JPH06222150A - 粒子加速器のスクリーンモニタ - Google Patents
粒子加速器のスクリーンモニタInfo
- Publication number
- JPH06222150A JPH06222150A JP1287093A JP1287093A JPH06222150A JP H06222150 A JPH06222150 A JP H06222150A JP 1287093 A JP1287093 A JP 1287093A JP 1287093 A JP1287093 A JP 1287093A JP H06222150 A JPH06222150 A JP H06222150A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- screen
- frame
- red
- light
- particle accelerator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 粒子加速器のビームライン９にスクリーン２
０を進入退出可能に設ける。スクリーンの素材として
は、放射光の照射点が発熱して赤熱するカーボンやタン
グステン等の高融点材料からなる成形板を用いる。スク
リーンを回転させて放射光の光軸に対して傾斜させるよ
うにし、また、スクリーンを水冷構造のフレーム２３に
取り付けてそのフレームの前面側を傾斜面２６とするこ
とが好ましい。 【効果】 高エネルギの放射光が照射されても照射点が
溶けることなく発熱して赤熱し、赤熱した位置を観察す
ることで放射光の位置を明瞭にモニタし得る。スクリー
ンを回転させることで照射点の赤熱の程度を調節し得
る。水冷構造のフレームによりフレームとスクリーンの
過熱を防止できるとともに冷却能力を調節することによ
っても照射点の赤熱の程度を調節し得る。フレームの前
面側を傾斜面とすることでフレームの熱損傷も自ずと防
止できる。
０を進入退出可能に設ける。スクリーンの素材として
は、放射光の照射点が発熱して赤熱するカーボンやタン
グステン等の高融点材料からなる成形板を用いる。スク
リーンを回転させて放射光の光軸に対して傾斜させるよ
うにし、また、スクリーンを水冷構造のフレーム２３に
取り付けてそのフレームの前面側を傾斜面２６とするこ
とが好ましい。 【効果】 高エネルギの放射光が照射されても照射点が
溶けることなく発熱して赤熱し、赤熱した位置を観察す
ることで放射光の位置を明瞭にモニタし得る。スクリー
ンを回転させることで照射点の赤熱の程度を調節し得
る。水冷構造のフレームによりフレームとスクリーンの
過熱を防止できるとともに冷却能力を調節することによ
っても照射点の赤熱の程度を調節し得る。フレームの前
面側を傾斜面とすることでフレームの熱損傷も自ずと防
止できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シンクロトロン等の粒
子加速器のビームラインに設けられるスクリーンモニタ
に関するものである。
子加速器のビームラインに設けられるスクリーンモニタ
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、直径が１０ｍ以下の比較的小型の
粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、
そのようなシンクロトロンから放射される放射光である
シンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）を利用して、たとえ
ば超ＬＳＩの製造、医療分野における診断、分子解析、
構造解析等の様々な分野への適用が期待されている。
粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、
そのようなシンクロトロンから放射される放射光である
シンクロトロン放射光（ＳＯＲ光）を利用して、たとえ
ば超ＬＳＩの製造、医療分野における診断、分子解析、
構造解析等の様々な分野への適用が期待されている。
【０００３】図４は小型シンクロトロンの概要を示すも
のであって、電子銃等の電子発生装置１で発生させた電
子ビームを直線加速器（ライナック）２で光速近くに加
速し、偏向電磁石３で偏向させてインフレクタ４を介し
て蓄積リング５に入射する。蓄積リング５に入射した電
子ビームは高周波加速空洞６によりエネルギを与えられ
