JPH0623086U - Ｌｃｄパネル検査装置 - Google Patents

Ｌｃｄパネル検査装置

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JPH0623086U
JPH0623086U JP6073292U JP6073292U JPH0623086U JP H0623086 U JPH0623086 U JP H0623086U JP 6073292 U JP6073292 U JP 6073292U JP 6073292 U JP6073292 U JP 6073292U JP H0623086 U JPH0623086 U JP H0623086U
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JP
Japan
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lcd panel
analog circuit
image
converter
line ccd
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP6073292U
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English (en)
Inventor
博幸 青木
克巳 山下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
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Publication date
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Publication of JPH0623086U publication Critical patent/JPH0623086U/ja
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Liquid Crystal Display Device Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＬＣＤパネルの、時間変化する欠陥をも確実
に検出できる、高解像度のＬＣＤパネル検査装置を提供
する。 【構成】 ＬＣＤパネル１上の画像を光学系３を介して
取り込み、蓄積するＣＣＤとして３ラインＣＣＤ４が用
いられている。これら３ラインの画像信号は、アナログ
回路５1 、Ａ／Ｄ変換器６1 を経てデータメモリ７1 、
アナログ回路５2、Ａ／Ｄ変換器６2 を経てデータメモ
リ７2 、アナログ回路５3 、Ａ／Ｄ変換器６3 を経てデ
ータメモリ７3 にそれぞれ格納される。処理部８はデー
タメモリ７ 1 ，７2 、７3 に格納されているイメージデ
ータを処理してＬＣＤパネル１の欠陥を検出する。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は、ＬＣＤパネル上の画像を取込み、ＬＣＤパネルの欠陥を検出するＬ ＣＤパネル検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ＬＣＤパネルの検査にはラインＣＣＤとエリアＣＣＤが用いられている 。ここで、ラインＣＣＤとエリアＣＣＤの特性、価格等を比較すると、表１のよ うになる。
【０００３】
【表１】 したがって、高解像度が必要な場合にはラインＣＣＤが用いられ、それ以外の 場合はエリアＣＣＤが用いられる。
【０００４】 図２はラインＣＣＤを用いたＬＣＤパネル検査装置の構成図である。
【０００５】 検査対象であるＬＣＤパネル１はＸ−Ｙステージ２でまず、Ｙ方向の位置合わ せが行なわれた後、Ｘ方向に順次駆動される。ＬＣＤパネル１上のＹ方向のライ ンの画像信号は光学系３により１ラインＣＣＤ９上に結像され、記憶される。１ ＣＣＤ９に記憶された画像（イメージデータ）はアナログ回路５0 でサンプルホ ールドされ、増幅された後、Ａ／Ｄは変換器６0 でＡ／Ｄ変換され、データメモ リ７0 に格納される。処理部８0 は、データメモリ７0 に格納されているイメー ジデータのうちブラックマトリックスと呼ばれる不必要なデータを取り除いた後 、ラプラシアンフィルタ、メディアフィルタ等でフィルタリングし、その出力レ ベル（ｍＶ）をスレッショルドレベルと比較して、欠陥の有無を検出する。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】
上述した従来の１ラインＣＣＤを用いたＬＣＤパネル検査装置では、ＬＣＤパ ネルの駆動条件によるライン反転、フィールド反転等が原因でフリッカが起った 場合、欠陥が出たり消えたりしてＬＣＤパネルの欠陥を１００％検出できないと いう欠陥があった。
【０００７】 本考案の目的は、ＬＣＤパネルの時間変化する欠陥をも確実に検出できる高解 像のＬＣＤパネル検査装置を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本考案のＬＣＤパネル検査装置は、 ＬＣＤパネルをＸ方向および、これと直角なＹ方向に移動させるＸＹステージ と、 複数の画素列からなり、画素列の方向が前記Ｙ方向と一致し前記ＬＣＤパネル と対面する複数ラインＣＣＤと、 前記ＬＣＤパネルと前記複数ラインＣＣＤの間に設けられ、前記ＬＣＤパネル 上の画像を前記複数ラインＣＣＤに結像する光学系と、 前記複数ラインＣＣＤの各画素列に対応して設けられ、当該画像列から出力さ れた画像信号を増幅等するアナログ回路と、 前記各アナログ回路に対応して設けられ、当該アナログ回路の出力信号をアナ ログ／ディジタル変換するＡ／Ｄ変換器と、 前記各Ａ／Ｄ変換器に対応して設けられ、当該Ａ／Ｄ変換器の出力信号が格納 されるデータメモリと、 前記メモリに格納されているデータを処理して、前記ＬＣＤパネルの欠陥部分 を検出する処理部とを有する。
【０００９】
【作用】
複数のラインのラインＣＣＤを用いるので、従来、フリッカ等により出たり消 えたりしていた欠陥も確実に検出でき、高解像度を実現できる。
【００１０】
【実施例】
次に、本考案の実施例について図面を参照して説明する。
【００１１】 図１は本考案の一実施例のＬＣＤパネル検査装置の構成図である。
【００１２】 本実施例は、図２の従来装置における１ラインＣＣＤ９の代りに３ラインＣＣ Ｄ４を用いたものである。そして各ライン毎にアナログ回路５1 、Ａ／Ｄ変換器 ６1 、データメモリ７1 と、アナログ回路５2 、Ａ／Ｄ変換器６2 、データメモ リ７2 と、アナログ回路５3 、Ａ／Ｄ変換器６3 、データメモリ７3 が設けられ ている。処理部８はデータメモリ７1 ，７2 ，７3 に格納されているイメージデ ータを処理して、ＬＣＤパネルの欠陥部分を検出する。具体的には、図２の従来 例と同様に、データメモリ７1 ，７2 ，７3 に格納されているイメージデータの うちブラックマトリックスと呼ばれる不必要なデータを取り除いた後、ラプラシ アンフィルタ、メディアフィルタ等でフィルタリングし、その出力レベル（ｍＶ ）をスレッショルドレベルと比較して、欠陥の有無を検出するか、ＬＣＤパネル １の同一場所の３つのデータを比較し（差分をとって）、論理演算により欠陥の 有無を検出する。
【００１３】 なお、ＬＣＤカラーパネル１がカラーの場合にはＲＧＢリニアＣＣＤを用いカ ラー分離するか、または、そのため対応するカラー（Ｒ，Ｇ，Ｂ）のカラーフィ ルタをＬＣＤパネル１または３ラインＣＣＤの前に設置することになる。また、 ＬＣＤパネル１のスキャン速度（Ｘ方向移動速度）は欠陥の時間的周期に対応さ せる。また、ラインＣＣＤのライン（画素列）の数は３本に限らず、複数本であ ればよい。
【００１４】
【考案の効果】
以上説明したように本考案は、複数のラインからなるラインＣＣＤを用いるこ とにより、従来、フリッカ等により出たり消えたりしていた欠陥を確実に検出で き、高解像度を実現できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の一実施例のＬＣＤパネル検査装置の構
成図である。
【図２】ＬＣＤパネル検査装置の従来例の構成図であ
る。
【符号の説明】
１ ＬＣＤパネル ２ Ｘ−Ｙステージ ３ 光学系 ４ ３ラインＣＣＤ ５0 ，５1 ，５2 、５3 アナログ回路 ６0 ，６1 ，６2 、６3 Ａ／Ｄ変換器 ７0 ，７1 ，７2 、７3 データメモリ ８0 ，８ 処理部 ９ １ラインＣＣＤ

