JPH06226507A - ワークに筒状面を形成させる切削加工装置 - Google Patents

ワークに筒状面を形成させる切削加工装置

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JPH06226507A
JPH06226507A JP41717590A JP41717590A JPH06226507A JP H06226507 A JPH06226507 A JP H06226507A JP 41717590 A JP41717590 A JP 41717590A JP 41717590 A JP41717590 A JP 41717590A JP H06226507 A JPH06226507 A JP H06226507A
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    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23B29/00Holders for non-rotary cutting tools; Boring bars or boring heads; Accessories for tool holders
    • B23B29/03Boring heads
    • B23B29/034Boring heads with tools moving radially, e.g. for making chamfers or undercuttings
    • B23B29/03432Boring heads with tools moving radially, e.g. for making chamfers or undercuttings radially adjustable during manufacturing
    • B23B29/03457Boring heads with tools moving radially, e.g. for making chamfers or undercuttings radially adjustable during manufacturing by pivoting the tool carriers or by elastic deformation

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  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 軸方向および周方向に所望の正確な円筒加工
面を形成させるように、切削バイトの位置調整を可能に
すること。 【構成】 切削バイト12を取り付けたバイトホルダー
4と、それを連結する支持手段6との間に、バイトホル
ダー4を傾けるための傾斜角調整手段を設ける。切削バ
イト12の送り量と回転角度とを検出するストローク・
回転角検出手段56からの信号によって、常時加圧流体
が供給される圧力調節手段20で所望する制御圧力PS
Tを発生させる。それを傾斜角調整手段に作用させて、
切削バイト12を数μm単位で変位させる。これによ
り、ワーク16に形成される筒状の孔18や回転体の外
面を、精密に切削することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークに筒状面を形成
させる切削加工装置に係り、詳しくは、切削バイトによ
って、ケーシングもしくはこれに類似するワークの例え
ば内部に、軸受などのための円筒状の孔を形成する切削
加工装置であって、その切削バイトを取り付けたバイト
ホルダーとそのバイトホルダーを連結する支持手段との
間に、バイトホルダーを傾けるための傾斜角調整手段を
介在させ、その傾斜角調整手段が流体圧回路で発生され
た流体圧力に追従して作動するようになっている切削加
工作業装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えばケーシングもしくはそれに類似の
加工対象物(ワーク)の中に、軸受を取り付けるための
実質的に円筒形した孔を切削する作業に使用される装置
は、例えば西ドイツ公開特許公報第3726276号に
記載されている。その装置は、回転可能でかつ半径方向
に調整可能なツールヘッドに取り付けられる切削工具を
正確に位置調整することができるようになっている。こ
のような装置では、高い寸法精度を確保するために、工
具修正システムが採用される。その修正システムによれ
ば、切削中の工具の送りを数μmの範囲で修正すること
ができる。西ドイツ特許明細書第1602962号にも
同様の装置が記載され、そのような装置はすでに公知と
なっているが、その装置は、システム上の加工誤差を抑
制するための機能をも備えている。上記の装置において
は、ワークに対するツールの送り方向の位置が表示さ
れ、それに応じて調整装置を制御する圧力供給装置の出
口圧力が変更されるようになっている。したがって、こ
の装置によれば、作業機械もしくは工作機械のシステム
的なミスによって起こる加工誤差を減少させることがで
きる。予め設定された寸法とのずれは、誤差の大きさに
比例した空気圧力によって対応されるようになっている
が、そのためには、圧縮空気による補助エネルギが必要
となる。なお、送り経路とそれに直角な方向の切削工具
の送り量との関係が直線的である場合には、スプリング
もしくはスケールが使用され、直線的でない場合には、
圧縮空気を用いた測定ノズルでもって走査(スキャニン
グ)され、その測定ノズルにより計測するためのガイド
装置が使用される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記した公知の装置は
かなり高価なものとなるが、許容差を20μmないし3
0μm以下に抑えることができる。すなわち、例えば約
1mm口径のノズルを備える測定ノズル体を用いると、
所望する寸法と加工寸法との誤差を、その測定ノズル体
の張出し長さと加工孔径との差でもって検出することが
できる。しかし、公知のシステムでは、加工誤差を迅速
に検出して、それを適切な修正圧力に変換することがで
きない難点がある。最近、油圧制御調整システムを有す
る切削装置にも、高い加工精度が要求されるようになっ
てきている。したがって、加工孔の許容誤差を数μmに
抑えるようにすることは珍しいことでなく、さらに、新
しい切削材料例えば超硬合金または重合結晶ダイヤモン
ドなどの使用が増大していることから、より一層高度な
切削精度もしくは加工速度が要求されるようになってき
ている。こうした事情から、ワークに円筒孔を形成する
際に、軸方向および周方向の寸法をμm単位の精度で仕
上げることができる精密加工装置が必要となってきてい
る。このようにして製作される精密な加工面は、機械的
応力または熱的応力などが例えば非対称的に作用する高
負荷の滑り軸受の取付面、一例を挙げれば、内燃機関の
ピストンピン孔などにおいて要求される。西ドイツ公開
特許公報第3,245,053号には、このような数値
的に正確な円筒孔をあける場合に、その軸方向および周
方向に誤差が生じないようにする手段が記載され、すで
に公知となっている。もちろん、この場合、切削工具の