ながら収束電磁石７で収束され、偏向電磁石８で偏向さ
れて蓄積リング５内を周回し続ける。そして、偏向電磁
石８で偏向される際にＳＯＲ光Ｓが発生し、それが光取
り出しラインであるビームライン９を通してたとえば露
光装置１０に出射されて利用されるのである。
のであって、電子銃等の電子発生装置１で発生させた電
子ビームを直線加速器（ライナック）２で光速近くに加
速し、偏向電磁石３で偏向させてインフレクタ４を介し
て蓄積リング５に入射する。蓄積リング５に入射した電
子ビームは高周波加速空洞６によりエネルギを与えられ
ながら収束電磁石７で収束され、偏向電磁石８で偏向さ
れて蓄積リング５内を周回し続ける。そして、偏向電磁
石８で偏向される際にＳＯＲ光Ｓが発生し、それが光取
り出しラインであるビームライン９を通してたとえば露
光装置１０に出射されて利用されるのである。
【０００４】上記のような粒子加速器においては、ＳＯ
Ｒ光Ｓがビームライン９中の所定の軌道を通るかどうか
を運転開始当初にモニタする必要があり、そのためのス
クリーンモニタをビームライン９の要所に設置するよう
にしている。
Ｒ光Ｓがビームライン９中の所定の軌道を通るかどうか
を運転開始当初にモニタする必要があり、そのためのス
クリーンモニタをビームライン９の要所に設置するよう
にしている。
【０００５】図５は従来一般に採用されているスクリー
ンモニタの一例を示すものである。これは、ビームライ
ン９に対して所定角度傾斜するようなスクリーン１５
を、ビームライン９内に進入かつ退出させるべく昇降自
在（図５においては紙面の表裏方向に移動自在）に設け
るとともに、そのスクリーン１５の側方にカメラ１６を
スクリーン１５側に向けて設けた構成のものである。ス
クリーン１５としては、ガラス等の基板の表面に蛍光物
質を塗布してたとえば図６に示すような目盛を縦横に付
したものが一般的である。
ンモニタの一例を示すものである。これは、ビームライ
ン９に対して所定角度傾斜するようなスクリーン１５
を、ビームライン９内に進入かつ退出させるべく昇降自
在（図５においては紙面の表裏方向に移動自在）に設け
るとともに、そのスクリーン１５の側方にカメラ１６を
スクリーン１５側に向けて設けた構成のものである。ス
クリーン１５としては、ガラス等の基板の表面に蛍光物
質を塗布してたとえば図６に示すような目盛を縦横に付
したものが一般的である。
【０００６】上記のスクリーンモニタによりＳＯＲ光Ｓ
の光軸のモニタを行う際には、スクリーン１５を降下さ
せて図５に示すようにビームライン９中に配置したうえ
で、ビームライン９の上流側からＳＯＲ光Ｓをスクリー
ン１５の表面に対して照射する。すると、ＳＯＲ光Ｓが
照射された位置が蛍光を発して光るので、その位置をビ
ューポート１７を通してカメラ１６により観測すること
でＳＯＲ光Ｓの実際の光軸を確認し、それに基づいて必
要に応じて光軸修正等を行うのである。そのような作業
が終了した後には、スクリーン１５を引き上げてビーム
ライン９内から退出させ、通常運転に移行する。
の光軸のモニタを行う際には、スクリーン１５を降下さ
せて図５に示すようにビームライン９中に配置したうえ
で、ビームライン９の上流側からＳＯＲ光Ｓをスクリー
ン１５の表面に対して照射する。すると、ＳＯＲ光Ｓが
照射された位置が蛍光を発して光るので、その位置をビ
ューポート１７を通してカメラ１６により観測すること
でＳＯＲ光Ｓの実際の光軸を確認し、それに基づいて必
要に応じて光軸修正等を行うのである。そのような作業
が終了した後には、スクリーン１５を引き上げてビーム
ライン９内から退出させ、通常運転に移行する。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
なスクリーン１５にＳＯＲ光Ｓが照射されると、その照
射点はＳＯＲ光Ｓの熱エネルギを受けて高温になるもの
である。そして、図４に示したような小型シンクロトロ
ンにおいてはＳＯＲ光のエネルギはさほど大きなもので
はないので、上述したように基板に蛍光物質を塗布した
形態のスクリーン１５を用いることで何等支障がない
が、そのようなスクリーン１５をＳＯＲ光のエネルギが
きわめて大きい大型の粒子加速器にそのまま適用した場
合には、照射点の温度が基板の融点を越えてしまってス
クリーン１５が局部的に溶けてしまう懸念がある。
なスクリーン１５にＳＯＲ光Ｓが照射されると、その照
射点はＳＯＲ光Ｓの熱エネルギを受けて高温になるもの
である。そして、図４に示したような小型シンクロトロ
