided with.
【０００６】[0006]
【作用】上記のように構成した精密切断用治具において
は、プラスチック製シートの、粘着剤をコーティングし
た面に被切断材を押し付けるだけで、被切断材を位置固
定できるので、被切断材ごとに粘着剤を塗布する必要が
なくなる。しかも、粘着剤がテーブルに直接触れないの
で、テーブルが粘着剤で汚れることもなくなる。またシ
ートをテーブルに吸引保持した後、該シートをハーフカ
ットしつゝ被切断材を切断すれば、テーブルに干渉する
ことなく被切断材をオーバーカットすることができ、し
たがってテーブルに溝を設ける必要がなくなってその共
用が可能になる。In the precision cutting jig configured as described above, the material to be cut can be fixed in position by simply pressing the material to be cut on the surface of the plastic sheet coated with the adhesive. There is no need to apply an adhesive to the. Moreover, since the adhesive does not directly touch the table, the table is not contaminated with the adhesive. Also, after the sheet is suction-held on the table, the sheet can be half-cut and the material to be cut can be overcut without interfering with the table. Therefore, it is necessary to provide a groove on the table. There will be no more and the sharing will be possible.
【０００７】[0007]
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面にもとづい
て説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
【０００８】図１および図２は、本発明にかゝる精密切
断用治具を示したものである。両図において、１０は本
発明にかゝる精密切断用治具であり、被切断材Ｗを保持
するための粘着剤１１を表面にコーティングしたプラス
チック製シート１２とこのシート１２を吸引保持するテ
ーブル１３とから概略構成されている。テーブル１３
は、切断刃１４を備えた切断機の移動部（図示略）に装
着され、該移動部によってＸ−Ｘ´、Ｙ−Ｙ´およびＺ
−Ｚ´の直交３軸方向へ駆動されるようになっている。1 and 2 show a precision cutting jig according to the present invention. In both figures, 10 is a precision cutting jig according to the present invention, which is a plastic sheet 12 coated with an adhesive 11 for holding a material W to be cut, and a table for sucking and holding this sheet 12. It is composed of 13 and. Table 13
Is attached to a moving part (not shown) of a cutting machine equipped with a cutting blade 14, and the moving part moves X-X ', YY' and Z.
It is adapted to be driven in the directions of three orthogonal axes of -Z '.
【０００９】上記プラスチック製シート１２は、例えば
塩化ビニル樹脂から形成され、その厚さは１ｍｍ程度に
設定されている。また、このシート１２にコーティング
される粘着剤１１としては、切断方向への接着力に対し
て剥離方向への接着力が著しく小さい、いわゆる剥離性
に優れたものを選択するのが望ましく、こゝではアクリ
ル樹脂系のものを選択している。またこの粘着材１１の
厚さは３０μｍ程度に設定されている。The plastic sheet 12 is made of vinyl chloride resin, for example, and its thickness is set to about 1 mm. Further, as the adhesive 11 coated on the sheet 12, it is desirable to select a pressure-sensitive adhesive having an extremely small adhesive force in the peeling direction with respect to the adhesive force in the cutting direction, which is excellent in so-called peelability. Then, the acrylic resin type is selected. The thickness of the adhesive material 11 is set to about 30 μm.
【００１０】一方、テーブル１３は、シート１２を載置
するためのテーブル本体１５とこのテーブル本体１５上
にシート１２を密着させるための吸引保持機構１６とを
備えている。吸引保持機構１６は、テーブル本体１５に
穿設した複数の貫通孔１７とテーブル本体１５の裏面に
一体化され前記複数の貫通孔１７を連通するポート１８
を画成する蓋体１９と、前記ポート１８を負圧源（図示
略）に接続する配管２０とから成っている。On the other hand, the table 13 is provided with a table body 15 on which the sheet 12 is placed and a suction holding mechanism 16 for bringing the sheet 12 into close contact with the table body 15. The suction holding mechanism 16 is integrated with a plurality of through holes 17 formed in the table body 15 and a port 18 that is integrated with the back surface of the table body 15 and connects the plurality of through holes 17 to each other.
And a pipe 20 that connects the port 18 to a negative pressure source (not shown).