位置を変更するために、相当量のエネルギが必要とされ
る。ある例では、工具保持器を磁気歪み特性の異なる二
種の材料で製作し、周波数発振器に接続された電気コイ
ルを介して工具保持器を曲げるようにしている。この場
合には、応答に時間を要する問題がある。また他の例で
は、詳しく説明しないが、チャックに掴まれたバイトホ
ルダーに不均一な質量をもたせ、それを流体軸受に軸支
させている。バイトホルダーの周囲に均等に配置した流
入開口を設け、これを介して種々の圧力レベルの流体が
供給されるようにしている。しかし、この場合、制御対
象となる質量が比較的大きいことから、費用をかけて種
々の改善を加えなければ、十分な応答性が得られないと
いう欠点がある。本発明は上記の問題に鑑みなされたも
ので、その目的は、軸方向および周方向に数値的に正確
な円筒形から極めて僅かしかずれない円筒状の孔や回転
体の外面をワークに形成するとき、数μmの製作誤差で
もって加工することができる切削加工装置を提供するこ
とである。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は、切削バイト保
持手段により保持された切削バイトによって、ワークに
筒状面を形成する切削加工装置にあって、その切削バイ
トを取り付けたバイトホルダーとそのバイトホルダーを
連結する支持手段との間に、そのバイトホルダーと支持
手段との相対角度を生じさせる傾斜角調整手段が介在さ
れ、その傾斜角調整手段が、流体圧回路で発生された流
体圧力に追従して作動するようになっている切削加工作
業装置に適用される。その特徴とするところは、図1を
参照して、流体圧回路30に、その流体源32から常時
加圧された流体が供給される圧力調節手段20が接続さ
れる。一方、切削バイト12の送り量と回転角度とを検
出するストローク・回転角検出手段56が設置される。
そして、このストローク・回転角検出手段56からの検
出信号に基づいて、上記した傾斜角調整手段に供給され
る流体を、圧力調節手段20によって所望の制御圧力に
変化させるようにしたことである。上記のストローク・
回転角検出手段56から、検出された切削バイト12の
送り量および回転角度をデジタル信号として出力させる
場合には、圧力調節手段20の出口における制御圧力P
STを、そのストローク・回転角検出手段56の出力信
号をもとにして制御するシステムコントローラ50を備
えておくとよい。また、ストローク・回転角検出手段5
6における検出信号を、システムコントローラ50にお
けるコンピュータ手段52に予め記憶された設定値と比
較し、もくしは、直前に製作されたワーク16における
検出寸法値と比較することによって得られる差分値をも
とにして、制御圧力PSTを発生させるようにすること
ができる。上記した圧力調節手段20の出口における制
御圧力PSTの信号を、システムコントローラ50へフ
ィードバックして、これによって圧力調節手段20の圧
力発生動作を制御するようにしておく。圧力調節手段と
して、図5に示した可変絞りとして機能する溢流式弁機
構320を採用し、流体圧回路30(図1参照)からの
加圧流体を上流側に配置された固定絞り350を介して
溢流式弁機構320へ供給し、この溢流式弁機構320
のプランジャー330の位置によって生じる制御圧力P
STを、ストローク・回転角検出手段56(図1参照)
の出力信号に応じて制御することもできる。上記の溢流
式弁機構320の出口圧力を、電気的に制御されるプラ
ンジャー330の変位によって発生させるようにしてお
く。上記した圧力調節手段置20,320や図3の12
0さらには図4の220などの出口圧力の信号を、図1
に示したシステムコントローラ50におけるD/A変換
器74,増幅器76およびA/D変換器78からなる信
号処理手段54へフィードバックさせることができる。
圧力調節手段20,120,220,320の出口圧力
を、A/D変換器82を介してシステムコントローラ5
0におけるコンピュータ手段52へフィードバックさせ
てもよい。切削バイト保持手段2に、図7に示す回転駆
動される基部体110と、その基部体110と共に回転
し切削バイト12を半径方向へ変位させる変位取出体1
11とからなる傾斜角調整手段Bk1を有するようにし
ておくことができる。その傾斜角調整手段Bk1を、厚
板部114とこの厚板部114に弾性的に接続された薄
板部113とからなる基部体110と、その基部体11
0との間に液封状態となった流体室8を形成して傾動す
ることができる変位取出体111とを有する圧力モータ
DM1によって構成し、その変位取出体111にバイト
ホルダー4が直交して強固に接続され、傾動された変位
取出体111の端縁変位量が切削バイト12の半径方向
変位よりも小さくなるように、その変位取出体111の
長さをバイトホルダー4の長さよりも短く設定しておく
とよい。上記の圧力モータDM1の流体室8を僅かな容
積としておき、その流体室8の容積よりも少ない量の加
圧流体の給排でもって、傾斜角調整手段Bk1を作動さ
せ、変位取出体111を傾動させることができるように
している。変位取出体111をそれ自体変形しない円盤
形状としおき、かつ、バイトホルダー4の中心線117
からずれた位置にある偏心軸115(図8参照)を支点
にして傾動可能にし、弾性変形すると共に耐圧壁として
機能する薄板部113を介して、この変位取出体111
を厚板部114と液密的に強固に接続しておく。上記の
偏心軸115を、バイトホルダー4の中心線117から
偏心した位置において、薄板部113と厚板部114と
の間に確保された不等幅な非対称リング凹部112によ
って形成した偏心円形部としておくとよい。
【0005】
【作用】切削バイト12を取り付けたバイトホルダー4
が回転され、また、円筒状の孔18をあけるために送り
がかけられると、ストローク・回転角検出手段56が、
ワーク16と切削バイト保持手段2との相対的位置、す
なわち、切削バイト12の送り量とそのときの回転角度
を逐一検出する。一方、圧力調節手段20へは流体圧回
路30の流体源32から常時加圧流体が供給されおり、
その圧力調節手段20では、その出口圧力がストローク
・回転角検出手段56により検出された切削バイト12
の送り量とそのときの回転角度に基づき、所望の加工寸
法を得るための制御圧力PSTが発生される。この制御
圧力PSTが傾斜角調整手段に作用すると、切削バイト
12を保持するバイトホルダー4とそのバイトホルダー
4を弾性的に連結して支持する支持手段6との間に相対
的な角度変化が生じる。バイトホルダー4が支持手段6
に対して傾斜すれば、切削バイト12は半径方向へ変位
する。そのバイトホルダー4の角度変化は僅かであるの
で、切削バイト12は数μmの範囲で変位する。すなわ
ち、切削バイト12が1μmないし2μm程度変位する
ような調整が、制御圧力PSTによって実現される。こ
の場合、加工精度はストローク・回転角検出手段56の
動作感度によって決まるが、制御圧力PSTは僅かな時
間でもって発生される。このようにして圧力調節手段2
0で発生される制御圧力PSTが僅かなエネルギで実現
され、したがって、その制御圧力を発生させる応答性は
著しく向上する。例えば切削される孔の径が軸方向に変
化しない場合のみならず、孔の断面形状が軸方向に変化