ンにおいてはＳＯＲ光のエネルギはさほど大きなもので
はないので、上述したように基板に蛍光物質を塗布した
形態のスクリーン１５を用いることで何等支障がない
が、そのようなスクリーン１５をＳＯＲ光のエネルギが
きわめて大きい大型の粒子加速器にそのまま適用した場
合には、照射点の温度が基板の融点を越えてしまってス
クリーン１５が局部的に溶けてしまう懸念がある。
【０００８】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、優れた耐熱性を有していて大型の粒子加速器にも適
用し得るスクリーンモニタを提供することを目的として
いる。
で、優れた耐熱性を有していて大型の粒子加速器にも適
用し得るスクリーンモニタを提供することを目的として
いる。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、粒子加速器の
ビームラインを通して取り出す放射光をモニタするべ
く、放射光が照射されるスクリーンをビームラインに対
して進入退出可能に設けた構成のスクリーンモニタであ
って、前記スクリーンを、放射光が照射されるとその照
射点が発熱して赤熱するカーボンやタングステン等の高
融点材料を素材とする成形板により形成したことを特徴
とするものである。この場合、前記スクリーンを放射光
の光軸に対して傾斜させるべくビームライン中において
回転可能とすることが好ましく、また、前記スクリーン
を水冷構造のフレームに取り付けるとともに、そのフレ
ームの放射光が照射される側の表面を放射光の光軸に対
して傾斜する傾斜面とすることが好ましい。
ビームラインを通して取り出す放射光をモニタするべ
く、放射光が照射されるスクリーンをビームラインに対
して進入退出可能に設けた構成のスクリーンモニタであ
って、前記スクリーンを、放射光が照射されるとその照
射点が発熱して赤熱するカーボンやタングステン等の高
融点材料を素材とする成形板により形成したことを特徴
とするものである。この場合、前記スクリーンを放射光
の光軸に対して傾斜させるべくビームライン中において
回転可能とすることが好ましく、また、前記スクリーン
を水冷構造のフレームに取り付けるとともに、そのフレ
ームの放射光が照射される側の表面を放射光の光軸に対
して傾斜する傾斜面とすることが好ましい。
【００１０】
【作用】本発明のスクリーンモニタにおいては、スクリ
ーンの素材として高融点材料たとえばカーボンやタング
ステン等の融点が３，０００℃以上の材料からなる成形
板が用いられていて、そのスクリーンに放射光が照射さ
れると照射点が溶けることなく発熱して赤熱するので、
赤熱した位置を観察することで放射光の位置をモニタす
る。この際、スクリーンを回転させて放射光の光軸に対
して傾斜させれば、放射光の照射面積が変化してスクリ
ーンへの入熱量が変化し、赤熱の程度を調節し得る。ま
た、スクリーンを水冷構造のフレームに取り付けること
によりフレーム自身およびスクリーンの過熱を防止でき
るとともに、冷却能力を調節することによってもスクリ
ーンの温度したがって赤熱の程度を調節し得る。さら
に、フレームの前面側を傾斜面としておくことによりフ
レームに対する放射光の照射面積が拡大されて熱負荷が
自ずと低減し、フレームの熱損傷が防止される。
ーンの素材として高融点材料たとえばカーボンやタング
ステン等の融点が３，０００℃以上の材料からなる成形
板が用いられていて、そのスクリーンに放射光が照射さ
れると照射点が溶けることなく発熱して赤熱するので、
赤熱した位置を観察することで放射光の位置をモニタす
る。この際、スクリーンを回転させて放射光の光軸に対
して傾斜させれば、放射光の照射面積が変化してスクリ
ーンへの入熱量が変化し、赤熱の程度を調節し得る。ま
た、スクリーンを水冷構造のフレームに取り付けること
によりフレーム自身およびスクリーンの過熱を防止でき
るとともに、冷却能力を調節することによってもスクリ
ーンの温度したがって赤熱の程度を調節し得る。さら
に、フレームの前面側を傾斜面としておくことによりフ
レームに対する放射光の照射面積が拡大されて熱負荷が
自ずと低減し、フレームの熱損傷が防止される。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１〜図３を参照し
て説明する。本実施例のスクリーンモニタは、図３に示
すようにスクリーン２０をビームライン９中に配置して
ＳＯＲ光Ｓを照射し、その照射位置を、外部に設けたカ
