JPH06242302A - 反射防止膜の製造方法 - Google Patents
反射防止膜の製造方法Info
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- JPH06242302A JPH06242302A JP50A JP5290493A JPH06242302A JP H06242302 A JPH06242302 A JP H06242302A JP 50 A JP50 A JP 50A JP 5290493 A JP5290493 A JP 5290493A JP H06242302 A JPH06242302 A JP H06242302A
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Landscapes
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 反射防止膜の製造方法において、耐久性及び
耐熱性等の信頼性に優れた反射防止膜を得ること。 【構成】 光学媒体１の表面に、Ｔi Ｏ2 膜を一層以上
含む反射防止膜を形成した光学部品において、Ｔi Ｏ2
膜２又は３の屈折率が波長８５０nmより長い光に対して
２．４以上とした。
耐熱性等の信頼性に優れた反射防止膜を得ること。 【構成】 光学媒体１の表面に、Ｔi Ｏ2 膜を一層以上
含む反射防止膜を形成した光学部品において、Ｔi Ｏ2
膜２又は３の屈折率が波長８５０nmより長い光に対して
２．４以上とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、各種の光学部品に適用
でき、かつ耐久性，耐熱性，信頼性に優れた反射防止膜
の製造方法に関する。
でき、かつ耐久性，耐熱性，信頼性に優れた反射防止膜
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｔi Ｏ2 膜を含む反射防止膜を製
造する場合は、蒸着法が用いられる。
造する場合は、蒸着法が用いられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記蒸着法にてつくら
れる膜は非晶質であって機械的に弱いため接着剤硬化の
ための熱処理により剥離したり、又、屈折率が２．２程
度と低いためガラス接合などの高温熱処理により光学特
性が変化し、信頼性に欠けるという問題点があった。本
発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、耐久性及
び耐熱性等の信頼性に優れた反射防止膜の製造方法を提
供することを目的としている。
れる膜は非晶質であって機械的に弱いため接着剤硬化の
ための熱処理により剥離したり、又、屈折率が２．２程
度と低いためガラス接合などの高温熱処理により光学特
性が変化し、信頼性に欠けるという問題点があった。本
発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、耐久性及
び耐熱性等の信頼性に優れた反射防止膜の製造方法を提
供することを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の［請求項１］に
係る反射防止膜の製造方法は、光学媒体の表面に、Ｔi
Ｏ2 膜を一層以上含む反射防止膜を形成した光学部品に
おいて、Ｔi Ｏ2 膜の屈折率が波長８５０nmより長い光
に対して２．４以上とした。本発明の［請求項２］に係
る反射防止膜の製造方法は、Ｔi Ｏ2 膜をスパッタリン
グ方法により形成した。なお、スパッタリング方法によ
りＴi Ｏ2 膜を形成する理由は、機械的強度の大きい結
晶性の膜を得るためである。結晶性の膜なので５００℃
という高温を要するガラス接合によっても光学特性の変
質がない。又、屈折率が２．４以上と限定する理由は、
屈折率２．４より小さいと結晶性が不十分であるからで
ある（従来の蒸着法による膜は、非晶質であり、屈折率
が２．２程度と低く光学的変質があって信頼性が低かっ
た。）。更に反射防止膜の層数は、Ｔi Ｏ2 単層であっ
てもよいが、反射を無反射に近づけ、しかも反射防止に
有効な波長領域を広げるためには多層膜化が一般的で、
Ｔi Ｏ2 との組み合わせの例としては、Ｓi Ｏ2 ，Ａｌ
2 Ｏ3 ，Ｚr Ｏ2 などを用いることができる。
係る反射防止膜の製造方法は、光学媒体の表面に、Ｔi
Ｏ2 膜を一層以上含む反射防止膜を形成した光学部品に
おいて、Ｔi Ｏ2 膜の屈折率が波長８５０nmより長い光
に対して２．４以上とした。本発明の［請求項２］に係
る反射防止膜の製造方法は、Ｔi Ｏ2 膜をスパッタリン
グ方法により形成した。なお、スパッタリング方法によ
りＴi Ｏ2 膜を形成する理由は、機械的強度の大きい結
晶性の膜を得るためである。結晶性の膜なので５００℃
という高温を要するガラス接合によっても光学特性の変
質がない。又、屈折率が２．４以上と限定する理由は、
屈折率２．４より小さいと結晶性が不十分であるからで
ある（従来の蒸着法による膜は、非晶質であり、屈折率