するような場合でも、高い精度で容易に穿孔することが
できる。ストローク・回転角検出手段56で検出された
切削バイト12のストローク量および回転角度がデジタ
ル信号として出力され、その出力信号をもとに、システ
ムコントローラ50が、圧力調節手段20に所望の制御
圧力PSTを発生させるように指令信号を出力する。こ
のようなディジタル信号をもってすれば、ストローク・
回転角検出手段56での検出精度が高くなり、また、優
れた分解能でもって演算された指令に基づき、制御圧力
PSTが発生される。したがって、加工面が軸方向に直
線的な円筒状の孔18である場合でも、また、孔の断面
形状が例えば500μm以下の範囲で変化するような孔
の場合でも、さらには回転体の外面が直線的もしくは5
00μm以下の範囲で半径方向に変化する形状の場合で
も、1μmないし2μm以下の誤差で切削することがで
きる。ストローク・回転角検出手段56における検出信
号は、システムコントローラ50におけるコンピュータ
手段52に予め記憶させた設定値と比較され、その差分
値をもとにして、圧力調節手段20が所望の制御圧力P
STを迅速に発生させる。したがって、切削バイト12
を保持するバイトホルダー4とそのバイトホルダー4を
弾性的に連結する支持手段6との間に、相対的な角度変
化を生じさせる傾斜角調整手段における動作の遅れが著
しく短縮される。また、ストローク・回転角検出手段5
6における検出信号を、直前に製作されたワークにおけ
る検出寸法値と比較することによって得られる差分値を
もとに、制御圧力PSTを発生させることもできる。こ
の場合も、傾斜角調整手段の動作応答が優れたものとな
る。すなわち、コンピュータ手段52の制御は、すでに
検出されている誤差信号をもとに迅速な修正動作を行
い、短い時間で制御圧力PSTを修正する。このような
修正システムを備えておけば、システム自体の誤動作や
プログラム上のミスをチェックすることもできる。圧力
調節手段20の出口における制御圧力PSTを検出し、
それをシステムコントローラ50へフィードバックする
と、圧力調節手段20で発生する制御圧力PSTは、よ
り精度の高い所望する圧力となる。圧力調節手段を溢流
式弁機構320としておき、流体圧回路30からの加圧
流体を上流側に配置された固定絞り350を介して溢流
式弁機構320へ供給するようにすれば、溢流式弁機構
320のプランジャー330の位置によって生じる制御
圧力PSTを、可及的に少ない信号処理でもって、スト
ローク・回転角検出手段56の出力信号に応じたものに
制御することができる。溢流式弁機構320の出口圧力
が、電気的に制御されるプランジャー330の変位によ
って発生される場合には、制御圧力PSTを十分に高い
応答性でもって発生させることができる。信号処理手段
54が、D/A変換器74,増幅器76およびA/D変
換器78からなっており、圧力調節手段20の出口圧力
信号がその信号処理手段54へフィードバックされる
と、所望する制御圧力PSTをより確実に短時間で発生
させることができる。圧力調節手段20の出口圧力を、
A/D変換器82を介してシステムコントローラ50の
コンピュータ手段52へフィードバックさせれば、発生
した出口圧力をシステムコントローラ50によって直ち
に所望する制御圧力PSTに修正することができる。切
削バイト保持手段2に、回転駆動される基部体110
と、その基部体110と共に回転し切削バイト12を半
径方向へ変位させる変位取出体111とからなる傾斜角
調整手段を形成させておくと、この切削バイト保持手段
2を工作機械の支持体に載せたり、スピンドル131
(図1参照)に装着して、回転駆動することができる。
傾斜角調整手段Bk1を、厚板部114とこの厚板部1
14に弾性的に接続された薄板部113とからなる基部
体110と、その基部体110との間に液封状態となっ
た流体室8を形成して傾動することができる変位取出体
111とを有する圧力モータDM1によって構成し、そ
の変位取出体111にバイトホルダー4が直交して強固
に接続され、傾動された変位取出体111の端縁変位量
が切削バイト12の半径方向変位よりも小さくなるよう
に、その変位取出体111の長さがバイトホルダー4の
長さよりも短く設定されているので、変位取出体111
の傾動量が極めて僅かであっても、バイトホルダー4の
先端に装着された切削バイト12に半径方向の所望する
量の変位を与えることができる。圧力モータDM1の流
体室8は僅かな容積であり、その流体室8の容積よりも
少ない量の加圧流体の給排でもって傾斜角調整手段Bk
1を作動させるようにしているので、圧力調節手段20
からの所定の制御圧力PSTが作用したとき、その制御
圧力に対応して傾動する変位取出体111は、実質的に
ヒステリシスを起こすことなく追従する極めて良好な応
答性を発揮する。その制御圧力PSTを発生させるため
に大きなエネルギも必要とされず、また、応答特性が向
上し、加工面の断面寸法が軸方向に変化する場合でも、
その加工を行うことができるようになる。上記の変位取
出体111はそれ自体変形しない円盤形状であり、か
つ、バイトホルダー4の中心線117からずれた位置に
ある偏心軸115を支点にして傾動可能となっている。
そして、この変位取出体111が、弾性変形すると共に
耐圧壁として機能する薄板部113を介して厚板部11
4と液密的に強固に接続されているので、傾斜角調整手
段Bk1の固有振動数が高く維持される。それ故に、供
給される加圧流体の制御圧力の振動数よりも大きくな
り、バイトホルダー4の共振が回避され、切削加工精度
が一段と向上する。上記した偏心軸115が、バイトホ
ルダー4の中心線117から偏心した位置で、薄板部1
13と厚板部114との間に確保された不等幅な非対称
リング凹部112によって形成される偏心円形部で構成
されていることから、流体室8に所定の制御圧力が作用
したとき、薄板部113の幅広側での変形が容易とな
り、切削バイト12の確実な半径方向の変位を、剛性の
高い切削バイト保持手段2においても実現することがで
きる。
【0006】
【発明の効果】本発明によれば、ワークと切削バイト保
持手段との相対位置が、ストローク・回転角検出手段の
検出信号をもとにした圧力調節手段の出口における制御
圧力によって調整される。この出口圧力は傾斜角調整手
段に作用して、ワークもしくは切削バイトの回転中にμ
m単位の制御された送りを十分な応答性をもって実現す
ることができる。この場合、加工精度はストローク・回
転角検出手段の作動精度によって決定されるが、圧力調
節手段へは流体圧回路から加圧流体が常時供給されてお
り、圧力調節手段は極めて僅かな遅れでもってストロー
ク・回転角検出手段の出力信号に追従した制御圧力を発
生させることができる。これにより、筒状加工面の直径
が小さい場合でも、重合結晶ダイヤモンドなどの高価な
切削材料を経済的に使用できる切削速度を得ることがで
きる。圧力調節手段の制御には、大きいエネルギが必要
とされず、その意味でも、傾斜角調整手段における応答
特性を向上させることができる。もちろん、加工面の断
面寸法が軸方向に変化するような場合でも、その孔加工
が容易となる。請求項2によれば、加工精度がさらに向
上する。これは、ディジタル信号を出力するストローク