メラ２１によりビューポート２２を通して斜め前方から
観察することでＳＯＲ光をモニタするようにされてい
る。
て説明する。本実施例のスクリーンモニタは、図３に示
すようにスクリーン２０をビームライン９中に配置して
ＳＯＲ光Ｓを照射し、その照射位置を、外部に設けたカ
メラ２１によりビューポート２２を通して斜め前方から
観察することでＳＯＲ光をモニタするようにされてい
る。
【００１２】本実施例におけるスクリーン２０は、融点
がきわめて高い材料、たとえばカーボン（融点は３，７
００℃）やタングステン（同、３，４１０℃）等を素材
とする成形板により形成されていて、このスクリーン２
０は、高エネルギのＳＯＲ光Ｓが照射されても照射点が
発熱して赤熱するのみで溶けてしまうようなことがない
ものとされている。
がきわめて高い材料、たとえばカーボン（融点は３，７
００℃）やタングステン（同、３，４１０℃）等を素材
とする成形板により形成されていて、このスクリーン２
０は、高エネルギのＳＯＲ光Ｓが照射されても照射点が
発熱して赤熱するのみで溶けてしまうようなことがない
ものとされている。
【００１３】上記のスクリーン２０は、図１および図２
に示すように矩形枠状のフレーム２３に取り付けられ、
そのフレーム２３の上部にはビームライン９を貫通して
いる軸体２４が接続されている。軸体２４は、図示を略
した適宜の駆動機構により自身の長手方向（上下方向）
に昇降するとともに自身の軸線を中心として回転するよ
うにされており、軸体２４を昇降させることでフレーム
２３とともにスクリーン２０をビームライン９中に進
入、退出させるとともに、軸体２４を回転させることで
スクリーン２０の向きを変えてＳＯＲ光Ｓの光軸に対し
て傾斜させることができるようになっている。
に示すように矩形枠状のフレーム２３に取り付けられ、
そのフレーム２３の上部にはビームライン９を貫通して
いる軸体２４が接続されている。軸体２４は、図示を略
した適宜の駆動機構により自身の長手方向（上下方向）
に昇降するとともに自身の軸線を中心として回転するよ
うにされており、軸体２４を昇降させることでフレーム
２３とともにスクリーン２０をビームライン９中に進
入、退出させるとともに、軸体２４を回転させることで
スクリーン２０の向きを変えてＳＯＲ光Ｓの光軸に対し
て傾斜させることができるようになっている。
【００１４】また、上記のフレーム２３は銅等の耐熱性
を有する金属により形成されているとともに図２に示す
ように冷却水流路２５を有する水冷構造とされたもの
で、冷却水を強制循環させることでフレーム２３および
スクリーン２０を冷却してそれらの過熱を防止するよう
になっている。さらに、フレーム２３の前面側すなわち
ＳＯＲ光Ｓが照射される側の表面は、ＳＯＲ光Ｓの光軸
に対して傾斜している傾斜面２６とされている。それら
傾斜面２６の光軸に対する傾斜角度θは１０°程度に設
定すると良い。
を有する金属により形成されているとともに図２に示す
ように冷却水流路２５を有する水冷構造とされたもの
で、冷却水を強制循環させることでフレーム２３および
スクリーン２０を冷却してそれらの過熱を防止するよう
になっている。さらに、フレーム２３の前面側すなわち
ＳＯＲ光Ｓが照射される側の表面は、ＳＯＲ光Ｓの光軸
に対して傾斜している傾斜面２６とされている。それら
傾斜面２６の光軸に対する傾斜角度θは１０°程度に設
定すると良い。
【００１５】上記構成のスクリーンモニタでは、スクリ
ーン２０がカーボンやタングステン等の高融点材料によ
り形成されているので、高エネルギのＳＯＲ光Ｓが照射
されても溶けてしまうようなことがないことはもとよ
り、照射点が赤熱して発光することからカメラ２１によ
る観察を明瞭に行なうことができる。
ーン２０がカーボンやタングステン等の高融点材料によ
り形成されているので、高エネルギのＳＯＲ光Ｓが照射
されても溶けてしまうようなことがないことはもとよ
り、照射点が赤熱して発光することからカメラ２１によ
る観察を明瞭に行なうことができる。
【００１６】そして、通常は図３（ａ）に示すようにス
クリーン２０をＳＯＲ光Ｓの光軸に対して直交させた状
態で配置することが良いが、必要に応じて、たとえばＳ
ＯＲ光Ｓの強度が低いために照射点がさほど高温になら
ずに赤熱温度に達しないような場合には、軸体２４を回
転させることで図３（ｂ）に示すようにスクリーン２０
の向きをＳＯＲ光Ｓの光軸に対して傾斜させるようにし
ても良い。このようにすれば、スクリーン２０に対する