【００１１】本実施例においては、プラスチック製シー
ト１２として、予め粘着剤１１をコーティングしたコイ
ル状のものを用意し、別途、このコイル状のシートを巻
き戻す（引き出す）間に、この上に連続的に被切断材Ｗ
を載置固定し、続いてこのシートを被切断材Ｗに合わせ
て裁断し、その多数をストッカー（図示略）に収納して
切断機の近傍に搬入する。そして、切断に際しては、前
記ストッカーから取り出したシート１２の一枚を、例え
ば吸盤を利用したハンドリング装置（図示略）によりテ
ーブル１３上に載置し、その後、吸引保持機構１６を作
動させる。すると、図示を略す負圧源から配管２０およ
びポート１８を通じて貫通孔１７に負圧が供給され、シ
ート１２はテーブル本体１５に対して密着保持される。In the present embodiment, as the plastic sheet 12, a coil-shaped sheet coated with the adhesive 11 in advance is prepared, and while the coil-shaped sheet is separately rewound (pulled out), it is continuously formed thereon. Material to be cut W
Then, the sheet is cut and cut according to the material W to be cut, and a large number of them are stored in a stocker (not shown) and carried in the vicinity of the cutting machine. At the time of cutting, one sheet 12 taken out from the stocker is placed on the table 13 by a handling device (not shown) using, for example, a suction cup, and then the suction holding mechanism 16 is operated. Then, a negative pressure source (not shown) supplies negative pressure to the through hole 17 through the pipe 20 and the port 18, and the sheet 12 is held in close contact with the table body 15.
【００１２】その後、切断機の駆動部の作動により切断
刃１４に対してテーブル１３を位置決めし、続いて切断
刃１４とテーブル１３とをＹ−Ｙ´方向へ相対移動させ
る。この時、切断刃１４がシート１２をハーフカットす
るようにテーブル１３の高さを調整し、これにより被切
断材Ｗがオーバーカットされると同時に、シート１２が
ハーフカットされる。すなわち、テーブル１３に干渉す
ることなく被切断材Ｗをオーバーカットすることががで
きる。その後、テーブル１３をＸ−Ｘ´方向へ所定の距
離だけシフトして、前記同様に切断を繰返し、これにて
被切断材Ｗは所定大きさの小片に分断（ダイシング）さ
れる。しかして、この間、シート１２はハーフカットさ
れるだけであるので、テーブル本体１５の貫通孔１７が
外部に開放されることはなくなり、したがってテーブル
本体１５に対するシート１２の密着状態が維持され、安
定してダイシングを実行できる。After that, the table 13 is positioned with respect to the cutting blade 14 by the operation of the drive unit of the cutting machine, and then the cutting blade 14 and the table 13 are relatively moved in the YY 'direction. At this time, the cutting blade 14 adjusts the height of the table 13 so that the sheet 12 is half-cut, whereby the material W to be cut is overcut and the sheet 12 is half-cut. That is, the material W to be cut can be overcut without interfering with the table 13. After that, the table 13 is shifted in the XX ′ direction by a predetermined distance, and the cutting is repeated in the same manner as described above, whereby the material W to be cut is cut (diced) into small pieces of a predetermined size. Since the sheet 12 is only half-cut during this period, the through hole 17 of the table body 15 is not opened to the outside, and thus the close contact state of the sheet 12 with the table body 15 is maintained and stable. Dicing can be performed.
【００１３】切断終了後は、吸引保持機構１６の作動を
継続（負圧供給を継続）したまゝ被切断材Ｗをシート１
２から剥離し、その後、負圧供給を停止してシート１２
をテーブル１３から取り除けば一連の切断工程は終了す
る。本実施例においては、特に剥離性に優れた接着剤１
１を用いているので、前記切断材Ｗの剥離は簡単とな
る。なお、最初に負圧供給を停止して、テーブルから被
切断材Ｗごとシート１２を持上げ、その後、被切断材Ｗ
からシート１２を剥離するようにしても良いことはもち
ろんである。また上記実施例において、予めシート１２
上に被切断材Ｗを接着するようにしたが、これに代え
て、テーブル１３上でシート１２に直接被切断材Ｗを接
着するようにしても良いことはもちろんである。After the cutting is completed, the material W to be cut is kept in the sheet 1 while the operation of the suction holding mechanism 16 is continued (negative pressure supply is continued).