・回転角検出手段が、高い検出精度を有するだけでな
く、大きい分解能をも備えるからである。したがって、
軸方向に変化しない円筒内面または円筒外面もしくは半
径方向の寸法が例えば500μmを越えない範囲で変化
する凹み孔または回転体の外面などを、1μmないし2
μm以下の誤差でもって切削することができる。請求項
3の形態によれば、ストローク・回転角検出手段による
検出と、これに対応する圧力調節手段による制御圧力の
発生との間の時間的遅れが著しく短縮される。この場
合、検出された誤差修正信号によりシステムコントロー
ラのプログラムが自動的かつ適切に修正され、また、そ
れを知らせることができる。したがって、システムミス
をチェックすることもできるようになる。請求項4によ
れば、圧力調節手段の出力信号をフィードバックするこ
とによって、圧力調節手段で発生される制御圧力値の精
度が向上される。請求項5および請求項6においては、
圧力調節手段の異なる構成を実現することができる。圧
力調節手段が直接的な電気制御で作動し、特に、溢流式
弁機構の構造によれば、可能な限り少ない信号変換器を
介して、ストローク・回転角検出手段の出力信号に基づ
く制御圧力を発生させることができ、それでもって十分
な応答性を得ることができる。請求項7および請求項8
によるいま一つの例では、信号の流れに関して、圧力調
節手段における選択された箇所から、システムコントロ
ーラへフィードバックすることができる。これは、制御
圧力をアナログ的にフィードバックする場合よりも、そ
の制御精度が向上する。請求項9のように、回転駆動さ
れる基部体とその基部体と共に回転する変位取出体とか
らなる傾斜角調整手段を切削バイト保持手段に設けてお
くと、その切削バイト保持手段を工作機械の支持体に搭
載したり、スピンドルに装着するなどして、回転駆動さ
せることができる。請求項10より請求項13までの傾
斜角調整手段によれば、切削バイトを制御圧力に応じて
実質的にヒステリシスなしで追従動作させることができ
る。この場合、傾斜角調整手段の固有振動数は明らかに
供給される制御圧力の振動数よりも大きく、共振が抑制
されて正確な切削作動が実現される。
【0007】
【実施例】以下に、幾つかの実施例が示された略図をも
とにして、本発明を詳細に説明する。図1は、ワークに
筒状面を形成させる切削加工装置ならびにその切削中の
制御信号の流れを示す概略原理図である。図中の2は切
削バイト保持手段であり、これは、孔をあけるための切
削バイト12を取り付けたバイトホルダー4を備え、こ
のバイトホルダー4が、詳細には図示していない平行弾
性継手機構を介して支持手段6に連結されている。その
ために、切削バイト保持手段2のケーシングには、流体
室8を形成した後述する傾斜角調整手段が、平行弾性継
手機構として内蔵されている。その傾斜角調整手段の流
体室8は、流体通路10を介して供給される加圧流体に
よって圧力制御される。したがって、バイトホルダー4
が傾けられ、制御された圧力によって、切削バイト12
を半径方向へ例えば約500μmまで変位させることが
できる。なお、傾斜角調整手段の構造は、西ドイツ特許
明細書第2,228,553号に示されているので、こ
こでは詳細に述べないが、それに代わるものが後述する
図7に記載されている。14は主軸であり、矢印X方向
へ送りをかけるとき、図示しない駆動手段によって移動
される。16は加工するためのワークであり、円筒状の
孔18が精密加工によりあけられるものである。その円
筒状の孔18には、数値上正確な所望形状から外れた寸
法的なずれが、その軸方向や周方向に生じる。軸方向の
ずれは図1に、また、周方向のずれは図2に示されるよ
うなものとなる。これらのずれは約500μmまで起こ
ることがあるが、その円筒状の孔18を形成するうえで
の許容誤差を僅か数μmに抑える必要がある。図2にお
いて一点鎖線が正確な寸法の円であり、実線はあけられ
た円筒状の孔18を誇張して示している。その円筒状の
孔18を正確な寸法にあけるため、以下に説明するシス
テムが、上記した傾斜角調整手段の制御に使用される。
制御圧力PSTを有する加圧流体が、ロータリジョイン
ト19および流体通路10を介して、支持手段6に供給
されるようになっている。その制御圧力PSTは、常時
加圧流体を供給する流体圧回路30に接続された圧力調
節手段20によって発生される。その流体圧回路30は
流体源32としてのポンプを備え、その流体源32が逆
止弁34を経てポンプ導管36へ加圧流体を供給する。
流体源32の直後にはアキュムレータ38が設けられ、
ポンプ導管36における圧力の脈動が抑制される。な
お、流体源32からの加圧流体の圧力を調整する圧力制
御弁40が、タンク44への戻り導管42との間に接続
されている。上記の圧力調節手段20は電気的に制御さ
れる多方向圧力弁であり、ソレノイド22に印加される
電流値の大小によって、制御圧力導管21に与える制御
圧力PSTを調整するものである。なお、その電気信号
は、次に述べるシステムコントローラ50からの出力信
号であって、信号線58を介して伝達される。システム
コントローラ50は、コンピュータ手段52,信号処理
手段54,ストローク・回転角検出手段56を有し、上
記した信号線58で伝達される出力信号は、次のように
して発生される。ワーク16に対する切削バイト12の
送り方向Xと周方向Θ(図2参照)の相対位置は、主軸
14の外面に付設された直線状のガラススケール62を
介して、および、支持手段6の外面に突設されたディス
ク64を介して検出するストローク・回転角検出手段5
6によって常時検出される。ディスク64の主軸14に
対する回転角度は、主軸14の内面に略図的に示した写
真走査手段66によって読み取られる。そして、切削バ
イト12の送り量と回転角度の検出信号は、A/D変換
器68,70を介してデジタル信号化され、多数のキー
ボードおよび画面を備えるコンピュータ手段52に入力
されるようになっている。上記のコンピュータ手段52
では、キーボードを用いて種々のデータが入力される
が、それによって記憶部に入力された設定寸法値と切削
バイト12との位置や角度のずれは、バイトホルダー4
の送り量および位相の相違すなわち回転角度とを比較す
ることにより求められる。そのずれを調整するための信
号が出力されると、バイトホルダー4が後述するように
して傾動され、上記のずれが修正されるようになってい
る。コンピュータ手段52の出力信号は、直列に接続さ
れたD/A変換器74,増幅器76および加減算器78
を有する信号処理手段54へ入力される。D/A変換器
74はコンピュータ手段52からのデジタル信号を印加
電流に変換し、圧力調節手段20のソレノイド22にお
ける励磁度が、ストローク・回転角検出手段56からの
検出信号に基づいて決定されることになる。制御圧力P
STは、制御圧力導管21に連なる分岐導管80に接続
されたA/D変換器82から信号処理手段54へフィー
ドバックされる。それによって形成される閉回路によ
り、圧力調節手段20が所望する制御圧力PSTを確実
により短時間で発生させることができる。なお、その閉
回路から分岐された導線84がコンピュータ手段52に
接続され、その導線84を介した圧力信号が、コンピュ
ータ手段52における修正動作のためのディジタル信号