ＳＯＲ光Ｓの照射面積が拡大し、それによってスクリー
ン２０への入熱量が増大して（換言すれば透過量が低減
して）照射点の温度が高まり、より赤熱し易くなる。ま
た、照射点が十分に赤熱しないような場合には、フレー
ム２３に循環供給する冷却水の水量や水温を調節して冷
却能力を低減させることによっても、フレーム２３およ
びスクリーン２０の温度を上昇させて照射点を赤熱させ
ることが可能である。
クリーン２０をＳＯＲ光Ｓの光軸に対して直交させた状
態で配置することが良いが、必要に応じて、たとえばＳ
ＯＲ光Ｓの強度が低いために照射点がさほど高温になら
ずに赤熱温度に達しないような場合には、軸体２４を回
転させることで図３（ｂ）に示すようにスクリーン２０
の向きをＳＯＲ光Ｓの光軸に対して傾斜させるようにし
ても良い。このようにすれば、スクリーン２０に対する
ＳＯＲ光Ｓの照射面積が拡大し、それによってスクリー
ン２０への入熱量が増大して（換言すれば透過量が低減
して）照射点の温度が高まり、より赤熱し易くなる。ま
た、照射点が十分に赤熱しないような場合には、フレー
ム２３に循環供給する冷却水の水量や水温を調節して冷
却能力を低減させることによっても、フレーム２３およ
びスクリーン２０の温度を上昇させて照射点を赤熱させ
ることが可能である。
【００１７】さらに、上記のスクリーンモニタでは、フ
レーム２３の前面側を傾斜面２６としているので、フレ
ーム２３の熱損傷をも有効に防止できるものである。す
なわち、スクリーン２０を昇降させた際にはごく短時間
ではあるもののＳＯＲ光Ｓがフレーム２３に照射されて
しまうことが避けられないので、ＳＯＲ光Ｓが高エネル
ギの場合にはフレーム２３が局部的に溶けてしまうこと
が懸念される。このため、上記のスクリーンモニタでは
フレーム２３を水冷構造として強制水冷するのみなら
ず、フレーム２３の前面側を傾斜面２６としておくこと
によりフレーム２３に対するＳＯＲ光Ｓの照射面積が自
ずと拡大されるようになっており、それによって単位面
積当たりの熱負荷が低減してフレーム２３の過熱が抑制
されるようになっている。なお、スクリーン２０を昇降
させる際に図３（ｂ）に示すようにスクリーン２０を傾
斜させれば、フレーム２３に対するＳＯＲ光Ｓの照射面
積は上下方向のみならず水平方向にも拡大することにな
るので、少なくともスクリーン２０を昇降させる際には
そのように傾斜させることが好ましい。
レーム２３の前面側を傾斜面２６としているので、フレ
ーム２３の熱損傷をも有効に防止できるものである。す
なわち、スクリーン２０を昇降させた際にはごく短時間
ではあるもののＳＯＲ光Ｓがフレーム２３に照射されて
しまうことが避けられないので、ＳＯＲ光Ｓが高エネル
ギの場合にはフレーム２３が局部的に溶けてしまうこと
が懸念される。このため、上記のスクリーンモニタでは
フレーム２３を水冷構造として強制水冷するのみなら
ず、フレーム２３の前面側を傾斜面２６としておくこと
によりフレーム２３に対するＳＯＲ光Ｓの照射面積が自
ずと拡大されるようになっており、それによって単位面
積当たりの熱負荷が低減してフレーム２３の過熱が抑制
されるようになっている。なお、スクリーン２０を昇降
させる際に図３（ｂ）に示すようにスクリーン２０を傾
斜させれば、フレーム２３に対するＳＯＲ光Ｓの照射面
積は上下方向のみならず水平方向にも拡大することにな
るので、少なくともスクリーン２０を昇降させる際には
そのように傾斜させることが好ましい。
【００１８】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明によれ
ば、スクリーンの素材としてカーボンやタングステン等
の高融点材料からなる成形板を採用したので、高エネル
ギの放射光が照射されてもスクリーンが溶けてしまうよ
うなことのない優れた耐熱性能を有することはもとよ
り、放射光の照射点が赤熱して発光するのでその観察を
明瞭に行なうことができるという効果を奏し、特に大型
粒子加速器に適用して好適である。また、スクリーンを
回転させるように構成することにより、必要に応じてス
クリーンの向きを放射光の光軸に対して傾斜させること
で照射点が赤熱温度になるような調節が可能であり、さ
らに、スクリーンを水冷構造のフレームに取り付けるこ
とによりフレーム自身およびスクリーンを冷却し得てそ
れらの過熱を防止できるとともに、冷却能力を調節する
ことによっても照射点における赤熱の程度が調節可能で
あり、しかもフレームの前面側を傾斜面とすることでフ