2 and then the negative pressure supply is stopped and the sheet 12
If is removed from the table 13, the series of cutting steps is completed. In this example, the adhesive 1 having particularly excellent releasability
Since 1 is used, peeling of the cutting material W is easy. Note that the negative pressure supply is first stopped, the sheet 12 is lifted together with the material W to be cut from the table, and then the material W to be cut is
It goes without saying that the sheet 12 may be peeled off. In addition, in the above embodiment, the sheet 12 is previously prepared.
Although the material W to be cut is adhered to the upper portion, of course, instead of this, the material W to be cut may be directly adhered to the sheet 12 on the table 13.
【００１４】[0014]
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
かゝる精密切断用治具によれば、被切断材ごとに粘着剤
を塗布する必要がないばかりか、テーブルが粘着剤で汚
染されることがないので、準備段階に要する時間を大幅
に短縮することが可能になり、生産性の向上に大きく寄
与するものとなる。またテーブルに干渉することなく被
切断材をオーバーカットすることができるので、テーブ
ルの共用が可能になり、切断寸法が頻繁に変わる生産ラ
インに適用して、生産性の著しい向上と切断コストの大
幅な低減とを達成できる。さらに、消耗品としてのプラ
スチック製シートは安価であるので、これによる切断コ
ストの増大はわずかであり、その利用価値は大なるもの
がある。As described in detail above, according to the precision cutting jig of the present invention, it is not necessary to apply an adhesive to each material to be cut, and the table is made of an adhesive. Since it is not contaminated, the time required for the preparatory step can be greatly shortened, which greatly contributes to the improvement of productivity. Also, since the material to be cut can be overcut without interfering with the table, it is possible to share the table, and it can be applied to a production line where cutting dimensions change frequently, significantly improving productivity and significantly cutting cost. Can be achieved. Further, since the plastic sheet as a consumable item is inexpensive, the increase in cutting cost due to this is slight, and its utility value is great.
【図１】本発明にかゝる精密切断用治具を一部断面とし
て示す正面図である。FIG. 1 is a front view showing, as a partial cross section, a precision cutting jig according to the present invention.
【図２】本精密切断用治具の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the precision cutting jig.
【図３】従来の精密切断用治具の正面図である。FIG. 3 is a front view of a conventional precision cutting jig.
11 接着剤 12 プラスチック製シート 13 テーブル 16 吸引保持機構 17 貫通孔 20 配管 11 Adhesive 12 Plastic sheet 13 Table 16 Suction and holding mechanism 17 Through hole 20 Piping
Claims (1)
をコーティングして成るプラスチック製シートと、該シ
ートを吸引保持するテーブルとを備えたことを特徴とす
る精密切断用治具。1. A jig for precision cutting, comprising: a plastic sheet having one surface coated with an adhesive for holding a material to be cut; and a table for sucking and holding the sheet.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6108793A JPH06246687A (en) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | Precision cutting jig |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6108793A JPH06246687A (en) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | Precision cutting jig |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06246687A true JPH06246687A (en) | 1994-09-06 |
Family
ID=13160971
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6108793A Pending JPH06246687A (en) | 1993-02-25 | 1993-02-25 | Precision cutting jig |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06246687A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10512817A (en) * | 1995-08-15 | 1998-12-08 | ダブリュ．エル．ゴア アンド アソシエイツ，インコーポレイティド | Machine and method utilizing vacuum to form and process material to specific dimensions |
| JP2018020866A (en) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 日東電工株式会社 | Peeling method |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02274496A (en) * | 1989-04-14 | 1990-11-08 | Toyo Electric Mfg Co Ltd | Suction holding device for automatic multilayer cutting machine |
| JPH0446798A (en) * | 1990-06-08 | 1992-02-17 | Bando Chem Ind Ltd | Method and device for cutting elastic sheet |
-
1993
- 1993-02-25 JP JP6108793A patent/JPH06246687A/en active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02274496A (en) * | 1989-04-14 | 1990-11-08 | Toyo Electric Mfg Co Ltd | Suction holding device for automatic multilayer cutting machine |
| JPH0446798A (en) * | 1990-06-08 | 1992-02-17 | Bando Chem Ind Ltd | Method and device for cutting elastic sheet |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10512817A (en) * | 1995-08-15 | 1998-12-08 | ダブリュ．エル．ゴア アンド アソシエイツ，インコーポレイティド | Machine and method utilizing vacuum to form and process material to specific dimensions |
| JP2018020866A (en) * | 2016-08-02 | 2018-02-08 | 日東電工株式会社 | Peeling method |
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