としても入力される。同時に、圧力調節手段20の誤動
作を防止するために、ソレノイド22の動作を検出する
制御センサー86も設けられる。この制御センサー86
の出力信号は導線88を介して加減算器78にフィード
バックされ、それによって、圧力調節手段20のスプー
ルの動きもしくはバルブ切換位置などが調整される。
【0008】上記の説明より明らかなように、図1の原
理的回路において、ストローク・回転角検出手段56の
各出力信号に応じた制御圧力PSTが発生される。ま
ず、コンピュータ手段52からの送りおよび回転指令信
号Yを受けて主軸14が回転駆動され、切削バイト12
を取り付けたバイトホルダー4が回転され、かつ、送り
がかけられる。ストローク・回転角検出手段56が、ワ
ーク16と切削バイト保持手段2との相対的位置、すな
わち、切削バイト12の送り量とそのときの回転角度を
逐一検出する。この検出信号は、コンピュータ手段52
に予め記憶した設定値と比較され、その差分値をもとに
して、圧力調節手段20のソレノイド22の励磁度が決
定される。一方、圧力調節手段20へは流体圧回路30
の流体源32から常時加圧流体が供給されており、その
圧力調節手段20では、ソレノイド22の励磁度に応じ
て弁開度を調整し、所望の加工寸法を得ることができる
制御圧力PSTが発生される。この制御圧力PSTは、
ロータリジョイント19を介して、切削バイト保持手段
2における傾斜角調整手段に作用し、切削バイト12を
保持するバイトホルダー4とそのバイトホルダー4を連
結している支持手段6との間に相対的な角度変化を生じ
させる。バイトホルダー4が支持手段6に対して傾けら
れるので、切削バイト12が所望する半径方向へ変位す
る。そのバイトホルダー4の傾き角度は僅かであるか
ら、切削バイト12は数μmの範囲で変位する。すなわ
ち、切削バイト12が1μmないし2μm程度に変位す
るような調整が、制御圧力PSTによって実現される。
加工精度はストローク・回転角検出手段56の動作感度
によって決まるが、その制御圧力PSTは極めて僅かな
時間で発生される。後述するが、傾斜角調整手段の流体
室8は僅かな容積とされていることから、流体室8内の
流体が流体圧回路30ならびに圧力調節手段20によっ
て圧力変化を敏感に受けることができ、その傾斜角調整
手段の優れた応答性が発揮される。このようにして、圧
力調節手段20で発生される制御圧力PSTは僅かなエ
ネルギで実現されることから、制御圧力を発生させる応
答性は著しく高くなる。例えば切削する孔の径が軸方向
に一定である場合や、孔の断面形状が軸方向に変化する
ような場合でも、高い精度で容易に穿孔することができ
る。このように、傾斜角調整手段はストローク・回転角
検出手段56の信号に感度よく追従して動作することか
ら、ワーク16に円筒状の孔18を加工する際、その孔
の非円性や半径方向の長さを修正することもできる。ち
なみに、ストローク・回転角検出手段56では、検出さ
れた切削バイト12の送り量および回転角度をデジタル
信号として出力し、圧力調節手段20の出口における制
御圧力PSTを、そのストローク・回転角検出手段56
の出力信号をもとにして制御するようにしている。上記
したシステムコントローラがアナログ処理する場合に
は、ストローク・回転角検出手段56の検出信号をアナ
ログ信号としておいてもよいが、デジタル信号化して出
力させるようにしておくと、ストローク・回転角検出手
段56での検出精度が高くなり、また優れた分解能でも
って演算され、その指令に基づいて、制御圧力PSTを
発生させることができる。これによって、切削加工面が
上記した軸方向に直線的な円筒状の孔である場合でも、
また、孔の断面形状が例えば500μm以下の範囲で変
化する場合でも、さらには、回転体の外面を直線的もし
くは500μm以下の範囲で変化する形状に切削する場
合でも、1μmないし2μm以下の誤差でもって加工す
ることができる。なお、ストローク・回転角検出手段5
6で切削バイト12の送り量のみならず回転角度をも検
出するようにしているが、バイトホルダー4を回転させ
ることなくワーク16を回転させて切削する場合には、
上記の送り量のみを検出すればよい。この場合に、ワー
ク16の回転角度を検出する必要があれば、ワーク16
を回転させる装置にその検出手段を別途設置しておけば
よい。このようにして、ワーク16の回転角度を検出す
るような場合には、孔の内面や回転体の外面を切削する
うえで、切削バイト12の半径方向の距離を所望する回
転角度となった時点で変更すれば、その断面を任意の形
状に切削することができる。ところで、同一の加工を次
々と行う場合には、直前に製作されたワークのストロー
ク・回転角検出手段56による検出値をコンピュータ手
段52に記憶させておくとよい。この場合には、ストロ
ーク・回転角検出手段56の検出信号がその記憶値とな
るまでの制御圧力を発生させる。このようにすれば傾動
調整手段の応答を迅速なものとすることができる。そし
て、コンピュータ手段52は、すでに検出されている誤
差信号をもとに迅速な修正動作を行い、短い時間で制御
圧力PSTを補正する。なお、このような修正システム
を備えておけば、システムコントローラ50のプログラ
ムが自動的かつ適切に修正され、また、それを知らせて
システム自体の誤動作やプログラム上のミスをチェック
することもできる。上記において、圧力調節手段20の
出口における制御圧力が検出され、その検出信号が、A
/D変換されてシステムコントローラ50の信号処理手
段54やコンピュータ手段52へフィードバックされて
いる。信号処理手段54へのフィードバックによって所
望する制御圧力PSTの発生が短時間に実現され、コン
ピュータ手段52へのフィードバックにより、発生した
出口圧力が、システムコントローラ50によって、直ち
に所望する制御圧力PSTに修正される。そのシステム
コントローラ50へのフィードバックとして、ソレノイ
ド22に付設された制御センサー86の検出値を信号処
理手段54へ入力する場合には、上記した圧力信号をフ
ィードバックさせるときに比べて、より迅速に所望する
制御圧力PSTを発生させる状態とすることができる。
ちなみに、切削バイト保持手段2は、後述するように、
回転駆動可能な基部体110(図7参照)と、その基部
体110と共に回転し切削バイト12を半径方向へ変位
させる変位取出体111とからなる傾斜角調整手段Bk
1を有する構成となっているので、この切削バイト保持
手段2を、図1に示したように主軸14内のスピンドル
131に取り付けたり、図示しないが、工作機械の別途
設けられた支持体の上に搭載したりすることができる。
したがって、その切削バイト保持手段2を回転駆動させ
ることができ、上記した制御に基づく動作を行わせるこ
とができるようになる。切削加工精度はストローク・回
転角検出手段56の検出精度によって決まることになる
が、圧力調節手段20へは常時加圧流体が流体圧回路3
0から供給されていることから、圧力調節手段20は僅
かな時間的遅れでもって、ストローク・回転角検出手段
56の出力信号に応じた制御圧力PSTを発生させる。
これによって、傾斜角調整手段Bk1は約50Hzない
し80Hz程度の圧力振動数でもって制御され、円筒状