レームの熱損傷も有効に防止できるという効果を奏す
る。
ば、スクリーンの素材としてカーボンやタングステン等
の高融点材料からなる成形板を採用したので、高エネル
ギの放射光が照射されてもスクリーンが溶けてしまうよ
うなことのない優れた耐熱性能を有することはもとよ
り、放射光の照射点が赤熱して発光するのでその観察を
明瞭に行なうことができるという効果を奏し、特に大型
粒子加速器に適用して好適である。また、スクリーンを
回転させるように構成することにより、必要に応じてス
クリーンの向きを放射光の光軸に対して傾斜させること
で照射点が赤熱温度になるような調節が可能であり、さ
らに、スクリーンを水冷構造のフレームに取り付けるこ
とによりフレーム自身およびスクリーンを冷却し得てそ
れらの過熱を防止できるとともに、冷却能力を調節する
ことによっても照射点における赤熱の程度が調節可能で
あり、しかもフレームの前面側を傾斜面とすることでフ
レームの熱損傷も有効に防止できるという効果を奏す
る。
【図１】本発明の一実施例であるスクリーンモニタの概
略構成を示す正面図である。
略構成を示す正面図である。
【図２】同、側面図である。
【図３】同装置の使用状態を示す平面図である。
【図４】小型シンクロトロンの概要を示す平面図であ
る。
る。
【図５】従来一般のスクリーンモニタの使用状態を示す
平面図である。
平面図である。
【図６】同モニタにおけるスクリーンの正面図である。
Ｓ ＳＯＲ光（放射光） ９ ビームライン ２０ スクリーン ２１ カメラ ２３ フレーム ２４ 軸体 ２５ 冷却水流路 ２６ 傾斜面。
Claims (3)
- 【請求項１】 粒子加速器のビームラインを通して取り
出す放射光をモニタするべく、放射光が照射されるスク
リーンをビームラインに対して進入退出可能に設けた構
成のスクリーンモニタであって、前記スクリーンを、放
射光が照射されるとその照射点が発熱して赤熱するカー
ボンやタングステン等の高融点材料を素材とする成形板
により形成したことを特徴とする粒子加速器のスクリー
ンモニタ。 - 【請求項２】 前記スクリーンを放射光の光軸に対して
傾斜させるべくビームライン中において回転可能とした
ことを特徴とする請求項１に記載の粒子加速器のスクリ
ーンモニタ。 - 【請求項３】 前記スクリーンを水冷構造のフレームに
取り付けるとともに、そのフレームの放射光が照射され
る側の表面を放射光の光軸に対して傾斜する傾斜面とし
たことを特徴とする請求項１または２に記載の粒子加速
器のスクリーンモニタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1287093A JPH06222150A (ja) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | 粒子加速器のスクリーンモニタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1287093A JPH06222150A (ja) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | 粒子加速器のスクリーンモニタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06222150A true JPH06222150A (ja) | 1994-08-12 |
Family
ID=11817462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1287093A Withdrawn JPH06222150A (ja) | 1993-01-28 | 1993-01-28 | 粒子加速器のスクリーンモニタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06222150A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11238950A (ja) * | 1998-02-20 | 1999-08-31 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 自由電子レーザ装置設置方法 |