が２．２程度と低く光学的変質があって信頼性が低かっ
た。）。更に反射防止膜の層数は、Ｔi Ｏ2 単層であっ
てもよいが、反射を無反射に近づけ、しかも反射防止に
有効な波長領域を広げるためには多層膜化が一般的で、
Ｔi Ｏ2 との組み合わせの例としては、Ｓi Ｏ2 ，Ａｌ
2 Ｏ3 ，Ｚr Ｏ2 などを用いることができる。
【０００５】
【実施例】以下図面を参照して実施例を説明する。図に
おいて、１は光学媒体を、２及び３は反射防止膜を示
す。表１に示した構成により、光学媒体の光の入射面と
透過面の両面にスパッタリング法により２層の反射防止
膜を形成した。
おいて、１は光学媒体を、２及び３は反射防止膜を示
す。表１に示した構成により、光学媒体の光の入射面と
透過面の両面にスパッタリング法により２層の反射防止
膜を形成した。
【表１】 表１に示されるように、３つの実施例について実施し
た。第１の実施例は光学媒体１の材質としてルチル単結
晶を用い、第１層２の材質（厚み）をＳi Ｏ2 （１５０
nm）とし、第２層３の材質（厚み）をＴi Ｏ2 （３０n
m）とした。以下、第２，第３の実施例は光学媒体を水
晶，サファイアとし、各層の材質（厚み）は表１の通り
とした。上記実施例にて得られた光学部品の特性を表２
に示す。
た。第１の実施例は光学媒体１の材質としてルチル単結
晶を用い、第１層２の材質（厚み）をＳi Ｏ2 （１５０
nm）とし、第２層３の材質（厚み）をＴi Ｏ2 （３０n
m）とした。以下、第２，第３の実施例は光学媒体を水
晶，サファイアとし、各層の材質（厚み）は表１の通り
とした。上記実施例にて得られた光学部品の特性を表２
に示す。
【表２】 表２に示されるように、屈折率はいずれも０．３％以下
と小さく、精密光学部品として要求されている特性を満
足するものであった。又、Ｔi Ｏ2 膜の屈折率は２．４
以上と大きく結晶性の膜であった。又、高温熱処理後で
も、光学的特性の変質は認められなかった。
と小さく、精密光学部品として要求されている特性を満
足するものであった。又、Ｔi Ｏ2 膜の屈折率は２．４
以上と大きく結晶性の膜であった。又、高温熱処理後で
も、光学的特性の変質は認められなかった。
【０００６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば光
学媒体の表面に、Ｔi Ｏ2 膜を一層以上含む反射防止膜
を形成した光学部品において、Ｔi Ｏ2 膜をスパッタリ
ング方法により形成したので、耐久性，耐熱性，信頼性
に優れた反射防止膜が得られた。
学媒体の表面に、Ｔi Ｏ2 膜を一層以上含む反射防止膜
を形成した光学部品において、Ｔi Ｏ2 膜をスパッタリ
ング方法により形成したので、耐久性，耐熱性，信頼性
に優れた反射防止膜が得られた。
【図１】本発明方法にてつくられた反射防止膜を有する
光学部品。
光学部品。
１ 光学媒体 ２，３ 反射防止膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 細川 忠利 埼玉県熊谷市大字三ケ尻5310番地 秩父セ メント株式会社ファインセラミックス本部 内
Claims (2)
- 【請求項１】 光学媒体の表面に、Ｔi Ｏ2 膜を一層以
上含む反射防止膜を形成した光学部品において、Ｔi Ｏ
2 膜の屈折率が波長８５０nmより長い光に対して２．４
以上であることを特徴とする反射防止膜の製造方法。 - 【請求項２】 Ｔi Ｏ2 膜をスパッタリング方法により
形成することを特徴とする請求項１記載の反射防止膜の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50A JPH06242302A (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | 反射防止膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50A JPH06242302A (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | 反射防止膜の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06242302A true JPH06242302A (ja) | 1994-09-02 |
Family
ID=12927835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50A Pending JPH06242302A (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | 反射防止膜の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06242302A (ja) |
-
1993
- 1993-02-18 JP JP50A patent/JPH06242302A/ja active Pending
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