の孔18の直径が小さい場合でも、超硬合金や重合結晶
ダイヤモンドなどの新しい切削材料を経済的に使用する
ことができる切削速度が実現される。また、傾斜角調整
手段の流体室8は僅かな容積であり、その内部の流体が
流体室8の容積よりも少ない量の加圧流体の給排でもっ
て傾斜角調整手段を作動させ、したがって、圧力調節手
段20における制御圧力PSTの発生のために大きなエ
ネルギが必要とされず、その意味でも、傾斜角調整手段
における応答特性を向上させることができる。もちろ
ん、加工面の断面寸法が軸方向に変化する場合でも、そ
の加工を行うことができるようになる。
【0009】図3は異なる圧力調節手段120の例であ
り、その他の構成は図1の場合と同じである。この例の
圧力調節手段120には公知の4ポート3位置サーボ弁
が採用されている。このサーボ弁120は、ポンプ導管
36のための接続ポート,制御圧力導管121のための
第一ポート,戻り流体のための第二ポート124および
タンク接続ポート126を備える。ソレノイド22は信
号線58に接続され、サーボ弁120のピストンバルブ
を変位させる。後述する図7の傾斜角調整手段Bk1は
単動シリンダ型であるが、複動シリンダ型のように二つ
の反対に作用する流体室を有するものであるとき、詳し
く説明しないが、このサーボ弁120によって、バイト
ホルダー4を傾動させるときの調整速度を信号線58の
中の信号の大きさによって変化させることができる。
【0010】図4はさらに異なる圧力調節手段220の
例で、信号線58を介して制御圧力導管221の出口圧
力を変化させるために圧力調節弁が採用されている。そ
の出口圧力PSTは、制御導管222を介して、調整さ
れた制御圧力に対抗してピストン背面に作用する。その
調整された制御圧力は、信号線58に接続されたソレノ
イド228の励磁によって発生されるものであり、その
他の構成は、図1の場合と同じである。制御圧力PST
が信号線58を介して予め与えられた値に到達したと
き、ピストンの背面に作用する出口圧力とバランスし
て、圧力調節手段220内のピストンが、図示しないス
プリングなどで矢印のように移動され、ポンプ導管36
から制御圧力導管221に流れる加圧流体の流量を減少
させ、遂には、弁口を遮断する。このようにして、信号
線58における信号レベルに対して、予め決定された制
御圧力PSTが発生される。
【0011】図5および図6は切削加工装置の第二の例
であり、極めて概略的に示されている。この例では、圧
力調節手段320における信号の変換のみに説明をとど
めることにする。しかし、後述するプランジャーの位置
によって生じる制御圧力が、ストローク・回転角検出手
段の出力信号に応じたものとなるように調整されること
は、前述の例と同じである。圧力調節手段320は、前
の例と同様に流体圧回路に接続されており、ロータリジ
ョイント19へ加圧流体を供給する。ストローク・回転
角検出手段やコンピュータ手段の図示は、省略されてい
る。圧力調節手段320からシステムコントローラへの
フィードバックも図1の場合と同様であり、それらの記
載も省かれている。この例は、圧力調節手段320とし
て溢流式弁機構を採用したもので、この溢流式弁機構
が、信号処理手段324に接続された信号線322を介
して制御信号を受けるようになっている。流体源326
は絞られた供給導管328へ加圧流体を供給し、制御圧
力導管321に制御圧力PSTを発生させるための供給
圧力PVを減少させるのは、溢流式弁機構320内のプ
ランジャー330の作動でもって行われる。このプラン
ジャー330は、その前面335でもって制御圧力室3
52を画成し、後端がケーシング338から突出されて
いる。端部フランジ332とケーシング338との間に
は圧縮スプリング336が介在され、プランジャー33
0を常時左方へ付勢している。信号線322からの信号
を受けたソレノイド334によって発生する力は、圧縮
スプリング336の力とは反対方向へ作用する。それ故
に、ソレノイド334の励磁度を変えれば、ケーシング
338に挿入されかつタンク344に通じる短管340
の内部開口とプランジャー330との距離が、無段階に
変化させられるようになっている。制御圧力室352へ
は、上流側に配置された固定絞り350を介して加圧流
体が供給される。それ故に、動作上の関係が適当にバラ
ンスしたとき、可変絞りとして機能するプランジャー3
30と短管340との距離と、制御圧力室352の圧力
との間には、ほぼ直線的な関係が成立する。したがっ
て、信号線322の信号レベルの変化によって絞り程度
が変更され、制御圧力PSTまで速やかに変化させるこ
とができる。所望する制御圧力PSTは、プランジャー
330の変位による前面335の位置によって決まるか
らである。それ故に、プランジャー330は制御圧力を
自己調圧する機能を備え、また、その圧力を間接的に測
定する機能をも有する。このように、溢流式弁機構32
0におけるプランジャー330の動作を考慮すると、制
御圧力PSTを得るためのフィードバックは頻繁に必要
とされず、電気的な制御信号のやりとりが少なくなり、
ストローク・回転角検出手段56の検出信号に応じた制
御圧力PSTを発生させる際の応答性が向上する。すな
わち、溢流式弁機構320のプランジャー330の位置
により決まる制御圧力PSTを、可能な限り少ない信号
処理でもって、ストローク・回転角検出手段56の出力
信号に応じたものに制御することができ、それでもって
十分な応答性を得ることができる。なお、信号線322
における制御電流が増加してプランジャー330が右方
向へ移動すれば、前面335と短管340との間の絞り
面積は減少する。これによって、次に述べる圧力モータ
に接続された制御圧力導管321中の制御圧力を増大さ
せることができる。
【0012】図7から図9までに、流体圧回路で発生さ
れた流体圧力に追従して、バイトホルダー4を傾けるた
めの傾斜角調整手段Bk1の一例を示す。この傾斜角調
整手段Bk1としての圧力モータDM1は、圧力調節手
段の出口における制御圧力PSTを、切削バイト12の
半径方向変位量に時間遅れなく変換するものである。図
中の基部体110は前記した支持手段6を構成し、動力
を取り出すかのように機能する円盤形状の変位取出体1
11は、バイトホルダー4に直交して強固に取り付けら
れる。その基部体110は円形断面の平坦な回転駆動部
分であって、VIII−VIII線で切断された領域に
おけるリング凹部112によって、二つの部分すなわち
薄板部113と厚板部114とに分割されている。これ
ら両板部113,114は、後述する傾動のための支点
として機能する偏心軸である偏心円形部115(図8参
照)によって、接続されている。不等幅な非対称リング
凹部112によって基部体110の上部位に形成された
薄板部113は、刈り込み鎌が閉じたような形状をして
おり(図9参照)、下方の厚板部114に対して弾性的
に接続された恰好となっている。そして、弾性変形する
薄板部113は、圧力モータDM1のための耐圧壁とし
ても機能する。図8に示すように、刈り込み鎌の幅が幅
広い部分は右にあり、幅の狭い部分は左にある。図7に
示すように、薄板部113は、厚板部114とは反対の
側に、シリンダ状突起116を備える。このシリンダ状