| JP2016035478A (ja) * | 2010-04-19 | 2016-03-17 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | アイソトープ生成システム用の自己シールドターゲット |
-
1993
- 1993-01-28 JP JP1287093A patent/JPH06222150A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11238950A (ja) * | 1998-02-20 | 1999-08-31 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | 自由電子レーザ装置設置方法 |
| JP2016035478A (ja) * | 2010-04-19 | 2016-03-17 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | アイソトープ生成システム用の自己シールドターゲット |
| US9693443B2 (en) | 2010-04-19 | 2017-06-27 | General Electric Company | Self-shielding target for isotope production systems |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3696230A (en) | Laser lens cooling and cleaning system | |
| JPH0372174B2 (ja) | ||
| JP2614457B2 (ja) | レーザープラズマｘ線発生装置及びｘ線射出口開閉機構 | |
| US9777375B2 (en) | Converging mirror furnace | |
| US7974383B2 (en) | System and method to maintain target material in ductile state | |
| JP3795028B2 (ja) | Ｘ線発生装置および前記装置を用いたｘ線治療装置 | |
| JPH06222150A (ja) | 粒子加速器のスクリーンモニタ | |
| KR101871857B1 (ko) | 전자빔 브레이징 장치 및 전자빔을 이용한 브레이징 방법 | |
| US20070090097A1 (en) | Laser welding system for welding workpiece | |
| JP5383034B2 (ja) | 被検査物の温度制御機能を有するｘ線検査装置 | |
| CN112317907B (zh) | 用于阳极靶盘的钎焊装置及方法 | |
| DE60325844D1 (de) | Vorrichtung zur erzeugung von röntgenstrahlung mit wärmeabsorbierendem bauteil | |
| JPH05505213A (ja) | 光線により工作材料を表面処理するための装置 | |
| JPS6333261B2 (ja) | ||
| JPH1187089A (ja) | 放射線発生装置 | |
| JP4101570B2 (ja) | 成膜装置 | |
| US11021787B2 (en) | Coating arrangement and method | |
| JP2006040920A (ja) | リフロー半田付け装置及び方法、並びに基板保持板 | |
| KR102287256B1 (ko) | 심냉온도의 정밀 전자빔 가공장치 및 가공방법 | |
| JPH06181099A (ja) | 粒子加速器のスクリーンモニタ | |
| JP5514595B2 (ja) | 電子線照射装置 | |
| Kalantar et al. | X‐ray imaging of uniform large scale‐length plasmas created from gas‐filled targets on Nova | |
| JPH06160599A (ja) | 粒子加速器における放射光スリット装置 | |
| JPH05297148A (ja) | 粒子加速器のスクリーンモニタ装置 | |
| JPH06148396A (ja) | 粒子加速器における放射光スリット装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000404 |