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ＬＣＤパネルをＸ方向および、これと直
    角なＹ方向に移動させるＸＹステージと、 複数の画素列からなり、画素列の方向が前記Ｙ方向と一
    致し前記ＬＣＤパネルと対面する複数ラインＣＣＤと、 前記ＬＣＤパネルと前記複数ラインＣＣＤの間に設けら
    れ、前記ＬＣＤパネル上の画像を前記複数ラインＣＣＤ
    に結像する光学系と、 前記複数ラインＣＣＤの各画素列に対応して設けられ、
    当該画像列から出力された画像信号を増幅等するアナロ
    グ回路と、 前記各アナログ回路に対応して設けられ、当該アナログ
    回路の出力信号をアナログ／ディジタル変換するＡ／Ｄ
    変換器と、 前記各Ａ／Ｄ変換器に対応して設けられ、当該Ａ／Ｄ変
    換器の出力信号が格納されるデータメモリと、 前記メモリに格納されているデータを処理して、前記Ｌ
    ＣＤパネルの欠陥部分を検出する処理部とを有するＬＣ
    Ｄパネル検査装置。
JP6073292U 1992-08-28 1992-08-28 Ｌｃｄパネル検査装置 Withdrawn JPH0623086U (ja)

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JPH0623086U true JPH0623086U (ja) 1994-03-25

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003246422A (ja) * 2002-02-22 2003-09-02 Fujitsu Ltd 破損検出方法および破損検出プログラム

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Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 19961107