突起116は、バイトホルダー4の中心線117と同心
状に設けられ、圧力モータDM1の一部分を構成する。
なお、基部体110は、以下において説明する圧力モー
タDM1の固定用ベースとしても機能する。変位取出体
111は、その中心に設けられたバイトホルダー4を保
持するごとく一体となっており、また、そのバイトホル
ダー4の反対側の中心部位に、ピストン状突起123を
備える。このピストン状突起123は、上記したシリン
ダ状突起116に嵌着されている。変位取出体111
は、ねじ125と、シリンダ状突起116およびピスト
ン状突起123との間に設けられたOリング127とに
より、基部体110に対して強固に液密的に接続されて
いる。ピストン状突起123とシリンダ状突起116と
の間には流体室8が画成される。その高さは、内部の流
体が圧縮されるなどして所望外の作用を生じさせないた
めに、できるだけ小さく選定される。このように、圧力
モータDM1の流体室8の容積は小さいが、変位取出体
111を傾けるために供給される加圧流体の体積は、そ
の容積よりも少ない。なお、シリンダ状突起116およ
びピストン状突起123は、圧力モータDM1を構成す
るが、この場合、基部体110の薄板部113は、上記
したように、圧力モータDM1の変位取出体111とね
じ125とによって強固に固定されている。その基部体
110は、その外縁近傍に、基部体110をスピンドル
131(図1参照)に固定するための孔128および位
置決め用フランジ面129を備えている。なお、この基
部体110には、平坦な円板形した流体室8の中心に開
口する流体供給孔130が、図1に示した流体通路10
に連なるように設けられている。圧力モータDM1の変
位取出体111は、圧力変化に際して固定用べースであ
る基部体110に対して傾動する。固定用ベース110
と変位取出体111とは流体室8を画成しており、その
流体室8は流体供給孔130に通じている。流体室8に
は、変位取出体111の傾きにもかかわらず液封状態を
維持するためのOリング127が設けられていること
は、上で述べた通りである。すなわち、傾斜角調整手段
Bk1は、厚板部114とこの厚板部114に弾性的に
接続された薄板部113とからなる基部体110と、そ
の基部体110との間に液封状態となった流体室8を形
成して傾動することができる変位取出体111とを有す
る圧力モータDM1によって構成される。その変位取出
体111にバイトホルダー4が直交して強固に接続さ
れ、傾動された変位取出体111の端縁変位量が切削バ
イト12の半径方向変位よりも小さくなるように、その
変位取出体111の長さがバイトホルダー4の長さより
も短く設定されている。
【0013】以上に説明した傾斜角調整手段Bk1の作
動は、以下の通りである。加圧流体の圧力が上昇すれ
ば、流体室8へ流入する流体はより一層大きい体積を占
めようとする。この場合、不等幅な非対称リング凹部1
12によって大きく切り欠かれて変形しやすくなってい
る薄板部113の図9における右部分は、その左部分よ
りも大きく変形する。それ故に、変位取出体111は、
圧力モータDM1の中心線117に対して偏心している
偏心軸115を支点にして、図7で言えば時計方向へ少
し傾動する。これによってバイトホルダー4が傾斜し、
切削バイト12が半径方向へ変位する。加圧流体の圧力
が初期圧力に戻れば、薄板部113はそれ自体の弾力で
もってその初期位置へ復帰し、バイトホルダー4も同様
に初期位置へ戻る。この傾斜角調整手段Bk1の剛性
は、その構成部分とりわけ薄板部113の寸法にかかっ
ている。上記から分かるように、圧力モータDM1の変
位取出体111の端縁における変位量は僅かであるが、
傾斜したバイトホルダー4の先端に取り付けられた切削
バイト12の半径方向の変位は、それより大きくなる。
その際、流体室8が僅かな容積でありかつ供給される流
体の体積も極めて少ないので、制御圧力に対応して傾動
する変位取出体111は、実質的にヒステリシスを起こ
すことなく追従動作する極めて良好な応答特性が発揮さ
れる。上記の変位取出体111はそれ自体変形しない円
盤形状であり、かつ、バイトホルダー4の中心線117
からずれた位置にある偏心軸115を支点にして傾動可
能となっている。この変位取出体111が、弾性変形す
ると共に耐圧壁として機能する薄板部113を介して厚
板部114と液密的に強固に接続されているので、傾斜
角調整手段Bk1の固有振動数が高く維持される。これ
は、圧力モータが、切削バイト12の送りに際して平行
弾性継手機構となっているからであり、中心線117に
対して平行に変位するバイトホルダーを有する例えば西
ドイツ特許明細書2,034,601A2に記載の装置
における固有振動数よりも大きくなり、それ故に、傾斜
角調整手段Bk1の固有振動数が供給される加圧流体の
制御圧力の振動数よりも大きく、バイトホルダー4の共
振が回避され、切削加工精度は一段と向上する。
【0014】ちなみに、以上説明したバイトホルダー4
と変位取出体111との強固な接続の代わりに、公知の
構造を備える工具交換システムによって、バイトホルダ
ーを変位取出体111に接続することもできる。なお、
上記した実施例の大部分は、例えば人手によって設定値
を入力するプログラムを用いて、傾斜角調整手段に効果
的に作用する制御圧力PSTを与えるようにしている。
しかし、その制御圧力PSTは、直前に製作されたワー
クにおける検出寸法値と設定値との比較によって得られ
る差分値をもとに発生させるようにしてもよいことは、
すでに上で述べた。切削バイト保持手段としては、以上
に示した例と異なり、ミリングカッタ,精密ドリルおよ
びその他の刃物などのツール保持装置に適用することも
できる。本発明による切削バイト保持手段は、特に、多
軸のCNC制御を備える工作機械において有用である。
この場合、ストローク・回転角検出手段の出力信号を処
理するために、CNC制御用コンピュータを使用するこ
とができる。また、上記したガラススケールの代わり
に、それに類似する正確な測定を可能としたストローク
・回転角検出装置を使用することもできる。これを可能
にするものとしては、電気的,光学電子的もしくは磁気
的に作用する測定システムを挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第一の実施例における切削加工装置
と、それに対する信号の伝達を示す原理的概略図。
【図2】 図1のII−II線矢視断面図。
【図3】 第一実施例における異なる圧力調節手段の構
成図。
【図4】 第一の実施例の他の異なる圧力調節手段の構
成図。
【図5】 本発明の第二の実施例における原理的概略
図。
【図6】 図5中の矢印VIの拡大断面図。
【図7】 回転する切削バイト保持手段の部分外面を含
む断面図。
【図8】 図7のVIII−VIII線矢視断面図。
【図9】 図7のIX−IX線矢視断面図。
【符号の説明】
2…切削バイト保持手段、4…バイトホルダー、6…支
持手段、8…流体室、12…切削バイト、16…ワー
ク、20…圧力調節手段(多方向圧力弁)、30…流体
圧回路、32…流体源(ポンプ)、50…システムコン
トローラ、52…コンピュータ手段、54…信号処理手
段、56…ストローク・回転角検出手段、74…D/A
変換器、76…増幅器、78…加減算器、82…A/D
変換器、110…基部体(回転駆動部,固定用ベー
ス)、111…変位取出体、112…非対称リング凹
部、113…薄板部、114…厚板部、115…偏心円
形部(偏心軸)、117…中心線、120…圧力調節手
段(4ポート3位置サーボ弁)、220…圧力調節手段
(圧力調節弁)、320…圧力調節手段(溢流式弁機
構)、324…信号処理手段、326…流体源、330
…プランジャー、350…固定絞り、PST…制御圧
力、Bk1…傾斜角調整手段、DM1…圧力モータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ハルトムート ヒルト ドイツ連邦共和国 6240 ケーニヒシュタ イン シュタインベーク 14

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 切削バイト保持手段により保持された切
    削バイトによって、ワークに筒状面を形成する切削加工
    装置にあって、その切削バイトを取り付けたバイトホル
    ダーとそのバイトホルダーを連結する支持手段との間
    に、そのバイトホルダーと支持手段との相対角度を生じ
    させる傾斜角調整手段が介在され、その傾斜角調整手段
    が、流体圧回路で発生された流体圧力に追従して作動す
    るようになっている切削加工作業装置において、 前記流体圧回路には、その流体源から常時加圧された流
    体が供給される圧力調節手段が接続され、 前記切削バイトの送り量と回転角度とを検出するストロ
    ーク・回転角検出手段が設けられ、 そのストローク・回転角検出手段からの検出信号に基づ
    いて、前記傾斜角調整手段に供給される流体を、上記圧
    力調節手段によって所望の制御圧力に変化させるように
    したことを特徴とするワークに筒状面を形成させる切削
    加工装置。
  2. 【請求項2】 前記ストローク・回転角検出手段は、検
    出された切削バイトの送り量および回転角度をデジタル
    信号として出力するものであり、前記圧力調節手段の出
    口における制御圧力を、そのストローク・回転角検出手
    段の出力信号をもとにして制御するシステムコントロー
    ラが備えられていることを特徴とする請求項1に記載の
    ワークに筒状面を形成させる切削加工装置。
  3. 【請求項3】 前記ストローク・回転角検出手段におけ
    る検出信号は、前記システムコントローラにおけるコン
    ピュータ手段に予め記憶された設定値と比較され、もく
    しは直前に製作されたワークにおける検出寸法値と比較
    されることによって得られる差分値をもとにして、前記
    制御圧力を発生させるようにしたことを特徴とする請求
    項1もしくは請求項2に記載のワークに筒状面を形成さ
    せる切削加工装置。
  4. 【請求項4】 前記圧力調節手段の出口における制御圧
    力の信号が、前記システムコントローラへフィードバッ
    クされ、これによって圧力調節手段の圧力発生動作が制
    御されるようになっていることを特徴とする請求項1か
    ら請求項3のいずれかに記載のワークに筒状面を形成さ
    せる切削加工装置。
  5. 【請求項5】 前記圧力調節手段は可変絞りとして機能
    する溢流式弁機構であり、上記流体圧回路からの加圧流
    体は上流側に配置された固定絞りを介して溢流式弁機構
    へ供給され、この溢流式弁機構のプランジャーの位置に
    よって生じる制御圧力が、ストローク・回転角検出手段
    の出力信号に応じて制御されるようになっていることを
    特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のワ
    ークに筒状面を形成させる切削加工装置。
  6. 【請求項6】 前記溢流式弁機構の出口圧力が、電気的
    に制御されるプランジャーの変位によって発生されるこ
    とを特徴とする請求項5に記載のワークに筒状面を形成
    させる切削加工装置。
  7. 【請求項7】 前記圧力調節手段の出口圧力の信号は、
    前記システムコントローラにおけるD/A変換器,増幅
    器およびA/D変換器からなる信号処理手段へフィード
    バックされることを特徴とする請求項4から請求項6の
    いずれかに記載のワークに筒状面を形成させる切削加工
    装置。
  8. 【請求項8】 前記圧力調節手段の出口圧力が、A/D
    変換器を介して前記システムコントローラにおけるコン
    ピュータ手段へフィードバックされることを特徴とする
    請求項7に記載のワークに筒状面を形成させる切削加工
    装置。
  9. 【請求項9】 前記切削バイト保持手段は、回転駆動さ
    れる基部体と、その基部体と共に回転し前記切削バイト
    を半径方向へ変位させる変位取出体とからなる傾斜角調
    整手段を有することを特徴とする請求項1から請求項8
    のいずれかに記載のワークに筒状面を形成させる切削加
    工装置。
  10. 【請求項10】 前記傾斜角調整手段は、厚板部とこの
    厚板部に弾性的に接続された薄板部とからなる基部体
    と、その基部体との間に液封状態となった流体室を形成
    して傾動することができる変位取出体とを有する圧力モ
    ータによって構成され、その変位取出体にバイトホルダ
    ーが直交して強固に接続され、傾動した変位取出体の端
    縁変位量が切削バイトの半径方向変位よりも小さくなる
    ように、その変位取出体の長さがバイトホルダーの長さ
    よりも短く設定されていることを特徴とする請求項1か
    ら請求項9のいずれかに記載のワークに筒状面を形成さ
    せる切削加工装置。
  11. 【請求項11】 前記圧力モータの流体室は僅かな容積
    であって、その流体室の容積よりも少ない量の加圧流体
    の給排でもって前記傾斜角調整手段を作動させ、前記変
    位取出体を傾動させることができるようにしたことを特
    徴とする請求項10に記載のワークに筒状面を形成させ
    る切削加工装置。
  12. 【請求項12】 前記変位取出体はそれ自体変形しない
    円盤形状であり、かつ、前記バイトホルダーの中心線か
    らずれた位置にある偏心軸を支点にして傾動可能であ
    り、弾性変形すると共に耐圧壁として機能する薄板部を
    介して、前記変位取出体が前記厚板部と液密的に強固に
    接続されていることを特徴とする請求項10または請求
    項11に記載のワークに筒状面を形成させる切削加工装
    置。
  13. 【請求項13】 上記偏心軸は、前記バイトホルダーの
    中心線から偏心した位置で、前記薄板部と厚板部との間
    に確保された不等幅な非対称リング凹部112によって
    形成される偏心円形部で構成されていることを特徴とす
    る請求項12に記載のワークに筒状面を形成させる切削
    加工装置。
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